JP2010212648A - 移載装置 - Google Patents

Abstract

【課題】移載装置全体を小型に構成しつつ、処理装置に対して容易に固定する。
【解決手段】移載装置（３０）は、被搬送物（３）を搬送する搬送車（１０）との間、及び処理装置（２０）における、被搬送物又は被搬送物に収容されている被処理物を出し入れ可能なポートとの間で夫々被搬送物を移載する。移載装置は、搬送車が被搬送物を移載する移載位置からポートに至る元移載進路を、途中で遮るように配置されており、搬送車との間で被搬送物を移載可能である第１棚と、被搬送物を一時的に載置可能である第２棚と、処理装置に対し接近及び離間する方向である第１方向に、第１棚及びポートに対し被搬送物を往復移動可能であると共に、第１棚及びポートから少なくとも被搬送物分だけ第１方向に離間した第１方向位置にて被搬送物を、第１方向に交差する第２方向に往復移動可能である移動手段（３２）とを備える。
【選択図】図１

Description

本発明は、例えば半導体製造装置等の処理装置と、軌道に沿って走行するビークル等の搬送車との間で、半導体製造用の各種基板が収容された容器等の被搬送物を移載する移載装置の技術分野に関する。

この種の移載装置として、処理装置の外枠或いは外函の外部に固定され、該処理装置との間、及び搬送車との間で夫々ＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ）と呼ばれる容器等の被搬送物を移載するものが製品化されている。具体的には、この移載装置は、最上部に、搬送車との間でＦＯＵＰを移載するためのポート等の棚を２基装備し、ポートより下方にＦＯＵＰを一時的に載置するためのバッファストレージ等の棚を６基装備している（例えば、特許文献１参照）。

また、上述の移載装置として、ウェハ支持ポッド等の被搬送物を夫々支持可能な複数の棚と、該複数の棚を含んでいるＸ−Ｚ平面内のあらゆる位置に移動可能なグリッパとを備えるシステムが提案されている。具体的には、このシステムにより、半導体プロセスツール及び計測ツール等の処理装置にウェハ支持ポッドが供給される（例えば、特許文献２参照）。

特許第４１８２５２１号公報 特表２００１−５０９４６５号公報

しかしながら、上記特許文献１及び２に記載の移載装置は、処理装置の外枠或いは外函に強固に固定される。即ち、当該移載装置を一度処理装置に固定してしまうと、その固定を解除する作業に多大な時間を要することになる。また、移載装置が処理装置に固定されている時には、移載装置が処理装置の前面（特に、被搬送物出し入れ用のポートが存在している壁面部分）を塞いだ状態となる。このため、移載装置が固定されたまま、処理装置の改修、故障及びメンテナンスに係る作業を行うことは、困難或いは不可能を極める。即ち、改修等に係る作業を行うためには、移載装置を処理装置から取り外すという、手間の係る作業が発生してしまう。更にその後、移載装置を処理装置に再び固定する際には、ある程度の位置決め精度が要求される両者間の固定作業も新たに発生してしまう。しかも、これらの移載装置は、工場内における処理装置周囲の省スペース化を図る際に、無視し得ない程度に外観形状が嵩張り且つ固定場所も限定されているので、該省スペース化を図る際の大きな障害になるという技術的問題点がある。

本発明は、例えば上述した問題点に鑑みなされたものであり、装置全体を小型に構成しつつ、処理装置に対して容易に固定し得る移載装置を提供することを課題とする。

本発明の移載装置は上記課題を解決するために、軌道に沿って走行すると共に被搬送物を搬送する搬送車との間、及び前記被搬送物に収容されている被処理物に対して処理を行う処理装置における、前記被搬送物又は前記被処理物を出し入れ可能なポートとの間で夫々前記被搬送物を移載する移載装置であって、前記搬送車が前記被搬送物を移載する移載位置から前記ポートに至る元移載進路を、途中で遮るように配置されており、前記搬送車との間で前記被搬送物を移載可能である第１棚と、前記被搬送物を少なくとも一時的に載置可能である第２棚と、前記処理装置に対して接近及び離間する方向である第１方向に、前記第１棚及び前記ポートに対して前記被搬送物を往復移動可能であると共に、前記第１棚及び前記ポートから少なくとも前記被搬送物分だけ前記第１方向に離間した第１方向位置にて前記被搬送物を、前記第１方向に交差する第２方向に往復移動可能である移動手段とを備える。

本発明における処理装置は、例えばプロセス装置、検査装置等の半導体製造装置であって、例えばＦＯＵＰ等の被搬送物、実際には、被搬送物の内部に収容されているウェハ等の被処理物に対して所定の処理（例えば、露光処理、成膜処理、熱処理等）を行う。該処理が行われる際に、典型的には、処理が行われる被搬送物が、例えば半導体製造工場等の施設における天井に敷設された軌道に沿って走行する例えばＯＨＴ（Ｏｖｅｒｈｅａｄ Ｈｏｉｓｔ Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ）等の搬送車により、処理装置へ搬送されると共に、搬送車から又は搬送車へ移載可能であるポートに移載される。この後、例えば、ポート上の被搬送物に収容されている被処理物が、処理装置における移動手段により、被搬送物内部から取り出され、処理装置内部に出し入れされる。尚、処理対象として、処理装置内部に出し入れされる被処理物の形態として、例えば処理装置がバッファを備える装置であれば、上述したように被処理物単体でなくとも、被搬送物自体（即ち、被処理物が収納されている被搬送物のまま）であってもよい。

ここで、例えば半導体製造において、製造設備を拡大させることなく、より多くの生産量を確保するために、処理装置の稼働率を向上させることが課題となっている。例えば、一の搬送車により、処理が完了した被搬送物がポートから持ち去られてから、二の搬送車により、処理がこれから行われようとする被搬送物がポートに持ち運ばれるまでの、被搬送物の待ち時間（即ち、処理装置の非稼動時間）が数分であるとする。これに対して、１つの被搬送物における処理に同じ数分を要する場合に、処理装置の稼働率は５０％となってしまう。このように、待ち時間に応じて低下してしまう稼働率を向上させるためには、処理装置にて処理が完了した被搬送物をポートから逸早く取り去り、次に処理が行われる被搬送物を逸早くポートに載置する（即ち、ポート上の被搬送物を逸早く差し替える）ことにより、処理装置の非稼動時間を短縮することが要求される。

本発明の移載装置によれば、当該移載装置は、処理装置により処理が行われる又は行われた被搬送物を、一時的に載置或いは保持する例えばバッファリング装置等の一時保持装置である。このような移載装置によれば、その動作時には先ず、当該移載装置、搬送車及び処理装置（以下、適宜「三要素」と称する）を統括的に制御する、例えば製造システムにおける制御手段により、例えば半導体製造スケジュールに基づいて、三要素に対して、一の被搬送物に対する搬送及び処理が要求される。すると、一の被搬送物を搬送する搬送車が第１棚に対応する位置で停止され、搬送車から第１棚に一の被搬送物が移載される。ここで「第１棚」とは、例えば、「ＯＨＴポート」と称される、搬送車から又は搬送車へ移載される被搬送物を載置可能な載置面を有する棚を意味する。第１棚に移載された一の被搬送物は、例えばＦＯＵＰのフランジを把持可能なロボットアーム、及び被搬送物をその下方から支持可能な移載機構等の移動手段により、第１棚からポートに移載される。この後、処理装置における例えば内外移動手段により、一の被搬送物内部に収容されている被処理物がポート上の一の被搬送物内部から処理装置内部に移動される。すると、処理装置内部にて被処理物に対して処理が行われる。続いて、三要素に対して、次に処理すべき二の被搬送物に対する搬送及び処理が要求される。すると、二の被搬送物を搬送する搬送車が第１棚に対応する位置で停止され、搬送車から第１棚に二の被搬送物が移載される（即ち、持ち運ばれる）。すると、第１棚上の二の被搬送物が、移動手段により、第１棚から第２棚に移載される。ここで「第２棚」とは、例えば「バッファ」或いは「バッファ棚」と称される、ポート上の被搬送物を、処理が完了した一の被搬送物から、この次に処理される第１棚上の二の被搬送物に差し替えるために、一又は二のいずれかの被搬送物を一時的に載置可能な載置面を有する棚を意味する。続いて、一の被処理物（実際には、一の被搬送物における被処理物）に対する処理が完了すると、内外移動手段により、被処理物が処理装置内部からポート上の一の被搬送物内部に移動される。すると、被搬送物を搬送していない空荷の搬送車のうち、当該移載装置或いは処理装置に最近の搬送車に対して、処理が完了した一の被搬送物の搬送（即ち、持ち去り）が要求される。この後に、移動手段により、ポート上の一の被搬送物がポートから第１棚に移載される（即ち、処理が完了した一の被搬送物がポートから離れる）ことに並行して、三要素に対して、二の被搬送物の次に処理すべき三の被搬送物に対する搬送及び処理（即ち、呼び込み）が要求される。続いて、第２棚上の二の被搬送物が第２棚からポートに移載され、ポート上の被搬送物の差し替えが逸早く行われる。この後、処理が完了した一の被搬送物の搬送を要求された搬送車により、第１棚上の一の被搬送物が第１棚から搬送車に移載される（即ち、持ち去られる）。一方、ポート上の二の被搬送物（実際には、二の被搬送物における被処理物）に対する処理が完了すると、空荷の最近の搬送車に対して、処理が完了した二の被搬送物の搬送（即ち、持ち去り）が要求される。このように、処理がこれから行われる被搬送物が順次第１棚に移載され、該第１棚上の被搬送物と、ポート上の処理が完了した被搬送物とを、第２棚を使用して効率的に差し替えることにより、処理装置の稼働率を向上させることが可能である。

上述したように、本発明の移載装置は、被搬送物を載置或いは移載可能である棚として、１つのポートにおける被搬送物の差し替えを行うための１つの第２棚と、搬送車との間で被搬送物を移載するための第１棚とを備えるだけであるから、当該移載装置を小型且つ軽量に構成することが可能である。また、移載装置が小型化された状況では、移載装置を１つのポート（或いは処理装置）に対して容易に固定することが可能であって、１つのポート、第１棚及び第２棚間を移動可能な移動装置を備えることからも、その接続をそもそも不用としてもよい。

