JP7340401B2 - 搬送治具 - Google Patents

Description

本発明は、搬送治具に関するものである。

半導体製造装置などの大型装置は、いくつかのユニットに分割できる構成になっている事が多く、装置輸送(移動)時に、ユニット単位でコンパクトに運搬できるようになっている。大型装置として例えば、半導体ウェハなどの基板の表面を研磨するための基板処理装置がある。基板処理装置は、例えば、基板の研磨処理を行うための研磨ユニット、基板の洗浄処理及び乾燥処理を行うための洗浄ユニット、及び基板の搬送処理を行うためのロード／アンロードユニット、などを備えて構成される。基板処理装置は、例えば、ロード／アンロードユニット内に投入された基板を研磨ユニットへ搬送して研磨処理を行い、研磨処理後の基板を洗浄ユニットへ搬送して洗浄及び乾燥処理を行い、乾燥処理が完了した基板をロード／アンロードユニットから基板処理装置外に排出するように構成されている。

基板処理装置は、半導体工場などの稼働場所へ搬入される時には上記の複数のユニットに分割されており、搬入後に各ユニットを組み立てて据え付け作業が行われる。また、基板処理装置は、例えばユニットのメンテナンスを行う場合には、複数のユニットが組み立てられたままではメンテナンスを行い難いので、メンテナンス対象のユニットを基板処理装置から取り外してメンテナンスを行う。

ここで、従来技術では、メンテナンス対象のユニットを基板装置から取り外すために、ユニットの引き出し方向に転動可能なローラを有するキャスタを用いてユニットを引き出し搬送することが知られている。

複数のユニットが結合している基板装置から、メンテナンス対象の例えば１個のユニットを分離するとき従来は、当該ユニットのフレームの下面と床面との間に、最初にジャッキを配置する。フレームの下面と床面との間には、ジャッキを配置できる空間と、当該空間にジャッキを送り込める空間が設けられている。次に、フレームの下面の例えば四隅に配置されたジャッキのそれぞれを操作して、ユニットを上昇させる。その後、移動用ローラ治具を、ジャッキが配置されている空間とは異なるユニットの下面と床面との間に設置する。設置後、ジャッキのそれぞれを操作して、ユニットを移動用ローラ治具まで下降させる。最後に、ユニットを搭載した移動用ローラ治具をけん引して、ユニットを他のユニットから分離してアンドッキング作業を行う。

複数のユニットが結合している場合、ユニット同士を結合させるためのユニットの結合面は、大型装置を外部から操作する操作部もしくは基板等の搬入出部が配置されている面（前面）とは通常異なる。結合面は前面からは離れた裏面等である。裏面側の下面にジャッキを配置するために作業員が当該下面に直接アクセスすることができない（作業員の手が届かない）ことがある。作業員が大型装置の内部から裏面側の下面にジャッキを配置することもできない場合がある。

このようなときは、引き出す手前側（前面側）から、特殊な薄型ジャッキやハンドリフタ等、複数の工具を既述のように使用して作業を行う必要があり、作業性がよくなかった。また手前側から、奥側(結合面のある裏面側)の下面の下にある機器を操作するため、作業性が更によくなかった。

特開２０１５－２０９３０３号公報

本発明の一形態は、このような問題点を解消すべくなされたもので、その目的は、装置の搬送を従来よりも容易に行うことができる搬送治具を提供することである。

上記課題を解決するために、形態１では、治具本体部と、前記治具本体部の前部に配置された第１の昇降機構と、前記治具本体部の後部に配置された第２の昇降機構とを有し、前記第１の昇降機構は、搬送対象物を支持可能な第１の支持面を有し、前記第１の昇降機構が配置されている前記前部に対する前記第１の支持面の高さである第１の高さを調整可能であり、前記第２の昇降機構は、前記搬送対象物を支持可能な第２の支持面を有し、前記第２の昇降機構が配置されている前記後部に対する前記第２の支持面の高さである第２の高さを調整可能であり、前記第１の昇降機構と前記第２の昇降機構は、前記第１の高さと前記第２の高さを互いに独立に調整可能であることを特徴とする搬送治具という構成を採っている。

本実施形態では、搬送治具は、治具本体部と、治具本体部の前部に配置された第１の昇降機構と、治具本体部の後部に配置された第２の昇降機構とを有する。ユニットを装置から分離して引き出すときに、従来は、ユニットを昇降するための治具（ジャッキ等）と、ユニットを装置から引き出すための治具（ハンドリフタ等）を用意して、これらを作業の段階に応じて既述のように使い分けて作業せざるを得なかった。本実施形態の搬送治具を用いることにより、ユニットを昇降する作業と、ユニットを装置から引き出す作業を１つの治具で行うことができる。従来は複数種類の治具の設置作業を治具の種類に応じて複数地点で行う必要があった。本実施形態では、１種類の治具の設置作業を１地点で行うだけでよいため、大型装置の搬送を従来よりも容易にかつ短時間で行うことができる。装置が大きくなるほど、必要な治具の個数は増えるため、本実施形態による作業コストの低減効果は大きくなる。

本実施形態によると、使用する工具（ユニットを昇降するための治具とユニットを装置から引き出すための治具）が１個の搬送治具に備えられているため、作業手順が従来よりも減少する。例えば、従来は、ユニットを昇降するための治具を設置する作業と、ユニットを装置から引き出すための治具を設置する作業が必要である。本実施形態では、搬送治具を設置する作業だけでよい。作業手順が減少するとともに、作業内容が簡略化して容易になる。本実施形態において「作業内容が簡略化して容易になる」とは、例えば、ユニットを昇降するための治具の配置と、ユニットを装置から引き出すための治具の配置が互いに干渉することがありえないため、本実施形態の搬送治具の設置が容易になることである。

また、ユニットを昇降するための治具とユニットを装置から引き出すための治具が１個の搬送治具に備えられているため、全ての作業を手前側から行うことができる。ユニットを昇降する作業とユニットを装置から引き出す作業の両方を容易に、かつ短時間で行うことができる。

また、従来のハンドリフタとの違いとして、本実施形態では前部に第１の昇降機構が、後部に第２の昇降機構が配置されており、かつ前後それぞれの昇降機構が独立しているため、ユニットの傾きを調整することが可能である。ハンドリフタは、ユニット全体を垂直方向に昇降させる機能のみを有するため、ユニットの傾きを調整することが不可能であっ
た。ユニットの傾きを調整することが可能であるため、例えば、ユニットを手前に傾けることができるため、ユニットの後ろ側にある他のユニットとの接触を減らすことができる。他のユニットとの接触が減るため、他のユニットへ機械的電気的損傷を与える可能性が低減する。損傷を与える可能性が低減するため、搬送対象であるユニットの搬送作業が容易になる。

