JP5463758B2 - 保管庫 - Google Patents

Description

本発明は、搬送車との間で、例えば半導体素子製造用の各種基板を収容するＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ）等の荷の入出庫が行われる、例えばストッカ等の保管庫の技術分野に関する。

この種の保管庫に適応する荷として、例えば口径が３００ｍｍである半導体ウェハを複数枚収容可能なＦＯＵＰが開示されている（例えば、特許文献１参照）。このようなＦＯＵＰは、主に、保管庫が設置される施設内において、搬送車の経路に沿った複数の工程間又は各工程内で、複数の半導体ウェハを搬送したり一時的に保管するために使用される。

特開２００７−１２３６７３号公報

ここで、上述した特許文献１に開示されるＦＯＵＰに収納される半導体ウェハについて、その口径は３００ｍｍに規定されるが、近年、更なる大口径化が図られ、例えば口径が４５０ｍｍに促進されつつある。これに対応して、ＦＯＵＰが大型化及び大重量化される傾向がある。こうした傾向を受け、ＦＯＵＰについて、幅及び奥行きのサイズを大きくするだけでなく、高さのサイズもまた大きくすることが想定されている。

ここで、当該保管庫には、典型的に、天井に敷設された軌道に沿って走行する天井走行車との間で荷を移載（即ち、入出庫）する際に、荷が一時的に載置される移載部（即ち、入出庫ポート）が、保管庫本体からその側方に突出するように設置されている。

上述したＦＯＵＰの大型化に対応して、本願発明者は、軌道上の所定の入出庫位置に停止される天井走行車の下方に、荷の一つ分の高さより短い距離をとって設置された移載部を備える保管庫を提案している。詳細には、例えば天井走行車から移載部に荷が完全に移載された状態で、荷の少なくとも上部が天井走行車内部に位置する。この後に、移載部上から保管庫内に移載される際に、荷は天井走行車の側面を貫通して水平移動される。即ち、荷が大型化されても、移載部における鉛直方向の設置位置を殆ど又は全く下げなくて済む。このため、荷の大型化に対応しつつ、移載部について、保管庫周辺で作業する作業者等の頭上の安全性を確保可能な高さ（即ち、「安全上の高さ」）を維持することが可能となる。

一方で、天井走行車から移載部への移載時に、天井走行車内部に荷の少なくとも上部が残るために、荷が移載部上に載置される限り、天井走行車は走行不能であって、天井走行車による荷の搬送が非効率になり兼ねない。具体的には、複数の天井走行車から移載部へ、連続して複数の荷を移載（即ち、入庫）する場合に、移載部上から荷を退かさない限り、複数の天井走行車は夫々入庫を終えられず、軌道上で天井走行車の渋滞が生じ兼ねない旨の技術的問題点がある。

本発明は、上述した問題点に鑑みなされたものであり、載置部等の入出庫ポートについて安全上の高さを維持しつつ、連続する入庫を効率的に行うことを可能ならしめる保管庫を提供することを課題とする。

本発明の第１保管庫は上記課題を解決するために、天井又は該天井近傍に敷設された軌道に沿って走行すると共に荷を搬送する搬送車との間で前記荷の入出庫が行われる保管庫であって、内部が鉛直方向に複数段に分断されていると共に、前記荷を出し入れ可能な出入口が、前記複数段のうち少なくとも一つの段に少なくとも一つ設けられている筐体又はフレームと、該筐体又はフレーム外にて前記出入口に隣接しており、前記荷を載置可能である入出庫ポートと、前記筐体又はフレーム内にて前記荷を少なくとも水平一方向に往復移動可能であると共に前記鉛直方向に往復移動可能な内部移動手段と、前記筐体又はフレーム内に、前記複数段の各々において前記少なくとも水平一方向に広がるように配列されており、前記内部移動手段により移動される荷を収容又は載置可能に夫々構成されている複数の棚部分と、該複数の棚部分のうち一の棚部分及び二の棚部分を、前記一の棚部分が前記出入口に隣接する第１位置と、前記二の棚部分が前記出入口に隣接する第２位置との間で、一体に変位可能な棚部分変位手段と、前記第１位置に変位された前記一の棚部分又は前記第２位置に変位された前記二の棚部分と、前記入出庫ポートとの間で、前記出入口を介して前記荷を水平移動可能な外内移動手段とを備える。

本発明に係る保管庫では、例えばＯＨＴ（Overhead Hoist Tranport）等の搬送車により、例えばＦＯＵＰ等の荷の入出庫が行われる。ここに「搬送車」は、天井走行型の、所謂、ビークルであって、荷の入出庫を行う際に、例えば半導体素子製造工場或いは半導体素子製造用の施設等の天井又は天井近傍に敷設されたレール等の軌道に沿って走行する。具体的には、荷を入庫する際に、例えばグリッパ等により入庫すべき荷を保持する搬送車が、軌道における、当該保管庫に対応する所定の入出庫位置に到達し、停止する。すると、例えばホイスト等により、グリッパ等及びこれに保持された入庫すべき荷が鉛直方向に下降し、当該保管庫の内外で荷を出し入れするための入出庫ポートに該荷が載置される。すると、グリッパ等から入庫すべき荷が解放される。この後、解放された荷が保管庫内へ移動する。これにより、搬送車が走行可能な状態となり、搬送車による荷の入庫が完了する。

一方、荷を出庫する際に、空荷の搬送車が上述した入出庫位置に到達し、停止する。この後、保管庫内の出庫すべき荷が搬送車下方に位置する入出庫ポートに移動する。すると、上述したホイスト等により、上述したグリッパ等が鉛直方向に下降し、グリッパ等により、入出庫ポートに載置されている出庫すべき荷が搬送車側に保持される。すると、ホイスト等により、グリッパ等及びこれに保持された出庫すべき荷が鉛直方向に上昇する。これにより、搬送車が走行可能な状態となり、搬送車による荷の出庫が完了する。

当該保管庫について、その外観は、筐体又はフレームにより構成されており、該筐体又はフレーム内には、複数の棚部分が配列されている。ここに「複数の棚部分」とは、鉛直方向に一又は複数列配列された複数の載置面を有する棚列を示す。例えば、鉛直方向にｍ（但し、ｍは２以上の自然数）段、水平一方向にｎ（但し、ｎは１以上の自然数）列、且つこれに垂直である残る水平一方向（以下、単に「厚み方向」と称する）にはｏ（但し、ｏは１以上の自然数）列といった具合に、例えば薄く且つ横に細長い平板形状となるように、棚全体の骨格が構成されてもよい。搬送車により当該保管庫に入庫された荷は、例えばローラ機構やコンベア機構等の外内移動手段により、入出庫ポートから、典型的に入庫及び出庫用に２つ設けられる出入口を介して、複数の棚部分のうち出入口に隣接する一の棚部分又は二の棚部分に水平移動される。すると、例えばロボットアーム等の保管庫内搬送装置たる内部移動手段（所謂、スタッカ）が、複数の棚部分間を、例えば鉛直方向及び水平一方向という２方向或いは２軸方向に移動し、一の棚部分又は二の棚部分の荷が、複数の棚部分のうち一の棚部分及び二の棚部分より他の棚部分に移動される。即ち、保管庫内搬送され、入庫された荷が当該保管庫に収容或いは保管される。

