JP2002134582A - ウェハーロードポートの位置決め装置と方法 - Google Patents
ウェハーロードポートの位置決め装置と方法Info
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 早急且つ、簡便に位置決めができ、且つ、ロ
ードポートのリフトが可能であって、ロードポートを製
造工程の工作台に容易に取り付けて加工できるようにす
る。 【解決手段】 ロードポート２０の底部に設置し、ロー
ドポート２０の高度を制御するのに供するリフト装置５
０と、位置決めフレーム３０の頂端に設置している連接
座４１と、上向きに突起した位置決め部品４３と、底端
には位置決め部品４３と相互に止め合う止め合い槽４４
を設置している支え座４２と、ロードポート２０と製造
工程の工作台の相対位置を調整するのに用いる垂直調整
装置及び水平調整装置と、ロードポート２０と製造工程
の工作台間との間隙の傾斜角度を調整するのに用いる傾
斜調整装置とから成るウェハーロードポートの位置決め
装置とその位置決め方法。
ードポートのリフトが可能であって、ロードポートを製
造工程の工作台に容易に取り付けて加工できるようにす
る。 【解決手段】 ロードポート２０の底部に設置し、ロー
ドポート２０の高度を制御するのに供するリフト装置５
０と、位置決めフレーム３０の頂端に設置している連接
座４１と、上向きに突起した位置決め部品４３と、底端
には位置決め部品４３と相互に止め合う止め合い槽４４
を設置している支え座４２と、ロードポート２０と製造
工程の工作台の相対位置を調整するのに用いる垂直調整
装置及び水平調整装置と、ロードポート２０と製造工程
の工作台間との間隙の傾斜角度を調整するのに用いる傾
斜調整装置とから成るウェハーロードポートの位置決め
装置とその位置決め方法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ウェハーロードポ
ートの位置決め装置とその位置決め方法に関するもので
あり、特に、半導体の製造工程に於けるウェハーロード
ポートを製造工程の工作台のインターフェースと接合す
る位置決め装置とその位置決め方法に関するものであ
る。
ートの位置決め装置とその位置決め方法に関するもので
あり、特に、半導体の製造工程に於けるウェハーロード
ポートを製造工程の工作台のインターフェースと接合す
る位置決め装置とその位置決め方法に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、ウェハー及びリンクウィッドクリ
スタルディスプレイのフェースプレート等の半導体の製
造工程に於て、必ず、ウェハーボックスを使用して前記
半導体のウェハー或いはその他の基板をローディングし
なければならない。更に、運送設備を使用して前記ウェ
ハーボックスを製造中の各種製造工程の工作台に運送し
て、不同種類の加工工程を進行している。
スタルディスプレイのフェースプレート等の半導体の製
造工程に於て、必ず、ウェハーボックスを使用して前記
半導体のウェハー或いはその他の基板をローディングし
なければならない。更に、運送設備を使用して前記ウェ
ハーボックスを製造中の各種製造工程の工作台に運送し
て、不同種類の加工工程を進行している。
【０００３】前記ウェハーボックスの主要な機能はウェ
ハー及び各種基板を受け入れるものである。又、前記ウ
ェハーボックスの内部には清浄な保護気体を一杯に充填
している。斯くして、前記ウェハー及び基板は外界の空
気及び微粒塵埃の汚染から免れることができる。更に、
各製造工程の工作台には必ずインプット及びアウトプッ
トの装置を設置しなければならない。それは前記ウェハ
ー或いは基板を外界の環境と隔離した状態の下で、前記
ウェハー或いは基板を製造工程の工作台の中にローディ
ングするのに用いる。而して、更に、必ずロードポート
を設置しなければならない。前記ロードポートは前記ウ
ェハーボックスと製造工程の工作台のインプット／アウ
トプット装置の中介装置として用いる上、前記ウェハー
ボックスを開けて前記ウェハーボックス内のウェハー或
いは基板を製造工程の工作台のインプット／アウトプッ
ト装置の中にローディングするのに用いる。
ハー及び各種基板を受け入れるものである。又、前記ウ
ェハーボックスの内部には清浄な保護気体を一杯に充填
している。斯くして、前記ウェハー及び基板は外界の空
気及び微粒塵埃の汚染から免れることができる。更に、
各製造工程の工作台には必ずインプット及びアウトプッ
トの装置を設置しなければならない。それは前記ウェハ
ー或いは基板を外界の環境と隔離した状態の下で、前記
ウェハー或いは基板を製造工程の工作台の中にローディ
ングするのに用いる。而して、更に、必ずロードポート
を設置しなければならない。前記ロードポートは前記ウ
ェハーボックスと製造工程の工作台のインプット／アウ
トプット装置の中介装置として用いる上、前記ウェハー
ボックスを開けて前記ウェハーボックス内のウェハー或
いは基板を製造工程の工作台のインプット／アウトプッ
ト装置の中にローディングするのに用いる。
【０００４】然し乍ら、生産過程に於ては、往々にして
製造工程或いは生産スケジュールの変更があって、早急
に製造工程の工作台のロードポートを取り換えなければ
ならない。この為、製造工程の工作台のロードポートは
必ず早急に取り付け、且つ、位置決めすることができる
機能を具有していなければ半導体の製造工程の多変化の
要求を満たすことができない。
製造工程或いは生産スケジュールの変更があって、早急
に製造工程の工作台のロードポートを取り換えなければ
ならない。この為、製造工程の工作台のロードポートは
必ず早急に取り付け、且つ、位置決めすることができる
機能を具有していなければ半導体の製造工程の多変化の
要求を満たすことができない。
【０００５】業界に於ける標準の中、半導体製造工程の
ロードポートと製造工程の工作台の間には接合フレーム
が設置されている。前記接合フレームは前記ロードポー
トの取り付け及び位置決めに供するもので、前記接合フ
レームと前記ロードポートの接合面の間には若干の固定
用ネジ孔が設けられている。これは、使用者にボルトを
使用して前記ロードポートと前記製造工程の工作台の位
置決めフレームを連接して固定するのに供する。
ロードポートと製造工程の工作台の間には接合フレーム
が設置されている。前記接合フレームは前記ロードポー
トの取り付け及び位置決めに供するもので、前記接合フ
レームと前記ロードポートの接合面の間には若干の固定
用ネジ孔が設けられている。これは、使用者にボルトを
使用して前記ロードポートと前記製造工程の工作台の位
置決めフレームを連接して固定するのに供する。
【０００６】然るに、従来の半導体製造設備のロードポ
ートと製造工程の工作台の間は単純にボルトを利用して
締付け方式でもって連接するものであるため、前記ロー
ドポートを取り付ける過程に於て、必ず各ネジ孔を相互
に対応させて始めてボルトを締め込むことができる。而
して、ボルトを締付けた後、又、人工による微小調整の
方式で前記ロードポートの取付け角度と位置を適当な角
