JPH05301710A - 基板処理システムの基板搬送方法及びその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】 ロードステージＬＳにて処理対象となる基板
１をホルダを介さない縦型基板搬送系２に保持する工程
と、基板１を処理ステージＳＴに搬送する工程と、この
処理ステージＳＴに搬入された基板１を位置決め固定す
る工程と、処理ステージＳＴでの処理が終了した時点で
処理済みの基板１をアンロードステージＵＳへ搬送する
工程と、アンロードステージＵＳにて処理済みの基板１
を縦型基板搬送系２から離脱させる工程とを具備させ
る。 【効果】 基板搬送系側でのアライメント調整及び基板
サイズの変更への対応を容易に行うことができ、しか
も、基板の処理タクトを短縮することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、液晶用ガラス基板等
の各種基板を処理するシステムにおいて用いられる基板
搬送方法及びその装置に係り、特に、基板を縦置き搬送
するタイプの改良に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、液晶用ガラス基板の表面欠陥を検
査するようなシステムにおいては、搬送ベルト上に検査
対象である基板を横置きし、所定の検査ステージに順次
搬送して基板の表面欠陥の有無を検査するという方法が
採用されていた。しかしながら、この種のシステムにあ
っては、基板を横置きしている関係上、薄く大型の基板
は撓み変形し易く、その撓み変形が表面検査精度に悪影
響を及ぼす虞れがあるばかりか、一度に基板の片側のみ
しか検査することができず、両側の表面検査を行うよう
な場合には検査ステージを２回通過させることが必要に
なり、その分、検査処理時間が嵩むという技術的課題が
ある。

【０００３】このような技術的課題を解決するために、
本件出願人は、例えば縦置きホルダに基板を縦置き保持
し、この縦置きホルダを介して基板を処理ステージへ搬
送し、縦置き姿勢の基板を両側から同時に検査するとい
う方法が既に案出されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この種
の検査システムにあっては、ホルダに基板を保持する上
で、ホルダに対して基板をある程度正確に位置決めする
ことが必要であるため、ホルダのアライメント調整が面
倒になってしまうばかりか、基板サイズ毎に専用のホル
ダが必要になるため、例えばサイズの異なる基板を検査
対象とする場合には、搬送ライン上に新たなホルダをセ
ットした後に所定のアライメント調整を行わなければな
らず、その分、基板サイズの変更への対応が極めて面倒
であるという技術的課題がある。更に、この種のホルダ
搬送タイプにあっては、基板を連続的に検査するとして
も、ホルダが基板ロード位置に戻るまでは、次の基板を
搬送することができず、その分、基板の検査タクトを短
縮するには限界があった。

【０００５】この発明は、以上の技術的課題を解決する
ためになされたものであって、基板搬送系側でのアライ
メント調整及び基板サイズの変更への対応を容易に行う
ことができ、しかも、基板の処理タクトを短縮すること
ができる基板処理システムの基板搬送方法及びその装置
を提供するものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】すなわち、この発明は、
図１に示すように、処理対象となる基板１を所定の処理
ステージＳＴまで搬送すると共に、当該処理ステージＳ
Ｔにて搬入された基板１に対し所定の処理を施し、しか
る後、処理済みの基板１を処理ステージＳＴから離脱さ
せる基板処理システムを前提とし、ロードステージＬＳ
から処理ステージＳＴを経由してアンロードステージＵ
Ｓまで延び且つ基板１の下端縁が載置されて移動する基
板搬送手段３と、この基板搬送手段３の上方部位に設け
られ、基板搬送手段３に載置された基板１が縦方向姿勢
に保持されたまま移動する基板案内手段４とからなる縦
型基板搬送系２を用い、ロードステージＬＳにて処理対
象となる基板１を縦型基板搬送系２に保持する基板ロー
ド工程と、縦型基板搬送系２に保持された基板１を処理
ステージＳＴに搬送する基板処理前搬送工程と、この処
理ステージＳＴにて所定の処理が施される間、搬入され
た基板１を位置決め固定する基板位置決め停止工程と、
処理ステージＳＴでの処理が終了した時点で処理済みの
基板１をアンロードステージＵＳへ搬送する基板処理後
搬送工程と、アンロードステージＵＳにて処理済みの基
板１を縦型基板搬送系２から離脱させるアンロード工程
とを具備させたことを特徴とするものである。

