KR101866775B1 - 반송대차 이송 시스템 - Google Patents

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곽호민
이세호
박제영
김철만
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주식회사 에스에프에이
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Abstract

반송대차 이송 시스템이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 반송대차 이송 시스템은, 반송대차(vehicle)를 지상과 천장으로 업/다운(up/down) 구동시키는 반송대차 메인트 리프터(maint lifer for a vehicle); 반송대차 메인트 리프터와는 독립적으로 마련되며, 반송대차에 대한 메인터넌스(maintenance) 작업을 진행하는 반송대차 메인트 스테이션(maint station for a vehicle); 및 반송대차 메인트 리프터와 반송대차 메인트 스테이션 간을 이송 가능하게 마련되되 반송대차 메인트 리프터와 반송대차 메인트 스테이션의 정위치로 반송대차를 이송시키는 반송대차 이송용 카트(cart for a vehicle)를 포함한다.

Description

반송대차 이송 시스템{Vehicle transferring system}
본 발명은, 반송대차 이송 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 메인터넌스(maintenance, 유지보수) 작업을 위한 반송대차의 이송 중 충격 또는 틀어짐 오차가 발생되는 것을 저지할 수 있는 반송대차 이송 시스템에 관한 것이다.
반송대차(Vehicle)는 천장의 레일(Rail)을 따라 주행하면서 반송물을 원하는 위치로 반송한다. 반송대차가 반송하는 반송물은 기판 내지는 기판이 탑재된 카세트, 혹은 마스크 등을 비롯하여 다양할 수 있다.
이와 같은 역할을 수행하는 반송대차를 오래 사용하다 보면 부품을 교체하는 등 반송대차의 메인터넌스(maintenance, 유지보수) 작업이 필요한 경우가 발생된다.
이때는 반송대차 메인트 리프터(maint lifer for a vehicle)를 통해 천장 측의 반송대차를 지상으로 내리게 되며, 그 다음에는 지상으로 내려온 반송대차를 반송대차 메인트 스테이션(maint station for a vehicle)으로 이송시켜 메인터넌스 작업을 진행한다.
메인터넌스 작업이 완료되면 반송대차 메인트 스테이션 상의 반송대차를 다시 반송대차 메인트 리프터로 옮긴 후, 천장의 레일로 올리게 된다.
한편, 이와 같은 일련의 메인터넌스 작업 시 즉 반송대차 메인트 리프터 및 반송대차 메인트 스테이션 간을 이송해야 하는 반송대차는 충격을 받지 않아야 함은 물론 틀어짐 없이 이송되어야만 하며, 그래야만 메인터넌스 작업에 유리하다.
하지만, 현재까지는 이를 구현하기 위한 일련의 시스템, 즉 반송대차 이송 시스템이 갖춰져 있지 않기 때문에 반송대차의 이송 중 충격 또는 틀어짐 오차가 발생될 소지가 매우 높고, 이로 인해 메인터넌스 작업에 많은 어려움이 야기되면서 메인터넌스 작업시간이 증가할 수 있다는 점을 고려해볼 때, 이를 해결하기 위한 기술개발이 필요한 실정이다.
대한민국특허청 출원번호 제10-2008-0102906호
따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 메인터넌스 작업을 위한 반송대차의 이송 중 충격 또는 틀어짐 오차가 발생되는 것을 저지할 수 있으며, 이로 인해 메인터넌스 작업효율이 증가함은 물론 메인터넌스 작업시간을 현저하게 감소시킬 수 있는 반송대차 이송 시스템을 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 반송대차(vehicle)를 지상과 천장으로 업/다운(up/down) 구동시키는 반송대차 메인트 리프터(maint lifer for a vehicle); 상기 반송대차 메인트 리프터와는 독립적으로 마련되며, 상기 반송대차에 대한 메인터넌스(maintenance) 작업을 진행하는 반송대차 메인트 스테이션(maint station for a vehicle); 및 상기 반송대차 메인트 리프터와 상기 반송대차 메인트 스테이션 간을 이송 가능하게 마련되되 상기 반송대차 메인트 리프터와 상기 반송대차 메인트 스테이션의 정위치로 상기 반송대차를 이송시키는 반송대차 이송용 카트(cart for a vehicle)를 포함하는 것을 특징으로 하는 반송대차 이송 시스템이 제공될 수 있다.
상기 반송대차 이송용 카트는, 구름 이동이 가능한 다수의 휠을 구비하며, 상기 반송대차 메인트 리프터와 상기 반송대차 메인트 스테이션 내로 출입 가능한 카트 바디; 및 상기 카트 바디의 상부에 마련되며, 상기 반송대차가 로딩되는 반송대차 로딩부를 포함할 수 있다.
상기 반송대차 로딩부는 상기 카트 바디 상에서 상호 대칭되게 한 쌍으로 마련될 수 있으며, 한 쌍의 상기 반송대차 로딩부는 로딩 구동부에 의해 상호간 이격간격이 조절될 수 있다.
상기 반송대차 로딩부는, 상기 반송대차가 안착되면서 로딩되는 로딩 플레이트; 및 상기 로딩 플레이트에 교차되게 마련되고 상기 반송대차의 임의 이동을 구속시키는 사이드 플레이트를 포함할 수 있다.
상기 사이드 플레이트의 외벽에는 상기 반송대차 이송용 카트가 상기 반송대차 메인트 리프터와 상기 반송대차 메인트 스테이션 내로 인입될 때 가이드되는 가이드 레일이 형성될 수 있다.
