JP6317171B2 - 昇降装置、及び、ユニット搬送方法 - Google Patents
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Description
きくなり基板処理装置が大型化するにつれて顕著になる。
図1は本発明の一実施形態に係る基板処理装置の全体構成を示す平面図である。図1に示すように、このCMP装置は、略矩形状のハウジング1を備えており、ハウジング1の内部は隔壁1a,1bによってロード/アンロードユニット2と研磨ユニット3と洗浄ユニット4とに区画されている。ロード/アンロードユニット2、研磨ユニット3、及び洗浄ユニット4は、それぞれ独立に組み立てられ、独立に排気される。また、CMP装置は、CMP装置の各種動作を制御する制御ユニット5を備える。
ロード/アンロードユニット2は、多数のウェハ(基板)をストックするウェハカセットが載置される2つ以上(本実施形態では4つ)のフロントロード部20を備えている。これらのフロントロード部20はハウジング1に隣接して配置され、基板処理装置の幅方向(長手方向と垂直な方向)に沿って配列されている。フロントロード部20には、オープンカセット、SMIF(Standard Manufacturing Interface)ポッド、またはFOUP(Front Opening Unified Pod)を搭載することができるようになっている。ここで、SMIF、FOUPは、内部にウェハカセットを収納し、隔壁で覆うことにより、外部空間とは独立した環境を保つことができる密閉容器である。
ハカセットにアクセスできるようになっている。各搬送ロボット22は上下に2つのハンドを備えている。上側のハンドは、処理されたウェハをウェハカセットに戻すときに使用される。下側のハンドは、処理前のウェハをウェハカセットから取り出すときに使用される。このように、上下のハンドを使い分けることができるようになっている。さらに、搬送ロボット22の下側のハンドは、その軸心周りに回転することで、ウェハを反転させることができるように構成されている。
研磨ユニット3は、ウェハの研磨(平坦化)が行われる領域であり、第1研磨ユニット3A、第2研磨ユニット3B、第3研磨ユニット3C、第4研磨ユニット3Dを備えている。これらの第1研磨ユニット3A、第2研磨ユニット3B、第3研磨ユニット3C、及び第4研磨ユニット3Dは、図1に示すように、基板処理装置の長手方向に沿って配列されている。
液を含む気液2相流は、遠心力によって研磨パッド10の外方へ流れる。ウェハWは、トップリング31Aの下面に真空吸着により保持される。研磨時には、研磨液供給ノズル32Aから研磨パッド10の研磨面に研磨液が供給され、研磨対象であるウェハWがトップリング31Aにより研磨面に押圧されて研磨される。
図3(a)は洗浄ユニット4を示す平面図であり、図3(b)は洗浄ユニット4を示す側面図である。図3(a)及び図3(b)に示すように、洗浄ユニット4は、第1洗浄室190と、第1搬送室191と、第2洗浄室192と、第2搬送室193と、乾燥室194とに区画されている。第1洗浄室190内には、縦方向に沿って配列された上側一次洗浄モジュール201A及び下側一次洗浄モジュール201Bが配置されている。上側一次洗浄モジュール201Aは下側一次洗浄モジュール201Bの上方に配置されている。同
様に、第2洗浄室192内には、縦方向に沿って配列された上側二次洗浄モジュール202A及び下側二次洗浄モジュール202Bが配置されている。上側二次洗浄モジュール202Aは下側二次洗浄モジュール202Bの上方に配置されている。一次及び二次洗浄モジュール201A,201B,202A,202Bは、洗浄液を用いてウェハを洗浄する洗浄機である。これらの一次及び二次洗浄モジュール201A,201B,202A,202Bは垂直方向に沿って配列されているので、フットプリント面積が小さいという利点が得られる。
次に、昇降装置について説明する。上述のように、CMP装置は、ロード/アンロードユニット2、研磨ユニット3a、研磨ユニット3b、洗浄ユニット4、及び制御ユニット5を備える。これらのユニットはそれぞれ独立して製造され、基板処理装置の設置場所(稼働場所)へ搬送される。CMP装置は、搬送されてきた複数のユニットを組み立てて据え付け作業が行われる。また、CMP装置は、例えばユニットのメンテナンスを行う場合
には、複数のユニットが組み立てられたままではメンテナンスを行い難いので、メンテナンス対象のユニットをCMP装置から取り外してメンテナンスを行う。メンテナンス対象のユニットをCMP装置から取り外すために、本実施形態では昇降装置を用いてメンテナンス対象のユニットを引き出し搬送する。
11Bと同様の方向(例えば時計周り)に回転させると、第3部材646が高さ調整用つまみ650に近づく方向にスライド駆動される。第3部材646が高さ調整用つまみ650に近づく方向にスライド駆動されると、第2部材644が床面690からさらに遠ざかる方向に移動し、第1部材642と第2部材644とがさらに相対的に離れる。これにより、洗浄ユニット4の床面690に対する高さはさらに高くなる。
次に、台車700について説明する。図12は、台車700の斜視図である。図13は、台車700の底面図である。
次に、ユニット搬送方法について説明する。図14は、本実施形態のユニット搬送方法のフローチャートである。
ト4の両端部の下部空間に台車700を挿入する。なお、台車700の挿入場所、及び、個数は、本実施形態に限らず任意である。
以上説明したように、本発明は以下の形態を有する。
[形態1]
