KR101415828B1

KR101415828B1 - 인쇄회로기판용 노광장치의 플래튼이송장치

Info

Publication number: KR101415828B1
Application number: KR1020130084986A
Authority: KR
Inventors: 유원조
Original assignee: 에버테크노 주식회사
Priority date: 2013-07-18
Filing date: 2013-07-18
Publication date: 2014-07-08

Abstract

본 발명은 인쇄회로기판용 노광장치의 플래튼이송장치에 관한 것으로, 베이스판과; 인쇄회로패턴이 형성될 기판을 흡착하는 플래튼(platen)이 배치되는 XYθ축 이송기구와; 베이스판의 상부에 서로 평행이 되도록 이격되어 배치되는 한 쌍의 수평형 이송부재와; 베이스판과 XYθ축 이송기구 사이에 서로 이격되도록 배치되며 수평형 이송부재에 연결되는 다수개의 경사형 이송부재와; 베이스판과 XYθ축 이송기구 사이에 각각의 모서리 부분에 위치되도록 배치되는 다수개의 수직형 이송부재와; 한 쌍의 수평형 이송부재와 연결되며 한 쌍의 수평형 이송부재를 수평방향으로 이동시켜 경사형 이송부재를 경사방향으로 이송시킴에 의해 XYθ축 이송기구가 수직형 이송부재에 구속되어 수직방향으로 승하강되도록 하는 직선이송기구로 구성되는 것을 특징으로 한다.

Description

인쇄회로기판용 노광장치의 플래튼이송장치{Platen transffering device of exposure apparatus for printed circuit board}

본 발명은 인쇄회로기판용 노광장치의 플래튼이송장치에 관한 것으로, 특히 상부에 플래튼이 배치되는 XYθ축 이송기구와 Z축 이송기구 사이의 접점이 다수개가 되도록 하여 XYθ축 이송기구의 하중이 고르게 분산되어 플래튼의 평탄도가 정밀하게 유지될 수 있는 인쇄회로기판용 노광장치의 플래튼이송장치에 관한 것이다.

인쇄회로기판(PCB, Printed Circuit Board)은 기판에 인쇄회로패턴을 전사한 후 인쇄회로패턴을 이용하여 인쇄회로를 형성하여 제조된다. 기판으로 인쇄회로패턴을 전사하기 위해 인쇄회로기판용 노광장치가 사용된다.

한국등록특허 제205199호(특허문헌 1)는 인쇄회로기판용 노광장치에 관한 것으로 기판 지지장치, 마스크 필름 지지장치, 가압장치, TV(Television) 카메라 및 광원으로 이루어진다. 기판 지지장치는 인쇄회로패턴이 형성될 기판을 흡인하여 지지하는 척이 구비되며, 마스크 필름 지지장치는 기판 지지장치의 상부에 배치되어 필름마스크를 지지한다. 가압장치는 마스크 필름 지지장치와 연결되어 베이스에 배치되어 노광용 광원이 투과되는 유리판을 지지하며, 기판 지지장치의 상승에 의해 마스크 필름이 인쇄회로패턴이 형성될 기판에 밀착되도록 한다. TV 카메라는 마스크 필름 지지장치의 상부에 배치되어 마스크 필름에 배치된 위치결정 기준마크와 인쇄회로패턴이 형성될 기판에 배치된 위치결정 기준마크를 감지하여 위치가 서로 정렬되었는지 여부를 감지하며, 광원은 TV 카메라의 상부에 배치되어 광을 마스크 필름으로 조사하여 기판의 상부에 인쇄회로패턴이 조사되도록 한다.

특허문헌 1과 같은 종래의 인쇄회로기판용 노광장치는 기판지지장치에 XYZθ축 이송기구가 구비되며, XYZθ축 이송기구 중 Z축 이송기구인 하나의 볼스크류 이송기구는 수직방향으로 세워져 XYθ축 이송기구와 연결됨으로써 XYθ축 이송기구를 승하강시킴에 의해 플래튼(platen)를 승하강시켜 기판을 필름 마스크와 접촉되도록 한다. 이러한 종래의 인쇄회로기판용 노광장치는 XYθ축 이송기구를 승하강시키기 위해 하나의 볼스크류 이송기구를 사용함으로써 볼스크류 이송기구가 XYθ축 이송기구와 한 점으로 연결되어 장시간 운용 시 XYθ축 이송기구의 하중에 의해 XYθ축 이송기구가 어느 한 방향으로 치우치는 현상이 발생될 수 있다.