度と位置に調整しなければならない。このため、従来の
半導体製造工程のロードポートの取付けと位置決めは相
当に困難であり、且つ、時間の浪費を来している。
ートと製造工程の工作台の間は単純にボルトを利用して
締付け方式でもって連接するものであるため、前記ロー
ドポートを取り付ける過程に於て、必ず各ネジ孔を相互
に対応させて始めてボルトを締め込むことができる。而
して、ボルトを締付けた後、又、人工による微小調整の
方式で前記ロードポートの取付け角度と位置を適当な角
度と位置に調整しなければならない。このため、従来の
半導体製造工程のロードポートの取付けと位置決めは相
当に困難であり、且つ、時間の浪費を来している。
【０００７】図６に示す如く、世界特許公報No.WO 99/1
2191号には、ウェハーロードポートが開示されている。
その主要な特徴は、製造工程の工作台の位置決めフレー
ム１の底端に前方に突出した位置決め座２が設置されて
いる。該位置決め座２の中央には上向きに突起したロケ
ートピン３が設けられている。前記位置決めフレーム１
はロードポート４を取り付けるのに供することができ
て、前記ロードポートを製造工程の工作台の正確な位置
に取り付けることができるようになっている。又、前記
ロードポートはバックボード５を具有していて、ボルト
でもって前記位置決めフレーム１に締付けて固定するこ
とができる。更に、前記バックボード５の下方には支え
座６が設置されている。
2191号には、ウェハーロードポートが開示されている。
その主要な特徴は、製造工程の工作台の位置決めフレー
ム１の底端に前方に突出した位置決め座２が設置されて
いる。該位置決め座２の中央には上向きに突起したロケ
ートピン３が設けられている。前記位置決めフレーム１
はロードポート４を取り付けるのに供することができ
て、前記ロードポートを製造工程の工作台の正確な位置
に取り付けることができるようになっている。又、前記
ロードポートはバックボード５を具有していて、ボルト
でもって前記位置決めフレーム１に締付けて固定するこ
とができる。更に、前記バックボード５の下方には支え
座６が設置されている。
【０００８】図７に示す如く、前記支え座６の中央には
凹んだ止め合い槽７が設置されていて、前記ロケートピ
ン３の頂端と相互に止め合うようになっている。又、前
記支え座６と前記位置決め座２の前記バックボード５と
の間の位置は一定の範囲内で左右に移動することができ
る。又、その頂端の中央にはカム槽８が設けられてい
る。更に、前記バックボード５にはカム９が設置されて
いて、前記カム槽９と嵌合して、前記カム槽９を左右に
押して移動させることができる。かくして、前記支え座
６と前記バックボード５はその相対位置を変えることが
できる。
凹んだ止め合い槽７が設置されていて、前記ロケートピ
ン３の頂端と相互に止め合うようになっている。又、前
記支え座６と前記位置決め座２の前記バックボード５と
の間の位置は一定の範囲内で左右に移動することができ
る。又、その頂端の中央にはカム槽８が設けられてい
る。更に、前記バックボード５にはカム９が設置されて
いて、前記カム槽９と嵌合して、前記カム槽９を左右に
押して移動させることができる。かくして、前記支え座
６と前記バックボード５はその相対位置を変えることが
できる。
【０００９】図８に示す如く、前記ロードポート４の底
部はベース１０を具有している。前記ベース１０には三
対のローラー１１，１２，１３が設けられていて、その
底面はやや上向きに傾斜している。このため、最前端の
一対のローラー１１の高度は後端の二対のローラー１
２，１３より高くなっている。使用者が前記ロードポー
ト４を前記位置決めフレーム１に取り付ける時、前記ベ
ース１０の前端を下向きに押して、前記ロードポートを
前向きに傾斜した状態にし、もって、前記バックボード
５の背面に装置している前記支え座６の高度を上げて、
前記支え座６の前記止め合い槽７と前記ロケートピン３
を相互に止め合わすことができるようになる。その後、
前記位置決めフレーム１を後方へ押して、前記バックボ
ード５と前記位置決めフレーム１を相互に嵌合する。か
くして、前記支え座６と前記ロケートピン３は相互に止
め合えるようになる。
部はベース１０を具有している。前記ベース１０には三
対のローラー１１，１２，１３が設けられていて、その
底面はやや上向きに傾斜している。このため、最前端の
一対のローラー１１の高度は後端の二対のローラー１
２，１３より高くなっている。使用者が前記ロードポー
ト４を前記位置決めフレーム１に取り付ける時、前記ベ
ース１０の前端を下向きに押して、前記ロードポートを
前向きに傾斜した状態にし、もって、前記バックボード
５の背面に装置している前記支え座６の高度を上げて、
前記支え座６の前記止め合い槽７と前記ロケートピン３
を相互に止め合わすことができるようになる。その後、
前記位置決めフレーム１を後方へ押して、前記バックボ
ード５と前記位置決めフレーム１を相互に嵌合する。か
くして、前記支え座６と前記ロケートピン３は相互に止
め合えるようになる。
【００１０】前記ロケートピン３の底端には外ネジが設
けられていて、前記位置決め座にネジ込むことができ
る。よって、使用者は前記ロケートピン３を転動するこ
とによって前記ロードポート４の高度位置を調整するこ
とができる。又、使用者は前記カム９を転動して前記支
え座６の左右位置を変えることができる。よって、前記
ロードポート４と前記位置決めフレーム１の水平方向の
相対位置を調整する目的を達成することができる。
けられていて、前記位置決め座にネジ込むことができ
る。よって、使用者は前記ロケートピン３を転動するこ
とによって前記ロードポート４の高度位置を調整するこ
とができる。又、使用者は前記カム９を転動して前記支
え座６の左右位置を変えることができる。よって、前記
ロードポート４と前記位置決めフレーム１の水平方向の
相対位置を調整する目的を達成することができる。
【００１１】前述の従来例は、ウェハーロードポートの
位置決めが容易でない欠点は改善している。即ち、前記
ロードポートを製造工程の工作台に取り付ける速度を改
善することができる。然し乍ら、使用上依然として下記
の欠点を有している。
位置決めが容易でない欠点は改善している。即ち、前記
ロードポートを製造工程の工作台に取り付ける速度を改
善することができる。然し乍ら、使用上依然として下記
の欠点を有している。
【００１２】１．その支え座６とロケートピン３はロー
ドポート４の下半部に設置されていて、且つ、バックボ
ード５の背面に隠れている。このため、前記支え座６と
前記ロケートピン３は前記ロードポート４と製造工程の
工作台の垂直及び水平方向の相対位置を調整することが
できるとは言え、前記支え座６と前記ロケートピン３は
調整しにくい位置に設置されているので、調整作業上相
当な困難を来している。
ドポート４の下半部に設置されていて、且つ、バックボ
ード５の背面に隠れている。このため、前記支え座６と
前記ロケートピン３は前記ロードポート４と製造工程の
工作台の垂直及び水平方向の相対位置を調整することが