形態２では、前記搬送治具は、前記搬送治具を移動可能な移動部を有することを特徴とする形態１記載の搬送治具という構成を採っている。

形態３では、前記搬送治具は、前記搬送対象物に固定可能な固定部を有することを特徴とする形態１または２記載の搬送治具という構成を採っている。

本実施形態によると、搬送対象物に固定可能な固定部を有するため、ユニットを搬送治具に搭載した状態で、ユニットのメインテナンスやユニットの組立作業が可能である。従来は、搬送用治具（たとえばハンドリフター）とユニットを固定する構造ではないため、搬送時などにおいて、ユニットは搬送用治具に不安定な状態で搭載されていた。本実施形態の搬送治具はユニットに固定できるため、搬送時などにおいて、安定性と安全性が向上する。

形態４では、前記搬送治具は、前記第２の昇降機構に接続された操作部材を有し、前記操作部材は、前記後部から前記前部に延伸しており、前記操作部材により前記第２の昇降機構を操作して前記第２の高さを調整可能であることを特徴とする形態１ないし３のいずれか１項に記載の搬送治具という構成を採っている。

形態５では、前記第２の昇降機構は、前記第２の昇降機構に設けられた高さ調整用つまみを有し、前記操作部材は、前記高さ調整用つまみに接続されて、該高さ調整用つまみから前記前部まで延伸する延伸部と、前記延伸部に設けられた操作部とを有し、前記操作部に対する操作によって前記高さ調整用つまみを介して前記第２の昇降機構を操作可能であることを特徴とする形態4月記載の搬送治具という構成を採っている。

形態６では、前記延伸部は、前記高さ調整用つまみから前記治具本体部に沿って前記前部まで延伸し、かつ、前記第１の昇降機構の下方もしくは側方を通過して前記前部に延伸することを特徴とする形態５記載の搬送治具という構成を採っている。

形態７では、前記第１の昇降機構は、前記第１の接触面が配置された支持部と、前記支持部と前記前部との間に配置されるボルトとナットとを有し、前記ボルトと前記ナットのうちの少なくとも一方を回転させて前記第１の高さを調整可能であることを特徴とする形態１ないし６のいずれか１項に記載の搬送治具という構成を採っている。

図１は、基板処理装置の平面図である。 図２は、第１研磨ユニットの斜視図である。 図３Ａは、洗浄ユニットの平面図である。 図３Ｂは、洗浄ユニットの側面図である。 図４は、洗浄ユニットを引き出し搬送する際の様子を模式的に示す図である。 図５は、洗浄ユニットを引き出し搬送する際の様子を模式的に示す図である。 図６は、本実施形態の搬送治具の斜視図である。 図７は、本実施形態の搬送治具の斜視図である。 図８は、本実施形態の搬送治具の正面図、平面図、右側面図、左側面図である。 図９は、本実施形態の第１の昇降機構を拡大した斜視図である。 図１０は、本実施形態の第２の昇降機構を拡大した斜視図である。 図１１は、本実施形態の搬送治具の動作を説明するための図である。 図１２は、本実施形態の搬送治具の固定部を示す斜視図である。 図１３は、本実施形態の第２の昇降機構の動作を説明するための図である。

以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。なお、以下の各実施形態において、同一または相当する部材には同一符号を付して重複した説明を省略することがある。また、各実施形態で示される特徴は、互いに矛盾しない限り他の実施形態にも適用可能である。以下では、アンロードユニット２００と、研磨ユニット３００と、洗浄ユニット４００と、制御ユニット５００とを備える基板処理装置に搬送治具を適用する場合について説明するが、本発明の実施形態はこれに限定されない。

＜基板処理装置＞
図１は、基板処理装置の平面図である。図１に示すように、基板処理装置１０００は、ロード／アンロードユニット２００と、研磨ユニット３００と、洗浄ユニット４００と、を備える。また、基板処理装置１０００は、ロード／アンロードユニット２００、研磨ユニット３００、及び、洗浄ユニット４００、の各種動作を制御するための制御ユニット５００を備える。以下、ロード／アンロードユニット２００、研磨ユニット３００、及び、洗浄ユニット４００、について説明する。

＜ロード／アンロードユニット＞
ロード／アンロードユニット２００は、研磨及び洗浄などの処理が行われる前の基板を研磨ユニット３００へ渡すとともに、研磨及び洗浄などの処理が行われた後の基板を洗浄ユニット４００から受け取るためのユニットである。ロード／アンロードユニット２００は、複数（本実施形態では４台）のフロントロード部２２０を備える。フロントロード部２２０にはそれぞれ、基板をストックするためのカセット２２２が搭載される。

ロード／アンロードユニット２００は、筐体１００の内部に設置されたレール２３０と、レール２３０上に配置された複数（本実施形態では２台）の搬送ロボット２４０と、を備える。搬送ロボット２４０は、研磨及び洗浄などの処理が行われる前の基板をカセット２２２から取り出して研磨ユニット３００へ渡す。また、搬送ロボット２４０は、研磨及び洗浄などの処理が行われた後の基板を洗浄ユニット４００から受け取ってカセット２２２へ戻す。

＜研磨ユニット＞
研磨ユニット３００は、基板の研磨を行うためのユニットである。研磨ユニット３００は、第１研磨ユニット３００Ａ、第２研磨ユニット３００Ｂ、第３研磨ユニット３００Ｃ、及び、第４研磨ユニット３００Ｄ、を備える。第１研磨ユニット３００Ａ、第２研磨ユニット３００Ｂ、第３研磨ユニット３００Ｃ、及び、第４研磨ユニット３００Ｄ、は、互いに同一の構成を有する。したがって、以下、第１研磨ユニット３００Ａについてのみ説明する。

第１研磨ユニット３００Ａは、研磨テーブル３２０Ａと、トップリング３３０Ａと、を備える。研磨テーブル３２０Ａは、図示していない駆動源によって回転駆動される。研磨
テーブル３２０Ａには、研磨パッド３１０Ａが貼り付けられる。トップリング３３０Ａは、基板を保持して研磨パッド３１０Ａに押圧する。トップリング３３０Ａは、図示していない駆動源によって回転駆動される。基板は、トップリング３３０Ａに保持されて研磨パッド３１０Ａに押圧されることによって研磨される。

次に、基板を搬送するための搬送機構について説明する。搬送機構は、リフタ３７０と、第１リニアトランスポータ３７２と、スイングトランスポータ３７４と、第２リニアトランスポータ３７６と、仮置き台３７８と、を備える。

リフタ３７０は、搬送ロボット２４０から基板を受け取る。第１リニアトランスポータ３７２は、リフタ３７０から受け取った基板を、第１搬送位置ＴＰ１、第２搬送位置ＴＰ２、第３搬送位置ＴＰ３、及び、第４搬送位置ＴＰ４、の間で搬送する。第１研磨ユニット３００Ａ及び第２研磨ユニット３００Ｂは、第１リニアトランスポータ３７２から基板を受け取って研磨する。第１研磨ユニット３００Ａ及び第２研磨ユニット３００Ｂは、研磨した基板を第１リニアトランスポータ３７２へ渡す。

