KR100528810B1

KR100528810B1 - 기판 이송장치

Info

Publication number: KR100528810B1
Application number: KR1020040035541A
Authority: KR
Inventors: 박용석; 박호윤
Original assignee: 주식회사 디엠에스
Priority date: 2004-05-19
Filing date: 2004-05-19
Publication date: 2005-11-15
Also published as: JP4249155B2; CN1699126A; CN100480155C; TWI301470B; JP2005330106A; TW200538368A

Abstract

기판 이송장치가 개시된다. 그러한 기판 이송장치는 프레임과, 상기 프레임상에 구비되어 상측에서 기판을 이송시키는 제1수단과, 기판을 지지하는 지지핀들의 높이가 서로 다르도록 구성되어 상기 제1수단으로부터 기판을 전달받는 제2수단과, 상기 제2수단으로부터 기판을 전달받아 기판처리를 진행하는 기판처리부로 기판을 이송시키는 이송수단을 포함한다. 이러한 기판 이송장치는 대면적 기판을 상부에서 하부로 안정적으로 이송시킬 수 있으며, 또한, 기판을 수평에서 경사상태로 효율적으로 변환하여 기판상의 이물질을 경사면을 따라 용이하게 낙하하여 제거할 수 있는 장점이 있다.

Description

기판 이송장치{APPARATUS FOR TRANSFERRING WORKS}

본 발명은 기판의 이송장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판의 원활한 이송과 기판의 오염을 방지할 수 있는 기판의 이송장치에 관한 것이다.

일반적으로 평판 디스플레이(FPD;Flat Panel Display), 반도체 웨이퍼, LCD, 포토 마스크용 글라스 등에 사용되는 기판은 일련의 처리라인을 거치면서 에칭, 스트립, 린스 등의 과정을 거친 후 세정을 하게 된다.

이러한 기판의 처리라인 및 세정에 있어서는 라인간에 기판을 이송하기 위한 이송장치들이 필수적으로 적용된다.

상기 기판 이송장치들은 여러 형태가 가능하며 통상적으로 수평방식에 의하여 기판을 인수/인계하는 방식이다. 즉, 기판을 처리하기 위하여 이송장치들이 기판을 수평상태로 이송하여 라인 입측의 로더에 공급하거나 혹은 처리된 기판을 언로더로부터 인수하여 다른 처리라인으로 이송하는 방식이다.

그러나, 기판의 대면적화에 따라 수평상태로 기판을 이송하는 경우 기판의 표면에 잔존하는 이물질 등이 외부로 배출되지 못함으로써 얼룩 등의 오염이 발생하는 문제점이 발생하고 있다.

이러한 문제점을 해결하기 위해 최근에는 기판을 경사 상태로 이송하여 처리하는 경사반송이 대두되고 있는 실정이다.

따라서, 본 발명은 상기한 점을 감안하여 안출한 것으로서, 본 발명의 목적은 대면적 기판을 상부에서 하부로 안정적으로 이송시킬 수 있는 기판의 이송장치를 제공하는데 있다.

또한, 본 발명의 다른 목적은 기판을 수평에서 경사상태로 효율적으로 변환하여 기판상의 이물질을 경사면을 따라 용이하게 낙하하여 제거할 수 있는 기판의 경사이송장치를 제공하는데 있다.

본 발명의 목적을 실현하기 위하여, 본 발명은 프레임과, 상기 프레임상에 구비되어 상측에서 기판을 이송시키는 제1수단과, 기판을 지지하는 지지핀들의 높이가 서로 다르도록 구성되어 상기 제1수단으로부터 기판을 전달받는 제2수단과, 상기 제2수단으로부터 기판을 전달받아 기판처리를 진행하는 기판처리부로 기판을 이송시키는 이송수단을 포함하는 기판 이송장치를 제공한다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 기판의 이송장치를 상세하게 설명한다.

