KR100500171B1

KR100500171B1 - 기판의 경사 이송장치 및 경사 이송방법과 이를 적용한 기판의 처리방법

Info

Publication number: KR100500171B1
Application number: KR10-2003-0039893A
Authority: KR
Inventors: 박용석; 김경철; 유동훈
Original assignee: 주식회사 디엠에스
Priority date: 2003-06-19
Filing date: 2003-06-19
Publication date: 2005-07-07
Also published as: KR20040110543A

Abstract

기판의 경사이송장치 및 경사 이송방법과 이를 적용한 기판의 처리방법이 개시된다. 그러한 기판의 경사 이송장치는 프레임과, 상기 프레임에 장착되어 기판을 이송하는 한 쌍의 상부핸드(Upper Hand)와, 상기 프레임에 장착되어 상기 한 쌍의 상부핸드로부터/로 기판을 인수/인계하는 하부핸드(Lower Hand)와, 상기 하부핸드와 상호 교차되어 상기 기판을 경사 상태로 인수받는 경사유닛과, 그리고 상기 경사유닛으로부터/으로 경사진 상태에서 상기 기판을 경사상태로 인수/인계하여 이송하는 이송유닛을 포함한다.

Description

기판의 경사 이송장치 및 경사 이송방법과 이를 적용한 기판의 처리방법 {APPARATUS FOR TILTING TRANSFERING WORKS AND THE METHOD OF THE SAME, AND THE METHOD FOR TREATMENT OF WORKS}

본 발명은 기판의 경사 이송장치 및 경사 이송방법과 이를 적용한 기판의 처리방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판을 경사형태로 이송시킴으로써 기판의 원활한 이송과 기판의 오염을 방지할 수 있는 기판의 경사 이송장치 및 경사 이송방법과 이를 적용한 기판의 처리방법에 관한 것이다.

일반적으로 평판 디스플레이(FPD;Flat Panel Display), 반도체 웨이퍼, LCD, 포토 마스크용 글라스 등에 사용되는 기판은 일련의 처리라인을 거치면서 에칭, 스트립, 린스 등의 과정을 거친 후 세정을 하게 된다.

이러한 기판의 처리라인 및 세정에 있어서는 라인간에 기판을 이송하기 위한 이송장치들이 필수적으로 적용된다.

상기 기판 이송장치들은 여러 형태가 가능하며 통상적으로 수평방식에 의하여 기판을 인수/인계하는 방식이다. 즉, 기판을 처리하기 위하여 이송장치들이 기판을 수평상태로 이송하여 라인 입측의 로더에 공급하거나 혹은 처리된 기판을 언로더로부터 인수하여 다른 처리라인으로 이송하는 방식이다.

그러나, 이러한 방식의 기판 이송방식은 기판을 인수하는 측 혹은 인계하는 측이 경사진 경우 기판이송 과정에서 기판의 경사차이로 인하여 일측으로 밀리거나 깨질 수 있는 문제점이 있다.

또한, 수평상태로 기판을 이송하는 경우 기판의 표면에 잔존하는 이물질 등이 외부로 배출되지 못함으로써 얼룩 등의 오염이 발생하는 문제점이 있다.

따라서, 본 발명의 목적은 전술한 문제점을 해결하기 위하여 안출 된 것으로서, 본 발명의 목적은 기판을 경사상태로 이송시킴으로써 기판상의 이물질을 경사면을 따라 용이하게 낙하하여 제거할 수 있는 기판의 경사이송장치 및 경사 이송방법과 이를 적용한 기판의 처리방법을 제공하는데 있다.

본 발명의 다른 목적은 기판 이송과정에서 양측의 경사차이로 인하여 발생할 수 있는 기판의 밀림 혹은 깨짐을 방지할 수 있는 기판의 경사이송장치 및 경사 이송방법과 이를 적용한 기판의 처리방법을 제공하는데 있다.

본 발명의 목적을 실현하기 위하여, 본 발명은 프레임과; 상기 프레임에 장착되어 기판을 이송하는 한 쌍의 상부핸드(Upper Hand)와; 상기 프레임에 장착되어 상기 한 쌍의 상부핸드로부터/로 기판을 인수/인계하는 하부핸드(Lower Hand)와; 상기 하부핸드와 상호 교차되어 상기 기판을 경사 상태로 인수받는 경사유닛과; 그리고 상기 경사유닛으로부터/으로 경사진 상태에서 상기 기판을 경사상태로 인수/인계하여 이송하는 이송유닛을 포함하는 기판의 경사이송장치를 제공한다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 기판의 경사 이송장치를 상세하게 설명한다.

