CN221216032U - 基板搬运装置 - Google Patents

Abstract

一种基板搬运装置，在确保经由托架搬运的基板的定位精度同时，有助于抑制基板搬运装置的磨损。本实用新型的基板搬运装置包括托架和主体部，所述托架供基板载放并对基板进行定位，所述主体部具有：基板搬运口，其供所述托架进出；搬运路径，其供从所述基板搬运口进出的所述托架沿水平方向中的第一方向搬运；输送部，其沿所述第一方向搬运所述托架；托架升降部，其使搬运至所述搬运路径中的预设位置的所述托架在接触所述输送部的位置与离开所述输送部的位置之间升降；推压部，其朝向水平方向中的与所述第一方向正交的第二方向推压所述托架；以及第二方向定位部，其供由所述推压部推压来的所述托架在所述第二方向上抵接。

Description

基板搬运装置

技术领域

本实用新型涉及基板搬运装置。

背景技术

在设计对基板进行检测的一体化设备时，为了提高基板的搬运和检测效率，可考虑将基板以层叠方式定位并载放于托架，然后经由托架在设备内的搬运路径中搬运基板。

不过，实际中，有时除了需要利用搬运部使托架在水平方向中的一个方向上进行主运动外，还需要使托架相对于搬运部在水平方向中的与一个方向垂直的方向进行次运动以进行定位，在这种情况下，由于托架与搬运部产生不同于搬运部的常规搬运方向的相对移动，因此托架(例如与搬运部接触的底部)和搬运部(例如与托架接触的顶部)均容易产生磨损。

实用新型内容

本实用新型正是鉴于上述问题而完成的，目的在于提供一种基板搬运装置，在确保经由托架搬运的基板的定位精度同时，有助于抑制基板搬运装置的磨损。

为了实现上述目的，本实用新型提供一种基板搬运装置，包括托架和主体部，所述托架供基板载放并对基板进行定位，所述主体部具有：基板搬运口，该基板搬运口供所述托架进出；搬运路径，该搬运路径供从所述基板搬运口进出的所述托架沿水平方向中的第一方向搬运；输送部，该输送部沿所述第一方向搬运所述托架；托架升降部，该托架升降部使搬运至所述搬运路径中的预设位置的所述托架在接触所述输送部的位置与离开所述输送部的位置之间升降；推压部，该推压部朝向水平方向中的与所述第一方向正交的第二方向推压所述托架；以及第二方向定位部，该第二方向定位部供由所述推压部推压来的所述托架在所述第二方向上抵接。

根据本实用新型的基板搬运装置，能在通过托架升降部使由输送部搬运至搬运路径中的预设位置的对基板进行定位的托架离开输送部后，利用推压部朝第二方向将托架推压至与第二方向定位部抵接，因此，与托架被输送部搬运至搬运路径中的预设位置后直接由推压部朝第二方向推压的情况相比，在确保经由托架搬运的基板的定位精度同时，有助于抑制托架的磨损，还有助于抑制输送部的磨损。

