JP2016197140A - 光照射装置 - Google Patents
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Abstract
Description
液晶パネル用基板などは近年特に大型化し、例えば2mを超える長さのものも用いられている。ワークの大型化につれて重量も重くなっているため、上述したようなステージによる搬送の場合、大型で重いワークを搬送するためには、その分大型で重いステージが必要となり、搬送の機構を含んだ光照射装置全体も大型で重量が重いものとなる。
このようなステージを用いずにワークを搬送して処理する光照射装置として、例えば特許文献2には、エアの噴出でワークを浮かせて搬送するものが記載されている。
このため、ワークが大型化しても装置全体の軽量化小型化が図られ、高いスループットで光照射が可能な光照射装置が望まれている。
そこで、本発明は、効率良く光照射を行うことができる小型の光照射装置を提供することを課題とする。
前記光照射装置において、前記保持搬送機が、前記ワークとすれ違う方向に移動するに際して該ワークよりも下方に下がった状態で移動するものであることが好ましい。このような好ましい構成の光照射装置によれば、ワークと保持搬送機とのすれ違いにおける接触を容易に防ぐことができる。
また、前記光照射装置において、前記浮上台上のワークを回転させる回転機をさらに備え、前記ワークは矩形状のワークであり、前記保持搬送機が、前記回転機による回転で前記浮上台の脇から突き出た前記ワークの角部を保持するものであることが好適である。
この好適な構成の光照射装置によれば、浮上台から吹き出す気体を受ける面積を確保してワークの十分な浮上を図りつつワークを十分に保持することができる。
図1と図2は、本発明の光照射装置の一実施形態に相当する偏光光照射装置の概略的構成を示す図である。図1は斜視図であり、図2は上面図である。
偏光光照射装置100は、高い剛性を有する土台5上に、所定の波長の偏光光(偏光した光)を照射する光照射部10と、ワークWの向きを所定の向きに合わせるアライメント部20(図1では図示省略、図2参照)と、ワークWを搬送する搬送部30とを備える。ここで、ワークWは、光配向膜が形成された、例えば液晶パネルの製造に用いられる、例えば300mm×500mmを超す大型の矩形状の基板である。なお、本実施形態ではワークWを矩形状としているが、本発明にいうワークはこれに限定されるものではなく、任意の形状とすることができる。
光照射部10は、線状の光源であるランプ11と、ランプ11の光を反射するミラー12とを備える。また、光照射部10は、その光出射側に配置された偏光子ユニット13を備える。さらに、光出射部10は、ランプ11、ミラー12及び偏光子ユニット13を収容するランプハウス14を備える。
ランプ11は長尺状のランプであり、その発光部が、搬送方向に直交する方向におけるワークWの幅に相応した長さを有する。このランプ11は、例えば、高圧水銀ランプや、水銀に他の金属を加えたメタルハライドランプ等であり、波長200nm〜400nmの紫外光を放射する。
なお、光源としては、紫外光を放射するLEDやLDを直線状に並べて配置した線状光源を用いることもできる。その場合、LEDやLDを並べる方向がランプの長手方向に相当する。また、複数のランプを上記Y方向に並べて構成してもよい。
ランプハウス14は底面に、ランプ11からの放射光およびミラー12による反射光が通過する光出射口を有する。偏光子ユニット13は、ランプハウス14の光出射口に取り付けられ、当該光出射口を通過する光を偏光する。光出射口を通過した光は、光照射部10の下に形成された偏光光照射領域Rに照射される。
偏光子は、例えばワイヤーグリッド型偏光素子であり、偏光子の個数は、偏光光を照射する領域の大きさに合わせて適宜選択される。なお、各偏光子は、それぞれ透過軸が同一方向を向くように配置されている。
アライメント部20は、アライメントカメラ21と、回転ステージ22とを備え、アライメントマークの検出に基づいてワークWを予め設定された方向に向けるものである。回転ステージ22が、本発明にいう回転機の一例に相当する。