도1 및 도2 에 도시된 바와 같이, 본 발명이 제안하는 기판 이송장치는 프레임(1)과, 상기 프레임(1)상에 구비되어 상측에서 기판(G)을 이송시키는 제1수단(3)과, 기판(G)을 지지하는 지지핀(38)들의 높이가 서로 다르도록 구성되어 상기 제1수단(3)으로부터 기판(G)을 전달받는 제2수단(5)과, 상기 제2수단(5)으로부터 기판(G)을 전달받아 일정 처리공정을 진행하는 기판처리부(10)로 기판(G)을 이송시키는 이송수단(7)을 포함한다.

이러한 구조를 갖는 기판 이송장치에 있어서, 상기 제1 수단(3)은 상측에서 기판(G)을 활주 가능하도록 하는 트랜스퍼(Transfer;4)와, 상기 트랜스퍼(4)로부터 기판(G)을 인수받아 상기 제2 수단(5)으로 기판(G)을 전달하는 한 쌍의 핸드부(Hand portion;6)로 이루어진다.

보다 상세하게 설명하면, 상기 트랜스퍼(4)는 프레임(1)상에 설치된 레일(Rail;8)상에 활주가능하게 배치된다. 즉, 상기 트랜스퍼(4)는 그 양단부에 가이드바(Guide Bar;9)가 각각 구비되어 상향으로 돌출되어 상기 레일(8)상에 활주가능하게 안착된다.

그리고, 상기 트랜스퍼(4)는 그 상부에 기판(G)을 적치할 수 있으며, 레일(8)을 따라 전방으로 이동 가능한 구조를 갖는다.

이러한 구조를 갖는 트랜스퍼(4)는 그 상부에 기판(G)이 로봇 등의 도구에 의하여 안착되면 전방으로 이동하여 소정 위치에 도달하게 된다.

그리고, 소정 위치에는 상기 한 쌍의 핸드부(6)가 배치되며, 한 쌍의 핸드부(6)는 전후, 좌우로 구동한 구조를 갖음으로 상기 트랜스퍼(4)로부터 기판(G)을 인수한 후 하강하여 상기 제2 수단(5)에 기판(G)을 인계할 수 있다.

이러한 한 쌍의 핸드부(6)는 "ㄱ" 자 형상을 갖고, 서로 마주보는 형상을 갖음으로써 그 상면에 기판(G)이 적치 가능하다.

그리고, 한 쌍의 핸드부(6)의 하단부(19)는 하부프레임(12)상에 구비된 연결바(15)에 의하여 각각 연결됨으로서 수직 혹은 수평방향의 이동이 가능하다.

즉, 상기 한 쌍의 핸드부(6)의 하단부(19)는 하부프레임(12)상에 구비된 수평레일(21)에 활주 가능하게 조립된 상태이고, 이 하단부(19)들은 상기 연결바(15)에 의하여 서로 연결된 상태이다.

그리고, 상기 연결바(15)는 제1 모터 조립체(23)에 의하여 회전 가능한 구조를 갖는다. 따라서, 상기 제1 모터 조립체(23)가 구동하는 경우, 상기 연결바(15)가 회전함으로써 한 쌍의 핸드부(6)가 수평방향을 따라 좌우로 이동가능하다.

또한, 상기 연결바(15)는 프레임(12)상에 수직방향으로 구비된 수직 프레임(도시안됨) 등에 의하여 수직방향으로 활주 가능하게 장착되며, 상기 연결바(15)는 제2 모터 조립체(13)에 연결된 수직 연결축(11)과 나사결합 된 상태이다.

따라서, 상기 제2 모터 조립체(13)가 구동하는 경우 상기 수직 연결축(11)이 회전하게 되며, 이때, 연결바(15)는 수직 연결축(11)과 나사결합 된 상태이므로 상기 연결바(15)는 수직 프레임(도시안됨)을 따라 상하로 이동 가능하다.

결과적으로, 상기 한 쌍의 핸드부(6)는 제1 및 제2 모터 조립체(23,13)의 구동에 의하여 상하로 이동하거나 혹은 좌우로 이동함으로써 서로 벌어지거나 좁혀질 수 있다.

