CN214493052U - 一种输送晶圆用手推车 - Google Patents

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张军伟
谭中飞
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Abstract

本实用新型提供一种输送晶圆用手推车包括车体,所述车体包括外框体和安装在外框体上的放置托盘,所述外框体的底端设有移动滚轮;所述移动滚轮包括轮体和安装轮体的安装支架,所述安装支架包括倒“U”型安装槽,所述轮体轴承连接在所述安装槽内部,所述安装支架还包括刹车片和弹簧件,所述刹车片位于所述轮体上方,所述弹簧件位于所述刹车片与所述安装槽顶部之间,并抵压所述刹车片于所述轮体滚动面上。本实用新型结构简单,制造方便,使用便捷,能够保持手推车在常态下保持静止状态,不需要刹车固定,安全性好。

Description

一种输送晶圆用手推车
技术领域
本实用新型涉及晶圆制造领域,尤其涉及一种输送晶圆用手推车。
背景技术
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片,随着集成电路芯片的广泛应用,晶圆的重要性也逐渐体现出来。
晶圆在制造过程中,需要将晶圆搬运移动,搬运时,一般是通过将晶圆放置在晶圆减震推车内,进行运输移动。
而现在市场上晶圆减震推车的轮子一般是由2只定向轮和2只万向刹车轮组成,停止时须把万向刹车刹车踩下,刹车固定。如果万向刹车轮刹车失灵或者作业员工忘记踩下万向轮刹车,则晶圆推车会随意乱动,可能碰撞旁边工作桌或者机台,造成晶圆碎裂导致严重作业事故,给公司造成重大损失。
发明内容
本实用新型解决的技术问题是提供一种输送晶圆用手推车,结构简单,制造方便,使用便捷,能够保持手推车在常态下保持静止状态,不需要刹车固定,安全性好。
为解决上述技术问题,本实用新型提供的一种输送晶圆用手推车,包括车体,所述车体包括外框体和安装在外框体上的放置托盘,所述外框体的底端设有移动滚轮;
所述移动滚轮包括轮体和安装轮体的安装支架,所述安装支架包括倒“U”型安装槽,所述安装支架上端与所述外框体连接,所述轮体轴承连接在所述安装槽内部,所述安装支架还包括刹车片和弹簧件,所述刹车片位于所述轮体上方,所述弹簧件位于所述刹车片与所述安装槽顶部之间,并抵压所述刹车片于所述轮体滚动面上;
所述外框体上设有刹车把手,所述刹车把手与所述刹车片之间连接有刹车线;
所述手推车包括静止状态和移动状态,当所述手推车为静止状态时,所述刹车把手为常态,所述刹车片抵靠在所述轮体上;
当所述手推车为移动状态时,所述刹车把手为握紧状态,所述刹车片远离所述轮体。
优选的,所述刹车片位于所述轮体的正上方,所述刹车片上固定连接有连接杆,所述连接杆一端连接在所述刹车片中部,另一端贯穿所述安装槽顶部并向外部延伸,所述弹簧件套设在部分所述连接杆的外侧。
优选的,所述连接杆的上端固定有圆锥部,所述圆锥部上设有用于连接刹车线的连接孔。
优选的,所述移动滚轮设有4个,4个所述移动滚轮均与所述刹车把手通过刹车线连接。
优选的,所述外框体的上部设有推手,所述刹车把手安装在所述推手上。
优选的,所述放置托盘沿所述外框体延伸方向间隔分布有多个。
与相关技术相比较,本实用新型具有如下有益效果:
本实用新型提供的一种输送晶圆用手推车,其结构简单,制造方便,使用便捷,相比于现有的手推车,本实用新型增加了刹车把手实现手动刹车,在移动手推车时,握紧刹车把手,使得移动滚轮上的刹车片远离轮体,停止时,只需松开刹车把手,刹车片在弹簧的弹力作用下压紧轮体,完美解决了输送晶圆用手推车自由移动时刹车松开和静置状态下刹车锁紧的矛盾,不需要在静置时踩下刹车,避免因员工忘记踩下刹车导致推车碰撞晶圆碎裂的作业事故发生,提高了运输安全性。
为让本实用新型的上述和其他目的、特征和优点能更明显易懂,下文特举较佳实施例,并配合所附图式,作详细说明如下。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本实用新型提供的一种较佳实施例的结构示意图;
图2为本实用新型提供的移动滚轮结构示意图。
图中标号:1、车体;2、外框体;3、放置托盘;4、移动滚轮;41、轮体;42、安装支架;43、安装槽;5、刹车片;6、弹簧件;7、刹车把手;8、连接杆;81、圆锥部;82、连接孔;9、推手。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
请结合参阅图1和图2,一种输送晶圆用手推车,包括车体1,所述车体1包括外框体2和安装在外框体2上的放置托盘3,所述外框体2的底端设有移动滚轮4;将晶圆摆放在车体1的放置托盘3内,通过移动滚轮4移动车体1,从而方便运输晶圆。
所述移动滚轮4包括轮体41和安装轮体41的安装支架42,所述安装支架42包括倒“U”型安装槽43,所述安装支架42上端与所述外框体2连接,所述轮体41轴承连接在所述安装槽43内部,所述安装支架42还包括刹车片5和弹簧件6,所述刹车片5位于所述轮体41上方,所述弹簧件6位于所述刹车片5与所述安装槽43顶部之间,并抵压所述刹车片5于所述轮体41滚动面上,轮体41能够通过轴承在安装槽43内转动,通过弹簧件6将刹车片5抵靠在轮体41上时,能够抵住轮体41使得车体1处于静置状态;
所述外框体2上设有刹车把手7,所述刹车把手7与所述刹车片5之间连接有刹车线(图中未示出),通过拉动刹车把手7能够将刹车片5压缩弹簧件6,并远离轮体41;
所述手推车包括静止状态和移动状态,当所述手推车为静止状态时,所述刹车把手7为常态,所述刹车片5抵靠在所述轮体41上;
当所述手推车为移动状态时,所述刹车把手7为握紧状态,所述刹车片5远离所述轮体41。
具体的,所述刹车片5位于所述轮体41的正上方,所述刹车片5上固定连接有连接杆8,所述连接杆8一端连接在所述刹车片5中部,另一端贯穿所述安装槽43顶部并向外部延伸,使得刹车片5在抵靠轮体41时,稳定性好,所述弹簧件6套设在部分所述连接杆8的外侧,所述连接杆8的上端固定有圆锥部81,所述圆锥部81上设有用于连接刹车线的连接孔82,通过圆锥部81上的连接孔82安装刹车线,刹车把手7拉动刹车线时,从而能够拉动连接杆8,进而拉动与连接杆8固定连接的刹车片5向上移动,并通过刹车片5压缩弹簧件6,刹车片5远离轮体41,并保持使用刹车把手7拉动刹车线使得刹车片5远离轮体41,方便移动滚轮4转动。
再如图1所示,在本实施例中,所述移动滚轮4设有4个,4个所述移动滚轮4均与所述刹车把手7通过刹车线连接,所述外框体2的上部设有推手9,所述刹车把手7安装在所述推手9上,方便推动车体1移动的过程中进行手刹控制,4个移动滚轮4都通过刹车线与刹车把手7连接,可在使用手推车移动的过程中根据需要手动控制手推车的静置或移动的状态,方便快捷,不需要使用脚踩刹车片5进行控制。
在本实施例中,所述放置托盘3沿所述外框体2延伸方向间隔分布有多个,可一次将多个晶圆放置在放置托盘3中,进行搬运移动。
使用时,将需要进行搬运的晶圆放置在放置托盘3中,此时手推车处于静置装置,刹车片5抵靠在移动滚轮4的轮体41上,并通过弹簧件6压紧,晶圆放置完毕后,员工握住推手9,并握紧安装在推手9上的刹车把手7,刹车把手7握紧后,拉动刹车线进行收紧,移动滚轮4上与刹车线连接的连接杆8被拉动,使得固定连接在连接杆8另一端的刹车片5被拉起,远离轮体41,轮体41不受抵压可自由移动,同时刹车片5上方的弹簧件6被压缩,因此,在通过推手9推动手推车移动时,需要保持握紧刹车把手7,拉紧刹车线,使得刹车片5始终远离轮体41;当手推车移动至相应位置处,只需松开刹车把手7,弹簧件6回弹并推动刹车片5抵压在轮体41上,连接杆8与刹车片5同步移动,刹车线拉动刹车把手7复位,轮体41被抵压静置,手推车处于静置状态,不会偏移移动。方便快捷,避免了现有的移动滚轮4因刹车失灵或者忘记刹车而导致晶圆碎裂等严重作业事故发生。
以上所述仅为本实用新型的实施例,并非因此限制本实用新型的专利范围,凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换,或直接或间接运用在其它相关的技术领域,均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。

