CN215043006U - 用于搬运芯片转运机的进给装置的推车 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种用于搬运芯片转运机的进给装置的推车，所述推车包括底侧安装有轮子的底座；包括两个引导柱的引导架，所述引导柱在所述底座的一端间隔开并且直立地安装在所述底座上；安装在所述底座上的升降机构；由所述升降机构支撑并且两端分别由所述引导柱引导的升降臂；以及与所述升降臂刚性地连接或者一体地形成并且用于支承所述进给装置的托架。根据本实用新型的推车不仅符合人体工程学，省时省力，而且可以避免对操作人员造成伤害，显著降低安全风险。

Description

用于搬运芯片转运机的进给装置的推车

技术领域

本实用新型涉及一种用于搬运芯片转运机的进给装置的推车。

背景技术

在半导体工业中，在将裸片加工成最终单元之前需要经受多道不同的加工工艺。在本申请中，将最初的裸片、贴有晶圆的裸片或成品单元、以及制造工艺中常用的陪片(也称作假片)统称为芯片。芯片需要通过芯片转运机被转运至实施不同工艺的工位。芯片转运机通常包括进给装置和转运臂，承载芯片的托盘被放入到芯片转运机的进给装置中，进给装置再将承载芯片的托盘进给到合适位置供转运臂抓取和转运相应的芯片。在加工现场，有时需要将进给装置拆卸并且更换新的进给装置、将进给装置转运到其它工位进行维护保养、或者将进给装置转运到新的安装位置等。由于进给装置本身较重，现有的转运方式是在进给装置下方设置导轨，同时在由两个半部组成的转运支架上面也设置相应的导轨，操作人员首先需要将转运支架上的导轨与进给装置下方的导轨对齐，随后沿着导轨将进给装置推移到转运支架上，再用螺钉将转运支架的两个半部紧固在一起，接着利用转运支架下方的升降支脚将转运支架升高，以便叉车的叉臂从转运支架下方插入并且将装有进给装置的转运支架送到预定位置。

现有的转运方式需要操作人员弯下腰来手动地对齐导轨、拧紧螺钉以及操作转运支架的升降支脚，不仅不符合人体工程学、费时费力，而且极其容易对操作人员造成伤害，存在较大安全风险。

因此，需要一种用于搬运芯片转运机的进给装置的改进装置。

实用新型内容

本实用新型的一个目的是要克服上述现有技术中的缺陷，提供一种用于搬运芯片转运机的进给装置的推车，这种推车不仅符合人体工程学、省时省力，而且可以避免对操作人员造成伤害，降低安全风险。

根据本实用新型的一个方面，提供一种用于搬运芯片转运机的进给装置的推车，包括：

底侧安装有轮子的底座；

包括两个引导柱的引导架，所述引导柱在所述底座的一端间隔开并且直立地安装在所述底座上；

安装在所述底座上的升降机构；

由所述升降机构支撑并且两端分别由所述引导柱引导的升降臂；以及

与所述升降臂刚性地连接或者一体地形成并且用于支承所述进给装置的托架。

优选地，所述升降机构包括电动升降机构。

优选地，所述升降机构包括脚踏式千斤顶，所述脚踏式千斤顶具有液压踩踏板和锁紧装置。

优选地，所述托架包括用于托住所述进给装置的两个悬臂。

优选地，所述托架包括第一侧向框架、与所述第一侧向框架相对的第二侧向框架、以及将所述第一侧向框架与所述第二侧向框架固定连接在一起的连接框架，所述连接框架与所述升降臂刚性地连接或者一体地形成，所述托架还包括两个细长的L形构件，所述L形构件的一个侧部紧贴所述第一侧向框架或所述第二侧向框架固定地安装，所述L形构件的另一个侧部分别形成对应的所述悬臂。

优选地，所述轮子包括在远离所述引导架的所述底座的前端的两个定向轮，以及在靠近所述引导架的所述底座的后端的两个万向轮。

优选地，所述底座被构造成U形，所述底座的两个分支朝向远离所述引导架的所述推车的前端设置。

优选地，所述升降臂的两端分别设置在所述引导柱上的引导槽中。

优选地，所述升降臂的两端分别设置有滚轮，所述滚轮被容纳在相应的所述引导槽中。

优选地，所述引导架呈U形，所述引导架的两个分支构成所述引导柱并且所述两个分支的自由端朝下地安装到所述底座上。

根据本实用新型的用于搬运芯片转运机的进给装置的推车，这种推车主要通过升降机构来提升进给装置并且通过推动推车来移动进给装置，因而这种推车不仅符合人体工程学，省时省力，而且可以避免对操作人员造成伤害，显著降低安全风险。