【０００７】そして、このような方法発明を具現化した
装置発明は、例えば図１に示すように、処理対象となる
基板１を所定の処理ステージＳＴまで搬送すると共に、
当該処理ステージＳＴにて搬入された基板１に対し所定
の処理を施し、しかる後、処理済みの基板１を処理ステ
ージＳＴから離脱させる基板処理システムを前提とし、
ロードステージＬＳから処理ステージＳＴを経由してア
ンロードステージＵＳまで延び且つ基板１の下端縁が載
置されて移動する基板搬送手段３、並びに、この基板搬
送手段３の上方部位に設けられ、基板搬送手段３に載置
された基板１が縦方向姿勢に保持されたまま移動する基
板案内手段４からなる縦型基板搬送系２と、処理前の基
板群領域から処理対象となる基板１を選択してロードス
テージＬＳへ移載し、縦型基板搬送系２に保持するロー
ド用基板移載手段５と、処理ステージＳＴに搬入された
基板１を位置決め固定する位置決め固定手段６と、アン
ロードステージＵＳにて縦型基板搬送系２から処理済み
の基板１を離脱させ、処理済みの基板群領域へ移載する
アンロード用基板移載手段７と、少なくとも処理ステー
ジＳＴにて処理手段９が基板１に対して所定の処理を施
すタイミングで基板搬送手段３を停止させ、このタイミ
ングに同期して、ロード用基板移載手段５、位置決め固
定手段６及びアンロード用基板移載手段７を必要に応じ
て作動させるシーケンス制御手段８とを備えたことを特
徴とするものである。

【０００８】このような技術的手段において、縦型基板
搬送系２としては、基板１を垂直姿勢に保持してもよい
が、この場合には、基板案内手段４で基板１の両方向へ
の倒れを阻止するようにしなければならないが、基板１
を垂直姿勢から僅かに傾斜配置させるようにすれば、基
板案内手段４に基板１の上端部が支持されることになる
ため、基板案内手段４としては、基板１の移動を確保で
きるような構成のみを考慮すれば足りることになり、そ
の分、装置構成の簡略化を図ることが可能である。ま
た、基板１の処理は振動に影響を受けるので、装置自体
に防振対策を施すことが好ましく、また、基板１を検査
処理するようなシステムにおいては、基板１を停止して
検査システムを動かすことにより、基板１（特に薄いガ
ラス基板）の振動を減少させることが可能である。

【０００９】また、ロード用基板移載手段５、アンロー
ド用基板移載手段７としては、予め所定の動きがティー
チングされたロボットを始め適宜選定して差し支えない
が、可能な限り省スペース化を考慮して設置することが
好ましい。また、各基板移載手段５，７による基板１の
保持の仕方についても適宜選定して差し支えないが、検
査を実施するために表面接触を嫌うもの（ゴミの付着、
吸着あと等が誤検査の原因になる）の場合には、基板の
表面部分に触れないで例えば基板のエッジ部分をサポー
トするように設計することが必要である。

【００１０】更に、位置決め固定手段６としては、少な
くとも処理手段９による処理が損なわれない範囲で、基
板１を位置決め固定できるものであれば、基板１周囲の
一部をクランプ部材で保持するようにしてもよいし、あ
るいは、基板１の周囲に対応した固定フレームを用意
し、この固定フレームに対して基板を例えば真空吸着さ
せる等適宜設計変更して差し支えない。

【００１１】更にまた、シーケンス制御手段８として
は、適宜コンピュータシステム等を用いて、夫々の制御
対象をコントロールするものであれば適宜設計変更して
差し支えない。

【００１２】

【作用】上述したような技術的手段において、図１の装
置発明を用いてこの発明の作用を説明する。同図におい
て、縦型基板搬送系２は、基板搬送手段３上に基板１の
下端部を載置し、基板案内手段４にて基板１の上端部を
案内しながら、基板１を縦方向姿勢のまま搬送する。そ
して、基板１が処理ステージＳＴに到達すると、シーケ
ンス制御手段８が働いて位置決め固定手段６が作動し、
基板１は位置決め固定手段６によって所定位置に固定さ
れ、処理手段９が基板１に対して所定の処理を施す。こ
のとき、シーケンス制御手段８は、ロード用基板移載手
段５及びアンロード用基板移載手段７を作動させるた
め、処理手段９による処理過程中において、ロード用基
板移載手段５はロードステージＬＳにて次の基板１を縦
型基板搬送系２に保持させ、また、アンロード用基板移
載手段７はアンロードステージＵＳにて処理済みの基板
１を縦型基板搬送系２から離脱させる。