상기 반송대차 이송용 카트는, 상기 카트 바디의 일측에 마련되며, 상기 반송대차 이송용 카트가 상기 반송대차 메인트 리프터와 상기 반송대차 메인트 스테이션 내로 인입될 때 가이드되는 다수의 가이드 롤러를 더 포함할 수 있다.
상기 반송대차 이송용 카트는, 상기 카트 바디의 일측에 마련되며, 상기 반송대차 로딩부 상에 로딩된 반송대차를 로킹(locking)시키는 로킹 유닛을 더 포함할 수 있다.
상기 반송대차 이송용 카트는, 상기 카트 바디의 일측에 마련되며, 상기 반송대차 이송용 카트가 상기 반송대차 메인트 리프터와 상기 반송대차 메인트 스테이션 내로 인입될 때 인입깊이를 제한하는 인입깊이 제한 스토퍼가 마련될 수 있다.
상기 반송대차 이송용 카트와 연결되어 상기 반송대차 이송용 카트를 전동으로 구동시키는 카트 전동기를 더 포함할 수 있다.
상기 반송대차 메인트 리프터는, 외관 구조물을 이루되 상기 반송대차가 출입되는 출입구에 상기 반송대차를 가이드하는 반송대차 가이드 롤러가 마련되는 리프터 바디; 상기 리프터 바디 내에 마련되되 상기 반송대차를 업/다운(up/down) 구동시키는 업/다운 구동부; 및 상기 리프터 바디의 일측에 마련되되 상기 리프터 바디의 출입구를 개폐하는 셔터를 포함할 수 있다.
상기 셔터는 제1 및 제2 셔터를 포함할 수 있으며, 상기 반송대차 메인트 리프터는, 상기 제1 및 제2 셔터 모두를 업/다운(up/down) 동작시키기 위한 동력을 공용으로 제공하되 상기 제1 셔터와 연결되는 공용 동력 제공부; 및 상기 제1 및 제2 셔터에 연결되며, 상기 공용 동력 제공부를 통해 상기 제1 셔터가 업/다운 동작될 때, 상기 제1 셔터의 업/다운 동작에 연동되어 상기 제2 셔터가 함께 업/다운 동작되도록 유도하는 연동 동작 유도부를 포함할 수 있다.
상기 반송대차 메인트 스테이션은, 상기 반송대차 이송용 카트가 출입되는 공간이 내부에 형성되는 스테이션 본체부; 및 상기 스테이션 본체부의 출입구 영역에 착탈 가능하게 마련되며, 상기 반송대차 이송용 카트가 상기 스테이션 본체부 내의 정위치에 배치된 상태의 기준을 형성하는 정위치 기준유닛을 포함할 수 있다.
상기 정위치 기준유닛은, 상기 스테이션 본체부의 출입구 영역을 가로지르게 배치되는 정위치 기준바; 상기 정위치 기준바에 마련되는 핸들링(handling)을 위한 손잡이; 및 상기 정위치 기준바의 양단부에 마련되고 상기 스테이션 본체부에 마련되는 포켓(pocket)에 착탈 가능하게 결합되는 착탈 결합부를 포함할 수 있다.
상기 정위치 기준유닛은, 상기 스테이션 본체부에 마련되되 상기 반송대차 이송용 카트의 위치를 고정시키는 핀 고정부를 더 포함할 수 있다.
상기 반송대차 메인트 스테이션은, 상기 스테이션 본체부의 내측에 상호 대칭되게 배치되며, 상기 반송대차 이송용 카트가 가이드되는 가이드 레일을 더 포함할 수 있다.
상기 반송대차 메인트 스테이션은, 상기 스테이션 본체부에 마련되며, 상기 반송대차가 안착되는 반송대차 안착부를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따르면, 메인터넌스 작업을 위한 반송대차의 이송 중 충격 또는 틀어짐 오차가 발생되는 것을 저지할 수 있으며, 이로 인해 메인터넌스 작업효율이 증가함은 물론 메인터넌스 작업시간을 현저하게 감소시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반송대차 이송 시스템의 구성도이다.
도 2는 도 1의 시스템에 적용되는 반송대차 이송용 카트의 사시도이다.
도 3은 반송대차 이송용 카트가 반송대차 메인트 리프터에 진입된 상태의 요부 정면도이다.
도 4는 반송대차 이송용 카트가 반송대차 메인트 리프터에 진입된 상태의 요부 측면도이다.
도 5는 반송대차 메인트 리프터의 요부 확대도이다.
도 6은 도 5의 A 영역의 사시도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 반송대차 이송 시스템에 적용되는 반송대차의 구조도이다.
도 8은 도 1의 반송대차 이송 시스템에 적용되는 반송대차 메인트 스테이션의 사시도이다.
도 9 는 도 8의 A 영역에 대한 확대도이다.
도 10은 도 8의 정위치 기준유닛에 대한 확대도이다.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부도면 및 첨부도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반송대차 이송 시스템의 구성도이고, 도 2는 도 1의 시스템에 적용되는 반송대차 이송용 카트의 사시도이며, 도 3은 반송대차 이송용 카트가 반송대차 메인트 리프터에 진입된 상태의 요부 정면도이고, 도 4는 반송대차 이송용 카트가 반송대차 메인트 리프터에 진입된 상태의 요부 측면도이며, 도 5는 반송대차 메인트 리프터의 요부 확대도이고, 도 6은 도 5의 A 영역의 사시도이며, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 반송대차 이송 시스템에 적용되는 반송대차의 구조도이고, 도 8은 도 1의 반송대차 이송 시스템에 적용되는 반송대차 메인트 스테이션의 사시도이며, 도 9 는 도 8의 A 영역에 대한 확대도이고, 도 10은 도 8의 정위치 기준유닛에 대한 확대도이다.