複数のユニットを組み立てて構成される基板処理装置の少なくとも1つのユニットの下面を支持するプレートと、
前記基板処理装置を設置する床面と前記プレートとの間に設けられ、前記床面に対する前記少なくとも1つのユニットの高さを調整可能な昇降機構と、
前記昇降機構から前記プレートに沿って延伸する延伸部を有し、前記延伸部を介して前記昇降機構を操作可能な調整部材と、
を備えた昇降装置。
[形態2]
形態1の昇降装置において、
前記昇降機構に設けられた高さ調整用つまみをさらに備え、
前記調整部材は、前記高さ調整用つまみに接続される接続部、該接続部から前記プレートに沿って延伸する前記延伸部、及び前記延伸部に設けられた操作部を有し、前記操作部に対する操作によって前記高さ調整用つまみを介して前記昇降機構を操作可能である、
ことを特徴とする昇降装置。
[形態3]
形態2の昇降装置において、
前記昇降機構は、前記プレートの一方の端部において前記床面側に設けられ、
前記昇降装置は、前記プレートの他方の端部において前記床面側に設けられ、前記床面に対する前記少なくとも1つのユニットの高さを調整可能な高さ調整用アジャスタをさら
に備え、
前記延伸部は、前記接続部から前記高さ調整用アジャスタの方向に延伸する、
ことを特徴とする昇降装置。
[形態4]
形態1〜3のいずれか1項の昇降装置において、
前記昇降機構は、前記床面と前記プレートとの間に積層され、互いに水平ではない対向面を有する第1部材及び第2部材と、前記第1部材と前記第2部材との間にくさび状に設けられた第3部材と、を備え、
前記高さ調整用つまみは、前記第3部材をスライド駆動することによって、前記第1部材と前記第2部材との間の距離を調整可能になっている、
ことを特徴とする昇降装置。
[形態5]
形態1〜4のいずれか1項の昇降装置において、
前記昇降装置は、台車を用いて前記少なくとも1つのユニットを搬送する際に前記少なくとも1つのユニットを昇降させる治具である、
ことを特徴とする昇降装置。
[形態6]
複数のユニットを組み立てて構成される基板処理装置の少なくとも1つのユニットを形態1〜5のいずれか1項の昇降装置を用いて持ち上げる工程と、
前記持ち上げ工程の後、前記少なくとも1つのユニットの下部空間に台車を挿入する工程と、
前記挿入工程の後、前記少なくとも1つのユニットを前記台車に搭載されるまで形態1〜5のいずれか1項の昇降装置を用いて降ろす工程と、
前記台車に搭載された少なくとも1つのユニットを、前記台車を用いて引き出し搬送する工程と、
を備えることを特徴とするユニット搬送方法。
3 研磨ユニット
3a,3b 研磨ユニット
4 洗浄ユニット
5 制御ユニット
630 昇降装置
640 昇降機構
642a,644a 対向面
642 第1部材
644 第2部材
646 第3部材
648 第4部材
660 調整部材
662 接続部
664 延伸部
666 操作部
670 プレート
680 高さ調整用アジャスタ
690 床面
700 台車
710,720 アーム部材
730 連結部材
740 キャスター部材
742 車輪
Claims (4)
- 複数のユニットを組み立てて構成される基板処理装置の少なくとも1つのユニットの下面を支持するプレートと、
前記基板処理装置を設置する床面と前記プレートとの間に設けられ、前記床面に対する前記少なくとも1つのユニットの高さを調整可能な昇降機構と、
前記昇降機構から前記プレートに沿って延伸する延伸部を有し、前記延伸部を介して前記昇降機構を操作可能な調整部材と、
を備えた昇降装置であって、
前記昇降装置は、前記昇降機構に設けられた高さ調整用つまみをさらに備え、
前記調整部材は、前記高さ調整用つまみに接続される接続部、該接続部から前記プレートに沿って延伸する前記延伸部、及び前記延伸部に設けられた操作部を有し、前記操作部に対する操作によって前記高さ調整用つまみを介して前記昇降機構を操作可能であり、
前記昇降機構は、前記プレートの一方の端部において前記床面側に設けられ、
前記昇降装置は、前記プレートの他方の端部において前記床面側に設けられ、前記床面に対する前記少なくとも1つのユニットの高さを調整可能な高さ調整用アジャスタをさらに備え、
前記延伸部は、前記接続部から前記高さ調整用アジャスタの方向に延伸する、
ことを特徴とする昇降装置。 - 請求項1の昇降装置において、
前記昇降機構は、前記床面と前記プレートとの間に積層され、互いに水平ではない対向面を有する第1部材及び第2部材と、前記第1部材と前記第2部材との間にくさび状に設けられた第3部材と、を備え、
前記高さ調整用つまみは、前記第3部材をスライド駆動することによって、前記第1部材と前記第2部材との間の距離を調整可能になっている、
ことを特徴とする昇降装置。 - 請求項1または2の昇降装置において、
前記昇降装置は、台車を用いて前記少なくとも1つのユニットを搬送する際に前記少なくとも1つのユニットを昇降させる治具である、
ことを特徴とする昇降装置。 - 複数のユニットを組み立てて構成される基板処理装置の少なくとも1つのユニットを請求項1〜3のいずれか1項の昇降装置を用いて持ち上げる工程と、
前記持ち上げ工程の後、前記少なくとも1つのユニットの下部空間に台車を挿入する工程と、
前記挿入工程の後、前記少なくとも1つのユニットを前記台車に搭載されるまで請求項1〜3のいずれか1項の昇降装置を用いて降ろす工程と、
前記台車に搭載された少なくとも1つのユニットを、前記台車を用いて引き出し搬送する工程と、
を備えることを特徴とするユニット搬送方法。
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