JP4942180B2 - 試料作製装置 - Google Patents
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Description
本発明の試料作製装置は、中央に開口部を有する枠状に形成され、上面にウエハを載置可能なホルダ本体と、該ホルダ本体に載置された前記ウエハの外周に当接し、前記ウエハを前記ホルダ本体上で位置決めするガイド部と、前記ホルダ本体の外周部に設けられ、前記ウエハから作製された断面試料を保持する断面試料保持部とを備え、該断面試料保持部は、前記断面試料が固定される板状の試料台と、該試料台を着脱可能に挟持するとともに、前記ホルダ本体に対して着脱可能に設けられた固定台とを備えるウエハホルダと、前記ウエハを保持した前記ウエハホルダを内部に収容するとともに、該内部を真空状態に排気可能な試料室と、該試料室の内部に収容された前記ウエハに荷電粒子ビームを照射してエッチングすることで、前記断面試料を作製可能な荷電粒子ビーム鏡筒と、前記ウエハから作製された前記断面試料を取り出して、前記ウエハホルダの前記試料台まで搬送する採取・搬送手段と、前記断面試料を前記試料台に接着固定する接着手段と、開閉可能な試料室バルブによって前記試料室と接続され、また、開閉可能な外部バルブによって外部と接続されるとともに、内部を真空状態に排気可能なロードロック室とを備え、該ロードロック室の内部には、前記ウエハホルダを、下方に空間を有した状態で配置させるホルダ台と、該ホルダ台に載置された前記ウエハホルダの下方に配置され、上下に進退して、前記ウエハホルダに保持された前記ウエハを上方に持ち上げることが可能なエレベータと、前記ホルダ台と前記試料室の内部との間で、前記ウエハホルダを搬送する内部搬送ロボットとが設けられ、前記試料室の内部に設けられて前記ウエハホルダを支持する試料ステージを備え、該試料ステージは、前記ウエハホルダの前記ホルダ本体と対応する枠状に形成され、該ホルダ本体を吸着保持する第一の静電チャックと、該第一の静電チャックに吸着保持された前記ホルダ本体に載置された前記ウエハを吸着保持可能に前記第一の静電チャックの内側で上方に突出して設けられた第二の静電チャックとを有することを特徴としている。
また、この発明に係る試料作製装置によれば、小型化、軽量化が図られたウエハホルダを使用することで、ウエハを保持したウエハホルダを収容する試料室の小型化を図ることができる。さらに、ウエハホルダの小型化、軽量化を図ることができることで、ウエハホルダを搬送する内部搬送ロボットの小型化を図ることができ、対応するロードロック室の小型化も図ることができる。また、ウエハに荷電粒子ビームを照射してエッチングすることで作製された断面試料は、採取・搬送手段によって採取され、ウエハホルダの試料保持部において試料台まで搬送されて、接着手段によって試料台に固定される。このため、断面試料はウエハとともにウエハホルダに保持されて、同時に搬送することが可能となり、搬送ルートを一系統にすることができるので、搬送ルートの省スペース化を図ることができる。
以上のように、試料室及びロードロック室の小型化を図ることができることで、試料室及びロードロック室を真空状態にする際の排気性能が高まり、また、装置全体として小型化を図ることができる。また、エレベータによってウエハホルダのホルダ本体の開口部からウエハを持ち上げることによって、容易にウエハとウエハホルダとを離脱させることができ、ウエハと断面試料とを同時に搬送する作用と相まって、ウエハの搬送から、断面試料を作製してウエハ及び断面試料を外部へ搬送するまでのスループットの向上も図ることができる。
さらに、この発明に係る試料作製装置によれば、試料室の内部において試料ステージ上で、ウエハホルダ及びウエハは、第一の静電チャック及び第二の静電チャックで静電気力によって吸着保持される。このため、作業者が介在すること無く試料室を真空状態としたまま脱着することができ、塵などの汚染物発生を防止することができる。また、ウエハを広範囲で均一に歪み無く吸着保持することができる。さらに、試料ステージ自体の軽量化を図ることができ、試料ステージの固有振動数を高く設定することができる。このため、汚染物、ウエハの変形、試料ステージの振動にそれぞれ起因する集束イオンビームの分解能の低下を防止することができる。さらに、作業者が介在すること無く脱着できることで、脱着に伴う作業時間の短縮及び作業者によるウエハ等の破損の防止を図ることができる。また、ウエハホルダとウエハとは、第一の静電チャックと第二の静電チャックとで別々に吸着保持される。そして、軽量のウエハを保持する第二の静電チャックについては、必要とする電圧を低く抑えることができる。このため、ウエハに流れる漏れ電流を小さくすることができ、漏れ電流によって照射される集束イオンビームが影響を受けてしまうのを防ぐことができる。また、第二の静電チャックからのウエハの離脱時間を短縮させることができ、スループットの向上を図ることができる。また、第二の静電チャックは、ウエハホルダのホルダ本体が第一の静電チャックに吸着保持された状態で、ウエハを吸着保持可能に上方に突出している。このため、ウエハをウエハホルダに載置された状態のまま、観察面が集束イオンビームの焦点高さとなるように吸着保持することができ、集束イオンビームの分解能の向上をさらに図ることができる。