此外，在本实用新型的基板搬运装置中，优选所述主体部还具有第一方向定位部，该第一方向定位部供搬运至所述预设位置的所述托架在所述第一方向上抵接。

根据本实用新型的基板搬运装置，能在第一方向和第二方向上同时对托架进行定位。

此外，在本实用新型的基板搬运装置中，优选所述托架升降部具有能升降的支承部，该支承部具有由从下侧支承所述托架且沿所述第二方向排列的多个滚轮构成的滚轮列。

根据本实用新型的基板搬运装置，在由托架升降部支承托架的状态下利用推压部朝第二方向推压托架时，容易进一步抑制托架的磨损。

此外，在本实用新型的基板搬运装置中，优选所述滚轮列在所述第一方向上隔开间隔地设置有多个。

根据本实用新型的基板搬运装置，在由托架升降部支承托架的状态下利用推压部朝第二方向推压托架时，有助于使托架在滚轮列上稳定地移动。

此外，在本实用新型的基板搬运装置中，优选在所述推压部的与所述托架抵接的部位设置有缓冲件。

根据本实用新型的基板搬运装置，利用推压部朝第二方向推压托架时，有助于抑制托架的磨损，尤其有助于抑制托架的侧面的磨损。

此外，在本实用新型的基板搬运装置中，优选所述主体部在所述基板搬运口处设置有在所述第二方向上隔着所述托架相对的一对引导部，所述一对引导部之间的距离越靠所述主体部的内部越小。

根据本实用新型的基板搬运装置，容易将托架经由基板搬运口搬入到搬运路径中。

此外，在本实用新型的基板搬运装置中，优选所述托架具有：设有沿上下方向贯穿的开口的底座部；固定于所述底座部并在所述预设位置被所述推压部朝向所述第二方向推压的框体；固定于所述底座部和/或所述框体的侧板；以位于所述开口的外侧的方式设置于所述侧板且供基板在所述第一方向和所述第二方向上抵接的限位部；以位于所述开口的外侧且沿上下方向延伸的方式设置于所述底座部的立柱；以及以角部被所述立柱贯穿的方式能上下移动地设置于所述底座部的上侧且供基板载放的支承板部，所述主体部还具有支承板部升降部，该支承板部升降部从下方贯穿位于所述预设位置的所述托架的所述开口而与所述支承板部抵接，以使所述支承板部升降。

根据本实用新型的基板搬运装置，在托架中，能利用限位部在第一方向和第二方向上对基板进行定位，并且，容易在第一方向和第二方向上保持对基板的定位的同时将基板从托架中取出。

此外，在本实用新型的基板搬运装置中，优选所述限位部包括第一限位部和第二限位部，所述第一限位部以在所述第一方向上相对且能沿所述第一方向相对移动的方式设置有一对，以便从所述第一方向的两侧与基板抵接，所述第二限位部以在所述第二方向上相对且能沿所述第二方向相对移动的方式设置有一对，以便从所述第二方向的两侧与基板抵接。

根据本实用新型的基板搬运装置，能根据不同尺寸的基板使成对的第一限位部和成对的第二限位部相对移动，以从第一方向和第二方向上的两侧抵接基板，因此，有助于灵活地应对不同尺寸的基板，实现基板在层叠状态下的稳定搬运。

此外，在本实用新型的基板搬运装置中，优选包括多个所述托架，所述基板搬运口具有：供所述托架将待检测的基板搬入的基板搬入口；以及供所述托架将已检测的基板搬出的基板搬出口，所述主体部还具有基板搬运部，该基板搬运部将待检测的基板从位于所述基板搬入口内的所述托架搬运至检测设备，并将已检测的基板从所述检测设备搬运至位于所述基板搬出口内的所述托架。

此外，在本实用新型的基板搬运装置中，优选多个所述基板搬出口包括：合格基板搬出口，所述基板搬运部将检测合格的基板从所述检测设备搬运至位于该合格基板搬出口内的所述托架；复检基板搬出口，所述基板搬运部将需要复检的基板从所述检测设备搬运至位于该复检基板搬出口内的所述托架；以及不合格基板搬出口，所述基板搬运部将检测不合格的基板从所述检测设备搬运至位于该不合格基板搬出口内的所述托架。

根据本实用新型的基板搬运装置，能方便地将检测后的基板分类搬出。

(实用新型效果)

根据本实用新型，能在通过托架升降部使由输送部搬运至搬运路径中的预设位置的对基板进行定位的托架离开输送部后，利用推压部朝第二方向将托架推压至与第二方向定位部抵接，因此，与托架被输送部搬运至搬运路径中的预设位置后直接由推压部朝第二方向推压的情况相比，在确保经由托架搬运的基板的定位精度同时，有助于抑制托架的磨损，还有助于抑制输送部的磨损。