ここで、当該保管庫に対し、複数の搬送車（例えば、一の搬送車及び二の搬送車）から複数の荷（例えば、一の荷及び二の荷）を連続して入庫する場合、典型的に、一の搬送車が入出庫位置に停止し、一の荷を入出庫ポートに載置する。すると、一の荷が入出庫ポートから当該保管庫内部（実際には、一の棚部分又は二の棚部分）に水平移動するのに相前後して、空荷の一の搬送車が走行を開始し入出庫位置から離れる。続いて、二の搬送車が入出庫位置に停止し、二の荷を入出庫ポートに載置する。すると、二の荷が入出庫ポートから当該保管庫内部（実際には、一の棚部分又は二の棚部分）に水平移動するのに相前後して、空荷の二の搬送車が走行を開始し入出庫位置から離れる。こうした連続する入庫にかかる所要時間は、仮に何らの工夫を施さないとすれば、入出庫ポートが荷を支持する時間が長い程、言い換えれば入庫のために搬送車が入出庫位置に停止する時間が長い程、長期化し、連続する入庫が非効率に行われることとなる。

そこで、本発明に係る第１保管庫によれば、連続する入庫に対応すべく、例えばスライド機構等の棚部分変位手段が設けられている。棚部分変位手段について、その動作時には、例えば、外内移動手段により入出庫ポートから、出入口に隣接する一の棚部分に一の荷が載置されると、棚部分変位手段により、一の棚部分及び二の棚部分が第１位置から第２位置に変位される。ここに、一の棚部分及び二の棚部分は、複数の棚部分のうち、典型的には水平方向に（例えば、軌道に沿った水平方向や軌道に交差する水平方向に）横並びするように、相互に連結される一対の棚部分である。即ち、棚部分変位手段による変位により、出入口には、一の棚部分に代わって、空荷（即ち、何の荷も支持していない）の二の棚部分が隣接する。この後、外内移動手段により入出庫ポートから、出入口に隣接する二の棚部分に二の荷が載置されるのに相前後して、内部移動手段により一の棚部分に載置されている一の荷が上述した他の棚部分に移動される。すると、棚部分変位手段により、一の棚部分及び二の棚部分が第２位置から第１位置に変位される。即ち、出入口には、二の棚部分に代わって、空荷の一の棚部分が隣接する。このように、出入口に隣接する棚部分に荷が載置されると直ちに、出入口に隣接する棚部分を空荷の棚部分に変更し、次に入出庫ポートに載置される（即ち、入庫される）荷に備える。これにより、入出庫ポートから一の棚部分又は二の棚部分に荷が迅速に移動され（言い換えれば、退けられ）、入出庫ポートが荷を支持する時間が短くなる、言い換えれば搬送車が入出庫位置に停止する時間が短くなる。

尚、入出庫ポートが、当該保管庫周辺で作業する作業者等の安全上の高さを考慮して設けられる場合、例えば一の荷を入出庫ポートに載置した一の搬送車は、外内移動手段により入出庫ポートから出入口に隣接する棚部分に一の荷が退けられた時に、走行可能となり入出庫位置から離れられるとしてもよい。

以上のように、入出庫ポートから当該保管庫内に移動された荷を一時的に載置可能である棚部分（所謂、保管庫内バッファ）を少なくとも２つ設けると共に、各入出庫に際して該２つの棚部分のうちのどちらかを出入口に交互に隣接させる。これにより、内部移動手段の動作性に関わらず、入出庫ポートからの連続する入庫を効率的に行うことが可能である。特に、上述した安全上の高さが考慮された入出庫ポートからの連続する入庫において、より高い効果が発揮される。即ち、入出庫ポートについて安全上の高さを維持しつつ、連続する入庫を効率的に行うことが可能である。

本発明の第１保管庫の一態様では、前記一の棚部分及び前記二の棚部分は、前記軌道の方位に平行の方位に連結されており、前記棚部分変位手段は、前記一の棚部分及び前記二の棚部分を、前記平行な方位に往復移動可能である。

この態様によれば、棚部分変位手段により、一の棚部分及び二の棚部分が第１位置及び第２位置の相互間で変位される際に、軌道の方位に平行な方位に、例えば１つの棚部分の幅分移動される。これにより、出入口に隣接する棚部分を極めて迅速に変更することが可能となる。

本発明の保管庫の他の態様では、複数の前記荷を入庫すべき場合に、一の前記搬送車から前記入出庫ポートに載置された一の前記荷が、前記入出庫ポートから前記一の棚部分に水平移動するように前記外内移動手段を制御し、続いて前記一の棚部分及び前記二の棚部分が前記第１位置から前記第２位置に変位するように前記棚部分変位手段を制御し、続いて二の前記搬送車から前記入出庫ポートに載置された二の前記荷が、前記入出庫ポートから前記二の棚部分に水平移動するように前記外内移動手段を制御する制御手段を更に備える。

この態様によれば、外内移動手段及び棚部分変位手段を相対的に制御し、一の荷及び二の荷を連続して効率よく入庫することが可能である。

本発明の第２保管庫は上記課題を解決するために、天井又は該天井近傍に敷設された軌道に沿って走行すると共に荷を搬送する搬送車との間で前記荷の入出庫が行われる保管庫であって、内部が鉛直方向に複数段に分断されていると共に、前記荷を出し入れ可能な出入口が、前記複数段のうち少なくとも一つの段に少なくとも一つ設けられている筐体又はフレームと、該筐体又はフレーム外にて前記出入口に隣接しており、前記荷を載置可能である入出庫ポートと、前記筐体又はフレーム内にて前記荷を少なくとも水平一方向に往復移動可能であると共に前記鉛直方向に往復移動可能な内部移動手段と、前記筐体又はフレーム内に、前記複数段の各々において前記少なくとも水平一方向に広がるように配列されており、前記内部移動手段により移動される荷を収容又は載置可能に夫々構成されている複数の棚部分と、該複数の棚部分のうち前記出入口に隣接する一の棚部分と、前記入出庫ポートとの間で、前記出入口を介して前記荷を水平移動可能な外内移動手段と、前記内部移動手段とは別に設けられており、前記一の棚部分と、前記複数の棚部分のうち前記一の棚部分に隣接する二の棚部分との間で、前記荷を水平移動可能な棚部分間移動手段とを備える。

本発明の第２保管庫によれば、連続する入庫に対応すべく、例えばローラ機構やコンベア機構、アーム機構等の棚部分間移動手段が設けられている。棚部分間移動手段について、その動作時には、例えば、外内移動手段により入出庫ポートから一の棚部分に一の荷が載置されると、棚部分間移動手段により、一の棚部分に載置された一の荷が二の棚部分に載置される。この後、外内移動手段により入出庫ポートから一の棚部分に二の荷が載置されるのに相前後して、内部移動手段により一の棚部分に載置されている一の荷が上述した他の棚部分に移動される。すると、棚部分間移動手段により、一の棚部分に載置された二の荷が二の棚部分に載置される。このように、出入口に隣接する一の棚部分に荷が載置されると直ちに、一の棚部分に隣接する二の棚部分にその荷が移載され、次に入出庫ポートに載置される（即ち、入庫される）荷に備える。これにより、入出庫ポートから一の棚部分を経て二の棚部分に荷が迅速に移動され（言い換えれば、退けられ）、入出庫ポートが荷を支持する時間が短くなる、言い換えれば搬送車が入出庫位置に停止する時間が短くなる。

尚、棚部分間移動手段は、内部移動手段と別体に構成されるが、一の棚部分及び二の棚部分間で荷を移動可能であれば特に限定されず、内部移動手段と同一の構成を有してもよい。また、外内移動手段は、入出庫ポート及び一の棚部分間で荷を移動可能であれば特に限定されず、内部移動手段及び／又は棚部分間移動手段と同一の構成を有してもよい。