スイングトランスポータ３７４は、第１リニアトランスポータ３７２と第２リニアトランスポータ３７６との間で基板の受け渡しを行う。第２リニアトランスポータ３７６は、スイングトランスポータ３７４から受け取った基板を、第５搬送位置ＴＰ５、第６搬送位置ＴＰ６、及び、第７搬送位置ＴＰ７、の間で搬送する。第３研磨ユニット３００Ｃ及び第４研磨ユニット３００Ｄは、第２リニアトランスポータ３７６から基板を受け取って研磨する。第３研磨ユニット３００Ｃ及び第４研磨ユニット３００Ｄは、研磨した基板を第２リニアトランスポータ３７６へ渡す。研磨ユニット３００によって研磨処理が行われた基板は、スイングトランスポータ３７４によって仮置き台３７８へ置かれる。

＜洗浄ユニット＞
洗浄ユニット４００は、研磨ユニット３００によって研磨処理が行われた基板の洗浄処理及び乾燥処理を行うためのユニットである。洗浄ユニット４００は、第１洗浄室４１０と、第１搬送室４２０と、第２洗浄室４３０と、第２搬送室４４０と、乾燥室４５０と、を備える。

仮置き台３７８へ置かれた基板は、第１搬送室４２０を介して第１洗浄室４１０又は第２洗浄室４３０へ搬送される。基板は、第１洗浄室４１０又は第２洗浄室４３０において洗浄処理される。第１洗浄室４１０又は第２洗浄室４３０において洗浄処理された基板は、第２搬送室４４０を介して乾燥室４５０へ搬送される。基板は、乾燥室４５０において乾燥処理される。乾燥処理された基板は、搬送ロボット２４０によって乾燥室４５０から取り出されてカセット２２２へ戻される。

＜第１研磨ユニットの詳細構成＞
次に、第１研磨ユニット３００Ａの詳細について説明する。図２は、第１研磨ユニット３００Ａの斜視図である。第１研磨ユニット３００Ａは、研磨パッド３１０Ａに研磨液又はドレッシング液を供給するための研磨液供給ノズル３４０Ａを備える。研磨液は、例えば、スラリである。ドレッシング液は、例えば、純水である。また、第１研磨ユニット３００Ａは、研磨パッド３１０Ａのコンディショニングを行うためのドレッサ３５０Ａを備える。また、第１研磨ユニット３００Ａは、液体、又は、液体と気体との混合流体、を研磨パッド３１０Ａに向けて噴射するためのアトマイザ３６０Ａを備える。液体は、例えば、純水である。気体は、例えば、窒素ガスである。

トップリング３３０Ａは、トップリングシャフト３３２Ａによって支持される。トップリング３３０Ａは、図示していない駆動部によって、矢印ＡＢで示すように、トップリン
グシャフト３３２Ａの軸心周りに回転するようになっている。研磨テーブル３２０Ａは、テーブルシャフト３２２Ａに支持される。研磨テーブル３２０Ａは、図示していない駆動部によって、矢印ＡＣで示すように、テーブルシャフト３２２Ａの軸心周りに回転するようになっている。

基板ＷＦは、トップリング３３０Ａの研磨パッド３１０Ａと対向する面に真空吸着によって保持される。研磨時には、研磨液供給ノズル３４０Ａから研磨パッド３１０Ａの研磨面に研磨液が供給される。また、研磨時には、研磨テーブル３２０Ａ及びトップリング３３０Ａが回転駆動される。基板ＷＦは、トップリング３３０Ａによって研磨パッド３１０Ａの研磨面に押圧されることによって研磨される。

＜洗浄ユニットの詳細構成＞
次に、洗浄ユニット４００の詳細について説明する。図３Ａは洗浄ユニット４００の平面図である。図３Ｂは洗浄ユニット４００の側面図である。

第１搬送室４２０内には、鉛直方向に延びる支持軸４２４、及び、支持軸４２４に移動自在に支持された第１搬送ロボット４２２、が配置される。第１搬送ロボット４２２は、モータなどの駆動機構によって、支持軸４２４に沿って鉛直方向に移動できるようになっている。第１搬送ロボット４２２は、仮置き台３７８に置かれた基板ＷＦを受け取る。第１搬送ロボット４２２は、仮置き台３７８から受け取った基板ＷＦを第１洗浄室４１０又は第２洗浄室４３０へ搬送する。

第１洗浄室４１０内には、上側一次洗浄モジュール４１２Ａ及び下側一次洗浄モジュール４１２Ｂが鉛直方向に沿って配置される。同様に、第２洗浄室４３０内には、上側二次洗浄モジュール４３２Ａ及び下側二次洗浄モジュール４３２Ｂが鉛直方向に沿って配置される。上側一次洗浄モジュール４１２Ａ、下側一次洗浄モジュール４１２Ｂ、上側二次洗浄モジュール４３２Ａ、及び、下側二次洗浄モジュール４３２Ｂ、は、洗浄液を用いて基板を洗浄する洗浄機である。上側二次洗浄モジュール４３２Ａと下側二次洗浄モジュール４３２Ｂとの間には、基板の仮置き台４３４が設けられる。

第１搬送ロボット４２２は、仮置き台３７８、上側一次洗浄モジュール４１２Ａ、下側一次洗浄モジュール４１２Ｂ、仮置き台４３４、上側二次洗浄モジュール４３２Ａ、及び、下側二次洗浄モジュール４３２Ｂ、の間で基板ＷＦを搬送することができる。第１搬送ロボット４２２は、上側ハンド及び下側ハンドを有する。洗浄前の基板にはスラリが付着しているので、第１搬送ロボット４２２は、洗浄前の基板を搬送するときには下側ハンドを用いる。一方、第１搬送ロボット４２２は、洗浄後の基板を搬送するときには上側ハンドを用いる。

第２搬送室４４０内には、鉛直方向に延びる支持軸４４４、及び、支持軸４４４に移動自在に支持された第２搬送ロボット４４２、が配置される。第２搬送ロボット４４２は、モータなどの駆動機構によって、支持軸４４４に沿って鉛直方向に移動できるようになっている。第２搬送ロボット４４２は、第２洗浄室４３０から基板ＷＦを受け取って乾燥室４５０へ搬送する。

乾燥室４５０内には、上側乾燥モジュール４５２Ａ及び下側乾燥モジュール４５２Ｂが鉛直方向に沿って配置される。上側乾燥モジュール４５２Ａは、基板ＷＦの乾燥処理を行う乾燥ユニット４５６Ａと、乾燥ユニット４５６Ａに清浄な空気を供給するためのファンフィルタユニット４５４Ａと、を備える。下側乾燥モジュール４５２Ｂは、基板ＷＦの乾燥処理を行う乾燥ユニット４５６Ｂと、乾燥ユニット４５６Ｂに清浄な空気を供給するためのファンフィルタユニット４５４Ｂと、を備える。

第２搬送ロボット４４２は、上側二次洗浄モジュール４３２Ａ、下側二次洗浄モジュール４３２Ｂ、仮置き台４３４、上側乾燥モジュール４５２Ａ、及び、下側乾燥モジュール４５２Ｂ、の間で基板ＷＦを搬送することができる。第２搬送ロボット４４２は、洗浄された基板を搬送するので、１つのハンドのみを備えている。