附图说明

图1是示意表示本实用新型实施方式的基板搬运装置的立体图。

图2是示意表示本实用新型实施方式的基板搬运装置的主体部在未装载托架时的状态的立体图。

图3A是示意表示本实用新型实施方式的基板搬运装置的主体部在装载有托架时的状态的立体图。

图3B是示意表示本实用新型实施方式的基板搬运装置的主体部在装载有托架时的状态的另一立体图。

图4是示意表示本实用新型实施方式的基板搬运装置的主体部在装载有托架时的状态的立体图，其中省略了部分结构。

图5是示意表示本实用新型实施方式的基板搬运装置的主体部在装载有托架时的状态的主视图，其中省略了部分结构。

图6是示意表示本实用新型实施方式的基板搬运装置中的支承板部升降部的立体图。

(符号说明)

1 基板搬运装置

10 托架

11 底座部

12 框体

121 侧框

122 顶板

13 侧板

131 第一侧板

132 第二侧板

14 限位部

141 第一限位部

142 第二限位部

15 立柱

16 支承板部

20 主体部

21 输送部

211 输送带

22 托架升降部

221 支承部

23 推压部

231 驱动源

232 压板

24 第二方向定位部

25 支承板部升降部

26 第一方向定位部

IN 作为基板搬运口的基板搬运口

OT 作为基板搬运口的基板搬出口

RT 搬运路径

PL 支柱

BS 板状基座

TP 板状顶座

OP 开口

GD 引导部

具体实施方式

下面，结合附图对本实用新型实施方式的基板搬运装置进行说明。

此处，为方便说明，将相互正交的三个方向设为X方向、Y方向和Z方向，且将X方向的一侧设为X1，将X方向的另一侧设为X2，将Y方向的一侧设为Y1，将Y方向的另一侧设为Y2，将Z方向的一侧设为Z1，将Z方向的另一侧设为Z2，并且，设Z1方向与实际使用时的上方一致。

(一体化设备的整体结构)

如图1所示，一体化设备用于自动地搬运并检测基板，包括基板搬运装置1和检测设备(未图示)，其中，基板搬运装置1对基板进行搬运，检测设备对基板进行检测。

此处，如图1所示，一体化设备中的基板搬运装置1整体大致呈长方体状。

(基板搬运装置的主体部的结构)

如图2至图4所示，基板搬运装置1包括托架10和主体部20，托架10供基板载放并对基板进行定位，主体部20具有供托架10进出的基板搬运口以及供从基板搬运口进出的托架10搬运的搬运路径RT。

此处，搬运路径RT供从基板搬运口进出的托架10沿X方向(相当于第一方向)搬运。

(托架的结构)

如图4所示，托架10具有：设有沿Z方向贯穿的开口OP的底座部11；固定于底座部11并在搬运路径RT中的预设位置(图4中的位置)被主体部10的下述推压部23朝向Y方向推压的框体12；固定于底座部11和/或框体12的侧板13；以位于开口OP的外侧的方式设置于侧板13且供基板在X方向和Y方向上抵接的限位部14；以位于开口OP的外侧且沿Z方向延伸的方式设置于底座部11的立柱15；以及以角部被立柱15贯穿的方式能在Z方向上移动地设置于底座部11的Z1方向侧且供基板载放的支承板部16。

此处，如图4所示，托架10整体呈长方体状，内部可供基板在Z方向上层叠收纳。具体而言，底座部11大致呈长方形框状；框体12具有侧框121和顶板122，该侧框121以在Y方向上隔开间隔相对的方式从底座部11朝向Z1方向侧立起，顶板122包括在X方向上设置于侧框121的一端的第一顶板和在X方向上设置于侧框121的另一端的第二顶板，第一顶板和第二顶板以在X方向上隔开间隔相对的方式分别将侧框121的顶部在Y方向上连接在一起。