以上のように、入出庫ポートから当該保管庫内に移動された荷を一時的に載置可能である棚部分（所謂、保管庫内バッファ）を少なくとも２つ設けると共に、出入口に隣接する一の棚部分に荷が載置されるや否や、一の棚部分に隣接する二の棚部分にその荷を退かす。これにより、内部移動手段の動作性に関わらず、入出庫ポートからの連続する入庫を効率的に行うことが可能である。特に、上述した安全上の高さが考慮された入出庫ポートからの連続する入庫において、より高い効果が発揮される。即ち、入出庫ポートについて安全上の高さを維持しつつ、連続する入庫を効率的に行うことが可能である。

本発明の第２保管庫の一態様では、前記外内移動手段及び前記棚部分間移動手段は、前記荷をその底側から支持可能な第１載置面を有する載置部と、該載置部を、前記一の棚部分及び前記入出庫ポート間で、又は前記一の棚部分及び前記二の棚部分間で往復移動可能である移動部とを夫々有し、前記入出庫ポート、前記一の棚部分及び前記二の棚部分は、前記第１載置面との間で前記荷を相互に移載可能に構成されている第２載置面を夫々有する。

この態様によれば、例えば、第１及び第２載置面は、荷の底面における相異なる部分（典型的には、中央寄り部分及び周辺寄り部分）を支持するように構成されており、どちらか一方で荷を支持することが可能である。入出庫ポート、一の棚部分及び二の棚部分における第２載置面上の荷は、移動部の駆動により例えば水平一方向及び鉛直方向に移動可能な載置部の第１載置面上に移載される。具体的には、移動部により、載置部が、第２載置面が存在する鉛直位置且つ水平位置に移動された際に、第２載置面に代わって、第１載置面で荷を支持することで、第２載置面から第１載置面への移載が行われる。典型的には、第１載置面が第２載置面より高くなるまで移動されることで、荷は、第１載置面により支持されることとなる。

また、載置部の第１載置面上の荷は、入出庫ポート、一の棚部分及び二の棚部分における第２載置面上に移載される。具体的には、移動部により、載置部が、第２載置面が存在する鉛直位置且つ水平位置に移動された際に、第１載置面に代わって、第２載置面で荷を支持することで、第１載置面から第２載置面への移載が行われる。典型的には、第１載置面が第２載置面より低くなるまで移動されることで、荷は、第２載置面により支持されることとなる。

以上のように、第１及び第２載置面間で荷を移載することにより、外内移動手段により一の棚部分及び入出庫ポート間で、棚部分間移動手段により一の棚部分及び二の棚部分間で荷を夫々移載することが可能である。

本発明に係る保管庫の他の態様では、当該保管庫は、複数の前記荷を入庫すべき場合に、一の前記搬送車から前記入出庫ポートに載置された一の前記荷が、前記入出庫ポートから前記一の棚部分に水平移動するように前記外内移動手段を制御し、続いて前記一の棚部分に水平移動された前記一の荷が前記二の棚部分に水平移動するように前記棚部分間移動手段を制御し、続いて二の前記搬送車から前記入出庫ポートに載置された二の前記荷が、前記入出庫ポートから前記一の棚部分に水平移動するように前記外内移動手段を制御する制御手段を更に備える。

この態様によれば、外内移動手段及び棚部分間移動手段を相対的に制御し、一の荷及び該一の荷の後に入庫すべき二の荷を連続して効率よく入庫することが可能である。

本発明の第１及び第２保管庫の他の態様では、前記入出庫ポートは、前記軌道における所定の入出庫位置に停止された前記搬送車との間に、前記荷の一つ分の高さより短い距離を有する。

この態様によれば、詳細には、入出庫ポートの第１載置面と、入出庫位置に位置する搬送車の下面と間の距離を、荷の一つ分の高さより短くすることにより、入出庫ポート及び搬送車間での移載時に、搬送車外部に荷の少なくとも上部を露呈させない。これにより、荷が大型化する前と比較して、入出庫ポートにおける鉛直方向の配置が殆ど又は全く下がらないで済む。従って、入出庫ポートについて、荷の大型化に対応しつつ上述した安全上の高さを維持することが可能となる。

この態様では、前記入出庫ポートは、前記載置された荷の位置決めを行う位置決め手段を有し、前記搬送車は、前記入出庫位置に停止された際に、前記外内移動手段により水平移動する荷が通過可能に開いている開口を規定する本体部と、該本体部の内部に前記荷を保持可能な保持手段と、該保持手段により保持された荷を、前記位置決め手段により位置決めした位置決め位置又は該位置決め位置から解除した解除位置に変位させるように昇降可能な昇降手段とを有してもよい。

このように構成すれば、位置決め手段を利用することで、次のように入出庫を効率的に行える。ここに「位置決め手段」とは、入出庫ポートの上面に設けられた複数の位置決めピン等の凸部であって、入出庫ポートと搬送車との間で荷を移載する際の所定の移載位置を意味する。例えば該凸部は、荷の底面に設けられた凹部に係合可能であってもよい。具体的には、例えば、荷を入庫すべき場合に、入出庫位置に停止された搬送車において、グリッパ等の保持手段により入庫すべき荷が保持されており、ホイスト等の昇降手段により保持手段ごと荷が下降され、入出庫ポート上に載置される。この際に、荷が位置決め位置に位置する。ここに「位置決め位置」とは、入出庫ポート側の凸部に荷側の凹部が係合されている状態を示す。続いて、位置決め位置にある荷が、外内移動手段により、出入口を介して一の棚部分又は二の棚部分に水平移動される。この際に、荷が、本体部に規定された開口を通過して、搬送車内部からその側方へ移動される。

一方、荷を出庫すべき場合に、一の棚部分又は二の棚部分の出庫すべき荷が、外内移動手段により、出入口を介して、入出庫ポートに水平移動される。この際に、荷が、本体部における開口を通過して、搬送車側方からその内部へ移動される。すると、入出庫位置に停止されている搬送車において、保持手段により入出庫ポートの荷が保持され、昇降手段により保持手段ごと荷が上昇され、荷の低面が入出庫ポートから離れる。この際に、荷が解除位置に位置する。ここに「解除位置」とは、入出庫ポート側の凸部と荷側の凹部との係合が外れた状態を示す。

以上のように、入出庫の動作における荷の昇降について、昇降手段は、荷を位置決め位置及び解除位置間の距離、即ち位置決め手段の鉛直方向の長さに対応する距離だけ昇降させればよく、入出庫に係る時間をより短縮して、より効率よく入出庫することが可能となる。

本発明の作用及び他の利得は次に説明する実施するための最良の形態から明らかにされる。

第１実施形態に係る保管庫を備える搬送システムの外観を示す斜視図である。 図１の保管庫の内部構造を模式的に示す一方向断面図である。 図１の保管庫の内部構造を模式的に示す他方向断面図である。 図３の棚部分変位手段の動作を説明するための斜視図である。 図１の制御手段による第１連続入庫処理を示すフローチャートである。 図１の制御手段による第１連続出庫処理を示すフローチャートである。 第２実施形態に係る保管庫の内部構造を模式的に示す他方向断面図である。 図７の棚部分間移動手段の動作を説明するための斜視図である。 第２実施形態に係る第２連続入庫処理を示すフローチャートである。 第２実施形態に係る第２連続出庫処理を示すフローチャートである。 本発明に係る保管庫の一例を示す斜視図である。

以下、本発明の実施形態について図を参照しつつ説明する。

（第１実施形態）
（第１実施形態の構成）
図１から図３を参照して、本発明の第１実施形態に係る保管庫の構成について説明する。ここに図１は、第１実施形態に係る保管庫を備える搬送システムの外観を示す斜視図であり、図２は、図１の保管庫の内部構造を模式的に示す、図１の保管庫を前後方向（即ち、「一方向」と称する）に切断した場合の一方向断面図であり、図３は、図２の棚部分変位手段の動作を説明するために、図１の保管庫の上面を水平面で切断した場合の他方向断面図である。