また、本発明の移載装置によれば、その内部配置及び外部配置について、先ず、第１棚は、搬送車が被搬送物を移載する移載位置、典型的には鉛直方向に縦移載する移載位置から、ポートに至る元移載進路を、途中で遮るように配置されている。このため、搬送車側から見れば、移載装置が存在していない場合におけるポートに対する移載動作と、移載装置が存在している場合におけるポートに対する移載動作とを、殆ど同様の要領で実行可能となる。しかも、移動手段は、処理装置に対して、より具体的には処理装置におけるポートが設けられた外枠面若しくは外函面又は側面若しくは側壁に対して、接近及び離間する方向である第１方向（例えば、水平一方向）に、第１棚及びポートに対して被搬送物を往復移動可能である。更に、移動手段は、第１棚及びポートから少なくとも被搬送物分だけ第１方向に離間した第１方向位置（例えば、水平方向位置）にて被搬送物を、第２方向（例えば、鉛直方向）に往復移動可能である。よって、移載装置内における被搬送物を移動させるための通路或いは空間を、極めて省スペースの中に収めることができる。特にバッファとして機能する第２棚の存在が、第１棚及びポート間で被搬送物を直接往復移動させる際における通路或いは空間を邪魔しないようにとの条件を加味すれば、このように移載装置内における被搬送物を移動させるための通路或いは空間は、最小限に近いものにできる。即ち、ポートの幅以内に、移載装置内における被搬送物を移動させるための通路或いは空間の幅を小さくできる。このため、複数のポートを備える１つの処理装置に対して、ポートと同数の移載装置を軌道に沿って一列に並ぶように配置することも可能である。即ち、移載装置の外枠或いは外函等の外形幅をポートのピッチと同一又は同一以下にすることも可能な訳である。これにより、各ポートに対して移載装置を使用するか否かを適宜選択することも可能である。

本発明の移載装置の一態様では、前記第２棚は、前記第１方向位置のうち、前記移動手段が前記被搬送物を前記第１棚及び前記ポート間で前記第１方向及び前記第２方向に移動させる際の妨げとならない位置に、配置されている。

この態様によれば、第２棚は、第１方向位置（例えば、処理装置におけるポートが設けられた外壁からの水平方向の距離が固定された位置）のうち、被搬送物を第１棚及びポート間で第１方向（例えば水平方向）及び第２方向（例えば、鉛直方向）に移動させる際の妨げとならない位置に、配置されている。具体的には例えば、第１棚の下方に配置されるポートに近い、ポートの若干下方に位置する水平方向位置における、移動手段の鉛直方向の可動範囲の下限付近に、第２棚は配置される。或いは、第１棚の若干上方に位置する水平方向位置における、移動手段の鉛直方向の可動範囲の上限付近に、第２棚は配置される。よって、特にバッファとして機能する第２棚の存在が、第１棚及びポート間で被搬送物を直接移動させる際における通路或いは空間を邪魔しないようにしつつ、移載装置内における被搬送物を移動させるための通路或いは空間は、最小限に近いものにできる。よって、移載装置の外枠或いは外函等の外形形状を最小限に近いものにできる。

或いは本発明の移載装置の他の態様では、前記第２棚は、前記元移載進路における、前記第１棚及び前記ポート間に配置されている。

この態様によれば、第２棚は、元移載進路における、第１棚及びポート間に配置されており、これら第１棚及び第２棚並びにポートの三者は、いずれも元移載進路に相互間に距離を隔てた形で重ねて配置される。従って、第２方向位置において、これら三社間で被搬送物を移動させる際における通路或いは空間を邪魔しないようにしつつ、移載装置内における被搬送物を移動させるための通路或いは空間は、最小限に近いものにできる。よって、移載装置の外枠或いは外函等の外形形状を最小限に近いものにできる。

本発明の移載装置の他の態様では、前記処理装置は、前記ポートを複数有し、当該移載装置は、その外形寸法において前記ポートの配列ピッチ以下の幅を有すると共に、前記ポートが配列された方向に対して直交する方向に、前記第１方向が一致するように配置される。

この態様によれば、移載装置は、その外形寸法においてポートの配列ピッチ以下の幅を有すると共に、典型的には、軌道に沿った方向であるポートが配列された方向に対して直交する方向に、第１方向が一致するので、複数の移載装置をポートに一対一対応させて配備することも可能となる。ポートの幅方向に対して移載装置の幅が狭いので、このように移載装置をポートの配列に合わせて複数配列することも可能となる。

本発明の移載装置の他の態様では、前記第１棚は、当該移載装置の本体側に折り曲げ又は収容可能に構成されている。

この態様によれば、移載装置をメンテ等用に取り外す又は据え付ける場合等に、第１棚を当該移載装置の本体側に折り曲げ又は収容することにより、折り曲げられた又は収容された分だけ幅が狭くなった移載装置を引き出す或いは移動させるだけで済むので、実践上大変有利である。

尚、第２棚についても、元移載進路における第１棚及びポート間に配置されている場合には、当該移載装置の本体側に折り曲げ又は収容可能に構成されてもよい。

具体的には、第１棚及び／又は第２棚は、例えばスライド機構の一部に固定されており、軌道の下方又はその水平一方向位置にスライドされる。第１棚及び／又は第２棚は、例えば回動自在にヒンジに固定されており、軌道の下方に水平に配置される載置位置、又は収納部に垂直に配置される収納位置に変位される。

本発明の移載装置の他の態様では、前記搬送車は、前記被搬送物を鉛直方向に縦移載し、前記第１方向は、前記鉛直方向に対して垂直である水平一方向であり、前記第２方向は、前記鉛直方向である。

この態様によれば、搬送車は、処理装置に移載装置が配備されていない場合には、鉛直方向に延びる元移載進路に沿ってポートに対して縦移載でき、処理装置に移載装置が配備されている場合にも、同じ要領で元移載進路に沿って第１棚に対して縦移載できる。しかも、移動手段によって、第１棚に載置されている被搬送物を、水平一方向及び鉛直方向に移動させることで、第２棚又はポートまで移動させることができる。或いは、移動手段によって、ポートに載置されている被搬送物を、水平一方向及び鉛直方向に移動させることで、第２棚又は第１棚まで移動させることができる。

この態様では、搬送車は、例えば被搬送物を昇降可能なホイスト機構を備えており、搬送時（即ち、搬送における走行時を含む）に、被搬送物を搬送車内に保持し、移載時には、例えば処理装置等のポート或いはストッカ等の移載用棚との間で、被搬送物を鉛直方向に降ろす或いは引き上げる。ここで、搬送車における「縦移載」とは、鉛直方向の移動により被搬送物を移載することを意味する。軌道の鉛直方向には、典型的に、処理装置におけるポートが設置される。この場合に、この態様によれば、第１棚は、移載位置に停止されている搬送車とポートとの間に配置され、第２棚は、この第１棚の下方には、具体的に第１棚とポートとの間、又はポートより下方に配置される。

本発明の移載装置の他の態様では、当該移載装置は、前記ポートに組み付け可能である外形を有すると共に、前記ポートに対する位置決めを行う位置決め手段を更に備える。

この態様によれば、移載装置の本体は、例えば外枠、外函、筐体或いは枠組みである。この態様によれば、移載装置は、その動作時に、移動手段が到達可能である第１方向（例えば水平一方向）及び第２方向（例えば鉛直方向）のエリアにポートが存在するように、ポートに対して組み付けられる。この組み付けのために、例えば移載装置本体は、ポート及びポート上の被搬送物を避けた外形を有することとなる。また、移動手段がポートとの間で被搬送物を移載可能に、移載装置本体における、ポート上の被搬送物に隣接する部分が開放されている外形を有することとなる。

また、この実施形態によれば、例えば移載装置の一部を、ポートの下方又は移載装置の下方の床面に設置されている、例えば位置決めブロック或いはピン等の位置決め手段に当てることにより、移載装置を位置決めすることが可能である。尚、位置決め手段は、床面の他にポート或いは処理装置、レール、又は半導体製造工場等の施設における内壁等に設けてもよい。

この態様では、当該移載装置は、前記位置決めにより位置決めされた状態で当該移載装置の固定を行うと共に、前記固定を解除可能である固定手段を更に備えてもよい。

このように構成すれば、例えば位置決めされた移載装置の一部を、床面、レール又は天井に固定されている、例えば強度の高い材料からなる固定手段に固定することにより、移載装置を固定することが可能である。

本発明の移載装置の他の態様では、当該移載装置は、前記第１方向への移動を可能ならしめる走行手段を更に備える。

この態様によれば、移載装置は、移載装置本体の底面に、例えば走行ローラ、走行キャタピラ等の走行手段を複数備えることにより、移動することが可能であって、特にポートへの組み付けの際には、ポートに対して、例えば水平一方向である第１方向に移動される。即ち、このような移載装置は、ポートに対して着脱自在である。尚、走行手段は、移載装置本体に備えられなくとも、移載装置をその下方から支持可能である搬送台車であってもよい。

本発明の移載装置の他の態様では、前記移動手段は、前記被搬送物を把持する把持手段と、前記把持手段を前記第１方向に往復移動可能な第１移動部と、前記把持手段を第２方向に往復移動可能な第２移動部とを有する。

この態様によれば、移動手段は、その動作時に、例えば被搬送物の上部を把持可能なグリッパ、被搬送物を下方から支持可能な移載機構等の把持手段により、被搬送物を把持する。続いて、例えばアクチュエータ、モータ等の動力により駆動される、例えば水平移動部である第１移動部と、例えば鉛直移動部である第２移動部とにより、ポート、第１棚及び第２棚間（即ち、３要素）における第１方向（例えば水平一方向）及び第２方向（例えば鉛直方向）で、被搬送物を把持する移動手段が移動される。このように、二方向の移動部による簡単な２軸動作によって、３要素におけるいずれの載置面にも迅速に被搬送物を移動させることが可能である。

本発明の移載装置の他の態様では、前記搬送車から前記第１棚に移載された一の被搬送物を、前記ポートに移動させる場合に、先ず、前記一の被搬送物を前記第１棚から前記第２棚に移動させ、前記一の被搬送物を前記第２棚に一旦載置したまま、前記ポートに載置された他の被搬送物を前記ポートから前記第１棚に移動させ、その後に、前記一の被搬送物を前記第２棚から前記ポートに移動させるように前記移動手段を制御する制御手段を更に備える。

この態様によれば、一の被搬送物が搬送車から第１棚に移載されると、コントローラ等を含む制御手段による制御下で、移動手段により先ず、一の被搬送物は、第２棚に移動させられる。そして、この一の被搬送物が第２棚に一旦載置された状態のまま、既に処理装置によって処理が完了されているポートに載置された他の被搬送物は、移動手段により、第１棚に移動させられる。その後に、第２棚に一旦載置された一の被搬送物は、移動手段により、ポートに移動させられ、次なる処理手段による処理に供される。

このように既に処理が完了済みである他の被搬送物の第１棚への搬出を、一の被搬送物のポートへの搬入よりも優先させることが可能となる。これにより、例えば、処理完了済みの被搬送物を、いち早く搬送車で搬送することが全体の作業効率を高め得る状況に際して、適切に対応できる。

本発明の移載装置の他の態様では、前記搬送車から前記第１棚に移載された一の被搬送物を、前記ポートに移動させる場合に、前記第２棚に移載された他の被搬送物が既に載置されている状態にある前記第２棚に一旦載置することなく、前記一の被搬送物を前記ポートに移動させ、その後に、前記他の被搬送物を、前記第２棚から前記第１棚へ移動させるように前記移動手段を制御する制御手段を更に備える。

