JP2009154983A - 保管庫及び入出庫方法 - Google Patents

Abstract

【課題】例えばビークル等の搬送車との間で、半導体素子製造用の各種基板を収容する荷の入出庫が連続して行われる保管庫において、簡単な構成により効率良く荷を入出庫する。
【解決手段】保管庫（１０）は、一の荷（３）及び他の荷を載置可能であり、入庫ポートとして機能する一の棚部分を上側に含む上下方向に配列された複数の棚部分（１５）と、一の荷及び他の荷を夫々支持可能な載置部（１１）を、複数の棚部分の相互間で移動可能であると共に、入庫ポートの上方であって搬送車（２）の下方の空間に設定されており且つ棚部分が存在しない仮想出庫ポート及び複数の棚部分間で移動可能である駆動手段（１９）と、入庫時に、仮想出庫ポートから載置部を退避させるように駆動手段を制御し、出庫時に、仮想出庫ポートに、他の荷を載置している載置部を移動させるように駆動手段を制御する制御手段（２０）とを備える。
【選択図】図２

Description

本発明は、例えばビークル等の搬送車との間で、半導体素子製造用の各種基板を収容するＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ）等の荷の入出庫が連続して行われる保管庫、及び該保管庫の入出庫方法の技術分野に関する。

この種の保管庫として、例えば搬入／搬出ポート等の入出庫用のポートの上方であって、搬送車の軌道の下方に、２つの荷を一時保管可能な少なくとも１枚のスライド板と、該少なくとも１枚のスライド板を進退可能なスライド機構とを備えるものがある。このような保管庫において、スライド板の進退機能と、搬送車における荷の昇降機能とを利用して、搬送車との間で荷の授受が行われる。該授受の動作について、具体的には、先ず、搬送車が把持している入庫すべき荷がスライド板に載置され、続いて、ポートに載置されている出庫すべき荷がスライド板に載置される。この後、スライド板上の入庫すべき荷がポートに移載（即ち、入庫）され、続いて、スライド板上の出庫すべき荷が搬送車へ移載（即ち、出庫）される。このように、保管庫におけるポートと、１台の搬送車との間で、入出庫が連続して行われる（特許文献１及び２参照）。

特開２００７−０９６１４０号公報 特開２００７−０９６１４５号公報

しかしながら、上述した特許文献１及び２記載の保管庫によれば、入庫すべき荷及び出庫すべき荷を一時的にスライド板に取り置きするので、直接に搬送車から又は搬送車へ移載する場合よりも入出庫動作に時間がかかってしまう。仮に、このような取り置きにかかる動作時間を短縮するために、スライド板を高速で進退させたり、昇降機能を高速で駆動させることが可能であるが、入庫すべき荷及び出庫すべき荷にかかる振動が増大してしまうという技術的問題点がある。また、連続する入出庫のために利用されるスライド板及びスライド機構の設置は、搬送システム全体の高コスト化を招く。

本発明は、例えば上述した問題点に鑑みなされたものであり、簡単な構成により効率良く荷を出入庫することを可能ならしめる保管庫、及びこのような保管庫の入出庫方法を提供することを課題とする。

本発明の第１保管庫は上記課題を解決するために、一の荷の入庫及び他の荷の出庫が、前記一の荷及び前記他の荷を夫々昇降可能な搬送車との間で、連続して行われる保管庫であって、前記一の荷及び前記他の荷を収容若しくは載置可能であり、前記搬送車から前記一の荷が移載される入庫ポートとして機能する一の棚部分を上側に含む上下方向に配列された複数の棚部分と、前記一の荷及び前記他の荷を夫々その底側から支持可能な第１載置面を有する載置部と、該載置部を、前記複数の棚部分の相互間で移動可能であると共に、前記入庫ポートの上方であって前記搬送車の下方の空間に設定されており且つ前記棚部分が存在しない仮想出庫ポート及び前記複数の棚部分間で移動可能である駆動手段と、前記一の荷を入庫すべき場合に、前記仮想出庫ポートから前記載置部を退避させる又は退避させたままとしておくように前記駆動手段を制御し、前記他の荷を出庫すべき場合に、前記仮想出庫ポートに、前記他の荷を載置した状態にある前記載置部を移動させるように前記駆動手段を制御する制御手段とを備え、前記複数の棚部分及び前記駆動手段は、前記載置部が退避されると、前記一の荷が前記仮想出庫ポートを介して前記入庫ポートまで下降可能なように構成されている。

本発明の第１保管庫によれば、入庫時には、入庫すべき荷（即ち、一の荷）は、例えば軌道に沿って走行する搬送車により入庫ポートまで搬送される。そこで、一の荷は、停止した搬送車から、当該保管庫における入庫ポートへ移載される。すると、一の荷は、入庫ポートから、例えば鉛直駆動部及び水平駆動部を備える駆動手段によって所望の棚部分へと移動される。即ち、保管庫内搬送される。出庫時には、出庫すべき荷（即ち、他の荷）が、複数或いは多数の棚部分のうち所望の棚部分から、駆動手段によって当該保管庫における後述の仮想出庫ポートまで保管庫内搬送される。そこで、他の荷は、仮想出庫ポートから、入庫を終えて待機している搬送車へ移載される。

本発明の保管庫では、一の荷の入庫及び他の荷の出庫が搬送車との間で連続して行われる。該搬送車は、例えばホイスト機構等の昇降手段を備える。該昇降手段は、例えばグリッパ等の把持手段を有し、該把持手段により把持された一の荷及び他の荷を昇降可能である。

本発明の第１保管庫は、複数の棚部分と、載置部と、駆動手段と、制御手段とを備える。複数の棚部分は、一の荷及び他の荷を収容若しくは載置可能であり、当該保管庫内に上下方向に配列される。該複数の棚部分のうち一の棚部分は、該上下方向における上側に位置し、搬送車から一の荷が移載される入庫ポートとして機能する。載置部は、第１載置面を有し、該第１載置面で一の荷及び他の荷を夫々その底側から支持する。駆動手段は、該載置部を複数の棚部分の相互間、並びに仮想出庫ポート及び複数の棚部分間で移動させる。この移動により、上述された入庫時及び出庫時の保管庫内搬送が可能である。ここで「仮想出庫ポート」は、いずれの棚部分も存在しない仮想の出庫ポートであり、入庫ポートの上方であって搬送車の下方の空間に設定される。

制御部は、一の荷を入庫すべき場合に、仮想出庫ポートから載置部を退避させる又は退避させたままとしておくように駆動手段を制御する。この制御により、搬送車が一の荷を仮想出庫ポートを介して入庫ポートまで下降可能であり、一の荷を当該保管庫へ入庫可能とする。ここで「下降可能」である条件として、例えば、入庫ポートである一の棚部分と搬送車との間に、仮想出庫ポートのみが設定されることとする。また、制御部は、他の荷を出庫すべき場合に、仮想出庫ポートに、他の荷を載置した状態にある載置部を移動させるように駆動手段を制御する。この制御により、搬送車が他の荷を把持可能であり、他の荷を当該保管庫から出庫可能とする。

従って、本発明の第１保管庫では、例えば、入庫時には、先ず、軌道に沿って走行する搬送車が入庫ポート及び仮想出庫ポートに対応する位置で停止され、搬送車から一の荷が下降されるよりも前に、載置部が仮想出庫ポートから退避される又は退避されたままとされる。続いて、搬送車により一の荷が仮想出庫ポートを介して入庫ポートまで下降され、一の荷が入庫ポートに移載される。この移載により、入庫動作が終了され、引き続き出庫動作が開始される。

例えば、出庫時には、先ず、当該保管庫内に保管されている他の荷が、載置部に載置され、該載置部が仮想出庫ポートに移動される。続いて、仮想出庫ポートにある載置部上の他の荷が搬送車により上昇され、搬送車へ移載される。この移載により、出庫動作が終了されると、連続する入出庫動作が終了される。

