WO2023228892A1 - メンテナンス装置 - Google Patents

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WO2023228892A1
WO2023228892A1 PCT/JP2023/018867 JP2023018867W WO2023228892A1 WO 2023228892 A1 WO2023228892 A1 WO 2023228892A1 JP 2023018867 W JP2023018867 W JP 2023018867W WO 2023228892 A1 WO2023228892 A1 WO 2023228892A1
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WO
WIPO (PCT)
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maintenance device
opening
housing
vtm
container
Prior art date
Application number
PCT/JP2023/018867
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
紀彦 網倉
Original Assignee
東京エレクトロン株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
Application filed by 東京エレクトロン株式会社 filed Critical 東京エレクトロン株式会社
Publication of WO2023228892A1 publication Critical patent/WO2023228892A1/ja

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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations

Definitions

  • Various aspects and embodiments of the present disclosure relate to maintenance devices.
  • Patent Document 1 discloses that when a robot is installed in a vacuum chamber that transports a workpiece, the lid at the top of the vacuum chamber is opened.
  • the present disclosure provides a maintenance device that can suppress a decrease in throughput due to maintenance of components within a transport module.
  • a maintenance device for assisting replacement of a transfer robot attached to a transfer module, and includes a cart, a housing, a first lifting unit, a lower shutter, and a support. unit, and a second elevating unit.
  • the housing has an upper opening and a lower opening, and is arranged above the truck.
  • the first lifting unit is attached to the trolley and configured to lift and lower the housing between a first upper position and a first lower position.
  • the housing is connected to the transport module when in the first upper position.
  • the lower shutter is configured to open and close the lower opening.
  • the support unit is configured to support the transfer robot.
  • the second lifting unit raises and lowers the support unit between a second upper position within the housing and a second lower position below the housing when the housing is in the first upper position. It is configured as follows.
  • FIG. 1 is a plan view showing an example of a processing system.
  • FIG. 2 is a side view showing an example of a processing system.
  • FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing an example of a maintenance device.
  • FIG. 4 is a flowchart illustrating an example of a maintenance method.
  • FIG. 5 is a diagram for explaining an example of a maintenance procedure in the first embodiment.
  • FIG. 6 is an enlarged sectional view showing an example of the locking mechanism.
  • FIG. 7 is an enlarged cross-sectional view for explaining an example of the electrical system connection of the transfer robot and the gas system connection between the VTM and the maintenance device.
  • FIG. 8 is a diagram for explaining an example of a maintenance procedure in the first embodiment.
  • FIG. 8 is a diagram for explaining an example of a maintenance procedure in the first embodiment.
  • FIG. 9 is an enlarged cross-sectional view for explaining an example of the electrical system connection of the transfer robot and the gas system connection between the VTM and the maintenance device.
  • FIG. 10 is a diagram for explaining an example of a maintenance procedure in the first embodiment.
  • FIG. 11 is a diagram showing an example of the structure of the support unit.
  • FIG. 12 is an enlarged sectional view showing an example of the locking mechanism.
  • FIG. 13 is an enlarged cross-sectional view for explaining an example of the electrical system connection of the transfer robot and the gas system connection between the VTM and the maintenance device.
  • FIG. 14 is a diagram for explaining an example of a maintenance procedure in the first embodiment.
  • FIG. 14 is a diagram for explaining an example of a maintenance procedure in the first embodiment.
  • FIG. 15 is an enlarged cross-sectional view for explaining an example of the electrical system connection of the transfer robot and the gas system connection between the VTM and the maintenance device.
  • FIG. 16 is a diagram for explaining an example of a maintenance procedure in the first embodiment.
  • FIG. 17 is a diagram for explaining an example of a maintenance procedure in the first embodiment.
  • FIG. 18 is a diagram for explaining an example of a maintenance procedure in the second embodiment.
  • FIG. 19 is a diagram for explaining an example of a maintenance procedure in the second embodiment.
  • FIG. 20 is a diagram for explaining an example of a maintenance procedure in the second embodiment.
  • FIG. 21 is a diagram for explaining an example of a maintenance procedure in the second embodiment.
  • FIG. 22 is a diagram for explaining an example of a maintenance procedure in the second embodiment.
  • FIG. 16 is a diagram for explaining an example of a maintenance procedure in the first embodiment.
  • FIG. 17 is a diagram for explaining an example of a maintenance procedure in the first embodiment.
  • FIG. 18 is a
  • FIG. 23 is a diagram for explaining an example of a maintenance procedure in the second embodiment.
  • FIG. 24 is a diagram for explaining an example of a maintenance procedure in the second embodiment.
  • FIG. 25 is a diagram for explaining an example of a maintenance procedure in the third embodiment.
  • FIG. 26 is a diagram for explaining an example of a maintenance procedure in the third embodiment.
  • FIG. 27 is a diagram for explaining an example of a maintenance procedure in the fourth embodiment.
  • FIG. 28 is a diagram for explaining an example of a maintenance procedure in the fifth embodiment.
  • FIG. 29 is a diagram for explaining an example of a maintenance procedure in the fifth embodiment.
  • FIG. 30 is an enlarged sectional view for explaining an example of gas system connection between the EFEM and the maintenance device.
  • FIG. 31 is a diagram for explaining an example of a maintenance procedure in the fifth embodiment.
  • FIG. 32 is a diagram for explaining an example of a maintenance procedure in the fifth embodiment.
  • FIG. 33 is a diagram for explaining an example of a maintenance procedure in the fifth embodiment.
  • FIG. 34 is a diagram for explaining an example of a maintenance procedure in the fifth embodiment.
  • FIG. 35 is a diagram for explaining an example of a maintenance procedure in the fifth embodiment.
  • FIG. 36 is a diagram for explaining an example of a maintenance procedure in the sixth embodiment.
  • FIG. 37 is a diagram for explaining an example of a maintenance procedure in the sixth embodiment.
  • FIG. 38 is a diagram for explaining an example of a maintenance procedure in the sixth embodiment.
  • FIG. 39 is an enlarged sectional view for explaining an example of gas system connection between the EFEM and the maintenance device.
  • FIG. 40 is a diagram for explaining an example of a maintenance procedure in the sixth embodiment.
  • FIG. 41 is a diagram for explaining an example of a maintenance procedure in the sixth embodiment.
  • FIG. 42 is a diagram for explaining an example of a maintenance procedure in the sixth embodiment.
  • FIG. 43 is a diagram showing another example of the structure of the shutter.
  • the present disclosure provides a technique that can suppress a decrease in throughput due to maintenance of components within a transport module.
  • FIG. 1 is a plan view showing an example of the configuration of a processing system 1.
  • FIG. 2 is a side view showing an example of the processing system 1.
  • FIGS. 1 and 2 some of the internal components of the apparatus are shown for convenience.
  • the processing system 1 includes a VTM (Vacuum Transfer Module) 11, a plurality of PMs (Process Modules) 12, a plurality of LLMs (Load Lock Modules) 13, and an EFEM (Equipment Front End Module) 14.
  • VTM Vauum Transfer Module
  • PMs Process Modules
  • LLMs Load Lock Modules
  • EFEM Equipment Front End Module
  • a plurality of PMs 12 are connected to the side wall of the VTM 11 via a gate valve G1. In the example of FIG. 1, six PMs 12 are connected to the VTM 11, but the number of PMs 12 connected to the VTM 11 may be more than six or less than six.
  • VTM11 and EFEM14 are examples of transport modules.
  • Each PM 12 performs a process such as etching or film formation on the substrate W to be processed.
  • a plurality of LLMs 13 are connected to the other side wall of the VTM 11 via a gate valve G2. In the example of FIG. 1, two LLMs 13 are connected to the VTM 11, but the number of LLMs 13 connected to the VTM 11 may be greater than two or may be one.
  • a transfer robot 110 is arranged inside the VTM 11.
  • the transport robot 110 transports the substrate W between the PM 12 and other PMs 12 and between the PM 12 and the LLM 13.
  • the inside of the VTM 11 is maintained at a predetermined pressure atmosphere lower than atmospheric pressure.
  • the VTM 11 is connected to one side wall of each LLM 13 via a gate valve G2, and the EFEM 14 is connected to the other side wall via a gate valve G3.
  • the gate valve G3 is closed and the pressure inside the LLM 13 is lowered to a predetermined pressure. Then, the gate valve G2 is opened, and the substrate W in the LLM 13 is carried out into the VTM 11 by the transfer robot 110.
  • the transfer robot 110 carries the substrate W from the VTM 11 into the LLM 13 via the gate valve G2, and the gate valve G2 is closed. Then, the pressure inside the LLM 13 is raised to the same level as the pressure inside the EFEM 14. Then, the gate valve G3 is opened, and the substrate W inside the LLM 13 is carried out into the EFEM 14.
  • a plurality of load ports 15 are provided on the side wall of the EFEM 14 opposite to the side wall of the EFEM 14 where the gate valve G3 is provided.
  • a container 16 such as a FOUP (Front Opening Unified Pod) capable of accommodating a plurality of substrates W is connected to each load port 15 .
  • the EFEM 14 may be provided with an aligner module or the like that changes the orientation of the substrate W.
  • a container capable of accommodating consumable parts such as an edge ring ER is connected to one of the plurality of load ports 15.
  • the inside of the EFEM 14 is filled with gas at a predetermined pressure.
  • the predetermined pressure is, for example, atmospheric pressure.
  • the gas filled in the EFEM 14 is an inert gas such as nitrogen gas, and the inert gas is circulated within the EFEM 14 .
  • a transfer robot 140 is provided within the EFEM 14 . The transport robot 140 moves within the EFEM 14 along guide rails 141 provided on the side wall of the EFEM 14 and transports the substrate W between the LLM 13 and a container connected to the load port 15.
  • An FFU Fluorescence Unit
  • inert gas from which particles and the like have been removed is supplied into the EFEM 14 from the upper part, and a downflow is formed in the EFEM 14.
  • the pressure inside the EFEM 14 is atmospheric pressure, but in another embodiment, the pressure inside the EFEM 14 may be controlled to be positive pressure. Thereby, it is possible to suppress particles and the like from entering into the EFEM 14 from the outside.
  • the control unit 10 has a memory, a processor, and an input/output interface. Data such as recipes, programs, etc. are stored in the memory.
  • the memory is, for example, RAM (Random Access Memory), ROM (Read Only Memory), HDD (Hard Disk Drive), or SSD (Solid State Drive).
  • the processor controls each part of the processing system 1 via the input/output interface based on data such as recipes stored in the memory by executing a program read from the memory.
  • the processor is a CPU (Central Processing Unit), a DSP (Digital Signal Processor), or the like.
  • FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing an example of the maintenance device 20.
  • the maintenance device 20 illustrated in FIG. 3 is a device used to assist in replacing the transfer robot attached to the VTM 11.
  • the maintenance device 20 in this embodiment includes a truck 26, a container 21, a jack 25, a shutter 23a, a shutter 23b, a support unit 27, and an arm 24.
  • the storage container 21 has an opening 22a and an opening 22b.
  • the opening 22a is an example of an upper opening
  • the opening 22b is an example of a lower opening.
  • the storage container 21 is arranged above the trolley 26.
  • the jack 25 is attached to the truck 26 and is configured to raise and lower the storage container 21 between a first upper position and a first lower position. The first upper position and the first lower position will be described later.
  • the storage container 21 is connected to the transport module when in the first upper position.
  • the shutter 23b is configured to open and close the opening 22b.
  • the support unit 27 is configured to support the transfer robot.
  • the arm 24 moves the support unit 27 between a second upper position within the housing container 21 and a second lower position below the housing container 21 when the housing container 21 is in the first upper position. It is configured to move up and down. The second upper position and second lower position will be described later.
  • a through hole 211a is formed in the side wall of the storage container 21, and a pipe 211 is connected to the through hole 211a.
  • the storage container 21 is an example of a housing
  • the jack 25 is an example of a first elevating unit
  • the shutter 23a is an example of an upper shutter
  • the shutter 23b is an example of a lower shutter
  • the arm 24 is an example of a second elevating unit.
  • FIG. 4 is a flowchart illustrating an example of a maintenance method.
  • a work procedure for replacing the transport robot 110 attached to the VTM 11 is shown to assist in replacing the transport robot 110.
  • the storage container 21 is connected to the VTM 11 (S10).
  • step S10 for example, as shown in FIG. 5, the cart 26 of the maintenance device 20 moves below the VTM 11.
  • the movement of the trolley 26 may be performed by an operator, or may be performed by an automatic operation mechanism (not shown) provided on the trolley 26.
  • hatching is applied to a space in a predetermined pressure atmosphere lower than atmospheric pressure.
  • the space within the VTM 11 is hatched.
  • the position of the storage container 21 with respect to the trolley 26 illustrated in FIG. 5 is an example of the first lower position.
  • the transfer robot 110 is attached to an opening 111 formed at the bottom of the VTM 11.
  • An enlarged view of area A in FIG. 5 is shown in FIG.
  • FIG. 6 is an enlarged sectional view showing an example of the lock mechanism 113.
  • the lock mechanism 113 includes an actuator 1130 provided at the bottom of the VTM 11 and a wedge-shaped cylinder 1131.
  • the lock mechanism 113 includes a pin 1132 provided on the transfer robot 110.
  • the pin 1132 has a small diameter part 1132a that stands up on the upper surface of the peripheral edge 110b of the transfer robot 110, and a large diameter part 1132b that is provided at the tip of the small diameter part 1132a.
  • a sealing member 110a such as an O-ring is arranged between the bottom of the VTM 11 and the peripheral edge 110b of the transfer robot 110.