도1 은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판의 경사 이송장치가 구비된 세정 및 건조라인을 도시하는 사시도이다.

도시된 바와 같이, 본 발명이 제안하는 기판의 경사이송장치는 통상적인 기판 처리라인에 적용되지만, 바람직하게는 도1 에 도시된 바와 같은 적층형의 기판 세정 및 건조라인에 적용된다.

이러한 적층형의 기판 세정 및 건조라인은 프레임(Frame;1)과, 상기 프레임(1)의 상부에 활주 가능하게 장착되어 로봇으로부터/으로 기판(Ⅰ)을 인수/인계하는 이송수단(Transfer Member;3)과, 상기 프레임(1)의 전후방에 승하강 가능하게 구비되어 상기 이송수단(3)으로부터/으로 기판(Ⅰ)을 경사상태로 인수/인계하는 제1 및 제2 경사 이송수단(5,7)과, 제1 및 제2 경사이송수단(5,7)으로부터/로 기판(Ⅰ)을 인수/인계하는 이송유닛(9,11)과, 상기 제1 및 제2 경사 이송수단(5,7)의 사이에 배치되어 이송된 기판(Ⅰ)을 세정(Cleaning), 건조(Dry) 처리하는 기판 처리유닛(13)을 포함한다.

이와 같은 적층형의 기판세정 및 건조라인에 있어서, 상기 이송수단(3)은 상기 프레임(1)에 장착된 레일(2)상에 안착되어 활주 가능한 구조를 갖는다. 그리고, 상기 이송수단(3)의 상면에는 기판이 안착되는 안착부(4)와 다수의 부상판(6)으로 이루어진다.

따라서, 모터 조립체(도시안됨)가 구동하는 경우 상기 이송수단(3)이 전후방으로 이동함으로써 기판(Ⅰ)을 이송하게 된다.

그리고, 이러한 이송수단(3)은 일정 위치에 도달한 후 기판(Ⅰ)을 상기 제1 및 제2 경사 이송수단(5,7)에/로부터 인계/인수하게 된다.

즉, 상기 제1 경사 이송수단(5)은 상기 프레임(1)의 일측에 승하강 가능하게 장착되어 상기 이송수단(3)으로부터 기판(Ｉ)을 인수하여 경사상태로 로더(9)에 인계하고, 상기 제2 경사 이송수단(7)은 상기 제1 경사 이송수단(5)의 반대측에 장착되어 처리된 기판(Ｉ)을 경사상태로 상기 이송수단(3)에 인계하게 된다.

상기 제1 및 제2 경사 이송수단(5,7)은 동일한 구조를 가지므로 이하, 하나의 경사 이송수단(5)에 의하여 설명한다.

도2 는 이러한 경사이송수단의 구조를 확대하여 도시하는 부분 사시도이고, 도3 은 기판의 경사 이송장치의 하부핸드와 경사유닛의 결합관계를 도시하는 분해 사시도이다.

도시된 바와 같이, 상기 제1 경사 이송수단(5)은 이송수단(3)으로부터 기판(Ｉ)을 인수하여 하강하는 한 쌍의 상부핸드(Upper Hand;15)와, 상기 한 쌍의 상부핸드(15)로부터 기판(Ｉ)을 인수하여 하강하는 하부핸드(Lower Hand;42)와, 상기 기판(Ｉ)을 일정한 경사로 기울어지도록 하여 로더(9)에 인계하는 경사유닛(40)을 포함한다.

상기 한 쌍의 상부핸드(15)는 제1 및 제2 핸드(16,18)로 이루어지며, 상기 제1 및 제2 핸드(16,18)는 서로 마주보는 형상을 갖는다. 그리고, 상기 제1 및 제2 핸드(16,18)는 각각 수평부(19)와 수직부(21)로 이루어짐으로써 "ㄱ" 자 형상을 갖는다. 또한, 상기 수평부(19)에는 내측으로 다수의 지지핀(23)이 돌출 형성된다. 따라서, 기판(Ⅰ)이 상기 수평부(19)의 다수의 지지핀(23)에 의하여 지지될 수 있다.