한편, 상기 제2 수단(5), 즉 승하강 수단은 상기 제1 수단(3)의 한 쌍의 핸드부(6)로부터 기판을 인수하여 상하로 이송시킨다.

이러한 제2 수단(5)은 도3 및 도4 에 도시된 바와 같이, 하부프레임(12)에 고정적으로 구비되는 고정 프레임(16)과, 상기 고정 프레임(16)에 승하강 가능하도록 구비되어 상하로 이동 가능한 승하강 프레임(45)과, 상기 승하강 프레임(45)을 승하강 시키는 구동부(20)와, 상기 승하강 프레임(45)의 상부에 구비되어 제1 수단(3)으로부터 기판(G)을 인수하여 적치하는 적치대(18)를 포함한다.

이러한 구조를 갖는 제2 수단에 있어서, 상기 적치대(18)는 베이스(36)를 구비하며, 상기 베이스(36)의 상면에는 다수개의 지지핀(38)이 상향으로 돌출 형성됨으로서 그 상부에 기판(G)이 안착된다.

또한, 상기 베이스(36)의 상면에는 한 쌍의 고정핀(42,47)이 구비됨으로써 다수개의 지지핀(38)에 의하여 안착된 기판(G)의 가장자리를 고정할 수 있으며, 따라서, 기판(G)이 경사진 상태에서도 기판(G)을 일정 위치에 고정시킬 수 있다.

상기 고정핀(42,47)은 상기 베이스(36) 상에 구비된 고정리브(40)의 양단부에 각각 돌출 형성된다. 이 고정리브(40)는 바람직하게는 2개가 구비되며, 각각의 양단부에 고정핀(42,47)이 설치된다.

또한, 이 고정핀(42,47)은 고정리브(40)를 따라 길이 방향으로 이동 가능한 구조를 갖음으로써 서로 마주보는 고정핀(42,47)간의 사이 간격을 조절함으로써 기판(G)의 다양한 크기에 적절하게 대응할 수 있다.

결과적으로, 다수의 지지핀(38)에 안착된 기판(G)의 가장자리를 이러한 고정핀(42,47)들이 적절하게 고정시킴으로써 기판(G)이 경사지는 경우 기판(G)이 일측으로 미끄러지는 것을 방지할 수 있다. 물론, 기판(G)을 수평반송으로 기판처리를 수행하는 기판처리장비에 있어서는 상기 고정핀(42, 47) 및 고정리브(40)가 필요치 않다.

이때, 상기 다수개의 지지핀(38)은 베이스(36) 상에 복열로 배치됨으로써 기판(G)을 안정적으로 지지할 수 있으며, 또한 이러한 지지핀(38)은 기판(G)을 이송하기 위한 이송수단(7), 즉 다수의 이송롤러의 사이에 배치된다.

따라서, 상기 적치대(18)가 승하강 하는 경우, 다수의 지지핀(38)은 이송수단(7)을 통과하여 상하로 이동하며, 다수의 지지핀(38)상에 기판(G)이 안착된 상태에서 적치대(18)가 하강하면, 다수의 지지핀(38)이 PS 선의 하부, 즉, 이송수단(7)의 하부로 내려감으로써 기판(G)은 이송롤러에 자연스럽게 안착될 수 있다.

이때, 상기 지지핀(38)의 상단은 기판(G) 안착시 스크래치 등을 방지하기 위하여 적절한 재질로 구성된다.

그리고, 다수의 지지핀(38)는 도6 에 도시된 바와 같이, 각 지지핀(38,39,38a,38b)의 높이(L1,L2)를 각각 다르게 형성함으로써 기판 안착시 안정성을 향상시킬 수 있다.