  • the cylinder 1131 is inserted by the actuator 1130 between the large diameter portion 1132b and the upper surface of the peripheral portion 110b of the transfer robot 110.
  • the transfer robot 110 is fixed to the bottom of the VTM 11 so as to close the opening 111 of the VTM 11 .
  • the driving of the cylinder 1131 by the actuator 1130 is controlled by, for example, the control unit 10 or the like.
  • FIG. 7 is an enlarged cross-sectional view for explaining an example of the electrical system connection of the transfer robot 110 and the gas system connection between the VTM 11 and the maintenance device 20.
  • a locking mechanism 113 is also provided in area B. Note that the locking mechanism 113 is not limited to the configuration shown in FIGS. 6 and 7, and may be configured to fix the VTM 11 and the transfer robot 110 using bolts, screws, or the like.
  • the electrical system of the transfer robot 110 is connected to the electrical system of the VTM 11 via a connector 115. Further, a plug 116a of a joint 116 is provided on the lower surface of the VTM 11, and a valve 117a and a valve 117b are connected to the plug 116a via a pipe 114.
  • a CDA (Clean Dry Air) supply source (dry air supply source) is connected to the valve 117a, and an exhaust device including a vacuum pump (not shown) is connected to the valve 117b.
  • a socket 116b of the joint 116 is provided on the upper surface of the storage container 21, and a pipe 211 is connected to the socket 116b.
  • the pipe 211 communicates with the space inside the storage container 21 via a through hole 211a formed in the side wall of the storage container 21.
  • a valve 210 is provided in the pipe 211 .
  • a sealing member 21a such as an O-ring is arranged on the upper surface of the container 21. Note that, as another example, the valve 210 may not be provided in the pipe 211.
  • the environment inside the storage container 21 is adjusted via the piping 114 provided in the VTM 11, but the disclosed technology is not limited to this.
  • the environment inside the storage container 21 may be adjusted by a gas supply mechanism and an exhaust mechanism provided separately from the VTM 11. Thereby, the connection between the VTM 11 and the container 21 can be simplified.
  • the shutter 23a is opened, the housing container 21 is lifted by the jack 25, and the housing container 21 and the VTM 11 are connected.
  • the position of the storage container 21 with respect to the trolley 26 illustrated in FIG. 8 is an example of the first upper position.
  • region B of FIG. 8 as shown in FIG. 9, for example, the lower surface of the VTM 11 and the upper surface of the container 21 come into contact, and the plug 116a and socket 116b of the joint 116 are connected.
  • the gas in the container 21 is discharged via the valve 117b and the pipe 211, and the pressure in the container 21 can be brought close to the pressure in the VTM 11.
  • CDA is supplied into the container 21 through the valve 117a and the pipe 211, and the pressure inside the container 21 can be returned to atmospheric pressure.
  • step S11 the environment inside the storage container 21 is adjusted (S11).
  • step S11 the valve 117a is closed, and the valve 117b and the valve 210 are opened, so that the gas in the storage container 21 is discharged via the pipe 211.
  • step S11 the pressure inside the storage container 21 is adjusted so that the pressure inside the storage container 21 is the same as the pressure inside the VTM 11.
  • the shutter 23b is closed. Note that as a result of the adjustment of the pressure inside the storage container 21, the pressure inside the storage container 21 and the pressure inside the VTM 11 do not have to be completely the same pressure; It may be slightly different.
  • the space inside the storage container 21 is smaller than the space inside the VTM 11. Therefore, the time required to adjust the environment inside the container 21 to be the same as the environment inside the VTM 11 is longer than the time required to return the environment inside the VTM 11 to the original environment after opening the VTM 11 to the atmosphere. It's also short. Therefore, compared to the case where the transfer robot 110 is replaced by opening the VTM 11 to the atmosphere, the time required to replace the transfer robot 110 can be reduced.
  • step S12 for example, as shown in FIG. 10, the transfer robot 110 is supported by the support unit 27.
  • the position of the support unit 27 with respect to the container 21 illustrated in FIG. 10 is an example of the second upper position.
  • the support unit 27 in this embodiment includes an actuator 270 and a grip part 271, as shown in FIG. 11, for example.
  • the actuator 270 is fixed to the arm 24 and drives the two grips 271.
  • the actuator 270 drives the two gripping parts 271 to shorten the distance between them, so that the gripping parts 271 grip the transport robot 110, and the support unit 27 supports the transport robot 110.
  • the cylinder 1131 is retracted from under the large diameter portion 1132b by the actuator 1130, as shown in FIGS. 12 and 13, for example. This releases the lock between the VTM 11 and the transfer robot 110. Then, as shown in FIG. 14, for example, the arm 24 lowers the support unit 27 supporting the transfer robot 110, thereby lowering the transfer robot 110 and removing the transfer robot 110 from the VTM 11.
  • FIG. 15 shows an enlarged view of region B in FIG. 14.
  • step S13 the environment inside the storage container 21 is adjusted (S13).
  • step S13 after the transport robot 110 is accommodated in the container 21, the shutter 23a is closed. Then, by closing the valve 117b and opening the valve 117a and the valve 210, CDA is supplied into the container 21 via the pipe 211. Thereby, as shown in FIG. 16, for example, the pressure inside the storage container 21 is adjusted so that the pressure inside the storage container 21 approaches atmospheric pressure.
  • step S14 for example, as shown in FIG. 17, the shutter 23b is opened, and the transfer robot 110 is carried out of the storage container 21 by the arm 24 through the opening 22b. Then, the grip by the support unit 27 is released, and the transport robot 110 is handed over to a worker or the like.
  • the position of the support unit 27 with respect to the container 21 illustrated in FIG. 17 is an example of the second lower position.
  • step S15 another transport robot 110 is carried into the storage container 21 (S15).
  • step S15 for example, as shown in FIG. 17, another transport robot 110 is placed on the trolley 26 by a worker or the like, and the support unit 27 grips the other transport robot 11. Then, as the arm 24 raises the support unit 27, another transfer robot 110 is accommodated in the storage container 21, and the shutter 23b is closed, as shown in FIG. 16, for example.
  • step S16 the environment inside the storage container 21 is adjusted (S16).
  • step S16 the valve 117a is closed, and the valve 117b and the valve 210 are opened, so that the gas in the container 21 is discharged via the pipe 211.
  • the pressure inside the storage container 21 is adjusted so that the pressure inside the storage container 21 approaches the pressure inside the VTM 11.
  • step S17 the shutter 23a is opened, and the arm 24 raises the transfer robot 110, as shown in FIG. 14, for example.
  • the actuator 1130 moves the cylinder 1131 to a larger diameter, as shown in FIGS. 6 and 9. It is inserted under the section 1132b.
  • the transfer robot 110 is attached to the bottom of the VTM 11 so as to close the opening 111 of the VTM 11 .
  • step S18 the environment inside the storage container 21 is adjusted (S18).
  • step S18 the valve 117b is closed and the valve 117a and the valve 210 are opened, so that CDA is supplied into the storage container 21 via the pipe 211.
  • the pressure inside the storage container 21 is adjusted so that the pressure inside the storage container 21 approaches atmospheric pressure.
  • step S19 the container 21 is lowered by the jack 25, and the connection between the container 21 and the VTM 11 is released, as shown in FIG. 5, for example. Then, the maintenance method shown in this flowchart ends.
  • the maintenance device (maintenance device 20) in this embodiment is a maintenance device for assisting in replacing the transfer robot (transfer robot 110) attached to the transfer module (VTM11), 26), the housing (container 21), the first lifting unit (jack 25), the lower shutter (shutter 23b), the support unit (support unit 27), and the second lifting unit (arm 24) Equipped with.
  • the housing has an upper opening (opening 22a) and a lower opening (opening 22b), and is arranged above the truck.
  • the first lifting unit is attached to the trolley and configured to lift and lower the housing between a first upper position and a first lower position.
  • the housing is connected to the transport module when in the first upper position.
  • the lower shutter is configured to open and close the lower opening.
  • the support unit is configured to support the transfer robot.
  • the second lifting unit raises and lowers the support unit between a second upper position within the housing and a second lower position below the housing when the housing is in the first upper position. It is configured as follows. This makes it possible to perform maintenance such as replacing parts arranged inside the VTM 11 while maintaining the environment inside the VTM 11, and to suppress a decrease in throughput due to maintenance of parts inside the VTM 11. Note that as a result of adjusting the environment inside the container 21 to be the same as the environment inside the VTM 11, it is not necessary that the environment inside the container 21 and the environment inside the VTM 11 are completely the same. The environment inside the container 21 and the environment inside the VTM 11 may be somewhat different.
  • the maintenance device in the embodiment described above further includes an upper shutter (shutter 23a) configured to open and close the upper opening.
  • the casing has a through hole (211a), and the internal space of the casing communicates with the dry air supply source via the through hole.
  • the casing has a through hole, and the internal space of the casing communicates with the exhaust device via the through hole.
  • the maintenance device 20 is connected to the VTM 11 from below the VTM 11 .
  • this embodiment differs from the first embodiment in that the storage container 21 of the maintenance device 20 is connected to the VTM 11 from above the VTM 11. In the following, points different from the first embodiment will be mainly explained.
  • an opening 111 is formed at the top of the VTM 11, and the opening 111 is opened and closed by a shutter 120.
  • the storage container 21 of the maintenance device 20 in this embodiment is a container having a ceiling and an opening 22a at the bottom, and an arm 24 and a support unit 27 are provided in the internal space.
  • the arm 24 is configured to raise and lower the support unit 27 between a first position within the container 21 and a second position below the container 21 . The first position and the second position will be described later.
  • a through hole 211a is formed in the side wall of the storage container 21, and a pipe 211 is connected to the through hole 211a.
  • the opening 22a is an example of a lower opening
  • the arm 24 is an example of a lifting unit.
  • the maintenance device 20 is carried above the VTM 11 by an OHT (Overhead Hoist Transport) or the like, and is connected to the VTM 11 from above the VTM 11, as shown in FIG. 19, for example.
  • OHT Overhead Hoist Transport
  • the upper surface of the VTM 11 and the lower surface of the container 21 come into contact, and the plug 116a and socket 116b of the joint 116 are connected.
  • the gas in the storage container 21 is discharged via the pipe 211.
  • the pressure inside the storage container 21 is adjusted so that the pressure inside the storage container 21 is the same as the pressure inside the VTM 11.
  • the shutter 120 of the VTM 11 is opened. Then, as shown in FIG. 21, for example, the arm 24 lowers the support unit 27 through the opening 22a of the container 21 and the opening 111 of the VTM 11. Then, the support unit 26 enters the VTM 11 and grips the transfer robot 110 installed inside the VTM 11.
  • the position of the support unit 27 with respect to the container 21 illustrated in FIG. 21 is an example of the second position.
  • either the receptacle 115a or the plug 115b of the connector 115 is provided on the upper surface of the bottom of the VTM 11. Furthermore, the other of the receptacle 115a and the plug 115b of the connector 115 is provided on the lower surface of the transfer robot 110. Then, the transfer robot 110 is placed on the VTM 11 so that the receptacle 115a and the plug 115b fit together, and thereby the electrical system of the transfer robot 110 and the electrical system of the VTM 11 are connected via the connector 115.
  • the arm 24 raises the support unit 27 while the support unit 27 is gripping the transfer robot 110, thereby lifting the transfer robot 110 and connecting the electrical system of the transfer robot 110 and the electrical system of the VTM 11.
  • the connection will be terminated.
  • the transfer robot 110 is accommodated in the container 21 through the opening 22a of the container 21 and the opening 111 of the VTM 11, and the shutter 120 is closed.
  • the position of the support unit 27 with respect to the container 21 illustrated in FIG. 22 is an example of the first position.
  • valve 117b is closed and the valve 117a and the valve 210 are opened, so that CDA is supplied into the storage container 21 via the pipe 211.
  • the pressure inside the storage container 21 is adjusted so that the pressure inside the storage container 21 approaches atmospheric pressure.
  • the maintenance device 20 is transported by OHT or the like together with the transport robot 110 housed in the container 21, as shown in FIG. 24, for example. Then, the transport robot 110 is carried out from the maintenance device 20 by a worker or the like.
  • the maintenance device 20 housed in the storage container 21 is carried by the OHT or the like to above the VTM 11, as shown in FIG. 24, for example. . Then, as shown in FIG. 23, for example, the VTM 11 and the maintenance device 20 are connected, and as shown in FIG. pressure is adjusted.
  • the shutter 120 of the VTM 11 is opened, and another transfer robot 110 is installed inside the VTM 11 by the arm 24 and the support unit 27, as shown in FIG. 21, for example.
  • the shutter 120 of the VTM 11 is closed, as shown in FIG. 20, for example.
  • the pressure inside the storage container 21 is adjusted so that the pressure inside the storage container 21 approaches atmospheric pressure.
  • the maintenance device 20 is lifted by OHT or the like, and the connection between the maintenance device 20 and the VTM 11 is released, as shown in FIG. 18, for example.
  • the maintenance device (maintenance device 20) in this embodiment is a maintenance device for assisting the replacement of the transfer robot (transfer robot 110) attached to the transfer module (VTM11), and is a maintenance device that supports the replacement of the transfer robot (transfer robot 110) attached to the transfer module (VTM11).
  • the housing has a lower opening (opening 22a).
  • the support unit is configured to support the transfer robot.
  • the lifting unit is configured to raise and lower the support unit between a first position within the housing and a second position below the housing. This makes it possible to perform maintenance such as replacing parts arranged inside the VTM 11 while maintaining the environment inside the VTM 11, and to suppress a decrease in throughput due to maintenance of parts inside the VTM 11.
  • the casing has a through hole (211a), and the internal space of the casing communicates with the dry air supply source via the through hole.
