KR101340422B1 - 기판 처리 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 여분의 설치 스페이스를 필요로 하지 않고, 기판의 공급과 반출을 같은 장소에서 행할 수 있는 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법을 제공하는 것에 있다. 장치 본체(1)와, 장치 본체에 설치되어 기판을 소정의 각도로 경사지게 하여 반송하는 반송 롤러와, 반송 롤러에 의해 반송되는 기판을 처리하는 처리부(3)와, 장치 본체의 상부에 설치되어 기판을 수평인 상태로, 경사지게 하여 반송하는 반송 방향과 역방향으로 반송하는 상부 반송부(4)와, 장치 본체의 적어도 일단에 설치되어 상부 반송부에 의해 수평으로 반송된 기판을 받으면, 이 기판을 하강시키는 동시에 소정의 각도로 경사지게 하여 반송 롤러와 주고받는 경사 받아건넴 유닛(61)을 구비한다.

기판 처리 장치, 기판 처리 방법, 반송 롤러, 경사 받아건넴 유닛

Description

기판 처리 장치{APPARATUS FOR TREATING SUBSTRATES}

도 1은 본 발명의 일실시예의 처리 장치의 개략적 구성을 나타낸 사시도이다.

도 2는 상기 기판 처리 장치의 정면도이다.

도 3은 상기 기판 처리 장치의 평면도이다.

도 4는 처리 유닛의 분해 사시도이다.

도 5는 수평 받아건넴 유닛의 측면도이다.

도 6은 수평 받아건넴 유닛의 정면도이다.

도 7은 경사 받아건넴 유닛의 측면도이다.

도 8은 경사 받아건넴 유닛의 정면도이다.

도 9는 처리 유닛의 처리부 내를 나타낸 도면이다.

도 10은 본 발명의 다른 실시예를 나타낸 처리 장치의 평면도이다.

[도면의 주요부분에 대한 부호의 설명]

(1)… 본체, (1A~1E)…제1 내지 제5 처리 유닛, (3)…처리부,

(4)… 반송부, (9)…기기부, (14)… 반송 롤러(경사 반송 수단),

(15)… 반송축(경사 반송 수단), (17)… 구동 롤러(경사 반송 수단),

(31)…수평 받아건넴 유닛(수평 받아건넴 수단), (45)… 자세 변환 부재,

(50)… 자세 변환 기구, (61,61A,61B)… 경사 받아건넴 유닛(경사 받아건넴 수단),

(63)… 가동체, (64)… 구동 기구, (78)… 자세 변환 부재(받이부),

(85)… 자세 변환 기구.

본 발명은 기판을 소정의 각도로 경사지게 하여 반송하면서 처리하는 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법에 관한 것이다.

액정 표시 장치에 사용되는 유리제의 기판에는 회로 패턴이 형성된다. 기판에 회로 패턴을 형성하는 데는 리소그라피 프로세스가 채용된다. 리소그라피 프로세스는 주지하는 바와 같이 상기 기판에 레지스트를 도포하고, 이 레지스트에 회로 패턴이 형성된 마스크를 통하여 광을 조사(照射)한다.

다음에, 레지스트의 광이 조사되지 않은 부분 또는 광이 조사된 부분을 제거하고, 기판의 레지스트가 제거된 부분을 에칭하고, 에칭 후에 레지스트를 제거하는 등의 일련의 공정을 복수회 반복함으로써, 상기 기판에 회로 패턴을 형성한다.

이와 같은 리소그라피 프로세스에 있어서는, 상기 기판에 현상액, 에칭액 또는 에칭 후에 레지스트를 제거하는 박리액 등의 처리액에 의해 기판을 처리하는 공정, 또한 린스액에 의해 세정하는 공정 등이 있으므로, 세정 후에는 기판에 부착 잔류된 린스액을 제거하는 건조 공정이 필요하다.

종래, 기판에 대하여 전술한 일련의 처리를 행하는 경우, 상기 기판은 축선을 수평으로 하여 배치된 반송 롤러에 의해 수평인 상태로 각각의 처리 챔버에 차례로 반송하고, 거기서 처리액에 의해 처리하고, 처리 후에 압축 기체를 분사하여 건조 처리하도록 하고 있다.