그리고, 상기 제1 및 제2 핸드(16,18)의 수직부(21)는 그 하단부(25)가 수직 프레임(35)상에 구비된 연결바(31)에 의하여 연결됨으로서 상하로 이동하거나 혹은 좌우로 수평이동이 가능하다.

즉, 상기 연결바(31)는 수직방향으로 구비된 수직 프레임(35)상에 레일 등에 의하여 활주가능하게 장착되며, 상기 연결바(31)는 제1 모터 조립체(33)에 연결된 수직 연결축(37)과 나사결합 된 상태이다.

따라서, 상기 제1 모터 조립체(33)가 구동하는 경우 상기 수직 연결축(37)이 회전하게 되며, 이때 연결바(31)는 수직 연결축(37)과 나사결합 된 상태이므로 상기 연결바(31)는 수직프레임(35)을 따라 상하로 이동 가능하다.

또한, 상기 연결바(31)의 일측면 양단부에는 수평레일(27)이 각각 장착되며, 이 수평레일(27)에는 상기 수직부(21)의 하단부(25)가 각각 활주 가능하게 결합된 상태이다. 그리고, 상기 수직부(21)의 하단부(25)는 제2 모터 조립체(29)와 수평 연결축(30)에 의하여 각각 연결된 상태이다.

따라서, 상기 제2 모터 조립체(29)가 구동하는 경우, 상기 수평 연결축(30)이 회전하게 되며, 이 수평 연결축(30)에 나사결합 된 수직부(21)의 하단부(25)가 각각 좌우로 수평방향으로 이동하게 된다.

결과적으로, 상기 한 쌍의 상부핸드(15)는 제1 및 제2 모터 조립체(33,29)의 구동에 의하여 상하로 이동하거나 혹은 좌우로 이동함으로써 서로 벌어지거나 좁혀질 수 있다.

한편, 상기 하부핸드(42)는 베이스(Base;44)와, 상기 베이스(44)상에 상향으로 돌출 형성되어 기판(Ⅰ)이 얹혀지는 다수의 지지봉(46)과, 상기 다수의 지지봉(46)중 일부 지지봉에 결합되어 기판(Ⅰ)의 미끄러짐을 방지하는 지지래그(Supporting Leg;54)를 포함한다.

그리고, 상기 베이스(44)는 내부 프레임(4)상에 장착된 모터 조립체(52)에 연결되는 구조를 갖는다. 따라서, 상기 모터 조립체(52)가 구동하는 경우 상기 베이스(44)는 상하로 승하강하게 되며, 이 과정에서 기판(Ⅰ)을 안착하여 상하로 이송시킨다.

이러한 구조를 갖는 상기 하부핸드(42)에 있어서, 상기 다수의 지지봉(46)은 동일한 높이를 가지며 그 상단부에는 롤러(50)가 회전 가능하게 장착되어 기판(Ⅰ)의 안착시 긁힘을 방지한다. 이러한 롤러(50)는 러버(Rubber), 합성수지 등의 재질로 형성됨으로써 기판(Ⅰ)의 긁힘을 효율적으로 방지할 수 있다.

그리고, 상기 다수의 지지봉(46)은 후술하는 경사유닛(40)에 형성된 다수의 결합홀(64)에 각각 관통하여 결합된다. 따라서, 상기 하부핸드(42)가 상승 혹은 하강하는 경우에는 상기 다수의 지지봉(46)이 상기 경사유닛(40)의 결합홀(64)을 관통하여 상승 혹은 하강하게 된다.

또한, 상기 다수의 지지봉(46)에는 캡부(48)가 일체로 형성된다. 그리고, 이 캡부(48)는 다수의 결합홀(64)의 테두리에 접촉하게 된다. 따라서, 상기 다수의 지지봉(46)이 하강하는 경우 이 캡부(48)가 결합홀(64)의 테두리를 가압함으로써 상기 경사유닛(40)이 하강하게 된다.

그리고, 상기 다수의 지지봉(46)은 도시된 바와 같이 원형봉의 형상 뿐만 아니라 기판을 일정 높이로 지지할 수 있는 형상이면 모두 가능함은 물론이다.