  • the casing has a through hole, and the internal space of the casing communicates with the exhaust device via the through hole.
  • the maintenance device 20 in the second embodiment is a container having a ceiling and an opening 22a at the bottom.
  • the storage container 21 of the maintenance device 20 in this embodiment has an opening 22b at the top and an opening 22a at the bottom, and the second point is that the opening 22b is opened and closed by a shutter 23b.
  • the opening 22b is an example of an upper opening
  • the opening 22a is an example of a lower opening
  • the shutter 23b is an example of an upper shutter.
  • the maintenance device 20 is carried above the VTM 11 by OHT or the like as in the second embodiment, and the maintenance device 20 is opened from above the VTM 11.
  • the storage container 21 and the VTM 11 are connected.
  • the shutter 120 is opened, and the transfer robot 110 is accommodated in the container 21 by the arm 24 and the support unit 27. Then, the shutter 120 is closed, and the pressure inside the container 21 is returned to atmospheric pressure, as shown in FIG. 25, for example.
  • the shutter 23b is opened, and the arm 24 lifts the support unit 27 and the transfer robot 110 further above the opening 22b, as shown in FIG. 26, for example. It will be done. Then, the transport robot 110 is transferred from the support unit 27 to a transport section 30 such as an OHT.
  • the position of the support unit 27 with respect to the container 21 illustrated in FIG. 26 is an example of the third position.
  • the other transport robot 110 is transferred from the transport unit 30 such as OHT to the support unit 27, as shown in FIG. 26, for example.
  • the transfer robot 110 is accommodated in the storage container 21, and the shutter 23b is closed, as shown in FIG. 25, for example.
  • the shutter 120 is opened, and the transfer robot 110 is installed inside the VTM 11 by the arm 24.
  • the arm 24 retreats into the container 21, the shutter 120 is closed, and the pressure inside the container 21 is adjusted to atmospheric pressure.
  • the maintenance device 20 is lifted up by OHT or the like, and the connection between the maintenance device 20 and the VTM 11 is released.
  • the housing (container 21) has an upper opening (opening 22b).
  • an upper shutter configured to open and close the upper opening is further provided.
  • the lifting unit (arm 24) is configured to lift the support unit (support unit 27) to the third position above the housing (accommodation container 21).
  • the container 21 of the maintenance device 20 is connected to the VTM 11 while the interior of the container 21 is at atmospheric pressure.
  • the container 21 and the VTM 11 are connected while the environment inside the container 21 is maintained close to the environment inside the VTM 11 .
  • the maintenance device 20 in this embodiment has an opening 22b at the top and an opening 22a at the bottom, as shown in FIG. 27, for example.
  • the opening 22b is opened and closed by a shutter 23b, and the opening 22a is It is opened and closed by the shutter 23a.
  • the opening 22b is an example of an upper opening
  • the opening 22a is an example of a lower opening
  • the shutter 23b is an example of an upper shutter
  • the shutter 23a is an example of a lower shutter.
  • the OHT The maintenance device 20 is carried above the VTM 11 by, for example, the maintenance device 20 . Then, the container 21 of the maintenance device 20 and the VTM 11 are connected from above the VTM 11, the shutter 23a and the shutter 120 are opened, and the arm 24 is inserted into the VTM 11 through the opening 22a and the opening 111.
  • the transport robot 110 is held by the support unit 27, and the support unit 27 is raised by the arm 24, so that the transport robot 110 is accommodated in the storage container 21.
  • at least one of the shutter 23a and the shutter 120 is closed, and the environment inside the container 21 is adjusted to be the same as the environment outside the container 21.
  • the shutter 23b is opened, and the arm 24 lifts the support unit 27 and the transfer robot 110 further above the opening 22b.
  • the transport robot 110 is transferred from the support unit 27 to a transport section 30 such as an OHT.
  • the fourth embodiment has been described above.
  • the maintenance device (maintenance device 20) in this embodiment further includes a lower shutter (shutter 23a) configured to open and close the lower opening (opening 22a).
  • the maintenance device 20 is connected above or below the transport module, but in this embodiment, the maintenance device 20 is connected to the side surface of the transport module. Specifically, in this embodiment, the maintenance device 20 is connected to the side surface of the EFEM 14. In the following, points different from the first to fourth embodiments will be mainly described.
  • the maintenance device 20 in this embodiment has a storage container 21 with an opening 22a formed in the side surface, and an arm 24 and a support unit 27 are provided inside the storage container 21. . Further, a through hole 211a is formed in the side wall of the storage container 21, and a pipe 211 is connected to the through hole 211a.
  • the maintenance device 20 also includes a cart 26 that transports the storage container 21.
  • An opening 143 is formed in the side wall of the EFEM 14, and the opening 143 is opened and closed by a shutter 142.
  • the space within the EFEM 14 is filled with an inert gas such as nitrogen gas. Below, spaces filled with inert gas are hatched.
  • inert gas can be supplied into the storage container 21 through the pipe 211 and the through hole 211a, and the inside of the storage container 21 can be filled with the inert gas.
  • CDA can be supplied into the container 21 through the pipe 211 and the through hole 211a, and the environment inside the container 21 can be brought closer to the environment outside the container 21. can.
  • the environment inside the storage container 21 is adjusted so that the environment inside the storage container 21 is the same as the environment inside the EFEM 14.
  • the valve 145c and the valve 210 are opened, and the gas in the container 21 is discharged through the piping 211 and the through hole 211a, and then the valve 145b and the valve 210 are opened, and the gas is discharged through the piping 211 and the through hole 211a.
  • Inert gas is supplied into the container 21 .
  • the shutter 142 is opened, as shown in FIG. 31, for example.
  • the arm 24 causes the support unit 27 to enter the EFEM 14 through the opening 22a and the opening 143, and the support unit 27 grips the transfer robot 140. Then, as shown in FIG. 32, for example, by moving the arm 24 away from the guide rail 141, the transfer robot 140 is removed from the guide rail 141. Note that the transfer robot 140 and the guide rail 141 are locked, for example, by a locking mechanism similar to that in the first embodiment. Further, the transfer robot 140 and the guide rail 141 are electrically connected, for example, by a connector similar to that in the first embodiment.
  • the transfer robot 140 is stored in the container 21 through the opening 143 and the opening 22a, as shown in FIG. 33, for example.
  • the shutter 142 is closed, and the environment inside the container 21 is adjusted so that the environment inside the container 21 is the same as the environment outside the container 21, as shown in FIG. 34, for example.
  • the valve 145c and the valve 210 are opened, and the gas in the container 21 is discharged through the piping 211 and the through hole 211a, and then the valve 145a and the valve 210 are opened, and the gas is discharged through the piping 211 and the through hole 211a.
  • CDA is supplied into the container 21 .
  • the trolley 26 moves away from the EFEM 14, thereby disconnecting the EFEM 14 and the storage container 21. Thereby, the transfer robot 140 inside the EFEM 14 can be removed while maintaining the environment inside the EFEM 14.
  • the cart 26 carrying the storage container 21 containing the other transfer robot 140 is moved to approach the EFEM 14. Then, for example, as shown in FIG. 34, the EFEM 14 and the container 21 are connected. After the inside of the storage container 21 is filled with inert gas, the shutter 142 is opened, for example as shown in FIG. Insert inside. Then, the arm 24 attaches another transport robot 140 to the guide rail 141, and the grip of the transport robot 140 by the support unit 27 is released.
  • the shutter 142 is closed and the container 21 is filled with CDA.
  • the trolley 26 moves away from the EFEM 14, thereby disconnecting the EFEM 14 and the storage container 21.
  • the transfer robot 140 can be attached inside the EFEM 14 while maintaining the environment inside the EFEM 14.
  • the fifth embodiment has been described above.
  • the inside of the EFEM 14 is filled with a specific gas different from the atmosphere.
  • maintenance such as replacement of parts arranged inside the EFEM 14 can be performed while maintaining the environment inside the EFEM 14, and a decrease in throughput due to maintenance of parts inside the EFEM 14 can be suppressed.
  • the transport robot provided in the transport module was described as an example of a component within the transport module, but the disclosed technology is not limited to this.
  • the parts within the transport module module may be parts other than the transport robot as long as they are provided within the transport module and are replaceable.
  • Examples of components other than the transfer robot include the load port 15, aligner module, wafer storage, various sensors, gate valves, lift pins, stages, and the like.
  • the wafer storage is a mechanism that is provided within the EFEM 14, for example, and temporarily stores the substrate W before processing or the substrate W after processing.
  • the stage is, for example, a stage on which the substrate W carried into the LLM 13 is placed.
  • the lift pin is a mechanism that receives the substrate W from the transfer robot 110 and the transfer robot 140, places it on a stage in the LLM 13, lifts the substrate W from the stage in the LLM 13, and transfers it to the transfer robot 110 and the transfer robot 140, for example.
  • a maintenance device 20 that assists in replacing the load port 15 in the transport module will be described. In the following, points different from the first to fifth embodiments will be mainly described.
  • the maintenance device 20 in this embodiment has a storage container 21 in which an opening 22a and an opening 22b are formed on the side surface, and an arm 24 and a support unit 27 are installed in the storage container 21. It is provided.
  • the opening 22a is opened and closed by a shutter 23a
  • the opening 22b is opened and closed by a shutter 23b.
  • An opening 147 is formed in the side wall of the EFEM 14, and the load port 15 is provided in the opening 147.
  • the space within the EFEM 14 is filled with an inert gas such as nitrogen gas. Below, spaces filled with inert gas are hatched.
  • FIG. 37 for example, the shutter 230 provided inside the container 21 is retracted into the container 21, and the shutter 23a is opened. Then, by moving the trolley 26 closer to the EFEM 14, the container 21 of the maintenance device 20 and the EFEM 14 are connected, as shown in FIG. 38, for example. At this time, as shown in FIG. 39, for example, the side surface of the EFEM 14 and the side surface of the container 21 come into contact with each other, and the plug and socket of the joint 146 are connected.
  • FIG. 39 is a horizontal cross-sectional view of the storage container 21 and the EFEM 14 viewed from above.
  • valve 145c and the valve 210 the gas in the storage container 21 can be discharged via the pipe 211 and the through hole 211a.
  • inert gas can be supplied into the storage container 21 through the pipe 211 and the through hole 211a, and the inside of the storage container 21 can be filled with the inert gas.
  • CDA can be supplied into the container 21 through the pipe 211 and the through hole 211a, and the environment inside the container 21 can be brought closer to the environment outside the container 21. can.
  • the environment inside the storage container 21 is adjusted so that the environment inside the storage container 21 is the same as the environment inside the EFEM 14.
  • the valve 145c and the valve 210 are opened, and the gas in the container 21 is discharged through the pipe 211 and the through hole 211a, and then the valve 145c is closed, the valve 145b is opened, and the pipe 211 and the through hole 211a are exhausted.
  • An inert gas is supplied into the container 21 through the inert gas.
  • the support unit 27 After the inside of the storage container 21 is filled with inert gas, the support unit 27 approaches the load port 15 by driving the arm 24, and the support unit 27 grips the load port 15. Then, by moving the support unit 27 away from the EFEM 14 by driving the arm 24, the load port 15 is removed from the EFEM 14, as shown in FIG. 40, for example. Note that the load port 15 and the EFEM 14 are locked, for example, by the same locking mechanism as in the first embodiment. Further, the load port 15 and the EFEM 14 are electrically connected, for example, by the same connector as in the first embodiment.
  • the shutter 23a and the shutter 230 are closed.
  • the environment inside the container 21 is adjusted so that the environment inside the container 21 is the same as the environment outside the container 21.
  • the valve 145c and the valve 210 are opened, and the gas inside the container 21 is discharged through the pipe 211 and the through hole 211a, and then the valve 145c is closed, the valve 145a is opened, and the pipe 211 and the through hole 211a are exhausted.
  • CDA is supplied into the storage container 21 via.
  • the shutter 23b is opened and the arm 24 is driven to open the load port 15 of the storage container 21 through the opening 22b, as shown in FIG. It is carried outside. Thereby, the load port 15 can be removed from the EFEM 14 while maintaining the environment inside the EFEM 14.
  • the load port 15 is housed within the housing container 21 . Then, as shown in FIG. 41, for example, the shutter 23b is closed.
  • the shutter 230 and the shutter 23a are opened, as shown in FIG. 40, for example.
  • the load port 15 is attached to the EFEM 14.
  • the load port 15 can be attached to the EFEM 14 while maintaining the environment inside the EFEM 14.
  • the grip of the load port 15 by the support unit 27 is released, and the support unit 27 is retracted into the storage container 21 by driving the arm 24 .
  • the sixth embodiment has been described above.
  • FIGS. 36 to 42 are vertically sliding shutters
  • the disclosed technology is not limited thereto.
  • the shutters 23a and 23b may be shutters that slide diagonally or laterally (for example, horizontally).
  • the shutters 23a and 23b may be shutters that rotate around hinges, as shown in FIG. 43, for example.
  • FIG. 43 is a horizontal cross-sectional view of the maintenance device 20 viewed from above.
  • maintenance of components provided in the VTM 11 is performed from below or above the VTM 11, but the disclosed technology is not limited to this.
  • maintenance of parts provided within the VTM 11 may be performed from the side of the VTM 11.
  • maintenance of the parts provided on the EFEM 14 is performed from the side of the EFEM 14, but the disclosed technology is not limited to this.
  • maintenance of components provided on the EFEM 14 may be performed from below or above the EFEM 14, for example, similarly to the first to fourth embodiments.
  • parts of the transport module are replaced by the maintenance device 20, but the disclosed technology is not limited to this.