이들 도면을 참조하되 우선 도 1을 참조하면, 본 실시예에 따른 반송대차 이송 시스템은 메인터넌스(maintenance, 유지보수) 작업을 위한 반송대차(400)의 이송 중 충격 또는 틀어짐 오차가 발생되는 것을 저지할 수 있으며, 이로 인해 메인터넌스 작업효율이 증가함은 물론 메인터넌스 작업시간을 현저하게 감소시킬 수 있도록 한 시스템으로서, 반송대차 메인트 리프터(500, maint lifer for a vehicle)와, 반송대차 메인트 스테이션(100, maint station for a vehicle)과, 반송대차 이송용 카트(600, cart for a vehicle)를 포함할 수 있다.
반송대차 메인트 리프터(500)는 반송대차(400, vehicle)를 지상과 천장으로 업/다운(up/down) 구동시키는 역할을 한다.
반송대차 메인트 스테이션(100)은 반송대차 메인트 리프터(500)와는 독립적으로 마련되는 장비로서, 반송대차(400)에 대한 실질적인 메인터넌스(maintenance) 작업을 진행하는 장소를 이룬다.
그리고 반송대차 이송용 카트(600)는 반송대차 메인트 리프터(500)와 반송대차 메인트 스테이션(100) 간을 이송 가능하게 마련되는 장치이다.
특히, 본 실시예에 적용되는 반송대차 이송용 카트(600)는 구조적인 특징에 의해 반송대차 메인트 리프터(500)와 반송대차 메인트 스테이션(100)의 정위치로 반송대차(400)를 이송시킨다. 따라서 반송대차(400)의 이송 중 충격 또는 틀어짐 오차가 발생되는 것을 저지할 수 있다.
이하, 설명의 편의를 위해 반송대차 이송용 카트(600), 반송대차 메인트 리프터(500) 및 반송대차 메인트 스테이션(100)의 순서로 본 시스템을 설명하도록 한다.
도 1 내지 도 4를 먼저 참조하면, 반송대차 이송용 카트(600)는 반송대차 메인트 리프터(500)와 반송대차 메인트 스테이션(100) 간을 이송 가능하게 마련되는 장치로서, 특히 반송대차 메인트 리프터(500)와 반송대차 메인트 스테이션(100)의 정위치로 반송대차(400)를 이송시키는 역할을 한다.
반송대차 이송용 카트(600)는 카트 바디(610)와, 카트 바디(610)의 상부에 마련되며, 반송대차(400)가 로딩되는 반송대차 로딩부(620)를 포함할 수 있다.
카트 바디(610)는 반송대차 이송용 카트(600)의 중심 구조물로서, 그 하부에는 구름 이동이 가능한 다수의 휠(611)이 마련된다. 따라서 카트 바디(610)는 휠(611)들의 작용으로 반송대차 메인트 리프터(500)와 반송대차 메인트 스테이션(100) 내로 출입될 수 있다.
카트 바디(610)의 일측에는 인입깊이 제한 스토퍼(654)가 돌출되게 마련된다. 인입깊이 제한 스토퍼(654)는 카트 바디(610)의 일단부에서 상호 이격되게 한 쌍으로 적용될 수 있다.
이러한 인입깊이 제한 스토퍼(654)는 반송대차 이송용 카트(600)가 반송대차 메인트 리프터(500)와 반송대차 메인트 스테이션(100) 내로 인입될 때 그 인입깊이를 제한하는 역할을 한다.
반송대차 로딩부(620)는 카트 바디(610)의 상부에 마련되는 구조물로서, 실질적으로 거대 구조물인 반송대차(400)가 반송대차 로딩부(620) 상에 안착되면서 로딩될 수 있다.
본 실시예의 경우, 반송대차 로딩부(620)는 카트 바디(610) 상에서 상호 대칭되게 한 쌍으로 마련된다. 그리고 한 쌍의 반송대차 로딩부(620)는 로딩 구동부(640)에 의해 상호간 이격간격이 조절된다. 이처럼 한 쌍의 반송대차 로딩부(620) 간의 이격간격이 조절되면 본 실시예에 따른 반송대차 이송용 카트(600)를 사이즈가 다른 반송대차 모두에 공용으로 적용할 수 있는 이점이 있다.
도 2를 주로 참조하면, 본 실시예에서 반송대차 로딩부(620)는 반송대차(400)가 안착되면서 로딩되는 로딩 플레이트(621)와, 로딩 플레이트(621)에 교차되게 마련되고 반송대차(400)의 임의 이동을 구속시키는 사이드 플레이트(622)를 포함할 수 있다. 사이드 플레이트(622)가 벽체 역할을 하기 때문에 로딩 플레이트(621)에 로딩된 반송대차(400)의 임의 이동이 저지될 수 있다.
사이드 플레이트(622)의 외벽에는 반송대차 이송용 카트(600)가 반송대차 메인트 리프터(500)와 반송대차 메인트 스테이션(100) 내로 인입될 때 가이드되는 가이드 레일(623)이 형성된다. 따라서 반송대차 이송용 카트(600)는 충격 또는 틀어짐 오차가 발생되지 않고 정위치로 반송대차(400)를 이송시킬 수 있다.
반송대차 이송용 카트(600)에는 다수의 가이드 롤러(650)가 마련된다. 다수의 가이드 롤러(650)는 카트 바디(610)의 일측에 마련되되 반송대차 이송용 카트(600)가 반송대차 메인트 리프터(500)와 반송대차 메인트 스테이션(100) 내로 인입될 때 가이드된다. 다수의 가이드 롤러(650)는 카트 바디(610)의 사이드 벽체에 이격 간격을 두고 다수 개가 적용될 수 있다.