【００１３】

【実施例】以下、添付図面に示す実施例に基づいてこの
発明を詳細に説明する。図２はガラス基板の欠陥検査シ
ステムにこの発明を適用した一実施例である。同図にお
いて、符号２０は縦型基板搬送系であり、基板１００の
下端部を載置して基板１００を搬送する搬送機構２１
と、基板１００の上端部を移動可能に支持するガイド機
構２５とで構成されている。そして、この実施例では、
上記基板１００は垂直方向に対して僅かにθ（基板１０
０の撓み防止の観点から１０゜以下：この実施例では７
゜程度）だけ傾斜配置される。より具体的に述べると、
上記搬送機構２１は、特に図２，図３，図４に示すよう
に、ロードステージＬＳから処理ステージＳＴを経由し
てアンロードステージＵＳへ直線的に基板１００を搬送
するものであり、具体的には、メンテナンスを考慮して
複数に分割配置されている単位搬送ベルト２２群にて構
成されており、各単位搬送ベルト２２間には基板１００
の搬送性に影響を与えない範囲でスペース２３が確保さ
れている。また、ガイド機構２５は、上記搬送機構２１
の上方に搬送機構２１の長手方向に沿ってガイドレール
２６を設け、このガイドレール２６にはガイドロール２
７を所定ピッチ間隔毎に配設したものである。尚、この
実施例で用いられるガイドロール２７は、ガイドレール
２６にシャフト２７ａを固定し、このシャフト２７ａに
ベアリング２７ｂを介してゴムライニング２７ｃをロー
ル表面に露呈させるようにしたものである。更に、この
実施例では、上記ガイドレール２６は、図２に示すよう
に、調整ネジ機構２８に上下方向位置を可変設定できる
ようになっており、検査対象の基板１００のサイズが変
更されたような場合に、ガイドレール２６位置を調整す
ることにより、ガイドロール２７の案内面位置を変化さ
せるようになっている。

【００１４】また、符号３０はロード用基板移載ロボッ
ト、３１はロード用基板移載ロボット３０の移載動作を
サポートするロード用リフタ、３２は処理前の基板１０
０が多数縦置き収容されている専用カセット台である。
尚、この専用カセット台３２としては、ガラス基板１０
０のバッチ式洗浄工程（前工程）で用いたものを流用す
ることができる。この実施例において、ロード用基板移
載ロボット３０は、図５に示すように、縦型基板搬送系
２０のロードステージＬＳの後方部位に設置されてお
り、縦型基板搬送系２０を横切ってロードステージＬＳ
の手前側に向かって進退する１軸のアーム３０１を有
し、このアーム３０１の先端に把持ハンド３０２を取り
付けたものである。

【００１５】この実施例における把持ハンド３０２の具
体的構成を図６及び図７に示す。同図において、把持ハ
ンド３０２は、ベースフレーム３０３の下部に下方向に
延びる舌状サポート片３０４を取り付け、この舌状サポ
ート片３０４の下端には回転自由端が前方側へ突出可能
にチルト式爪片３０５を回動自在に取り付けると共に、
このチルト式爪片３０５の回転自由端が下方向へ向かう
ようにスプリング部材３０６でチルト式爪片３０５を予
め付勢し、更に、駆動シリンダ３０７にてチルト式爪片
３０５をスプリング部材３０６の付勢力に抗して前方側
へ突出させるようにしたものである。また、把持ハンド
３０２は、そのベースフレーム３０３にモータ３１０に
よって回転するボールネジ３１１を水平方向に取り付
け、このボールネジ３１１の回転に応じて水平方向で進
退する移動ブロック３１２を設けるト共に、この移動ブ
ロック３１２には下方に垂下されたガイド付き爪片３１
３（基板１００取り出し時等において基板１００のがた
つきをなくして安定させる用途のもの）を夫々設けるよ
うにしたものである。このような把持ハンド３０２によ
れば、ガラス基板１００搬送時には、チルト式爪片３０
５が前方側へ突出した状態に設定され、ガラス基板１０
０の下端部を支え、一方、縦型基板搬送系２０に基板１
００をロードした後あるいは専用カセット台３２に基板
を取り出しに行く際にはチルト式爪片３０５は下方側へ
チルトするようになっている。尚、符号３１５は例えば
ジョブチェンジで大型の基板１００を保持するような場
合において前記ガイド付き爪片３１３と交換される交換
用爪片であり、また、符号３１６は把持ハンド３０２に
基板１００が把持されているか否かを検出する超音波セ
ンサである。