図１において、搬送システム１０００は、レールＲ１、ビークル１０及びストッカ２０の他、制御系として、搬送指示部１００、ビークルコントローラ１０１及びストッカコントローラ１０２を備える。搬送システム１０００は、半導体素子製造における搬送スケジュールに従って、各種製造装置及びストッカ２０等に対してＦＯＵＰ３の搬送を行うと共に、ストッカ２０においてＦＯＵＰ３の収納或いは保管を行う。

ＦＯＵＰ３は、本発明に係る「荷」の一例として、ビークル１０によりレールＲ１に沿って搬送されると共に、ストッカ２０内で、入庫若しくは出庫、又は保管位置の調整のために搬送（即ち、保管庫内搬送）される。ＦＯＵＰ３は、その上面に、ビークル１０及び後述する自動搬送装置３０により把持されるフランジ４を備えている。図３に示すように、ＦＯＵＰ３は、その下面中央部及び側部に、複数の凹部５，６を有する。下面側部に位置する凹部５は、後述するポートＰ１，Ｐ２及び複数の棚部分２１，２３の各々における凸部に対応するサイズに形成されている。一方、下面中央部に位置する凹部６は、後述する載置部３１に設けられた凸部３２に対応するサイズに形成されている。

レールＲ１は、本発明に係る「軌道」の一例として、半導体素子製造施設の天井に敷設されており、ビークル１０が走行するための軌道の役割を果たす。レールＲ１の下方且つこれに隣接する位置に、各種製造装置及びストッカ２０等が設置されている。レールＲ１において、ポートＰ１，Ｐ２の鉛直上方に位置するレール部分は、入出庫位置として設定されている。

図２において、ビークル１０は、本発明に係る「搬送車」の一例として、リニアモータを動力源とするＯＨＴ（天井走行車）であって、レールＲ１に沿って走行し、ＦＯＵＰ３を搬送すると共に、レールＲ１上の入出庫位置で停止し、各種製造装置及びストッカ２０等に夫々備えられたポート（例えば、ポートＰ１）との間でＦＯＵＰ３を移載可能に構成されている。ビークル１０は、本体部１０ａ、ホイスト１１、ベルト１２及びグリッパ１３を備えており、これら各部は、ビークルコントローラ１０１により制御される。

本体部１０ａは、内部に、ＦＯＵＰ３全体を収容可能な空間を有する。この空間は、下方及び少なくとも一側方（具体的には、図２における本体部１０ａの右側方）に開放されている。即ち、本体部１０ａにおいて、空間の下方に位置する開口は、本体部１０ａ内部に収容されているＦＯＵＰ３が鉛直方向に昇降可能であるサイズに形成されている。また、空間の一側方に位置する開口Ｈ０は、ポートＰ１，Ｐ２に載置されたＦＯＵＰ３が前記一側方に水平移動可能であるサイズに形成されている。

ホイスト１１は、ビークル１０内部に取り付けられている。ホイスト１１は、ベルト１２と共に本発明に係る「昇降手段」の一例を成しており、アクチュエータ或いはモータにより駆動され、ベルト１２を巻き上げ又は巻き下げ可能に構成されている。ベルト１２について、その一端がホイスト１１に固定され、その他端がグリッパ１３に固定されている。グリッパ１３は、本発明に係る「保持手段」の一例として、アクチュエータ或いはモータにより駆動され、フランジ４を把持することによりＦＯＵＰ３を保持する保持状態、及びＦＯＵＰ３（言い換えれば、フランジ４）を解放する解放状態間で変位可能に構成されている。

ホイスト１１は、ベルト１２の巻き上げ又は巻き下げ動作により、グリッパ１３を昇降する。このグリッパ１２（言い換えれば、ＦＯＵＰ３）の昇降距離は、例えば、ポートＰ１，Ｐ２に、本発明に係る「位置決め手段」の一例たる位置決めピンが設けられている場合、その位置決めピンの長さに若干の有余を加えた距離とする。

ストッカ２０は、本発明に係る「第１の保管庫」の一例として、ビークル１０により搬送されるＦＯＵＰ３を複数収容或いは保管可能である。ストッカ２０は、本体部２０ａ、ポートＰ１，Ｐ２、複数の棚部分２１，２３、自動搬送装置３０、並びにバッファ装置４０を備える。

本体部２０ａ（即ち、本発明に係る「筐体又はフレーム」の一例）には、レールＲ１側の側面（即ち、図１における右面）に、入出庫用の２つの開口Ｈ１，Ｈ２が設けられている。２つの開口Ｈ１，Ｈ２は、本発明に係る「出入口」の一例として、ポートＰ１，Ｐ２に夫々隣接しており、ポートＰ１又はＰ２と本体部２０ａ内部との間で、ＦＯＵＰ３を出し入れ可能であるサイズに形成されている。本体部２０ａ内部には、複数の棚部分２１，２３、自動搬送装置３０及びバッファ装置４０が設けられている。尚、本実施形態では、ストッカ２０における、２つの開口Ｈ１，Ｈ２のうち一の開口Ｈ１に係る構成及び動作について詳述し、開口Ｈ１と同一の他の開口Ｈ２に係る構成及び動作については省略することとする。

ポートＰ１は、本発明に係る「入出庫ポート」の一例として、本体部２０ａのレールＲ１側の外面に開口Ｈ１に隣接して、且つビークル１０とストッカ２０との間でＦＯＵＰ３を移載可能にレールＲ１の鉛直下方向に設けられている。ポートＰ１は、ビークル１０から移載されたＦＯＵＰ３を、出入口Ｈ１を介して、本体部２０ａ内部へ向けて水平移動可能なコンベア４１を備える。

コンベア４１は、本発明に係る「外内移動手段」の一部として機能し、アクチュエータ或いはモータにより駆動され、ポートＰ１上のＦＯＵＰ３を、複数の棚部分２１，２３のうち、開口Ｈ１に隣接する棚部分（即ち、図２において二点鎖線で示されるエリアＡ１に位置する）上に水平移動するように構成されている。コンベア４１は、ＦＯＵＰ３の下面側部を支持可能な載置面（即ち、本発明に係る「第２載置面」の一例）を夫々有する、一対のコンベア部分４１ａ，４１ｂから構成されている。これら載置面は、入出庫位置に停止したビークル２の下面から、鉛直下方向に距離Ｌ１（即ち、図２に示される）をとった高さに夫々設定されている。距離Ｌ１は、ＦＯＵＰ３の１つ分の高さより短いものとする。

複数の棚部分２１，２３について、鉛直方向に７段、各段における水平一方向（即ち、図１における前後方向）に３列、且つ各段における厚み方向（即ち、図１における左右方向）に２列として、合計４２個の棚部分が設置可能である。本実施形態では、最上段における厚み方向（即ち、図３における左右方向）の２列のうち開口Ｈ１側の１列について、水平一方向（即ち、図３における上下方向）に通例３個であるところを２個のみとしている。即ち、複数の棚部分２１，２３は、合計４１個の棚部分から構成されることとなる。

図３において、複数の棚部分２１，２３のうち、上述した最上段における開口Ｈ１側の２個の棚部分２３は、本発明に係る「一の棚部分」及び「二の棚部分」の一例として、相互に連結されている。２個の棚部分２３は、後述する変位機構により駆動され、レールＲ１の方位に対し平行な方向（即ち、水平一方向）に移動可能に構成されている。各棚部分２３は、ＦＯＵＰ３の下面側部を支持可能な載置面（即ち、本発明に係る「第２載置面」の一例）を夫々有する、一対の載置部２３ａ，２３ｂから構成されている。