반송대차 이송용 카트(600)에는 로킹 유닛(652)이 더 적용된다. 로킹 유닛(652)은 카트 바디(610)의 일측에 마련되되 반송대차 로딩부(620) 상에 로딩된 반송대차(400)를 로킹(locking)시키는 역할을 한다. 로킹 유닛(652)은 카트 바디(610)의 일측에 다수 개로 적용될 수 있다. 도면에는 로킹 유닛(652)이 개략적으로 도시되어 있으나 로킹 유닛(652)은 승하강 혹은 회전이 가능한 구조로 적용될 수도 있다.
한편, 이와 같은 반송대차 이송용 카트(600)는 단독으로 사용될 수도 있고 혹은 도 1 및 도 2처럼 카트 전동기(700)에 연결되어 사용될 수도 있다. 카트 전동기(700)는 전동수단이 갖춰진 전동기 본체(710)와, 손잡이(720)를 포함할 수 있는데, 이와 같은 카트 전동기(700)가 사용되면 반송대차 이송용 카트(600)의 핸들링이 용이해질 수 있다.
다음으로, 본 실시예에 따른 반송대차 이송 시스템에 적용되는 반송대차 메인트 리프터(500, maint lifer for a vehicle)에 대해 알아본다.
도 1, 그리고 도 3 내지 도 6을 참조하면, 반송대차 메인트 리프터(500)는 반송대차(400)를 지상과 천장으로 업/다운(up/down) 구동시키는 역할을 한다. 즉 천장의 레일을 따라 주행되면서 반송물을 반송시키는 반송대차(400)에 대한 유지보수, 즉 메인터넌스(maintenance) 작업 시 천장의 반송대차(400)가 지상으로 내려와야 하는데, 이때 메인트 리프터(500)를 이용할 수 있다.
이러한 메인트 리프터(500)는 외관 구조물을 이루되 반송대차(400)가 출입되는 출입구를 구비하는 리프터 바디(501)와, 리프터 바디(501) 내에 마련되되 반송대차(400)를 업/다운(up/down) 구동시키는 업/다운 구동부(503)와, 리프터 바디(501)의 일측에 마련되되 리프터 바디(501)의 출입구를 개폐하는 셔터(510,520)를 포함할 수 있다.
도 3 및 도 4에 도시된 것처럼 리프터 바디(501)의 출입구 영역에는 출입되는 반송대차(400)의 가이드를 위한 반송대차 가이드 롤러(505)가 마련된다. 반송대차 가이드 롤러(505)는 출입구의 양측 또한 전후방에 다수 개 마련될 수 있다. 이와 같은 반송대차 가이드 롤러(505)의 작용으로 반송대차(400)의 출입이 유연해질 수 있다.
업/다운 구동부(503)는 도 1에 개략적으로 도시하였는데, 이와 같은 업/다운 구동부(503)은 모터와 볼 스크루의 조합이나 실린더 장치에 의해 반송대차(400)를 업/다운시키는 구조일 수 있으므로 자세한 설명은 생략한다.
한편, 셔터(510,520)는 도 5 및 도 6처럼 반송대차(400)의 유지보수를 위해 반송대차(400)가 출입되는 리프터 바디(501)의 출입구 영역에 배치되는 구조물이다. 본 실시예의 경우, 2개의 제1 및 제2 셔터(510,520)가 적용된다.
제1 및 제2 셔터(510,520)는 반송대차(400)가 리프터 바디(501) 내에 진입할 때는 오픈(open)되고 반송대차(400)가 리프터 바디(501) 내에 진입한 후에는 클로즈(close)될 수 있다. 이처럼 제1 및 제2 셔터(510,520)가 구동되기 위해, 반송대차 메인트 리프터(500)에는 공용 동력 제공부(530)와 연동 동작 유도부(540)가 마련될 수 있다.
공용 동력 제공부(530)는 제1 및 제2 셔터(510,520) 모두를 업/다운(up/down) 동작시키기 위한 동력을 공용으로 제공하되 제1 셔터(510)와 연결된다. 그리고 연동 동작 유도부(540)는 제1 및 제2 셔터(510,520)에 연결되며, 공용 동력 제공부(530)를 통해 제1 셔터(510)가 업/다운 동작될 때, 제1 셔터(510)의 업/다운 동작에 연동되어 제2 셔터(520)가 함께 업/다운 동작되도록 유도하는 역할을 한다.
반드시 그러할 필요는 없지만 본 실시예처럼 공용 동력 제공부(530)와 연동 동작 유도부(540)가 마련될 경우, 최소한의 동력을 적용한 콤팩트한 구조를 통해 제1 및 제2 셔터(510,520)들의 업/다운(up/down) 동작을 이끌어낼 수 있어 동력 손실을 줄이면서도 원활한 동기 제어를 구현할 수 있으며, 또한 유기적인 메커니즘으로 인해 제1 및 제2 셔터(510,520)들의 업/다운 동작이 부드럽고 안정적으로 이루어져 소음과 진동을 감소시킬 수 있다.
주로 도 5 및 도 6을 참조하여 반송대차 메인트 리프터(500)의 구조를 살펴본다. 본 실시예에서 제1 및 제2 셔터(510,520)는 모두가 봉 형상의 구조로 제작되며, 제1 및 제2 셔터 브래킷(510a,520a)에 의해 공용 레일(550) 상에서 이동 가능한 제1 및 제2 레일 블록(551,552)에 연결된다.