【００１６】また、リフタ３１は把持ハンド３０２で把
持される基板１００を上方向へ持ち上げるものであり、
リフタ３１の先端部は二股に分かれて基板１００の下端
部を支持するサポート用溝部３１ａとして構成され、リ
フタ３１の先端部二股部分の間に確保される凹所３１ｂ
は上記把持ハンド３０２のチルト式爪片３０５の移動ス
ペースを考慮したものである。

【００１７】また、符号４０はアンロード用基板移載ロ
ボット、４１はアンロード用基板移載ロボット４０の移
載動作をサポートするアンロード用リフタ、４２は検査
済みの基板１００のうち良品を縦置き収容する良品専用
カセット台、４３は検査済みの基板１００のうち不良品
を縦置き収容する不良品専用カセット台である。尚、こ
の専用カセット台４２，４３についても、ガラス基板１
００のバッチ式洗浄工程（前工程）で用いたものを流用
することができる。この実施例において、アンロード用
基板移載ロボット４０は、図２に示すように、縦型基板
搬送系２０のアンロードステージＵＳの後方部位に設置
されており、縦型基板搬送系２０の長手方向に沿って移
動するロボット本体４０１、並びに、縦型基板搬送系２
０を横切ってアンロードステージＵＳの手前側に向かっ
て進退するアーム４０２の２軸構成であり、前記アーム
４０２の先端にロード用移載ロボット３０のものと同様
な把持ハンド４０３を取り付けたものである。

【００１８】更にまた、この実施例では、図３に示すよ
うに、検査ステージＳＴに搬入された基板１００を位置
決め固定するクランパ５０が基板１００の上端部の両側
に対応して二つ、下端側中央部に対応して一つ設けられ
ている。このクランパ５０は、例えば図８に示すよう
に、回転自由端が基板１００側に向かっているクランプ
部材５１を回転自在に設け、このクランプ部材５１をス
プリング５２で開方向へ付勢するト共に、シリンダ５３
のロッド５４をクランプ部材５１の溝部５５に係合させ
ることにより、クランプ部材５１を閉方向へ移動させる
ものである。

【００１９】また、この実施例では、検査ステージＳＴ
の検査機６０は、図２に示すように、縦方向姿勢で搬送
されてくる基板１００の両側面に対応して一対設けられ
ている。各検査機６０は、図９に示すように、光源装置
６１からの光をライン状の光として基板１００に照射す
る上下一対の光ファイバ６２と、基板１００からの反射
光を分担して読み取る例えば四つのＣＣＤラインセンサ
カメラ６３とで構成されている。そして、ＣＣＤライン
センサカメラ６３からの映像信号は、図１０に示すよう
に、画像処理装置６４に取り込まれて適宜欠陥判別用の
処理が行われ、この結果がモニタ６５に出力される。
尚、画像処理装置６４での欠陥判別処理は例えばホスト
コンピュータ６６にてダウンロードされた処理プログラ
ムに従って処理されるようになっている。

【００２０】また、上記ホストコンピュータ６６は検査
システムコントローラ６７に所定の検査シーケンスに従
ったコントロール信号を送出し、検査システムコントロ
ーラ６７は、ロード用移載ロボット３０（ロード用リフ
タ３１も含む）、縦型基板搬送系２０、クランパ５０、
検査機６０及びアンロード用移載ロボット４０（アンロ
ード用リフタ４１を含む）を後述するように制御する。