此外，如图4所示，侧板13包括：第一侧板131，该第一侧板131以板厚与Y方向一致的方式从底座部11朝向Z1方向侧立起，且位于框体12的内侧；以及第二侧板132，该第二侧板132以板厚与X方向一致的方式从底座部11朝向Z1方向侧立起，且位于框体12的内侧。

此外，如图4所示，限位部14包括第一限位部141和第二限位部142，第一限位部141以在X方向上相对且能沿X方向相对移动的方式设置有一对，以便从X方向的两侧与基板抵接，第二限位部142以在Y方向上相对且能沿Y方向相对移动的方式设置有一对，以便从Y方向的两侧与基板抵接。并且，成对的第一限位部141在Y方向上设置于第一侧板131的内侧，成对的第二限位部142在X方向上设置于第二侧板132的内侧。

此外，虽未图示，但托架10设置有多个。

(主体部的结构)

如图2、图3A和图3B所示，主体部20除了基板搬运口IN和搬运路径RT之外，还具有：输送部21，该输送部21沿X方向搬运托架10；托架升降部22，该托架升降部22使搬运至搬运路径RT中的预设位置的托架10在接触输送部21的位置与离开输送部21的位置之间升降；推压部23，该推压部23朝向Y方向(相当于第二方向)推压托架10；以及第二方向定位部24，该第二方向定位部24供由推压部23推压来的托架10在Y方向上抵接。

此处，如图1所示，基板搬运口具有：基板搬入口IN，该基板搬入口IN供托架10将待检测的基板搬入；以及基板搬出口OT，该基板搬出口OT供托架10将已检测的基板搬出；主体部20还具有基板搬运部(未图示)，该基板搬运部将待检测的基板从位于基板搬运口(基板搬入口IN)内的搬运路径RT中的预设位置的托架10搬运至检测设备，并将已检测的基板从检测设备搬运至位于基板搬运口(基板搬出口OT)内的搬运路径RT中的预设位置的托架10。具体而言，基板搬出口OT包括：合格基板搬出口，基板搬运部将检测合格的基板从检测设备搬运至位于该合格基板搬出口内的搬运路径RT中的预设位置的托架10；复检基板搬出口，基板搬运部将需要复检的基板从检测设备搬运至位于该复检基板搬出口内的搬运路径RT中的预设位置的托架10；以及不合格基板搬出口，基板搬运部将检测不合格的基板从检测设备搬运至位于该不合格基板搬出口内的搬运路径RT中的预设位置的托架10。具体而言，具有多个托架10，载放有待检测的基板的托架10被搬入基板搬入口IN内的搬运路径RT中的预设位置，并在待检测的基板从托架10搬运走后，将空置的托架10从基板搬入口IN搬出；空置的托架10被搬入基板搬出口OT内的搬运路径RT中的预设位置，并在已检测的基板被基板搬运部搬入基板搬出口OT内的搬运路径RT中的预设位置的托架10后，将载放有已检测的基板的托架10从基板搬出口OT搬出。

此外，如图2所示，输送部21包括在Y方向隔开间隔设置的一对输送带211。具体而言，主体部20具有板状基座BS和板状顶座TP，该板状基座BS和板状顶座TP分别以厚度与Z方向一致的方式设置，在该板状基座BS和板状顶座TP的中央分别设有贯穿孔，板状基座BS的四角和板状顶座TP的四角通过沿Z方向延伸的柱子彼此连接在一起。一对输送带211以在Y方向上隔着板状基座BS的贯穿孔的方式支承于板状基座BS的Z1方向侧。

此外，如图2所示，托架升降部22具有能升降的支承部221，该支承部221具有由从Z2方向侧支承托架10且沿Y方向排列的多个滚轮构成的滚轮列。具体而言，滚轮列在X方向上隔开间隔地设置有多个(在图示的例子中是两个，但并不局限于此)，且以在X方向上隔着板状基座BS的贯穿孔的方式能升降地支承于板状基座BS的Z1方向侧。