以上のように、一の棚部分に設定される入庫ポートと、該入庫ポートの上方であって搬送車の下方の空間に設定される仮想出庫ポートとを備え、入庫の際に、載置部を仮想出庫ポートから退避させる又は退避させたままとしておくことで、搬送車から入庫すべき荷を入庫ポートに入庫可能とし、出庫の際に、出庫すべき荷を載置した状態にある載置部を仮想出庫ポートに移動することで、仮想出庫ポートから出庫すべき荷を搬送車へ出庫可能とする。このように、搬送車との間で連続して行われる入出庫動作において、複数の棚部分及び駆動手段の構成により、入庫すべき荷及び出庫すべき荷を一時的に取り置きすることなく、直接に搬送車から又は搬送車へ移載する。故に、比較的簡単な構成により、効率良く出入庫することができる。

本発明の第２保管庫は上記課題を解決するために、一の荷の入庫及び他の荷の出庫が、前記一の荷及び前記他の荷を夫々昇降可能な搬送車との間で、連続して行われる保管庫であって、前記一の荷及び前記他の荷を収容若しくは載置可能であり、前記他の荷が前記搬送車へ移載される出庫ポートとして機能する一の棚部分を上側に含む上下方向に配列された複数の棚部分と、前記一の荷及び前記他の荷を夫々その底側から支持可能な第１載置面を有する載置部と、該載置部を、前記複数の棚部分の相互間で移動可能であると共に、前記出庫ポートの上方であって前記搬送車の下方の空間に設定されており且つ前記棚部分が存在しない仮想入庫ポート及び前記複数の棚部分間で移動可能である駆動手段と、前記一の荷を入庫すべき場合に、前記仮想入庫ポートに、空荷の前記載置部を配置する又は配置したままとしておくように前記駆動手段を制御し、前記他の荷を出庫すべき場合に、前記仮想入庫ポートから前記載置部を退避させる又は退避させたままとしておくように前記駆動手段を制御すると共に、前記出庫ポートに、前記他の荷を載置した状態にある前記載置部を移動させ、該移動させた載置部から前記他の荷を前記出庫ポートに移載させるように前記駆動手段を制御する制御手段とを備え、前記複数の棚部分及び前記駆動手段は、前記載置部が退避されると、前記他の荷が前記出庫ポートから前記仮想入庫ポートを介して上昇可能なように構成されている。

本発明の第２保管庫によれば、入庫時には、入庫すべき荷（即ち、一の荷）は、例えば軌道に沿って走行する搬送車により入庫ポートまで搬送される。そこで、一の荷は、停止した搬送車から、当該保管庫における後述の仮想入庫ポートへ移載される。すると、一の荷は、仮想入庫ポートから、例えば鉛直駆動部及び水平駆動部を備える駆動手段によって所望の棚部分へと移動される。即ち、保管庫内搬送される。出庫時には、出庫すべき荷（即ち、他の荷）が、複数或いは多数の棚部分のうち所望の棚部分から、駆動手段によって当該保管庫における出庫ポートまで保管庫内搬送される。そこで、他の荷は、出庫ポートから、入庫を終えて待機している搬送車へ移載される。

本発明の第２保管庫は、複数の棚部分と、載置部と、駆動手段と、制御手段とを備える。複数の棚部分は、一の荷及び他の荷を収容若しくは載置可能であり、当該保管庫内に上下方向に配列される。該複数の棚部分のうち一の棚部分は、該上下方向における上側に位置し、搬送車から一の荷が移載される出庫ポートとして機能する。載置部は、第１載置面を有し、該第１載置面で一の荷及び他の荷を夫々その底側から支持する。駆動手段は、該載置部を複数の棚部分の相互間、並びに仮想入庫ポート及び複数の棚部分間で移動させる。この移動により、上述された入庫時及び出庫時の保管庫内搬送が可能である。ここで「仮想入庫ポート」は、いずれの棚部分も存在しない仮想の入庫ポートであり、出庫ポートの上方であって搬送車の下方の空間に設定される。

制御部は、一の荷を入庫すべき場合に、仮想入庫ポートに、空荷の載置部を配置する又は配置したままとしておくように駆動手段を制御する。この制御により、搬送車が一の荷を仮想入庫ポートまで下降させ、当該保管庫へ入庫可能とする。また、制御部は、他の荷を出庫すべき場合に、仮想入庫ポートから、載置部を退避させる又は退避させたままとしておくように駆動手段を制御すると共に、出庫ポートに、他の荷を載置した状態にある載置部を移動させ、該移動させた載置部から他の荷を出庫ポートに移載させる。この制御により、搬送車が他の荷を出庫ポートから仮想入庫ポートを介して上昇可能であり、他の荷を当該保管庫へ出庫可能とする。ここで「上昇可能」である条件として、例えば、出庫ポートである一の棚部分と搬送車との間に、仮想入庫ポートのみが設定されることとする。

従って、本発明の第２保管庫では、例えば、入庫時には、先ず、軌道に沿って走行する搬送車が仮想入庫ポート及び出庫ポートに対応する位置で停止され、搬送車から一の荷が下降されるよりも前に、空荷の状態にある載置部が仮想入庫ポートに配置される又は配置されたままとされる。続いて、搬送車により一の荷が仮想入庫ポートまで下降され、一の荷が仮想入庫ポートにある載置部上に移載される。この移載により、入庫動作が終了され、引き続き出庫動作が開始される。

例えば、出庫時には、先ず、載置部が仮想入庫ポートから退避された後に、当該保管庫内に保管されている他の荷が、載置部に載置され、該載置部が出庫ポートに移動される。続いて、該移動された載置部から出庫ポートに他の荷が載置される。続いて、出庫ポートに載置されている他の荷が搬送車により仮想入庫ポートを介して上昇され、搬送車へ移載される。この移載により、出庫動作が終了されると、連続する入出庫動作が終了される。

以上のように、一の棚部分に設定される出庫ポートと、該出庫ポートの上方であって搬送車の下方の空間に設定される仮想入庫ポートとを備え、入庫の際に、空荷の載置部を仮想入庫ポートに配置する又は配置したままとしておくことで、搬送車から入庫すべき荷を仮想入庫ポートに入庫可能とし、出庫の際に、載置部を仮想入庫ポートから退避させる又は退避させたままとしておくと共に、出庫すべき荷を載置した状態にある載置部を出庫ポートに移動して出庫すべき荷を出庫ポートに載置することで、出庫ポートから出庫すべき荷を搬送車へ出庫可能とする。このように、搬送車との間で連続して行われる入出庫動作において、複数の棚部分及び駆動手段の構成により、入庫すべき荷及び出庫すべき荷を一時的に取り置きすることなく、直接に搬送車から又は搬送車へ移載する。故に、比較的簡単な構成により、効率良く出入庫することができる。

本発明の第１保管庫の一態様では、前記駆動手段は、前記載置部を水平一方向に往復移動可能な水平駆動部と、前記載置部を鉛直方向に往復移動可能な鉛直駆動部とを備え、前記複数の棚部分は、前記鉛直方向に複数段に渡って段毎に、前記水平駆動部により到達可能な水平位置に一又は複数設けられると共に、前記第１載置面との間で前記一の荷及び前記他の荷を夫々、相互に移載可能に構成されている第２載置面を夫々有し、前記複数の棚部分のうち前記仮想出庫ポートの下段に位置する棚部分が、前記入庫ポートとして機能する。

本発明の保管庫によれば、複数の棚部分は、鉛直方向に一列又は複数列配列された複数の載置面（即ち、第２載置面）を有する。例えば、鉛直方向にｍ（但し、ｍは２以上の自然数）段、水平一方向にｎ（但し、ｎは１以上の自然数）列、且つこれに垂直である残る水平一方向（以下、単に「厚み方向」と称する）には１列のみといった具合に、薄く且つ縦に細長い平板形状となるように、棚全体の骨格は、構成される。載置部は、例えばその第１載置面上に荷を載せた状態で、このような保管庫内を、鉛直駆動部及び水平駆動部によって、鉛直方向及び水平一方向という２方向或いは２軸方向に移動可能に構成されている。