  • the operation is related to maintenance of parts of the transport module, adjustment or cleaning of the parts may be performed in addition to replacing the parts.
  • a component removed from the transport module by the maintenance device 20 may be reattached to the transport module by the maintenance device 20 after adjustment, cleaning, etc. are performed.
  • a robot arm is provided inside the maintenance device 20, and after the environment inside the maintenance device 20 is adjusted to be the same environment as the environment inside the transport module, the robot arm adjusts and cleans the parts of the transport module. It's okay to be hurt. This makes it possible to perform maintenance such as adjustment and cleaning of parts provided in the transport module while maintaining the environment inside the transport module.
  • a maintenance section that performs operations related to maintenance of components of the transport module may be provided in the storage container 21 of the maintenance device 20.
  • maintenance was performed on parts provided in the VTM 11 or the EFEM 14, but the disclosed technology is not limited to this. As long as it is a transport module that transports substrates, the maintenance device 20 may perform maintenance on parts within the LLM 13 .
  • one transfer robot is provided in each of the VTM 11 and the EFEM 14, but the disclosed technology is not limited to this.
  • two or more transfer robots may be provided within the VTM 11 and the EFEM 14. As a result, even if some of the transfer robots require maintenance, the processing of the substrate W can be continued by other transfer robots, and it is possible to avoid stopping the process.
  • the maintenance device according to supplementary note 1 further comprising an upper shutter configured to open and close the upper opening.
  • the casing has a through hole, The maintenance device according to appendix 1 or 2, wherein the internal space of the housing communicates with a dry air supply source through the through hole.
  • the casing has a through hole, The maintenance device according to any one of Supplementary Notes 1 to 3, wherein the internal space of the housing communicates with an exhaust device via the through hole.
  • the maintenance device according to appendix 5 further comprising a lower shutter configured to open and close the lower opening.
  • the maintenance device according to appendix 7 or 8, wherein the lifting unit is configured to lift the support unit to a third position above the housing.
  • the casing has a through hole, The maintenance device according to any one of appendices 5 to 9, wherein the internal space of the housing communicates with a dry air supply source through the through hole.
  • the casing has a through hole, The maintenance device according to any one of Supplementary Notes 5 to 9, wherein the internal space of the housing communicates with an exhaust device via the through hole.
  • a maintenance device for assisting in replacing a transfer robot attached to a transfer module a casing having an opening; a shutter configured to open and close the opening; a support unit configured to support the transfer robot; a drive unit configured to move the support unit between a first position within the housing and a second position outside the housing; A maintenance device equipped with.
  • the opening is formed in a side wall of the housing, The maintenance device according to appendix 12, wherein the drive unit is configured to move the support unit in a horizontal direction.
  • the casing has a through hole, The maintenance device according to attachment 12 or attachment 13, wherein the internal space of the housing communicates with a dry air supply source through the through hole.
  • the casing has a through hole, 15. The maintenance device according to any one of appendices 12 to 14, wherein the internal space of the casing communicates with an exhaust device through the through hole.

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Abstract

搬送モジュールに取り付けられた搬送ロボットの交換を補助するためのメンテナンス装置であって、台車と、筐体と、第１の昇降ユニットと、下部シャッタと、支持ユニットと、第２の昇降ユニットとを備える。筐体は、上部開口部及び下部開口部を有し、台車の上方に配置される。第１の昇降ユニットは、台車に取り付けられ、筐体を第１の上側位置と第１の下側位置との間で昇降するように構成される。筐体は、第１の上側位置にあるときに搬送モジュールに接続される。下部シャッタは、下部開口部を開閉するように構成される。支持ユニットは、搬送ロボットを支持するように構成される。第２の昇降ユニットは、筐体が第１の上側位置にあるときに支持ユニットを筐体内にある第２の上側位置と筐体の下方にある第２の下側位置との間で昇降するように構成される。

Description

メンテナンス装置
　本開示の種々の側面および実施形態は、メンテナンス装置に関する。
　特許文献１には、ワークの搬送を行う真空チャンバ内にロボットを設置する場合、真空チャンバ上部の蓋部を開放して行うことが開示されている。
特開２０１３－５６３９３号公報
　本開示は、搬送モジュール内の部品のメンテナンスに伴うスループットの低下を抑制することができるメンテナンス装置を提供する。
　本開示の一側面におけるメンテナンス装置は、搬送モジュールに取り付けられた搬送ロボットの交換を補助するためのメンテナンス装置であって、台車と、筐体と、第１の昇降ユニットと、下部シャッタと、支持ユニットと、第２の昇降ユニットとを備える。筐体は、上部開口部及び下部開口部を有し、台車の上方に配置される。第１の昇降ユニットは、台車に取り付けられ、筐体を第１の上側位置と第１の下側位置との間で昇降するように構成される。筐体は、第１の上側位置にあるときに搬送モジュールに接続される。下部シャッタは、下部開口部を開閉するように構成される。支持ユニットは、搬送ロボットを支持するように構成される。第２の昇降ユニットは、筐体が第１の上側位置にあるときに支持ユニットを筐体内にある第２の上側位置と筐体の下方にある第２の下側位置との間で昇降するように構成される。
　本開示の種々の側面および実施形態によれば、搬送モジュール内の部品のメンテナンスに伴うスループットの低下を抑制することができる。
図１は、処理システムの一例を示す平面図である。 図２は、処理システムの一例を示す側面図である。 図３は、メンテナンス装置の一例を示す概略断面図である。 図４は、メンテナンス方法の一例を示すフローチャートである。 図５は、第１の実施形態におけるメンテナンス手順の一例を説明するための図である。 図６は、ロック機構の一例を示す拡大断面図である。 図７は、搬送ロボットの電気系の接続、および、ＶＴＭとメンテナンス装置とのガス系の接続の一例を説明するための拡大断面図である。 図８は、第１の実施形態におけるメンテナンス手順の一例を説明するための図である。 図９は、搬送ロボットの電気系の接続、およびＶＴＭとメンテナンス装置とのガス系の接続の一例を説明するための拡大断面図である。 図１０は、第１の実施形態におけるメンテナンス手順の一例を説明するための図である。 図１１は、支持ユニットの構造の一例を示す図である。 図１２は、ロック機構の一例を示す拡大断面図である。 図１３は、搬送ロボットの電気系の接続、およびＶＴＭとメンテナンス装置とのガス系の接続の一例を説明するための拡大断面図である。 図１４は、第１の実施形態におけるメンテナンス手順の一例を説明するための図である。 図１５は、搬送ロボットの電気系の接続、およびＶＴＭとメンテナンス装置とのガス系の接続の一例を説明するための拡大断面図である。 図１６は、第１の実施形態におけるメンテナンス手順の一例を説明するための図である。 図１７は、第１の実施形態におけるメンテナンス手順の一例を説明するための図である。 図１８は、第２の実施形態におけるメンテナンス手順の一例を説明するための図である。 図１９は、第２の実施形態におけるメンテナンス手順の一例を説明するための図である。 図２０は、第２の実施形態におけるメンテナンス手順の一例を説明するための図である。 図２１は、第２の実施形態におけるメンテナンス手順の一例を説明するための図である。 図２２は、第２の実施形態におけるメンテナンス手順の一例を説明するための図である。 図２３は、第２の実施形態におけるメンテナンス手順の一例を説明するための図である。 図２４は、第２の実施形態におけるメンテナンス手順の一例を説明するための図である。 図２５は、第３の実施形態におけるメンテナンス手順の一例を説明するための図である。 図２６は、第３の実施形態におけるメンテナンス手順の一例を説明するための図である。 図２７は、第４の実施形態におけるメンテナンス手順の一例を説明するための図である。 図２８は、第５の実施形態におけるメンテナンス手順の一例を説明するための図である。 図２９は、第５の実施形態におけるメンテナンス手順の一例を説明するための図である。 図３０は、ＥＦＥＭとメンテナンス装置とのガス系の接続の一例を説明するための拡大断面図である。 図３１は、第５の実施形態におけるメンテナンス手順の一例を説明するための図である。 図３２は、第５の実施形態におけるメンテナンス手順の一例を説明するための図である。 図３３は、第５の実施形態におけるメンテナンス手順の一例を説明するための図である。 図３４は、第５の実施形態におけるメンテナンス手順の一例を説明するための図である。 図３５は、第５の実施形態におけるメンテナンス手順の一例を説明するための図である。 図３６は、第６の実施形態におけるメンテナンス手順の一例を説明するための図である。 図３７は、第６の実施形態におけるメンテナンス手順の一例を説明するための図である。 図３８は、第６の実施形態におけるメンテナンス手順の一例を説明するための図である。 図３９は、ＥＦＥＭとメンテナンス装置とのガス系の接続の一例を説明するための拡大断面図である。 図４０は、第６の実施形態におけるメンテナンス手順の一例を説明するための図である。 図４１は、第６の実施形態におけるメンテナンス手順の一例を説明するための図である。 図４２は、第６の実施形態におけるメンテナンス手順の一例を説明するための図である。 図４３は、シャッタの構造の他の例を示す図である。