한편, 상기 경사유닛(40)은 상부 및 하부 베이스(56,58)와, 상기 상부 베이스(56)의 상면에 상향으로 돌출 형성된 다수의 경사핀(60)과, 상기 다수의 경사핀(60)중 일부 경사핀(60)에 결합되어 기판(Ⅰ)의 미끄러짐을 방지하는 지지래그(Supporting Leg;66)와, 상기 하부 베이스(58)에 장착되어 상기 하부 베이스(58)를 상향으로 탄력적으로 가압하는 탄성부재(68)를 포함한다.

상기 상부 및 하부 베이스(56,58)에는 상기 다수의 경사핀(60)의 사이에 다수의 결합홀(64)이 각각 형성된다. 그리고, 상기 하부핸드(42)의 다수의 지지봉(46)이 이 결합홀(64)을 각각 관통한다. 따라서, 상기 하부핸드(42) 및 경사유닛(40)이 일체로 결합된다.

또한, 상기 다수의 경사핀(60)은 도4(a) 및 도4(b)에 도시된 바와 같이 그 길이가 일측으로 갈수록 점점 작아지는 형상을 갖는다. 즉, 일측에 형성된 경사핀(60a)의 높이가 가장 길고 타측에 형성된 경사핀(60b)의 높이가 가장 작게 형성됨으로써 경사핀(60)의 상단부를 연결하는 선은 일정한 각도로 경사진다.

따라서, 기판(Ⅰ)이 상기 경사유닛(40)에 얹혀지는 경우 기판(Ⅰ)은 일정 각도로 경사진다.

또한, 상기 다수의 경사핀(60)의 상단부에도 러버, 합성수지 등의 재질로 된 롤러(62)가 장착됨으로써 기판(Ⅰ)이 안착되는 경우 긁힘을 방지하게 된다.

그리고, 상기 하부 베이스(58)의 저면에는 스프링 혹은 러버 등으로 된 탄성부재(68)가 장착된다. 따라서, 상기 하부 베이스(58)를 상향으로 가압함으로써 상기 경사유닛(40)이 일정 높이를 유지하도록 한다.

상기 다수의 경사핀(60)은 도시된 바와 같이 원형봉의 형상 뿐만 아니라 기판을 일정 높이로 지지할 수 있는 형상이면 모두 가능함은 물론이다.

한편, 이송유닛(9,11)은 보다 상세하게는 로더(Loader;9) 및 언로더(Unloader;11)를 포함하며, 상기 로더(9) 및 언로더(11)는 도1, 도4(a) 및 도4(b) 에 도시된 바와 같이, 구동모터에 의하여 회전 가능한 다수개의 반송롤러(10)로 구성된다.

그리고, 이러한 다수개의 반송롤러(10)는 일정 각도로 경사진 형상을 갖는다. 따라서, 상기 제1 경사 이송수단(5)에 의하여 로딩된 기판(Ⅰ)은 상기 로더(9)에 안착되어 경사진 상태로 기판 처리유닛(13)으로 이송된다.

이 과정에서, 기판(Ⅰ)의 표면에 잔류하는 이물질 등의 경사면을 따라 낙하하게 됨으로써 이물질을 효율적으로 제거할 수 있다.

그리고, 상기 로더(9)의 반송롤러(10)의 사이에는 상기 하부핸드(42)의 다수의 지지봉(46) 및 경사유닛(40)의 경사핀(60)이 배열된다.

따라서, 상기 하부핸드(42)가 상승함으로써 다수의 지지봉(46)이 반송롤러(10)의 사이를 통하여 상승하여 기판(Ⅰ)을 지지하게 되고, 상기 하부핸드(42)가 하강하는 경우, 상기 다수의 지지봉(46)이 다수의 반송롤러(10)의 사이를 통하여 하강하게 된다.

이때, 상기 경사핀(60)은 다수의 반송롤러(10)의 사이에 돌출된 상태이므로 다수의 지지봉(46)에 의하여 지지되어 하강하는 기판(Ⅰ)은 상기 경사핀(60)에 안착된다. 그리고, 상기 경사유닛(40)이 더 하강함으로써 상기 기판(Ⅰ)은 로더(9)의 상부에 안착된다.

또한, 상기 언로더(11)는 기판 처리유닛(13)의 출측에 배치되며, 상기 로더와 동일한 구조를 갖는다. 따라서, 상기 기판 처리유닛(13)으로부터 배출된 기판(Ｉ)은 다수개의 반송롤러(10)에 의하여 이송되어 상기 제2 경사이송수단(7)으로 공급된다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판의 경사 이송장치를 이용한 경사이송 방법을 더욱 상세하게 설명한다.