第１及び第２載置面は、一の荷及び他の荷を夫々、相互に移載可能である。入庫時に、例えば、搬送車から入庫ポートとして機能する棚部分の第２載置面上に一の荷が移載される。続いて、該第２載置面上に移載された一の荷は、２軸方向に移動可能な載置部の第１載置面に載置される。例えば、第１及び第２載置面は、荷（一の荷又は他の荷）の底面における相異なる部分（典型的には、中央寄り部分と周辺寄り部分）を支持するように構成されており、どちらか一方で荷（一の荷又は他の荷）を支持することが可能である。具体的には、載置部が、第２載置面が存在する鉛直位置且つ水平位置に移動された際に、該第２載置面に代わって、第１載置面で一の荷を支持することで、第２載置面から第１載置面への移載が行われる。典型的には、鉛直駆動部により第１載置面が第２載置面より高くなるまで移動されることで、一の荷は、第１載置面によって支持されることとなる。これにより、入庫時における保管庫内搬送が開始される。ここでは、鉛直駆動部及び水平駆動部による簡単な２軸動作によって、棚部分におけるいずれの第２載置面にも迅速に保管庫内搬送が可能である。

続いて、載置部が、保管に使用しようとする第２載置面が存在する鉛直位置且つ水平位置に移動された際には、第１載置面に代わって、第２載置面で一の荷を支持することで、第１載置面から第２載置面への移載が行われる。典型的には、鉛直駆動部により第１載置面が第２載置面より低くなるまで移動されることで、一の荷は、第２載置面によって支持されることとなる。これにより、入庫時における保管庫内搬送が終了され、棚部分での保管が開始される。

他方、出庫時には、載置部が、出庫しようとする他の荷が載置されている第２載置面が存在する鉛直位置且つ水平位置に移動される。続いて、第２載置面に代わって、第１載置面で支持することで、第２載置面から第１載置面への移載が行われる。典型的には、鉛直駆動部により第１載置面が第２載置面より高くなるまで移動されることで、他の荷は、第１載置面によって支持されることとなる。これにより、出庫時における保管庫内搬送が開始される。続いて、載置部が、第２載置面が存在しない仮想出庫ポートとして設定される空間の鉛直位置且つ水平位置に移動される。ここでは、鉛直駆動部及び水平駆動部による簡単な２軸動作によって、いずれの第２載置面からでも迅速に保管庫内搬送が可能である。

本態様では特に、複数の棚部分のうち入庫ポートとして機能する棚部分は、仮想出庫ポートの下段に位置する。具体的には、仮想出庫ポートが、例えば、最上段に設けられた棚部分が存在しない空間に設定される場合に、入庫ポートとして、上から２番目の段にあって仮想出庫ポートの下方にある棚部分が設定される。これらの設定では、搬送車と、入庫ポート及び仮想出庫ポートとが上下方向で最も近い距離にあり、一の荷及び他の荷の昇降距離が最短になる。また、入庫ポート及び仮想出庫ポートが同一鉛直方向に設定されるので、搬送車の停止位置（即ち、保管庫との間で移載を行う移載位置）が変更されることがない。これにより、搬送車による荷の昇降時間を短縮することができる。従って、搬送車との間で連続して行われる出入庫動作をより効率化することができる。

この態様では、前記複数の棚部分は、前記仮想出庫ポートとの間で、前記水平駆動部により相互に到達可能な水平位置に設けられている他の棚部分を更に含んでもよい。

このように構成すれば、複数の棚部分は、他の棚部分を更に含む。該他の棚部分は、仮想出庫ポートの水平位置に設けられる。ここで「水平位置」は、水平駆動部により仮想出庫ポート及び他の棚部分の相互に到達可能な位置であり、仮想出庫ポート及び他の棚部分は、例えば同段に位置する。この場合、例えば、他の棚部分に、当該保管庫内で最も早く出庫すべき他の荷が載置され、出庫時には、載置部により、該他の荷が仮想出庫ポートまで最も短時間で移動されるので、出庫動作をより効率化することができる。

この態様では、前記制御部は、前記一の荷が前記搬送車から前記入庫ポートに移載されるまでに、前記載置部を前記他の棚部分に移動させ、前記他の荷を前記他の棚部分で支持させるように前記駆動手段を制御してもよい。

このように構成すれば、制御部は、一の荷が搬送車から入庫ポートに移載されるまでに、他の荷を載置している載置部を他の棚部分に移動させ、他の荷を他の棚部分で支持させるように駆動手段を制御する。このような出庫準備が予め行われることで、出庫時には、載置部により、他の荷が他の棚部分から仮想出庫ポートまで移動されればよいので、出庫動作をより効率化することができる。

複数の棚部分が他の棚部分を更に含む態様では、前記他の棚部分は、前記水平駆動部及び前記鉛直駆動部により到達可能な位置で、且つ前記仮想出庫ポートまで前記他の荷を移動させる時間が相対的に短時間である位置であってもよい。

このように構成すれば、出庫時には、載置部により、他の荷が他の棚部分から仮想出庫ポートまで最も短時間で移動されるので、出庫動作をより効率化することができる。尚、他の棚部分と仮想出庫ポートとの間に比較的長い距離がある場合に、他の荷を他の棚部分で支持させる代わりに、他の荷を載置している載置部を仮想出庫ポートの側方に移動させてもよい。

複数の棚部分が他の棚部分を更に含む態様では、前記制御部は、前記一の荷が前記搬送車から前記入庫ポートに移載されるまでに、前記仮想出庫ポートと前記他の棚部分との間の空間に設定される待機位置に、前記他の荷を載置した状態にある前記載置部を移動させるように前記駆動手段を制御してもよい。

このように構成すれば、一の荷が搬送車から入庫ポートに移載されるまでに、他の荷を載置している載置部が、仮想出庫ポートと他の棚部分との間の空間に移動される。該空間は、例えば仮想出庫ポートにおける他の棚部分側の側方である。この場合、仮想出庫ポートまで他の荷を移動させる時間が、他の棚部分から仮想出庫ポートまでの時間よりも短時間になる。このような出庫準備が予め行われることで、出庫時には、載置部により、他の荷が仮想出庫ポートまで僅かに水平移動されればよいので、出庫動作をより効率化することができる。

本発明の第２保管庫の一態様では、上述した第１保管庫の一態様におけるのと概ね同様に、前記駆動手段は、前記載置部を水平一方向に往復移動可能な水平駆動部と、前記載置部を鉛直方向に往復移動可能な鉛直駆動部とを備え、前記複数の棚部分は、前記鉛直方向に複数段に渡って段毎に、前記水平駆動部により到達可能な水平位置に一又は複数設けられると共に、前記第１載置面との間で前記一の荷及び前記他の荷を夫々、相互に移載可能に構成されている第２載置面を夫々有し、前記複数の棚部分のうち前記仮想入庫ポートの下段に位置する棚部分が、前記出庫ポートとして機能する。

この態様によれば、第１及び第２載置面は、一の荷及び他の荷を夫々、相互に移載可能である。本発明の第２保管庫では、入庫時に、例えば、２軸方向に移動可能な載置部が、第２載置面が存在しない仮想入庫ポートとして設定される空間の鉛直位置且つ水平位置に移動される。これにより、搬送車から仮想入庫ポートへの移載が可能な状態となる。

更に、この第２保管庫の一態様では、前記複数の棚部分は、前記仮想入庫ポートとの間で、前記水平駆動部により相互に到達可能な水平位置に設けられている他の棚部分を更に含んでもよい。

このように構成すれば、複数の棚部分は、他の棚部分を更に含む。該他の棚部分は、仮想入庫ポートの水平位置に設けられる。この場合、例えば、入庫時には、仮想入庫ポートに入庫されたばかりの一の荷が他の棚部分に最も短時間で載置されるので、入庫動作をより効率化することができる。

本発明の第１入出庫方法は上記課題を解決するために、(i)一の荷及び他の荷を収容若しくは載置可能であり、前記搬送車から前記一の荷が移載される入庫ポートとして機能する一の棚部分を上側に含む上下方向に配列された複数の棚部分、(ii)前記一の荷及び前記他の荷を夫々、その底側から支持可能な第１載置面を有する載置部、並びに(iii)該載置部を前記複数の棚部分の相互間で移動可能であると共に、前記入庫ポートの上方であって前記搬送車の下方の空間に設定されており且つ前記棚部分が存在しない仮想出庫ポート及び前記複数の棚部分間で移動可能である駆動手段を備える保管庫と、前記一の荷及び前記他の荷を夫々昇降可能な搬送車との間で、前記一の荷の入庫及び前記他の荷の出庫を連続して行う入出庫方法であって、前記仮想出庫ポートから前記載置部を退避させる又は退避させたままとしておくように前記駆動手段を制御する入庫準備工程と、該入庫準備工程に続いて、前記搬送車から前記一の荷を前記入庫ポートへ移載することで、前記一の荷を前記保管庫へ入庫させる入庫工程と、該入庫工程に続いて、前記仮想出庫ポートに、前記他の荷を載置した状態にある前記載置部を移動させるように前記駆動手段を制御する出庫準備工程と、該出庫準備工程に続いて、前記仮想出庫ポートから前記他の荷を前記搬送車へ移載することで、前記他の荷を前記保管庫から出庫させる出庫工程とを備え、前記複数の棚部分及び前記駆動手段は、前記載置部が退避されると、前記一の荷が前記仮想出庫ポートを介して前記入庫ポートまで下降可能なように構成されている。