　以下に、メンテナンス装置の実施形態について、図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下の実施形態により、開示されるメンテナンス装置が限定されるものではない。
　ところで、真空雰囲気など、予め設定された環境下で基板を搬送する搬送モジュールの運用中に、搬送モジュール内の搬送ロボット等の部品のメンテナンスが必要になる場合がある。そのような場合に、搬送モジュールを大気開放して部品のメンテナンスを行うと、部品のメンテナンス後に搬送モジュール内を再び元の環境に戻すために時間を要する。そのため、搬送モジュール内の環境が元の環境に戻るまでは基板の搬送が行えず、基板処理のスループットが低下する。
　そこで、本開示は、搬送モジュール内の部品のメンテナンスに伴うスループットの低下を抑制することができる技術を提供する。
（第１の実施形態）
［処理システム１の構成］
　図１は、処理システム１の構成の一例を示す平面図である。図２は、処理システム１の一例を示す側面図である。図１および図２では、便宜的に一部の装置の内部の構成要素が見えるように図示されている。
　処理システム１は、ＶＴＭ（Vacuum　Transfer　Module）１１、複数のＰＭ（Process　Module）１２、複数のＬＬＭ（Load　Lock　Module）１３、およびＥＦＥＭ（Equipment　Front　End　Module）１４を備える。ＶＴＭ１１の側壁には、ゲートバルブＧ１を介して複数のＰＭ１２が接続されている。なお、図１の例では、ＶＴＭ１１に６台のＰＭ１２が接続されているが、ＶＴＭ１１に接続されるＰＭ１２の数は、６台より多くてもよく、６台より少なくてもよい。ＶＴＭ１１およびＥＦＥＭ１４は、搬送モジュールの一例である。
　それぞれのＰＭ１２は、処理対象となる基板Ｗに対して、エッチングや成膜等の処理を施す。ＶＴＭ１１の他の側壁には、ゲートバルブＧ２を介して複数のＬＬＭ１３が接続されている。図１の例では、ＶＴＭ１１に２台のＬＬＭ１３が接続されているが、ＶＴＭ１１に接続されるＬＬＭ１３の数は、２台より多くてもよく、１台であってもよい。
　ＶＴＭ１１内には、搬送ロボット１１０が配置されている。搬送ロボット１１０は、ＰＭ１２と他のＰＭ１２との間、および、ＰＭ１２とＬＬＭ１３との間で基板Ｗを搬送する。ＶＴＭ１１内は、大気圧よりも低い予め定められた圧力雰囲気に保たれている。
　それぞれのＬＬＭ１３の１つの側壁には、ゲートバルブＧ２を介してＶＴＭ１１が接続されており、他の１つの側壁には、ゲートバルブＧ３を介してＥＦＥＭ１４が接続されている。ゲートバルブＧ３を介してＥＦＥＭ１４からＬＬＭ１３内に基板Ｗが搬入された場合、ゲートバルブＧ３が閉じられ、ＬＬＭ１３内の圧力が予め定められた圧力まで下げられる。そして、ゲートバルブＧ２が開かれ、ＬＬＭ１３内の基板Ｗが搬送ロボット１１０によってＶＴＭ１１内へ搬出される。
　また、ＬＬＭ１３内が大気圧よりも低い圧力となっている状態で、搬送ロボット１１０によってゲートバルブＧ２を介してＶＴＭ１１からＬＬＭ１３内に基板Ｗが搬入され、ゲートバルブＧ２が閉じられる。そして、ＬＬＭ１３内の圧力がＥＦＥＭ１４内と同程度の圧力まで上げられる。そして、ゲートバルブＧ３が開かれ、ＬＬＭ１３内の基板ＷがＥＦＥＭ１４内へ搬出される。
　ゲートバルブＧ３が設けられたＥＦＥＭ１４の側壁と反対側のＥＦＥＭ１４の側壁には、複数のロードポート１５が設けられている。それぞれのロードポート１５には、複数の基板Ｗを収容可能なＦＯＵＰ（Front　Opening　Unified　Pod）等の容器１６が接続される。なお、ＥＦＥＭ１４には、基板Ｗの向きを変更するアライナモジュール等が設けられてもよい。また、複数のロードポート１５の中のいずれかには、エッジリングＥＲ等の消耗部品を収容可能な容器が接続される。
　ＥＦＥＭ１４内は、予め定められた圧力のガスで満たされている。本実施形態において、予め定められた圧力は、例えば大気圧である。また、本実施形態において、ＥＦＥＭ１４内に充填されるガスは、例えば窒素ガス等の不活性ガスであり、不活性ガスは、ＥＦＥＭ１４内を循環している。ＥＦＥＭ１４内には、搬送ロボット１４０が設けられている。搬送ロボット１４０は、ＥＦＥＭ１４の側壁に設けられたガイドレール１４１に沿ってＥＦＥＭ１４内を移動し、ＬＬＭ１３とロードポート１５に接続された容器との間で基板Ｗを搬送する。ＥＦＥＭ１４の上部には、ＦＦＵ（Fan　Filter　Unit）等が設けられており、パーティクル等が除去された不活性ガスが上部からＥＦＥＭ１４内に供給され、ＥＦＥＭ１４内にダウンフローが形成される。なお、本実施形態において、ＥＦＥＭ１４内は大気圧であるが、他の形態として、ＥＦＥＭ１４内の圧力は、陽圧となるように制御されてもよい。これにより、外部からＥＦＥＭ１４内へのパーティクル等の侵入を抑制することができる。
　制御部１０は、メモリ、プロセッサ、および入出力インターフェイスを有する。メモリ内には、レシピ等のデータやプログラム等が格納される。メモリは、例えばＲＡＭ（Random　Access　Memory）、ＲＯＭ（Read　Only　Memory）、ＨＤＤ（Hard　Disk　Drive）、またはＳＳＤ（Solid　State　Drive）等である。プロセッサは、メモリから読み出されたプログラムを実行することにより、メモリ内に格納されたレシピ等のデータに基づいて、入出力インターフェイスを介して処理システム１の各部を制御する。プロセッサは、ＣＰＵ（Central　Processing　Unit）またはＤＳＰ（Digital　Signal　Processor）等である。
［メンテナンス装置２０の構成］
　図３は、メンテナンス装置２０の一例を示す概略断面図である。図３に例示されているメンテナンス装置２０は、ＶＴＭ１１に取り付けられた搬送ロボットの交換を補助するために用いられる装置である。
　本実施形態におけるメンテナンス装置２０は、台車２６と、収容容器２１と、ジャッキ２５と、シャッタ２３ａと、シャッタ２３ｂと、支持ユニット２７と、アーム２４とを備える。収容容器２１は、開口部２２ａおよび開口部２２ｂを有する。開口部２２ａは上部開口部の一例であり、開口部２２ｂは下部開口部の一例である。収容容器２１は、台車２６の上方に配置される。ジャッキ２５は、台車２６に取り付けられ、収容容器２１を第１の上側位置と第１の下側位置との間で昇降するように構成される。第１の上側位置および第１の下側位置については、後述する。
　収容容器２１は、第１の上側位置にあるときに搬送モジュールに接続される。シャッタ２３ｂは、開口部２２ｂを開閉するように構成される。支持ユニット２７は、搬送ロボットを支持するように構成される。アーム２４は、収容容器２１が第１の上側位置にあるときに支持ユニット２７を収容容器２１内にある第２の上側位置と収容容器２１体の下方にある第２の下側位置との間で昇降するように構成される。第２の上側位置および第２の下側位置については、後述する。収容容器２１の側壁には貫通孔２１１ａが形成されており、貫通孔２１１ａには配管２１１が接続されている。本実施形態において、収容容器２１は筐体の一例であり、ジャッキ２５は第１の昇降ユニットの一例であり、シャッタ２３ａは上部シャッタの一例であり、シャッタ２３ｂは下部シャッタの一例であり、アーム２４は第２の昇降ユニットの一例である。
［メンテナンス方法］
　図４は、メンテナンス方法の一例を示すフローチャートである。図４に例示されたメンテナンス方法では、ＶＴＭ１１に取り付けられた搬送ロボット１１０の交換を補助するために、搬送ロボット１１０を交換する作業手順について示されている。
　まず、収容容器２１がＶＴＭ１１に接続される（Ｓ１０）。ステップＳ１０では、例えば図５に示されるように、メンテナンス装置２０の台車２６がＶＴＭ１１の下方に移動する。台車２６の移動は、作業者が行ってもよいし、台車２６に設けられた不図示の自動運転機構により行われてもよい。なお、以下では、大気圧よりも低い予め定められた圧力雰囲気の空間にハッチングを施す。図５の例では、ＶＴＭ１１内の空間にハッチングが施されている。図５に例示された台車２６に対する収容容器２１の位置は、第１の下側位置の一例である。
　搬送ロボット１１０は、ＶＴＭ１１の底部に形成された開口部１１１に取り付けられている。図５の領域Ａの拡大図を図６に示す。図６は、ロック機構１１３の一例を示す拡大断面図である。図６に示されるように、ロック機構１１３は、ＶＴＭ１１の底部に設けられたアクチュエータ１１３０と、くさび形状のシリンダ１１３１とを有する。また、ロック機構１１３は、搬送ロボット１１０に設けられたピン１１３２を有する。ピン１１３２は、搬送ロボット１１０の周縁部１１０ｂの上面に立設された小径部１１３２ａと、小径部１１３２ａの先端に設けられた大径部１１３２ｂとを有する。ＶＴＭ１１の底部と搬送ロボット１１０の周縁部１１０ｂとの間には、Ｏリング等のシール部材１１０ａが配置されている。例えば図６に示されるように、アクチュエータ１１３０によってシリンダ１１３１が大径部１１３２ｂと搬送ロボット１１０の周縁部１１０ｂの上面との間に挿入される。これにより、搬送ロボット１１０がＶＴＭ１１の開口部１１１を塞ぐように、ＶＴＭ１１の底部に固定される。アクチュエータ１１３０によるシリンダ１１３１の駆動は、例えば制御部１０等によって制御される。
　また、図５の領域Ｂの拡大図を図７に示す。図７は、搬送ロボット１１０の電気系の接続、およびＶＴＭ１１とメンテナンス装置２０とのガス系の接続の一例を説明するための拡大断面図である。図７に示されるように、領域Ｂにもロック機構１１３が設けられている。なお、ロック機構１１３は、図６および図７に示された構成に限定されず、ボルトやねじ等によりＶＴＭ１１と搬送ロボット１１０とを固定する構成であってもよい。
　また、図７に例示されるように、搬送ロボット１１０の電気系は、コネクタ１１５を介して、ＶＴＭ１１の電気系に接続されている。また、ＶＴＭ１１の下面には、ジョイント１１６のプラグ１１６ａが設けられており、プラグ１１６ａには、配管１１４を介してバルブ１１７ａおよびバルブ１１７ｂが接続されている。バルブ１１７ａには、ＣＤＡ（Clean　Dry　Air）の供給源（ドライエア供給源）が接続されており、バルブ１１７ｂには、図示しない真空ポンプ等を含む排気装置が接続されている。
　収容容器２１の上面には、ジョイント１１６のソケット１１６ｂが設けられており、ソケット１１６ｂには、配管２１１が接続されている。配管２１１は、収容容器２１の側壁に形成された貫通孔２１１ａを介して収容容器２１内の空間に連通している。配管２１１にはバルブ２１０が設けられている。また、収容容器２１の上面には、Ｏリング等のシール部材２１ａが配置されている。なお、他の例として、バルブ２１０は配管２１１に設けられていなくてもよい。
　なお、本実施形態では、収容容器２１内の環境は、ＶＴＭ１１に設けられた配管１１４を介して調整されるが、開示の技術はこれに限られない。収容容器２１内の環境は、ＶＴＭ１１とは別に設けられたガス供給機構および排気機構によって、収容容器２１内の環境が調整されてもよい。これにより、ＶＴＭ１１と収容容器２１との接続を簡素化することができる。
　そして、例えば図８に示されるように、シャッタ２３ａが開かれ、ジャッキ２５により収容容器２１が持ち上げられ、収容容器２１とＶＴＭ１１とが接続される。図８に例示された台車２６に対する収容容器２１の位置は、第１の上側位置の一例である。この時、図８の領域Ｂでは、例えば図９に示されるように、ＶＴＭ１１の下面と収容容器２１の上面とが接触し、ジョイント１１６のプラグ１１６ａとソケット１１６ｂとが接続される。これにより、バルブ１１７ｂおよび配管２１１を介して収容容器２１内のガスが排出され、収容容器２１内の圧力をＶＴＭ１１内の圧力に近づけることができる。また、バルブ１１７ａおよび配管２１１を介して収容容器２１内にＣＤＡが供給され、収容容器２１内の圧力を大気圧まで戻すことができる。
　図４に戻って説明を続ける。次に、収容容器２１内の環境が調整される（Ｓ１１）。ステップＳ１１では、バルブ１１７ａが閉じられ、バルブ１１７ｂおよびバルブ２１０が開けられることにより、配管２１１を介して収容容器２１内のガスが排出される。そして、例えば図１０に示されるように、収容容器２１内の圧力がＶＴＭ１１内の圧力と同じ圧力となるように、収容容器２１内の圧力が調整される。このとき、シャッタ２３ｂは閉じられている。なお、収容容器２１内の圧力が調整された結果、収容容器２１内の圧力とＶＴＭ１１内の圧力とが完全に同じ圧力となっている必要はなく、収容容器２１内の圧力とＶＴＭ１１内の圧力とは多少異なっていてもよい。
　ここで、収容容器２１内の空間は、ＶＴＭ１１内の空間よりも小さい。そのため、収容容器２１内の環境がＶＴＭ１１内の環境と同じ環境になるように調整するのに要する時間は、ＶＴＭ１１を大気開放した後に、ＶＴＭ１１内の環境を元の環境に戻すのに要する時間よりも短い。そのため、ＶＴＭ１１を大気開放して搬送ロボット１１０の交換を行う場合に比べて、搬送ロボット１１０の交換に要する時間を短縮することができる。