Claims (6)

1.一种输送晶圆用手推车,其特征在于,包括车体,所述车体包括外框体和安装在外框体上的放置托盘,所述外框体的底端设有移动滚轮;
所述移动滚轮包括轮体和安装轮体的安装支架,所述安装支架包括倒“U”型安装槽,所述安装支架上端与所述外框体连接,所述轮体轴承连接在所述安装槽内部,所述安装支架还包括刹车片和弹簧件,所述刹车片位于所述轮体上方,所述弹簧件位于所述刹车片与所述安装槽顶部之间,并抵压所述刹车片于所述轮体滚动面上;
所述外框体上设有刹车把手,所述刹车把手与所述刹车片之间连接有刹车线;
所述手推车包括静止状态和移动状态,当所述手推车为静止状态时,所述刹车把手为常态,所述刹车片抵靠在所述轮体上;
当所述手推车为移动状态时,所述刹车把手为握紧状态,所述刹车片远离所述轮体。
2.根据权利要求1所述的输送晶圆用手推车,其特征在于,所述刹车片位于所述轮体的正上方,所述刹车片上固定连接有连接杆,所述连接杆一端连接在所述刹车片中部,另一端贯穿所述安装槽顶部并向外部延伸,所述弹簧件套设在部分所述连接杆的外侧。
3.根据权利要求2所述的输送晶圆用手推车,其特征在于,所述连接杆的上端固定有圆锥部,所述圆锥部上设有用于连接刹车线的连接孔。
4.根据权利要求2所述的输送晶圆用手推车,其特征在于,所述移动滚轮设有4个,4个所述移动滚轮均与所述刹车把手通过刹车线连接。
5.根据权利要求1所述的输送晶圆用手推车,其特征在于,所述外框体的上部设有推手,所述刹车把手安装在所述推手上。
6.根据权利要求1所述的输送晶圆用手推车,其特征在于,所述放置托盘沿所述外框体延伸方向间隔分布有多个。
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