基板ＷＦは、上側乾燥モジュール４５２Ａ又は下側乾燥モジュール４５２Ｂによって乾燥処理が行われた後、図１に示した搬送ロボット２４０の上側ハンドによって乾燥室４５０から取り出される。搬送ロボット２４０は、乾燥室４５０から取り出した基板ＷＦをカセット２２２へ戻す。

＜搬送治具＞
次に、搬送治具について説明する。上述のように、基板処理装置１０００は、ロード／アンロードユニット２００、研磨ユニット３００ａ、研磨ユニット３００ｂ、洗浄ユニット４００、及び制御ユニット５００を備える。これらのユニットはそれぞれ独立して製造され、基板処理装置の設置場所（稼働場所）へ搬送される。基板処理装置１０００は、搬送されてきた複数のユニットを組み立てて据え付け作業が行われる。また、基板処理装置１０００は、例えばユニットのメンテナンスを行う場合には、複数のユニットが組み立てられたままではメンテナンスを行い難いので、メンテナンス対象のユニットを基板処理装置１０００から取り外してメンテナンスを行う。メンテナンス対象のユニットを基板処理装置１０００から取り外すために、本実施形態では搬送治具を用いてメンテナンス対象のユニットを引き出し搬送する。

以下、複数のユニットの代表として、洗浄ユニット４００に対する引き出し搬送について説明する。図４は、洗浄ユニット４００を引き出し搬送する際の様子を模式的に示す図である。

図４に示すように、洗浄ユニット４００をメンテナンス等のために引き出し搬送する場合には、洗浄ユニット４００を設置する面である床面６９０と洗浄ユニット４００との間に、例えば２台の搬送治具７００が設けられ、搬送治具７００によって洗浄ユニット４００は引き出し搬送される。ここで、洗浄ユニット４００を引き出し搬送するためには、洗浄ユニット４００を搬送治具７００に乗せて、さらに昇降させる必要がある。このため、洗浄ユニット４００を引き出し搬送する場合には、搬送治具７００の治具本体部と洗浄ユニット４００との間に、洗浄ユニット４００を昇降させることができる搬送治具７００の一部である第１の昇降機構１１６と第２の昇降機構１１８が配置される。

ところで、図４の領域Ａには、洗浄ユニット４００に隣接して制御ユニット５００が設置される。領域Ｂには、洗浄ユニット４００に隣接して研磨ユニット３００が設置される。領域Ｃには、洗浄ユニット４００に隣接してロード／アンロードユニット２００が設置される。したがって、洗浄ユニット４００の引き出し搬送を行う際の作業場所は領域Ｄとなる。作業員は、領域Ｄの作業場所から第１の昇降機構１１６と第２の昇降機構１１８を操作して洗浄ユニット４００全体を昇降させる必要がある。

ここで、領域Ｄの作業場所に近い箇所（手前側）は、作業員がアクセスし易い（手が届き易い）。一方、領域Ｄの作業場所から遠い箇所（洗浄ユニット４００の領域Ｂに隣接する箇所：奥側）は、作業員がアクセスし難い（手が届き難い）。奥側には作業員が入る隙間がない。しかし従来は、洗浄ユニット４００の外周を構成するフレームの四隅の下に油圧ジャッキを配置して、洗浄ユニット４００をジャッキアップし、その後、移動用のローラを四隅の下に設置する必要があった。奥側はスペース的に、大きい油圧ジャッキを設置することが困難なため、薄型の油圧ジャッキを設置し、手前から奥側の作業をする必要が
有り、作業性がよくなかった。

また、領域Ｄの作業場所から遠い箇所（奥側）に対するアクセスの困難性は、洗浄ユニット４００のサイズが大きくなり基板処理装置１０００が大型化するにつれて顕著になる。

そこで、本実施形態では、洗浄ユニット４００（又は他のユニット）の高さ調整や引き出し搬送を容易に行うことができる搬送治具７００を用いる。洗浄ユニット４００を手前側に引き出すために、洗浄ユニット４００の下に図５に示す搬送治具７００を例えば３台設置する。搬送治具７００を用いて、洗浄ユニット４００がドッキングしている研磨ユニット３００等と切り離して、手前側に引き出す。図５では、洗浄ユニット４００のフレーム１１０の状態を示すために、フレーム１１０以外の部分は省略して示す。以下、搬送治具７００について説明する。

図６，７は、本実施形態の搬送治具７００の斜視図である。図７は、図６の搬送治具７００の内部が見えるように、治具本体部１１２を省略した図である。図８（ａ）は、本実施形態の搬送治具７００の正面図、図８（ｂ）は、搬送治具７００の平面図、図８（ｃ）は、搬送治具７００の右側面図、図８（ｄ）は、搬送治具７００の左側面図である。図９は、第１の昇降機構１１６を拡大した斜視図である。図１０は、第２の昇降機構１１８を拡大した斜視図である。図１１は、本実施形態の搬送治具７００の動作を説明するための図である。図１２は、本実施形態の搬送治具７００の固定部１１４を示す斜視図である。

図６～１２に示すように、搬送治具７００は、治具本体部１１２と、第１の昇降機構１１６と、第２の昇降機構１１８とを有する。第１の昇降機構１１６は、治具本体部１１２の前部１１２ａ、１１２ｂに配置される。第２の昇降機構１１８は、治具本体部１１２の後部１１２ｄに配置される。搬送治具７００、第１の昇降機構１１６、第２の昇降機構１１８の高さは、これらの高さが最も低い状態のときに、設置済みの洗浄ユニット４００と床面との間に挿入できる高さである。

搬送治具７００の長さは、搬送対象物である洗浄ユニット４００の長さに応じて決まる。第１の昇降機構１１６と第２の昇降機構１１８との間の距離は、固定されているが、距離の調整機構を設けてもよい。例えば距離の調整機構により、少なくとも一方の昇降機構は少なくとも搬送治具７００の長手方向に位置が移動可能としてもよい。その目的は例えば、搬送対象物である洗浄ユニット４００を支持できる支持点の位置に第１の昇降機構１１６と第２の昇降機構１１８を合わせるためである。これを実現するために少なくとも一方の昇降機構について、昇降機構を治具本体部１１２に取付けるために治具本体部１１２に設けるネジ穴を、搬送治具７００の長手方向に長い長穴または貫通溝としてもよい。

第１の昇降機構１１６は、洗浄ユニット４００（搬送対象物）のフレームの下面と接触して洗浄ユニット４００を支持可能な第１の支持面１２０（図６（ｂ）参照）を有する。第１の昇降機構１１６は、第１の昇降機構１１６が配置されている前部１１２ａ、１１２ｂに対する第１の支持面１２０の高さである第１の高さを調整可能である。第２の昇降機構１１８は、洗浄ユニット４００のフレームの下面と接触して洗浄ユニット４００を支持可能な第２の支持面１２２（図６（ｂ）参照）を有する。第２の昇降機構１１８は、第２の昇降機構１１８が配置されている後部１１２ｄ，１１２ｅに対する第２の支持面１２２の高さである第２の高さを調整可能である。第１の昇降機構と第２の昇降機構は、第１の高さと第２の高さを互いに独立に調整可能である。