この態様によれば、一の被搬送物が搬送車から第１棚に移載されると、コントローラ等を含む制御手段による制御下で、移動手段により、一の被搬送物は、第２棚に移動させられることなく、直接ポートまで移動させられる。他方、この一の被搬送物が第１棚からポートへ移動させる際には既に、第２棚は、他の被搬送物が既に載置されている状態にある。ここでの他の被搬送物は、定常であれば、既に処理装置による所定の処理が施されている。その後、他の被搬送物は、第２棚から第１棚へ移動させられ、直近に空となった搬送車又は次に到来する搬送車により、第１棚から搬送されることになる。

このように既に処理が完了済みである他の被搬送物の第１棚への搬出を、一の被搬送物のポートへの搬入よりも劣後させることが可能となる。これにより、例えば、未処理の被搬送物を、いち早く処理装置へ移載することが全体の作業効率を高め得る状況に際して、適切に対応できる。

尚、上述した二つの態様における二種類の制御を、臨機応変にして選択的に実行することも可能である。例えば、ポートにおける被搬送物の処理待ち状況及び移載待ち状況、並びに第１棚における移載待ち状況及び搬送待ち状況などの、各種の状況に応じて、これらに二種類の制御のうちいずれかを適宜選択して実行するように構成してもよい。

本発明の第２の移載装置は上記課題を解決するために、軌道に沿って走行すると共に被搬送物を搬送する搬送車との間、及び前記被搬送物に収容されている被処理物に対して処理を行う処理装置における、前記被搬送物又は前記被処理物を出し入れ可能なポートとの間で夫々前記被搬送物を移載する移載装置であって、前記搬送車が前記被搬送物を移載する移載位置から前記ポートに至る元移載進路を、途中で遮るように配置されており、前記搬送車との間で前記被搬送物を移載可能である第１棚と、前記被搬送物を少なくとも一時的に載置可能である第２棚と、前記処理装置に沿った方向であり且つ前記ポートに対して接近及び離間する方向である第３方向に、前記第１棚及び前記ポートに対して前記被搬送物を往復移動可能であると共に、前記第１棚及び前記ポートから少なくとも前記被搬送物分だけ前記第３方向に離間した第３方向位置にて前記被搬送物を、前記第３方向に交差する第２方向に往復移動可能である移動手段とを備える。

本発明の第２の移載装置によれば、先ず、第１棚は、上述した本発明に係る移載装置（以下、適宜「第１の移載装置」と称する）における第１棚と同様にして、搬送車が被搬送物を移載する移載位置（典型的には、鉛直方向に縦移載する移載位置）からポートに至る元移載進路を、途中で遮るように配置されている又は配置されるように構成されている。一方で、移動手段は、第１の移載装置における移動手段と異なり、処理装置に沿った方向、より具体的には処理装置におけるポートが設けられた外枠面若しくは外函面又は側面若しくは側壁に沿った方向であり、且つポートに対して接近及び離間する方向である第３方向（例えば、水平一方向）に、第１棚及びポートに対して被搬送物を往復移動可能である。これに対応して、移動手段は、第１棚及びポートから第３方向に離間した第３方向位置（例えば、水平方向位置）にて被搬送物を、第２方向（例えば、鉛直方向）に往復移動可能である。よって、当該移載装置の内部配置について、第１の移載装置と同様にして、移載装置内における被搬送物を第３方向及び第２方向へ移動させるための通路或いは空間を、極めて省スペースの中に収めることができる。

従って、本発明の第２の移載装置によれば、搬送車と第１棚との間で被搬送物の移載が行われる際に、例えばポートにおける第１方向（即ち、前方）に障害がある場合に、ポートに対し第１棚を第３方向から接近させることで、第１棚を元移載進路に配置することが可能である。即ち、当該移載装置を、処理装置におけるポートの設置位置に応じて、ポートの側方若しくは真横又は処理装置の真横に配置することが可能である。よって、当該移載装置の外部配置について、当該移載装置は、被搬送物の移載に際し、処理装置におけるポートの前方のスペースを占拠することなく、該スペースにおける作業者及び機器等の通行を阻害しない。言い換えれば、当該移載装置の配置に応じて、該スペースを狭めることも可能となる。

他方、本発明の第２の移載装置によれば、ポートに対し第１棚を第１方向から接近させる上記第１の移載装置と比較して、作業者及び機器等の通行のための通路（即ち、上記スペースを含む）への当該移載装置の出っ張りを確実に小さくすることが可能である。

本発明の第２の移載装置の一態様では、当該移載装置は、前記軌道に沿った方向に前記第３方向が一致するように配置される。

この態様によれば、搬送車と第１棚との間で被搬送物の移載が行われる際に、例えば処理装置における第１方向（具体的には、処理装置におけるポートより前方）に障害がある場合に、第１棚を元移載進路に配置するべく、ポートに対し、第１棚を前として当該移載装置を第３方向から接近させることが可能である。即ち、当該移載装置を、処理装置におけるポートの設置位置に関わらず、確実にポートの真横に配置することが可能である。よって、当該移載装置の外部配置について、当該移載装置は、被搬送物の移載に際し、軌道に沿った方向と一致する第３方向で移動することで、処理装置におけるポートより前方のスペースを少しも占拠することなく、該スペースにおける作業者及び機器等の通行を一切阻害しない。言い換えれば、当該移載装置の配置に応じて、該スペースを狭めることも可能となる。

尚、本発明の第２の移載装置においても、上述した第１の移載装置における各種態様と同様の各種態様を採ることが可能である。

本発明の作用及び他の利得は次に説明する発明を実施するための最良の形態から明らかにされる。

実施形態の移載装置を備える製造システムの全体構成を示す斜視図である。 図１の移載装置の一方向における断面図である。 図１の移載装置の他方向における断面図である。 実施形態の第１移載動作処理を示すフローチャートである。 実施形態の第２移載動作処理を示すフローチャートである。 図１の移載装置と異なる本発明の移載装置を示す一方向における断面図である。 図１の搬送システムの全景を示す上面図である。 図１及び図６の移載装置と異なる本発明の移載装置を示す一方向における断面図である。 実施形態の位置決め手段を示す上面図及び側面図である。 図９の位置決め手段と異なる本発明の位置決め手段の一例を示す上面図及び側面図である。 図９及び図１０の位置決め手段と異なる本発明の位置決め手段の一例を示す上面図及び側面図である。 図９から図１１の位置決め手段と異なる本発明の位置決め手段の一例を示す上面図及び側面図である。 本発明の固定手段の一例を示す側面図である。 本発明の固定手段の一例を示す側面図である。 本発明の走行手段の一例を示す上面図及び側面図である。 本発明の固定手段の一例を示す一方向断面図である。 本発明の固定手段の一例を示す一方向断面図である。 本発明の固定手段の一例を示す上面図及び側面図である。 本発明の固定手段の一例を示す上面図及び側面図である。 第２の実施形態の移載装置を備える製造システムの全体構成を示す斜視図である。 図２０の移載装置の他方向における断面図である。 図２０の移載装置の上面図である。 図２０の移載装置と異なる本発明の第２の移載装置の一例を示す上面図である。 図２０及び図２３の移載装置と異なる本発明の第２の移載装置の一例を示す他方向における断面図である。

以下、本発明の実施形態について図を参照しつつ説明する。

＜実施形態＞
＜製造システムの構成＞
先ず、実施形態に係る移載装置を備える製造システムの構成について図１から図３を参照して説明する。ここに図１は、実施形態に係る移載装置を備える製造システムの外観を模式的に示す斜視図であり、図２は、図１の移載装置を一方向（即ち、図１における前後方向）で切断した場合の断面を概略的に示す一方向断面図であり、図３は、図１の移載装置を他方向（即ち、図１における左右方向）で切断した場合の断面を概略的に示す他方向断面図である。

図１において、製造システム１００は、レール１と、ビークル１０と、製造装置２０と、バッファ装置３０とを備える。製造システム１００は、レール１に沿ってビークル１０を走行させると共に、複数のウェハ（即ち、本発明に係る「被処理物」の一例）を収容可能なＦＯＵＰ（即ち、本発明に係る「被搬送物」の一例）３を製造装置２０へ搬送する搬送機能と、製造装置２０にてＦＯＵＰ３内のウェハに各種処理を施すことにより半導体素子を製造する製造機能とを有する。

レール１は、本発明に係る「軌道」の一例として、ビークル１０が走行するための軌道の役割を果たす。レール１は、製造システム１００が設置される施設の天井に敷設されている。

ビークル１０は、本発明に係る「搬送車」の一例として、リニアモータを動力として駆動されるＯＨＴ（Ｏｖｅｒｈｅａｄ Ｈｏｉｓｔ Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ）（天井走行車）であって、レール１に吊り下げられる形で取り付けられている。ビークル１０は、レール１に沿って走行すると共に、製造装置２０の他、不図示のストッカ、ＯＨＴバッファ及び大型ストッカ等にＦＯＵＰ３を搬送する。ビークル１０における走行及び搬送等の動作は、製造システム１００における不図示のコントローラにより制御される。尚、ここでは説明の便宜上、レール１上には、１台のビークル１０しか図示しないが、典型的に、より多く（例えば数十台或いは数百台）のビークル１０が備えられている。

ビークル１０は、内部に、不図示の巻き取り軸を有する巻き取り部１２と、巻き取りベルト１３と、グリッパ１４とから成るホイスト機構１１を備える。巻き取りベルト１３の一端は、巻き取り軸に固定されており、その他端は、グリッパ１４に固定されている。巻き取り部１２は、不図示のモータを動力として巻き取り軸を回転させ、巻き取りベルト１３を一端から巻き取り又は巻き出し可能に構成されている。グリッパ１４は、内側に屈曲された両端部にてＦＯＵＰ３の上部（即ち、フランジ）３ａを把持する把持状態、又はＦＯＵＰ３のフランジ３ａを解放する解放状態に変位可能に構成されている。このような構成を有するホイスト機構１１は、巻き取りベルト１３が巻き取られる又は巻き出されることにより、レール１の下方にてグリッパ１４を鉛直方向に昇降させると共に、鉛直位置にてグリッパ１４を変位させることにより、ＦＯＵＰ３をビークル１０側から後述するバッファ装置３０側へ移載する、又はバッファ装置３０側からビークル１０側へ移載可能である。このように本実施形態では、ビークル１０による移載進路が、ビークル１０の移載位置（即ち、図１に示される停止位置）から鉛直下方に延びており、ＦＯＵＰ３を縦移載するように構成されている。