他方、複数の棚部分２１，２３のうち、２個の棚部分２３より他の各棚部分２１は、移動することなく、ＦＯＵＰ３の下面側部を支持可能な載置面（即ち、本発明に係る「第２載置面」の一例）を有し、その載置面は、例えばコの字型に形成されている。各載置面には、凸部２２が設けられている。凸部２２は、ＦＯＵＰ３の下面側部に形成された凹部５に係合可能であるサイズに形成されている。

自動搬送装置３０は、本発明に係る「内部移動手段」の一例として、ストッカコントローラ１０２の制御により、複数の棚部分２１，２３間でＦＯＵＰ３を自動的に搬送可能な保管庫内搬送装置たるスタッカ（或いはスタッカロボット）である。自動搬送装置３０は、載置部３１、本体部３０ａ、鉛直ガイド部３４及び水平伸縮旋回アーム（以下、適宜単に「アーム」と称する）３５を備えており、スライドガイド３３、鉛直ガイド部３４及び水平伸縮旋回アーム３５の各部が、ストッカコントローラ１０２により制御される。

載置部３１は、複数のローラ３３による水平一方向への駆動、鉛直ガイド部３４による鉛直方向への駆動、及びアーム３５による厚み方向への駆動により、複数の棚部分２１，２３間を往復移動可能に構成されている。載置部３１は、ＦＯＵＰ３の下面中央部を支持可能な載置面（即ち、本発明に係る「第１載置面」の一例）を有する。図３において、載置部３１は、その載置面に、凸部３２を有する。凸部３２は、ＦＯＵＰ３の下面中央部に形成された凹部６に対応するサイズに形成されており、ＦＯＵＰ３の移載時にこの凹部６に係合される。

本体部３０ａの底面には、アクチュエータ或いはモータにより駆動する複数のローラ３３が、ストッカ２０内部の床面に敷設されたレールＲ２０上を回転可能に取り付けられている。本体部３０ａには、上下方向に、鉛直ガイド部３４が固定されている。本体部３０ａは、複数のローラ３３の回転により、鉛直ガイド部３４（言い換えれば、載置部３１）を水平一方向に移動可能に構成されている。

鉛直ガイド部３４には、アーム３５が鉛直方向にのみ移動可能に取り付けられている。鉛直ガイド部３４は、アクチュエータ或いはモータにより鉛直方向に回動する機構３４ａと、該機構３４ａにおける回動部位に固定された回動部３４ｂとから成っている。鉛直ガイド部３４は、機構３４ａの動作により、回動部３４ｂの上面に旋回自在に取り付けられたアーム３５（言い換えれば、載置部３１）を鉛直方向に往復移動可能に構成されている。

アーム３５には、載置部３１が厚み方向にのみ移動可能に取り付けられている。アーム３５は、上下方向に連結された２つのアーム部から成っている。これら２つのアーム部は、アクチュエータ（例えば、油圧シリンダ等）或いはモータにより相互に旋回することにより、厚み方向に伸縮自在に構成されている。アーム３５は、２つのアーム部の動作により、２つのアーム部のうち上方のアーム部に固定された載置部３１を厚み方向に往復移動可能に構成されている。

バッファ装置４０は、本発明に係る「棚部分変位手段」の一例として、２個の棚部分２３を一体に変位可能に構成されている。バッファ装置４０は、２個の棚部分２３、該２個の棚部分２３を水平一方向に連結する連結部４７、及び後述する変位機構を備える。

次に、図４を参照して、バッファ装置４０の変位機構について詳細に説明する。ここに図４は、図３のバッファ装置４０の外観を詳細に示す斜視図である。

図４において、変位機構は、変位ガイド４８、モータ４９及びボール螺子５０から構成されており、モータ４９がストッカコントローラ１０２により制御される。

連結部４７の下部には、水平一方向に敷設された変位ガイド４８が嵌合されている。また、連結部４７には、モータの駆動により回転するボール螺子５０が取り付けられている。連結部４７は、このボール螺子５０の回転により、変位ガイド４８に沿って水平一方向に往復移動し、２個の棚部分２３のうちのいずれかを開口Ｈ１に隣接する位置に配置するように構成されている。

上述した変位機構により、開口Ｈ１に隣接する位置に配置された各棚部分２３は、本発明に係る「外内移動手段」の一部として機能し、各載置面上のＦＯＵＰ３をポートＰ１上に水平移動するように構成されている。次に、こうした各棚部分２３の構成について説明する。

各棚部分２３は、ＦＯＵＰ３の下面側部を支持可能な一対の搬送ベルト２３ａ，２３ｂ、駆動源たるモータ４３、該モータ４３の駆動により回転する駆動ローラ４４、該駆動ローラ４４と共に一方の搬送ベルト２３ａを回動する補助ローラ４５、及び一方の搬送ベルト２３ａの回動を他方の搬送ベルト２３ｂに伝達する伝達シャフト４６から構成されている。尚、本実施形態では、上述したコンベア４１は、各棚部分２３と同一の要素を備えると共に、各棚部分２３と同様に機能し、ポートＰ１上のＦＯＵＰ３を、開口Ｈ１に隣接する棚部分２３上に移動するように構成されている。

再び図１において、搬送指示部１００は、メインコントローラたる製造指示部における半導体素子製造スケジュールに基づいてＦＯＵＰ３の搬送スケジュールを作成し、該搬送スケジュールに基づいて、ビークルコントローラ１０１及びストッカコントローラ１０２を制御可能に構成された、ＭＣＳ（Ｍａｔｅｒｉａｌ Ｃｏｎｔｒｏｌ Ｓｙｓｔｅｍ）である。搬送指示部１００は、ビークルコントローラ１０１に対し、ビークル１０によるＦＯＵＰ３の搬送を指示すると共に、ストッカコントローラ１０２に対し、ストッカ２０内部におけるＦＯＵＰ３の搬送を指示可能に構成されている。

ビークルコントローラ１０１は、搬送指示部１００の指示により、ビークル１０各部を制御し、レールＲ１に沿ったＦＯＵＰ３の搬送を実行すると共に、各種製造装置及びストッカ２０等との間でＦＯＵＰ３の移載を実行可能に構成されている。

ストッカコントローラ１０２は、搬送指示部１００の指示により、ポートＰ１及び自動搬送装置３０の各部を制御し、ビークル１０との間でポートＰ１を介してＦＯＵＰ３の移載（即ち、入庫若しくは出庫）を実行すると共に、自動搬送装置３０各部を制御し、ストッカ２０内部におけるＦＯＵＰ３の搬送（即ち、保管庫内搬送）を実行可能に構成されている。また、ストッカコントローラ１０２は、本発明に係る「制御手段」の一例として、バッファ装置４０の各部を制御し、連続する入庫及び出庫に対応すべく、後述する第１連続入庫処理及び第１連続出庫処理を実行可能に構成されている。即ち、上述した入庫若しくは出庫と保管庫内搬送との動作間で、保管庫内バッファたる２個の棚部分２３（以下、個々の棚部分２３を区別するため「バッファＢ１，Ｂ２」と称する）を使用してＦＯＵＰ３の一時的収容或いは保管を行う。

（第１実施形態の動作）
（第１連続入庫処理）
次に、再び図４、及び図５を参照して、ストッカコントローラ１０２による第１連続入庫処理について説明する。ここに図５は、第１連続入庫処理を示すフローチャートである。第１連続入庫処理では、一のビークル１０により一のＦＯＵＰ３が入庫された後に、二のビークル１０により二のＦＯＵＰ３が入庫される際の動作が示される。また、初期状態として、連結部４７が、最初に入庫すべき一のＦＯＵＰ３を支持可能に空荷のバッファＢ１が開口Ｈ１に隣接する第１位置をとるものとする。