본 발명에 따른 경사이송방법은 도5(a)에 도시된 바와 같이 기판을 하향으로 경사 이송하는 방법과, 도5(b)와 같이 언로더로부터 기판을 인수하여 상향으로 경사 이송하는 방법으로 구분된다.

먼저, 도5(a)를 참조하면 기판을 하향으로 경사 이송하는 방법은 상부핸드에 기판을 안착하여 하강하는 단계(S100)와, 하부핸드에 기판을 인계하는 단계(S110)와, 경사유닛에 기판을 안착하여 경사지도록 하는 단계(S120)와, 로더에 기판을 안착하여 이송하는 단계(S130)를 포함한다.

이러한 방법을 도1 및 도4(a), 도4(b)에 의하여 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다.

상부핸드에 기판을 안착하여 하강하는 단계(S100)에 있어서는, 먼저 이송수단(3)이 기판(Ⅰ)을 적치하여 프레임(1)을 따라 이동하여 제1 경사 이송수단(5) 위치에 도달하게 된다.

이때, 제1 경사 이송수단(5)의 상부핸드(15)는 일정 높이로 상승하여 대기상태이다. 그리고, 상기 상부핸드(15)는 상기 기판(Ｉ)이 이송되면 약간 상승함으로써 내측으로 돌출 된 다수의 지지핀(23)이 기판(Ｉ)의 양 테두리부를 지지하여 상방으로 밀어 올림으로써 기판(Ｉ)을 이송수단(3)으로부터 상승시켜 인수하게 된다.

기판(Ｉ)을 인수한 상기 상부핸드(15)는 일정 위치까지 하강하게 되며, 이때 하부핸드(42)는 일정 높이(A-A선)에서 대기상태이다.

그리고, 상기 경사유닛(40)도 탄성부재(68)의 탄성력에 의하여 일정 높이에 위치하고 있으며, 이때 다수의 경사핀(60)은 일정 각도로 경사진 상태이다.

이 상태에서 상기 하부핸드에 기판을 인계하는 단계(S110)가 진행된다. 즉, 상기 상부핸드(15)가 하강하여 A-A선에 도달하면, 기판(Ⅰ)이 상기 하부핸드(42)의 상단부에 얹혀지게 된다. 이때, 하부핸드(42)의 상단부에 장착된 롤러(50)에 기판(Ⅰ)이 접촉함으로써 기판의 표면에 긁힘이 방지된다. 또한, 기판(Ⅰ)의 일측이 지지래그(54)에 의하여 지지됨으로써 미끄러짐이 방지될 수 있다.

이 상태에서 상기 상부핸드(15)의 제1 및 제2 핸드(16,18)가 좌우로 각각 이동함으로써 하부핸드(42)가 하강하는 경우 간섭을 방지하게 된다.

그리고, 기판(Ⅰ)이 얹혀진 하부핸드(42)가 하강함으로써 경사유닛에 기판을 안착하여 경사지도록 하는 단계(S120)가 진행된다.

즉, 상기 하부핸드(42)가 점차 하강하여 일정 높이에 도달하면, 기판(Ⅰ)의 일측이 다수의 경사핀(46) 중 일측 경사핀(60a)에 접촉한다. 그리고, 하부핸드(42)가 지속적으로 하강함으로써 기판(Ⅰ)의 타측은 높이가 가장 작은 타측 경사핀(60b)에 접촉한다.

결과적으로, 상기 기판(Ⅰ)은 다수의 경사핀(60)에 의하여 경사진 상태로 적치된다.

그리고, 상기 하부핸드(42)가 보다 하강하게 되면, 상기 다수의 지지봉(46)에 형성된 캡부(48)가 상기 상부베이스(56)에 형성된 결합홀(64)의 테두리를 가압하게 된다. 따라서, 상기 상부 베이스(56)가 캡부(48)에 의하여 가압되므로 상기 경사유닛(40)이 하부로 이동하게 된다.

그리고, 이송된 기판을 로더에 공급하는 로더에 의한 기판 안착/이송단계(S130)가 진행된다.