製造装置２０は、本発明に係る「処理装置」の一例として、ＦＯＵＰ３、実際には、ＦＯＵＰ３に収容されているウェハに対して所定の処理を行う。製造装置２０は、内部に、ウェハに対して所定の処理を施す不図示の処理部を備えており、その処理部に処理すべきウェハを出し入れ可能である２つの開口Ｈ１，Ｈ２を設けている。製造装置２０は、２つの開口Ｈ１，Ｈ２に夫々隣接する外部に且つレール１の下方に、バッファ装置３０との間でＦＯＵＰ３を移載するためのポートとして機能する２つのロードポートＬＰ１，ＬＰ２を備える。製造装置２０は、２つのロードポートＬＰ１，ＬＰ２の各々に移載されたＦＯＵＰ３内部のウェハを、開口Ｈ１又はＨ２を介して処理部に出し入れする不図示の内外移載機構を備える。製造装置２０における所定の処理、ウェハの出し入れ等の動作は、製造システム１００のコントローラにより制御される。尚、ここでは説明の便宜上、レール１の下方には、１機の製造装置２０しか図示しないが、典型的に、ＦＯＵＰ３に対して相異なる処理を行う、より多く（例えば数台或いは数百台）の製造装置２０が備えられる。また、開口及びロードポートの個数についても夫々、２個に限られず、３個以上あってもよく、それらの配置についても各種の態様が有り得る。

バッファ装置３０は、本発明に係る「移載装置」の一例として、ビークル１０と製造装置２０との間でＦＯＵＰ３が効率的に受け渡されるように、ビークル１０との間及び製造装置２０との間で夫々ＦＯＵＰ３を移載する。尚、ここでは説明の便宜上、２つのロードポートＬＰ１，ＬＰ２を備える製造装置２０には、一方のロードポートＬＰ１に対応する、１機のバッファ装置３０しか図示しないが、他の実施形態として、両方のロードポートＬＰ１，ＬＰ２に夫々対応する、２機のバッファ装置３０が備えられてもよい。

バッファ装置３０は、本体部３１と、ＯＨＴポートＰ１と、バッファＰ２と、移載機構３２とを備える。図２において、本体部３１は、ロードポートＬＰ１にその前面側（即ち、図２における左側）から組み付け可能に逆Ｌ字形に構成されている筐体である。本体部３１は、その組み付け時に、長手方向がレール１の方位に直交する方向（即ち、本発明に係る「水平一方向」の一例であって、図２におけるＸ方向）に沿うように配置される。本体部３１は、Ｘ方向に少なくとも２つのＦＯＵＰ３を配置可能である長さ（即ち、図２における長さＬｘ）を有しており、レール１の方位に少なくとも１つのＦＯＵＰ３を配置可能である長さ（即ち、図３における長さＬｗ）を有する。尚、ここでは説明の便宜上、本体部３１がロードポートＬＰ１に組み付けられた状態にあるバッファ装置３０の構成について説明する。

本体部３１内部には、ＯＨＴポートＰ１と、バッファＰ２と、移載機構３２とが設置されている。本体部３１は、レール１の鉛直方向（即ち、図２及び図３における一点鎖線Ｇ１で示される）に対応する上面に、ＯＨＴポートＰ１とビークル１０との間でＦＯＵＰ３を受け渡し可能である開口Ｈ１１を設けている。また、ロードポートＬＰ１上に載置されるＦＯＵＰ３に隣接する側面に、ロードポートＬＰ１（即ち、製造装置２０）との間でＦＯＵＰ３を受け渡し可能である開口Ｈ１２を設けている。

ＯＨＴポートＰ１は、本発明に係る「第１棚」の一例として、製造装置２０において所定の処理が行われる或いは行われたＦＯＵＰ３を、開口Ｈ１１を介してビークル１０との間で移載するための、バッファ装置３０におけるポートとして機能する。ＯＨＴポートＰ１は、ビークル１０が縦移載（即ち、移載時にＦＯＵＰ３が鉛直方向のみ移動される移載）により短時間でＦＯＵＰ３を移載可能に、レール１の鉛直方向におけるロードポートＬＰ１より上方に設置されている。図１〜図３から明らかなように、ＯＨＴポートＰ１は、仮にバッファ装置３０を取り去った場合に、ビークル１０が製造装置２０のロードポートＬＰ１に対してＦＯＵＰ３を縦移載する際における、移載進路（即ち、本発明に係る「元移載進路）を遮る位置に存在している。よって、ビークル１０から見ると、バッファ装置３０の存否に拘わらず、平面視して同一位置にある、即ち、移載位置の鉛直下方にあるポートに対して移載動作を行えば足りる。即ち、ビークル１０から見てポートの高さが異なるだけの違いであれば、ビークル１０が移載動作を行うことに対する制御は、バッファ装置３０の存否に拘わらず、殆ど同一で済むので実践上大変有利である。

バッファＰ２は、本発明に係る「第２棚」の一例として、製造装置２０において所定の処理が行われる或いは行われたＦＯＵＰ３を少なくとも一時的に載置するための一時載置棚として機能する。バッファＰ２は、後述する移載機構３２によるＦＯＵＰ３の移載を妨げないように、レール１の鉛直方向におけるロードポートＬＰ１より下方で且つそのＸ方向に設置されている。

移載機構３２は、本発明に係る「移動手段」の一例として、ロードポートＬＰ１と、ＯＨＴポートＰ１と、バッファＰ２との間を移動すると共に、それらの間でＦＯＵＰ３を移載する。移載機構３２は、把持部３３と、水平移動機構３４と、昇降機構３５とを備えており、本体部３１における最も前面側（即ち、図２における左側）に設置されている。把持部３３は、本発明に係る「把持部」の一例であって、一対の平板状の部位を有しており、この部位がフランジ３ａの下方にＸ方向から入り込むと共にフランジ３ａの両端部を下方から支持することにより、ＦＯＵＰ３を把持する。図２に示すように、水平移動機構３４は、本発明に係る「水平移動部」の一例であって、長手方向がＸ方向と平行になるように設置されているレール部３４ａと、そのレール部に沿ってＸ方向にスライド可能なスライド部３４ｂとを備える。水平移動機構３４の先端部（即ち、スライド部３４ｂにおける製造装置２０側の端部）には、把持部３３が固定されている。昇降機構３５は、本発明に係る「鉛直移動部」の一例であって、不図示のモータを動力源として鉛直方向に回動可能である回動帯３５ａと、その回動帯に固定されており、回動帯の回動に伴って鉛直方向に移動する昇降部３５ｂとを備える。昇降部３５ｂには、レール部３４ａの一端部が固定されている。

移載機構３２は、上述した水平移動機構３４及び昇降機構３５による相互動作により、把持部３３を、ロードポートＬＰ１、ＯＨＴポートＰ１及びバッファＰ２間でＸ方向（即ち本発明に係る「第１方向」の一例）及び鉛直方向（即ち本発明に係る「第２方向」の一例）に移動させると共に、把持部３３にてＦＯＵＰ３を把持又は解放することにより、それらの間でＦＯＵＰ３を移載する。移載機構３２における移動、ＦＯＵＰ３の移載等の動作は、製造システム１００のコントローラにより制御される。

＜製造システムにおける第１移載動作処理＞
次に、製造システム１００における移載装置を介する搬送車及び処理装置間の移載動作について、図４を参照して説明する。図４は、本実施形態の第１移載動作処理を示すフローチャートである。

図４において、先ず、製造システム１００のコントローラにより、製造装置２０における処理を施すべきＦＯＵＰ３を把持するビークル１０に対して、製造装置２０へのＦＯＵＰ３の搬送が指示される。ここで、最初の搬送の対象となるＦＯＵＰを「ＦＯＵＰ０」とする。この後、コントローラからの指示に基づいて、ビークル１０（即ち、図４において「ＯＨＴ」と記載される）がレール１に沿って走行し、バッファ装置３０に対応する所定の移載位置（即ち、図１から図３で示される停止位置）で停止される。すると、ホイスト機構１１により、ＦＯＵＰ０を把持するグリッパ１４が、ビークル１０内部からバッファ装置３０における開口Ｈ１１を介して鉛直方向に下降され、ＦＯＵＰ０がＯＨＴポートＰ１上面に接触する鉛直位置にて、グリッパ１４からＦＯＵＰ０が解放される。即ち、ビークル１０からＯＨＴポートＰ１にＦＯＵＰ０が移載される（ステップＳ５１）。

続いて、バッファ装置３０において、水平移動機構３４及び昇降機構３５により、把持部３３がＯＨＴポートＰ１上のＦＯＵＰ０のフランジ３ａ下方に移動された後に、把持部３３がフランジ３ａ下面に接触するまで上昇される。こうして、把持部３３によりＦＯＵＰ０が把持される。すると、ＦＯＵＰ０を把持する把持部３３が、開口Ｈ１２を介してロードポートＬＰ１（即ち、図６において「Ｌポート」と記載される）上方に移動された後に、ＦＯＵＰ０がロードポートＬＰ１に接触するまで下降される。こうして、ＯＨＴポートＰ１からロードポートＬＰ１にＦＯＵＰ０が移載される（ステップＳ５２）。この後に、把持部３３は、ロードポートＬＰ１上のＦＯＵＰ０の側方へ水平移動され、把持部３３からＦＯＵＰ０が解放される。ロードポートＬＰ１に移載されたＦＯＵＰ０内部のウェハは、製造装置２０内部に一旦収容され、その内部において所定の処理が施された後に再びロードポートＬＰ１上のＦＯＵＰ０内部に載置される。

続いて、コントローラからの新たな指示に基づいて、ステップＳ５１の動作と同様にして、但し前回とは異なる新たに移載位置に到着したビークル１０から、ＯＨＴポートＰ１に第２の搬送の対象となるＦＯＵＰｎ（即ち、「ｎ」はＦＯＵＰが搬送される順番を示す変数）が移載される（ステップＳ５３）。すると、水平移動機構３４及び昇降機構３５により、ＯＨＴポートＰ１におけるＦＯＵＰｎを把持する把持部３３が、バッファＰ２上方に移動された後に、ＦＯＵＰｎがバッファＰ２に接触するまで下降される。こうして、ＯＨＴポートＰ１からバッファＰ２にＦＯＵＰｎが移載される（ステップＳ５４）。

続いて、コントローラにより、ロードポートＬＰ１上のＦＯＵＰ（ここでは、ＦＯＵＰ０）に対して、製造装置２０における所定の処理が完了しているか否かが判定される（ステップＳ５５）。この判定の結果、所定の処理が未完了であると判定される場合に（ステップＳ５５:ＮＯ）、所定の処理が完了するまで待機状態となる。

一方、ステップＳ５５の判定の結果、ロードポートＬＰ１上のＦＯＵＰ（ここでは、ＦＯＵＰ０）に対して、所定の処理が完了していると判定される場合に（ステップＳ５５：ＹＥＳ）、移載機構３２により、ロードポートＬＰ１からＯＨＴポートＰ１に、処理が完了したＦＯＵＰが移載される（ステップＳ５６）。この際、処理が完了したＦＯＵＰは、バッファＰ２に載置されているＦＯＵＰｎの斜め上方を擦り抜けるようにして、ＯＨＴポートＰ１まで移動される。続いて、空荷となった（即ち、もはやＦＯＵＰ３を把持していない）移載機構３２によって、バッファＰ２からロードポートＬＰ１にＦＯＵＰｎが移載される（ステップＳ５７）。