図５において、先ずビークルコントローラ１０１の制御により、一のビークル１０が入出庫位置に停止される（ステップＳ４１）。すると、一のビークル１０に保持されている一のＦＯＵＰ３がその底面とコンベア４１の載置面とが接触する高さまで下降されると共に、一のＦＯＵＰ３がグリッパ１３から解放されることにより、ポートＰ１に移載される（ステップＳ４２）。この際、ＦＯＵＰ３の上部が、ビークル１０の下方で露呈されることがない。すると、ストッカコントローラ１０２の制御によりコンベア４１が回動され、ポートＰ１上の一のＦＯＵＰ３が、ビークル１０の開口Ｈ０及びストッカ２０の開口Ｈ１を介して、開口Ｈ１に隣接する、図４におけるバッファＢ１上に移動される（ステップＳ４３）。この後、ビークルコントローラ１０１の制御により、一のビークル１０が次の搬送元に向けて走行される（ステップＳ４４）。すると、ストッカコントローラ１０２の制御によりモータ４９が駆動され、連結部４７が、第１位置から、次に入庫すべき二のＦＯＵＰ３を支持可能に空荷のバッファＢ２が開口Ｈ１に隣接する第２位置をとるように移動される（ステップＳ４５）。尚、ステップＳ４５の動作は、ステップＳ４４の動作と並行して、又はステップＳ４４より前に行われても構わない。

続いて、ビークルコントローラ１０１の制御により、二のビークル１０が入出庫位置に停止される（ステップＳ４６）。すると、二のビークル１０に保持されている二のＦＯＵＰ３が、ポートＰ１に移載されると共に（ステップＳ４７）、ストッカコントローラ１０２の制御により、ポートＰ１上の二のＦＯＵＰ３が、出入口Ｈ１に隣接するバッファＢ２上に移動される（ステップＳ４８）。この後、ビークルコントローラ１０１の制御により、二のビークル１０が次の搬送元に向けて走行される（ステップＳ４９）。すると、ストッカコントローラ１０２の制御により、連結部４７が、第２位置から再び第１位置をとるように移動される（ステップＳ５０）。これにより、一連の第１連続入庫処理が終了される。

（第１連続出庫処理）
次に、再び図４、及び図６を参照して、ストッカコントローラ１０２による第１連続出庫処理について説明する。ここに図６は、第１連続出庫処理を示すフローチャートである。第１連続出庫処理では、一のビークル１０により一のＦＯＵＰ３が出庫された後に、二のビークル１０により二のＦＯＵＰ３が出庫される際の動作が示される。また、初期状態として、連結部４７が、最初に出庫すべき一のＦＯＵＰ３を支持しているバッファＢ１が開口Ｈ１に隣接する第１位置をとるものとする。

図６において、先ずビークルコントローラ１０１の制御により、一のビークル１０が入出庫位置に停止される（ステップＳ５１）。すると、ストッカコントローラ１０２の制御によりバッファＢ１の搬送ベルト２３ａ，２３ｂが回動され、バッファＢ１上の一のＦＯＵＰ３が、ストッカ２０の開口Ｈ１及びビークル１０の開口Ｈ０を介してポートＰ１上に移動される（ステップＳ５２）。すると、ビークルコントローラ１０１の制御により、ポートＰ１上の一のＦＯＵＰ３がグリッパ１３に保持されると共に、一のＦＯＵＰ３がその底面とコンベア４１の載置面とが非接触となる高さまで上昇されることにより、一のビークル１０に移載される（ステップＳ５３）。この後、一のビークル１０が次の搬送先に向けて走行される（ステップＳ５４）。すると、ストッカコントローラ１０２の制御によりモータ４９が駆動され、連結部４７が、第１位置から、次に出庫すべき二のＦＯＵＰ３を支持しているバッファＢ２が開口Ｈ１に隣接する第２位置をとるように移動される（ステップＳ５５）。尚、ステップＳ５５の動作は、ステップＳ５３及びステップＳ５４の動作と並行して、又はステップＳ５３及びステップＳ５４より前に行われても構わない。

続いて、ビークルコントローラ１０１の制御により、二のビークル１０が入出庫位置に停止される（ステップＳ５６）。すると、ストッカコントローラ１０２の制御により、バッファＢ２上の二のＦＯＵＰ３が、ポートＰ１上に移動される（ステップＳ５７）。すると、ビークルコントローラ１０１の制御により、ポートＰ１上の二のＦＯＵＰ３が、二のビークル１０に移載される（ステップＳ５８）。この後、二のビークル１０が次の搬送先に向けて走行される（ステップＳ５９）。すると、ストッカコントローラ１０２の制御により、連結部４７が、第２位置から、初期状態をとるべく第１位置をとるように移動される（ステップＳ６０）。これにより、一連の第１連続出庫処理が終了される。

以上のように、本実施形態の第１連続出庫処理によれば、ポートＰ１からストッカ２０内部に移動されたＦＯＵＰ３を一時的に載置可能であるバッファＢ１，Ｂ２を少なくとも２つ設けると共に、各入出庫に際して該２つのバッファＢ１，Ｂ２のうちのどちらかを開口Ｈ１に交互に隣接させる。これにより、自動搬送装置３０の動作性に関わらず、ポートＰ１からの連続する出庫を効率的に行うことが可能である。

また、本実施形態の第１連続入庫処理及び第１連続出庫処理によれば、ポートＰ１及び入出庫位置に停止されたビークル１０間の鉛直方向の距離Ｌ１を、ＦＯＵＰ３の一つ分の高さより短くして、移載時にＦＯＵＰ３の少なくとも上部を露呈させない。これにより、ＦＯＵＰ３の大型化以前と比較して、ポートＰ１の鉛直方向の配置が下がらない。従って、ＦＯＵＰ３の大型化に対応しつつ安全上の高さを維持することが可能となる。

（第２実施形態）
（第２実施形態の構成）
次に、図７及び図８を参照して、本発明の第２実施形態に係る保管庫の構成について説明する。ここに図７は、第２実施形態に係る保管庫の内部構造を模式的に示す他方向断面図であり、図８は、第２実施形態に係る外内移動手段及び棚部分間移動手段の外観を詳細に示す斜視図である。尚、第２実施形態では、第１実施形態と同一に構成される要素について、同一の符号を付与すると共に、その説明について適宜省略する。

図７において、ストッカ１２０は、本発明に係る「第２の保管庫」の一例として、ポートＰ１、複数の棚部分２１，１２３及び自動搬送装置３０の他に、ポート間移動装置１５０及びバッファ間移動装置１６０を備える。

ポート間移動装置１５０は、本発明に係る「外内移動手段」の一例として、ポートＰ１１、及び２個の棚部分１２３（即ち、バッファＢ１１及びバッファＢ１２）のうち開口Ｈ１１に隣接する棚部分たるバッファＢ１１間でＦＯＵＰ３を移動可能に構成されている。ポート間移動装置１５０は、ＦＯＵＰ３の下面中央部を支持可能なアーム１５１（即ち、本発明に係る「載置部」の一例）、及び後述する移動部を備える。

図８において、ポート間移動装置１５０における移動部は、横行ガイド１５３、横行モータ１５４、本体部１５５、昇降部１５６及び昇降モータ１５７から構成されており、横行モータ１５４及び昇降モータ１５７がストッカコントローラにより制御される。