그런데, 최근에는 액정 표시 장치에 사용되는 유리제의 기판이 대형화 및 박형화되는 경향이 있다. 그러므로, 기판을 수평 반송하면, 반송 롤러 사이에서의 기판의 휨이 커지므로, 각 처리 챔버에서의 처리가 기판의 판면 전체에 걸쳐서 균일하게 행해지지 않게 된다.

또한, 기판이 대형화하면, 그 기판을 반송하는 반송 롤러가 설치된 반송축이 장척화(長尺化)된다. 또한, 기판이 대형화함으로써, 기판 상에 공급되는 처리액이 증대하고, 기판상의 처리액의 양에 따라 상기 반송축에 가해지는 하중이 커지게 되므로, 이들에 의해 반송축의 휨이 증대한다. 그러므로, 기판은 반송축이 휘는 것에 의해서도 휨이 생기고, 균일한 처리가 행해지지 않는 경우가 있다.

그래서, 처리액에 의해 기판을 처리할 때, 상기 기판이 처리액의 중량에 의해 휘는 것을 방지하기 위해서, 기판을 소정의 경사 각도, 예를 들면 75도 각도로 경사지게 하여 반송하는 것이 고려되고 있다. 기판을 경사지게 하여 반송하면, 처리액은 기판의 판면에 모이지 않고, 윗쪽으로부터 아래쪽으로 원활하게 흐르기 때문에, 처리액의 중량에 의해 기판이 휘는 것을 방지할 수 있다.

그런데, 기판에 대하여 약액 처리, 린스액 처리 및 건조 처리 등의 복수의 처리를 연속하여 행하는 경우, 처리 장치는 기판에 대하여 복수의 처리를 차례로 행하는 복수개의 챔버가 일렬로 구획 형성된 구조로 된다.

복수의 처리 챔버가 일렬로 설치된 처리 장치는 장척화되게 된다. 그 경우, 기판은 처리 장치의 길이 방향 일단으로부터 공급되고, 그 장치 내에서 반송되어 처리된 후, 길이 방향 타단으로부터 배출된다. 처리 장치의 길이 방향 타단으로부터 배출된 기판은 다음 공정으로 주고받게 된다. 따라서, 상기 처리 장치에 대한 기판의 공급과 배출을, 처리 장치의 길이 방향 일단과 타단에서 각각 별개로 행하지 않으면 않되므로, 작업성이 좋지 않은 경우가 있다.

그래서, 작업성을 향상시키기 위하여, 처리 장치와 평행으로 기판의 반송 컨베이어를 배치하고, 처리 장치의 일단으로부터 공급되어 처리되고, 길이 방향 타단으로부터 배출된 기판을, 상기 반송 컨베이어에 이송탑재하고, 이 반송 컨베이어에 의해 처리 장치의 길이 방향 일단에 되돌려 다음 공정에 주고받는 것이 고려되고 있다.

처리 장치의 길이 방향 일단으로부터 공급되고, 이 처리 장치로 처리되어 길이 방향 타단으로부터 배출된 기판을, 처리 장치의 길이 방향 일단으로 되돌리도록 하면, 처리 장치에 대한 기판의 공급과 처리된 기판의 다음 공정으로의 교환을 같은 위치에서 행할 수 있으므로, 작업성의 향상을 도모하는 것이 가능해진다.

그러나, 처리 장치와 평행으로 반송 컨베이어를 설치하지 않으면 않되므로, 반송 컨베이어를 설치하기 위해서 전용의 스페이스를 확보해야만 한다. 그러므로, 클린 룸 내의 스페이스가 상기 반송 컨베이어분만큼 여분으로 필요해지므로, 스페 이스 효율이 저하되게 된다.

본 발명은, 기판을 소정의 경사 각도로 반송하면서 처리하는 경우, 여분의 스페이스를 필요로 하지 않고, 장치 본체에 대한 기판의 공급과 배출을 같은 위치에서 행할 수 있도록 한 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법을 제공하는 것에 있다.