本発明の第１入出庫方法によれば、上述した本発明の第１保管庫と同様に、入庫すべき荷及び出庫すべき荷を取り置きすることなく、直接に搬送車から又は搬送車へ移載する。故に、比較的簡単な構成により、効率良く出入庫することができる。

本発明の第２入出庫方法は上記課題を解決するために、(i)一の荷及び他の荷を収容若しくは載置可能であり、前記他の荷が前記搬送車へ移載される出庫ポートとして機能する一の棚部分を上側に含む上下方向に配列された複数の棚部分、(ii)前記一の荷及び前記他の荷を夫々、その底側から支持可能な第１載置面を有する載置部、並びに(iii)該載置部を前記複数の棚部分の相互間で移動可能であると共に、前記出庫ポートの上方であって前記搬送車の下方の空間に設定されており且つ前記棚部分が存在しない仮想入庫ポート及び前記複数の棚部分間で移動可能である駆動手段を備える保管庫と、前記一の荷及び前記他の荷を夫々昇降可能な搬送車との間で、前記一の荷の入庫及び前記他の荷の出庫を連続して行う入出庫方法であって、前記出庫ポートに、前記他の荷を載置した状態にある前記載置部を移動させ、該移動させた載置部から前記他の荷を前記出庫ポートに移載させるように前記駆動手段を制御する第１出庫準備工程と、該第１出庫準備工程に続いて、前記仮想入庫ポートに、空荷の前記載置部を移動させるように前記駆動手段を制御する入庫準備工程と、該入庫準備工程に続いて、前記搬送車から前記一の荷を前記仮想入庫ポートへ移載することで、前記一の荷を前記保管庫へ入庫させる入庫工程と、該入庫工程に続いて、前記仮想入庫ポートから、前記載置部を退避させる又は退避させたままとしておくように前記駆動手段を制御する第２出庫準備工程と、該第２出庫準備工程に続いて、前記出庫ポートから前記他の荷を前記搬送車へ移載することで、前記他の荷を前記保管庫から出庫させる出庫工程とを備え、前記複数の棚部分及び前記駆動手段は、前記載置部が退避されると、前記他の荷が前記出庫ポートから前記仮想入庫ポートを介して上昇可能なように構成されている。

本発明の第２入出庫方法によれば、上述した本発明の第２保管庫と同様に、入庫すべき荷及び出庫すべき荷を取り置きすることなく、直接に搬送車から又は搬送車へ移載する。故に、比較的簡単な構成により、効率良く出入庫することができる。尚、第１出庫準備工程は、入庫工程の直後に実施される第２出庫準備工程の後に実施してもよい。

本発明の作用及び他の利得は次に説明する実施するための最良の形態から明らかにされる。

以下、本発明の実施形態について図を参照しつつ説明する。

＜第１実施形態＞

先ず、第１実施形態に係る保管庫の構成について図１から図３を参照して説明する。ここに図１は、第１実施形態に係る保管庫を備える搬送システムの外観を示す斜視図であり、図２は、図１の保管庫の内部構造を模式的に示す断面図であり、図３は、第１実施形態に係る第１及び第２載置面の、荷に対する係合状態を示す断面図である。

図１において、搬送システム１００は、レール１、ビークル２、ストッカ１０、及びコントローラ２０を備える。搬送システム１００は、ビークル２を駆動して、レール１上でＦＯＵＰ３の搬送を行う。レール１は、本発明に係る「軌道」の一例として、ビークル２が走行するための軌道の役割を果たす。

ビークル２は、本発明に係る「搬送車」の一例として、例えばリニアモータにより駆動されるＯＨＴ（Ｏｖｅｒｈｅａｄ Ｈｏｉｓｔ Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ）（天井走行車）であり、ストッカ１０や図示しない製造装置、ＯＨＴバッファ、大型ストッカ等に、ＦＯＵＰ３を搬送する。ビークル２は、内部に、鉛直方向に移動するホイスト２ａを有している。

ホイスト２ａは、搬送時に、搬送されるＦＯＵＰ３のフランジ４を、例えば挟持機構により保持する。ホイスト２ａは、ビークル２の本体に備えられた、例えば巻き取りベルト及び巻き出しベルト等の昇降機構により、レール１の下方にて鉛直方向に昇降可能に構成されている。ホイスト２ａは、ストッカ１０との間でＦＯＵＰ３の入庫又は出庫を行う際に、ストッカ１０における後述の入庫ポート又は仮想出庫ポートの上方に下降する。入庫の際に更に、ホイスト２ａは、下降した位置、即ち、ＦＯＵＰ３の底面が入庫ポートの床面（後述の第２載置面）に接触する位置で、フランジ４を解放する。また、出庫の際に更に、ホイスト２ａは、下降した位置、即ち、仮想出庫ポートにある後述の載置部に載置されたＦＯＵＰ３のフランジ４に対応する位置で、フランジ４を保持する。本実施形態では特に、ビークル２は、このような入庫動作及び出庫動作を連続して行う。

図１及び図２に示すように、ＦＯＵＰ３は、本発明に係る「一の荷」及び「他の荷」の一例として、ストッカ１０内で、ビークル２との間の入出庫、及び保管位置の調整等のために搬送（即ち保管内搬送）される。

図３に示すように、ＦＯＵＰ３は、底面に、凹部５及び凹部６を有している。凹部５は、後述の棚部分１５に設けられた凸部１６に対応するサイズに形成されている。一方、凹部６は、後述の載置部１１に設けられた凸部１２に対応するサイズに形成されている。

再び図１において、コントローラ２０は、例えば半導体素子製造の工程スケジュールに基づいて、ストッカ１０に対して、ＦＯＵＰ３の出入庫（保管庫内搬送）を指示する。この指示に応答して、ストッカ１０が駆動され、ビークル２により搬送されるＦＯＵＰ３に各種処理が施されることで、半導体素子が製造される。

（保管庫単体）

ストッカ１０は、本発明に係る「保管庫」の一例として、レール１に隣接して敷設され、ＦＯＵＰ３を複数保管する。本実施形態では特に、ストッカ１０は、ビークル２との間で、入庫すべき荷の入庫動作、及び出庫すべき荷の出庫動作を連続して行う。

図２において、ストッカ１０は、本体部１０ａと、保管庫内搬送装置１９と、複数の棚部分１５とを備える。保管庫内搬送装置１９は、載置部１１と、水平駆動部１３と、鉛直駆動部１４とを有し、コントローラ２０の制御により、複数の棚部分１５の間でＦＯＵＰ３を移載する。

載置部１１は、複数の棚部分１５の間でＦＯＵＰ３を移載するために、水平駆動部１３により水平一方向に、且つ鉛直駆動部１４により鉛直方向に移動される。載置部１１は、上面に第１載置面１１ａを有している。第１載置面１１ａは、移載時に、ＦＯＵＰ３の底面に接触し、ＦＯＵＰ３をその底側から支持する。第１載置面１１ａには、支持部材として、凸部１２が形成されている。図３（ｂ）に示すように、凸部１２は、ＦＯＵＰ３の凹部６に対応するサイズに形成されており、移載時に、この凹部６に係合される。

再び図２において、水平駆動部１３は、本発明に係る「駆動手段」の一例として、例えば図示しないモータにより、水平一方向に延びる水平ガイド１７上で、駆動される。水平駆動部１３は、載置部１１と連結されており、載置部１１を水平ガイド１７に沿って、水平一方向Ｄ１に往復移動させる。