附图说明

图1以立体图示意地显示了根据本实用新型的用于搬运芯片转运机的进给装置的推车；

图2是图1所示用于搬运芯片转运机的进给装置的推车的另一立体图；

图3是图1和2所示用于搬运芯片转运机的进给装置的推车的主视图；以及

图4是图1和2所示用于搬运芯片转运机的进给装置的推车的俯视图。

具体实施方式

以下将结合附图对本实用新型的具体实施例进行详细描述。图1以立体图示意地显示了根据本实用新型的用于搬运芯片转运机的进给装置的推车，图2是图1所示用于搬运芯片转运机的进给装置的推车的另一立体图，图3是图1和2所示用于搬运芯片转运机的进给装置的推车的主视图，以及图4是图1和2所示用于搬运芯片转运机的进给装置的推车的俯视图。如图1至4所示，根据本实用新型的用于搬运芯片转运机的进给装置的推车1包括底座3和安装到底座3一端的引导架5。在底座3的底侧安装有四个轮子7，在底座3远离引导架5的前端的两个轮子7可以是定向轮，而在底座3靠近引导架5的后端的两个轮子7可以是万向轮，以便推车1在地面上沿着所需方向被推动。当然，根据需要，轮子数目可以多于或者少于四个。尽管底座3可以为平板状，但在优选实施例中底座3被显示为U形，U形的底座3的两个分支朝向推车的前端设置。引导架5至少包括两个引导柱9，两个引导柱9在底座3的后端间隔开并且大体直立地安装在底座3上。在优选实施例中，引导架5也呈U形，U形引导架5的两个分支构成两个引导柱9并且两个分支的自由端朝下地安装到底座3上。在引导架5的两个引导柱9的后侧分别装有把手11，以便操作人员可以抓握把手11来移动推车1。

根据本实用新型的用于搬运芯片转运机的进给装置的推车1还包括升降臂13，升降臂13的两端分别设置在两个引导柱9上的引导槽15中，升降臂13的底侧由安装在底座3上的升降机构17支撑。在升降机构17的作用下，升降臂13可以沿着引导槽15上下移动。为了便于升降臂13沿着引导槽15上下移动，在升降臂13的两端分别设置有滚轮19，滚轮19被容纳在相应的引导槽15中，使得滚轮19能够在引导槽15中滚动。应理解的是，升降臂13也可以其它方式由引导柱9引导，例如，引导柱上设置有纵向延伸的凸肋，凸肋与设置在升降臂13两端的引导槽配合。升降机构17可以是电动升降机构，例如电动丝杆机构、电动液压升降机构等，在优选实施例中升降机构17可以采用脚踏式千斤顶21，脚踏式千斤顶21带有液压踩踏板23和诸如锁紧螺杆25的锁紧装置。在需要提升升降臂13时，操作人员只需要用单只脚踩踏液压踩踏板23，就可以将升降臂13升起，随后通过拧紧锁紧螺杆25可以将脚踏式千斤顶21的液压回路切断，从而将升降臂13保持在升高的位置。当需要降下升降臂13时，只需要在相反方向拧动紧锁紧螺杆25以接通脚踏式千斤顶21的液压回路，在所支承的进给装置(以下将详述)的重力作用下，升降臂13随着脚踏式千斤顶21下降到预定位置。应理解的是，锁紧装置也可以采用锁紧按钮，例如通过按下或者释放锁紧按钮来切断或接通液压回路。

根据本实用新型的用于搬运芯片转运机的进给装置的推车1还包括用于支承进给装置的托架27，托架27与升降臂13刚性地连接或者一体地形成，以便随着升降臂13一起升降。在优先实施例中，托架27包括用于托住进给装置的底部的两个悬臂29。更优选地，托架27包括第一侧向框架27a、与第一侧向框架27a相对的第二侧向框架27b、以及将第一侧向框架27a与第二侧向框架27b固定连接在一起的连接框架27c，连接框架27c与升降臂13刚性地连接或者一体地形成。托架27还包括两个细长的L形构件31，两个L形构件31的一个侧部31a分别紧贴第一侧向框架27a和第二侧向框架27b固定地安装，而两个L形构件31的另一个侧部31b分别形成对应的悬臂29。这样，第一侧向框架27a、第二侧向框架27b、连接框架27c以及两个L形构件31一起限定容纳进给装置的空间，其中，两个L形构件31的侧部31b用于支承进给装置，第一侧向框架27a、第二侧向框架27b和连接框架27c可以防止进给装置倾斜和/或意外掉落。