본 발명은, 기판을 소정의 각도로 경사지게 하여 반송하면서 처리하는 기판 처리 장치로서,

장치 본체와,

상기 장치 본체에 설치되어 상기 기판을 소정의 각도로 경사지게 하여 반송하는 경사 반송 수단과,

상기 경사 반송 수단에 의해 반송되는 기판을 처리하는 처리 수단과,

상기 장치 본체의 상부에 설치되어 상기 기판을 수평인 상태로 상기 경사 반송 수단에 의한 반송 방향과 역방향으로 반송하는 상부 반송 수단과,

상기 장치 본체의 적어도 일단에 설치되어 상기 상부 반송 수단에 의해 수평으로 반송된 상기 기판을 받으면, 상기 기판을 하강시키는 동시에 소정의 각도로 경사지게 하여 상기 경사 반송 수단에 받아건네는 제1 경사 받아건넴 수단

을 구비한 기판 처리 장치에 있다.

본 발명은, 기판을 소정의 각도로 경사지게 하여 반송하면서 처리하는 기판의 처리 방법으로서,

상기 기판을 수평인 상태로 수평 방향으로 반송하는 공정과,

수평인 상태로 반송된 기판을 하강시키는 동시에 상기 소정의 각도로 경사지게 하는 공정과,

소정의 각도로로 경사진 기판을 수평인 상태로 반송되는 방향과 역방향으로 반송하면서 처리하는 공정과,

처리된 기판을 소정의 경사 각도로부터 수평으로 되돌리는 공정

을 포함하는 기판의 처리 방법에 있다.

처리되어 소정의 경사 각도로부터 수평으로 되돌려진 기판을 상기 수평 방향으로 반송되는 높이까지 상승시키는 공정과,

상승시킨 기판을 상기 수평 방향으로 반송하여 그 반송 도중에 배출하는 공정을 포함하는 것이 바람직하다.

본 발명에 의하면, 수평 반송된 기판을 하강시키는 동시에 경사시켜, 수평 반송 방향과 역방향으로 반송하여 처리하기 위하여, 장치 본체의 측방에 반송 컨베이어를 설치하는 일 없이, 기판의 공급과 반출을 같은 위치에서 행하는 것이 가능해진다. 그러므로, 여분의 스페이스를 필요로 하지 않고 기판의 처리를 능률적으로 행하는 것이 가능해진다.

[발명을 실시하기 위한 바람직한 실시예]

이하, 본 발명의 실시예를 도면을 참조하여 설명한다.

도 1 내지 도 9는 본 발명의 제1 실시예를 나타내고, 도 1은 본 발명의 처리 장치의 개략적 구성을 나타낸 사시도, 도 2는 정면도, 도 3은 평면도이다. 상기 처리 장치는 장치 본체(1)를 가지고, 이 장치 본체(1)는 분할된 복수의 처리 유닛, 이 실시예에서는 제1 내지 제5 처리 유닛(1A~1E)을 분해 가능하게 일렬로 연결하여 이루어진다.

도 4에 나타낸 바와 같이, 각 처리 유닛(1A~1E)은 가대(架臺)(2)를 가진다. 이 가대(2)의 앞면에는 상자 형상의 처리부(3)가 소정의 각도로로 경사져 지지되어 있다. 상기 가대(2)와 처리부(3)의 상면에는 상부 반송부(4)가 설치되어 있다. 상기 가대(2)의 하단의 폭 방향 양단에는 판형의 한쌍의 각체(脚體)(5)가 분해 가능하게 설치된다. 이 각체(5)에 의해 상기 가대(2)의 하면 측에 공간부(6)가 형성된다.

상기 공간부(6)에는, 상기 처리부(3)에서 후술하는 바와 같이 행해지는 기판 W의 처리에 사용되는 약액이나 린스액 등의 처리액을 공급하는 탱크나 펌프 또는 공급을 제어하기 위한 제어 장치 등의 기기(7)를 프레임(8)에 탑재한 기기부(9)가 수납되도록 되어 있다. 즉, 각 처리 유닛(1A~1E)은 가대(2)를 각체(5)로 지지하여 처리부(3)의 아래쪽에 공간부(6)를 형성함으로써, 상하 방향으로 위치하는 처리부(3), 상부 반송부(4) 및 기기부(9)의 3개의 부분으로 분할되어 있다.