본 실시예에서 공용 동력 제공부(530)는 실린더(530)로 적용된다. 즉 공용 동력 제공부(530)는 실린더 본체(531)와, 실린더 본체(531)의 단부에서 길이 연장 또는 축소되는 실린더 로드(532)를 구비하는 실린더(530)로 공용 동력 제공부(530)가 적용될 수 있다. 공용 동력 제공부(530)로서의 실린더(530)가 제1 레일 블록(551)과 연결되기 위해 블록 연결 브래킷(535)과, 플로팅 조인트(537)가 마련된다.
연동 동작 유도부(540)는 제1 및 제2 셔터(510,520)에 연결되는 구조물로서, 공용 동력 제공부(530)를 통해 제1 셔터(510)가 업/다운 동작될 때, 제1 셔터(510)의 업/다운 동작에 연동되어 제2 셔터(520)가 함께 업/다운 동작되도록 유도하는 역할을 한다. 이러한 연동 동작 유도부(540)는 일단부가 제2 셔터(520)에 연결되고 타단부가 제1 셔터(510)에 배치되되 내부에 길이 방향으로 장공(542)이 형성되는 연동 가이드(541)와, 제1 셔터(510)에 연결되며, 장공(542)에 결합되어 장공(542)의 궤적을 따라 이동되면서 가이드되는 가이드 롤러(543)를 포함할 수 있다.
가이드 롤러(543)는 장공(542)에서 회전되는 무동력 자유회전 롤러이다. 가이드 롤러(543)의 적용을 위해 제1 셔터(510)에는 제1 셔터 연결부(544)가 연결된다. 제1 셔터 연결부(544)는 제1 셔터(510)를 감싸는 형태로 제1 셔터(510)에 연결되며, 일측에서 가이드 롤러(543)가 결합되는 장소를 형성한다.
제1 셔터 연결부(544)와 대응되게 제2 셔터(520) 측에는 제2 셔터 연결부(546)가 마련된다. 제2 셔터 연결부(546) 역시, 제2 셔터(520)를 감싸는 형태로 제2 셔터(520)에 연결되며, 일측에서 연동 가이드(541)가 결합되는 장소를 형성한다. 제1 셔터 연결부(544)와 제2 셔터 연결부(546)의 마주보는 벽면에는 제1 및 제2 셔터(510,520)의 업/다운 동작 시 상기 제1 및 제2 셔터(510,520)가 충돌되지 않게 완충시키는 제1 및 제2 완충패드(545,547)가 결합된다.
공용 레일(550)은 제1 및 제2 셔터(510,520)가 배치되는 리프터 바디(501)의 벽체에 마련되며, 제1 및 제2 셔터(510,520)가 업/다운 동작되는 라인을 이룬다. 그리고 제1 레일 블록(551)은 공용 레일(550)에 이동 가능하게 레일 맞물림 결합되되 제1 셔터(510)와 제1 셔터 브래킷(510a)으로 연결되며, 제2 레일 블록(552) 역시 공용 레일(550)에 이동 가능하게 레일 맞물림 결합되되 제2 셔터(520)와 제2 셔터 브래킷(520a)으로 연결된다.
제1 및 제2 셔터(510,520)의 주변에는 제1 및 제2 스토퍼(561,562)가 마련되어 제1 및 제2 셔터(510,520)가 임의로 낙하되는 것을 저지시킨다. 제1 및 제2 스토퍼(561,562)의 단부에는 실질적으로 제1 및 제2 셔터(510,520)에 지지되는 완충재질의 제1 및 제2 완충부재(561a,562a)가 결합될 수 있다.
이러한 구성을 갖는 반송대차 메인트 리프터(500)의 작용을 살펴본다.
반송대차(400)를 유지보수하기 위해 반송대차(400)를 리프터 바디(501) 내로 진입시키고자 할 때는 우선, 제1 및 제2 셔터(510,520)가 오픈(open) 상태가 되도록 공용 동력 제공부(530)가 동작된다.
공용 동력 제공부(530)가 동작되면 제1 셔터(510)가 제2 셔터(520)로 1차 업(up) 동작된다. 다시 말해, 공용 동력 제공부(530)가 제1 셔터(510)를 1차로 업(up) 동작시키면 이때는 제1 셔터(510)만 업(up) 동작되면서 제1 셔터(510)가 제2 셔터(520)에 근접될 수 있다. 이때는 가이드 롤러(543)가 장공(542)의 궤적을 따라 상승되면서 제1 셔터(510)의 안정적인 업(up) 동작을 이끌어낼 수 있다.
그러 다음, 계속되는 공용 동력 제공부(530)의 동작에 의해 제1 및 제2 셔터(510,520)가 함께 2차 업(up) 동작되어 완전히 출입구가 오픈(open) 상태가 되도록 하며, 이 상태에서 반송대차(400)가 리프터 바디(501) 내로 진입된다. 반송대차(400)가 리프터 바디(501) 내로 진입된 후에는 전술한 역순으로 동작되어 제1 및 제2 셔터(510,520)의 클로즈(close) 상태로 유지됨으로써 안전사고를 방지한다.
마지막으로, 본 실시예에 따른 반송대차 이송 시스템에 적용되는 반송대차 메인트 스테이션(100, maint station for a vehicle)에 대해 알아본다.
마지막으로, 본 실시예에 따른 반송대차 이송 시스템에 적용되는 반송대차 메인트 스테이션(100, maint station for a vehicle)에 대해 알아본다.
반송대차 메인트 스테이션(100)의 설명에 앞서 도 7을 참조하여 반송대차(400)의 구체적인 구조를 알아본다. 도 7을 먼저 참조하면 반송대차(400)는 반송물을 반송시키기 위한 것으로서 마스크 타입(Mask type) 반송대차 또는 글라스 타입(Glass Type) 반송대차 등으로 구별될 수 있다. 반송대차(400)는 기판 등의 반송물이 인입 후 안착되는 대차본체(420)와, 대차본체(420)에 결합되어 주행 레일을 따라 구동하는 구동용 휠(미도시)을 포함할 수 있다.