즉, 다수의 지지핀(38)에 있어서 외측에 위치한 지지핀(38a,38b)의 높이(L1)가 내측에 위치한 지지핀(39a,39b)의 높이(L2) 보다 높게 형성됨으로써, 다수의 지지핀(38)에 얹혀진 기판(G)은 외견상으로는 수평상태인 것으로 보이지만, 엄밀하게는 외측 지지핀(38a,38b)의 지지점(P1,P4)이 내측 지지핀(39a,39b)의 지지점(P2,P3)보다 높게 형성된다.

따라서, 서로 높이(L1,L2)가 다르게 형성된 지지핀(38)의 상면에 기판(G)이 얹혀짐으로써 기판(G)이 보다 안정적으로 이송될 수 있다.

한편, 이러한 적치대(18)는 승하강 프레임(45)의 상부에 고정되어 상하로 왕복이송이 가능하다.

상기 승하강 프레임(45)은 그 상부에 적치대(18)가 구비되는 사각 플레이트(46)와, 상기 사각 플레이트(46)의 하부 각 모서리에 하향으로 돌출되는 다리부재(29)로 이루어진다.

상기 다리부재(29)는 바람직하게는 4개의 다리부재가 구비된다. 그리고, 이 다리부재(29)는 고정 프레임(16)에 구비되어 4개의 다리부재에 대응되도록 배치되는 가이드바(28)의 내부에 삽입되는 구조를 갖는다.

따라서, 상기 승하강 프레임(45)에 상하방향으로 외력이 작용하는 경우 4개의 다리부재(29)가 가이드바(28)에 삽입된 상태로 상하로 이동하게 되므로, 승하강 프레임(45)이 승하강된다.

그리고, 이러한 승하강 프레임(45)을 지지하는 상기 고정 프레임(16)은 그 상부가 하부 프레임(12)에 고정된 상태이고, 하부는 바닥으로부터 일정 거리 상부에 위치한 상태이므로, 이러한 고정 프레임(16)에 의하여 승하강하는 승하강 프레임(45)도 바닥으로부터 일정 높이까지만 하강한다.

그리고, 상기 고정 프레임(16)의 상면에는 스토퍼(Stopper;30)가 구비되며, 바람직하게는 2개가 일조를 이루어 구비된다. 이 스토퍼(30)는 상기 승하강 프레임(45)이 일정 높이 이하로 하강하는 경우, 승하강 프레임(45)의 저면에 접촉함으로써 더 이상 하강하는 것을 방지한다.

그리고, 상기 고정 프레임(16)에는 구동부(20)가 구비되어 상기 승하강 프레임(45)을 상하로 이송시킨다.

이러한 구동부(20)는 회전력을 발생시키는 모터 조립체(52)와, 상기 모터 조립체(52)로부터 전달된 동력에 의하여 회전함으로써 상기 승하강 프레임(45)을 상하로 이송시키는 스크류축(62)으로 이루어진다.

즉, 상기 모터 조립체(52)는 케이스(51)를 통하여 고정 프레임(16)에 고정된 상태이고, 회전축(54)에 제1 풀리(56)를 구비하며, 제1 풀리(56)는 상기 스크류축(62)에 구비된 제2 풀리(60)와 밸트(58)에 의하여 서로 연결된다.

이때, 상기 제2 풀리(60)는 케이스(51)에 베어링(도시안됨) 등에 의하여 회전가능하게 구비된 상태이고, 이러한 제2 풀리(60)는 스크류축(62)의 하단부에 나사 결합된다.

또한, 상기 스크류축(62)은 상기 고정 프레임(16)에 베어링(도시안됨) 등에 의하여 회전 가능하게 지지되며, 그 상부(64)는 상기 고정 프레임(16)을 관통하여 승하강 프레임(45)의 사각 플레이트(46) 저면에 일체로 연결된다.

따라서, 상기 모터 조립체(52)의 구동에 의하여 제1 및 제2 풀리(56,60)가 회전하는 경우, 상기 스크류축(62)이 상하로 이송함으로써 승하강 프레임(45)을 승하강시킬 수 있다.