できるとは言え、前記支え座６と前記ロケートピン３は
調整しにくい位置に設置されているので、調整作業上相
当な困難を来している。
【００１３】２．前記支え座６と前記ロケートピン３が
結合する時、必ず前記ロードポート４のベース１０の前
端を下向きに押さえて、前記ロードポート４後端の高度
を上げなければならない。かくして、始めて前記支え座
６は前記ロケートピン３に止め合うことができる。若
し、少しでも操作上の誤差があれば前記ロードポート４
は倒れて衝撃を受け、損傷又は破壊することになる。
結合する時、必ず前記ロードポート４のベース１０の前
端を下向きに押さえて、前記ロードポート４後端の高度
を上げなければならない。かくして、始めて前記支え座
６は前記ロケートピン３に止め合うことができる。若
し、少しでも操作上の誤差があれば前記ロードポート４
は倒れて衝撃を受け、損傷又は破壊することになる。
【００１４】以上の原因により、従来の半導体ウェハー
及び基板のロードポートは使用上相当な不便を来してい
て、大いに改良を必要とすることは言うまでもない。
及び基板のロードポートは使用上相当な不便を来してい
て、大いに改良を必要とすることは言うまでもない。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】本発明の解決しようと
する課題は早急に位置決めすることができる機能を具有
し、且つ、ロードポートをリフトすることができて、ロ
ードポートを製造工程の工作台に取り付けて加工できる
のに便を来すロードポート位置決め装置とその位置決め
方法である。
する課題は早急に位置決めすることができる機能を具有
し、且つ、ロードポートをリフトすることができて、ロ
ードポートを製造工程の工作台に取り付けて加工できる
のに便を来すロードポート位置決め装置とその位置決め
方法である。
【００１６】
【課題を解決するための手段】本発明は前記課題を解決
するために提案されたものであり、ロードポートの底部
に設置し、使用者に前記ロードポートの高度を制御する
のに供するリフト装置と、製造工程の工作台の位置決め
フレームの頂端に設置している連接座と、該連接座に設
置している上向きに突起した位置決め部品と、前記ロー
ドポートの頂端に設置していて、底端には前記位置決め
部品と相互に止め合う止め合い槽を設置している支え座
と、前記連接座と前記支え座にそれぞれ設置されてい
て、前記ロードポートと製造工程の工作台の相対位置を
調整するのに用いる垂直調整装置及び水平調整装置と、
バックボードの中央の位置に設置され、前記ロードポー
トと製造工程の工作台間との間隙の傾斜角度を調整する
のに用いる傾斜調整装置とから成るウェハーロードポー
トの位置決め装置とその位置決め方法を提供するもので
ある。
するために提案されたものであり、ロードポートの底部
に設置し、使用者に前記ロードポートの高度を制御する
のに供するリフト装置と、製造工程の工作台の位置決め
フレームの頂端に設置している連接座と、該連接座に設
置している上向きに突起した位置決め部品と、前記ロー
ドポートの頂端に設置していて、底端には前記位置決め
部品と相互に止め合う止め合い槽を設置している支え座
と、前記連接座と前記支え座にそれぞれ設置されてい
て、前記ロードポートと製造工程の工作台の相対位置を
調整するのに用いる垂直調整装置及び水平調整装置と、
バックボードの中央の位置に設置され、前記ロードポー
トと製造工程の工作台間との間隙の傾斜角度を調整する
のに用いる傾斜調整装置とから成るウェハーロードポー
トの位置決め装置とその位置決め方法を提供するもので
ある。
【００１７】
【発明の実施の形態】図１に本発明の技術を使用した半
導体ウェハーロードポートの構造を示す。前記ロードポ
ート２０は前記ロードポートの底端に設置されているベ
ース２１と、前記ロードポート２０の中段位置に設置さ
れているロードテーブル２２と、前記ロードポート２０
の背面に設置されているバックボード２３とから成る。
前記バックボード２３は位置決めフレーム３０と貼り合
って取り付けている。前記位置決めフレーム３０は製造
工程の工作台（図示せず）の前端に装置されている。図
２（ａ）に示す如く、前記バックボード２３と前記位置
決めフレーム３０には若干の相互に対応した沈み孔２３
１及びネジ孔３１が設けられていて、若干のボルトでも
って前記沈み孔２３１と前記ネジ孔３１に締付けて前記
ロードポート２０を前記位置決めフレーム３０に固定す
る。
導体ウェハーロードポートの構造を示す。前記ロードポ
ート２０は前記ロードポートの底端に設置されているベ
ース２１と、前記ロードポート２０の中段位置に設置さ
れているロードテーブル２２と、前記ロードポート２０
の背面に設置されているバックボード２３とから成る。
前記バックボード２３は位置決めフレーム３０と貼り合
って取り付けている。前記位置決めフレーム３０は製造
工程の工作台（図示せず）の前端に装置されている。図
２（ａ）に示す如く、前記バックボード２３と前記位置
決めフレーム３０には若干の相互に対応した沈み孔２３
１及びネジ孔３１が設けられていて、若干のボルトでも
って前記沈み孔２３１と前記ネジ孔３１に締付けて前記
ロードポート２０を前記位置決めフレーム３０に固定す
る。
【００１８】前記バックボードと前記位置決めフレーム
３０の頂端には連接装置４０が設置されている。図２
（ａ）から図２（ｄ）及び図４に示す如く、前記連接装
置４０は、前記位置決めフレーム３０の頂端に設置され
ている連接座４１と、前記バックボードの頂端に装置さ
れている支え座４２とを含んでいる。又、前記連接座４
１の中央には連接ブロック４５が設けられている。該連
接ブロック４５の上には上向きに突起した位置決め部品
４３が設置されている。而して、前記支え座４２の底端
には前記位置決め部品４３と相互に止め合う止め合い槽
４４が設けられている。更に、前記バックボード２３の
頂端と前記位置決め部品４３と相対応する位置に貫通孔
２４が設置されていて、前記位置決め部品４３が前記バ
ックボード２３の背面から突出して、前記支え座４２と
相対応する位置に合わすことができるのに供し、よっ
て、前記ロードポート２０と前記位置決めフレーム３０
を組合せる時、前記ロードポート２０を後方へ押すこと
によって、前記位置決め部品４３は前記貫通孔２４から
突出し、前記支え座４２と相互に止め合うことができる
ようになっていて、取り付け上の便を来している。
３０の頂端には連接装置４０が設置されている。図２
（ａ）から図２（ｄ）及び図４に示す如く、前記連接装
置４０は、前記位置決めフレーム３０の頂端に設置され
ている連接座４１と、前記バックボードの頂端に装置さ
れている支え座４２とを含んでいる。又、前記連接座４
１の中央には連接ブロック４５が設けられている。該連
接ブロック４５の上には上向きに突起した位置決め部品
４３が設置されている。而して、前記支え座４２の底端
には前記位置決め部品４３と相互に止め合う止め合い槽
４４が設けられている。更に、前記バックボード２３の
頂端と前記位置決め部品４３と相対応する位置に貫通孔
２４が設置されていて、前記位置決め部品４３が前記バ