즉, 상기 경사유닛(40)이 점차로 하강하여 일정 높이 이하, 즉, 다수의 경사핀(60)의 상단부가 기판패스라인(P/S) 이하로 내려가면 상기 기판(Ⅰ)은 로더(9)의 상면에 안착된다.

이와 같이 로더(9)의 상면에 안착된 기판(Ⅰ)은 반송롤러(10)의 회전에 의하여 이송되어 기판처리유닛(13)으로 공급되어 일련의 공정을 거치게 된다.

한편, 기판(Ⅰ)이 상기와 같이 기판처리 유닛(13)을 통과한 후에는 도5(b)에 도시된 바와 같은 기판의 경사 이송방법에 의하여 외부로 배출된다.

즉, 기판을 상향으로 경사 이송하는 방법은 경사유닛에 기판을 안착/상승하는 단계(S200)와, 하부핸드에 기판을 인계하는 단계(S210)와, 상부핸드에 기판을 인계하는 단계(S220)를 포함한다.

먼저, 경사유닛에 기판을 안착/상승하는 단계(S200)에 있어서는, 기판처리유닛(13)으로부터 배출된 기판(Ⅰ)은 언로더(11)에 의하여 제2 경사 이송수단(7)으로 공급된다. 이때, 제2 경사 이송수단(7)에 의한 이송과정은 상기 제1 경사 이송수단(5)의 이송과정과 역순이고, 제1 및 제2 경사 이송수단은 동일한 구조를 가지므로 이하, 제1 경사 이송수단과 동일부호에 의하여 설명한다.

즉, 기판(Ⅰ)이 언로더(11)에 의하여 이송되어 일정 위치에 도달되면, 상기 경사유닛(40) 및 하부핸드(42)가 상승하게 되고, 이때 다수의 지지봉(46) 및 경사핀(60)이 상기 반송롤러(10)의 사이를 통과하여 상승하게 된다.

그리고, 다수의 경사핀(60)이 상기 기판(Ⅰ)에 점차로 접촉함으로써 상기 기판(Ⅰ)을 경사진 상태로 상부로 들어 올리게 되며, 일정 시간 후 상기 다수의 지지봉(46)이 같이 상승함으로써 상기 기판(Ⅰ)의 저면에 접촉하게 된다. 이때, 상기 경사유닛(40)은 탄성부재(68)에 의하여 고정되어 있음으로 일정 높이까지만 상승하게 된다.

반면에, 상기 다수의 지지봉(46)은 지속적으로 상승함으로써 상기 기판(Ⅰ)을 들어 올리게 되며 이 과정에서 경사상태의 기판(Ⅰ)이 수평상태로 전환된다. 즉, 하부핸드에 기판을 인계하는 단계(S210)가 진행된다.

그리고, 하부핸드에 기판을 인계한 후, 상부핸드에 기판을 인계하는 단계(S220)가 진행된다.

즉, 기판(Ⅰ)이 일정 높이까지 상승하는 경우, 상부핸드(15)의 제1 및 제2 핸드(16,18)는 기판(Ⅰ)을 인수할 수 있는 위치에서 대기하고 있는 상태이다.

따라서, 상기 기판(Ⅰ)이 하부핸드(42)에 의하여 적치되어 일정 위치에 도달하면, 상기 상부핸드(15)의 제1 및 제2 핸드(16,18)가 내측으로 이동하여 상기 기판(Ⅰ)의 양테두리부 저면에 접촉하여 들어 올리게 된다.

그리고, 기판(Ⅰ)을 인수한 일정 높이 까지 상승하게 되며 상기 이송수단(3)에 기판을 인계하게 된다.

이와 같은 과정을 통하여 상기 제1 및 제2 경사 이송수단(5,7)은 기판을 경사진 상태로 이송할 수 있다.

한편, 상기와 같은 경사이송방법은 경사이송장치에 한정되는 것은 아니고, 도1 에 도시된 바와 같은 기판 처리라인의 전체공정에 적용될 수도 있다.