한편, 상기에서는 승하강 프레임(45)의 상부에 적치대(18)가 직접 안착되는 것으로 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니고 경사조절수단(17)이 선택적으로 구비되어 상기 적치대(18)를 임의의 각도로 조절할 수도 있다.

이러한, 상기 경사조절수단(17)은 상기 제2 수단(5)의 적치대(18) 하부에 마련된 힌지부(Hinge Portion;22)와, 상기 힌지부(22)를 통해 상기 적치대(18)의 경사를 조절하도록 상기 제2 수단(5)의 일단부에 마련된 승강부(24)를 포함한다.

상기 힌지부(22)는 베이스(36)의 저면 일측을 지지함으로써 적치대(18)가 힌지가능한 상태로 사각 플레이트(46)의 상면에 고정될 수 있도록 한다.

이러한 힌지부(22)는 베이스(36)의 저면에 구비되는 상부부재(50)와, 승하강 프레임(45)의 사각 플레이트(46) 상면에 구비되는 하부부재(48)와, 상기 상부 및 하부부재(58,40)를 힌지 가능하게 연결시키는 힌지핀(Hinge Pin;52)으로 이루어진다.

그리고, 상기 힌지부(22)는 바람직하게는 베이스(36)의 중간부근에 배치됨으로써 적치대(18)를 효율적으로 힌지가능하게 지지할 수 있다.

따라서, 상기 적치대(18)는 외력이 작용하는 경우 이러한 힌지부(22)에 의하여 필요시 시계방향 혹은 반시계 방향으로 힌지운동을 함으로써, 적치된 기판(G)을 일정 각도로 기울일 수 있다.

또한, 상기 승강부(24)는 상기 힌지부(22)로부터 일정 거리 떨어진 위치에 배치된다. 이러한 승강부(24)는 힌지부(22)에 의하여 지지된 적치대(18)의 일측을 상향으로 밀어올리거나 하향으로 당김으로써 적치대(18)를 적절한 각도로 경사지도록 할 수 있다.

상기 승강부(24)는 상기 사각 플레이트(46)에 설치되어 동력을 발생시키는 실린더(Cylinder;32)와, 상기 실린더(32)에 승하강 가능하게 구비되며, 그 상부는 베이스(36)의 저면 소정위치에 연결되는 피스톤(Piston;34)으로 이루어진다.

따라서, 상기 실린더(32)가 구동하는 경우, 상기 피스톤(34)이 상승함으로써 적치대(18)를 상향으로 밀게 되고, 피스톤(34)이 하강하는 경우 적치대(18)를 하향으로 당기게 된다.

따라서, 상기 적치대(18)의 일측에 구비된 승강부(24)가 구동하는 경우, 상기 적치대(18)는 힌지부(22)를 중심으로 일정 각도로 기울어질 수 있다.

상기한 바와 같이, 기판 이송장치(5)는 제1 수단(3)에 의하여 이송된 기판을 제2 수단(5)이 인수하고, 기판(G)을 일정 각도로 기울인 상태로 기판처리부(10)로 공급하는 과정을 거치게 된다.

한편, 본 발명의 바람직한 다른 실시예가 도7 에 도시되며, 이 실시예에 있어서는 기판이송장치를 공정라인의 사이에 배치하여 로딩 된 기판을 일정한 경사로 기울여서 타 공정으로 인계하는 방식이다.

즉, 단차가 형성된 두 공정라인(71,79)의 사이에 도2 에 도시된 바와 같은 제2 수단(5)이 배치됨으로써 일측 공정라인(71)으로부터 이송된 기판(G)을 경사상태로 하여 타측 공정라인(79)으로 이송시키는 역할을 한다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 이송장치의 작동과정을 더욱 상세하게 설명한다.

도1 내지 도6 에 도시된 바와 같이, 본 발명이 제안하는 기판이송장치에 의하여 기판(G)을 이송하는 경우, 먼저 로봇 등의 도구에 의하여 기판(G)이 제1 수단(3)의 트랜스퍼(4) 상부에 안착되며, 기판(G)이 안착된 후 트랜스퍼(4)가 전방으로 이동하여 소정 위치에 도달하게 된다.