상기 구성의 처리 장치는, 복수의 처리 유닛(1A~1E)으로 분할 가능할뿐아니라, 각 처리 유닛은 처리부(3), 상부 반송부(4) 및 기기부(9)로 분할 가능하다. 그러므로, 처리 장치가 대형화된 경우라도, 운반시 등에는 복수개의 처리 유닛(1A~1E)으로 분해할 뿐만 아니라, 또한 각 처리 유닛(1A~1E)을 처리부(3), 상부 반송부(4) 및 기기부(9)로 분할하여 취급할 수 있다.

즉, 처리 장치의 장치 본체(1)는 길이 치수만아니고, 높이 치수도 작게 하여 취급할 수 있기 때문에, 트랙의 하대(荷臺)에 탑재했을 때, 제한 높이를 오버하지 않고, 운반할 수 있다.

상기 처리부(3)는 도 4에 나타낸 바와 같이 앞면에 커버체(11)가 개폐 가능하게 설치된 상자체(12)를 가진다. 이 상자체(12)는 상기 가대(2)에 소정의 각도로인, 예를 들면, 수직선에 대하여 75도의 각도로 경사져 유지되어 있으므로, 폭 방향의 양쪽 면에는 75도의 각도로 경사져 반송되는 기판 W가 통과하는 슬릿(13)(한쪽의 측면만 도시)이 형성되어 있다.

상기 상자체(12)의 내부에는, 도 9에 나타낸 바와 같이 경사 반송 수단을 구성하는 복수개의 반송축(15)(1개만 도시)이 상자체(12)의 폭방향으로 소정 간격으로 설치되어 있다. 이 반송축(15)에는 복수개의 반송 롤러(14)가 축방향으로 소정 간격으로 회전 가능하게 설치되어 있다. 상기 반송축(15)은 상하단이 베어링(16)에 의해 회전 가능하게 지지되어 있으므로, 축선을 상기 슬릿(13)과 같은 경사 각도로 경사지게 하고 있다.

상기 상자체(12) 내에는 상기 슬릿(13)으로부터 기판 W가 후술하는 바와 같이 도입된다. 상자체(12) 내에 도입된 기판 W는 상기 반송축(15)에 설치된 반송 롤러(14)에 의해 비(非)디바이스면인 배면이 지지된다. 이 기판 W의 하단은 구동 롤러(17)에 의해 지지된다. 이 구동 롤러(17)는 구동축(18)의 일단에 설치되어 있다. 이 구동축(18)은 베어링(19a)에 의해 회전 가능하게 지지되어, 구동원(19)에 의해 회전 구동된다.

그에 따라 배면이 반송 롤러(14)에 의해 지지되어, 하단이 구동 롤러(17)에 의해 지지된 기판 W는, 이 구동 롤러(17)에 의해 후술하는 바와 같이 상기 제1 처리 유닛(1A)으로부터 제5 처리 유닛(1E)를 향해 75도의 각도로 경사져 반송된다.

그리고, 상기 반송 롤러(14)를 반송축(15)에 고정하고, 이 반송축(15)을 회전 구동시킴으로써, 기판 W를 상기 구동 롤러(17)와 함께 반송하도록 해도 되고, 또 구동 롤러(17)를 구동하지 않고, 반송 롤러(14)만을 구동하여 기판 W를 반송하도록 해도 된다.

각 처리 유닛(1A~1E)의 상자체(12) 내에는, 75도의 각도로 경사져 반송되는 기판 W의 앞면에 대향하여 처리 수단(20)이 설치되어 있다. 기판 W는 75도로 경사져 반송되면서 상기 처리 수단(20)에 의해 앞면이 처리된다.