以下将描述根据本实用新型的用于搬运芯片转运机的进给装置的推车1的操作。

当需要采用根据本实用新型的用于搬运芯片转运机的进给装置的推车1来搬运芯片转运机的进给装置时，操作人员将推车1推到进给装置附近使得推车1的前端与进给装置对齐，并且通过脚踏式千斤顶21将托架27的两个L形构件31的侧部31b下降到低于进给装置主体下方的位置，接着将推车1朝着进给装置推动，使得托架27的两个L形构件31的侧部31b插入到进给装置主体正下方。随后，操作人员用单只脚踩踏液压踩踏板23，就可以将升降臂13连同承载进给装置的托架27升起，使得进给装置脱离地面，紧接着操作人员拧紧锁紧螺杆25以将脚踏式千斤顶21的液压回路切断，从而将升降臂13连同承载进给装置的托架27固定地保持在升高的位置。这样，操作人员就可以推动装载有进给装置的推车1，以便将进给装置搬运到预定位置。到达预定位置之后，通过在相反方向拧动紧锁紧螺杆25以接通脚踏式千斤顶21的液压回路，在所支承的进给装置的重力作用下，升降臂13连同承载进给装置的托架27随着脚踏式千斤顶21下降到预定位置，以将进给装置放置在所需位置，同时将推车1从进给装置推走。

根据本实用新型的用于搬运芯片转运机的进给装置的推车，这种推车主要通过升降机构来提升进给装置并且通过推动推车来移动进给装置，因而这种推车不仅符合人体工程学，省时省力，而且可以避免对操作人员造成伤害，显著降低安全风险。

尽管已经结合本实用新型优选实施例对本实用新型进行了详细描述，但应当理解的是，这种详细描述仅是用于解释本实用新型而不构成对本实用新型的限制。本实用新型的范围由权利要求限定的技术方案来确定。

Claims (10)

1.一种用于搬运芯片转运机的进给装置的推车(1)，其特征在于，所述推车(1)包括：

底侧安装有轮子(7)的底座(3)；

包括两个引导柱(9)的引导架(5)，所述引导柱(9)在所述底座(3)的一端间隔开并且直立地安装在所述底座(3)上；

安装在所述底座(3)上的升降机构(17)；

由所述升降机构(17)支撑并且两端分别由所述引导柱(9)引导的升降臂(13)；以及

与所述升降臂(13)刚性地连接或者一体地形成并且用于支承所述进给装置的托架(27)。

2.如权利要求1所述的用于搬运芯片转运机的进给装置的推车(1)，其特征在于，所述升降机构(17)包括电动升降机构。

3.如权利要求1所述的用于搬运芯片转运机的进给装置的推车(1)，其特征在于，所述升降机构(17)包括脚踏式千斤顶(21)，所述脚踏式千斤顶(21)具有液压踩踏板(23)和锁紧装置。

4.如权利要求1所述的用于搬运芯片转运机的进给装置的推车(1)，其特征在于，所述托架(27)包括用于托住所述进给装置的两个悬臂(29)。

5.如权利要求4所述的用于搬运芯片转运机的进给装置的推车(1)，其特征在于，所述托架(27)包括第一侧向框架(27a)、与所述第一侧向框架(27a)相对的第二侧向框架(27b)、以及将所述第一侧向框架(27a)与所述第二侧向框架(27b)固定连接在一起的连接框架(27c)，所述连接框架(27c)与所述升降臂(13)刚性地连接或者一体地形成，所述托架(27)还包括两个细长的L形构件(31)，所述L形构件(31)的一个侧部(31a)紧贴所述第一侧向框架(27a)或所述第二侧向框架(27b)固定地安装，所述L形构件(31)的另一个侧部(31b)分别形成对应的所述悬臂(29)。

6.如权利要求1所述的用于搬运芯片转运机的进给装置的推车(1)，其特征在于，所述轮子(7)包括在远离所述引导架(5)的所述底座(3)的前端的两个定向轮，以及在靠近所述引导架(5)的所述底座(3)的后端的两个万向轮。

7.如权利要求1所述的用于搬运芯片转运机的进给装置的推车(1)，其特征在于，所述底座(3)被构造成U形，所述底座(3)的两个分支朝向远离所述引导架(5)的所述推车的前端设置。

8.如权利要求1所述的用于搬运芯片转运机的进给装置的推车(1)，其特征在于，所述升降臂(13)的两端分别设置在所述引导柱(9)上的引导槽(15)中。

9.如权利要求8所述的用于搬运芯片转运机的进给装置的推车(1)，其特征在于，所述升降臂(13)的两端分别设置有滚轮(19)，所述滚轮(19)被容纳在相应的所述引导槽(15)中。

10.如权利要求1所述的用于搬运芯片转运机的进给装置的推车(1)，其特征在于，所述引导架(5)呈U形，所述引导架(5)的两个分支构成所述引导柱(9)并且所述两个分支的自由端朝下地安装到所述底座(3)上。

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