이때, 한 쌍의 핸드부(6)는 제1 및 제2 모터 조립체(23,13)의 구동에 의하여 일정 높이로 상승하여 좌우로 적절하게 수평이동함으로써 트랜스퍼(4)로부터 기판(G)을 인수할 수 있는 상태이다.

그리고, 상기 한 쌍의 핸드부(6)의 사이로 트랜스퍼(4)가 진입하면, 제2 모터 조립체(13)의 구동에 의하여 한 쌍의 핸드부(6)가 약간 상승함으로서 트랜스퍼(4)에 안착된 기판(G)의 양측을 상부로 밀어올림으로서 기판(G)을 인수하게 된다.

기판(G)을 인수한 한 쌍의 핸드부(6)는 제2 모터 조립체(13)의 구동에 의하여 일정 위치까지 하강한다.

이때, 제2 수단(5)의 적치대(18)는 일정 높이에서 기판 인수를 위하여 대기하고 있는 상태이다.

이 상태에서, 상기 한 쌍의 핸드부(6)가 하강하여 적치대(18) 높이를 통과하게 되면 한 쌍의 핸드부(6)에 안착된 기판(G)이 상기 적치대(18)에 돌출된 다수의 지지핀(38)상에 얹혀지게 된다.

이때, 적치대(18)는 승강부(24)의 피스톤(34)이 약간 거리 상향으로 상승함으로써 힌지부(22)를 중심으로 수평상태를 유지한다.

그리고, 적치대(18)의 다수 지지핀(38)상에 얹혀진 기판(G)은 한 쌍의 고정핀(42,47)에 의하여 일정 위치로 고정된다.

이 상태에서, 구동부(20)가 작동함으로써 승하강 프레임(45)이 하강한다. 즉, 모터 조립체(52)가 구동하여 제1 및 제2 풀리(56,60)를 회전시키면 스크류축(62)이 연동함으로써 회전하여 하강하며, 이 스크류축(62)의 상부가 승하강 프레임(45)에 연결된 상태이므로 승하강 프레임(45)이 하강하게 된다.

동시에, 상기 승강부(24)도 구동함으로서 피스톤(34)이 실린더(32)의 내부로 수축하게 되며, 이때, 상기 적치대(18)는 힌지부(22)에 의하여 힌지가능하게 지지된 상태이므로 적치대(18)가 일측으로 기울어진다.

결과적으로, 상기 적치대(18)에 안착된 기판(G)이 일정 각도로 기울어진 상태에서 하강하게 된다.

물론, 경사조절장치가 적용되지 않는 경우에는 적치대가 기울어지지 않고 수평상태로 하강한다.

이와 같이, 일정 각도로 경사진 기판(G)이 지속적으로 하강하게 되며, 다수의 지지핀(38)의 상단부가 기판 패스라인(PS) 이하로 내려가게 된다. 이때, 상기 이송수단(7)도 상기 기판(G)의 경사각도와 일치하게 배치되어 있어, 상기 다수의 지지핀(38)이 패스라인(PS) 이하로 하강함으로써 이에 안착된 기판(G)이 이송수단(7)상에 안착될 수 있다.

상기 안착된 기판(G)은 경사상태의 이송수단(7)에 의하여 이송되어 기판 처리부(10)로 공급되어 일련의 공정을 거치게 되는데, 이때 기판상의 이물질 및 유체를 경사면을 따라 용이하게 낙하하여 제거할 수 있다.

상기한 바와 같이, 상기 제2 수단(5)은 하강하여 기판(G)을 이송수단(7)에 공급하게 되며, 상기 공정 후 원위치로 복귀함으로써 다음 기판(G)을 인수하게 된다.