ックボード２３の背面から突出して、前記支え座４２と
相対応する位置に合わすことができるのに供し、よっ
て、前記ロードポート２０と前記位置決めフレーム３０
を組合せる時、前記ロードポート２０を後方へ押すこと
によって、前記位置決め部品４３は前記貫通孔２４から
突出し、前記支え座４２と相互に止め合うことができる
ようになっていて、取り付け上の便を来している。
【００１９】前記連接ブロック４５及び前記支え座４２
と前記位置決めフレーム３０及び前記バックボード２３
の相対的垂直位置及び水平位置は調整することができ
る。その調整方法と構造を下記に説明する。
と前記位置決めフレーム３０及び前記バックボード２３
の相対的垂直位置及び水平位置は調整することができ
る。その調整方法と構造を下記に説明する。
【００２０】前記連接ブロック４５の中央には横向きに
長楕円形のカム孔４５１が設置されている。而して、前
記連接座４１の中央にはカム４６が回転できるように設
置されていて、前記長楕円形のカム孔４５１に挿し込ま
れている。又、前記連接座４１の中央の前記連接ブロッ
ク４５の両側にはそれぞれクランプブロック４１１が設
けられている。前記クランプブロック４１１は前記連接
ブロック４５を位置決めすることができる上、前記連接
ブロック４５の上下方向の直線移動を制限することがで
きる。又、前記クランプブロック４１１の中の一つには
固定ボルト４１２が設けられていて、前記連接ブロック
４５の高度の位置の調整が完了した後、前記連接ブロッ
ク４５を固定した位置に締め付けて、前記連接ブロック
４５の垂直位置を固定する。故に、操作者が前記ロード
ポート２０の高度の位置を調整する時、前記固定ボルト
４１２をゆるめ、そして、前記カム４６を転動して前記
連接ブロック４５を上下に移動させることによって前記
ロードポート２０の高度を調整する目的を達することが
できる。
長楕円形のカム孔４５１が設置されている。而して、前
記連接座４１の中央にはカム４６が回転できるように設
置されていて、前記長楕円形のカム孔４５１に挿し込ま
れている。又、前記連接座４１の中央の前記連接ブロッ
ク４５の両側にはそれぞれクランプブロック４１１が設
けられている。前記クランプブロック４１１は前記連接
ブロック４５を位置決めすることができる上、前記連接
ブロック４５の上下方向の直線移動を制限することがで
きる。又、前記クランプブロック４１１の中の一つには
固定ボルト４１２が設けられていて、前記連接ブロック
４５の高度の位置の調整が完了した後、前記連接ブロッ
ク４５を固定した位置に締め付けて、前記連接ブロック
４５の垂直位置を固定する。故に、操作者が前記ロード
ポート２０の高度の位置を調整する時、前記固定ボルト
４１２をゆるめ、そして、前記カム４６を転動して前記
連接ブロック４５を上下に移動させることによって前記
ロードポート２０の高度を調整する目的を達することが
できる。
【００２１】又、前記支え座４２と前記バックボード２
３の水平方向に於ける相対位置も調整することができ
る。即ち、前記ロードポート２０と前記位置決めフレー
ム３０の水平方向に於ける相対位置を調整するものであ
る。図４に示す如く、前記支え座４２の中央には水平方
向に長楕円孔４２２が設置されていて、二個のボルト４
２３を前記長楕円孔の中に締め込んで前記支え座４２を
前記バックボード２３に固定する。又、カム４７は転動
できるように前記バックボードに設けられている。而し
て、垂直方向のカム孔４２１が前記支え座４２に設置さ
れていて、前記カム４７を嵌め込むのに供するようにな
っている。操作者が前記支え座４２の水平位置を調整す
る時、先に、前記ボルト４２３をゆるめ、その後、前記
カム４７を転動して、前記支え座４２を駆動して水平方
向に移動させ、然る後、調整が完了した時、再び前記ボ
ルト４２３を締め付けて前記支え座４２の水平位置を固
定する。前記カム４７によって前記支え座４２の水平位
置を調整することができることによって、前記ロードポ
ート２０と前記位置決めフレーム３０の水平方向の相対
位置を調整する目的を達することができる。
３の水平方向に於ける相対位置も調整することができ
る。即ち、前記ロードポート２０と前記位置決めフレー
ム３０の水平方向に於ける相対位置を調整するものであ
る。図４に示す如く、前記支え座４２の中央には水平方
向に長楕円孔４２２が設置されていて、二個のボルト４
２３を前記長楕円孔の中に締め込んで前記支え座４２を
前記バックボード２３に固定する。又、カム４７は転動
できるように前記バックボードに設けられている。而し
て、垂直方向のカム孔４２１が前記支え座４２に設置さ
れていて、前記カム４７を嵌め込むのに供するようにな
っている。操作者が前記支え座４２の水平位置を調整す
る時、先に、前記ボルト４２３をゆるめ、その後、前記
カム４７を転動して、前記支え座４２を駆動して水平方
向に移動させ、然る後、調整が完了した時、再び前記ボ
ルト４２３を締め付けて前記支え座４２の水平位置を固
定する。前記カム４７によって前記支え座４２の水平位
置を調整することができることによって、前記ロードポ
ート２０と前記位置決めフレーム３０の水平方向の相対
位置を調整する目的を達することができる。
【００２２】前記連接装置４０は操作者に前記ロードポ
ート２０と前記位置決めフレーム３０の水平と垂直方向
の相対位置を調整するのに供し、且つ、前記ロードポー
ト２０を暫時前記位置決めフレーム３０に位置決めする
ことができて、操作者に前記ロードポートをその位置に
締め付けるのに便を来している。
ート２０と前記位置決めフレーム３０の水平と垂直方向
の相対位置を調整するのに供し、且つ、前記ロードポー
ト２０を暫時前記位置決めフレーム３０に位置決めする
ことができて、操作者に前記ロードポートをその位置に
締め付けるのに便を来している。
【００２３】而して、本発明の前記連接装置４０の構造
上の主要な長所は、前記支え座４２と前記連接座４１は
共に前記ロードポート２０の頂端に設置されていて、且
つ、前記カム４６，４７は共に前記ロードポート２０の
正面位置に設置されているので、操作者は前記ロードポ
ート２０の正面より前記支え座４２と前記位置決め部品
４３の位置を調整することができる。よって、操作者は
順調に、且つ、便利に前記ロードポート２０と前記位置
決めフレーム３０の相対位置を調整することができる目
的を達成することができる。
上の主要な長所は、前記支え座４２と前記連接座４１は
共に前記ロードポート２０の頂端に設置されていて、且
つ、前記カム４６，４７は共に前記ロードポート２０の
正面位置に設置されているので、操作者は前記ロードポ
ート２０の正面より前記支え座４２と前記位置決め部品
４３の位置を調整することができる。よって、操作者は
順調に、且つ、便利に前記ロードポート２０と前記位置
決めフレーム３０の相対位置を調整することができる目
的を達成することができる。
【００２４】前記ベース２１にはリフト装置５０が取り
付けられている。前記ロードポート２０を上方にリフト
して、前記支え座４２の高度を前記連接座４１の高度よ
り高く上げ、斯くして、前記支え座４２の止め合い槽４