【００２１】次に、この実施例に係るガラス基板の欠陥
検査システムの作動について説明する。先ず、ローダ用
リフタ３１が専用カセット台３２から検査対象となるガ
ラス基板１００を持ち上げると、専用カセット台３２の
上方で待機していたローダ用移載ロボット３０の把持ハ
ンド３０２は、そのガイドつき爪片３１３にてガラス基
板１００をチャックする。この後、把持ハンド３０２の
チルト式爪片３０５がガラス基板１００の下端縁を支持
し、この段階で、ローダ用リフタ３１が降下する。そし
て、上記ローダ用移載ロボット３０のアーム３０１が後
退移動し、ロードステージＬＳにて縦型基板搬送系２０
にガラス基板１００を数度傾けた状態で移載する。しか
る後、縦型基板搬送系２０は基板１００を検査ステージ
ＳＴまでベルト搬送する。そして、基板１００が検査ス
テージＳＴに到達すると、図示外の位置検出センサ等か
らの情報に基づいてクランパ５０が基板１００を位置決
め固定する。この状態において、検査機６０が固定され
ている基板１００に対しその検査部位を順次移動させて
検査を行うため、基板１００を移動させる際に生じ得る
基板１００の振動の影響による検査精度の低下は抑えら
れる。検査が終了すると、縦型基板搬送系２０は基板１
００を再びベルト搬送し、アンローダステージＵＳで停
止させる。すると、アンローダ用移載ロボット４０が作
動し、検査機６０による検査結果に基づいて検査済みの
基板１００を良品専用カセット台４２あるいは不良品専
用カセット台４３に収納する。

【００２２】このような動作過程において、検査ステー
ジＳＴにてある基板１００に対する欠陥検査が行われて
いるとすれば、このとき、縦型基板搬送系２０は停止状
態にあるため、検査の順番が次の基板１００ｒはローダ
用移載ロボット３０にてロードステージＬＳにロードさ
れ、また、一つ手前の順番の検査済みの基板１００ｆは
アンローダ用移載ロボット４０にてアンロードステージ
ＵＳから離脱され、良品専用カセット台４２あるいは不
良品専用カセット台４３に収納される。それゆえ、検査
用の基板は順次縦型基板搬送系２０にセットされて順次
検査ステージＳＴに搬送され、順次各基板１００に対す
る欠陥検査が行われる。

【００２３】

【発明の効果】以上説明してきたように、請求項１若し
くは２記載の発明によれば、以下のような効果を奏する
ことができる。すなわち、第一に、縦型基板搬送系に基
板をロードさせる際には、基本的に基板搬送手段に基板
を載置させるだけで済むので、ホルダ搬送タイプの場合
に比べて、ホルダに対する基板の位置決めが不要になる
分、基板搬送系側でのアライメント調整を簡略化するこ
とができる。第二に、基板サイズを変更する場合には、
基板案内手段の上下方向位置を調整するだけで済むの
で、ホルダ搬送タイプに比べて、専用のホルダをアライ
メント調整しながらセットする作業が不要になる分、基
板サイズの変更への対応を容易に行うことができる。第
三に、縦型基板搬送系の処理ステージで基板の処理を行
っている間に、縦型基板搬送系に他の基板のロード、ア
ンロードを並行して行うことができるため、ホルダ搬送
タイプに比べて、ホルダの戻り時間を省略できる分、処
理タクトの短縮化を図ることができる。第四に、処理ス
テージでは、固定状態の基板に対して処理を施すように
しているので、基板移動時の処理に比べて、基板の振動
等による処理精度の低下を有効に防止することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明に係る基板処理システムの基板搬送
方法及びその装置の構成を示す説明図である。