此外，如图2所示，推压部23具有驱动源231以及由驱动源231驱动而沿Y方向移动的压板232。具体而言，驱动源231具有固定部和可动部，固定部经由位于板状基座BS的贯穿孔的Y方向一侧的支柱PL支承于板状基座BS的Z1方向侧，可动部相对于固定部能沿Y方向移动，压板232与可动部连接。并且，在压板232的与托架10抵接的部位设置有缓冲件(未图示)。缓冲件例如由橡胶制成。

此外，如图3A、图4、图5和图6所示，主体部20还具有支承板部升降部25，该支承板部升降部25从Z2方向侧贯穿位于搬运路径RT中的预设位置的托架10的开口OP而与支承板部16抵接，以使支承板部16升降。具体而言，支承板部升降部25具有固定部和可动部，固定部支承于板状基座BS的Z2方向侧，可动部相对于固定部能沿Z方向移动，且能贯穿板状基座BS的贯穿孔以及位于搬运路径RT中的预设位置的托架10的开口OP，从而与支承板部16抵接。

此外，如图2、图3A和3B所示，第二方向定位部24呈板状，且与推压部23的压板232在Y方向上隔开间隔相对。具体而言，第二方向定位部24以与推压部23的压板232在Y方向上隔着板状基座BS的贯穿孔相对的方式支承于板状基座BS的Z1方向侧。

此外，如图3B所示，主体部20还具有第一方向定位部26，该第一方向定位部26供搬运至搬运路径RT中的预设位置的托架10在X方向上抵接。具体而言，第一方向定位部26以在Y方向上隔开间隔的方式设置有一对，一对第一方向定位部26的一方设于推压部23的压板232的X方向上的端部，另一方设置于第二方向定位部24的X方向上的端部。

此外，如图2所示，主体部30在基板搬运口IN处设置有在Y方向上隔着托架10相对的一对引导部GD，一对引导部GD之间的距离越靠主体部20的内部越小。具体而言，一对引导部GD中的一方设于推压部23的压板232的X方向上的端部(与第一方向定位部26相反一侧的端部)，另一方设置于第二方向定位部24的X方向上的端部(与第一方向定位部26相反一侧的端部)。

此外，还可在主体部20设置对托架10进行检测的传感器(未图示)，以在传感器检测到托架10后再利用推压部23推压托架10。

(本实施方式的主要效果)

根据本实施方式的基板搬运装置，能在通过托架升降部22使由输送部21搬运至搬运路径RT中的预设位置的对基板进行定位的托架10离开输送部21后，利用推压部23朝Y方向将托架10推压至与第二方向定位部24抵接，因此，与托架10被输送部21搬运至搬运路径RT中的预设位置后直接由推压部23朝Y方向推压的情况相比，在确保经由托架10搬运的基板的定位精度同时，有助于抑制托架10的磨损，还有助于抑制输送部21的磨损。

上面结合附图对本实用新型进行了示例性描述，显然本实用新型的具体实现并不受上述实施方式的限制。

例如，在上述实施方式中，主体部20具有第一方向定位部26，但并不局限于此，根据情况，也可省略第一方向定位部26。

此外，在上述实施方式中，托架升降部22的支承部221具有由从Z2方向侧支承托架10且沿Y方向排列的多个滚轮构成的滚轮列，但并不局限于此，也可设置输送带等来代替滚轮列，甚至可以设置平板部来代替滚轮列。

此外，在上述实施方式中，托架10整体呈长方体状，但并不局限于此，托架10的形状也可根据需要适当变更。

应当理解，本实用新型在其范围内，能将实施方式中的各个部分自由组合，或是将实施方式中的各个部分适当变形、省略。

Claims (10)