鉛直駆動部１４は、本発明に係る「駆動手段」の一例として、例えば図示しないモータにより、鉛直方向に延びる鉛直ガイド１８上で、駆動される。鉛直駆動部１４には、水平ガイド１７の中央部が固定されている。鉛直駆動部１４は、この水平ガイド１７を鉛直ガイド１８に沿って、鉛直方向Ｄ２に往復移動させる。この往復移動時に、載置部１１は、水平ガイド１７の中央部に位置する。このように、載置部１１は、水平駆動部１３及び鉛直駆動部１４により、鉛直方向及び水平一方向の２軸方向に移動される。

複数の棚部分１５は、鉛直方向に７段、最上段における水平一方向に一列、該最上段よりも下の６段における水平一方向に２列、且つ各段における厚み方向に１列として、合計１３個の棚部分１５から構成されている。各棚部分１５は、上面に第２載置面１５ａを有しており、この第２載置面１５ａに、ＦＯＵＰ３が載置される。第２載置面１５ａには、支持部材として、凸部１６が形成されている。図３（ａ）に示すように、凸部１６は、ＦＯＵＰ３の凹部５に対応するサイズに形成されており、載置（保管）時に、この凹部５に係合される。

再び図２において、１３個の棚部分１５のうち１つの棚部分（言い換えれば、これが有する第２載置面１５ａ）は、ビークル２からＦＯＵＰ３を受け取るための入庫ポートＰ１として機能する。入庫ポートＰ１に設定される棚部分１５は、上から２段目にある２つの棚部分１５のうち、最上段において棚部分が存在しない空間の下方にある棚部分(即ち、図２における二点鎖線Ｐ１内)である。

本実施形態では特に、本体部１０ａ内に、ビークル２へＦＯＵＰ３を受け渡すための仮想出庫ポートＰ４(即ち、図２における二点鎖線Ｐ４内)が設定されている。仮想出庫ポートＰ４は、入庫ポートＰ１の上方であって最上段において棚部分が存在しない空間である。これら入庫ポートＰ１及び仮想出庫ポートＰ４は、同一鉛直上に設定されており、これらの上方及び側方に位置する本体部１０ａは、ＦＯＵＰ３が入出庫可能に開放されている。

コントローラ２０は、入庫しようとする際に、仮想出庫ポートＰ４に載置部１１がある場合に、保管庫内搬送装置１９により、仮想出庫ポートＰ４から載置部１１を退避させる。或いは、コントローラ２０は、入庫しようとする際に、次に出庫させるべきＦＯＵＰ３が既に載置部１１に載せられている場合であっても、保管庫内搬送装置１９により、載置部１１を仮想出庫ポートＰ４へ移動させないようにする。これにより、入庫すべきＦＯＵＰ３がビークル２から仮想出庫ポートＰ４を介して下降され、入庫ポートＰ１に移載可能な状態となる。また、コントローラ２０は、出庫時に、保管庫内搬送装置１９により、仮想出庫ポートＰ４に、出庫すべきＦＯＵＰ３を載置した状態にある載置部１１を移動させる。これにより、出庫すべきＦＯＵＰ３が仮想出庫ポートＰ４からビークル２へ移載可能な状態となる。

入庫ポートＰ１として機能する棚部分１５を除いた１２個の棚部分１５は、ＦＯＵＰ３を保管するための保管用棚部分１５（即ち、図２における、例えば二点鎖線Ｐ５内）である。１２個の保管用棚部分１５のうち１つの棚部分は、仮出庫ポートＰ６として機能させてもよい。仮出庫ポートＰ６に設定される棚部分１５は、最上段の１つの棚部分（即ち、図２における二点鎖線Ｐ６内）である。

本実施形態では特に、最上段の１つの棚部分（即ち、図２における二点鎖線Ｐ６内）と仮想出庫ポートＰ４との間の空間（即ち、図２における二点鎖線Ｐ３内）が、待機位置Ｐ３に設定されている。待機位置Ｐ３は、載置部１１により仮想出庫ポートＰ４までＦＯＵＰ３を移動させる時間が最も短い位置である。

コントローラ２０は、出庫時に、入庫ポートＰ１に、入庫すべきＦＯＵＰ３が移載されるまでに、保管庫内搬送装置１９により、載置部を待機位置Ｐ３に移動させる。この後、出庫すべきＦＯＵＰ３が、１２個の保管用棚部分１５のどれに載置した場合よりも短時間で、待機位置Ｐ３から仮想出庫ポートＰ４まで移動される。このように、待機位置Ｐ３は、実際に出庫が行われる仮想出庫ポートＰ４の側方に設定されており、迅速な出庫作業を行う上で有利である。

ストッカ１０の配置について、入庫ポートＰ１及び仮想出庫ポートＰ４が、レール１の下方に配置される。具体的に、載置部１１が移動される水平一方向の方位が、レール１の方位に対して直角に交わる。

次に、本実施形態に係る第１及び第２載置面の形体について図４（ａ）を参照して説明する。ここに図４（ａ）は、本実施形態に係る載置部の水平一方向への動作状態を示す、平面図である。図４（ａ）は、具体的には、図２におけるＡ１−Ａ１断面に相当しており、ストッカ１０の上から２段目に設置される、２列の棚部分１５（第２載置面１５ａ）を示している。

図４（ａ）に示すように、ストッカ１０の上面側から視て、第２載置面１５ａは、馬蹄のようにＵ字形に形成され、第１載置面１１ａは、そのＵ字形の中央を埋める島のように四角形に形成されている。従って、第１及び第２載置面１１ａ，１５ａは、相互に相補の平面形状を有している。このような第１及び第２載置面１１ａ，１５ａの間で、ＦＯＵＰ３の移載が行われる。

尚、図３及び図４（ａ）に示した例では、平面的に見て、第１載置面１１ａの方が、第２載置面１５ａの内側に位置しており、外径が小さい。しかしながら、逆に、第１載置面１１ａの方が、第２載置面１５ａの外側に位置しており、外径が大きくなるように両者は、構成されてもよい。この場合、図４（ａ）に示される第１及び第２載置面の形体の変形例として、図４（ｂ）に示すように、例えばストッカ３０の上面側から視て、第１載置面３１ａが馬蹄のようにＵ字形に形成され、第２載置面３５ａが、そのＵ字形の中央を埋める島のような形状に形成されている。このように、上下左右に移動される第１載置面３１ａを大きくした方が、ＦＯＵＰ３を載置部３１に載せての保管庫内搬送の際における安定性が増し、ＦＯＵＰ３の落下防止やガタツキ防止に役立つ。

（保管庫内搬送動作）

次に、本実施形態に係る保管庫内の荷の移載、即ち保管庫内搬送の動作について、引き続き図２から図４を参照して説明する。

図２及び図４において、ビークル２により入庫され、入庫ポートＰ１における棚部分１５の第２載置面１５ａ（以下、単に「入庫ポートＰ１の第２載置面１５ａ」と言う）に載置されているＦＯＵＰ３を、同段のもう１つの第２載置面１５ａ（即ち、図２における二点鎖線で示すエリアＰ５内）に移載する。この場合に、先ず、エリアＰ２（即ち、図２において二点鎖線で示される）内の第２載置面１５ａへのＦＯＵＰ３の移載を終えた載置部１１（即ち、図２において破線で示される）が、入庫ポートＰ１の第２載置面１５ａの直下に移動される。この際、載置部１１が、水平駆動部１３により水平ガイド１７の略中央に移動された後、鉛直駆動部１４により鉛直ガイド１８に沿って所定の鉛直位置に移動される。この所定の鉛直位置は、入庫ポートＰ１の第２載置面１５ａよりも下方である。この後、所定の鉛直位置にある載置部１１が、水平駆動部１３により水平ガイド１７に沿って所定の水平位置（即ち、図２において実線で示される）に移動される。図３（ａ）に示すように、この所定の水平位置は、ＦＯＵＰ３の凹部６の鉛直下方向に、載置部１１の凸部１２が存在する位置である。

所定の鉛直位置且つ水平位置に移動された載置部１１は、鉛直駆動部１４により上昇される。この上昇により、第１載置面１１ａが第２載置部１５ａの中央を通過して、図３（ｂ）に示すように、第２載置面１５ａよりも高くなる。この時、入庫ポートＰ１における凹部５及び凸部１６の係合が外れ、第２載置面１５ａに代わって、第１載置面１１ａでＦＯＵＰ３が支持されると共に、載置部１１の凸部１２及びＦＯＵＰ３の凹部６が相互に係合されることで、ＦＯＵＰ３が第２載置面１５ａから第１載置面１１ａへ移載される。