즉, 이러한 기판 처리방법은 외부로부터 기판(Ⅰ)을 인수하여 이송수단(3)에 의하여 이송하는 공정과, 이송된 기판(Ⅰ)을 제1 경사 이송수단(5)에 의하여 인수하고 경사상태로 하강시키는 공정과, 상기 제1 경사수단(5)에 의하여 경사상태로 이송된 기판(Ⅰ)을 로더(9)에 의하여 기판처리유닛(13)으로 공급하는 공정과, 상기 기판처리유닛(13)으로 공급된 기판(Ⅰ)의 표면을 처리하는 공정과, 상기 기판처리유닛(13)에 의하여 처리된 기판(Ⅰ)을 언로더(11)에 의하여 제2 경사 이송수단(7)으로 공급하는 공정과, 공급된 기판(Ⅰ)을 상기 제2 경사 이송수단(7)에 의하여 상향으로 경사상태로 이송시키는 공정과, 그리고 이송된 기판(Ⅰ)을 수평상태로 전환하여 상기 이송수단(3)에 인계하는 공정을 포함한다.

그리고, 기판(Ⅰ)을 제1 경사이송수단(5)에 의하여 경사 하강시키는 공정은 도5(a)에 도시된 바와 같은 단계에 의하여 진행되며, 이러한 단계는 상기에서 설명되었음으로 생략한다.

상기에서는 기판의 경사장치 및 방법을 기판의 세정 및 건조라인에 적용하여 설명하였지만, 이에 한정되는 것은 아니고 기판의 에칭(Etching) 및 스트립(Strip)라인에도 적용 가능함은 물론이다.

이와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판의 경사이송장치 및 경사 이송방법과 이를 적용한 기판의 처리방법은 기판을 적절한 경사상태로 이송함으로써 기판 이송과정에서 기판 인수/인계측의 경사차이로 인하여 발생할 수 있는 기판의 밀림 혹은 깨짐을 방지할 수 있음으로 안전하게 기판을 이송할 수 있는 장점이 있다.

또한, 기판을 경사상태로 이송시킴으로써 기판상의 이물질을 경사면을 따라 용이하게 낙하하여 제거할 수 있는 장점이 있다.

이상을 통해 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니고 특허청구의 범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고, 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.

도1 은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판의 경사 이송장치가 구비된 세정 및 건조라인을 도시하는 사시도.

도2 는 도1 에 도시된 기판의 경사 이송장치의 구조를 확대하여 도시하는 부분 사시도.

도3 은 도2 에 도시된 기판의 경사 이송장치의 하부핸드와 경사유닛의 결합관계를 도시하는 분해 사시도.

도4(a) 는 기판이 경사이송장치에 의하여 로더에 안착되기 전의 상태를 도시하는 상태도.

도4(b) 는 기판이 경사이송장치에 의하여 로더에 안착된 후의 상태를 도시하는 상태도.

도5(a) 는 기판을 하향으로 경사 이송하여 로더로 공급하는 방법을 도시하는 순서도.

도5(b) 는 기판을 언로더로부터 인수하여 상향으로 경사 이송하는 방법을 도시하는 순서도.

Claims

프레임과;

상기 프레임에 장착되어 기판을 이송하는 한 쌍의 상부핸드(Upper Hand)와;

상기 프레임에 장착되어 상기 한 쌍의 상부핸드로부터/로 기판을 인수/인계하는 하부핸드(Lower Hand)와;