アライメントカメラ21はワークWの上方に例えば2つ配置されており、ワークW上に例えば2つ設けられたアライメントマークMを、アライメントカメラ21各々が1つずつ検出する。
回転ステージ22はX軸とY軸とが含まれる平面に対して直交するZ軸を回転軸として回転する(θ回転)。この回転ステージ22がワークW下面を吸着保持して回転させ、アライメントカメラ21により検出されるアライメントマークMの位置が予め決められた位置となる角度にワークWを向けることにより、ワークWの方向と偏光光の偏光軸の方向とが、所望の関係になるように位置合せがなされる。
エア浮上ユニット31が、本発明にいう浮上台の一例に相当し、ワーク保持移動機構32,33が、本発明にいう保持移動機の一例に相当する。
搬送部30は、ワークWを上記搬送方向に搬送して偏光光照射領域Rを通過させるものである。
偏光光照射領域Rを挟んだ両側(図2の左右両側)における搬送部30のサイズは、例えば、それぞれワークW1つ分程度のサイズとなっており、ワークWが大型化した場合であっても偏光光照射装置100は比較的小型の装置となる。
このような偏光光照射装置100による光配向処理の手順について以下説明する。
光配向処理の第1段階では、偏光光照射装置100の外部からワークWが偏光光照射装置100のエア浮上ユニット31上に搬送されて来る。
図3および図4は、ワークWが偏光光照射装置に搬送されてきた状態を示す上面図および側面図である。図4には、偏光光照射装置100を図3の左方から見た状態が示されている。
このような第1段階に続く光配向処理の第2段階では、ワークWの向きが所望の向きに調整される。
図5および図6は、ワークWの向きが所望の向きに調整される様子を示す上面図および側面図である。図6には、偏光光照射装置100を図5の左方から見た状態が示されている。
このような第2段階に続く光配向処理の第3段階では、ワーク保持移動機構32が移動してワークWが搬送される。
ワークWを保持したワーク保持移動機構(ここでは一例として第1のワーク保持移動機構32)はレール34に沿って上記搬送方向に移動してワークWを搬送する。ワーク保持移動機構による搬送によってワークWは偏光光照射領域Rを通過し、偏光光照射領域Rで偏光光が照射されることによって光配向処理が行われる。ワークWの角部Cについても、ワーク保持移動機構が下面を吸着して保持しているので偏光光が照射されて光配向処理が施される。
光配向処理の実行中でも偏光光照射装置100には、図7の左側にワークWが納まるスペースが空くので、偏光光照射装置100の外部から次のワークWが搬送されてきて、アライメント部20による位置合わせが行われる。
また、上記実施形態においては、光照射部が1つ設けられた例について説明したが、本発明の光照射装置は、複数の光照射部がワークの搬送方向に直列に設けられたものであってもよい。
Claims (4)
- 予め設定された照射領域を通過するワークに光を照射する光照射装置であって、
前記照射領域を前記ワークが通過する通過方向に延び、該ワークの下に気体を吹き出して該ワークを浮上させる浮上台と、
前記浮上台を前記通過方向と交わる方向に挟んだ両脇に一対で設けられ、該一対の各々が、前記ワークを保持して前記通過方向へと移動する機能を有し、該一対の一方が該ワークを保持して移動する際に、該一対の他方が該ワークとすれ違って該通過方向とは逆方向に移動する保持移動機と、
を備えたことを特徴とする光照射装置。 - 前記保持移動機が、前記通過方向とは逆方向に移動する際、前記ワークよりも下方に下がった状態で移動することを特徴とする請求項1記載の光照射装置。
- 前記保持移動機が、前記浮上台から突き出した前記ワークの一部を下方から吸着して保持することを特徴とする請求項1または2記載の光照射装置。
- 前記浮上台上のワークを回転させる回転機をさらに備え、前記ワークは矩形状のワークであり、
前記保持移動機が、前記回転機による回転で前記浮上台の脇から突き出た前記ワークの角部を保持することを特徴とする請求項1または2記載の光照射装置。
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