즉, 상기 승강부(24)의 모터 조립체(52)가 역방향으로 구동하여 제1 및 제2 풀리(56,60)를 역방향으로 회전시킴으로서 스크류축(62)이 상승하게 된다.

스크류축(62)이 상승하게 되면, 승하강 프레임(45)이 연동하여 상승하게 됨으로써 적치대(18)가 상향으로 이동하며, 상기 적치대(18)에 구비된 다수의 지지핀(38)이 이송수단(7)을 통과하여 상향으로 이동한다.

이때, 경사조절장치가 구비되는 경우에는, 승강부(24)의 피스톤(34)이 상승함으로써 적치대(18)의 일측을 밀어 올리게 된다.

따라서, 상기 적치대(18)는 수평상태를 유지하며 일정 높이에 도달하며, 한 쌍의 핸드부(6)로부터 기판(G)을 인수하게 된다.

이와 같은 과정을 통하여 기판 이송장치(5)는 기판(G)을 기판처리부(10)로 이송시킴으로써 적절한 공정을 진행하게 된다.

이와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판의 경사이송장치는 대면적 기판을 상부에서 하부로 안정적으로 이송시킬 수 있으며, 상기 기판을 수평에서 경사상태로 효율적으로 변환하여 기판상의 이물질 및 유체를 경사면을 따라 용이하게 낙하하여 외부로 배출함으로써, 기판의 수율 향상을 극대화할 수 있는 장점이 있다.

또한, 경사상태의 이송장치를 이용하여 기판처리라인으로 기판을 반송함으로, 기판의 밀림이나 흔들거림 없이 기판을 안정적으로 운송할 수 있는 장점이 있다.

이상을 통해 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니고 특허청구의 범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고, 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.

도1 은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 기판 이송장치를 도시하는 개략도.

도2 는 도1 에 도시된 핸드부와, 경사조절수단과, 승하강 수단을 확대하여 도시하는 부분 확대 사시도.

도3 은 도1 에 도시된 경사조절수단을 확대하여 도시하는 사시도.

도4 는 도2 에 도시된 경사조절수단 및 승하강 수단이 상승하여 기판을 인수하는 상태를 도시하는 측면도.

도5 는 도2 에 도시된 경사조절수단 및 승하강 수단이 하강하여 기판을 이송수단에 인계하는 상태를 도시하는 측면도.

도6 은 도5 에 도시된 적치대에 기판이 안착된 상태를 확대하여 도시하는 도면.

도7 은 본 발명의 바람직한 다른 실시예에 따른 기판 이송장치를 도시하는 사시도.

Claims

프레임과;

상기 프레임상에 구비되어 상측에서 기판을 이송시키는 제1수단과;

기판을 지지하는 지지핀들의 높이가 서로 다르도록 구성되어 상기 제1수단으로부터 기판을 전달받는 제2수단과; 그리고

상기 제2수단으로부터 기판을 전달받아 기판처리를 진행하는 기판처리부로 기판을 이송시키는 이송수단을 포함하는 기판 이송장치.
제1항에 있어서, 상기 제1수단은 상측에서 기판을 활주 가능하도록 하는 트랜스퍼와, 상기 트랜스퍼로부터 기판을 인수받아 상기 제2수단으로 기판을 전달하는 한쌍의 핸드부로 구성된 기판 이송장치.
제2항에 있어서, 상기 한쌍의 핸드부는 상하, 좌우 구동가능한 기판 이송장치.
제1항에 있어서, 상기 제2수단의 지지핀은 외측에 구비되는 지지핀의 높이가 그 내측에 구비되는 지지핀의 높이보다 더 높이 구성되는 기판 이송장치.
제1항에 있어서, 상기 제2수단은 기판의 경사를 조절할 수 있도록 제어하는 경사조절수단을 더 포함하는 기판 이송장치.
제5항에 있어서, 상기 경사조절수단은 상기 제2수단 하부에 마련된 힌지부와, 상기 힌지부를 통해 상기 제2수단의 경사를 조절하도록 상기 제2수단의 일단부에 마련된 승강부를포함하는 기판 이송장치.
프레임과;

