JP5121667B2 - 透過電子顕微鏡用試料作製方法 - Google Patents
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Description
本発明は、透過電子顕微鏡で観察可能な略平面状の仕上げ面と、微小ピンセットによって前記仕上げ面に触れることなく把持可能な把持部とを有する透過電子顕微鏡用試料片を、荷電粒子ビームによって試料本体から切り離し、前記微小ピンセットによって搬送して試料ホルダに固定する透過電子顕微鏡用試料作製方法であって、前記試料本体との連結部を残したまま、前記透過電子顕微鏡用試料片を前記試料本体から前記荷電粒子ビームで切り出す第1の工程と、該第1の工程で切り出した前記透過電子顕微鏡用試料片の前記仕上げ面を前記微小ピンセットで覆い隠しながら、前記透過電子顕微鏡用試料片の前記把持部を前記微小ピンセットで把持する第2の工程と、該第2の工程において前記微小ピンセットで把持した前記透過電子顕微鏡用試料片を、該透過電子顕微鏡用試料片の把持状態を維持しながら前記荷電粒子ビームで前記連結部を切断することによって前記試料本体から切り離す第3の工程と、該第3の工程で切り離した前記透過電子顕微鏡用試料片を、前記微小ピンセットで把持し前記試料ホルダまで搬送して固定する第4の工程とを備えることを特徴としている。
なお、微小ピンセットとは、荷電粒子ビーム装置に内設されている制御部によって制御され、前記荷電粒子ビーム装置内で透過電子顕微鏡用試料片を把持すること、覆い隠すこと、及び搬送することなどが可能な手段を指す。
50 ナノピンセット(微小ピンセット)
62 試料ホルダ
Wa 試料本体
Wb 試料片(透過電子顕微鏡用試料片)
Wb0 薄片部
Wb1、Wb11 仕上げ面
Wb2、Wb12 把持部
Wc4 連結部
Claims (5)
- 透過電子顕微鏡で観察可能な略平面状の仕上げ面と、微小ピンセットによって前記仕上げ面に触れることなく把持可能な把持部とを有する透過電子顕微鏡用試料片を、荷電粒子ビームによって試料本体から切り離し、前記微小ピンセットによって搬送して試料ホルダに固定する透過電子顕微鏡用試料作製方法であって、
前記試料本体との連結部を残したまま、前記透過電子顕微鏡用試料片を前記試料本体から前記荷電粒子ビームで切り出す第1の工程と、
該第1の工程で切り出した前記透過電子顕微鏡用試料片の前記仕上げ面を前記微小ピンセットで覆い隠しながら、前記透過電子顕微鏡用試料片の前記把持部を前記微小ピンセットで把持する第2の工程と、
該第2の工程において前記微小ピンセットで把持した前記透過電子顕微鏡用試料片を、該透過電子顕微鏡用試料片の把持状態を維持しながら前記荷電粒子ビームで前記連結部を切断することによって前記試料本体から切り離す第3の工程と、
該第3の工程で切り離した前記透過電子顕微鏡用試料片を、前記微小ピンセットで把持し前記試料ホルダまで搬送して固定する第4の工程と、
を備えることを特徴とする透過電子顕微鏡用試料作製方法。 - 請求項1に記載の透過電子顕微鏡用試料作製方法であって、
前記第1の工程では、前記透過電子顕微鏡用試料片の前記把持部の厚さを前記仕上げ面の厚さよりも厚く加工することを特徴とする透過電子顕微鏡用試料作製方法。 - 請求項1または請求項2に記載の透過電子顕微鏡用試料作製方法であって、
前記第1の工程では、前記透過電子顕微鏡用試料片の前記把持部を切り出した後に前記透過電子顕微鏡用試料片の前記仕上げ面を加工すること、
を特徴とする透過電子顕微鏡用試料作製方法。 - 透過電子顕微鏡で観察可能な略平面状の仕上げ面と、微小ピンセットによって前記仕上げ面に触れることなく把持可能な把持部とを有する透過電子顕微鏡用試料片を、荷電粒子ビームによって試料本体から切り離し、前記微小ピンセットによって搬送して試料ホルダに固定する試料作製方法であって、
前記荷電粒子ビームを用いて試料本体をエッチングすることにより、前記把持部と仕上げ面とを有する薄片部を、前記試料本体との連結部を残したまま形成する第1の工程と、
該第1の工程で形成した前記薄片部の前記仕上げ面を前記微小ピンセットで覆い隠しながら、前記透過電子顕微鏡用試料片の前記把持部を前記微小ピンセットで把持する第2の工程と、
該第2の工程において前記微小ピンセットで把持した前記薄片部を、該薄片部の把持状態を維持しながら、前記荷電粒子ビームで前記連結部を切断することによって前記試料本体から切り離し透過電子顕微鏡用試料片とする第3の工程と、
該第3の工程で切り離した透過電子顕微鏡用試料片を、前記微小ピンセットで把持し前記試料ホルダまで搬送して固定する第4の工程と、
を備えることを特徴とする透過電子顕微鏡用試料作製方法。 - 試料面上方から集束イオンビームを照射して薄片部を形成する第1の工程と、
試料台をチルトして、前記薄片部の両端及び底部を前記両端のうちいずれか一端に連結部を残して前記集束イオンビーム照射により切断する第2の工程と、
試料台を水平にもどし、該薄片部の一部を側面両側へのビームの照射により更に薄片化して仕上げ面を形成する第3の工程と、
把持部材によって前記仕上げ面を覆い隠すようにして前記薄片部の肉厚部を把持する第4の工程と、
第4の工程における前記肉厚部を把持した状態で、前記集束イオンビームの照射により前記連結部を切断し、前記薄片部を試料本体から切り離し薄片とする第5の工程と、
第5の工程で切り離した薄片を前記把持部材で前記肉厚部を把持した状態で試料ホルダまで搬送して固定する第6の工程と、
を備えることを特徴とする透過電子顕微鏡用試料作製方法。
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