반송대차(400)에는 작업의 편의를 위해 사용자가 외관으로 반송대차(400)의 센터를 알 수 있도록 센터 플레이트(430)가 설치된다. 센터 플레이트(430)는 반송대차(400)의 가로방향을 기준(도 7의 화살표 P 참조)으로 반송대차(400)의 하측에서 가로방향의 중심부에 설치될 수 있다. 그리고 반송대차(400)가 주행 레일을 따라 주행할 때, 정확한 위치를 따라 이동하거나 정확한 지점에서 회전하기 위하여 반송대차(400)에는 주행 레일을 센싱하는 센서모듈(440)이 설치될 수 있다. 반송대차(400)에 설치되는 이러한 센터 플레이트(430)와 센서모듈(440)은 정확한 위치 또는 방향을 가지도록 조절될 수 있다.
도 1, 그리고 도 8 내지 도 10을 참조하면, 반송대차 메인트 스테이션(100)은 반송대차(400)에 대한 메인터넌스(maintenance) 작업을 진행하는 장소를 이룬다. 이러한 반송대차 메인트 스테이션(100)은 스테이션 본체부(110)와, 반송대차 이송용 카트(600)가 스테이션 본체부(110) 내의 정위치에 배치된 상태의 기준을 형성하는 정위치 기준유닛(130)을 포함할 수 있다.
스테이션 본체부(110)는 반송대차 메인트 스테이션(100)의 외관 구조물이다. 이러한 스테이션 본체부(110)에는 반송대차 이송용 카트(600)가 출입되는 공간(S, 도 10 참조)이 내부에 형성된다.
스테이션 본체부(110)에는 가이드 레일(120)이 마련된다. 가이드 레일(120)은 스테이션 본체부(110) 내에서 상호 대칭되게 배치되되 반송대차 이송용 카트(600), 특히 반송대차 이송용 카트(600)의 가이드 롤러(650)가 가이드되는 장소를 이룬다.
한편, 본 실시예에 따른 반송대차 메인트 스테이션(100)에는 마스크 타입 반송대차와 글라스 타입 반송대차, 혹은 이들과 다른 반송대차라 하더라도 하나의 장소에서 부품 세팅작업이 진행되도록 하기 위한 수단으로서 세팅용 공용 지그(200)가 마련될 수 있다.
물론, 세팅용 공용 지그(200)가 반드시 적용되어야 하는 것은 아니지만 세팅용 공용 지그(200)가 적용되면 종류가 서로 다른 마스크 타입(Mask type) 반송대차 또는 글라스 타입(Glass Type) 반송대차에 대한 부품 세팅작업을 위해 반송대차들이 안착되어 메인터넌스 작업될 수 있다.
세팅용 공용 지그(200)는 세팅용 공용 지그(200)를 지지하는 서포팅 프레임(210)과, 서포팅 프레임(210)의 상부에 결합되며, 반송대차(400)에 대한 높이를 조절하는 높이 조절용 프레임(212)과, 높이 조절용 프레임(212)에 연결되어 높이 조절용 프레임(212)을 보강하는 보강 프레임(214)을 포함할 수 있다. 높이 조절용 프레임(212)에 서로 다른 안착위치(216,217)가 마련되어 종류별 반송대차가 안착되게 할 수 있다.
반송대차 메인트 스테이션(100)의 스테이션 본체부(110)에는 도 7의 반송대차(400)가 안착되는 반송대차 안착부(220)가 마련될 수 있다.
반송대차 안착부(220)는 반송대차 메인트 스테이션(100)의 중앙 영역에서 상호간 이격되게 한 쌍으로 배치되며, 해당 위치에서 반송대차, 예컨대 마스크 타입 반송대차 또는 글라스 타입 반송대차가 안착되도록 한다.
이와 같은 반송대차 안착부(220)에 반송대차(400)가 안착될 때, 정위치로 안착되지 못하고 일측으로 틀어지게 되면 효율적인 부품 세팅작업, 즉 메인터넌스 작업을 진행할 수 없다. 따라서 반송대차(400)가 반송대차 안착부(220)에 안착될 때는 틀어지지 않고 정위치에 안착되도록 해야 한다. 이를 위해, 얼라인 조절부(330)가 마련된다.
얼라인 조절부(330)는 반송대차 안착부(220) 상에서 돌출되게 마련되며, 마스크 타입 반송대차 또는 글라스 타입 반송대차의 밑면, 예컨대 도 7의 반송대차(400)의 밑면에 형성되는 얼라인홀(410)에 삽입되는 돌출형 얼라인부재(341,342)를 포함한다.
본 실시예에서 돌출형 얼라인부재(341,342)는 다수 개일 수 있다. 즉 하나는 마스크 타입 반송대차의 얼라인을 위한 제1 돌출형 얼라인부재(341)일 수 있고, 다른 하나는 글라스 타입 반송대차의 얼라인을 위한 제2 돌출형 얼라인부재(342)일 수 있다. 물론, 도면과 달리 하나의 돌출형 얼라인부재만 적용되더라도 무방하다. 돌출형 얼라인부재(341,342)에는 선단부로 갈수록 단면적이 점진적으로 좁아지게 테이퍼부(341a,342a)가 형성된다. 따라서 도 7의 반송대차(400)의 밑면에 형성되는 얼라인홀(410)이 돌출형 얼라인부재(341,342)에 끼워지기가 쉽다.