　そして、収容容器２１内の環境が調整された後、搬送ロボット１１０がＶＴＭ１１から取り外される（Ｓ１２）。ステップＳ１２では、例えば図１０に示されるように、支持ユニット２７によって搬送ロボット１１０が支持される。図１０に例示された収容容器２１に対する支持ユニット２７の位置は、第２の上側位置の一例である。
　本実施形における支持ユニット２７は、例えば図１１に示されるように、アクチュエータ２７０および把持部２７１を有する。アクチュエータ２７０は、アーム２４に固定されており、２つの把持部２７１を駆動する。アクチュエータ２７０によって２つの把持部２７１の距離が縮まるように駆動されることにより、把持部２７１によって搬送ロボット１１０が把持され、支持ユニット２７によって搬送ロボット１１０が支持される。
　次に、支持ユニット２７によって搬送ロボット１１０が支持されている状態で、例えば図１２および図１３に示されるように、アクチュエータ１１３０によってシリンダ１１３１が大径部１１３２ｂの下から退避する。これにより、ＶＴＭ１１と搬送ロボット１１０との間のロックが解除される。そして、例えば図１４に示されるように、アーム２４が、搬送ロボット１１０を支持している支持ユニット２７を下降させることにより、搬送ロボット１１０が下降し、搬送ロボット１１０がＶＴＭ１１から取り外される。
　図１４の領域Ｂの拡大図を図１５に示す。アーム２４によって搬送ロボット１１０が下降することにより、コネクタ１１５のレセプタクル１１５ａおよびプラグ１１５ｂの接続が解除され、ＶＴＭ１１と搬送ロボット１１０との電気的な接続が解除される。
　次に、収容容器２１内の環境が調整される（Ｓ１３）。ステップＳ１３では、搬送ロボット１１０が収容容器２１内に収容された後、シャッタ２３ａが閉じられる。そして、バルブ１１７ｂが閉じられ、バルブ１１７ａおよびバルブ２１０が開けられることにより、配管２１１を介して収容容器２１内にＣＤＡが供給される。これにより、例えば図１６に示されるように、収容容器２１内の圧力が大気圧に近付くように、収容容器２１内の圧力が調整される。
　そして、収容容器２１内の圧力が調整された後、搬送ロボット１１０が収容容器２１の外部へ搬出される（Ｓ１４）。ステップＳ１４では、例えば図１７に示されるように、シャッタ２３ｂが開かれ、アーム２４によって搬送ロボット１１０が開口部２２ｂを介して収容容器２１の外部へ搬出される。そして、支持ユニット２７による把持が解除され、搬送ロボット１１０が作業者等に受け渡される。図１７に例示された収容容器２１に対する支持ユニット２７の位置は、第２の下側位置の一例である。
　次に、別な搬送ロボット１１０が収容容器２１内に搬入される（Ｓ１５）。ステップＳ１５では、例えば図１７に示されるように、作業者等によって別な搬送ロボット１１０が台車２６に載せられ、支持ユニット２７が別な搬送ロボット１１を把持する。そして、アーム２４が支持ユニット２７を上昇させることにより、別な搬送ロボット１１０が収容容器２１内に収容され、例えば図１６に示されるように、シャッタ２３ｂが閉じられる。
　次に、収容容器２１内の環境が調整される（Ｓ１６）。ステップＳ１６では、バルブ１１７ａが閉じられ、バルブ１１７ｂおよびバルブ２１０が開けられることにより、配管２１１を介して収容容器２１内のガスが排出される。これにより、収容容器２１内の圧力がＶＴＭ１１内の圧力に近付くように、収容容器２１内の圧力が調整される。
　そして、収容容器２１内の圧力が調整された後、別な搬送ロボット１１０がＶＴＭ１１に取り付けられる（Ｓ１７）。ステップＳ１７では、シャッタ２３ａが開かれ、例えば図１４に示されるように、アーム２４が搬送ロボット１１０を上昇させる。そして、例えば図１０に示されるように、搬送ロボット１１０の周縁部１１０ｂの上面とＶＴＭ１１の下面とが接触した状態で、図６および図９に示されるように、アクチュエータ１１３０によってシリンダ１１３１が大径部１１３２ｂの下に挿入される。これにより、搬送ロボット１１０がＶＴＭ１１の開口部１１１を塞ぐように、ＶＴＭ１１の底部に取り付けられる。
　次に、収容容器２１内の環境が調整される（Ｓ１８）。ステップＳ１８では、バルブ１１７ｂが閉じられ、バルブ１１７ａおよびバルブ２１０が開けられることにより、配管２１１を介して収容容器２１内にＣＤＡが供給される。これにより、例えば図８に示されるように、収容容器２１内の圧力が大気圧に近付くように、収容容器２１内の圧力が調整される。
　そして、収容容器２１内の圧力が調整された後、収容容器２１がＶＴＭ１１から取り外される（Ｓ１９）。ステップＳ１９では、ジャッキ２５により収容容器２１が下げられ、例えば図５に示されるように、収容容器２１とＶＴＭ１１との接続が解除される。そして、本フローチャートに示されたメンテナンス方法が終了する。
　以上、第１の実施形態について説明した。上記したように、本実施形態におけるメンテナンス装置（メンテナンス装置２０）は、搬送モジュール（ＶＴＭ１１）に取り付けられた搬送ロボット（搬送ロボット１１０）の交換を補助するためのメンテナンス装置であって、台車（台車２６）と、筐体（収容容器２１）と、第１の昇降ユニット（ジャッキ２５）と、下部シャッタ（シャッタ２３ｂ）と、支持ユニット（支持ユニット２７）と、第２の昇降ユニット（アーム２４）とを備える。筐体は、上部開口部（開口部２２ａ）及び下部開口部（開口部２２ｂ）を有し、台車の上方に配置される。第１の昇降ユニットは、台車に取り付けられ、筐体を第１の上側位置と第１の下側位置との間で昇降するように構成される。筐体は、第１の上側位置にあるときに搬送モジュールに接続される。下部シャッタは、下部開口部を開閉するように構成される。支持ユニットは、搬送ロボットを支持するように構成される。第２の昇降ユニットは、筐体が第１の上側位置にあるときに支持ユニットを筐体内にある第２の上側位置と筐体の下方にある第２の下側位置との間で昇降するように構成される。これにより、ＶＴＭ１１内の環境を維持したまま、ＶＴＭ１１内に配置された部品の交換等のメンテナンスが可能となり、ＶＴＭ１１内の部品のメンテナンスに伴うスループットの低下を抑制することができる。なお、収容容器２１内の環境がＶＴＭ１１内の環境と同じ環境になるように調整された結果、収容容器２１内の環境とＶＴＭ１１内の環境とが完全に同じ環境になっている必要はなく、収容容器２１内の環境とＶＴＭ１１内の環境とは多少異なっていてもよい。
　また、上記した実施形態におけるメンテナンス装置は、上部開口部を開閉するように構成される上部シャッタ（シャッタ２３ａ）をさらに備える。
　また、上記した実施形態において、筐体は、貫通孔（２１１ａ）を有し、筐体の内部空間は、貫通孔を介してドライエア供給源と連通する。
　また、上記した実施形態において、筐体は、貫通孔を有し、筐体の内部空間は、貫通孔を介して排気装置と連通する。
（第２の実施形態）
　第１の実施形態では、ＶＴＭ１１の下方からメンテナンス装置２０がＶＴＭ１１に接続される。これに対し、本実施形態では、ＶＴＭ１１の上方からメンテナンス装置２０の収容容器２１がＶＴＭ１１に接続される点が、第１の実施形態とは異なる。以下では、第１の実施形態と異なる点を中心に説明する。
　本実施形態では、例えば図１８に示されるように、ＶＴＭ１１の上部に開口部１１１が形成されており、開口部１１１は、シャッタ１２０によって開閉される。本実施形態におけるメンテナンス装置２０の収容容器２１は、天井を有し、底に開口部２２ａを有する容器であり、内部の空間にアーム２４および支持ユニット２７が設けられている。アーム２４は、支持ユニット２７を収容容器２１内の第１の位置と収容容器２１の下方にある第２の位置との間で昇降するように構成される。第１の位置および第２の位置については、後述する。収容容器２１の側壁には貫通孔２１１ａが形成されており、貫通孔２１１ａには配管２１１が接続されている。本実施形態において、開口部２２ａは下部開口部の一例であり、アーム２４は昇降ユニットの一例である。
　本実施形態において、メンテナンス装置２０は、ＯＨＴ（Overhead　Hoist　Transport）等により、ＶＴＭ１１の上方に運ばれ、例えば図１９に示されるように、ＶＴＭ１１の上からＶＴＭ１１に接続される。このとき、図９を用いて説明した第１の実施形態と同様に、ＶＴＭ１１の上面と収容容器２１の下面とが接触し、ジョイント１１６のプラグ１１６ａとソケット１１６ｂとが接続される。
　そして、第１の実施形態と同様に、バルブ１１７ａが閉じられ、バルブ１１７ｂおよびバルブ２１０が開けられることにより、配管２１１を介して収容容器２１内のガスが排出される。そして、例えば図２０に示されるように、収容容器２１内の圧力がＶＴＭ１１内の圧力と同じ圧力となるように、収容容器２１内の圧力が調整される。
　収容容器２１内の圧力が調整された後、ＶＴＭ１１のシャッタ１２０が開かれる。そして、例えば図２１に示されるように、収容容器２１の開口部２２ａおよびＶＴＭ１１の開口部１１１を介してアーム２４が支持ユニット２７を下降させる。そして、支持ユニット２６がＶＴＭ１１内に進入し、ＶＴＭ１１内に設置されている搬送ロボット１１０を把持する。図２１に例示された収容容器２１に対する支持ユニット２７の位置は、第２の位置の一例である。
　なお、本実施形態において、ＶＴＭ１１の底部の上面にはコネクタ１１５のレセプタクル１１５ａおよびプラグ１１５ｂのいずれか一方が設けられている。また、搬送ロボット１１０の下面には、コネクタ１１５のレセプタクル１１５ａおよびプラグ１１５ｂのいずれか他方が設けられている。そして、レセプタクル１１５ａおよびプラグ１１５ｂが嵌合するように、搬送ロボット１１０がＶＴＭ１１に載せられることにより、搬送ロボット１１０の電気系と、ＶＴＭ１１の電気系とが、コネクタ１１５を介して接続される。
　次に、支持ユニット２７が搬送ロボット１１０を把持している状態でアーム２４が支持ユニット２７を上昇させることにより、搬送ロボット１１０が持ち上げられ、搬送ロボット１１０の電気系と、ＶＴＭ１１の電気系との接続が解除される。そして、例えば図２２に示されるように、収容容器２１の開口部２２ａおよびＶＴＭ１１の開口部１１１を介して、搬送ロボット１１０が収容容器２１内に収容され、シャッタ１２０が閉じられる。図２２に例示された収容容器２１に対する支持ユニット２７の位置は、第１の位置の一例である。
　次に、第１の実施形態と同様に、バルブ１１７ｂが閉じられ、バルブ１１７ａおよびバルブ２１０が開けられることにより、配管２１１を介して収容容器２１内にＣＤＡが供給される。そして、例えば図２３に示されるように、収容容器２１内の圧力が大気圧に近付くように、収容容器２１内の圧力が調整される。
　そして、収容容器２１内の圧力が調整された後、例えば図２４に示されるように、収容容器２１内に収容された搬送ロボット１１０と共に、メンテナンス装置２０がＯＨＴ等により運ばれる。そして、作業者等により、搬送ロボット１１０がメンテナンス装置２０から搬出される。
　また、別な搬送ロボット１１０が取り付けられる際は、別な搬送ロボット１１０が収容容器２１内に収容されたメンテナンス装置２０が、例えば図２４に示されるように、ＯＨＴ等によりＶＴＭ１１の上方まで運ばれる。そして、例えば図２３に示されるように、ＶＴＭ１１とメンテナンス装置２０とが接続され、例えば図２２に示されるように、収容容器２１内の圧力がＶＴＭ１１内の圧力に近付くように、収容容器２１内の圧力が調整される。
　収容容器２１内の圧力が調整された後、ＶＴＭ１１のシャッタ１２０が開かれ、例えば図２１に示されるように、アーム２４および支持ユニット２７によって別な搬送ロボット１１０がＶＴＭ１１内に設置される。そして、アーム２４が収容容器２１内に退避した後、例えば図２０に示されるように、ＶＴＭ１１のシャッタ１２０が閉じられる。
　そして、例えば図１９に示されるように、収容容器２１内の圧力が大気圧に近付くように、収容容器２１内の圧力が調整される。収容容器２１内の圧力が調整された後、例えば図１８に示されるように、ＯＨＴ等によりメンテナンス装置２０が持ち上げられ、メンテナンス装置２０とＶＴＭ１１の接続が解除される。
　以上、第２の実施形態について説明した。本実施形態におけるメンテナンス装置（メンテナンス装置２０）は、搬送モジュール（ＶＴＭ１１）に取り付けられた搬送ロボット（搬送ロボット１１０）の交換を補助するためのメンテナンス装置であって、筐体（収容容器２１）と、支持ユニット（支持ユニット２７）と、昇降ユニット（アーム２４）とを備える。筐体は、下部開口部（開口部２２ａ）を有する。支持ユニットは、搬送ロボットを支持するように構成される。昇降ユニットは、支持ユニットを筐体内の第１の位置と筐体の下方にある第２の位置との間で昇降するように構成される。これにより、ＶＴＭ１１内の環境を維持したまま、ＶＴＭ１１内に配置された部品の交換等のメンテナンスが可能となり、ＶＴＭ１１内の部品のメンテナンスに伴うスループットの低下を抑制することができる。
　また、上記した実施形態において、筐体は、貫通孔（２１１ａ）を有し、筐体の内部空間は、貫通孔を介してドライエア供給源と連通する。
　また、上記した実施形態において、筐体は、貫通孔を有し、筐体の内部空間は、貫通孔を介して排気装置と連通する。
（第３の実施形態）
　第２の実施形態におけるメンテナンス装置２０は、天井を有し、底に開口部２２ａを有する容器である。これに対し、本実施形態におけるメンテナンス装置２０の収容容器２１は、上部に開口部２２ｂを有し、底に開口部２２ａを有し、開口部２２ｂがシャッタ２３ｂによって開閉される点が第２の実施形態とは異なる。以下では、第２の実施形態と異なる点を中心に説明する。本実施形態において、開口部２２ｂは上部開口部の一例であり、開口部２２ａは下部開口部の一例であり、シャッタ２３ｂは上部シャッタの一例である。
　本実施形態では、シャッタ２３ｂによって開口部２２ｂが閉じられた状態で、第２の実施形態と同様に、ＯＨＴ等により、メンテナンス装置２０がＶＴＭ１１の上方に運ばれ、ＶＴＭ１１の上方からメンテナンス装置２０の収容容器２１とＶＴＭ１１とが接続される。そして、収容容器２１内の圧力が調整された後、シャッタ１２０が開かれ、アーム２４および支持ユニット２７によって搬送ロボット１１０が収容容器２１内に収容される。そして、シャッタ１２０が閉じられ、例えば図２５に示されるように、収容容器２１内の圧力が大気圧に戻される。