XYθ축 이송기구의 하중에 의해 XYθ축 이송기구가 어느 한 방향으로 치우치는 현상이 발생되는 경우에 XYθ축 이송기구의 상부에 배치된 플래튼(platen)의 평탄도에 오차가 발생되며 이로 인해 마스크 필름과 플래튼에 배치된 인쇄회로패턴이 형성될 기판의 접촉 시 오차가 발생되어 마스크 필름과 기판의 정렬 불량 등이 발생되는 문제점이 있다.

특허문헌 1: 한국등록특허 제1089839호(등록일: 2011.11.29)

본 발명의 목적은 전술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 상부에 플래튼이 배치되는 XYθ축 이송기구와 Z축 이송기구 사이의 접점이 다수개가 되도록 하여 XYθ축 이송기구의 하중이 고르게 분산되어 플래튼의 평탄도가 정밀하게 유지될 수 있는 인쇄회로기판용 노광장치의 플래튼이송장치를 제공함에 있다.

본 발명의 다른 목적은 XYθ축 이송기구의 하중이 고르게 분산되어 플래튼의 평탄도가 정밀하게 유지될 수 있도록 함으로써 인쇄회로기판용 노광장치의 신뢰성과 안전성을 개선시킬 수 있는 인쇄회로기판용 노광장치의 플래튼이송장치를 제공함에 있다.

본 발명의 인쇄회로기판용 노광장치의 플래튼이송장치는 베이스판과; 인쇄회로패턴이 형성될 기판을 흡착하는 플래튼(platen)이 배치되는 XYθ축 이송기구와; 상기 베이스판의 상부에 서로 평행이 되도록 이격되어 배치되는 한 쌍의 수평형 이송부재와; 상기 베이스판과 상기 XYθ축 이송기구 사이에 서로 이격되도록 배치되며 수평형 이송부재에 연결되는 다수개의 경사형 이송부재와; 상기 베이스판과 상기 XYθ축 이송기구 사이에 각각의 모서리 부분에 위치되도록 배치되는 다수개의 수직형 이송부재와; 상기 한 쌍의 수평형 이송부재와 연결되며 한 쌍의 수평형 이송부재를 수평방향으로 이동시켜 경사형 이송부재를 경사방향으로 이송시킴에 의해 XYθ축 이송기구가 수직형 이송부재에 구속되어 수직방향으로 승하강되도록 하는 직선이송기구로 구성되는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 인쇄회로기판용 노광장치의 플래튼이송장치는 상부에 플래튼이 배치되는 XYθ축 이송기구와 Z축 이송기구 사이의 접점이 다수개가 되도록 하여 XYθ축 이송기구의 하중이 고르게 분산되어 플래튼의 평탄도가 정밀하게 유지될 수 있도록 하는 이점이 있으며, XYθ축 이송기구의 하중이 고르게 분산되어 플래튼의 평탄도가 정밀하게 유지될 수 있도록 함으로써 인쇄회로기판용 노광장치의 신뢰성과 안전성을 개선시킬 수 있는 이점이 있다.

도 1은 본 발명의 인쇄회로기판용 노광장치의 플래튼이송장치의 측면도,
도 2는 도 1에 도시된 인쇄회로기판용 노광장치의 플래튼이송장치의 A1-A1선 단면도,
도 3은 도 1에 도시된 인쇄회로기판용 노광장치의 플래튼이송장치의 A2-A2선 단면도,
도 4는 도 1에 도시된 인쇄회로기판용 노광장치의 플래튼이송장치의 사시도.

이하, 본 발명의 인쇄회로기판용 노광장치의 플래튼이송장치의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.

도 1 및 도 2에서와 같이 본 발명의 인쇄회로기판용 노광장치의 플래튼이송장치는 베이스판(101), XYθ축 이송기구(110), 한 쌍의 수평형 이송부재(120), 다수개의 경사형 이송부재(130), 다수개의 수직형 이송부재(140) 및 직선이송기구(150)로 구성된다.