【図２】 この発明が適用されたガラス基板の欠陥検査
システムの一実施例を示す説明図である。

【図３】 実施例に係る縦型基板搬送系の詳細を示す説
明図である。

【図４】 図３中ＩＶ−ＩＶ線断面図である。

【図５】 実施例に係るロード用移載ロボットの詳細を
示す説明図である。

【図６】 実施例に係るロード用移載ロボットの把持ハ
ンドの具体例を示す説明図である。

【図７】 実施例に係る把持ハンドのチルト式爪片の支
持構造例を示す説明図である。

【図８】 実施例で用いられるクランパの具体例を示す
説明図である。

【図９】 実施例で用いられる検査機の具体例を示す説
明図である。

【図１０】 実施例で用いられるシーケンス制御系の具
体例を示すブロック図である。

【図１１】 実施例に係るガラス基板の欠陥検査システ
ムの作動状態を示す説明図である。

【符号の説明】

ＬＳ…ロードステージ，ＳＴ…処理ステージ，ＵＳ…ア
ンロードステージ，１…基板，２…縦型基板搬送系，３
…基板搬送手段，４…基板案内手段，５…ロード用基板
移載手段，６…位置決め固定手段，７…アンロード用基
板移載手段，８…シーケンス制御手段，９…処理手段

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 処理対象となる基板（１）を所定の処理
   ステージ（ＳＴ）まで搬送すると共に、当該処理ステー
   ジ（ＳＴ）にて搬入された基板（１）に対し所定の処理
   を施し、しかる後、処理済みの基板（１）を処理ステー
   ジ（ＳＴ）から離脱させる基板処理システムにおいて、
   ロードステージ（ＬＳ）から処理ステージ（ＳＴ）を経
   由してアンロードステージ（ＵＳ）まで延び且つ基板
   （１）の下端縁が載置されて移動する基板搬送手段
   （３）と、この基板搬送手段（３）の上方部位に設けら
   れ、基板搬送手段（３）に載置された基板（１）が縦方
   向姿勢に保持されたまま移動する基板案内手段（４）と
   からなる縦型基板搬送系（２）を用い、ロードステージ
   （ＬＳ）にて処理対象となる基板（１）を縦型基板搬送
   系（２）に保持する基板ロード工程と、縦型基板搬送系
   （２）に保持された基板（１）を処理ステージ（ＳＴ）
   に搬送する基板処理前搬送工程と、この処理ステージ
   （ＳＴ）にて所定の処理が施される間、搬入された基板
   （１）を位置決め固定する基板位置決め停止工程と、処
   理ステージ（ＳＴ）での処理が終了した時点で処理済み
   の基板（１）をアンロードステージ（ＵＳ）へ搬送する
   基板処理後搬送工程と、アンロードステージ（ＵＳ）に
   て処理済みの基板（１）を縦型基板搬送系（２）から離
   脱させるアンロード工程とを具備させたことを特徴とす
   る基板処理システムの基板搬送方法。
2. 【請求項２】 処理対象となる基板（１）を所定の処理
   ステージ（ＳＴ）まで搬送すると共に、当該処理ステー
   ジ（ＳＴ）にて搬入された基板（１）に対し所定の処理
   を施し、しかる後、処理済みの基板（１）を処理ステー
   ジ（ＳＴ）から離脱させる基板処理システムにおいて、
   ロードステージ（ＬＳ）から処理ステージ（ＳＴ）を経
   由してアンロードステージ（ＵＳ）まで延び且つ基板
   （１）の下端縁が載置されて移動する基板搬送手段
   （３）、並びに、この基板搬送手段（３）の上方部位に
   設けられ、基板搬送手段（３）に載置された基板（１）
   が縦方向姿勢に保持されたまま移動する基板案内手段
   （４）からなる縦型基板搬送系（２）と、処理前の基板
   群領域から処理対象となる基板（１）を選択してロード
   ステージ（ＬＳ）へ移載し、縦型基板搬送系（２）に保
   持するロード用基板移載手段（５）と、処理ステージ
   （ＳＴ）に搬入された基板（１）を位置決め固定する位
   置決め固定手段（６）と、アンロードステージ（ＵＳ）
   にて縦型基板搬送系（２）から処理済みの基板（１）を
   離脱させ、処理済みの基板群領域へ移載するアンロード
   用基板移載手段（７）と、少なくとも処理ステージ（Ｓ
   Ｔ）にて処理手段（９）が基板（１）に対して所定の処
   理を施すタイミングで基板搬送手段（３）を停止させ、
   このタイミングに同期して、ロード用基板移載手段
   （５）、位置決め固定手段（６）及びアンロード用基板
   移載手段（７）を必要に応じて作動させるシーケンス制
   御手段（８）とを備えたことを特徴とする基板処理シス
   テムの基板搬送装置。