この後に、コントローラからの指示に基づいて、空荷（即ち、ＦＯＵＰ３を把持していない）のビークル１０が所定の移載位置で停止される。すると、ホイスト機構１１により、空荷のグリッパ１４が開口Ｈ１１を介して鉛直方向に下降され、グリッパ１４により、処理が完了したＦＯＵＰが把持される。即ち、ＯＨＴポートＰ１からビークル１０に、処理が完了したＦＯＵＰが移載される（ステップＳ５８）。この後に、ホイスト機構１１により、処理が完了したＦＯＵＰを保持するグリッパ１４が上昇され、ビークル１０内部に保持される。こうして、ビークル１０が走行可能な状態となる。

続いて、コントローラによる、処理を施すべきＦＯＵＰ３の搬送の指示が有るか否かが判定される（ステップＳ５９）。この判定の結果、その指示が有ると判定される場合に（ステップＳ５９：ＹＥＳ）、第３の搬送の対象となるＦＯＵＰを「ＦＯＵＰｎ＋１」とする（ステップＳ６０）。すると、ステップＳ５１の動作と同様にして、再びステップＳ５３の動作として、但し前回とは異なる新たに移載位置に到着したビークル１０からＯＨＴポートＰ１に第３の搬送の対象となるＦＯＵＰｎ＋１が移載される。この後に、ステップＳ５４からＳ５９の動作として、ＯＨＴポートＰ１からバッファＰ２にＦＯＵＰｎ＋１が移載される。続いて、ロードポートＬＰ１上のＦＯＵＰ（ここでは、ＦＯＵＰｎ）に対して、所定の処理が完了しているか否かが判定され、所定の処理が完了していると判定されたところで、ロードポートＬＰ１からＯＨＴポートＰ１に、処理が完了しているＦＯＵＰが移載される。続いて、バッファＰ２からロードポートＬＰ１にＦＯＵＰｎ＋１が移載された後に、ＯＨＴポートＰ１からビークル１０に処理が完了しているＦＯＵＰが移載されると、処理を施すべきＦＯＵＰ３の搬送の指示が更に有るか否かが判定される。

一方、ステップＳ５９の判定の結果、更なる指示が無いと判定される場合に（ステップＳ５９：ＮＯ）、ステップＳ５５，Ｓ５６及びＳ５８の動作として、ロードポートＬＰ１上のＦＯＵＰ（ここでは、ＦＯＵＰｎ＋ｘ（即ち、「ｎ＋ｘ」は最後の搬送の対象となるＦＯＵＰ３に示される））に対して、所定の処理が完了しているか否かが判定され、所定の処理が完了していれば、ロードポートＬＰ１からＯＨＴポートＰ１に、処理が完了した最後のＦＯＵＰが移載されると、ＯＨＴポートＰ１からビークル１０にその最後のＦＯＵＰが移載される。これにより、製造装置２０にて所定の処理が施された全てのＦＯＵＰ３が、バッファ装置３０を介してビークル１０に移載され、一連の第１移載動作処理が終了する。

このように、本実施形態の第１移載動作処理によれば、ロードポートＬＰ１におけるＦＯＵＰ３の差し替えを行うためのバッファＰ２を使用して、処理がこれから施されるＦＯＵＰ３と、処理が完了したＦＯＵＰ３とを効率的に差し替えることにより、製造装置２０の稼働率を向上させることが可能である。

尚、ステップＳ５８の動作は、ステップＳ５６の動作として、ＯＨＴポートＰ１に、処理が完了したＦＯＵＰ３が移載された後であれば、ステップＳ５７と相前後して行われてもよい。

＜製造システムにおける第２移載動作処理＞
次に、図４の第１移載動作処理と異なる他の移載動作について、図５を参照して説明する。図５は、本実施形態の第２移載動作処理を示すフローチャートである。

図５において、先ず、図４の場合と同様にして、製造システム１００のコントローラにより、製造装置２０における処理を施すべきＦＯＵＰ３を把持するビークル１０に対して、製造装置２０へのＦＯＵＰ３の搬送が指示される。ここで、最初の搬送の対象となるＦＯＵＰを「ＦＯＵＰ０」とする。この後、コントローラからの指示に基づいて、ビークル１０（即ち、図４の場合と同様にして図５においても「ＯＨＴ」と記載される）からＯＨＴポートＰ１にＦＯＵＰ０が移載される（ステップＳ６１）。続いて、バッファ装置３０において、移載機構３２により、ＯＨＴポートＰ１からロードポートＬＰ１（即ち、図４と同様にして図５においても「Ｌポート」と記載される）にＦＯＵＰ０が移載される（ステップＳ６２）。続いて、ロードポートＬＰ１上のＦＯＵＰ（ここでは、ＦＯＵＰ０）に対して、製造装置２０における所定の処理が完了しているか否かが判定される（ステップＳ６３）。この判定の結果、所定の処理が未完了であると判定される場合に（ステップＳ６３:ＮＯ）、所定の処理が完了するまで継続して行われる。

一方、ステップＳ６３の判定の結果、ロードポートＬＰ１上のＦＯＵＰ（ここでは、ＦＯＵＰ０）に対して、所定の処理が完了していると判定される場合に（ステップＳ６３：ＹＥＳ）、コントローラによる、次に処理が施されるべきＦＯＵＰ３の搬送の指示が有るか否かが判定される（ステップＳ６４）。この判定の結果、その指示が有ると判定される場合に（ステップＳ６４：ＹＥＳ）、移載機構３２により、ロードポートＬＰ１からバッファＰ２に、処理が完了したＦＯＵＰが移載される（ステップＳ６５）。続いて、コントローラからの新たな指示に基づいて、ビークル１０からＯＨＴポートＰ１に第２の搬送の対象となるＦＯＵＰｎが移載されると（ステップＳ６６）、ＯＨＴポートＰ１からロードポートＬＰ１に直接ＦＯＵＰｎが移載される（ステップＳ６７）。即ち、前述の第１移載動作処理の場合と異なり、処理前のＦＯＵＰｎがバッファＰ２に一旦載置されることはない。続いて、バッファＰ２からＯＨＴポートＰ１に、処理が完了しているＦＯＵＰ（ここでは、ＦＯＵＰ０）が移載される（ステップＳ６８）。この後に、ＯＨＴポートＰ１からビークル１０に、そのＦＯＵＰが移載される（ステップＳ６９）。ここで、第３の搬送の対象となり得るＦＯＵＰを「ＦＯＵＰｎ＋１」としておく（ステップＳ７０）。

続いて、再びステップＳ６３及びＳ６４の動作として、ロードポートＬＰ１上のＦＯＵＰに対して、製造装置２０における所定の処理が完了しているか否かが判定され、所定の処理が完了したと判定されたところで、次に処理が施されるべきＦＯＵＰ３の搬送の指示が有るか否かが判定される。

一方、ステップＳ６４の判定の結果、更なる指示が無いと判定される場合に（ステップＳ６４：ＮＯ）、ロードポートＬＰ１からＯＨＴポートＰ１に、処理が完了しているＦＯＵＰが移載された後に（ステップＳ７１）、ＯＨＴポートＰ１からビークル１０に、そのＦＯＵＰが移載される（ステップＳ７２）。これにより、図４の第１移載動作処理と同様にして、製造装置２０にて所定の処理が施された全てのＦＯＵＰ３が、バッファ装置３０を介してビークル１０に移載され、一連の第２移載処理が終了する。

このように、本実施形態の第２移載動作処理によれば、製造装置２０において所定の処理が完了すると、その直後にロードポートＬＰ１上のＦＯＵＰ３を取り去り、次に処理が施されるべきＦＯＵＰ３をロードポートＬＰ１に載置する（実際には、ＦＯＵＰ３内部のウェハを製造装置２０内部に呼び込む）。従って、製造装置２０の稼働率を一層向上させることが可能である。

尚、本実施形態によれば、レール１の鉛直方向におけるロードポートＬＰ１より上方にＯＨＴポートＰ１が設置され、該鉛直方向におけるロードポートＬＰ１より下方で且つそのＸ方向にバッファＰ２が設置されるが、バッファの配置はこれに限定されない。ここで、図６は、本実施形態の第２棚の配置と異なるその配置の一例を説明するための一方向断面図である。図６において、バッファ装置１３０において、バッファＰ１２は、レール１の鉛直方向Ｇ１における、ＯＨＴポートＰ１１とロードポートＬＰ１１との間に設置されている。このようなバッファＰ１２、ＯＨＴポートＰ１１及びロードポートＬＰ１１間を、移載機構１３２が移動すると共に、それらの間でＦＯＵＰ３を移載可能である。これにより、バッファＰ１２の配置においても、上述した実施形態のバッファ装置３０と同様の作用及び効果が得られる。

尚、本実施形態によれば、バッファ装置３０は、ロードポートＬＰ１に組み付けられた状態では、レール１の方位に直交するＸ方向（即ち、本発明に係る「第１方向」の一例である、バッファ装置３０の長手方向）に少なくとも２つのＦＯＵＰ３を配置可能である長さＬｘを有するが、バッファ装置３０の形態はこれに限定されない。ここで、図７は、本実施形態の移載装置を備える搬送システムの全景を模式的に示す上面図である。図７において、搬送システム３００は、複数の製造装置２０，２２０を備える。複数の製造装置２０，２２０は、いずれかの要素の故障或いはメンテナンス時等に、搬送システムを管理するシステム管理者等が通行するために、故障或いはメンテナンスを行う機器を搬入出するために、又は本発明の移載装置を設置するために使用される通路（即ち、図７における網掛け部）を設けており、この通路を挟むように、且つ各々のロードポートＬＰ１，ＬＰ２，ＬＰ２１〜ＬＰ２３を通路側に配置するように２列に設置されている。図７に示すように、通路の幅Ｌｔｈ（即ち、通路を隔てて向かい合う一対の製造装置における、各々のロードポートＬＰ間の最短距離）は、本実施形態のバッファ装置３０のＸ方向の長さＬａよりも短くなっている。このため、バッファ装置３０は、いずれのロードポートに対しても組み付け不可能である。

ここで、図８は、本実施形態の移載装置の外形と異なるその外形の一例を説明するための一方向断面図である。図８において、図７にも示されるバッファ装置２３０は、ロードポートＬＰ１に組み付けられる前後（即ち、組み付け時は除かれる）では、Ｘ方向において、１つのＦＯＵＰ３を配置可能である長さと、移載機構２３０が鉛直方向に移動するために要する空間の長さとを合算した長さＬｙを有することとなる。この長さＬｙは、通路の幅Ｌｔｈよりも短くなる。これは、ＯＨＴポートＰ２１をロードポートＬＰ１への組み付け前後で本体部２３１に格納可能な格納機構４０が備えられているためである。格納機構４０は、格納部４１とヒンジ部４２とを備える。収容部４１は、本体部２３１において、移載機構２３２の移載によりＦＯＵＰ３を相通可能である開口２１１近傍に設置されており、ＯＨＴポートＰ２１を垂直方向に収容する。ヒンジ４２は、ＯＨＴポートＰ２１の一端部を収容部４１に回動自在に接合しており、ＯＨＴポートＰ２１をレール１に対向する移載位置と、収容部４１に収納される収納位置との間で変位可能である。