本体部１５５の下部には、横行ガイド１５３が嵌合されている。横行ガイド１５３は、ポートＰ１１の下方に厚み方向に設置されており、横行モータ１５４により厚み方向に回動するコンベアを含んでいる。本体部１５５は、このコンベアの回動により、アーム１５１を厚み方向に往復移動可能に構成されている。本体部１５５の上面には、昇降部１５６が鉛直方向にのみ移動可能に取り付けられている。昇降部１５６は、昇降モータ１５７により鉛直方向に往復移動可能に構成されている。

バッファ間移動装置１６０は、本発明に係る「棚部分間移動手段」の一例として、２個の棚部分１２３（即ち、バッファＢ１１及びバッファＢ１２）間でＦＯＵＰ３を移動可能に構成されている。バッファ間移動装置１６０は、ポート間移動装置１５０のアーム１５１と同様のアーム１６１、及び後述する移動部を備える。

バッファ間移動装置１６０における移動部は、横行ガイド１６３、横行モータ１６４、本体部１６５、昇降ガイド１６６及び昇降モータ１６７から構成されており、横行モータ１６４及び昇降モータ１６７がストッカコントローラにより制御される。

本体部１６５には、横行ガイド１６３が嵌合されている。横行ガイド１６３は、バッファＢ１１及びバッファＢ１２の上方に水平一方向に設置されており、横行モータ１６４により水平一方向に回動するローラを含んでいる。本体部１６５は、このローラの回動により、アーム１６１を水平一方向に往復移動可能に構成されている。また、本体部１６５の上面には、昇降ガイド１６６が鉛直方向に設置されている。昇降ガイド１６６は、昇降モータ１６７により鉛直方向に回動するローラを含んでいる。本体部１６５は、このローラの回動により、アーム１６１を鉛直方向に往復移動可能に構成されている。

ポート間移動装置１５０及びバッファ間移動装置１６０に共通する各アーム１５１，１６１は、ＦＯＵＰ３の下面中央部を支持可能な三角形の載置面（即ち、本発明に係る「第１載置面」の一例）を有する。一方、ポートＰ１１は、ＦＯＵＰ３の下面側部を支持可能なコの字型の載置面（即ち、本発明に係る「第２載置面」の一例）を有する。また、バッファ間移動装置１６０が対応するバッファＢ１１及びバッファＢ１２の各々は、ＦＯＵＰ３の下面側部を支持可能な矩形の載置面（即ち、本発明に係る「第２載置面」の一例）を夫々有する、一対の載置部１２３ａ，１２３ｂから構成されている。即ち、アーム１５１，１６１の載置面、及びポートＰ１１又はバッファＢ１１，Ｂ１２の載置面は、相互に相補の平面形状を有している。このような２つの載置面間で、ＦＯＵＰ３の移載が行われる。

（第２実施形態の動作）
（第２連続入庫処理）
次に、再び図８、及び図９を参照して、ストッカコントローラによる第２連続入庫処理について説明する。ここに図９は、第２連続入庫処理を示すフローチャートである。第２連続入庫処理では、図５の第１連続入庫処理と同様にして、一のビークル１０により一のＦＯＵＰ３が入庫された後に、二のビークル１０により二のＦＯＵＰ３が入庫される際の動作が示される。また、初期状態として、バッファＢ１１は、最初に入庫すべき一のＦＯＵＰ３を支持可能に空荷であって、バッファ間移動装置１６０のアーム１６１は、ポート間移動装置１５０のアーム１５１の移動を妨げないようにバッファＢ１２側に位置するものとする。

図９において、先ずビークルコントローラの制御により、一のビークル１０が入出庫位置に停止される（ステップＳ６１）。すると、一のビークル１０に保持されている一のＦＯＵＰ３がその底面とコンベア１４１の載置面とが接触する高さまで下降されると共に、一のＦＯＵＰ３がグリッパ１３から解放されることにより、ポートＰ１１に移載される（ステップＳ６２）。すると、ストッカコントローラの制御によりアーム１５１が厚み方向及び鉛直方向に移動され、ポートＰ１１及びバッファＢ１１の載置面に対し高低することにより、ポートＰ１１上の一のＦＯＵＰ３が、ビークル１０の開口Ｈ０及びストッカ１２０の開口Ｈ１１を介してバッファＢ１上に移動される（ステップＳ６３）。この後、ビークルコントローラの制御により、一のビークル１０が次の搬送元に向けて走行される（ステップＳ６４）。すると、ストッカコントローラの制御によりアーム１６１が厚み方向及び鉛直方向に移動され、バッファＢ１１及びバッファＢ１２の載置面に対し高低することにより、バッファＢ１１上の一のＦＯＵＰ３が、バッファＢ１２上に移動される（ステップＳ６５）。

続いて、ビークルコントローラの制御により、二のビークル１０が入出庫位置に停止される（ステップＳ６６）。すると、二のビークル１０に保持されている二のＦＯＵＰ３が、ポートＰ１１に移載されると共に（ステップＳ６７）、ストッカコントローラの制御により、ポートＰ１１上の二のＦＯＵＰ３がバッファＢ１上に移動される（ステップＳ６８）。この後、ビークルコントローラの制御により、二のビークル１０が次の搬送元に向けて走行される（ステップＳ６９）。すると、ストッカコントローラの制御により、バッファＢ１１上の二のＦＯＵＰ３が、バッファＢ１２上に移動される（ステップＳ７０）。これにより、一連の第２連続入庫処理が終了される。

（第２連続出庫処理）
次に、再び図８、及び図１０を参照して、ストッカコントローラによる第２連続出庫処理について説明する。ここに図１０は、第２連続出庫処理を示すフローチャートである。第２連続出庫処理では、図６の第１連続出庫処理と同様にして、一のビークル１０により一のＦＯＵＰ３が出庫された後に、二のビークル１０により二のＦＯＵＰ３が出庫される際の動作が示される。また、初期状態として、バッファＢ１１は、最初に出庫すべき一のＦＯＵＰ３を支持しており、バッファ間移動装置１６０のアーム１６１は、ポート間移動装置１５０のアーム１５１の移動を妨げないようにバッファＢ１２側に位置するものとする。

図１０において、先ずビークルコントローラの制御により、一のビークル１０が入出庫位置に停止される（ステップＳ７１）。すると、ストッカコントローラの制御によりアーム１５１が厚み方向及び鉛直方向に移動され、バッファＢ１１及びポートＰ１１の載置面に対し高低することにより、バッファＢ１１上の一のＦＯＵＰ３が、ポートＰ１１上に移動される（ステップＳ７２）。すると、ビークルコントローラの制御により、ポートＰ１１上の一のＦＯＵＰ３がグリッパ１３に保持されると共に、一のＦＯＵＰ３が底面とコンベア１４１の載置面とが非接触となる高さまで上昇されることにより、一のビークル１０に移載される（ステップＳ７３）。この後、一のビークル１０が次の搬送先に向けて走行される（ステップＳ７４）。すると、ストッカコントローラの制御によりアーム１６１が厚み方向及び鉛直方向に移動され、バッファＢ１２及びバッファＢ１１の載置面に対し高低することにより、バッファＢ１２上の二のＦＯＵＰ３が、バッファＢ１１上に移動される（ステップＳ７５）。

続いて、ビークルコントローラの制御により、二のビークル１０が入出庫位置に停止される（ステップＳ７６）。すると、ストッカコントローラの制御により、バッファＢ２上の二のＦＯＵＰ３が、ポートＰ１１上に移動される（ステップＳ７７）。すると、ビークルコントローラの制御により、ポートＰ１１上の二のＦＯＵＰ３が、二のビークル１０に移載される（ステップ７８）。この後、二のビークル１０が次の搬送先に向けて走行される（ステップＳ７９）。すると、ストッカコントローラの制御により、アーム１６１が、初期状態をとるべくバッファＢ１２側に移動される。これにより、一連の第２連続出庫処理が終了される。