　収容容器２１内の圧力が大気圧に戻された後、例えば図２６に示されるように、シャッタ２３ｂが開かれ、アーム２４によって支持ユニット２７および搬送ロボット１１０が開口部２２ｂよりもさらに上方に持ち上げられる。そして、搬送ロボット１１０が、支持ユニット２７からＯＨＴ等の搬送部３０に受け渡される。図２６に例示された収容容器２１に対する支持ユニット２７の位置は、第３の位置の一例である。
　別な搬送ロボット１１０が取り付けられる場合、例えば図２６に示されるように、ＯＨＴ等の搬送部３０から支持ユニット２７に別な搬送ロボット１１０が受け渡される。そして、アーム２４が支持ユニット２７を下降させることにより、例えば図２５に示されるように、搬送ロボット１１０が収容容器２１内に収容され、シャッタ２３ｂが閉じられる。そして、収容容器２１内の圧力が調整された後、シャッタ１２０が開かれ、アーム２４によって搬送ロボット１１０がＶＴＭ１１内に取り付けられる。そして、アーム２４が収容容器２１内に退避し、シャッタ１２０が閉じられ、収容容器２１内が大気圧に調整される。収容容器２１内が大気圧となった後に、ＯＨＴ等によりメンテナンス装置２０が持ち上げられ、メンテナンス装置２０とＶＴＭ１１との接続が解除される。
　以上、第３の実施形態について説明した。本実施形態において、筐体（収容容器２１）は、上部開口部（開口部２２ｂ）を有する。
　また、上記した実施形態において、上部開口部を開閉するように構成される上部シャッタ（シャッタ２３ｂ）をさらに備える。
　また、上記した実施形態において、昇降ユニット（アーム２４）は、支持ユニット（支持ユニット２７）を筐体（収容容器２１）の上方にある第３の位置まで上昇するように構成される。
（第４の実施形態）
　第３の実施形態では、メンテナンス装置２０の収容容器２１内が大気圧の状態で、収容容器２１とＶＴＭ１１とが接続された。これに対し、本実施形態では、収容容器２１内の環境がＶＴＭ１１内の環境に近い環境に維持された状態で、収容容器２１とＶＴＭ１１とが接続される。これにより、収容容器２１とＶＴＭ１１とが接続された後に、収容容器２１内の環境がＶＴＭ１１内の環境と同じ環境にするために要する時間を削減することができ、メンテナンスに伴うＶＴＭ１１の稼働停止期間を短くすることができる。以下では、第３の実施形態と異なる点を中心に説明する。
　本実施形態におけるメンテナンス装置２０は、例えば図２７に示されるように、上部に開口部２２ｂを有し、底に開口部２２ａを有し、開口部２２ｂがシャッタ２３ｂによって開閉され、開口部２２ａがシャッタ２３ａによって開閉される。本実施形態において、開口部２２ｂは上部開口部の一例であり、開口部２２ａは下部開口部の一例であり、シャッタ２３ｂは上部シャッタの一例であり、シャッタ２３ａは下部シャッタの一例である。
　本実施形態では、シャッタ２３ａおよびシャッタ２３ｂが閉じられた状態で、収容容器２１内の環境がＶＴＭ１１内の環境と同じ環境になるように調整された後に、例えば図２７に示されるように、ＯＨＴ等により、メンテナンス装置２０がＶＴＭ１１の上方に運ばれる。そして、ＶＴＭ１１の上方からメンテナンス装置２０の収容容器２１とＶＴＭ１１とが接続され、シャッタ２３ａおよびシャッタ１２０が開かれ、開口部２２ａおよび開口部１１１を介して、ＶＴＭ１１内にアーム２４が挿入される。
　そして、支持ユニット２７によって搬送ロボット１１０が把持され、アーム２４によって支持ユニット２７が上昇することにより、搬送ロボット１１０が収容容器２１内に収容される。そして、シャッタ２３ａおよびシャッタ１２０の少なくともいずれかが閉じられ、収容容器２１内の環境が収容容器２１の外部の環境と同じ環境になるように調整される。そして、シャッタ２３ｂが開かれ、アーム２４によって支持ユニット２７および搬送ロボット１１０が開口部２２ｂよりもさらに上方に持ち上げられる。そして、搬送ロボット１１０が、支持ユニット２７からＯＨＴ等の搬送部３０に受け渡される。
　以上、第４の実施形態について説明した。本実施形態におけるメンテナンス装置（メンテナンス装置２０）は、下部開口部（開口部２２ａ）を開閉するように構成される下部シャッタ（シャッタ２３ａ）をさらに備える。
（第５の実施形態）
　上記した各実施形態では、搬送モジュールの上方または下方にメンテナンス装置２０が接続されるが、本実施形態では、搬送モジュールの側面にメンテナンス装置２０が接続される。具体的には、本実施形態では、ＥＦＥＭ１４の側面にメンテナンス装置２０が接続される。以下では、第１から第４の実施形態と異なる点を中心に説明する。
　本実施形態におけるメンテナンス装置２０は、例えば図２８に示されるように、側面に開口部２２ａが形成された収容容器２１を有し、収容容器２１内にアーム２４および支持ユニット２７が設けられている。また、収容容器２１の側壁には貫通孔２１１ａが形成されており、貫通孔２１１ａには配管２１１が接続されている。また、メンテナンス装置２０は、収容容器２１を搬送する台車２６を有する。
　ＥＦＥＭ１４の側壁には、開口部１４３が形成されており、開口部１４３は、シャッタ１４２によって開閉される。本実施形態において、ＥＦＥＭ１４内の空間は、窒素ガス等の不活性ガスで満たされている。以下では、不活性ガスで満たされた空間にハッチングを施す。
　まず、台車２６がＥＦＥＭ１４に近づくように移動することにより、例えば図２９に示されるように、メンテナンス装置２０の収容容器２１とＥＦＥＭ１４とが接続される。この時、図２９の領域Ｃでは、例えば図３０に示されるように、ＥＦＥＭ１４の側面と収容容器２１の側面とが接触し、ジョイント１４６のプラグとソケットとが接続される。これにより、バルブ１４５ｃおよびバルブ２１０が開けられることで、配管２１１および貫通孔２１１ａを介して収容容器２１内のガスを排出することができる。また、バルブ１４５ｂおよびバルブ２１０が開けられることで、配管２１１および貫通孔２１１ａを介して収容容器２１内に不活性ガスを供給し、収容容器２１内を不活性ガスで満たすことができる。また、バルブ１４５ａおよびバルブ２１０が開けられることで、配管２１１および貫通孔２１１ａを介して収容容器２１内にＣＤＡを供給し、収容容器２１内の環境を収容容器２１の外部の環境に近づけることができる。
　収容容器２１のとＥＦＥＭ１４とが接続された後、収容容器２１内の環境がＥＦＥＭ１４内の環境と同じ環境になるように、収容容器２１内の環境が調整される。例えば、バルブ１４５ｃおよびバルブ２１０が開けられ、配管２１１および貫通孔２１１ａを介して収容容器２１内のガスが排出され、その後、バルブ１４５ｂおよびバルブ２１０が開けられ、配管２１１および貫通孔２１１ａを介して収容容器２１内に不活性ガスが供給される。収容容器２１内が不活性ガスで満たされた後、例えば図３１に示されるように、シャッタ１４２が開けられる。
　そして、アーム２４は、開口部２２ａおよび開口部１４３を介してＥＦＥＭ１４内に支持ユニット２７を進入させ、支持ユニット２７が搬送ロボット１４０を把持する。そして、例えば図３２に示されるように、アーム２４がガイドレール１４１から離れるように移動することにより、搬送ロボット１４０がガイドレール１４１から取り外される。なお、搬送ロボット１４０とガイドレール１４１とは、例えば第１の実施形態と同様のロック機構によってロックされている。また、搬送ロボット１４０とガイドレール１４１とは、例えば第１の実施形態と同様のコネクタにより電気的に接続されている。
　そして、アーム２４が収容容器２１内に退避することにより、例えば図３３に示されるように、開口部１４３および開口部２２ａを介して、搬送ロボット１４０を収容容器２１内に収容する。そして、シャッタ１４２が閉じられ、例えば図３４に示されるように、収容容器２１内の環境が収容容器２１の外部の環境と同じ環境になるように、収容容器２１内の環境が調整される。例えば、バルブ１４５ｃおよびバルブ２１０が開けられ、配管２１１および貫通孔２１１ａを介して収容容器２１内のガスが排出され、その後、バルブ１４５ａおよびバルブ２１０が開けられ、配管２１１および貫通孔２１１ａを介して収容容器２１内にＣＤＡが供給される。
　そして、収容容器２１内がＣＤＡで満たされた後、例えば図３５に示されるように、台車２６がＥＦＥＭ１４から離れるように移動することにより、ＥＦＥＭ１４と収容容器２１との接続が解除される。これにより、ＥＦＥＭ１４内の環境を維持したまま、ＥＦＥＭ１４内の搬送ロボット１４０を取り外すことができる。
　また、別な搬送ロボット１４０をＥＦＥＭ１４内に取り付ける場合には、例えば図３５に示されるように、別な搬送ロボット１４０を収容した収容容器２１を載せた台車２６がＥＦＥＭ１４に近づくように移動する。そして、例えば図３４に示されるように、ＥＦＥＭ１４と収容容器２１とが接続される。そして、収容容器２１内が不活性ガスで満たされた後、例えば図３３に示されるように、シャッタ１４２が開けられ、例えば図３２に示されるように、アーム２４が別な搬送ロボット１４０をＥＦＥＭ１４内に挿入する。そして、アーム２４は、別な搬送ロボット１４０をガイドレール１４１に取り付け、支持ユニット２７による搬送ロボット１４０の把持が解除される。
　そして、例えば図３１に示されるように、アーム２４が収容容器２１内に退避した後、シャッタ１４２が閉じられ、収容容器２１内がＣＤＡで満たされる。収容容器２１内がＣＤＡで満たされた後、例えば図２８に示されるように、台車２６がＥＦＥＭ１４から離れるように移動することにより、ＥＦＥＭ１４と収容容器２１との接続が解除される。これにより、ＥＦＥＭ１４内の環境を維持したまま、ＥＦＥＭ１４内に搬送ロボット１４０を取り付けることができる。
　以上、第５の実施形態について説明した。本実施形態において、ＥＦＥＭ１４内は、大気とは異なる特定のガスで満たされている。本実施形態においても、ＥＦＥＭ１４内の環境を維持したまま、ＥＦＥＭ１４内に配置された部品の交換等のメンテナンスが可能となり、ＥＦＥＭ１４内の部品のメンテナンスに伴うスループットの低下を抑制することができる。
（第６の実施形態）
　上記した各実施形態では、搬送モジュール内の部品として、搬送モジュール内に設けられる搬送ロボットを例に説明したが、開示の技術はこれに限られない。搬送モジュールモジュール内の部品は、搬送モジュール内に設けられ、交換可能な部品であれば、搬送ロボット以外の部品であってもよい。搬送ロボット以外の部品としては、例えばロードポート１５、アライナモジュール、ウエハストレージ、各種センサ、ゲートバルブ、リフトピン、ステージ等が挙げられる。ウエハストレージとは、例えばＥＦＥＭ１４内に設けられ、処理前の基板Ｗを一時的に収容したり、処理後の基板Ｗを一時的に収容したりする機構である。ステージとは、例えばＬＬＭ１３内に搬入された基板Ｗが載せられるステージである。リフトピンとは、例えば搬送ロボット１１０および搬送ロボット１４０から基板Ｗを受け取ってＬＬＭ１３内のステージに載せ、ＬＬＭ１３内のステージから基板Ｗを持ち上げて搬送ロボット１１０および搬送ロボット１４０に受け渡す機構である。第６の実施形態では、搬送モジュール内のロードポート１５の交換を補助するメンテナンス装置２０について説明する。以下では、第１から第５の実施形態と異なる点を中心に説明する。
　本実施形態におけるメンテナンス装置２０は、例えば図３６に示されるように、側面に開口部２２ａおよび開口部２２ｂが形成された収容容器２１を有し、収容容器２１内にアーム２４および支持ユニット２７が設けられている。開口部２２ａはシャッタ２３ａによって開閉され、開口部２２ｂはシャッタ２３ｂによって開閉される。ＥＦＥＭ１４の側壁には、開口部１４７が形成されており、開口部１４７には、ロードポート１５が設けられている。本実施形態において、ＥＦＥＭ１４内の空間は、窒素ガス等の不活性ガスで満たされている。以下では、不活性ガスで満たされた空間にハッチングを施す。
　まず、例えば図３７に示されるように、収容容器２１内に設けられたシャッタ２３０が収容容器２１の内部へ退避し、シャッタ２３ａが開けられる。そして、台車２６がＥＦＥＭ１４に近づくように移動することにより、例えば図３８に示されるように、メンテナンス装置２０の収容容器２１とＥＦＥＭ１４とが接続される。この時、収容容器２１とＥＦＥＭ１４とは、例えば図３９に示されるように、ＥＦＥＭ１４の側面と収容容器２１の側面とが接触し、ジョイント１４６のプラグとソケットとが接続される。図３９は、収容容器２１およびＥＦＥＭ１４の水平断面を上方から見た場合の図である。
　これにより、バルブ１４５ｃおよびバルブ２１０が開けられることで、配管２１１および貫通孔２１１ａを介して収容容器２１内のガスを排出することができる。また、バルブ１４５ｂおよびバルブ２１０が開けられることで、配管２１１および貫通孔２１１ａを介して収容容器２１内に不活性ガスを供給し、収容容器２１内を不活性ガスで満たすことができる。また、バルブ１４５ａおよびバルブ２１０が開けられることで、配管２１１および貫通孔２１１ａを介して収容容器２１内にＣＤＡを供給し、収容容器２１内の環境を収容容器２１の外部の環境に近づけることができる。
　収容容器２１のとＥＦＥＭ１４とが接続された後、収容容器２１内の環境がＥＦＥＭ１４内の環境と同じ環境になるように、収容容器２１内の環境が調整される。例えば、バルブ１４５ｃおよびバルブ２１０が開けられ、配管２１１および貫通孔２１１ａを介して収容容器２１内のガスが排出され、その後、バルブ１４５ｃが閉じられ、バルブ１４５ｂが開けられ、配管２１１および貫通孔２１１ａを介して収容容器２１内に不活性ガスが供給される。
　収容容器２１内が不活性ガスで満たされた後、アーム２４の駆動により支持ユニット２７がロードポート１５に近づき、支持ユニット２７がロードポート１５を把持する。そして、アーム２４の駆動によりＥＦＥＭ１４から離れるように支持ユニット２７を移動させることにより、例えば図４０に示されるように、ロードポート１５がＥＦＥＭ１４から取り外される。なお、ロードポート１５とＥＦＥＭ１４とは、例えば第１の実施形態と同様のロック機構によってロックされている。また、ロードポート１５とＥＦＥＭ１４とは、例えば第１の実施形態と同様のコネクタにより電気的に接続されている。
　次に、シャッタ２３ａおよびシャッタ２３０が閉じられる。そして、例えば図４１に示されるように、収容容器２１内の環境が収容容器２１の外部の環境と同じ環境になるように、収容容器２１内の環境が調整される。例えば、バルブ１４５ｃおよびバルブ２１０が開けられ、配管２１１および貫通孔２１１ａを介して収容容器２１内のガスが排出され、その後、バルブ１４５ｃが閉じられ、バルブ１４５ａが開けられ、配管２１１および貫通孔２１１ａを介して収容容器２１内にＣＤＡが供給される。