본 실시예에서 제1 및 제2 돌출형 얼라인부재(341,342)는 지지플레이트(352)에 의해 일체로 지지된다. 또한 지지플레이트(352)는 업/다운 구동부(354)에 의해 업/다운(up/down) 구동된다. 업/다운 구동부(354)의 주변에는 돌출형 얼라인부재(341,342)에 가해지는 하중을 지지하는 하중 지지부(356)가 마련된다. 하중 지지부(356)는 큰 하중이 돌출형 얼라인부재(341,342)에 가해져 돌출형 얼라인부재(341,342)가 파손되는 것을 저지시킨다.
본 실시예에 따른 반송대차 메인트 스테이션(100)에는 반송대차(400)에 마련되는 센터 플레이트(430) 및 센서모듈(440)과의 상호작용을 위한 센터 플레이트용 위치방향 조절지그(230)와, 센서모듈용 위치방향 조절지그(240)가 마련된다.
센터 플레이트용 위치방향 조절지그(230)는 반송대차(400, 도 7 참조)와의 상호작용에 의해 반송대차의 센터 플레이트(430)에 대한 위치 또는 방향을 조절하는 역할을 하고, 센서모듈용 위치방향 조절지그(240)는 반송대차(400)와의 상호작용에 의해 반송대차(400)의 센서모듈(440)에 대한 위치 또는 방향을 조절하는 역할을 한다.
한편, 도 8 및 도 10에 자세히 도시된 바와 같이, 정위치 기준유닛(130)은 스테이션 본체부(110)의 출입구 영역에 착탈 가능하게 마련되며, 반송대차 이송용 카트(600)가 스테이션 본체부(110) 내의 정위치에 배치된 상태의 기준을 형성한다.
이러한 정위치 기준유닛(130)은 스테이션 본체부(110)의 출입구 영역을 가로지르게 배치되는 정위치 기준바(131)와, 정위치 기준바(131)에 마련되되 핸들링(handling)을 위한 손잡이(132)와, 정위치 기준바(131)의 양단부에 마련되고 스테이션 본체부(110)에 마련되는 포켓(115, pocket)에 착탈 가능하게 결합되는 착탈 결합부(133)를 포함할 수 있다.
이처럼 정위치 기준바(131)가 해당 위치에 착탈될 수 있기 때문에 정위치 기준바(131)를 열고, 반송대차 메인트 스테이션(100)에 반송대차 이송용 카트(600)를 넣은 후, 다시 정위치 기준바(131)를 닫고, 반송대차(400)의 로딩작업을 진행할 수 있다. 그러면 반송대차(400)의 정위치가 틀어지는 것을 방지할 수 있다.
본 실시예에 따른 정위치 기준유닛(130)에는 핀 고정부(140)가 마련된다. 핀 고정부(140)는 반송대차 메인트 스테이션(100)에 반송대차 이송용 카트(600)가 배치된 때, 반송대차 이송용 카트(600)를 위치를 고정시키는 역할을 한다. 반송대차 이송용 카트(600)를 고정시켜야 반송대차(400)의 로딩작업을 원활하게 진행할 수 있다. 핀 고정부(140)는 반송대차 이송용 카트(600) 또는 스테이션 본체부(110) 측에 걸릴 수 있는 체인핀(141)을 포함할 수 있다.
이상 설명한 바와 같이, 반송대차(400)에 대한 정비, 즉 메인터넌스 작업이 필요한 경우에는 반송대차 메인트 리프터(500)를 통해 천장의 반송대차(400)를 지상으로 내린 후, 반송대차 이송용 카트(600)로 반송대차(400)를 반송대차 메인트 스테이션(100)에 넣어 메인터넌스 작업을 진행하게 되며, 메인터넌스 작업이 완료되면 다시 반송대차(400)를 메인트 스테이션(100)에서 반송대차 메인트 리프터(500)로 옮긴 후, 천장의 레일로 업(up) 동작시키면 된다.
이때, 반송대차 메인트 리프터(500) 및 반송대차 메인트 스테이션(100)에는 반송대차 이송용 카트(600)의 이송을 안내하거나 배치 기준을 형성하는 부재들이 구비되어 있기 때문에 반송대차(400)의 이송 중 충격 또는 틀어짐 오차가 발생되는 것을 저지할 수 있다.
이상 설명한 바와 같은 구조와 작용을 갖는 본 실시예에 따르면, 메인터넌스 작업을 위한 반송대차(400)의 이송 중 충격 또는 틀어짐 오차가 발생되는 것을 저지할 수 있으며, 이로 인해 메인터넌스 작업효율이 증가함은 물론 메인터넌스 작업시간을 현저하게 감소시킬 수 있게 된다.