베이스판(101)은 본 발명의 인쇄회로기판용 노광장치의 플래튼이송장치를 전반적으로 지지하며, XYθ축 이송기구(110)는 인쇄회로패턴이 형성될 기판(PCB)을 흡착하는 플래튼(platen)(116)이 배치된다. 한 쌍의 수평형 이송부재(120)는 베이스판(101)의 상부에 서로 평행이 되도록 이격되어 배치되며, 다수개의 경사형 이송부재(130)는 각각 베이스판(101)과 XYθ축 이송기구(110) 사이에 서로 이격되도록 배치고 수평형 이송부재(120)의 이동에 연동되어 경사방향(C)으로 이동되도록 수평형 이송부재(120)에 연결된다. 다수개의 수직형 이송부재(140)는 각각 베이스판(101)과 XYθ축 이송기구(110) 사이에 각각의 모서리 부분에 위치되도록 배치되며, 직선이송기구(150)는 한 쌍의 수평형 이송부재(120)와 연결되고, 한 쌍의 수평형 이송부재(120)를 수평방향(X)으로 이동시켜 경사형 이송부재(130)를 경사방향(C)으로 이송시킴에 의해 XYθ축 이송기구(110)가 수직형 이송부재(140)에 구속되어 수직방향(Z)으로 승하강되도록 하여 플래튼(116)을 필름 홀더(102)와 접촉시킨다.

상기 구성을 갖는 본 발명의 인쇄회로기판용 노광장치의 플래튼이송장치의 구성을 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.

베이스판(101)은 도 1에서와 같이 본 발명의 플래튼이송장치가 적용된 인쇄회로기판용 노광장치를 전반적으로 지지하는 베이스 프레임(102)의 하부에 배치되어 본 발명의 인쇄회로기판용 노광장치의 플래튼이송장치를 지지한다.

XYθ축 이송기구(110)는 도 1 및 도 4에서와 같이 상부지지판(111), 하부지지판(112), 다수개의 XYθ축 이송가이드(113), 제1볼스크류 이송기구(114) 및 제2볼스크류 이송기구(115)로 구성된다.

상부지지판(111)은 상부에 인쇄회로패턴이 형성될 기판(PCB)을 부압을 이용해 흡착하여 지지하는 플래튼(116)이 배치되며, 플래튼(116)은 공지된 기술이 적용됨으로 상세히 설명을 생략한다. 하부지지판(112)은 상부지지판(111)과 이격되도록 상부 지지판(111)의 하부에 배치되며, 다수개의 XYθ축 이송가이드(113)는 각각 상부 지지판(111)과 하부 지지판(112) 사이에 서로 이격되도록 위치되어 배치되며 상부 지지판(111)의 이송을 가이드하고, 다수개의 XYθ축 이송가이드(113)는 공지된 기술이 적용됨으로 상세한 설명을 생략한다. 제1볼스크류 이송기구(114)는 하부 지지판(112)에 수평방향으로 배치되며, 제2볼스크류 이송기구(115)는 제1볼스크류 이송기구(114)의 배치위치와 직교되는 수평방향으로 하부 지지판(112)에 배치된다.이러한 제1볼스크류 이송기구(114)와 제2볼스크류 이송기구(115)는 각각 XYθ축 이송가이드(113)와 연결되어 XYθ축 이송가이드(113)를 각각 이송시킴에 의해 상부 지지판(111)이 XYθ축방향으로 이송되도록 한다.

한 쌍의 수평형 이송부재(120)는 각각 도 1 및 도 3에서와 같이 리니어모션 레일(121) 및 한 쌍의 수평 이동블럭(122)으로 구성된다.

리니어모션 레일(121)은 베이스판(101)의 상부에 수평방향(X)으로 배치되며, 한 쌍의 수평 이동블럭(122)은 리니어모션 레일(121)을 따라 이동되도록 배치되며 직선이송기구(150)와 연결부재(153)로 각각 연결되어 직선이송기구(150)에 의해 수평방향(X)으로 이송된다. 즉, 한 쌍의 수평 이동블럭(122)은 도 2에서와 같이 직선이송기구(150)에 의해 수평방향(X)으로 이동되도록 연결되는 한 쌍의 연결부재(153)와 연결되어 연결부재(153)의 이동에 의해 동시에 수평방향(X)으로 이동된다.

다수개의 경사형 이송부재(130)는 도 1 및 도 2에서와 같이 하나의 수평형 이송부재(120)에 각각 2개씩 연결되도록 4개가 구비되며, 4개의 경사형 이송부재(130)는 각각 베이스판(101)과 XYθ축 이송기구(110) 사이에 다수개의 수평형 이송부재(140) 보다 내측에 위치되며 서로 이격되도록 배치되어 XYθ축 이송기구(110)를 지지한다.