ＦＯＵＰ３が移載された載置部１１は、エリアＰ５内の第２載置面１５ａの直上に移動される。この際、載置部１１が、水平駆動部１３により水平一方向の所定の水平位置に移動される。この所定の水平位置は、エリアＰ５内の第２載置面１５ａの凸部１６の鉛直上方向に、ＦＯＵＰ３の凹部５が存在する位置である。所定の水平位置に移動された載置部１１は、鉛直駆動部１４により下降される。この下降により、第１載置面１１ａがエリアＰ２の第２載置部１５ａの中央を通過して、図３（ａ）に示すように、第２載置面１５ａよりも低くなる。この時、エリアＰ５における凸部１２及び凹部６の係合が外れ、第１載置面１１ａに代わって、第２載置面１５ａでＦＯＵＰ３が支持されると共に、ＦＯＵＰ３の凹部５及び第２載置面１５ａの凸部１６が相互に係合されることで、ＦＯＵＰ３が第１載置面１１ａから、エリアＰ５の第２載置面１５ａへ移載される。これにより、入庫ポートに設定されるエリアＰ１から、エリアＰ５における保管用棚部分１５へのＦＯＵＰ３の移載動作が完了される。尚、この移載工程を逆の順序で行えば、エリアＰ５から入庫ポートＰ１への移載動作となる。

（第１実施形態の入出庫動作処理）

次に、本実施形態に係る保管庫の入出庫の動作について図５を参照して説明する。ここに図５は、本実施形態に係る保管庫の入出庫の動作処理を示すフローチャートである。尚、初期設定として、載置部１１は、仮想出庫ポートＰ４から退避した状態、即ち、仮想出庫ポートＰ４外にあることとする。

図５において、先ず、コントローラ２０により、半導体素子製造の工程スケジュールに基づいて、ストッカ１０において、出庫の要求が有るか否かが判定される（ステップＳ３１）。ここで要求が無いと判定された場合に（ステップＳ３１：ＮＯ）、ステップＳ３２及びＳ３３による出庫準備が省かれ、ステップＳ３４の処理が実行される。

一方、ステップＳ３１の判定の結果、出庫の要求が有ると判定された場合に（ステップＳ３１：ＹＥＳ）、保管庫内搬送装置１９により、エリアＰ２の保管用棚部分１５に保管されている出庫すべきＦＯＵＰ３が、載置部１１に移載される（即ち、保管用棚部分１５から取り出される）（ステップＳ３２）。続いて、出庫すべきＦＯＵＰ３を載置した状態にある載置部１１が、仮想出庫ポートＰ４の側方の待機位置Ｐ３に移動され、実際の出庫まで待機状態となる（ステップＳ３３）。

次に、ストッカ１０に対応する停止位置にビークル２が到着したか否かが判定されると共に、到着したビークル２が入庫可能であるか又は出庫可能であるかが判定される（ステップＳ３４）。ここでビークル２が到着しないと判定された場合に（ステップＳ３４：未着）、再びステップＳ３１の処理が実行される。

一方、ステップＳ３４の判定の結果、ビークル２が入庫すべきＦＯＵＰ３を把持しておらず、出庫可能であると判定された場合に（ステップＳ３４：出庫ビークル）、ステップＳ３７の処理が実行される。他方、ビークル２が入庫すべきＦＯＵＰ３を把持しており、入庫可能であると判定された場合に（ステップＳ３４：入庫ビークル）、ビークル２により、入庫すべきＦＯＵＰ３がビークル２から入庫ポートＰ１に移載される（ステップＳ３５）。この際、載置部１１が仮想出庫ポートＰ４外の待機位置Ｐ３にあるので、ストッカ１０が入庫すべきＦＯＵＰ３を入庫可能な状態にある。

次に、出庫すべきＦＯＵＰ３があるか否かが判定される（ステップＳ３６）。ここで出庫すべきＦＯＵＰ３が無い場合に(ステップＳ３６：ＮＯ）、ステップＳ４０の処理が実行される。一方、出庫すべきＦＯＵＰ３がある場合に（ステップＳ３６：ＹＥＳ）、出庫すべきＦＯＵＰ３を載置した状態にある載置部１１が、待機位置Ｐ３から仮想出庫ポートＰ４へ移動される（ステップＳ３７）。或いは、仮出庫ポートＰ６又はその近隣にてＦＯＵＰ３を載せたまま待機している載置部１１が、仮想出庫ポートＰ４へと移動される。これにより、仮想出庫ポートＰ４に、出庫すべきＦＯＵＰ３が載置されるので、ストッカ１０が出庫すべきＦＯＵＰ３を出庫可能な状態になる。続いて、ビークル２により、出庫すべきＦＯＵＰ３が、仮想出庫ポートＰ４からビークル２へ移載される（ステップＳ３８）。

次に、入庫されたＦＯＵＰ３があるか否かが判定される（ステップＳ３９）。ここで入庫されたＦＯＵＰ３が無い場合に(ステップＳ３９：ＮＯ）、一連の入出庫動作処理が終了され、再びステップＳ３１の処理が実行される。一方、入庫されたＦＯＵＰ３がある場合に（ステップＳ３９：ＹＥＳ）、保管庫内搬送装置１９により、入庫ポートＰ１に載置されている、入庫されたＦＯＵＰ３が、載置部１１に移載される（即ち、入庫ポートＰ１から取り出される)（ステップＳ４０）。続いて、入庫されたＦＯＵＰ３を載置した状態にある載置部１１が、エリアＰ２へ移動されると、入庫されたＦＯＵＰ３が載置部１１から保管用棚部分１５に移載（収容）される（ステップＳ４１）。これにより、一連の入出庫動作処理が終了される。

このように、第１実施態様のストッカ１０によれば、入庫すべきＦＯＵＰ３を入庫するための入庫ポートＰ１と、出庫すべきＦＯＵＰ３を出庫するための仮想出庫ポートＰ４とを備え、入庫時に、載置部１１を仮想出庫ポートＰ４から退避させた又は退避させたままとしておく入庫可能な状態とし、出庫時に、出庫すべきＦＯＵＰ３を載置した状態にある載置部１１を仮想出庫ポートＰ４へ移動させた出庫可能な状態とするので、ビークル２の昇降動作及び載置部１１の移動動作を利用して、簡単な構成により効率良く入出庫することができる。

尚、本実施形態によれば、入庫すべきＦＯＵＰ３が入庫されるまでに、出庫すべきＦＯＵＰ３を仮出庫ポートＰ３に載置するが、仮出庫ポートＰ３に載置せずに、出庫すべきＦＯＵＰ３を載置した状態にある載置部１１を直接に仮想出庫ポートＰ４の側方又は近隣位置（即ち、少なくとも入庫ポートＰ１における入庫作業を妨げない位置であって、好ましくは仮想出庫ポートＰ４への到達が容易且つ短時間で住む位置）に移動させてもよい。これにより、出庫すべきＦＯＵＰ３を仮出庫ポートＰ３に載置すると共に仮出庫ポートＰ３から移載する動作が不要となるので、より短時間で入出庫することができる。

尚、本実施形態によれば、入庫ポートＰ１として機能する棚部分１５の上方の空間に、仮想出庫ポートＰ４を設定するが、棚部分１５を、入庫ポートの代わりに、出庫ポートとして機能させ、出庫ポートとして機能する該棚部分１５の上方の空間に、仮想入庫ポートを設定してもよい。

＜第２実施形態＞

次に、第２実施形態に係る保管庫の構成について図６を参照して説明する。ここに図６は、第２実施形態に係る保管庫の内部構造を模式的に示す、図２と同趣旨の断面図である。具体的に、第２実施形態では、図２に示される入庫ポートＰ１を、出庫ポートに設定すると共に、図２に示される仮想出庫ポートＰ４を、仮想入庫ポートに設定する点が第１実施形態と異なる。尚、図６に示される保管庫において、図２に示される保管庫と同等に構成される要素について、同一の番号を付し、その説明を省略する。