ここで、前部１１２ａ、１１２ｂとは、治具本体部１１２の長手方向の中心部１４８から見て、治具本体部１１２の手前側に位置する部分であり、後部１１２ｄ，１１２ｅとは
、治具本体部１１２の奥側に位置する部分である。前部と後部という名称は便宜的なものであり、前部と後部という名称の代わりに、治具本体部１１２の一方の側、他方の側と呼んでもよい。また、前部と後部は、本実施形態では治具本体部１１２の端部に位置するため、前部と後部は、治具本体部１１２の一方の端部、他方の端部と呼んでもよい。

なお、第１の昇降機構１１６は、端部に配置されるとは限らず、搬送治具７００を操作するユーザーが第１の昇降機構１１６にアクセスすることができる位置に第１の昇降機構１１６が配置されればよい。また、第２の昇降機構１１８は、後述するように前部１１２ａから操作部６６６によってアクセスされるため、搬送治具７００上の端部以外に配置することもできる。従って、第１の昇降機構１１６と第２の昇降機構１１８は、端部に配置されるとは限らず、両方が端部以外の場所に配置されてもよい。例えば、第１の昇降機構１１６と第２の昇降機構１１８の少なくとも一方が中央部に配置されてもよい。

さらに、前部と後部は本実施形態では、搬送治具７００を操作するユーザーからみて、近位側と遠位側に位置するため、前部と後部を近位側と遠位側と呼んでもよい。また、前部と後部が、搬送治具７００を操作するユーザーからみて、左右方向に位置する場合、すなわち、前部と後部が、いずれも搬送対象物の手前側に位置する場合は、前部と後部は、治具本体部１１２の左側、右側と呼んでもよい。前部と後部が、いずれも搬送対象物の手前側に位置する場合であっても、搬送治具７００を用いることにより、作業性がよくなる等の利点がある。第１の昇降機構１１６と第２の昇降機構１１８は本実施形態では、それぞれ１個であるが、それぞれが搬送治具７００上に複数個あってもよい。

治具本体部１１２は、前部１１２ａ、１１２ｂ、１１２ｇと、後部１１２ｄ，１１２ｅと、中央部１１２ｃと、を有する。なお、前部１１２ｇは、図６（ｃ）に示す部分である。中央部１１２ｃは、前部１１２ａ、１１２ｂ、１１２ｇと後部１１２ｄ，１１２ｅの中間に位置して、前部１１２ｂと、後部１１２ｄとを接続している。

治具本体部１１２は、前部１１２ａ、１１２ｂ、１１２ｇと、後部１１２ｄ，１１２ｅと、中央部１１２ｃを別々の部品として、複数の部品を溶接等により接続して構成してよい。また、治具本体部１１２は１個の部品として一体化した構成でもよい。１個の部品とする場合は、１枚の金属板から機械加工することにより治具本体部１１２を構成することができる。治具本体部１１２，第１の昇降機構１１６，第２の昇降機構１１８は、金属材料から製作される。なお、治具本体部１１２，第１の昇降機構１１６，第２の昇降機構１１８は、樹脂材料から製作してもよい。

第１の昇降機構１１６は、取付部１１６ａと、支持部１１６ｂ、１１６ｃ、１１６ｄとを有する。取付部１１６ａは、治具本体部１１２の前部１１２ａに例えば、ねじ等の締結具により固定される。支持部１１６ｄに、水平な第１の支持面１２０が配置される。第１の昇降機構１１６は、支持部１１６ｂと取付部１１６ａとの間に配置されるアジャスターボルト１２４を有する。

支持部１１６ｂと支持部１１６ｄとの間に支持部１１６ｃが設けられている（図６（ｂ）参照）。支持部１１６ｃは、支持部１１６ｂと支持部１１６ｄを接続している。支持部１１６ｃを設けることにより、洗浄ユニット４００を支持する支持部１１６ｄを低い位置に配置することができる。これにより第１の昇降機構１１６を低い位置に配置することができる。支持部１１６ｂ、１１６ｃ、１１６ｄは、それぞれ前部１１２ａ、１１２ｇ、１１２ｂと対向している。支持部１１６ｂと支持部１１６ｄは水平に配置され、支持部１１６ｃは垂直に配置されている。

支持部１１６ｂと支持部１１６ｄは必ずしも水平に配置する必要はない。また、支持部
１１６ｃは必ずしも垂直に配置する必要はない。例えば、後述する図１１に示すように洗浄ユニット４００を手前側に傾けることが好ましい場合があるからである。傾けることが好ましい場合は、洗浄ユニット４００の傾きに合わせて支持部１１６ｂと支持部１１６ｄは水平から傾けることが好ましく、同様に支持部１１６ｃは垂直から傾けることが好ましいからである。支持部１１６ｃは、手前側に傾けるときも含めて、洗浄ユニット４００が滑ることを防止するストッパとして機能する。３個の部品である支持部１１６ｂ、１１６ｃ、１１６ｄは、一体化された１個の部品でもよい。

アジャスターボルト１２４は、図８（ｄ）に示すように、ボルト１２６とナット１２８とを有する。ボルト１２６とナット１２８のうちの少なくとも一方を回転させて第１の高さを調整可能である。本実施形態では、ボルト１２６は固定とし、工具（例えばモンキースパナ）でナット１２８を回転させる。ナット１２８が回転すると、図９に示すように支持部１１６ｂ、１１６ｃは上下方向に移動し、結果として、洗浄ユニット４００は上下方向に移動する。第１の高さは本実施形態では、図６（ａ）に示すように、前部１１２ｂの上面と、第１の支持面１２０との間の鉛直方向の距離１３０である。

第１の昇降機構１１６は、洗浄ユニット４００の下面と治具本体部１１２（特に前部１１２ｂ）との間に設けられ、治具本体部１１２に対する第１の支持面１２０の第１の高さを調整可能である。これは、治具本体部１１２に対する洗浄ユニット４００の下面の高さを調整可能であることと実質的に同一である。また、これは、床面に対する洗浄ユニット４００の高さを調整可能であることと実質的に同一である。

第１の昇降機構１１６は、支持部１１６ｂ、１１６ｃを上下方向に移動させることが可能な機構であれば、アジャスターボルト１２４に限られず、任意の機構を用いることができる。例えば、ジャッキである。

第２の昇降機構１１８は、図６に示すように、後部１１２ｄに配置される。搬送治具７００は、第２の昇降機構１１８に接続された操作部材１３２を有し、操作部材１３２は、後部１１２ｄから前部１１２ａ，１１２ｂ、１１２ｇに延伸している。操作部材１３２により第２の昇降機構１１８を操作して第２の高さを調整可能である。

後部１１２ｄは、箱形状をしており、箱の中に第２の昇降機構１１８が収納されている。図６（ｃ）に示すように、箱形状の底部１１２ｆに、第２の昇降機構１１８が例えば、ねじ等の締結具により固定される。