図８に示すように、バッファ装置２３０をロードポートＬＰ１に組み付ける際には、ＯＨＴポートＰ２１が収納位置に収容された状態（即ち、図８におけるバッファ機構２３０Ａの状態）で、バッファ装置２３０が図７における通路を移動され、組み付け対象となるロードポートＬＰ１の前面側（即ち、図８における左側）に配置される。続いて、ＯＨＴポートＰ２１が移載位置に変位された状態（即ち、図８におけるバッファ機構２３０Ｂの状態）で、バッファ装置２３０がロードポートＬＰ１に組み付けられる。この組み付け時には、ＯＨＴポートＰ２１がレール１の鉛直方向に配置されている。このように、ＯＨＴポートＰ２１を収納可能な収納機構４０を設けることにより、バッファ装置をコンパクト且つ軽量に構成することが可能となる。従って、バッファ装置の移動が容易になることは勿論、バッファ装置の組み付けの自由度がより高められる。

＜移載装置の位置決め方法＞
次に、本発明の移載装置の位置決め方法について図９から図１５を参照して説明する。ここで、図９から図１５の各々は、図１から図３における製造装置２０に対してバッファ装置を位置決めするための位置決め手段の一例を示す上面図又は側面図である。

図９（ａ）は、本実施形態の製造装置２０に対して位置決めされた（言い換えれば、組み付けられた）、本実施形態のバッファ装置３０の上面図を、図９（ｂ）は、図９（ａ）のバッファ装置３０の側面図を示す。図９（ａ）において、バッファ装置３０は、ロードポートＬＰ１側の側面に、円柱状の当接部４を設けている。これに対して、バッファ装置３０と製造装置２０本体との間（即ち、図１から図３におけるロードポートＬＰ１の下方）の床面には、一面がテーパ状に形成されている位置決めブロック５（即ち、本発明に係る「位置決め手段」の一例）が設置されている。バッファ装置３０は、ロードポートＬＰ１への組み付けの際に、後述する移動状態とされ、当接部４が位置決めブロック５に当接するまでＸ方向に移動される。これにより、製造装置２０に対してバッファ装置３０が位置決めされる。

図９（ｂ）において、バッファ装置３０は、底面に、移動用の複数の走行ローラ３８と、複数の走行ローラ３８の各々に対となる複数の脚部３９とを設けている。各走行ローラ３８は、キャスタ３８ａと、このキャスタ３８ａを垂直方向に伸縮可能なジャッキボルト３８ｂとからなる。各脚部３９は、床面に接し、バッファ装置３０本体を支持する支持部３９ａと、この支持部３９ａを変位させることなくバッファ装置３０底面に固定するアジャスタ３９ｂとからなる。バッファ装置３０を移動させる際には、ジャッキボルト３８ｂが左回りに締められる。すると、バッファ装置３０本体から伸ばされたキャスタ３８ａが床面に接すると共に、支持部３９ａが床面から離れた状態（即ち、バッファ装置の移動状態）となる。この状態では、キャスタ３８ａを回転させて容易にバッファ装置３０を移動させることが可能である。また、当接部４を位置決めブロック５に当接することにより、製造装置２０に対して位置決めされたバッファ装置３０を固定する際には、ジャッキボルト３８ｂが右回りに締められる。すると、バッファ装置３０本体に向けて縮められたキャスタ３８ａが床面から離れると共に、支持部３９ａが床面に接した状態（即ち、バッファ装置の固定状態）となる。この状態では、バッファ装置３０が安定して配置される。

図１０（ａ）は、ロードポートＬＰ１に対して位置決めされたバッファ装置１３０の上面図を、図１０（ｂ）は、図１０（ａ）のバッファ装置１３０の側面図を示す。尚、図１０において、上述した図９のバッファ装置３０の場合と同一に構成される要素について、その説明を省略すると共に、同一の番号を付すこととする。

図１０（ａ）において、バッファ装置１３０は、ロードポートＬＰ１側の側面に、当接面がテーパ状に形成されている当接部１０４を設けている。これに対して、バッファ装置１３０と製造装置２０との間（即ち、図１から図３におけるロードポートＬＰ１の下方）の床面には、円柱状の位置決めピン１０５（即ち、本発明に係る「位置決め手段」の一例）が設置されている。バッファ装置１３０は、ロードポートＬＰ１への組み付けの際に、移動状態とされ、当接部１０４が位置決めピン１０５に当接するまでＸ方向に移動される。これにより、製造装置２０に対してバッファ装置１３０が位置決めされる。

図１１（ａ）は、ロードポートＬＰ１に対して位置決めされたバッファ装置２３０の上面図を、図１１（ｂ）は、図１１（ａ）のバッファ装置２３０の側面図を示す。尚、図１１において、上述した図９のバッファ装置３０の場合と同一に構成される要素について、その説明を省略すると共に、同一の番号を付すこととする。

図１１（ａ）において、バッファ装置２３０は、ロードポートＬＰ１側の側面に、当接面がテーパ状に形成されている当接部２０４を設けている。これに対して、バッファ装置２３０と製造装置２０との間（即ち、図１から図３におけるロードポートＬＰ１の下方）の床面には、円柱状の２つの位置決めピン２０５ａ，２０５ｂ（即ち、本発明に係る「位置決め手段」の一例）が設置されている。バッファ装置２３０は、ロードポートＬＰ１への組み付けの際に、移動状態とされ、２つの位置決めピン２０５ａ，２０５ｂが当接部２０４に嵌合するまでＸ方向に移動される。これにより、製造装置２０に対してバッファ装置２３０が、１つの位置決めピンの場合よりもより正確に位置決めされる。

図１２（ａ）は、ロードポートＬＰ１に対して位置決めされたバッファ装置３３０の上面図を、図１２（ｂ）は、図１２（ａ）のバッファ装置３３０の側面図を示す。尚、図１２において、上述した図１０のバッファ装置１３０の場合と同一に構成される要素について、その説明を省略すると共に、同一の番号を付すこととする。

図１２（ａ）において、バッファ装置３３０は、位置決めピン１０５（即ち、本発明に係る「位置決め手段」の一例）に当接させる当接部１０４の他に、バッファ装置３３０本体を位置決めピン１０５に確実にロック可能な掛かり部３６（即ち、本発明に係る「位置決め手段」且つ「固定手段」の一例）を設けている。掛かり部３６の一端部は、ロードポートＬＰ１側の側面に回動自在に取り付けられており、その他端部は、所定の回動位置で位置決ピン１０５に掛かるように屈曲されている。バッファ装置３３０は、ロードポートＬＰ１と反対側の側面に、ロックレバー３７を設けている。ロックレバー３７は、システム管理者により操作可能であって、上述した所定の回動位置にあってバッファ装置３３０本体を位置決めピン１０５に対してロックするロック位置（即ち、図１２における点線の掛かり部３６で示される）と、初期設定の回動位置にあってバッファ装置３３０本体を解放する非ロック位置（即ち、図１２における実線の掛かり部３６で示される）との間で掛かり部３６を変位可能である。ロードポートＬＰ１への組み付けの際には、先ず、バッファ装置３３０が移動状態とされ、且つロックレバー３７が非ロック位置に変位される。次に、当接部１０４が位置決めピン１０５に当接するまで、バッファ装置３３０がＸ方向に移動された後に、掛かり部３６がロック位置に変位される。この後、バッファ装置３３０が固定状態とされ、位置決めされた位置で固定される。これにより、製造装置２０に対してバッファ装置３３０が、当接部１０４のみにより位置決めされる場合よりも更に正確且つ確実に位置決めされる。

＜移載装置の固定方法＞
図１３は、ロードポートＬＰ１に対して位置決めされたバッファ装置４３０の側面図を示す。尚、図１３において、上述した図１２のバッファ装置３３０の場合と同一に構成される要素について、その説明を省略すると共に、同一の番号を付すこととする。

図１３において、製造装置２０に対して位置決めされたバッファ装置４３０が配置される床面には、凸状のコーン４０６（即ち、本発明に係る「固定手段」の一例）が設置されている。これに対して、バッファ装置４３０における複数の脚部４３９は、床面との接地面がそのコーン４０６に嵌合する凹状に形成されている支持部４３９ａを有する。バッファ装置４３０を移動させる際には、ジャッキボルト３８ｂが左回りに締められ、延伸されたキャスタ３８ａが床面に接すると共に、支持部４３９ａが床面（即ち、コーン４０６が設置された部分を含んだ床面）から離れる先述の移動状態となる。製造装置２０に対して位置決めされたバッファ装置４３０を固定する際には、ジャッキボルト３８ｂが右回りに締められ、収縮されたキャスタ３８ａが床面から離れると共に、支持部４３９ａがコーン４０６に嵌合する先述の固定状態となる。これにより、バッファ装置４３０は、単に平坦な床面の場合よりもより安定して配置される。

図１４は、図１３と同様にして、ロードポートＬＰ１に対して位置決めされたバッファ装置４３０の側面図を示す。尚、図１４において、上述した図１３のバッファ装置４３０の場合と同一に構成される要素について、その説明を省略すると共に、同一の番号を付すこととする。

図１４において、製造装置２０に対して位置決めされたバッファ装置４３０が配置される床面には、図１３のコーン４０６と同一のコーン４０７（即ち、本発明に係る「固定手段」の一例）が設置されている。しかしながら、そのコーン４０７が設置される床面の部分６は、製造装置２０及びバッファ装置４３０等が設置される本来の床面よりコーン４０７の高さ分低くなっている。これは、床面に突出するコーンにより、システム管理者が躓く或いは転倒する等の人的な危険を回避するためである。図１３の場合と同様にして、バッファ装置４３０を移動させる際には、ジャッキボルト３８ｂが左回りに締められ、延伸されたキャスタ３８ａが本来の床面に接すると共に、支持部４３９ａが床面（即ち、コーン４０７が設置された部分６を含んだ床面）から離れる先述の移動状態となる。製造装置２０に対して位置決めされたバッファ装置４３０を固定する際には、ジャッキボルト３８ｂが右回りに締められ、収縮されたキャスタ３８ａが本来の床面から離れると共に、支持部４３９ａがコーン４０７に嵌合する先述の固定状態となる。これにより、コーン４０７の設置による人的危険を回避しつつ、バッファ装置４３０は、図１３の場合と同様にして、単に平坦な床面の場合よりもより安定して配置される。