図６において、搬送システム２００は、レール１、ビークル２、ストッカ１１０、及びコントローラ１２０を備える。ストッカ１１０は、本体部１１０ａと、保管庫内搬送装置１９と、複数の棚部分１５とを備える。保管庫内搬送装置１９は、載置部１１と、水平駆動部１３と、鉛直駆動部１４とを有し、コントローラ１２０の制御により、複数の棚部分１５の間でＦＯＵＰ３を移載する。

複数の棚部分１５は、図２に示されるストッカ１０と同様に、１３個の棚部分１５から構成されている。

１３個の棚部分１５のうち１つの棚部分は、ビークル２へＦＯＵＰ３を受け渡すための出庫ポートＰ１４として機能する。出庫ポートＰ１４に設定される棚部分１５は、上から２段目にある２つの棚部分１５のうち、最上段において棚部分が存在しない空間の下方にある棚部分(即ち、図６における二点鎖線Ｐ１４内)である。

本実施形態では特に、本体部１１０ａ内に、ビークル２からＦＯＵＰ３を受け取るための仮想入庫ポートＰ１１(即ち、図６における二点鎖線Ｐ１１内)が設定されている。仮想入庫ポートＰ４は、出庫ポートＰ１４の上方であって最上段において棚部分が存在しない空間である。これら出庫ポートＰ１４及び仮想入庫ポートＰ１１は、同一鉛直上に設定されており、これらの上方及び側方に位置する本体部１１０ａは、ＦＯＵＰ３が入出庫可能に開放されている。

コントローラ１２０は、入庫時に、保管庫内搬送装置１９により、仮想入庫ポートＰ１１に、無載置の状態にある載置部１１を移動させる。これにより、入庫すべきＦＯＵＰ３がビークル２から下降され、仮想入庫ポートＰ１１へ移載可能な状態となる。また、コントローラ１２０は、出庫時に、仮想入庫ポートＰ１１に載置部１１がある場合に、保管庫内搬送装置１９により、仮想入庫ポートＰ１１から載置部１１を退避させる。これにより、出庫すべきＦＯＵＰ３が出庫ポートＰ１４から仮想入庫ポートＰ１１を介して上昇され、ビークル２へ移載可能な状態となる。

（第２実施形態の入出庫動作処理）

次に、本実施形態に係る保管庫の入出庫の動作について図７を参照して説明する。ここに図７は、本実施形態に係る保管庫の入出庫の動作処理を示すフローチャートである。

図７において、先ず、図５に示されるステップＳ３１と同様に、コントローラ１２０により、半導体素子製造の工程スケジュールに基づいて、ストッカ１１０において、出庫の要求が有るか否かが判定される（ステップＳ５１）。ここで要求が無いと判定された場合に（ステップＳ５１：ＮＯ）、ステップＳ５２及びＳ５３による出庫準備が省かれ、ステップＳ５４の処理が実行される。

一方、ステップＳ５１の判定の結果、出庫の要求が有ると判定された場合に（ステップＳ５１：ＹＥＳ）、保管庫内搬送装置１９により、エリアＰ２の保管用棚部分１５に保管されている出庫すべきＦＯＵＰ３が、載置部１１に移載される（即ち、保管用棚部分１５から取り出される）（ステップＳ５２）。続いて、出庫すべきＦＯＵＰ３を載置した状態にある載置部１１が、出庫ポートＰ１４まで移動され、出庫すべきＦＯＵＰ３が出庫ポートＰ１４に載置される（ステップＳ５３）。

次に、ストッカ１１０に対応する停止位置にビークル２が到着したか否かが判定されると共に、到着したビークル２が入庫可能であるか又は出庫可能であるかが判定される（ステップＳ５４）。ここでビークル２が到着しないと判定された場合に（ステップＳ５４：未着）、再びステップＳ５１の処理が実行される。

一方、ステップＳ５４の判定の結果、ビークル２が入庫すべきＦＯＵＰ３を把持しておらず、出庫可能であると判定された場合に（ステップＳ５４：出庫ビークル）、ステップＳ５９の処理が実行される。他方、ビークル２が入庫すべきＦＯＵＰ３を把持しており、入庫可能であると判定された場合に（ステップＳ５４：入庫ビークル）、仮想入庫ポートＰ１１に、無載置の載置部１１が移動される（ステップＳ５５）。よって、ストッカ１１０が入庫すべきＦＯＵＰ３を入庫可能な状態になる。続いて、ビークル２により、入庫すべきＦＯＵＰ３がビークル２から仮想入庫ポートＰ１１に移載される（ステップＳ５６）。続いて、入庫されたＦＯＵＰ３を載置した状態にある載置部１１が、仮想入庫ポートＰ１１から退避される（ステップＳ５７）。よって、ストッカ１１０が、いつでも出庫すべきＦＯＵＰ３を出庫可能な状態にある。

次に、出庫すべきＦＯＵＰ３があるか否かが判定される（ステップＳ５８）。ここで出庫すべきＦＯＵＰ３が無い場合に(ステップＳ５８：ＮＯ）、ステップＳ６１の処理が実行される。一方、出庫すべきＦＯＵＰ３がある場合に（ステップＳ５８：ＹＥＳ）、ビークル２により、出庫すべきＦＯＵＰ３が、出庫ポートＰ１４からビークル２へ移載される（ステップＳ５９）。

次に、入庫されたＦＯＵＰ３があるか否かが判定される（ステップＳ６０）。ここで入庫されたＦＯＵＰ３が無い場合に(ステップＳ６０：ＮＯ）、一連の入出庫動作処理が終了され、再びステップＳ５１の処理が実行される。一方、入庫されたＦＯＵＰ３がある場合に（ステップＳ６０：ＹＥＳ）、保管庫内搬送装置１９により、入庫されたＦＯＵＰ３を載置した状態にある載置部１１が、エリアＰ１２へ移動されると、入庫されたＦＯＵＰ３が載置部１１から保管用棚部分１５に移載（収容）される（ステップＳ６１）。これにより、一連の入出庫動作処理が終了される。

このように、第２実施形態のストッカ１１０によれば、入庫すべきＦＯＵＰ３を入庫するための仮想入庫ポートＰ１１と、出庫すべきＦＯＵＰ３を出庫するための出庫ポートＰ１４とを備え、入庫時に、無載置の載置部１１を仮想入庫ポートＰ１１に移動させた入庫可能な状態とし、出庫時に、出庫すべきＦＯＵＰ３を出庫ポートＰ１４に載置すると共に、入庫されたＦＯＵＰ３を載置した状態にある載置部１１を仮想入庫ポートＰ１１から退避させた出庫可能な状態とするので、ビークル２の昇降動作及び載置部１１の移動動作を利用して、簡単な構成により効率良く入出庫することができる。

尚、上述した第１実施形態と第２実施形態とを同一の保管庫において、選択的に実行することも可能である。例えば、現在要求される入出庫の内容、ストッカ内における載置部１１の空き若しくは載置の状況、入庫ポート又は出庫ポートの空き若しくは載置の状況などに応じて、ストッカの本体部における最上段の開口に面するスペースを適宜に仮想出庫ポートとして又は仮想入庫ポートとして利用してもよい。更に、このような状況等に応じて、本体部における最上段の開口に面しない棚部分を適宜に仮出庫ポートとして又は仮入庫ポートとして利用してもよい。特に、多数の保管庫及び多数のビークル２を含んでなる搬送システムにおいては、このような仮想出庫ポート又は仮想入庫ポートの使い分けによって、搬送効率の一層の向上が可能である。

本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う入出庫方法もまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。

第１実施形態に係る保管庫を備える搬送システムの外観を示す斜視図である。 第１実施形態に係る保管庫の内部構造を示す断面図である。 第１実施形態に係る第１及び第２載置面の係合状態を示す断面図である。 実施形態に係る載置部の水平一方向への動作状態を示す平面図である。 第１実施形態に係る保管庫の出入庫の動作処理を示すフローチャートである。 第２実施形態に係る保管庫を備える搬送システムの外観を示す斜視図である。 第２実施形態に係る保管庫の出入庫の動作処理を示すフローチャートである。

符号の説明

１…レール、２…搬送車（天井走行車）、３…ＦＯＵＰ（荷）、１０…ストッカ（保管庫）、２０…コントローラ、１１…載置部、１３…水平駆動部、１４…鉛直駆動部、１５…棚、１００…搬送システム

Claims (9)