４は順調に前記位置決め部品４３と止め合うことができ
る。
付けられている。前記ロードポート２０を上方にリフト
して、前記支え座４２の高度を前記連接座４１の高度よ
り高く上げ、斯くして、前記支え座４２の止め合い槽４
４は順調に前記位置決め部品４３と止め合うことができ
る。
【００２５】図３に示す如く、前記ベース２１には一組
のスライドレール６０が設置されていて、前記ロードポ
ート２０はスライドすることができるように前記スライ
ドレール６０に装置されている。そして、前記リフト装
置５０の駆動を受けて上下に移動することができるよう
になっている。
のスライドレール６０が設置されていて、前記ロードポ
ート２０はスライドすることができるように前記スライ
ドレール６０に装置されている。そして、前記リフト装
置５０の駆動を受けて上下に移動することができるよう
になっている。
【００２６】前記リフト装置５０には、レバー５１があ
って、その比較的短い一端は前記ロードポート２０の底
端の点Ａに枢接していて、その比較的長い一端は前記ベ
ース２１の後端の上方まで延伸していて、且つ、使用者
が踏むのに供するペダル５１１が設置されている。更
に、ガイドバー７０があって、その下端は前記ベース２
１に固定している。又、その上端は前記ロードポート２
０がスライドするのに供している。更に、連接棒５２が
あって、その一端は前記ガイドバー７０の点Ｃに枢接
し、他の一端は前記レバー５１の中央点Ｂに枢接してい
る。図３に示す如く、前記連接棒５２と前記レバー５１
の比較的短い一端とはトグル機構を構成している。前記
レバー５１の比較的長い一端が下方へ踏まれた時、前記
連接棒５２と前記レバー５１の比較的短い一端とは直線
を形成する。このため、前記レバー５１の比較的短い一
端の高度は上昇するので、前記ロードポート２０を高め
に上げることができる。又、前記連接棒５２と前記レバ
ー５１の比較的短い一端とは一直線を形成する。即ち、
前記Ａ，Ｂ，Ｃの三点は一直線を形成する。よって、使
用者が足で前記レバー５１の比較的長い一端を踏みこん
だ時、大した労力を費やすことなく前記ロードポート２
０を高めに上げることができる。
って、その比較的短い一端は前記ロードポート２０の底
端の点Ａに枢接していて、その比較的長い一端は前記ベ
ース２１の後端の上方まで延伸していて、且つ、使用者
が踏むのに供するペダル５１１が設置されている。更
に、ガイドバー７０があって、その下端は前記ベース２
１に固定している。又、その上端は前記ロードポート２
０がスライドするのに供している。更に、連接棒５２が
あって、その一端は前記ガイドバー７０の点Ｃに枢接
し、他の一端は前記レバー５１の中央点Ｂに枢接してい
る。図３に示す如く、前記連接棒５２と前記レバー５１
の比較的短い一端とはトグル機構を構成している。前記
レバー５１の比較的長い一端が下方へ踏まれた時、前記
連接棒５２と前記レバー５１の比較的短い一端とは直線
を形成する。このため、前記レバー５１の比較的短い一
端の高度は上昇するので、前記ロードポート２０を高め
に上げることができる。又、前記連接棒５２と前記レバ
ー５１の比較的短い一端とは一直線を形成する。即ち、
前記Ａ，Ｂ，Ｃの三点は一直線を形成する。よって、使
用者が足で前記レバー５１の比較的長い一端を踏みこん
だ時、大した労力を費やすことなく前記ロードポート２
０を高めに上げることができる。
【００２７】この外、前記バックボード２３の中央高度
の位置には一組の傾斜度調整装置６０Ａが設置されてい
て、前記ロードポート２０の前記バックボード２３と前
記位置決めフレーム３０間の間隙の傾斜角度を調整する
のに用いる。図２（ａ）及び図２（ｂ）に示す如く、前
記傾斜度調整装置６０Ａは下記のものを包括している。
固定ボルト６１があって、前記バックボード２３を通り
抜けていて、且つ、その末端は前記位置決めフレーム３
０に締付けて固定している。調整ボルト６２があって、
ネジで前記バックボード２３に締め付けていて、しか
も、前記バックボード２３に締め付ける深度をネジまわ
すことによって調整することができる。
の位置には一組の傾斜度調整装置６０Ａが設置されてい
て、前記ロードポート２０の前記バックボード２３と前
記位置決めフレーム３０間の間隙の傾斜角度を調整する
のに用いる。図２（ａ）及び図２（ｂ）に示す如く、前
記傾斜度調整装置６０Ａは下記のものを包括している。
固定ボルト６１があって、前記バックボード２３を通り
抜けていて、且つ、その末端は前記位置決めフレーム３
０に締付けて固定している。調整ボルト６２があって、
ネジで前記バックボード２３に締め付けていて、しか
も、前記バックボード２３に締め付ける深度をネジまわ
すことによって調整することができる。
【００２８】前記調整ボルト６２の中央には孔６３があ
って、前記固定ボルト６１を通すのに供する。前記固定
ボルト６１及び前記調整ボルト６２の頂端の両側は平面
に加工されていて、操作者にレンチで転動するのに供す
るようになっている。而して、前記調整ボルト６２の端
面は前記固定ボルト６１の頭部の内側面と相互に接触し
ているので、前記調整ボルト６２の高度位置は前記固定
ボルト６１の締付けによって制限される。操作者が前記
調整ボルト６２を転動する時、先ず、前記固定ボルト６
１をゆるめる。これにより、前記バックボード２３と前
記位置決めフレーム３０は連動されて前記傾斜度調整装
置が前に調整した位置の間隙６４を変えることができ
る。かくして、前記バックボード２３と前記位置決めフ
レーム３０の間隙６４の傾斜角度を調整する目的を達成
することができる。然るときは、調整後再び前記固定ボ
ルト６１を締め付けて固定することができる。
って、前記固定ボルト６１を通すのに供する。前記固定
ボルト６１及び前記調整ボルト６２の頂端の両側は平面
に加工されていて、操作者にレンチで転動するのに供す
るようになっている。而して、前記調整ボルト６２の端
面は前記固定ボルト６１の頭部の内側面と相互に接触し
ているので、前記調整ボルト６２の高度位置は前記固定
ボルト６１の締付けによって制限される。操作者が前記
調整ボルト６２を転動する時、先ず、前記固定ボルト６
１をゆるめる。これにより、前記バックボード２３と前
記位置決めフレーム３０は連動されて前記傾斜度調整装
置が前に調整した位置の間隙６４を変えることができ
る。かくして、前記バックボード２３と前記位置決めフ
レーム３０の間隙６４の傾斜角度を調整する目的を達成
することができる。然るときは、調整後再び前記固定ボ
ルト６１を締め付けて固定することができる。
【００２９】本発明の装置の操作方法は下記の如くであ
る。
る。
【００３０】ａ．連接装置の支え座４２及び連接座４１
をそれぞれロードポート２０と位置決めフレーム３０の
上端に装置する。
をそれぞれロードポート２０と位置決めフレーム３０の
上端に装置する。
【００３１】ｂ．ロードポート２０を位置決めフレーム
３０の前端まで押す。
３０の前端まで押す。
【００３２】ｃ．レバー５１を踏んでリフト装置５０上
のロードポート２０をリフトする。
のロードポート２０をリフトする。
【００３３】ｄ．レバー５１がベース２１に接触した