＜移載装置の走行方法＞
図１５（ａ）は、ロードポートＬＰ１に対して位置決めされたバッファ装置５３０の上面図を、図１５（ｂ）は、図１５（ａ）のバッファ装置５３０の側面図を示す。尚、図１５において、上述した図９のバッファ装置３０の場合と同一に構成される要素について、その説明を省略すると共に、同一の番号を付すこととする。

図１５において、バッファ装置５３０は、図９の走行ローラ３８等の走行手段を備えておらず、バッファ装置５３０単体で移動することは不可能である。そこで、バッファ装置５３０の移動には、ジャッキ付き台車５０（即ち、本発明に係る「走行手段」の一例）が使用される。ジャッキ付き台車５０は、油圧式の不図示のジャッキ部と、バッファ装置５３０本体の底面を支持可能な支持台５１と、その支持台５１底面に変位自在に取り付けられている、複数の車輪を有するローラ部５２と、ジャッキ付き台車５０を移動する際（即ち、バッファ装置５３０を移動する際を含む）にシステム管理者に把持される手すり５３とを備える。製造装置２０に対して位置決めされた上で、複数の脚部３９により支持されるバッファ装置５３０を移動させる際には、先ず、ジャッキ部の動力によりローラ部５２が傾斜した状態（即ち、図１５における点線のローラ部で示される）とされ、支持台５１がバッファ装置５３０本体の下方に進入可能である高さ（即ち、進入高さ）とされる。次に、手すり５３操作によりジャッキ付き台車５０がＸ方向に移動され、進入高さの支持台５１が複数の脚部３９を避けてバッファ装置５３０本体の中央下方に配置される。次に、ジャッキ部の動力により、傾斜された状態のローラ部５２が垂直の状態（即ち、図１５における実線のローラ部で示される）とされる。すると、複数の脚部３９が床面から離れると共に、支持台５１がバッファ装置５３０本体の底面に接する高さ（即ち、支持高さ）となり、バッファ装置５３０が移動状態とされる。この後に、手すり５３操作によりジャッキ付き台車５０が、当接部３３が位置決めブロック５に当接された位置からＸ方向に引き出され、製造装置２０に対する位置決め位置から解放されれば、自由に移動させることが可能である。ここでの移動は、人力によってでもよいし、外付又は内蔵の電気モータ等の動力機構を用いてもよい。尚、移動中のバッファ装置５３０を、製造装置２０に対して位置決めする際には、上述した工程を逆の順序で行えばよい。

＜移載装置における上部の固定方法＞
次に、本実施形態の移載装置の固定方法について図１６及び図１７を参照して説明する。ここで、図１６は、本実施形態の移載装置の固定手段の一例を説明するための一方向断面図であり、図１７は、図１６の固定手段と異なるその形態の一例を説明するための一方向断面図である。尚、図１６及び図１７において、上述した図８のバッファ装置２３０の場合と同一に構成される要素について、その説明を省略すると共に、同一の番号を付すこととする。

図１６において、バッファ装置３３０は、上面に、バッファ装置３３０本体の上部を固定するための固定部６３を設けている。固定部６３は、後述する接続ボルト６２を相通可能な開口を有する。これに対して、レール３０１には、その固定部６３に接続可能であるブラケット６０（即ち、本発明に係る「固定手段」の一例）が固定されている。ブラケット６０は、本体部６１と接続ボルト６２とからなる。本体部６１の一端部は、レール３０１の側面に固定されており、その他端部は、接続ボルト６２を捩じ込み可能な開口を有する。バッファ装置３３０が製造装置２０に対して位置決めされた場合に、この他端部と、バッファ装置３３０側の固定部６３とが当接する。この状態で、接続ボルト６２により、本体部６１に対して固定部６３が締め付けられることにより、バッファ装置３３０の上部が固定され、バッファ装置３３０がより安定して配置される。

図１７において、図１６にも示されるバッファ装置３３０の固定部６３に対して、天井に、ブラケット７０（即ち、本発明に係る「固定手段」の一例）が固定されている。ブラケット７０は、図１６のブラケット６０と同様にして、本体部７１と接続ボルト７２とからなる。バッファ装置３３０が製造装置２０に対して位置決めされた場合に、本体部７１の他端と、バッファ装置３３０側の固定部６３とが当接した状態で、接続ボルト７２により、本体部７１に対して固定部６３が締め付けられることにより、バッファ装置３３０の上部が固定され、バッファ装置３３０がより安定して配置される。

＜移載装置における下部の固定方法＞
図１８（ａ）は、ロードポートＬＰ１に対して位置決めされたバッファ装置６３０の上面図を、図１８（ｂ）は、図１８（ａ）のバッファ装置６３０の側面図を示す。尚、図１８において、上述した図９のバッファ装置３０の場合と同一に構成される要素について、その説明を省略すると共に、同一の番号を付すこととする。

図１８において、バッファ装置６３０の底面には、バッファ装置６３０本体の下部を固定するための固定ピン７（即ち、本発明に係る「固定手段」の一例）が固定されている。固定ピン７は、本体部７ａと水平位置決め部７ｂと固定ボルト７ｃとからなる。本体部７ａは、側面に凹部を有しており、垂直方向に伸縮可能である。水平位置決め部７ｂの一端部は、水平一方向から本体部７ａの凹部に嵌合可能であって、その他端部は、固定ボルト７ｃを相通可能な開口を有する。これに対して、製造装置２０に対して位置決めされたバッファ装置６３０における上述の固定ピン７に対応する床面には、固定部８が設置されている。固定部８は、上面に、固定ピン７と嵌合可能な凹部を有すると共に、固定ボルト７ｃを捩じ込み可能である開口を有する。製造装置２０に対して位置決めされたバッファ装置６３０を固定する際には、本体部７ａと固定部８の凹部とが当接されると共に、水平位置決め部７ｂの一端部が水平位置方向から本体部７ａの凹部に嵌め合わされる。この状態で、固定ボルト７ｃにより、固定部８に対して水平位置決め部７ｂが締め付けられることにより、バッファ装置６３０の下部が所定の水平面で固定され、脚部３９が単に床面に接する場合よりも、バッファ装置６３０がより安定して配置される。

図１９（ａ）は、ロードポートＬＰ１に対して位置決めされたバッファ装置７３０の上面図を、図１９（ｂ）は、図１９（ａ）のバッファ装置７３０の側面図を示す。尚、図１９において、上述した図９のバッファ装置３０の場合と同一に構成される要素について、その説明を省略すると共に、同一の番号を付すこととする。

図１９において、バッファ装置７３０の底面には、バッファ装置７３０本体の下部を固定するための固定ピン１０７（即ち、本発明に係る「固定手段」の一例）が固定されている。固定ピン１０７本体は、図１８の固定ピン７と一部同様にして、垂直方向に伸縮可能である。製造装置２０に対して位置決めされたバッファ装置７３０における固定ピン１０７に対応する床面の部分１０８は、固定ピン１０７と嵌合可能に、製造装置２０及びバッファ装置７３０等が設置される本来の床面より低くなっている。製造装置２０に対して位置決めされたバッファ装置７３０を固定する際には、固定ピン１０７が延伸され、床面の部分１０８に嵌め合わされる。これにより、バッファ装置７３０の下部が水平方向において固定され、脚部３９が単に床面に接する場合よりも、バッファ装置７３０がより安定して配置される。

尚、上述した図９から図１９に示される位置決め手段、固定手段及び走行手段は、本発明に係る移載装置に単体で備えられてもいいし、複数の手段が１つずつ又は複数組み合わされて備えられてもよい。

本発明は、上述した又は下述する実施形態に限られるものではなく、特許請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う移載装置もまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。例えば、２つのポートに対して２つの第２棚を備える（即ち、実施形態の移載装置を２体並べて配置する）移載装置は、本発明の技術的範囲に含まれるものである。

＜第２実施形態＞
次に、第２実施形態に係る移載装置を備える製造システムの構成について図２０から図２２を参照して説明する。ここに図２０は、第２実施形態として、図８の移載装置を備える製造システムの外観を模式的に示す斜視図であり、図２１は、図２０に示される移載装置を他方向（即ち、図２０における左右方向）で切断した場合の断面を概略的に示す他方向断面図であり、図２２は、図２０に示される移載装置について処理装置に対する配置を示す上面図である。尚、図２０及び図２２において、上述した図８の製造システム３００の場合と同一に構成される要素について、その説明を省略すると共に、同一の番号を付すこととし、図８の製造システム３００の場合と異なる仕様について、その説明を特に行うこととする。

図２０において、製造システム１１００は、図８における製造システム３００と比較して、バッファ装置２３０がロードポートＬＰ１の前面側に配置される代わりに、ロードポートＬＰ１の側面側（図２０における右側）に配置される点が異なる。即ち、製造システム３００と製造システム１１００では、バッファ装置２３０のロードポートＬＰ１への組み付け位置が異なる。

本実施形態では特に、図２２において、バッファ装置２３０は、例えば、ロードポートＰ２１のＸ方向（即ち、レール１の方位に直交する方向）の長さＷ２がロードポートＬＰ１のＸ方向の長さＷ１以下となるように構成されている。このため、例えばロードポートＰ２１の前面側（即ち、図２１から２２におけるＸ方向）に障害がある場合に、バッファ装置２３０は、製造装置２０に対し、レール１の方位（即ち、図２０及び図２１におけるＺ方向右側）から接近可能となる。更に、バッファ装置２３０は、ロードポートＬＰ１のＺ方向右側に離間した位置から、ＦＯＵＰ３の移載を実行可能となる。尚、バッファ装置２３０は、ロードポートＰ２１の長さＷ２がロードポートＬＰ１の長さＷ１以上となるように構成されても構わない。この場合、バッファ装置２３０について、その側部が例えば図７における通路へ食み出すものの、ロードポートＬＰ２１の前面側に配置される場合と比較して、該通路への食み出しを大いに小さくすることが可能である。

本実施形態では好ましくは、バッファ装置２３０について、本体部２３１の幅長さＬｗは、ロードポートＬＰ１におけるＸ方向の長さＷ１以下であり、例えば図７における通路へ食み出さずに、製造装置２０本体と該通路との間の、ロードポートＬＰ１の側方に空いたスペースに配置することが可能である。図２１において、バッファ装置２３０がロードポートＬＰ１に組み付けられる際には、ＯＨＴポートＰ２１が収容位置に収容された状態（即ち、図２１におけるバッファ機構２３０Ａの状態）でＺ方向に移動され、組み付け対象となるロードポートＬＰ１の側面側（即ち、図２１におけるロードポートＬＰ１の右側面側）に配置される。続いて、ＯＨＴポートＰ２１が移載位置に変位された状態（即ち、図２１におけるバッファ機構２３０Ｂの状態）となることで、バッファ装置２３０がロードポートＬＰ１に組み付けられる。この時、バッファ装置２３０における移載機構２３２は、把持部２３３をスライド可能なスライド部２３４の長手方向がＺ方向と一致するように配置されている。