이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
100 : 반송대차 메인트 스테이션 110 : 스테이션 본체부
120 : 가이드 레일 130 : 정위치 기준유닛
200 : 세팅용 공용 지그 400 : 반송대차
500 : 반송대차 메인트 리프터 501 : 리프터 바디
503 : 업/다운 구동부 505 : 반송대차 가이드 롤러
510,520 : 셔터 600 : 반송대차 이송용 카트
610 : 카트 바디 611 : 휠
620 : 반송대차 로딩부 621 : 로딩 플레이트
622 : 사이드 플레이트 623 : 가이드 레일
640 : 로딩 구동부 650 : 가이드 롤러
652 : 로킹 유닛 654 : 인입깊이 제한 스토퍼
700 : 카트 전동기

Claims (16)

  1. 반송대차(vehicle)를 지상과 천장으로 업/다운(up/down) 구동시키는 반송대차 메인트 리프터(maint lifer for a vehicle);
    상기 반송대차 메인트 리프터와는 독립적으로 마련되며, 상기 반송대차에 대한 메인터넌스(maintenance) 작업을 진행하는 반송대차 메인트 스테이션(maint station for a vehicle); 및
    상기 반송대차 메인트 리프터와 상기 반송대차 메인트 스테이션 간을 이송 가능하게 마련되되 상기 반송대차 메인트 리프터와 상기 반송대차 메인트 스테이션의 정위치로 상기 반송대차를 이송시키는 반송대차 이송용 카트(cart for a vehicle)를 포함하며,
    상기 반송대차 이송용 카트는,
    구름 이동이 가능한 다수의 휠을 구비하며, 상기 반송대차 메인트 리프터와 상기 반송대차 메인트 스테이션 내로 출입 가능한 카트 바디; 및
    상기 카트 바디의 상부에 마련되며, 상기 반송대차가 로딩되는 반송대차 로딩부를 포함하며,
    상기 반송대차 로딩부는 상기 카트 바디 상에서 상호 대칭되게 한 쌍으로 마련되되 한 쌍의 상기 반송대차 로딩부는 로딩 구동부에 의해 상호간 이격간격이 조절되는 것을 특징으로 하는 반송대차 이송 시스템.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 반송대차 로딩부는,
    상기 반송대차가 안착되면서 로딩되는 로딩 플레이트; 및
    상기 로딩 플레이트에 교차되게 마련되고 상기 반송대차의 임의 이동을 구속시키는 사이드 플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 반송대차 이송 시스템.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 사이드 플레이트의 외벽에는 상기 반송대차 이송용 카트가 상기 반송대차 메인트 리프터와 상기 반송대차 메인트 스테이션 내로 인입될 때 가이드되는 가이드 레일이 형성되는 것을 특징으로 하는 반송대차 이송 시스템.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 반송대차 이송용 카트는,
    상기 카트 바디의 일측에 마련되며, 상기 반송대차 이송용 카트가 상기 반송대차 메인트 리프터와 상기 반송대차 메인트 스테이션 내로 인입될 때 가이드되는 다수의 가이드 롤러를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반송대차 이송 시스템.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 반송대차 이송용 카트는,
    상기 카트 바디의 일측에 마련되며, 상기 반송대차 로딩부 상에 로딩된 반송대차를 로킹(locking)시키는 로킹 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반송대차 이송 시스템.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 반송대차 이송용 카트는,
    상기 카트 바디의 일측에 마련되며, 상기 반송대차 이송용 카트가 상기 반송대차 메인트 리프터와 상기 반송대차 메인트 스테이션 내로 인입될 때 인입깊이를 제한하는 인입깊이 제한 스토퍼가 마련되는 것을 특징으로 하는 반송대차 이송 시스템.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 반송대차 이송용 카트와 연결되어 상기 반송대차 이송용 카트를 전동으로 구동시키는 카트 전동기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반송대차 이송 시스템.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 반송대차 메인트 리프터는,
    외관 구조물을 이루되 상기 반송대차가 출입되는 출입구에 상기 반송대차를 가이드하는 반송대차 가이드 롤러가 마련되는 리프터 바디;
    상기 리프터 바디 내에 마련되되 상기 반송대차를 업/다운(up/down) 구동시키는 업/다운 구동부; 및
    상기 리프터 바디의 일측에 마련되되 상기 리프터 바디의 출입구를 개폐하는 셔터를 포함하는 것을 특징으로 하는 반송대차 이송 시스템.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 셔터는 제1 및 제2 셔터를 포함하며,
    상기 반송대차 메인트 리프터는,
    상기 제1 및 제2 셔터 모두를 업/다운(up/down) 동작시키기 위한 동력을 공용으로 제공하되 상기 제1 셔터와 연결되는 공용 동력 제공부; 및
    상기 제1 및 제2 셔터에 연결되며, 상기 공용 동력 제공부를 통해 상기 제1 셔터가 업/다운 동작될 때, 상기 제1 셔터의 업/다운 동작에 연동되어 상기 제2 셔터가 함께 업/다운 동작되도록 유도하는 연동 동작 유도부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반송대차 이송 시스템.
  12. 제1항에 있어서,
    상기 반송대차 메인트 스테이션은,
    상기 반송대차 이송용 카트가 출입되는 공간이 내부에 형성되는 스테이션 본체부; 및
    상기 스테이션 본체부의 출입구 영역에 착탈 가능하게 마련되며, 상기 반송대차 이송용 카트가 상기 스테이션 본체부 내의 정위치에 배치된 상태의 기준을 형성하는 정위치 기준유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 반송대차 이송 시스템.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 정위치 기준유닛은,
    상기 스테이션 본체부의 출입구 영역을 가로지르게 배치되는 정위치 기준바;
    상기 정위치 기준바에 마련되는 핸들링(handling)을 위한 손잡이; 및
    상기 정위치 기준바의 양단부에 마련되고 상기 스테이션 본체부에 마련되는 포켓(pocket)에 착탈 가능하게 결합되는 착탈 결합부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반송대차 이송 시스템.
  14. 제12항에 있어서,
    상기 정위치 기준유닛은,
    상기 스테이션 본체부에 마련되되 상기 반송대차 이송용 카트의 위치를 고정시키는 핀 고정부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반송대차 이송 시스템.
  15. 제12항에 있어서,
    상기 반송대차 메인트 스테이션은,
    상기 스테이션 본체부의 내측에 상호 대칭되게 배치되며, 상기 반송대차 이송용 카트가 가이드되는 가이드 레일을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반송대차 이송 시스템.
  16. 제12항에 있어서,
    상기 반송대차 메인트 스테이션은,
    상기 스테이션 본체부에 마련되며, 상기 반송대차가 안착되는 반송대차 안착부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반송대차 이송 시스템.
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