図１３に示すように、第２の昇降機構１１８は、洗浄ユニット４００の下面と底部１１２ｆとの間に設けられ、底部１１２ｆに対する第２の支持面１２２の第２の高さを調整可能である。これは、底部１１２ｆに対する洗浄ユニット４００の下面の高さを調整可能であることと実質的に同一である。また、これは、床面に対する洗浄ユニット４００の高さを調整可能であることと実質的に同一である。搬送治具７００は、第２の昇降機構１１８に接続された操作部材１３２を有する。操作部材１３２は、後部１１２ｄから前部１１２ａに延伸しており、操作部材１３２により第２の昇降機構１１８を操作して第２の高さを調整可能である。

操作部材１３２は、延伸部６６４と、延伸部６６４の端部に設けられた操作部６６６とを有する（図６（ａ）参照）。延伸部６６４は、第２の昇降機構１１８に設けられた高さ調整用つまみ６５０に接続され、高さ調整用つまみ６５０から中央部１１２ｃに沿って延伸する。延伸部６６４は、高さ調整用つまみ６５０から前部１１２ａまで延伸する。延伸部６６４は、図９に示すように、支持部１１６ｄと、前部１１２ｂとの間、すなわち第１の昇降機構１１６と、治具本体部１１２との間を通過する。操作部材１３２は、操作部６
６６に対する操作によって高さ調整用つまみ６５０を介して第２の昇降機構１１８を操作可能になっている。

延伸部６６４は、高さ調整用つまみ６５０から治具本体部１１２に沿って前部１１２ａまで延伸し、かつ、第１の昇降機構１１６の下方を通過して前部１１２ａに延伸する。操作部材１３２を介して第２の昇降機構１１８を操作可能になっている。具体的には、第２の昇降機構１１８は、第２の昇降機構１１８に設けられた高さ調整用つまみ６５０を有し、操作部材１３２の延伸部６６４は、高さ調整用つまみ６５０に接続される。

第２の昇降機構１１８は、図１３に示すように、洗浄ユニット４００の下面と床面６９０との間に積層された第１部材６４２及び第２部材６４４を備える。第１部材６４２及び第２部材６４４には、互いに水平ではない対向面６４２ａ，６４４ａが形成される。対向面６４２ａ，６４４ａは、側面視でくさび状になるように形成されている。また、第２の昇降機構１１８は、第１部材６４２と第２部材６４４との間にくさび状に設けられた第３部材６４６を備える。また、第２部材６４４の上面が第２の支持面１２２である。

高さ調整用つまみ６５０は、第２の昇降機構１１８を駆動することによって床面６９０に対する洗浄ユニット４００の高さを調整可能な（洗浄ユニット４００を持ち上げたり降ろしたりすることが可能な）部材である。具体的には、高さ調整用つまみ６５０を回転させることにより、高さ調整用つまみ６５０と連動する図示していないボルトが回転し、ボルトの回転によって第３部材６４６がスライド駆動される。

延伸部６６４の形状は、丸棒、角棒、板材等の細長い形状である。延伸部６６４は、支持部１１６ｃと前部１１２ｂとの間を通過して、前部１１２ｇに設けられた貫通孔１３６（図６（ｃ）に示す。）を通過する。延伸部６６４は、前部１１２ａに設けられたサドル６８２によって支持されており、サドル６８２を貫通している。延伸部６６４の端部に操作部６６６が設けられている。本実施形態では、操作部６６６はボルトの頭部である。

操作部材１３２は、操作部６６６に対する操作によって高さ調整用つまみ６５０を介して第２の昇降機構１１８を駆動可能になっている。具体的には、作業員が工具（モンキースパナ等）を用いて操作部６６６を延伸部６６４の延伸軸回りに回転させることによって、延伸部６６４が回転し、これに連動してレベル調整つまみ６５０が回転する。本実施形態では、作業員が工具を用いて操作部６６６を回転させる例を示したが、これには限られない。作業員が電動器具等を用いて操作部６６６を回転させることもできる。

図１３（ａ）に示すように、操作部材１３２を介して高さ調整用つまみ６５０を一方向（例えば反時計回り）に回転させると、第３部材６４６が高さ調整用つまみ６５０から遠ざかる方向にスライド駆動される。第３部材６４６が高さ調整用つまみ６５０から遠ざかる方向にスライド駆動されると、第２部材６４４が床面６９０に近づく方向に移動し、第１部材６４２と第２部材６４４とが相対的に近づく。これにより、洗浄ユニット４００の床面６９０に対する高さは低くなる。第２の高さは本実施形態では、図１３（ａ）に示すように、床面６９０と、第２の支持面１２２との間の鉛直方向の距離１３８である。

図１３（ｂ）に示すように、操作部材１３２を介して高さ調整用つまみ６５０を反対方向（例えば時計周り）に回転させると、第３部材６４６が高さ調整用つまみ６５０に近づく方向にスライド駆動される。第３部材６４６が高さ調整用つまみ６５０に近づく方向にスライド駆動されると、第２部材６４４が床面６９０から遠ざかる方向に移動し、第１部材６４２と第２部材６４４とが相対的に離れる。これにより、洗浄ユニット４００の床面６９０に対する高さは高くなり、距離１３８は長くなる。

さらに、図１３（ｃ）に示すように、操作部材１３２を介して高さ調整用つまみ６５０を図１３（ｂ）と同様の方向（例えば時計周り）に回転させると、第３部材６４６が高さ調整用つまみ６５０に近づく方向にスライド駆動される。第３部材６４６が高さ調整用つまみ６５０に近づく方向にスライド駆動されると、第２部材６４４が床面６９０からさらに遠ざかる方向に移動し、第１部材６４２と第２部材６４４とがさらに相対的に離れる。これにより、洗浄ユニット４００の床面６９０に対する高さはさらに高くなり、距離１３８は長くなる。

第２の昇降機構１１８は、第２の支持面１２２を上下方向に移動させることが可能な機構であれば、図１３に示す機構に限られず、任意の機構を用いることができる。第２の昇降機構１１８としては、回転運動などを昇降運動に変換できるリフタであれば、何でもよい。リフタとしては例えば、ジャッキを採用できる。

本実施形態によれば、１種類の搬送治具７００のみで、洗浄ユニット４００の手前側の昇降(アジャスターボルトによる)と、奥側の昇降(リフタによる)を、手前側から実施できる。洗浄ユニット４００を上昇させた後、洗浄ユニット４００が床から離れていることを確認し、そのまま移動することが可能である。その際は搬送治具７００の治具本体部１１２の一部を押して運搬する。

前後それぞれの昇降機構が独立しているため、図１１に示すように、洗浄ユニット４００の高さ調整を前後独立にできる。洗浄ユニット４００を傾けた状態で、洗浄ユニット４００を他のユニット３００からアンドッキングすることが可能である。すなわち搬送治具７００は、洗浄ユニット４００をチルトする、チルト機構を有する。図１１の例では、洗浄ユニット４００の後ろ側の高さを前側の高さより高くすることで、前のめりに洗浄ユニット４００を傾かせることができる。搬送治具７００は、ユニット同士の接触を最小限にしてアンドッキングする事が可能である。搬送治具７００においては、治具の長手方向の前後（両端）に設けた第１の昇降機構１１６と第２の昇降機構１１８は１個の搬送治具７００内に設置され、かつ第１の昇降機構１１６と第２の昇降機構１１８は独立した昇降機構を持つ。