バッファ機構２３０がバッファ機構２３０Ｂにある状態では、例えば、水平移動機構２３４により把持部２３３がロードポートＬＰ１へ向けてＺ方向に移動され、把持部２３３の一対の平板状の部位が、ロードポートＬＰ１上のＦＯＵＰ３のフランジ３ａ下方に入り込むと共に、フランジ３ａ両端部を下方から支持する（即ち、ＦＯＵＰ３を把持する）。即ち、本実施形態では、移載機構２３２は、水平移動機構２３４及び上述した昇降機構２３５による相互動作により、把持部２３３を、ロードポートＬＰ１、ＯＨＴポートＰ２１及びバッファＰ２２間でＺ方向（即ち、本発明に係る「第３方向」の一例）及び鉛直方向（即ち本発明に係る「第２方向」の一例）に移動することが可能となる。

本実施形態によれば、バッファ装置２３０は、レール１の方位と、水平移動機構２３４がＦＯＵＰ３を移動するＺ方向（即ち、第３方向）とが一致するので、バッファ装置２３０をロードポートＬＰ１の側方（本実施形態においては真横）に配備することも可能となる。このようにバッファ装置２３０をロードポートＬＰ１の側方に配置した場合、ロードポートＬＰ１の側方に空いたスペースを有効に利用することが可能である。一方で、バッファ装置２３０が、製造装置２０におけるロードポートＬＰ１より前面側に設けられた通路を少しも占拠することなく、その通路における通行を一切阻害しない。言い換えれば、バッファ装置２３０の配置に応じて、通路を狭めて設けることも可能となる。

他方、上述したように、本体部２３１の幅長さＬｗをロードポートＬＰ１におけるＸ方向の長さＷ１以下とすると便利であるが、図２３に示すように、この幅長さＬｗを、ロードポートＬＰ１におけるＸ方向の長さＷ１以上とすることも可能である。この場合、図２３において、バッファ装置３３０をＺ方向から製造装置２０に接近させると、バッファ装置３３０の本体部が、製造装置２０の外枠或いは製造装置２０本体の角とぶつかる。しかしながら、この場合、角がぶつかる又はぶつかる寸前の位置にて、ＯＨＴポートＰ２１がロードポートＬＰ１の上方に位置するように、これらポートＰ２１及びＬＰ１の配置及び寸法が構成されていれば、特に問題はない。例えば、ロードポートＬＰ１を、製造装置２０本体の前面における極力片隅（即ち、図２０及び図２１における製造装置２０の前面右隅）に寄せて設けると有利である。或いはこの場合、ＯＨＴポートＬＰ２１及び移動機構２３２が、水平方向に（即ち、図２０及び図２１における左側に向って）伸張可能に構成されていてもよい。更に、ＯＨＴポートＬＰ２１及び移動機構２３２を伸張可能とすることで、バッファ装置３３０は、製造装置２０前面におけるより遠方に位置するロードポートＬＰ２（即ち、図２０及び図２１における左側のロードポート）に対しても、ＦＯＵＰ３の移載を実行可能となる。

本実施形態に係るバッファ装置２３０を備える製造システム１１００は、ロードポートＬＰ１の側方に配置されたバッファ装置２３０を介する、ビークル１０及び製造装置２０間の移載動作について、製造システム１１００のコントローラにより、図４の第１移載動作処理又は図５の第２移載動作処理と同様の処理を実行可能であり、ロードポートＬＰ１に対しＦＯＵＰ３を迅速に移載し、製造装置２０の稼働率を向上させることが可能である。また、当該バッファ装置２３０は、図９から図１９の位置決め手段（或いは位置決め方法）、固定手段（固定方法）及び走行手段（或いは走行方法）を適用可能であり、それらの手段により安定して配置することも可能である。

尚、上述した実施形態に係るバッファ装置は、大型の製造装置に対応してその高さが製造装置の高さと同等或いはより大きくなるように構成されていてもよい。この場合、図２４に示すように、バッファ装置４３０は、図２０におけるＯＨＴポートＰ２１に対応するＯＨＴポートＰ４１の上方に、例えば第２のＯＨＴポートＰ４０を配置可能に構成されている。第２のＯＨＴポートＰ４０は、ＯＨＴポートＰ４１と同様にして、水平状態となりビークル１０との間でＦＯＵＰ３を移載可能である移載位置と、垂直状態となり本体部４３１に収納される収納位置との間で変位する。例えばバッファ装置４３０がロードポートＬＰ１の側面側（即ち、図２４における右側）に配置された場合に、移載機構４３２は、製造システム１２００のコントローラにより制御され、把持部４３３を、ロードポートＬＰ１、上述した第２のＯＨＴポートＰ４０、ＯＨＴポートＰ４１及びバッファＰ４２間でＺ方向（即ち本発明に係る「第３方向」の一例）及び鉛直方向（即ち本発明に係る「第２方向」の一例）に移動させると共に、把持部４３３にてＦＯＵＰ３を把持又は解放することにより、それらの間でＦＯＵＰ３を移載することが可能である。

尚、バッファ装置４３０は、図２４に示すように、ロードポートＬＰ１の側面側のみならず、図２のバッファ装置３０と同様にして、ロードポートＬＰ１の前面側に配置することも可能である。例えば、バッファ装置４３０の本体部４３１は、極力側面を省いたフレームから構成されている。この場合、バッファ装置４３０をロードポートＬＰ１の前面側に配置しようとする際に、本体部４３１内にロードポートＬＰ１の一部（即ち、ロードポートＬＰ１の前部）が位置するように、バッファ装置４３０がロードポートＰ１に組み付け可能となる。これにより、バッファ装置４３０を製造装置４２０本体に対しＸ方向により接近して配置することが可能となり、バッファ装置４３０の、例えば図７における通路へ食み出しを小さくすることができる。

１…軌道、３…ＦＯＵＰ、１０…ビークル、２０…製造装置、３０…バッファ装置、３２…移載機構

Claims (14)

1. 軌道に沿って走行すると共に被搬送物を搬送する搬送車との間、及び前記被搬送物に収容されている被処理物に対して処理を行う処理装置における、前記被搬送物又は前記被処理物を出し入れ可能なポートとの間で夫々前記被搬送物を移載する移載装置であって、
   前記搬送車が前記被搬送物を移載する移載位置から前記ポートに至る元移載進路を、途中で遮るように配置されており、前記搬送車との間で前記被搬送物を移載可能である第１棚と、
   前記被搬送物を少なくとも一時的に載置可能である第２棚と、
   前記処理装置に対して接近及び離間する方向である第１方向に、前記第１棚及び前記ポートに対して前記被搬送物を往復移動可能であると共に、前記第１棚及び前記ポートから少なくとも前記被搬送物分だけ前記第１方向に離間した第１方向位置にて前記被搬送物を、前記第１方向に交差する第２方向に往復移動可能である移動手段と
   を備えることを特徴とする移載装置。
2. 前記第２棚は、前記第１方向位置のうち、前記移動手段が前記被搬送物を前記第１棚及び前記ポート間で前記第１方向及び前記第２方向に移動させる際の妨げとならない位置に、配置されていることを特徴とする請求項１に記載の移載装置。
3. 前記第２棚は、前記元移載進路における、前記第１棚及び前記ポート間に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の移載装置。
4. 前記処理装置は、前記ポートを複数有し、
   当該移載装置は、その外形寸法において前記ポートの配列ピッチ以下の幅を有すると共に、前記ポートが配列された方向に対して直交する方向に、前記第１方向が一致するように配置される
   ことを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の移載装置。
5. 前記第１棚は、当該移載装置の本体側に折り曲げ又は収容可能に構成されていることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の移載装置。
6. 前記搬送車は、前記被搬送物を鉛直方向に縦移載し、
   前記第１方向は、前記鉛直方向に対して垂直である水平一方向であり、
   前記第２方向は、前記鉛直方向である
   ことを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の移載装置。
7. 当該移載装置は、
   前記ポートに組み付け可能である外形を有すると共に、
   前記ポートに対する位置決めを行う位置決め手段を更に備える
   ことを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の移載装置。
8. 当該移載装置は、前記位置決めにより位置決めされた状態で当該移載装置の固定を行うと共に、前記固定を解除可能である固定手段を更に備える
   ことを特徴とする請求項７に記載の移載装置。
9. 当該移載装置は、前記第１方向への移動を可能ならしめる走行手段を更に備える
   ことを特徴とする請求項１から８のいずれか一項に記載の移載装置。
10. 前記移動手段は、
    前記被搬送物を把持する把持手段と、
    前記把持手段を前記第１方向に往復移動可能な第１移動部と、
    前記把持手段を前記第２方向に往復移動可能な第２移動部と
    を有することを特徴とする請求項１から９のいずれか一項に記載の移載装置。
11. 前記搬送車から前記第１棚に移載された一の被搬送物を、前記ポートに移動させる場合に、先ず、前記一の被搬送物を前記第１棚から前記第２棚に移動させ、前記一の被搬送物を前記第２棚に一旦載置したまま、前記ポートに載置された他の被搬送物を前記ポートから前記第１棚に移動させ、その後に、前記一の被搬送物を前記第２棚から前記ポートに移動させるように前記移動手段を制御する制御手段を更に備える
    ことを特徴とする請求項１から１０のいずれか一項に記載の移載装置。
12. 前記搬送車から前記第１棚に移載された一の被搬送物を、前記ポートに移動させる場合に、前記第２棚に移載された他の被搬送物が既に載置されている状態にある前記第２棚に一旦載置することなく、前記一の被搬送物を前記ポートに移動させ、その後に、前記他の被搬送物を、前記第２棚から前記第１棚へ移動させるように前記移動手段を制御する制御手段を更に備える
    ことを特徴とする請求項１から１０のいずれか一項に記載の移載装置。
13. 軌道に沿って走行すると共に被搬送物を搬送する搬送車との間、及び前記被搬送物に収容されている被処理物に対して処理を行う処理装置における、前記被搬送物又は前記被処理物を出し入れ可能なポートとの間で夫々前記被搬送物を移載する移載装置であって、
    前記搬送車が前記被搬送物を移載する移載位置から前記ポートに至る元移載進路を、途中で遮るように配置されており、前記搬送車との間で前記被搬送物を移載可能である第１棚と、
    前記被搬送物を少なくとも一時的に載置可能である第２棚と、
    前記処理装置に沿った方向であり且つ前記ポートに対して接近及び離間する方向である第３方向に、前記第１棚及び前記ポートに対して前記被搬送物を往復移動可能であると共に、前記第１棚及び前記ポートから少なくとも前記被搬送物分だけ前記第３方向に離間した第３方向位置にて前記被搬送物を、前記第３方向に交差する第２方向に往復移動可能である移動手段と
    を備えることを特徴とする移載装置。
14. 当該移載装置は、前記軌道の沿った方向に前記第３方向が一致するように配置される
    ことを特徴とする請求項１３に記載の移載装置。