상기 프레임상에 구비되어 이송된 기판을 적치하여 힌지방식에 의하여 일정 각도로 기울일 수 있는 경사조절수단과; 그리고

상기 경사 조절수단을 지지한 상태로 상기 경사조절수단을 승하강 시킴으로써 기판을 인수/인계할 수 있도록 하는 승하강 수단을 포함하는 기판 이송장치.
프레임과;

상기 프레임에 구비된 레일에 활주 가능하게 배치되어 기판을 이송시키는 트랜스퍼와;

상기 트랜스퍼에 의하여 이송된 기판을 인수하여 힌지방식에 의하여 일정 각도로 기울일 수 있는 경사조절수단과;

상기 경사 조절수단을 지지한 상태로 상기 경사조절수단을 승하강 시킴으로써 기판을 인수/인계할 수 있도록 하는 승하강 수단과; 그리고

상기 경사조절수단으로부터 공급된 기판을 전달받아 기판처리를 진행하는 기판처리부로 기판을 이송시키는 이송수단을 포함하는 기판 이송장치.
제7 항 또는 제8 항 에 있어서, 상기 승하강 수단은 상기 프레임에 고정적으로 구비되며 바닥으로부터 일정 거리 떨어지도록 배치되는 고정 프레임과, 상기 고정 프레임에 승하강 가능하도록 구비되어 상기 경사조절수단을 승하강 시키는 승하강 프레임과, 상기 승하강 프레임을 승하강 시키는 구동부와, 상기 승하강 프레임의 상부에 구비되어 기판이 안착되는 적치대를 포함하는 기판 이송장치.
제9 항에 있어서, 상기 승하강 프레임은 그 상부에 상기 경사조절수단이 장착되는 사각 플레이트와, 상기 사각 플레이트의 하부 각 모서리에 하향으로 돌출되어 상기 고정 프레임에 구비되는 가이드바에 삽입되어 승하강하는 다리부재를 포함하는 기판 이송장치.
제9 항에 있어서, 상기 구동부는 상기 고정 프레임에 고정적으로 구비되는 모터 조립체와, 상기 모터 조립체에 구비되는 제1 풀리와, 상기 고정 프레임에 회전가능하게 구비되며 그 상부는 상기 사각 플레이트의 저면에 일체로 연결되어 회전시 승하강하는 스크류축과, 상기 스크류축의 하부에 구비되는 제2 풀리와, 상기 제1 및 제2 풀리를 서로 연결하는 밸트를 포함하는 기판 이송장치.
제10 항에 있어서, 상기 고정 프레임의 상면에는 스토퍼가 구비됨으로써 상기 승하강 프레임이 일정 이하로 하강하는 것을 방지하는 기판 이송장치.
제9 항에 있어서, 상기 적치대는 베이스와, 상기 베이스의 상면에 상향으로 돌출 형성됨으로서 그 상부에 기판이 안착되는 다수의 지지핀과, 상기 베이스의 상면에 상향으로 돌출 형성되어 상기 기판의 테두리를 고정하는 다수의 고정핀을 포함하는 기판 이송장치.
제13 항에 있어서, 상기 고정핀은 상기 베이스상에 구비된 고정리브의 양 단부에 돌출 형성되며, 상기 고정리브를 따라 위치조절이 가능한 기판 이송장치.
제9 항에 있어서, 상기 경사조절수단은 상기 적치대를 상기 사각 플레이트의 상면에 힌지가능하게 부착시키는 힌지부와, 상기 적치대의 일측을 상하로 승하강 시킴으로써 적치대가 기울어질 수 있도록 하는 승강부를 포함하는 기판 이송장치.
제15 항에 있어서, 상기 승강부는 상기 사각 플레이트에 구비되는 실린더와, 상기 실린더에 구비되어 상기 베이스를 승하강 시키는 피스톤을 포함하는 기판 이송장치.