時、リフト装置５０はリフトを停止する。
時、リフト装置５０はリフトを停止する。
【００３４】ｅ．ロードポート２０の支え座４２を位置
決めフレーム３０の位置決め部品４３の上端の前まで押
す。
決めフレーム３０の位置決め部品４３の上端の前まで押
す。
【００３５】ｆ．ゆるやかにレバー５１を放し、ロード
ポート２０の支え座４２の止め合い槽４２１を位置決め
フレーム３０の位置決め部品４３の上端と接合させる。
ポート２０の支え座４２の止め合い槽４２１を位置決め
フレーム３０の位置決め部品４３の上端と接合させる。
【００３６】ｇ．バックボード２３下端の四個のネジ孔
２３１が位置決めフレーム３０のネジ孔３１と相対応し
ているかを検査する。
２３１が位置決めフレーム３０のネジ孔３１と相対応し
ているかを検査する。
【００３７】ｈ．バックボード２３と位置決めフレーム
３０の傾斜度を調整して両者を接合する。
３０の傾斜度を調整して両者を接合する。
【００３８】ｉ．結合ネジを締め付ける。
【００３９】前記組合せの過程に於て、若し、バックボ
ード２３と位置決めフレーム３０間の間隙の傾斜角度が
不正確であった場合、ロードポートのバックボード２３
の中段にある傾斜度調整装置でもって、前記バックボー
ド２３と前記位置決めフレーム３０間の間隙の傾斜角度
を調整することができる。
ード２３と位置決めフレーム３０間の間隙の傾斜角度が
不正確であった場合、ロードポートのバックボード２３
の中段にある傾斜度調整装置でもって、前記バックボー
ド２３と前記位置決めフレーム３０間の間隙の傾斜角度
を調整することができる。
【００４０】又、若しバックボード下端の四個のネジ孔
２３１と位置決めフレームのネジ孔が相対応することが
できない場合、ロードポート２０と位置決めフレーム３
０を分離して、連接ブロック４５と支え座４２の二個の
カム４６，４７でもって、前記連接ブロック４５と前記
支え座４２の水平と垂直方向の位置の誤差の量を調整し
て、再び前述の方法で前記ロードポート２０と前記位置
決めフレーム３０を結合する。
２３１と位置決めフレームのネジ孔が相対応することが
できない場合、ロードポート２０と位置決めフレーム３
０を分離して、連接ブロック４５と支え座４２の二個の
カム４６，４７でもって、前記連接ブロック４５と前記
支え座４２の水平と垂直方向の位置の誤差の量を調整し
て、再び前述の方法で前記ロードポート２０と前記位置
決めフレーム３０を結合する。
【００４１】図５（ａ）から図５（ｅ）は、本発明の使
用するリフト装置５０が多種に変化した構造を示す。図
５（ａ）に示す如く、リフト装置５０Ａは、末端に挿し
込みピン５２Ａを設けているレバー５１Ａと、ロードポ
ート２０の底端に装置している連接板５３Ａとを包括し
ている。前記連接板５３Ａには横向きにスライド槽５４
Ａが設置されている。而して、前記レバー５１Ａ末端の
前記挿し込みピン５２Ａはスライドできるように前記ス
ライド槽５４Ａの中に挿し込まれている。前記レバー５
１Ａの中段はピボットで前記ベース２１に枢接してい
る。而して、他の一端は操作者が足で踏むのに供し、も
って、その前端をリフトして高度を高め、前記挿し込み
ピン５２Ａによって前記連接板５３Ａを押し動かして、
前記ロードポート２０の高度を高めることができる。
用するリフト装置５０が多種に変化した構造を示す。図
５（ａ）に示す如く、リフト装置５０Ａは、末端に挿し
込みピン５２Ａを設けているレバー５１Ａと、ロードポ
ート２０の底端に装置している連接板５３Ａとを包括し
ている。前記連接板５３Ａには横向きにスライド槽５４
Ａが設置されている。而して、前記レバー５１Ａ末端の
前記挿し込みピン５２Ａはスライドできるように前記ス
ライド槽５４Ａの中に挿し込まれている。前記レバー５
１Ａの中段はピボットで前記ベース２１に枢接してい
る。而して、他の一端は操作者が足で踏むのに供し、も
って、その前端をリフトして高度を高め、前記挿し込み
ピン５２Ａによって前記連接板５３Ａを押し動かして、
前記ロードポート２０の高度を高めることができる。
【００４２】図５（ｂ）に示す如く、リフト装置５０Ｂ
は下記のものを包括している。第一連結棒５１Ｂ及び第
二連結棒５２Ｂがあって、前記第一連結棒５１Ｂと前記
第二連結棒は相互に連結されており、且つ、その末端は
それぞれ前記ベース２１と前記ロードポート２０に枢接
している。又、推進ネジ５３Ｂがあって、水平に前記ベ
ース２１に設置されていて、その末端は前記第一、第二
連結棒５１Ｂ，５２Ｂが連結している位置に相互に連結
している。操作者が前記推進ネジ５３Ｂを転動した時、
前記推進ネジは水平方向に移動して前記第一、第二連結
棒５１Ｂ，５２Ｂを押し、前記第一、第二連結棒５１
Ｂ，５２Ｂが前記推進ネジ５３Ｂに押されて移動した
時、前記ロードポート２０を押して垂直方向に移動させ
ることができる。よって、操作者は前記ロードポート２
０をリフト又は降下する動作を制御することができる。
は下記のものを包括している。第一連結棒５１Ｂ及び第
二連結棒５２Ｂがあって、前記第一連結棒５１Ｂと前記
第二連結棒は相互に連結されており、且つ、その末端は
それぞれ前記ベース２１と前記ロードポート２０に枢接
している。又、推進ネジ５３Ｂがあって、水平に前記ベ
ース２１に設置されていて、その末端は前記第一、第二
連結棒５１Ｂ，５２Ｂが連結している位置に相互に連結
している。操作者が前記推進ネジ５３Ｂを転動した時、
前記推進ネジは水平方向に移動して前記第一、第二連結
棒５１Ｂ，５２Ｂを押し、前記第一、第二連結棒５１
Ｂ，５２Ｂが前記推進ネジ５３Ｂに押されて移動した
時、前記ロードポート２０を押して垂直方向に移動させ
ることができる。よって、操作者は前記ロードポート２
０をリフト又は降下する動作を制御することができる。
【００４３】図５（ｃ）に示す如く、リフト装置５０Ｃ
は回転できるカム５１Ｃを具有している。該カム５１Ｃ
にはカム槽５２Ｃが設けられている。又、前記ロードポ
ート２０の底端には連接ピン５３Ｃが設置されていて、
前記カム槽５２Ｃと噛合するようになっている。更に、
前記カム５１Ｃの中心にはハンドル５４Ｃが設置されて
いて、前記カム５１Ｃと一体に結合している。前記ハン
ドル５４Ｃは前記ロードポート２０の側辺に設置されて
いて、操作者が前記カム５１Ｃをまわすのに供し、前記
カム５１Ｃの前記カム槽５２Ｃによって前記ロードポー
ト２０を駆動して上下に移動させることができる。
は回転できるカム５１Ｃを具有している。該カム５１Ｃ
にはカム槽５２Ｃが設けられている。又、前記ロードポ
ート２０の底端には連接ピン５３Ｃが設置されていて、
前記カム槽５２Ｃと噛合するようになっている。更に、
前記カム５１Ｃの中心にはハンドル５４Ｃが設置されて
いて、前記カム５１Ｃと一体に結合している。前記ハン
ドル５４Ｃは前記ロードポート２０の側辺に設置されて
いて、操作者が前記カム５１Ｃをまわすのに供し、前記
カム５１Ｃの前記カム槽５２Ｃによって前記ロードポー
ト２０を駆動して上下に移動させることができる。
【００４４】図５（ｄ）に示す如く、リフト装置５０Ｄ
には直線に移動するカムプレート５１Ｄがあって、前記