4개가 구비되는 경사형 이송부재(130)는 각각 경사판(131), 리니어모션 레일(132), 경사 이동블럭(133) 및 경사프레임(134)으로 구성된다.

경사판(131)은 수평형 이송부재(120)의 한 쌍의 수평 이동블럭(122) 중 하나와 일측이 연결되며 타측에 경사면(131a)이 형성된다. 경사면(131a)은 수평방향(X)과 수직방향(Z)을 기준으로 경사지도록 형성되며, 경사면(131a)의 경사각도(D)는 수평방향(X)과 수직방향(Z)을 기준으로 20 내지 70도(degree)가 기울어지도록 형성된다. 리니어모션 레일(132)은 경사판(131)의 경사면(131a)을 따라 배치되는 경사면(131a)의 경사각도(D)로 경사지게 배치된다.

경사 이동블럭(133)은 리니어모션 레일(132)을 따라 경사방향(C)으로 이동되도록 배치되어 경사면(131a)의 경사각도(D)를 따라 이동된다. 경사프레임(134)은 XYθ축 이송기구(110)의 하부에 타측이 연결되고 경사 이동블럭(133)과 연결되도록 일측에 경사면(134a)이 형성되며 경사 이동블럭(133)의 이동에 따라 연동되어 경사방향(C)으로 이동한다.

다수개의 수평형 이송부재(140)는 도 1 및 도 2에서와 같이 4개가 구비되며, 4개의 수평형 이송부재(140)는 각각 제1수직프레임(141), 리니어모션 레일(142), 수직 이동블럭(143) 및 제2수직프레임(144)으로 구성된다.

제1수직프레임(141)은 베이스판(101)의 모서리 부분에 수직방?으로 배치된다. 즉, 제1수직프레임(141)은 길이방향이 수직방향을 세워지도록 베이스판(101)의 모서리 부분에 배치된다. 리니어모션 레일(142)은 제1수직프레임(141)의 일측의 면을 따라 배치되며, 제1수직프레임(141)과 같이 길이방향이 수직으로 세워지도록 배치된다.

수직 이동블럭(143)은 리니어모션 레일(142)을 따라 수직방향(Z)으로 이동되도록 배치되며, 제2수직프레임(144)은 XYθ축 이송기구(110)의 모서리 부분에 수직방향(Z)으로 배치되며 수직 이동블럭(143)과 연결되어 수직 이동블럭(143)의 이동에 따라 연동되어 수직방향(Z)으로 승하강된다. 즉, 제2수직프레임(144)은 길이방향이 수직방향으로 세워지도록 XYθ축 이송기구(110)의 상부 지지판(111)의 모서리 부분에 배치되어 경사형 이송부재(130)와 함께 XYθ축 이송기구(110)을 지지한다.

직선이송기구(150)는 볼스크류 이송기구나 리니어모터 이송기구 중 하나가 사용되며, 직선이송기구(150)로 볼스크류 이송기구가 사용 시 직선이송기구(150)는 모터(151), 스크류(152) 및 한 쌍의 연결부재(153)로 구성된다. 모터(151)는 스크류(152)와 연결되어 스크류(152)를 회전시키며, 한 쌍의 연결부재(153)는 스크류(152)에 삽입 배치되어 스크류(152)의 회전에 따라 동시에 서로 같은 방향 즉, 수평방향(X)으로 이송되어 한 쌍의 수평형 이송부재(120)에 각각 구비되는 한 쌍의 수평 이동블럭(122)이 리니어모션 레일(121)을 따라 수평방향(X)으로 이동되도록 한다.

상기 구성을 갖는 본 발명의 인쇄회로기판용 노광장치의 플래튼이송장치의 동작을 설명하면 다음과 같다.

인쇄회로패턴이 형성될 기판(PCB)은 도 1에서와 같이 플래튼(116)에 흡착되어 배치되며, 마스크 필름(MF)은 필름 홀더(102)에 장착된다. 마스크 필름(MF)에 형성된 인쇄회로패턴을 감광막(도시 않음)이 도포된 기판(PCB)으로 전사 시 먼저, 마스크 필름(MF)과 기판(PCB)의 정렬시키고, 정렬된 상태를 카메라(105)로 검사하며, 카메라(105)는 카메라 이송기구(104)에 의해 수평방향으로 이송되어 마스크 필름(MF)과 기판(PCB)에 형성되어 배치된 정렬마크(도시 않음)을 검사하게 된다.