また、本発明の試料作製装置によれば、上記のような小型化、軽量化されたウエハホルダによって、ウエハとともに作製した断面試料を搬送することができることで、効率良くウエハ及び断面試料を搬送することができるとともに、装置全体の小型化を図ることができる。
2 試料室
2a 内部
3 試料ステージ
3b 第一の静電チャック
3c 第二の静電チャック
4 集束イオンビーム鏡筒(荷電粒子ビーム鏡筒)
5 ガス銃
6 接着手段
7 プローブ(採取・搬送手段)
8 ロードロック室
9 ロボット室
10 ホルダ室
11 試料室バルブ
12 ゲートバルブ
13 外部バルブ
13a ウエハ用バルブ
13b ホルダ用バルブ
14 ホルダ台
17 エレベータ
18 内部搬送ロボット
30 ウエハホルダ
31 ホルダ本体
31a 開口部
31b 上面
31c 外周部
31d 下面
32 ガイド部
33 断面試料保持部
34 試料カセット
35 固定台
36 試料台
S 断面試料
W ウエハ
W1 外周
W2 下面
Claims (4)
- 中央に開口部を有する枠状に形成され上面にウエハを載置可能なホルダ本体と、該ホルダ本体に載置された前記ウエハの外周に当接し前記ウエハを前記ホルダ本体上で位置決めするガイド部と、前記ホルダ本体の外周部に設けられ前記ウエハから作製された断面試料を保持する断面試料保持部とを備え、該断面試料保持部は、前記断面試料が固定される板状の試料台と、該試料台を着脱可能に挟持するとともに前記ホルダ本体に対して着脱可能に設けられた固定台とを備えるウエハホルダと、
前記ウエハを保持した前記ウエハホルダを内部に収容するとともに、該内部を真空状態に排気可能な試料室と、
該試料室の内部に収容された前記ウエハに荷電粒子ビームを照射してエッチングすることで、前記断面試料を作製可能な荷電粒子ビーム鏡筒と、
前記ウエハから作製された前記断面試料を取り出して、前記ウエハホルダの前記試料台まで搬送する採取・搬送手段と、
前記断面試料を前記試料台に接着固定する接着手段と、
開閉可能な試料室バルブによって前記試料室と接続され、また、開閉可能な外部バルブによって外部と接続されるとともに、内部を真空状態に排気可能なロードロック室とを備え、
該ロードロック室の内部には、前記ウエハホルダを、下方に空間を有した状態で配置させるホルダ台と、
該ホルダ台に載置された前記ウエハホルダの下方に配置され、上下に進退して、前記ウエハホルダに保持された前記ウエハを上方に持ち上げることが可能なエレベータと、
前記ホルダ台と前記試料室の内部との間で、前記ウエハホルダを搬送する内部搬送ロボットとが設けられ、
前記試料室の内部に設けられて前記ウエハホルダを支持する試料ステージを備え、
該試料ステージは、前記ウエハホルダの前記ホルダ本体と対応する枠状に形成され、該ホルダ本体を吸着保持する第一の静電チャックと、該第一の静電チャックに吸着保持された前記ホルダ本体に載置された前記ウエハを吸着保持可能に前記第一の静電チャックの内側で上方に突出して設けられた第二の静電チャックとを有することを特徴とする試料作製装置。 - 請求項1に記載の試料作製装置において、
前記断面試料保持部は、前記ホルダ本体の外周部に着脱可能に嵌合された試料カセットを備え、
前記固定台は、前記試料カセットに着脱可能に複数嵌合されていることを特徴とする試料作製装置。 - 請求項1または2に記載の試料作製装置において、
前記ロードロック室の外部バルブは、前記ロードロック室と前記外部との間で前記ウエハを搬送するためのウエハ用バルブと、
前記ロードロック室と前記外部との間で前記ウエハホルダを搬送するためのホルダ用バルブとによって構成されていることを特徴とする試料作製装置。 - 請求項1ないし3のいずれか1項に記載の試料作製装置において、
前記ロードロック室は、前記ホルダ台及び前記エレベータが収容されたホルダ室と、
前記内部搬送ロボットが収容されたロボット室とで構成され、
前記ホルダ室と前記ロボット室とは、開閉可能なゲートバルブで接続されているとともに、それぞれ独立して内部を真空状態に排気可能であることを特徴とする試料作製装置。
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