カムプレート５１Ｄにはカム槽５２Ｄが設置されてい
る。又、前記ロードポート２０の底端には連接ピン５３
Ｄが設けられている。前記連接ピン５３Ｄは前記カム槽
５２Ｄと噛合し、前記カム槽５２Ｄの駆動を受けて垂直
方向に移動する。推進ネジ５４Ｄがあって、前記カムプ
レート５１Ｄの水平方向の移動を駆動するものである。
かくして、操作者は前記推進ネジをネジまわすことによ
って、前記カムプレート５１Ｄを押して作動させ、前記
ロードポート２０の垂直方向の移動を駆動する作用をな
すものである。
には直線に移動するカムプレート５１Ｄがあって、前記
カムプレート５１Ｄにはカム槽５２Ｄが設置されてい
る。又、前記ロードポート２０の底端には連接ピン５３
Ｄが設けられている。前記連接ピン５３Ｄは前記カム槽
５２Ｄと噛合し、前記カム槽５２Ｄの駆動を受けて垂直
方向に移動する。推進ネジ５４Ｄがあって、前記カムプ
レート５１Ｄの水平方向の移動を駆動するものである。
かくして、操作者は前記推進ネジをネジまわすことによ
って、前記カムプレート５１Ｄを押して作動させ、前記
ロードポート２０の垂直方向の移動を駆動する作用をな
すものである。
【００４５】図５（ｅ）に示す如く、リフト装置５０Ｅ
にはカム５１Ｅがあって、駆動軸５２Ｅを具有してい
る。連動板５３Ｅがあって、前記ロードポート２０の底
端に設置されている。スライド槽５４Ｅがあって、前記
連動板５３Ｅに設置されていて、且つ、前記駆動軸５２
Ｅと相互に噛合している。ハンドル５５Ｅがあって、前
記カム５１Ｅと相互に連結し、前記ロードポート２０の
側辺に設置され、操作者が前記カム５１Ｅを転動するの
に供する。前記カム５１Ｅによって前記連動板５３Ｅを
駆動して垂直方向に移動させることができる。これによ
り、前記ロードポート２０を連動して上下に移動させる
ことができる。
にはカム５１Ｅがあって、駆動軸５２Ｅを具有してい
る。連動板５３Ｅがあって、前記ロードポート２０の底
端に設置されている。スライド槽５４Ｅがあって、前記
連動板５３Ｅに設置されていて、且つ、前記駆動軸５２
Ｅと相互に噛合している。ハンドル５５Ｅがあって、前
記カム５１Ｅと相互に連結し、前記ロードポート２０の
側辺に設置され、操作者が前記カム５１Ｅを転動するの
に供する。前記カム５１Ｅによって前記連動板５３Ｅを
駆動して垂直方向に移動させることができる。これによ
り、前記ロードポート２０を連動して上下に移動させる
ことができる。
【００４６】
【発明の効果】本発明のウェハーロードポートの位置決
め装置とその位置決め方法は早急、且つ、容易に位置決
め及び操作が簡単にできる等の著大なる効果を奏する発
明である。
め装置とその位置決め方法は早急、且つ、容易に位置決
め及び操作が簡単にできる等の著大なる効果を奏する発
明である。
【図１】本発明のロードポートと製造工程の工作台の位
置決めフレームとの組合せ状態の側面図である。
置決めフレームとの組合せ状態の側面図である。
【図２】（ａ）本発明のロードポートと位置決めフレー
ムの分離状態の立体図である。 （ｂ）本発明の傾斜度調整装置の断面図である。 （ｃ）本発明の連接装置の部分拡大図である。 （ｄ）本発明の連接座の部分拡大図である。
ムの分離状態の立体図である。 （ｂ）本発明の傾斜度調整装置の断面図である。 （ｃ）本発明の連接装置の部分拡大図である。 （ｄ）本発明の連接座の部分拡大図である。
【図３】本発明のロードポートのベースとリフト装置の
拡大断面図である。
拡大断面図である。
【図４】本発明の使用した連接装置の平面図である。
【図５】（ａ）本発明のリフト装置の各種変化可能の構
造説明図である。 （ｂ）発明のリフト装置の各種変化可能の構造説明図で
ある。 （ｃ）本発明のリフト装置の各種変化可能の構造説明図
である。 （ｄ）本発明のリフト装置の各種変化可能の構造説明図
である。 （ｅ）本発明のリフト装置の各種変化可能の構造説明図
である。
造説明図である。 （ｂ）発明のリフト装置の各種変化可能の構造説明図で
ある。 （ｃ）本発明のリフト装置の各種変化可能の構造説明図
である。 （ｄ）本発明のリフト装置の各種変化可能の構造説明図
である。 （ｅ）本発明のリフト装置の各種変化可能の構造説明図
である。
【図６】従来のウェハーロードポートの立体図である。
【図７】従来のウェハーロードポートの使用している連
接装置の立体図である。
接装置の立体図である。
【図８】従来のウェハーロードポートの取付方法の動作
説明図である。
説明図である。
１ 位置決めフレーム ２ 位置決め座 ３ ロケートピン ４ ロードポート ５ バックボード ６ 支え座 ７ 止め合い槽 ８ カム槽 ９ カム １０ ベース １１，１２，１３ ローラー ２０ ロードポート ２１ ベース ２２ ロードテーブル ２３ バックボード ２４ 貫通孔 ３０ 位置決めフレーム ３１ ネジ孔 ４０ 連接装置 ４１ 連接座 ４２ 支え座 ４３ 位置決め部品 ４４ 止め合い槽 ４５ 連接ブロック ４６，４７ カム ５０，５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃ，５０Ｄ，５０Ｅ リフ
ト装置 ５１ レバー ５１Ａ，５２ 連接棒 ５１Ｂ 第一連結棒 ５１Ｅ カム ５２Ａ 挿し込みピン ５２Ｂ 第二連結棒 ５２Ｄ カム槽 ５２Ｅ 駆動軸 ５３Ａ 連接板 ５３Ｃ，５３Ｄ 連接ピン ５３Ｅ 連接板 ５４Ｅ スライド槽 ５５Ｅ ハンドル ６０ スライドレール ６０Ａ 調整装置 ６１ 固定ボルト ６２ 調整ボルト ６３ 孔 ６４ 間隙 ６５ ワッシャ ７０ ガイドバー ４１１ クランプブロック ４１２ 固定ボルト ４２１，４５１ カム孔 ４２２ 長楕円孔 ４２３ ボルト ５１１ ペダル
ト装置 ５１ レバー ５１Ａ，５２ 連接棒 ５１Ｂ 第一連結棒 ５１Ｅ カム ５２Ａ 挿し込みピン ５２Ｂ 第二連結棒 ５２Ｄ カム槽 ５２Ｅ 駆動軸 ５３Ａ 連接板 ５３Ｃ，５３Ｄ 連接ピン ５３Ｅ 連接板 ５４Ｅ スライド槽 ５５Ｅ ハンドル ６０ スライドレール ６０Ａ 調整装置 ６１ 固定ボルト ６２ 調整ボルト ６３ 孔 ６４ 間隙 ６５ ワッシャ ７０ ガイドバー ４１１ クランプブロック ４１２ 固定ボルト ４２１，４５１ カム孔 ４２２ 長楕円孔 ４２３ ボルト ５１１ ペダル
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 陳 貴 榮 台湾苗栗市自治路82巷50號 (72)発明者 呉 宗 明 台湾台北市基隆路一段127號７樓之２ Ｆターム(参考） 5F031 CA02 CA05 DA08 EA14 KA20 MA11 PA30
Claims (15)
- 【請求項１】 ウェハーロードポートの位置決め装置
で、その中には主として下記のものを包含している。ロ
ードポートがあって、半導体製造工程の工作台の位置決
めフレームに取り付けることが出来る。その底部にはベ
ースが設置されていて、その背面にはバックボードが設
けられている。前記バックボードは前記位置決めフレー
ムと相互に結合することができる。これにより、前記ロ