제1 및 제2 처리 유닛(1A,1B)에 설치된 처리 수단(20)은, 기판 W에 예를 들면, 박리액이나 에칭액 등의 약액을 차례로 분사하는 제1 및 제2 약액 처리 수단이며, 제3, 제4 처리 유닛(1C),(1D)에 설치된 처리 수단(20)은, 약액에 의해 처리된 기판 W에 각각 린스액을 분사하는 린스 처리 수단이다. 제5 처리 유닛(1E)에 설치된 처리 수단(20)은, 린스 처리된 기판 W에 기체를 분사하여 건조시키는 건조 처리 수단이다.

따라서, 기판 W는 제1 처리 유닛(1A)에 공급되어 제5 처리 유닛(1E)에 반송됨으로써, 약액 처리, 린스 처리 및 건조 처리가 차례로 행해지게 된다.

도 4에 나타낸 바와 같이 상기 상부 반송부(4)는 평판형의 베이스부(21)를 가지고, 이 베이스부(21)에는 반송 롤러(22)를 가지는 복수개의 반송축(23)이 축선을 수평으로 하여 소정 간격으로 설치되고, 구동원(도시하지 않음)에 의해 회전 구 동되도록 되어 있다. 베이스부(21)는 착탈 가능한 커버(24)에 의해 덮혀져 있다.

제1 내지 제5 처리 유닛(1A~1E)의 상부 반송부(4)는 장치 본체(1)의 상부에서 일렬로 배치되고, 기판 W를 수평인 상태로 수평 방향으로 반송하는 상부 반송 수단을 구성하고 있다. 그리고, 기판 W는 제5 처리 유닛(1E)으로부터 제1 처리 유닛(1A)을 향해 반송된다. 즉, 기판 W는 상기 처리부(3)에 설치된 경사 반송 수단의) 반송 롤러(17)에 의해 반송되는 방향과 역방향으로 반송된다.

상기 장치 본체(1)의 길이 방향 일단, 즉 제5 처리 유닛(1E) 측에는 수평 받아건넴 수단으로서의 수평 받아건넴 유닛(31)이 설치되어 있다. 이 수평 받아건넴 유닛(31)은 도 5 및 도 6에 나타낸 바와 같이 프레임(32)을 가진다. 이 프레임(32)의 상부에는 상부 반송부(33)가 형성되어 있다. 이 상부 반송부(33)에는 반송 롤러(34)를 가지는 복수개의 반송축(35)이 축선을 장치 본체(1)의 길이 방향으로 직교하게 하여 회전 가능하게 설치되고, 구동원(도시하지 않음)에 의해 회전 구동되도록 되어 있다. 도 6에 나타낸 바와 같이, 상부 반송부(33)의 일단은 기판 W가 수평인 상태로 공급되는 공급부(36)로 되어 있고, 타단은 상기 반송 롤러(34)에 의해 반송된 기판 W가 송출되는 반출부(37)로 되어 있다.

로봇(도시하지 않음) 등에 의해 상기 공급부(36)로부터 공급되어 상기 반출부(37)로부터 수평인 상태로 송출된 기판 W는 제5 처리 유닛(1E)의 상부 반송부(4)로 이송된다. 제5 처리 유닛(1E)의 상부 반송부(4)로 이송된 기판 W는, 전술한 바와 같이 각 처리 유닛의 상부 반송부(4)에 의해 수평인 상태로 처리 유닛(1A)을 향해 차례로 반송된다.

상기 프레임(32) 내부에는 가대(41)가 설치되어 있다. 도 6에 나타낸 바와 같이, 이 가대(41)에는 한쌍의 제1 베어링(42)에 의해 추축(樞軸)(43)이 회전 가능하게 지지되어 있다. 이 추축(43)의 양 단부에는 제2 베어링(44)이 설치되어 있다. 한쌍의 제2 베어링(44)은 평판형의 자세 변환 부재(45)의 하면의 소정 방향 중도부의 양 단부에 장착되어 있다.

상기 자세 변환 부재(45)의 상면에는 받이 롤러(46)를 가지는 복수개의 받이축(47)이 축선을 상기 추축(43)의 축선과 직교하는 방향을 따라 회전 가능하게 설치되고, 구동원(도시하지 않음)에 의해 회전 구동되도록 되어 있다. 상기 자세 변환 부재(45)의 상면의 길이 방향의 일단부에는, 도 5에 나타낸 바와 같이 단부 지지 롤러(48)가 회전축선을 상기 자세 변환 부재(45)의 판면과 직교하게 하여 설치되어 있다.