1.一种基板搬运装置，其特征在于，

包括托架和主体部，

所述托架供基板载放并对基板进行定位，

所述主体部具有：

基板搬运口，该基板搬运口供所述托架进出；

搬运路径，该搬运路径供从所述基板搬运口进出的所述托架沿水平方向中的第一方向搬运；

输送部，该输送部沿所述第一方向搬运所述托架；

托架升降部，该托架升降部使搬运至所述搬运路径中的预设位置的所述托架在接触所述输送部的位置与离开所述输送部的位置之间升降；

推压部，该推压部朝向水平方向中的与所述第一方向正交的第二方向推压所述托架；以及

第二方向定位部，该第二方向定位部供由所述推压部推压来的所述托架在所述第二方向上抵接。

2.如权利要求1所述的基板搬运装置，其特征在于，

所述主体部还具有第一方向定位部，该第一方向定位部供搬运至所述预设位置的所述托架在所述第一方向上抵接。

3.如权利要求1所述的基板搬运装置，其特征在于，

所述托架升降部具有能升降的支承部，该支承部具有由从下侧支承所述托架且沿所述第二方向排列的多个滚轮构成的滚轮列。

4.如权利要求3所述的基板搬运装置，其特征在于，

所述滚轮列在所述第一方向上隔开间隔地设置有多个。

5.如权利要求1所述的基板搬运装置，其特征在于，

在所述推压部的与所述托架抵接的部位设置有缓冲件。

6.如权利要求1所述的基板搬运装置，其特征在于，

所述主体部在所述基板搬运口处设置有在所述第二方向上隔着所述托架相对的一对引导部，

所述一对引导部之间的距离越靠所述主体部的内部越小。

7.如权利要求1所述的基板搬运装置，其特征在于，

所述托架具有：

设有沿上下方向贯穿的开口的底座部；

固定于所述底座部并在所述预设位置被所述推压部朝向所述第二方向推压的框体；

固定于所述底座部和/或所述框体的侧板；

以位于所述开口的外侧的方式设置于所述侧板且供基板在所述第一方向和所述第二方向上抵接的限位部；

以位于所述开口的外侧且沿上下方向延伸的方式设置于所述底座部的立柱；以及

以角部被所述立柱贯穿的方式能上下移动地设置于所述底座部的上侧且供基板载放的支承板部，

所述主体部还具有支承板部升降部，该支承板部升降部从下方贯穿位于所述预设位置的所述托架的所述开口而与所述支承板部抵接，以使所述支承板部升降。

8.如权利要求7所述的基板搬运装置，其特征在于，

所述限位部包括第一限位部和第二限位部，

所述第一限位部以在所述第一方向上相对且能沿所述第一方向相对移动的方式设置有一对，以便从所述第一方向的两侧与基板抵接，

所述第二限位部以在所述第二方向上相对且能沿所述第二方向相对移动的方式设置有一对，以便从所述第二方向的两侧与基板抵接。

9.如权利要求1所述的基板搬运装置，其特征在于，

包括多个所述托架，

所述基板搬运口具有：供所述托架将待检测的基板搬入的基板搬入口；以及供所述托架将已检测的基板搬出的基板搬出口，

所述主体部还具有基板搬运部，该基板搬运部将待检测的基板从位于所述基板搬入口内的所述托架搬运至检测设备，并将已检测的基板从所述检测设备搬运至位于所述基板搬出口内的所述托架。

10.如权利要求9所述的基板搬运装置，其特征在于，

所述基板搬出口包括：

合格基板搬出口，所述基板搬运部将检测合格的基板从所述检测设备搬运至位于该合格基板搬出口内的所述托架；

复检基板搬出口，所述基板搬运部将需要复检的基板从所述检测设备搬运至位于该复检基板搬出口内的所述托架；以及

不合格基板搬出口，所述基板搬运部将检测不合格的基板从所述检测设备搬运至位于该不合格基板搬出口内的所述托架。