ードポートを前記製造工程の工作台の位置決めフレーム
に取り付けることによって前記ロードポートを位置決め
することができる。而して、その特徴は、前記ロードポ
ートの前記バックボードの頂端と前記位置決めフレーム
の間には連接装置が設けられていて、前記ロードポート
を前記製造工程の工作台の位置決めフレームに取り付け
て前記ロードポートを位置決めするのに用いる。前記連
接装置は下記のものを含んでいる支え座があって、前記
ウェハーロードポートの前記バックボードの頂端に設置
されていて、その底面には止め合い槽が設けられてい
る。又、連接座があって、前記位置決めフレーム正面の
頂端に設置されていて、その中央には上向きに突起した
位置決め部品が設けられている。貫通孔があって、前記
バックボードの前記支え座の下方の位置に設けられてい
る、前記連接座が通り抜けるのに供するもので、前記位
置決め部品を前記バックボードの背面より前記バックボ
ードの正面に伸出させることができるようになってい
る。又、前記貫通孔は前記支え座の止め合い槽と前記位
置決め部品が相対応することができる位置にある。カム
があって、前記支え座と前記連接座の上にそれぞれ設置
されていて、前記支え座と前記位置決め部品の水平及び
垂直方向の相対位置を調整するのに用いる。これによ
り、操作者は前記支え座及び位置決め部品の水平及び垂
直方向の相対位置を調整して位置決めすることができ
る。リフト装置があって、前記ウェハーロードポートの
底端部に設置されていて、前記ロードポートをリフトし
て前記製造工程の工作台と結合するのに便を来すのに用
いるように構成されたウェハーロードポートの位置決め
装置。 - 【請求項２】 前記バックボードの中段部分の両側には
それぞれ傾斜度調整装置が設置されていて、前記バック
ボードと前記位置決めフレーム間の間隙の傾斜度を調整
するのに用いるように構成された請求項１記載のウェハ
ーロードポートの位置決め装置。 - 【請求項３】 前記傾斜度調整装置は調整ボルトを有
し、ネジまわすことができるように前記バックボードに
設置されており、且つ、固定ボルトを有し、前記調整ボ
ルトの中を突き通っていて、その一端は前記位置決めフ
レームに締めつけて固定されるように構成された請求項
２記載のウェハーロードポートの位置決め装置。 - 【請求項４】 前記リフト装置は連接棒を有し、その中
段は前記ベースにピボットされていて、その一端は前記
ロードポートの底端と連接し、他の一端は操作者が足で
踏むのに供し、前記ロードポートをリフトするように構
成された請求項１記載のウェハーロードポートの位置決
め装置。 - 【請求項５】 前記リフト装置はカム装置と連動部品と
を有し、前記ロードポートの底端に設置されていて、前
記カム装置と連接することができるように形成され、か
くして前記ロードポートは前記カム装置の駆動を受けて
垂直方向に移動するように構成され、更に、駆動装置が
あって、操作者に前記カム装置を駆動するのに供して、
前記カム装置を作動させるように構成された請求項１記
載のウェハーロードポートの位置決め装置。 - 【請求項６】 前記リフト装置の前記カム装置は回転カ
ムであって、且つ、前記駆動装置は前記カムを連動して
回転させることができるハンドルから成る請求項５記載
のウェハーロードポートの位置決め装置。 - 【請求項７】 前記リフト装置の前記カム装置は、直線
偏位のプレートカムであって、且つ、前記駆動装置は前
記プレートカムを連動して直線偏位をさせることができ
る駆動ネジから成る請求項５記載のウェハーロードポー
トの位置決め装置。 - 【請求項８】 前記連接ブロックと前記支え座にはそれ
ぞれ楕円槽が設けられていて、且つ、個別にカムを具有
しており、更に、該カムは前記夫々の楕円槽と接触して
いて、前記支え座と前記位置決め部品の水平及び垂直方
向の位置を調整することができるように構成されている
請求項１記載のウェハーロードポートの位置決め装置。 - 【請求項９】 前記連接ブロックの両側にはクランプブ
ロックが設けられていて、前記連接ブロックの上下位置
を制限することができるように構成されている請求項１
記載のウェハーロードポートの位置決め装置。 - 【請求項１０】 前記クランプブロックには固定ボルト
が設置されていて、前記連接ブロックを締付けて一定の
位置に固定するように構成されている請求項９記載のウ
ェハーロードポートの位置決め装置。 - 【請求項１１】 前記支え座には楕円孔とボルトが設け
られていて、前記支え座を前記バックボードに固定し、
且つ、水平方向の位置を調整することができるように構
成されている請求項１又は８記載のウェハーロードポー
トの位置決め装置。 - 【請求項１２】 ウェハーロードポートの位置決め方法
で、その方法は、 ａ：前記連接装置の前記支え座及び連接座をそれぞれ前
記ウェハーロードポート及び前記位置決めフレームの上
端に取り付ける； ｂ：前記ウェハーロードポートを前記位置決めフレーム
の前端まで推し進める。 ｃ：ペダルを踏んで前記リフト装置上にある前記ロード
ポートを上昇させる。 ｄ：ペダルを前記ベースに接触するまで踏みこんで、前
記リフト装置の上昇を停止させる； ｅ：前記ウェハーロードポート上の前記支え座を前記位
置決めフレームの前記位置決め部品の上端まで推し進め
る； ｆ：ゆるやかにペダルを離し、前記ウェハーロードポー
トの前記支え座の前記止め合い槽を前記位置決めフレー
ムの前記支え座に取り付けている前記位置決め部品の上
端面と接合して装置する。 ｇ：前記バックボード下端の四個のネジ孔と前記位置決
めフレームのネジ孔が相対応しているかを検査する。 ｈ：前記バックボードと前記位置決めフレームの傾斜度
を調整して二者を接合する。 ｉ：結合ネジを締付けて固定する。 - 【請求項１３】 前記ウェハーロードポートの前記バッ
クボードの中段にある傾斜度調整装置は、前記バックボ
ードと前記位置決めフレーム間の間隙の傾斜角度を調整
することができるように形成されて成る請求項１２記載
のウェハーロードポートの位置決め方法。 - 【請求項１４】 前記バックボード下端の四個のネジ孔
が前記位置決めフレームのネジ孔と相対応しない時、前
記ウェハーロードポートと前記位置決めフレームとを分
離して、前記連接座と前記支え座にある二つのカムで水
平と垂直方向の位置の誤差量を調整して、前記ウェハー
ロードポートと前記位置決めフレームを結合するように
形成された請求項１２記載のウェハーロードポートの位
置決め方法。 - 【請求項１５】 ウェハーロードポートの位置決め装置
であって、支え座を有し、前記ウェハーロードポートの
バックボードの頂端に設置されていて、その底面には止
め合い槽が設けられており、更に、貫通孔があって、前
記バックボードの前記支え座の下方に設置されており、
又、リフト装置があって、前記ウェハーロードポートの
底端に設置されていて、前記ロードポートをリフトする
のに用いられ、斯くして、製造工程の工作台と結合する
のに便を来すように構成されたウェハーロードポートの
位置決め装置。
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