상기 자세 변환 부재(45)의 상기 제2 베어링(44)보다 타단부 측에는 자세 변환 기구(50)를 구성하는 링크(51)의 일단이 회전가능하게 장착되어 있다. 이 링크(51)의 타단은 가동체(52)에 회전가능하게 장착되어 있다. 이 가동체(52)는 한쌍의 리니어 가이드(53)에 의해 이동 가능하게 지지되어 있다. 이 리니어 가이드(53)는 상기 가대(41)에 상하 방향을 따라 설치되어 있다.

상기 가동체(52)에는 나사축(54)이 나사 결합되어 있다. 이 나사축(54)은 구동원(55)에 의해 회전 구동된다. 나사축(54)이 회전 구동되면, 그 회전 방향을 따라 상기 가동체(52)가 상기 리니어 가이드(53)를 따라 상하 이동한다.

상기 가동체(52)가 하강 위치에 있을 때, 상기 자세 변환 부재(45)는 도 5에 실선으로 나타낸 바와 같이 수평인 상태로 되어 있다. 이 상태로부터 상기 나사축(54)을 회전시켜 상기 가동체(52)를 상승 방향으로 구동시키면, 상기 자세 변환 부재(45)는 수평인 상태로부터 도 5에 쇄선으로 나타낸 바와 같이 소정의 각도로인, 75도로 경사지도록 되어 있다.

상기 자세 변환 부재(45)는, 그 상면에 설치된 받이 롤러(46)에 의해 75도의 경사 각도로 제5 처리 유닛(1E)의 처리부(3)로부터 반출되는 기판 W의 배면을 받는다. 이 때, 기판 W의 하단은 단부 지지 롤러(48)에 의해 받아지게 된다.

기판 W를 받은 자세 변환 부재(45)는 수평인 상태로 회전 구동된다. 수평 받아건넴 유닛(31)은, 각 처리 유닛(1A~1E)에 의해 75도의 각도로 반송되면서 처리되어, 제5 처리 유닛(1E)으로부터 반출된 기판 W를 받아 그 각도를 75도의 경사 각도로부터 수평으로 변환한다.

상기 장치 본체(1)의 길이 방향 타단, 즉 제1 처리 유닛(1A) 측에는 경사 받아건넴 수단으로서의 경사 받아건넴 유닛(61)이 설치되어 있다. 이 경사 받아건넴 유닛(61)은 상부 반송부(4)를 수평으로 반송되어 온 기판 W를 받아 이 기판 W를 하강시키는 동시에, 75도의 각도로 경사지게 하여 상기 제1 처리 유닛(1A)의 처리부(3)와 받아건넨다.

즉, 상기 경사 받아건넴 유닛(61)은 도 7 및 도 8에 나타낸 바와 같이 프레임(62)을 가진다. 이 프레임(62) 내에는 상하 가동체(63)가 설치되어 있다. 상하 가동체(63)는 상하 구동 기구(64)에 의해 상하 방향으로 구동되도록 되어 있다.

상기 상하 구동 기구(64)는, 상기 상하 가동체(63)의 일측면에 설치된 받이 부재(65)를 가진다. 이 받이부재(65)는 상하 방향을 따라 설치된 리니어 가이드(66)에 슬라이드 가능하게 걸어맞추어져 있다.

상기 프레임(62)의 일측면에는 너트체(67)가 설치되어 있다. 이 너트체(67)에는 축선을 상하 방향을 따른 나사축(68)이 나사 결합되어 있다. 나사축(68)은 하단에 설치된 구동원(69)에 의해 회전 구동된다. 그에 따라 상기 상하 가동체(63)는 상기 프레임(62) 내에서 상하 방향으로 구동된다.