마스크 필름(MF)과 기판(PCB)이 서로 정렬되면 마스크 필름(MF)에 형성된 인쇄회로패턴은 광원(105)에서 조사된 빛에 의해 기판(PCB)으로 전사되도록 하기 위해 기판(PCB)을 수직방향(Z)으로 승강시켜 마스크 필름(MF)과 접촉시킨다. 기판(PCB)을 수직방향(Z)으로 승강되어 마스크 필름(MF)과 접촉되면 광원(105)에서 빛을 조사하여 마스크 필름(MF)에 형성된 인쇄회로패턴이 기판(PCB)으로 전사되도록 한다.

인쇄회로패턴을 기판(PCB)으로 전사되도록 하기 위해 기판(PCB)을 수직방향(Z)으로 승강 시 본 발명의 인쇄회로기판용 노광장치의 플래튼이송장치는 먼저, 직선이송기구(150)를 구동시켜 직선이송기구(150)와 한 쌍의 연결부재(153)로 연결된 한 쌍의 수평형 이송부재(120)를 구동한다. 한 쌍의 수평형 이송부재(120)는 각각 한 쌍의 수평 이동블럭(122)이 직선이송기구(150)와 연결부재(153)로 연결됨에 의해 연결부재(153)의 이동에 연동되어 수평방향(X)으로 이동된다.

한 쌍의 수평 이동블럭(122)이 이동되면 한 쌍의 수평 이동블럭(122)의 상부에 각각 배치되도록 연결된 다수개의 경사형 이송부재(130)에 각각 구비되는 경사판(131)는 수평 이동블럭(122)이 이동에 연동되어 수평방향(X)으로 이동된다. 경사판(131)이 이동되면 리니어모션 레일(132)에 연결된 경사 이동블럭(133)이 경사방향(C)으로 이동됨에 의해 경사프레임(134)은 다수개의 수직형 이송부재(140)에 구속되어 수직방향(Z)으로 승강하게 된다. 즉, 경사프레임(134)의 이동에 의해 다수개의 수직형 이송부재(140)의 제2수직프레임(144)은 리니어모션 레일(142)과 수직 이동블럭(143)을 매개로 제1수직프레임(141)을 따라 수직방향(Z)을 승강하여 XYθ축 이송기구(110)를 승강시킨다.

XYθ축 이송기구(110)가 승강되면 XYθ축 이송기구(110)의 상부지지판(111)에 배치된 플래튼(116)이 승강되어 기판(PCB)이 마스크 필름(MF)과 접촉되는 방향으로 승강하게 된다. 기판(PCB)에 마스크 필름(MF)에 형성된 인쇄회로패턴이 전사되면 기판(PCB)의 하강은 직선이송기구(150)의 회전방향을 변경하여 하강시켜 노광작업을 종료하며, XYθ축 이송기구(110)의 하부를 다수개의 경사형 이송부재(130)로 지지함으로써 XYθ축 이송기구(110)의 하중을 고르게 분산시켜 지지하게 된다.

이상에서와 같이 본 발명의 인쇄회로기판용 노광장치의 플래튼이송장치는 상부에 플래튼이 배치되는 XYθ축 이송기구와 Z축 이송기구 사이의 접점이 다수개가 되도록 하여 XYθ축 이송기구의 하중이 고르게 분산되어 플래튼의 평탄도가 정밀하게 유지될 수 있으며, XYθ축 이송기구의 하중이 고르게 분산되어 플래튼의 평탄도가 정밀하게 유지될 수 있도록 함으로써 인쇄회로기판용 노광장치의 신뢰성과 안전성을 개선시킬 수 있다.

본 발명의 인쇄회로기판용 노광장치의 플래튼이송장치는 인쇄회로기판 제조산업 분야에 적용할 수 있다.

110: XYθ축 이송기구 111: 상부지지판
112: 하부지지판 113: XYθ축 이송가이드
114: 제1볼스크류 이송기구 115: 제2볼스크류 이송기구
120: 수평형 이송부재 121: 리니어모션 레일
122: 수평 이동블럭 130: 경사형 이송부재
131: 경사판 132: 리니어모션 레일
134: 경사 이동블럭 134: 경사프레임
140: 수직형 이송부재 141: 제1수직프레임
142: 리니어모션 레일 143: 수직 이동블럭
144: 제2수직프레임 150: 직선이송기구