図６に示すように、搬送治具７００は、治具本体部１１２に配置され搬送治具７００を移動可能な移動部１４０を有する。移動部１４０は、本実施形態では、キャスタである。キャスタは前部１１２ａに２個、中央部１１２ｃに４個、奥側の端部１１２ｅに１個設けられている。手前側の前部１１２ａに配置された２個のキャスタと、奥側の端部１１２ｅに配置された１個のキャスタには、キャスタロック機構を設けてもよい。

移動部１４０は、必須ではない。搬送対象物の重量、搬送対象物が設置されている床面の状態等によっては、移動部１４０を有しない搬送治具７００により、搬送対象物を搬送治具７００により搬送可能である。このときは、搬送治具７００の下面を、手前側が上に向かって反っているそり状の面とする。床面にスライディングペーパー等を配置する。搬送対象物とスライディングペーパー等との間に、移動部１４０を有しない搬送治具７００を設置する。搬送対象物を搬送治具７００上に固定した後に、スライディングペーパー上を搬送対象物と搬送治具７００を移動させる。

搬送治具７００は、図６に示すように、洗浄ユニット４００に固定可能な固定部１１４を有する。固定部１１４は、本実施形態では第１の昇降機構１１６の支持部１１６ｄの一部である。固定部１１４を他の支持部、すなわち支持部１１６ｂ、１１６ｃに設けてもよい。固定部１１４は、本図のように、搬送治具７００の手前側（前部１１２ａ、１１２ｂ、１１２ｇ、中央部１１２ｃ）に設けることが、アクセスの容易性の観点から望ましい。洗浄ユニット４００の下面が第１の支持面１２０および第２の支持面１２２と、第１の昇
降機構１１６と第２の昇降機構１１８による昇降によって、接触したのちに、洗浄ユニット４００の下面は固定部１１４に、ボルトとナット等の固定具によって固定される。本実施形態では固定部１１４は、図６（ｂ）に示すようにボルトが貫通する貫通穴１４６を有する。洗浄ユニット４００は搬送治具７００に固定されるため、洗浄ユニット４００の脱落が防止され、搬送作業時における洗浄ユニット４００の搬送状態の安定性と、搬送作業の人的機械的安全性が向上する。

また、本実施形態では固定部１１４と移動部１４０は、治具本体部１１２に設けられているが、固定部１１４と移動部１４０を治具本体部１１２以外の部分に設けてもよい。例えば、固定部１１４と移動部１４０を第１の昇降機構１１６または第２の昇降機構１１８に設けてもよい。

ところで、本実施形態では昇降機構は、第１の昇降機構１１６と第２の昇降機構１１８の２個であるが、２個に限られない。搬送治具７００の長手方向に３個以上設けてもよい。また、本実施形態では昇降機構は、長手方向と直交する方向には、１個のみ設けられていると解釈できる。しかし、搬送治具７００の長手方向と異なる方向に複数個設けてもよい。

なお、本実施形態では第１の昇降機構１１６にアジャスターボルト１２４を用いているが、第１の昇降機構１１６として、アジャスターボルト１２４以外を用いてもよい。例えば、第１の昇降機構１１６として、第２の昇降機構１１８と同じ機構を用いてもよい。

＜ユニット搬送方法＞
次に、ユニット搬送方法について説明する。最初に、洗浄ユニット４００を他のユニットと結合させているネジを取り外して、洗浄ユニット４００を他のユニットから切り離す。洗浄ユニット４００を他のユニットと結合させているネジへのアクセスは、洗浄ユニット４００の内部から、もしくは洗浄ユニット４００の外部から行う。他のユニットと結合させているネジへ洗浄ユニット４００の内部からアクセスするための空間は、必要な場合に設けられる。

次に、洗浄ユニット４００の下面の下方の空間へ搬送治具７００を設置する。具体的には、作業員は、図５に示すように、洗浄ユニット４００の下方の空間の３箇所に搬送治具７００を設置する。さらに具体的には、領域Ｄから遠い側（領域Ｂに近い側）に第２の昇降機構１１８が配置され、領域Ｄに近い側に第１の昇降機構１１６が配置されるように、搬送治具７００を設置する。なお、昇降装置６３０の設置場所、及び、設置個数は、本実施形態に限らず任意である。

続いて、洗浄ユニット４００を手前側に傾けるために第２の昇降機構１１８を用いて洗浄ユニット４００を持ち上げる。具体的には、作業員は、工具などを用いて操作部６６６を例えば時計周りに回転させることによって、洗浄ユニット４００の奥側を持ち上げる。

続いて、第１の昇降機構１１６を用いて洗浄ユニット４００を持ち上げる。具体的には、作業員は、アジャスターボルト１２４のナット１２８を例えば時計周りに回転させることによって、洗浄ユニット４００を持ち上げる。

続いて洗浄ユニット４００が搬送可能な高さまで持ち上がったか否かを判定する。洗浄ユニット４００が搬送可能な高さまで持ち上がっていないと判定した場合には上記の作業を再度行う。

言い換えると、洗浄ユニット４００が搬送可能な高さまで持ち上がるまで、第１の昇降
機構１１６、及び、第２の昇降機構１１８を用いて洗浄ユニット４００を持ち上げるということである。

洗浄ユニット４００が搬送可能な高さまで持ち上がったと判定した場合には、洗浄ユニット４００を固定部１１４に固定する。具体的には、作業員は、図１２に示すように、洗浄ユニット４００の所定位置に設けられた固定部１４４と、搬送治具７００の固定部１１４をボルトとナットによって固定する。固定部１４４は固定部１１４に対向している。固定部１４４には、ボルトが貫通する穴（図示せず）が固定部１１４の穴と一致するように設けられている。なお、洗浄ユニット４００の所定位置に設けられる固定部１４４の場所、及び、個数は、本実施形態に限らず任意である。また、洗浄ユニット４００と固定部１１４を固定するタイミングとしては、洗浄ユニット４００を搬送可能な高さまで持ち上げた上述のタイミングに限られない。すなわち、最初に洗浄ユニット４００の下面の下方の空間へ搬送治具７００を設置したタイミング以降において、洗浄ユニット４００を固定部１１４に固定することができる。

洗浄ユニット４００が搬送治具７００に適切に固定されたと判定した場合には、搬送治具７００を用いて洗浄ユニット４００を引き出し搬送する。具体的には、作業員は、搬送治具７００を引っ張り、搬送治具７００の長手方向に沿って移動部１４０を転動させることによって、洗浄ユニット４００を引き出し搬送する。

前部１１２ａに配置される第１の昇降機構１１６として例えば、第２の昇降機構１１８やジャッキを用いてもよい。第１の昇降機構１１６の代わりに第２の昇降機構１１８やジャッキを用いる場合、後部１１２ｄから前部１１２ａに向かって伸びる操作部材１３２は、前部１１２ａに配置された第２の昇降機構１１８やジャッキの側方を通過して後部１１２ｄから前部１１２ａに延伸することができる。