상기 하부핸드와 상호 교차되어 상기 기판을 경사 상태로 인수받는 경사유닛과; 그리고

상기 경사유닛으로부터/으로 경사진 상태에서 상기 기판을 경사상태로 인수/인계하여 이송하는 이송유닛을 포함하는 기판의 경사이송장치.
제1 항에 있어서, 상기 한 쌍의 상부핸드는 서로 마주보도록 배치되는 제1 및 제2 핸드를 포함하며, 상기 제1 및 제2 핸드는 내측 방향으로 다수의 지지핀이 돌출 형성되어 기판이 안착되는 수평부와, 상기 프레임에 장착되어 모터 조립체 구동시 상하 및 좌우이동이 가능한 수직부로 이루어지는 기판의 경사이송장치.
제2 항에 있어서, 상기 제1 및 제2 핸드의 수직부는 그 하단부를 서로 연결하는 연결바가 제1 모터 조립체에 연결됨으로써 상기 제1 모터 조립체가 구동하는 경우 상하로 이동가능하며, 상기 수직부의 하단부가 상기 연결바의 측면에 장착된 수평레일에 각각 활주 가능하게 결합되며 제2 모터 조립체와 수평 연결축에 의하여 각각 연결됨으로써 제2 모터 조립체 구동시 좌우로 이동가능한 기판의 경사 이송장치.
제1 항에 있어서, 상기 하부핸드는 프레임상에서 상하로 이동이 가능한 베이스와, 상기 베이스상에 상향으로 돌출 형성되어 그 상단부에 기판이 얹혀지는 다수의 지지봉과, 상기 다수의 지지봉중 일부 지지봉에 결합되어 기판의 미끄러짐을 방지하는 지지래그(Leg)와, 상기 다수의 지지봉에 형성되어 상기 하부핸드와 결합되어 상하 연동되는 캡부를 포함하는 기판의 경사이송장치.
제4 항에 있어서, 상기 경사유닛은 다수의 결합홀이 형성되어 상기 다수의 지지봉이 관통하며 상기 다수의 지지봉 하강시 상기 캡부가 다수의 결합홀의 테두리에 걸림으로써 하향으로 가압되는 상부 및 하부 베이스와, 상기 상부 베이스의 상면에 상향으로 돌출 형성되며 그 높이가 일방향으로 서로 다르게 형성됨으로써 기판을 경사상태로 지지하는 다수의 경사핀과, 상기 다수의 지지봉 중 일부 지지봉에 결합되어 기판의 미끄러짐을 방지하는 지지래그(Leg)와, 상기 하부 베이스에 장착되어 상기 하부베이스를 상향으로 탄력적으로 가압하는 탄성부재를 포함하는 기판의 경사이송장치.
제3 항 또는 제5 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 다수의 지지봉 및 경사핀의 상단부에는 롤러가 추가로 장착됨으로써 기판 접촉시 긁힘을 방지하는 기판의 경사이송장치.
이송수단에 의하여 공급된 기판을 상부핸드가 인수하여 하강하는 단계와;

기판이 안착된 상기 상부핸드가 하강하여 대기중인 하부핸드의 다수의 지지봉 상단부에 기판을 인계하는 단계와;

기판이 안착된 상기 하부핸드가 하강하는 경우, 상기 다수의 지지봉이 일측방향으로 그 높이가 더 작아지도록 형성된 경사유닛의 다수의 경사핀 보다 더 하강함으로써 다수의 지지봉에 안착된 기판이 다수의 경사핀에 순차적으로 안착됨으로써 경사지는 단계와; 그리고

상기 하부핸드가 경사유닛을 하강시킴으로써 상기 다수의 경사핀 상단부가 기판패스라인 이하로 하강함으로써 기판이 로더상에 안착되어 이송되는 단계를 포함하는 기판의 경사이송방법.
외부로부터 기판을 인수하여 이송수단에 의하여 이송하는 제1 공정과;

이송된 기판을 제1 경사 이송수단에 의하여 인수하고 경사상태로 하강시키는 제2 공정과;

상기 제1 경사수단에 의하여 경사상태로 이송된 기판을 로더에 의하여 기판처리유닛으로 공급하는 제3 공정과;

상기 기판처리유닛으로 공급된 기판의 표면을 처리하는 제4 공정과;

상기 기판처리유닛에 의하여 처리된 기판을 언로더에 의하여 제2 경사 이송수단으로 공급하는 제5 공정과;

공급된 기판을 상기 제2 경사 이송수단에 의하여 상향으로 경사상태로 이송시키는 제6 공정과; 그리고

이송된 기판을 수평상태로 전환하여 상기 이송수단에 인계하는 제7 공정을 포함하는 기판처리 방법.
제8 항에 있어서, 상기 제2 공정은 이송수단에 의하여 공급된 기판을 상부핸드가 인수하여 하강하는 단계와; 기판이 안착된 상기 상부핸드가 하강함으로써 대기중인 하부핸드의 다수의 지지봉 상단부에 기판을 인계하는 단계와; 기판이 안착된 상기 하부핸드가 하강하는 경우, 상기 다수의 지지봉이 일측방향으로 그 높이가 더 작아지도록 형성된 경사유닛의 다수의 경사핀 보다 더 하강함으로써 다수의 지지봉에 안착된 기판이 다수의 경사핀에 순차적으로 안착됨으로써 경사지는 단계와; 그리고 상기 하부핸드가 경사유닛을 하강시킴으로써 상기 다수의 경사핀 상단부가 기판패스라인 이하로 하강함으로써 기판이 로더상에 안착되어 이송되는 단계를 추가로 포함하는 기판 처리방법.