以上のように、本実施形態の第２連続出庫処理によれば、ポートＰ１１からストッカ１２０内部に移動されたＦＯＵＰ３を一時的に載置可能であるバッファＢ１１，Ｂ１２を少なくとも２つ設けると共に、開口Ｈ１１に隣接するバッファＢ１１にＦＯＵＰ３が載置されるや否や、バッファＢ１１に隣接するバッファＢ１２にそのＦＯＵＰ３を退かす。これにより、自動搬送装置３０の動作性に関わらず、ポートＰ１１からの連続する出庫を効率的に行うことが可能である。

次に、図１１を参照して、本発明に係る保管庫の一例について説明する。図１１は、本発明に係る保管庫の一例を備える搬送システムの外観を示す斜視図である。

図１１において、ストッカ２２０本体には、第１開口Ｈ２１及び第２開口Ｈ２２が設けられている。ストッカ２２０は、第１開口Ｈ２１に隣接する第１ポートＰ２１、及び第２開口Ｈ２２に隣接する第２ポートＰ２２を備える。こうしたストッカ２２０の各部を制御するストッカコントローラは、第１ポートＰ２１を入庫専用のポートとして、第２ポートＰ２２を出庫専用のポートとして設定する。この場合、第１及び第２のポートＰ２１，２２に対し、上述した保管庫内バッファを機能させることにより、ストッカ２２０において入出庫されるＦＯＵＰ３の数を増倍させることが可能である。また、特に、入庫専用の第１ポートＰ２１に対してのみ、２つの保管庫内バッファを機能させることにより、出庫よりも所要時間が長いとされる入庫に係る時間を短縮し、連続する入庫をより効率的に行うことが可能である。

本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う保管庫もまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。

３…ＦＯＵＰ（荷）、１０…ビークル（天井走行車）、２０…ストッカ（保管庫）、２１，２３…複数の棚部分、３０…自動搬送装置、４０…バッファ装置、１０２…ストッカコントローラ、１０００…搬送システム

Claims (8)

1. 天井又は該天井近傍に敷設された軌道に沿って走行すると共に荷を搬送する搬送車との間で前記荷の入出庫が行われる保管庫であって、
   内部が鉛直方向に複数段に分断されていると共に、前記荷を出し入れ可能な出入口が、前記複数段のうち少なくとも一つの段に少なくとも一つ設けられている筐体又はフレームと、
   該筐体又はフレーム外にて前記出入口に隣接しており、前記荷を載置可能である入出庫ポートと、
   前記筐体又はフレーム内にて前記荷を少なくとも水平一方向に往復移動可能であると共に前記鉛直方向に往復移動可能な内部移動手段と、
   前記筐体又はフレーム内に、前記複数段の各々において前記少なくとも水平一方向に広がるように配列されており、前記内部移動手段により移動される荷を収容又は載置可能に夫々構成されている複数の棚部分と、
   該複数の棚部分のうち一の棚部分及び二の棚部分を、前記一の棚部分が前記出入口に隣接する第１位置と、前記二の棚部分が前記出入口に隣接する第２位置との間で、一体に変位可能な棚部分変位手段と、
   前記第１位置に変位された前記一の棚部分又は前記第２位置に変位された前記二の棚部分と、前記入出庫ポートとの間で、前記出入口を介して前記荷を水平移動可能な外内移動手段と
   を備えることを特徴とする保管庫。
2. 前記一の棚部分及び前記二の棚部分は、前記軌道の方位に平行な方位に連結されており、
   前記棚部分変位手段は、前記一の棚部分及び前記二の棚部分を、前記平行な方位に往復移動可能である
   ことを特徴とする請求項１に記載の保管庫。
3. 当該保管庫は、複数の前記荷を入庫すべき場合に、
   一の前記搬送車から前記入出庫ポートに載置された一の前記荷が、前記入出庫ポートから前記一の棚部分に水平移動するように前記外内移動手段を制御し、
   続いて前記一の棚部分及び前記二の棚部分が前記第１位置から前記第２位置に変位するように前記棚部分変位手段を制御し、
   続いて二の前記搬送車から前記入出庫ポートに載置された二の前記荷が、前記入出庫ポートから前記二の棚部分に水平移動するように前記外内移動手段を制御する
   制御手段を更に備えることを特徴とする請求項１又は２に記載の保管庫。
4. 天井又は該天井近傍に敷設された軌道に沿って走行すると共に荷を搬送する搬送車との間で前記荷の入出庫が行われる保管庫であって、
   内部が鉛直方向に複数段に分断されていると共に、前記荷を出し入れ可能な出入口が、前記複数段のうち少なくとも一つの段に少なくとも一つ設けられている筐体又はフレームと、
   該筐体又はフレーム外にて前記出入口に隣接しており、前記荷を載置可能である入出庫ポートと、
   前記筐体又はフレーム内にて前記荷を少なくとも水平一方向に往復移動可能であると共に前記鉛直方向に往復移動可能な内部移動手段と、
   前記筐体又はフレーム内に、前記複数段の各々において前記少なくとも水平一方向に広がるように配列されており、前記内部移動手段により移動される荷を収容又は載置可能に夫々構成されている複数の棚部分と、
   該複数の棚部分のうち前記出入口に隣接する一の棚部分と、前記入出庫ポートとの間で、前記出入口を介して前記荷を水平移動可能な外内移動手段と、
   前記内部移動手段とは別に設けられており、前記一の棚部分と、前記複数の棚部分のうち前記一の棚部分に隣接する二の棚部分との間で、前記荷を水平移動可能な棚部分間移動手段と
   を備えることを特徴とする保管庫。
5. 前記外内移動手段及び前記棚部分間移動手段は、
   前記荷をその底側から支持可能な第１載置面を有する載置部と、
   該載置部を、前記一の棚部分及び前記入出庫ポート間で、又は前記一の棚部分及び前記二の棚部分間で往復移動可能である移動部と
   を夫々有し、
   前記入出庫ポート、前記一の棚部分及び前記二の棚部分は、前記第１載置面との間で前記荷を相互に移載可能に構成されている第２載置面を夫々有する
   ことを特徴とする請求項４に記載の保管庫。
6. 当該保管庫は、複数の前記荷を入庫すべき場合に、
   一の前記搬送車から前記入出庫ポートに載置された一の前記荷が、前記入出庫ポートから前記一の棚部分に水平移動するように前記外内移動手段を制御し、
   続いて前記一の棚部分に水平移動された前記一の荷が前記二の棚部分に水平移動するように前記棚部分間移動手段を制御し、
   続いて二の前記搬送車から前記入出庫ポートに載置された二の前記荷が、前記入出庫ポートから前記一の棚部分に水平移動するように前記外内移動手段を制御する
   制御手段を更に備えることを特徴とする請求項４又は５に記載の保管庫。
7. 前記入出庫ポートは、前記軌道における所定の入出庫位置に停止された前記搬送車との間に、前記荷の一つ分の高さより短い距離を有する
   ことを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の保管庫。
8. 前記入出庫ポートは、前記載置された荷の位置決めを行う位置決め手段を有し、
   前記搬送車は、
   前記入出庫位置に停止された際に、前記外内移動手段により水平移動する荷が通過可能に開いている開口を規定する本体部と、
   該本体部の内部に前記荷を保持可能な保持手段と、
   該保持手段により保持された荷を、前記位置決め手段により位置決めした位置決め位置又は該位置決め位置から解除した解除位置に変位させるように昇降可能な昇降手段と
   を有することを特徴とする請求項７に記載の保管庫。

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