　そして、収容容器２１内がＣＤＡで満たされた後、例えば図４２に示されるように、シャッタ２３ｂが開かれ、アーム２４の駆動により、開口部２２ｂを介して、ロードポート１５が収容容器２１の外部へ搬出される。これにより、ＥＦＥＭ１４内の環境を維持したまま、ロードポート１５をＥＦＥＭ１４から取り外すことができる。
　また、別なロードポート１５をＥＦＥＭ１４に取り付ける場合には、例えば図４２に示されるように、別なロードポート１５を支持ユニット２７に把持させ、アーム２４の駆動により、開口部２２ｂを介して、ロードポート１５が収容容器２１内に収容される。そして、例えば図４１に示されるように、シャッタ２３ｂが閉じられる。
　そして、収容容器２１内が不活性ガスで満たされた後、例えば図４０に示されるように、シャッタ２３０およびシャッタ２３ａが開けられる。そして、アーム２４の駆動により、ロードポート１５がＥＦＥＭ１４に取り付けられる。これにより、ＥＦＥＭ１４内の環境を維持したまま、ＥＦＥＭ１４にロードポート１５を取り付けることができる。そして、支持ユニット２７によるロードポート１５の把持が解除され、アーム２４の駆動により、支持ユニット２７が収容容器２１内に退避する。
　そして、例えば図３８に示されるように、収容容器２１内がＣＤＡで満たされ、例えば図３７に示されるように、台車２６がＥＦＥＭ１４から離れるように移動することにより、ＥＦＥＭ１４と収容容器２１との接続が解除される。
　以上、第６の実施形態について説明した。本実施形態においても、ＥＦＥＭ１４内の環境を維持したまま、ＥＦＥＭ１４に取り付けられたロードポート１５等の部品の交換が可能となり、ＥＦＥＭ１４に取り付けられた部品のメンテナンスに伴うスループットの低下を抑制することができる。
　なお、図３６～図４２に例示されたシャッタ２３ａおよびシャッタ２３ｂは、上下にスライドする方式のシャッタであるが、開示の技術はこれに限られない。他の例として、シャッタ２３ａおよびシャッタ２３ｂは、斜め方向や横方向（例えば水平方向）にスライドする方式のシャッタであってもよい。あるいは、シャッタ２３ａおよびシャッタ２３ｂは、例えば図４３に示されるように、ヒンジを中心に回動する方式のシャッタであってもよい。図４３は、メンテナンス装置２０の水平断面を上方から見た図である。
［その他］
　なお、本願に開示された技術は、上記した実施形態に限定されるものではなく、その要旨の範囲内で数々の変形が可能である。
　例えば、上記した第１から第４の実施形態では、ＶＴＭ１１の下方または上方からＶＴＭ１１内に設けられた部品のメンテナンスが行われるが、開示の技術はこれに限られない。他の形態として、例えば第５および第６の実施形態と同様に、ＶＴＭ１１の側方からＶＴＭ１１内に設けられた部品のメンテナンスが行われてもよい。
　また、上記した第５および第６の実施形態では、ＥＦＥＭ１４の側方からＥＦＥＭ１４に設けられた部品のメンテナンスが行われるが、開示の技術はこれに限られない。他の形態として、例えば第１から第４の実施形態と同様に、ＥＦＥＭ１４の下方または上方からＥＦＥＭ１４に設けられた部品のメンテナンスが行われてもよい。
　また、上記した各実施形態では、メンテナンス装置２０によって搬送モジュールの部品の交換が行われるが、開示の技術はこれに限られない。例えば、搬送モジュールの部品のメンテナンスに関連する動作であれば、部品の交換以外に、部品の調整やクリーニング等が行われてもよい。例えば、メンテナンス装置２０によって搬送モジュールから取り外された部品が、調整やクリーニング等が行われた後に、メンテナンス装置２０によって再び搬送モジュールに取り付けられてもよい。
　また、メンテナンス装置２０内にロボットアームが設けられ、メンテナンス装置２０内の環境が搬送モジュール内の環境と同じ環境になるように調整された後、ロボットアームによって搬送モジュールの部品の調整やクリーニングが行われてもよい。これにより、搬送モジュール内の環境を維持したまま、搬送モジュールに設けられた部品の調整やクリーニング等のメンテナンスが可能となる。なお、メンテナンス装置２０の収容容器２１内には、搬送モジュールの部品のメンテナンスに関連する動作を行うメンテナンス部が設けられてもよい。
　また、上記した各実施形態では、ＶＴＭ１１またはＥＦＥＭ１４に設けられた部品のメンテナンスが行われたが、開示の技術はこれに限られない。基板を搬送する搬送モジュールであれば、メンテナンス装置２０は、ＬＬＭ１３内の部品のメンテナンスを行ってもよい。
　また、上記した各実施形態では、ＶＴＭ１１およびＥＦＥＭ１４内に搬送ロボットが１つずつ設けられているが、開示の技術はこれに限られない。他の形態として、ＶＴＭ１１およびＥＦＥＭ１４内には、２台以上の搬送ロボットが設けられていてもよい。これにより、一部の搬送ロボットのメンテナンスが必要になった場合であっても、他の搬送ロボットによって基板Ｗの処理を続行することができ、プロセスの稼働停止を回避することができる。
　なお、今回開示された実施形態は全ての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。実に、上記した実施形態は多様な形態で具現され得る。また、上記の実施形態は、添付の請求の範囲およびその趣旨を逸脱することなく、様々な形態で省略、置換、変更されてもよい。
　また、上記の実施形態に関し、さらに以下の付記を開示する。
（付記１）
　搬送モジュールに取り付けられた搬送ロボットの交換を補助するためのメンテナンス装置であって、
　台車と、
　上部開口部及び下部開口部を有し、前記台車の上方に配置される筐体と、
　前記台車に取り付けられ、前記筐体を第１の上側位置と第１の下側位置との間で昇降するように構成される第１の昇降ユニットであり、前記筐体は、前記第１の上側位置にあるときに前記搬送モジュールに接続される、第１の昇降ユニットと、
　前記下部開口部を開閉するように構成される下部シャッタと、
　前記搬送ロボットを支持するように構成される支持ユニットと、
　前記筐体が前記第１の上側位置にあるときに前記支持ユニットを前記筐体内にある第２の上側位置と前記筐体の下方にある第２の下側位置との間で昇降するように構成される第２の昇降ユニットと、
を備える、メンテナンス装置。
（付記２）
　前記上部開口部を開閉するように構成される上部シャッタをさらに備える、付記１に記載のメンテナンス装置。
（付記３）
　前記筐体は、貫通孔を有し、
　前記筐体の内部空間は、前記貫通孔を介してドライエア供給源と連通する、付記１又は付記２に記載のメンテナンス装置。
（付記４）
　前記筐体は、貫通孔を有し、
　前記筐体の内部空間は、前記貫通孔を介して排気装置と連通する、付記１から３のいずれか一つに記載のメンテナンス装置。
（付記５）
　搬送モジュールに取り付けられた搬送ロボットの交換を補助するためのメンテナンス装置であって、
　下部開口部を有する筐体と、
　前記搬送ロボットを支持するように構成される支持ユニットと、
　前記支持ユニットを前記筐体内の第１の位置と前記筐体の下方にある第２の位置との間で昇降するように構成される昇降ユニットと、
を備える、メンテナンス装置。
（付記６）
　前記下部開口部を開閉するように構成される下部シャッタをさらに備える、付記５に記載のメンテナンス装置。
（付記７）
　前記筐体は、上部開口部を有する、付記５又は付記６に記載のメンテナンス装置。
（付記８）
　前記上部開口部を開閉するように構成される上部シャッタをさらに備える、付記７に記載のメンテナンス装置。
（付記９）
　前記昇降ユニットは、支持ユニットを筐体の上方にある第３の位置まで上昇するように構成される、付記７又は８に記載のメンテナンス装置。
（付記１０）
　前記筐体は、貫通孔を有し、
　前記筐体の内部空間は、前記貫通孔を介してドライエア供給源と連通する、付記５から９のうちいずれか一つに記載のメンテナンス装置。
（付記１１）
　前記筐体は、貫通孔を有し、
　前記筐体の内部空間は、前記貫通孔を介して排気装置と連通する、付記５から９のうちいずれか一つに記載のメンテナンス装置。
（付記１２）
　搬送モジュールに取り付けられた搬送ロボットの交換を補助するためのメンテナンス装置であって、
　開口部を有する筐体と、
　前記開口部を開閉するように構成されるシャッタと、
　前記搬送ロボットを支持するように構成される支持ユニットと、
　前記支持ユニットを前記筐体内の第１の位置と前記筐体外の第２の位置との間で移動するように構成される駆動ユニットと、
を備える、メンテナンス装置。
（付記１３）
　前記開口部は、前記筐体の側壁に形成され、
　前記駆動ユニットは、前記支持ユニットを水平方向に移動するように構成される、付記１２に記載のメンテナンス装置。
（付記１４）
　前記筐体は、貫通孔を有し、
　前記筐体の内部空間は、前記貫通孔を介してドライエア供給源と連通する、付記１２又は付記１３に記載のメンテナンス装置。
（付記１５）
　前記筐体は、貫通孔を有し、
　前記筐体の内部空間は、前記貫通孔を介して排気装置と連通する、付記１２から１４のいずれか一つに記載のメンテナンス装置。
Ｇ　ゲートバルブ
Ｗ　基板
１　処理システム
１０　制御部
１１　ＶＴＭ
１１０　搬送ロボット
１１１　開口部
１１０ａ　シール部材
１１０ｂ　周縁部
１１３　ロック機構
１１３０　アクチュエータ
１１３１　シリンダ
１１３２　ピン
１１３２ａ　小径部
１１３２ｂ　大径部
１１４　配管
１１５　コネクタ
１１５ａ　レセプタクル
１１５ｂ　プラグ
１１６　ジョイント
１１６ａ　プラグ
１１６ｂ　ソケット
１１７　バルブ
１２　ＰＭ
１２０　シャッタ
１３　ＬＬＭ
１４　ＥＦＥＭ
１４０　搬送ロボット
１４１　ガイドレール
１４２　シャッタ
１４３　開口部
１４５　バルブ
１４６　ジョイント
１４７　開口部
１５　ロードポート
１６　容器
２０　メンテナンス装置
２１　収容容器
２１ａ　シール部材
２１０　バルブ
２１１　配管
２１１ａ　貫通孔
２２　開口部
２３　シャッタ
２３０　シャッタ
２４　アーム
２５　ジャッキ
２６　台車
２７　支持ユニット
２７０　アクチュエータ
２７１　把持部
３０　搬送部

Claims (15)

  1. 　搬送モジュールに取り付けられた搬送ロボットの交換を補助するためのメンテナンス装置であって、
    　台車と、
    　上部開口部及び下部開口部を有し、前記台車の上方に配置される筐体と、
    　前記台車に取り付けられ、前記筐体を第１の上側位置と第１の下側位置との間で昇降するように構成される第１の昇降ユニットであり、前記筐体は、前記第１の上側位置にあるときに前記搬送モジュールに接続される、第１の昇降ユニットと、
    　前記下部開口部を開閉するように構成される下部シャッタと、
    　前記搬送ロボットを支持するように構成される支持ユニットと、
    　前記筐体が前記第１の上側位置にあるときに前記支持ユニットを前記筐体内にある第２の上側位置と前記筐体の下方にある第２の下側位置との間で昇降するように構成される第２の昇降ユニットと、
    を備える、メンテナンス装置。
  2. 　前記上部開口部を開閉するように構成される上部シャッタをさらに備える、請求項１に記載のメンテナンス装置。
  3. 　前記筐体は、貫通孔を有し、
    　前記筐体の内部空間は、前記貫通孔を介してドライエア供給源と連通する、請求項１又は請求項２に記載のメンテナンス装置。
  4. 　前記筐体は、貫通孔を有し、
    　前記筐体の内部空間は、前記貫通孔を介して排気装置と連通する、請求項１又は請求項２に記載のメンテナンス装置。
  5. 　搬送モジュールに取り付けられた搬送ロボットの交換を補助するためのメンテナンス装置であって、
    　下部開口部を有する筐体と、
    　前記搬送ロボットを支持するように構成される支持ユニットと、
    　前記支持ユニットを前記筐体内の第１の位置と前記筐体の下方にある第２の位置との間で昇降するように構成される昇降ユニットと、
    を備える、メンテナンス装置。
  6. 　前記下部開口部を開閉するように構成される下部シャッタをさらに備える、請求項５に記載のメンテナンス装置。
  7. 　前記筐体は、上部開口部を有する、請求項５に記載のメンテナンス装置。
  8. 　前記上部開口部を開閉するように構成される上部シャッタをさらに備える、請求項７に記載のメンテナンス装置。
  9. 　前記昇降ユニットは、支持ユニットを筐体の上方にある第３の位置まで上昇するように構成される、請求項８に記載のメンテナンス装置。
  10. 　前記筐体は、貫通孔を有し、
    　前記筐体の内部空間は、前記貫通孔を介してドライエア供給源と連通する、請求項５から９のうちいずれか一項に記載のメンテナンス装置。
  11. 　前記筐体は、貫通孔を有し、
    　前記筐体の内部空間は、前記貫通孔を介して排気装置と連通する、請求項５から９のうちいずれか一項に記載のメンテナンス装置。
  12. 　搬送モジュールに取り付けられた搬送ロボットの交換を補助するためのメンテナンス装置であって、
    　開口部を有する筐体と、
    　前記開口部を開閉するように構成されるシャッタと、
    　前記搬送ロボットを支持するように構成される支持ユニットと、
    　前記支持ユニットを前記筐体内の第１の位置と前記筐体外の第２の位置との間で移動するように構成される駆動ユニットと、
    を備える、メンテナンス装置。
  13. 　前記開口部は、前記筐体の側壁に形成され、
    　前記駆動ユニットは、前記支持ユニットを水平方向に移動するように構成される、請求項１２に記載のメンテナンス装置。
  14. 　前記筐体は、貫通孔を有し、
    　前記筐体の内部空間は、前記貫通孔を介してドライエア供給源と連通する、請求項１２又は請求項１３に記載のメンテナンス装置。
  15. 　前記筐体は、貫通孔を有し、
    　前記筐体の内部空間は、前記貫通孔を介して排気装置と連通する、請求項１２又は請求項１３に記載のメンテナンス装置。
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