このとき、操作部材１３２の軸方向を、搬送治具７００の長手方向とは一致させず、搬送治具７００の長手方向に対して、斜めにしてもよい。これに伴い、後部１１２ｄに配置された第２の昇降機構１１８の第２の支持面１２２やジャッキの支持面を、その中心軸周りに回転させて、斜めである操作部材１３２の軸方向に合わせてもよい。ここで中心軸とは、支持面の中心から支持面に垂直に伸びる軸を意味する。なお、ユニバーサルジョイント等を用いて、第２の昇降機構１１８等と操作部材１３２を結合させることにより、第２の昇降機構１１８等の支持面を中心軸周りに回転させないこととしてもよい。なお、ジャッキは通常、円形もしくは多角形の支持面を有する。

前部１１２ａまたは後部１１２ｄに第２の昇降機構１１８やジャッキを配置する場合、第２の支持面１２２やジャッキの支持面の中心が搬送治具７００の長手方向の中心線上に実質的にあることが好ましいが、これに限られるものではない。また、第２の昇降機構１１８やジャッキを搬送治具７００に配置する場合、第２の支持面１２２やジャッキの支持面の中心軸周りの回転角度は上述のように任意に選択できる。

以上、本発明の実施形態の例について説明してきたが、上記した発明の実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定するものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更、改良され得るとともに、本発明には、その均等物が含まれることはもちろんである。また、上述した課題の少なくとも一部を解決できる範囲、または、効果の少なくとも一部を奏する範囲において、特許請求の範囲および明細書に記載された各構成要素の任意の組み合わせ、または、省略が可能である。
以上説明したように、本発明は以下の形態を有する。
形態１
治具本体部と、
前記治具本体部の前部に配置された第１の昇降機構と、
前記治具本体部の後部に配置された第２の昇降機構とを有し、
前記第１の昇降機構は、搬送対象物を支持可能な第１の支持面を有し、前記第１の昇降機構が配置されている前記前部に対する前記第１の支持面の高さである第１の高さを調整可能であり、
前記第２の昇降機構は、前記搬送対象物を支持可能な第２の支持面を有し、前記第２の昇降機構が配置されている前記後部に対する前記第２の支持面の高さである第２の高さを調整可能であり、
前記第１の昇降機構と前記第２の昇降機構は、前記第１の高さと前記第２の高さを互いに独立に調整可能であることを特徴とする搬送治具。
形態２
前記搬送治具は、前記搬送治具を移動可能な移動部を有することを特徴とする形態１記載の搬送治具。
形態３
前記搬送治具は、前記搬送対象物に固定可能な固定部を有することを特徴とする形態１または２記載の搬送治具。
形態４
前記搬送治具は、前記第２の昇降機構に接続された操作部材を有し、前記操作部材は、前記後部から前記前部に延伸しており、
前記操作部材により前記第２の昇降機構を操作して前記第２の高さを調整可能であることを特徴とする形態１ないし３のいずれか１項に記載の搬送治具。
形態５
前記第２の昇降機構は、前記第２の昇降機構に設けられた高さ調整用つまみを有し、
前記操作部材は、
前記高さ調整用つまみに接続されて、該高さ調整用つまみから前記前部まで延伸する延伸部と、
前記延伸部に設けられた操作部とを有し、
前記操作部に対する操作によって前記高さ調整用つまみを介して前記第２の昇降機構を操作可能であることを特徴とする形態４記載の搬送治具。
形態６
前記延伸部は、前記高さ調整用つまみから前記治具本体部に沿って前記前部まで延伸し、かつ、前記第１の昇降機構の下方もしくは側方を通過して前記前部に延伸することを特徴とする形態５記載の搬送治具。
形態７
前記第１の昇降機構は、前記第１の接触面が配置された支持部と、前記支持部と前記前部との間に配置されるボルトとナットとを有し、
前記ボルトと前記ナットのうちの少なくとも一方を回転させて前記第１の高さを調整可能であることを特徴とする形態１ないし６のいずれか１項に記載の搬送治具。

１１０…フレーム
１１２…治具本体部
１１２ａ、１１２ｂ、１１２ｇ…前部
１１２ｃ…中央部
１１２ｄ…後部
１１２ｅ…端部
１１２ｆ…底部
１１４…固定部
１１６ａ…取付部
１１６…第１の昇降機構
１１６ｂ、１１６ｃ、１１６ｄ…支持部
１１８…第２の昇降機構
１２０…第１の支持面
１２２…第２の支持面
１２４…アジャスターボルト
１２６…ボルト
１２８…ナット
１３０…距離
１３２…操作部材
１３６…貫通孔
１３８…距離
１４０…移動部
１４４…固定部
４００…洗浄ユニット
６３０…昇降装置
６６４…延伸部
６６６…操作部
６９０…床面
７００…搬送治具
１０００…基板処理装置

Claims (6)

1. 治具本体部と、
   前記治具本体部の前部に配置された第１の昇降機構と、
   前記治具本体部の後部に配置された第２の昇降機構とを有し、
   前記第１の昇降機構は、搬送対象物を支持可能な第１の支持面を有し、前記第１の昇降機構が配置されている前記前部に対する前記第１の支持面の高さである第１の高さを調整可能であり、
   前記第２の昇降機構は、前記搬送対象物を支持可能な第２の支持面を有し、前記第２の昇降機構が配置されている前記後部に対する前記第２の支持面の高さである第２の高さを調整可能であり、
   前記第１の昇降機構と前記第２の昇降機構は、前記第１の高さと前記第２の高さを互いに独立に調整可能であり、
   前記搬送治具は、前記第２の昇降機構に接続された操作部材を有し、前記操作部材は、前記後部から前記前部に延伸しており、
   前記操作部材により前記第２の昇降機構を操作して前記第２の高さを調整可能であることを特徴とする搬送治具。
2. 前記搬送治具は、前記搬送治具を移動可能な移動部を有することを特徴とする請求項１記載の搬送治具。
3. 前記搬送治具は、前記搬送対象物に固定可能な固定部を有することを特徴とする請求項１または２記載の搬送治具。
4. 前記第２の昇降機構は、前記第２の昇降機構に設けられた高さ調整用つまみを有し、
   前記操作部材は、
   前記高さ調整用つまみに接続されて、該高さ調整用つまみから前記前部まで延伸する延伸部と、
   前記延伸部に設けられた操作部とを有し、
   前記操作部に対する操作によって前記高さ調整用つまみを介して前記第２の昇降機構を操作可能であることを特徴とする請求項１記載の搬送治具。
5. 前記延伸部は、前記高さ調整用つまみから前記治具本体部に沿って前記前部まで延伸し、かつ、前記第１の昇降機構の下方もしくは側方を通過して前記前部に延伸することを特徴とする請求項４記載の搬送治具。
6. 前記第１の昇降機構は、前記第１の接触面が配置された支持部と、前記支持部と前記前部との間に配置されるボルトとナットとを有し、
   前記ボルトと前記ナットのうちの少なくとも一方を回転させて前記第１の高さを調整可能であることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１項に記載の搬送治具。
   

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