Claims

베이스판과;
인쇄회로패턴이 형성될 기판을 흡착하는 플래튼(platen)이 배치되는 XYθ축 이송기구와;
상기 베이스판의 상부에 서로 평행이 되도록 이격되어 배치되는 한 쌍의 수평형 이송부재와;
상기 베이스판과 상기 XYθ축 이송기구 사이에 서로 이격되도록 배치되며 수평형 이송부재에 연결되는 다수개의 경사형 이송부재와;
상기 베이스판과 상기 XYθ축 이송기구 사이에 각각의 모서리 부분에 위치되도록 배치되는 다수개의 수직형 이송부재와;
상기 한 쌍의 수평형 이송부재와 연결되며 한 쌍의 수평형 이송부재를 수평방향으로 이동시켜 경사형 이송부재를 경사방향으로 이송시킴에 의해 XYθ축 이송기구가 수직형 이송부재에 구속되어 수직방향으로 승하강되도록 하는 직선이송기구로 구성되는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판용 노광장치의 플래튼이송장치.
제1항에 있어서, 상기 XYθ축 이송기구는 상부에 플래튼이 배치되는 상부지지판과;
상기 상부 지지판의 하부에 배치되는 하부지지판과;
상기 상부 지지판과 상기 하부 지지판 사이에 위치되도록 배치되어 상부 지지판의 이송을 가이드하는 다수개의 XYθ축 이송가이드와;
상기 하부 지지판에 수평방향으로 배치되는 제1볼스크류 이송기구와;
상기 제1볼스크류 이송기구의 배치방향과 직교되는 수평방향으로 상기 하부 지지판에 배치되는 제2볼스크류 이송기구로 구성되며,
상기 제1볼스크류 이송기구와 상기 제2볼스크류 이송기구는 각각 XYθ축 이송가이드와 연결되어 XYθ축 이송가이드를 각각 이송시킴에 의해 상부 지지판이 XYθ축방향으로 이송되도록 하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판용 노광장치의 플래튼이송장치.
제1항에 있어서, 상기 한 쌍의 수평형 이송부재는 각각 상기 베이스판의 상부에 수평방향으로 배치되는 리니어모션 레일과;
상기 리니어모션 레일을 따라 이동되도록 배치되며 상기 직선이송기구와 연결부재로 각각 연결되어 직선이송기구에 의해 수평방향으로 이송되는 한 쌍의 수평 이동블럭으로 구성되는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판용 노광장치의 플래튼이송장치.
제1항에 있어서, 상기 다수개의 경사형 이송부재는 하나의 수평형 이송부재에 각각 2개씩 연결되도록 4개가 구비되며, 상기 4개의 경사형 이송부재는 각각 상기 베이스판과 상기 XYθ축 이송기구 사이에 다수개의 수직형 이송부재 보다 내측에 위치되며 서로 이격되도록 배치되어 XYθ축 이송기구를 지지하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판용 노광장치의 플래튼이송장치.
제1항에 있어서, 상기 경사형 이송부재는 각각 수평형 이송부재의 한 쌍의 수평 이동블럭 중 하나와 일측이 연결되며 타측에 경사면이 형성된 경사판과;
상기 경사판의 경사면을 따라 배치되는 리니어모션 레일과;
상기 리니어모션 레일을 따라 경사방향으로 이동되도록 배치되는 경사 이동블럭과;
상기 XYθ축 이송기구의 하부에 타측이 연결되고 상기 경사 이동블럭과 연결되도록 일측에 경사면이 형성되며 경사 이동블럭의 이동에 따라 연동되어 경사방향으로 이동하는 경사프레임으로 구성되는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판용 노광장치의 플래튼이송장치.
제1항에 있어서, 상기 다수개의 수직형 이송부재는 4개가 구비되며, 상기 4개의 수직형 이송부재는 각각 베이스판의 모서리 부분에 수직방?으로 배치되는 제1수직프레임과;
상기 제1수직프레임의 일측의 면을 따라 배치되는 리니어모션 레일과;
상기 리니어모션 레일을 따라 수직방향으로 이동되도록 배치되는 수직 이동블럭과;
상기 XYθ축 이송기구의 모서리 부분에 수직방향으로 배치되며 상기 수직 이동블럭과 연결되어 수직 이동블럭의 이동에 따라 연동되어 수직방향으로 승하강되는 제2수직 프레임으로 구성되는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판용 노광장치의 플래튼이송장치.
제1항에 있어서, 상기 직선이송기구는 볼스크류 이송기구나 리니어모터 이송기구 중 하나가 사용되는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판용 노광장치의 플래튼이송장치.