1. 一の荷の入庫及び他の荷の出庫が、前記一の荷及び前記他の荷を夫々昇降可能な搬送車との間で、連続して行われる保管庫であって、
   前記一の荷及び前記他の荷を収容若しくは載置可能であり、前記搬送車から前記一の荷が移載される入庫ポートとして機能する一の棚部分を上側に含む上下方向に配列された複数の棚部分と、
   前記一の荷及び前記他の荷を夫々その底側から支持可能な第１載置面を有する載置部と、
   該載置部を、前記複数の棚部分の相互間で移動可能であると共に、前記入庫ポートの上方であって前記搬送車の下方の空間に設定されており且つ前記棚部分が存在しない仮想出庫ポート及び前記複数の棚部分間で移動可能である駆動手段と、
   前記一の荷を入庫すべき場合に、前記仮想出庫ポートから前記載置部を退避させる又は退避させたままとしておくように前記駆動手段を制御し、前記他の荷を出庫すべき場合に、前記仮想出庫ポートに、前記他の荷を載置した状態にある前記載置部を移動させるように前記駆動手段を制御する制御手段と
   を備え、
   前記複数の棚部分及び前記駆動手段は、前記載置部が退避されると、前記一の荷が前記仮想出庫ポートを介して前記入庫ポートまで下降可能なように構成されている
   ことを特徴とする保管庫。
2. 一の荷の入庫及び他の荷の出庫が、前記一の荷及び前記他の荷を夫々昇降可能な搬送車との間で、連続して行われる保管庫であって、
   前記一の荷及び前記他の荷を収容若しくは載置可能であり、前記他の荷が前記搬送車へ移載される出庫ポートとして機能する一の棚部分を上側に含む上下方向に配列された複数の棚部分と、
   前記一の荷及び前記他の荷を夫々その底側から支持可能な第１載置面を有する載置部と、
   該載置部を、前記複数の棚部分の相互間で移動可能であると共に、前記出庫ポートの上方であって前記搬送車の下方の空間に設定されており且つ前記棚部分が存在しない仮想入庫ポート及び前記複数の棚部分間で移動可能である駆動手段と、
   前記一の荷を入庫すべき場合に、前記仮想入庫ポートに、空荷の前記載置部を配置する又は配置したままとしておくように前記駆動手段を制御し、前記他の荷を出庫すべき場合に、前記仮想入庫ポートから前記載置部を退避させる又は退避させたままとしておくように前記駆動手段を制御すると共に、前記出庫ポートに、前記他の荷を載置した状態にある前記載置部を移動させ、該移動させた載置部から前記他の荷を前記出庫ポートに移載させるように前記駆動手段を制御する制御手段と
   を備え、
   前記複数の棚部分及び前記駆動手段は、前記載置部が退避されると、前記他の荷が前記出庫ポートから前記仮想入庫ポートを介して上昇可能なように構成されている
   ことを特徴とする保管庫。
3. 前記駆動手段は、
   前記載置部を水平一方向に往復移動可能な水平駆動部と、
   前記載置部を鉛直方向に往復移動可能な鉛直駆動部と
   を備え、
   前記複数の棚部分は、前記鉛直方向に複数段に渡って段毎に、前記水平駆動部により到達可能な水平位置に一又は複数設けられると共に、前記第１載置面との間で前記一の荷及び前記他の荷を夫々、相互に移載可能に構成されている第２載置面を夫々有し、
   前記複数の棚部分のうち前記仮想出庫ポートの下段に位置する棚部分が、前記入庫ポートとして機能する
   ことを特徴とする請求項１に記載の保管庫。
4. 前記複数の棚部分は、前記仮想出庫ポートとの間で、前記水平駆動部により相互に到達可能な水平位置に設けられている他の棚部分を更に含むことを特徴とする請求項３に記載の保管庫。
5. 前記制御部は、前記一の荷が前記搬送車から前記入庫ポートに移載されるまでに、前記載置部を前記他の棚部分に移動させ、前記他の荷を前記他の棚部分で支持させるように前記駆動手段を制御する
   ことを特徴とする請求項４に記載の保管庫。
6. 前記他の棚部分は、前記水平駆動部及び前記鉛直駆動部により到達可能な位置で、且つ前記仮想出庫ポートまで前記他の荷を移動させる時間が相対的に短時間である位置であることを特徴とする請求項４又は５に記載の保管庫。
7. 前記制御部は、前記一の荷が前記搬送車から前記入庫ポートに移載されるまでに、前記仮想出庫ポートと前記他の棚部分との間の空間に設定される待機位置に、前記他の荷を載置した状態にある前記載置部を移動させるように前記駆動手段を制御する
   ことを特徴とする請求項４に記載の保管庫。
8. (i)一の荷及び他の荷を収容若しくは載置可能であり、前記搬送車から前記一の荷が移載される入庫ポートとして機能する一の棚部分を上側に含む上下方向に配列された複数の棚部分、(ii)前記一の荷及び前記他の荷を夫々、その底側から支持可能な第１載置面を有する載置部、並びに(iii)該載置部を前記複数の棚部分の相互間で移動可能であると共に、前記入庫ポートの上方であって前記搬送車の下方の空間に設定されており且つ前記棚部分が存在しない仮想出庫ポート及び前記複数の棚部分間で移動可能である駆動手段を備える保管庫と、前記一の荷及び前記他の荷を夫々昇降可能な搬送車との間で、前記一の荷の入庫及び前記他の荷の出庫を連続して行う入出庫方法であって、
   前記仮想出庫ポートから前記載置部を退避させる又は退避させたままとしておくように前記駆動手段を制御する入庫準備工程と、
   該入庫準備工程に続いて、前記搬送車から前記一の荷を前記入庫ポートへ移載することで、前記一の荷を前記保管庫へ入庫させる入庫工程と、
   該入庫工程に続いて、前記仮想出庫ポートに、前記他の荷を載置した状態にある前記載置部を移動させるように前記駆動手段を制御する出庫準備工程と、
   該出庫準備工程に続いて、前記仮想出庫ポートから前記他の荷を前記搬送車へ移載することで、前記他の荷を前記保管庫から出庫させる出庫工程と
   を備え、
   前記複数の棚部分及び前記駆動手段は、前記載置部が退避されると、前記一の荷が前記仮想出庫ポートを介して前記入庫ポートまで下降可能なように構成されている
   ことを特徴とする入出庫方法。
9. (i)一の荷及び他の荷を収容若しくは載置可能であり、前記他の荷が前記搬送車へ移載される出庫ポートとして機能する一の棚部分を上側に含む上下方向に配列された複数の棚部分、(ii)前記一の荷及び前記他の荷を夫々、その底側から支持可能な第１載置面を有する載置部、並びに(iii)該載置部を前記複数の棚部分の相互間で移動可能であると共に、前記出庫ポートの上方であって前記搬送車の下方の空間に設定されており且つ前記棚部分が存在しない仮想入庫ポート及び前記複数の棚部分間で移動可能である駆動手段を備える保管庫と、前記一の荷及び前記他の荷を夫々昇降可能な搬送車との間で、前記一の荷の入庫及び前記他の荷の出庫を連続して行う入出庫方法であって、
   前記出庫ポートに、前記他の荷を載置した状態にある前記載置部を移動させ、該移動させた載置部から前記他の荷を前記出庫ポートに移載させるように前記駆動手段を制御する第１出庫準備工程と、
   該第１出庫準備工程に続いて、前記仮想入庫ポートに、空荷の前記載置部を移動させるように前記駆動手段を制御する入庫準備工程と、
   該入庫準備工程に続いて、前記搬送車から前記一の荷を前記仮想入庫ポートへ移載することで、前記一の荷を前記保管庫へ入庫させる入庫工程と、
   該入庫工程に続いて、前記仮想入庫ポートから、前記載置部を退避させる又は退避させたままとしておくように前記駆動手段を制御する第２出庫準備工程と、
   該第２出庫準備工程に続いて、前記出庫ポートから前記他の荷を前記搬送車へ移載することで、前記他の荷を前記保管庫から出庫させる出庫工程と
   を備え、
   前記複数の棚部分及び前記駆動手段は、前記載置部が退避されると、前記他の荷が前記出庫ポートから前記仮想入庫ポートを介して上昇可能なように構成されている
   ことを特徴とする入出庫方法。

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