도 8에 나타낸 바와 같이, 상기 상하 가동체(63)에는 한쌍의 제1 베어링(75)에 의해 추축(76)이 회전 가능하게 지지되어 있다. 이 추축(76)의 양 단부에는 제2 베어링(77)이 설치되어 있다. 한쌍의 제2 베어링(77)은 받이부로서의 자세 변환 부재(78) 하면의 소정 방향 중도부에 장착되어 있다.

상기 자세 변환 부재(78)의 상면에는 받이 롤러(79)를 가지는 복수개의 받이축(81)이 축선이 상기 추축(76)의 축선과 직교하는 방향을 따라 회전 가능하게 설치되고, 구동원(도시하지 않음)에 의해 회전 구동되도록 되어 있다. 도 7에 나타낸 바와 같이, 상기 자세 변환 부재(78)의 상면의 길이 방향의 일단부에는 단부 지지 롤러(82)가 회전축선을 상기 자세 변환 부재(78)의 판면과 직교하게 하여 설치되어 있다.

상기 자세 변환 부재(78)의 상기 제2 베어링(77)보다 타단부 측에는 자세 변환 기구(85)를 구성하는 링크(84)의 일단이 회전가능하게 장착되어 있다. 이 링크(84)의 타단은 받이부재(86)에 회전가능하게 장착되어 있다. 이 받이부재(86)는 리니어 가이드(87)에 이동 가능하게 지지되어 있다. 이 리니어 가이드(87)는 상기 상하 가동체(63)에 상하 방향을 따라 설치되어 있다.

상기 받이부재(86)에는 나사축(88)이 나사 결합되어 있다. 이 나사축(88)은 구동원(89)에 의해 회전 구동된다. 나사축(88)이 회전 구동되면, 그 회전 방향을 따라 상기 받이부재(86)가 상기 리니어 가이드(87)에 따라 상하 이동한다.

상기 받이부재(86)가 하강 위치에 있을 때, 상기 자세 변환 부재(78)는 도 7에 실선으로 나타낸 바와 같이 수평인 상태로 되어 있다. 이 상태로부터 상기 나사축(88)을 회전하여 상기 받이부재(86)를 상승 방향으로 구동시키면, 상기 자세 변환 부재(78)는 수평인 상태로부터 도 7에 쇄선으로 나타낸 바와 같이 소정의 각도로인, 75도로 경사지도록 되어 있다.

자세 변환 부재(78)는, 도 7에 실선으로 나타낸 바와 같이 자세 변환 기구(85)에 의해 수평인 상태로 유지되어 상하 구동 기구(64)에 의해 동 도면에 쇄선으로 나타낸 상승 위치로 구동된다. 상승 위치로 구동된 자세 변환 부재(78)는, 제1 처리 유닛(1A)의 상부 반송부(4)와 같은 높이에 위치 결정된다.

그에 따라 제5 처리 유닛(1E)의 상부 반송부(4)로부터 제1 처리 유닛(1A)의 상부 반송부(4)에 수평인 상태로 반송되어 온 기판 W는 상기 자세 변환 부재(78)에 설치된 받이 롤러(79)에 받아건네진다.

자세 변환 부재(78)가 기판 W를 받으면, 상하 구동 기구(64)가 작동하여 이 자세 변환 부재(78)가 하강을 개시하고, 그 하강에 연동하여 자세 변환 기구(85)가 작동하여 자세 변환 부재(78)를 수평인 상태로부터 75도의 각도로 경사지게 한다.

75도의 각도로 경사진 기판 W는, 배면이 상기 자세 변환 부재(78)의 받이 롤러(79)에 의해 지지되고, 하단이 단부 지지 롤러(82)에 의해 지지된다. 그리고, 상기 받이 롤러(79)가 설치된 받이축(81)이 회전 구동됨으로써, 상기 기판 W는 상기 경사 받아건넴 유닛(61)으로부터 상기 제1 처리 유닛(1A)에 반입되도록 되어 있다.

다음에, 상기 구성의 처리 장치에 의한 기판 W의 처리 동작에 대하여 설명한다.

미처리의 기판 W는 로봇(도시하지 않음) 등에 의해 수평 받아건넴 유닛(31)의 상부 반송부(33)의 공급부(36)에 공급된다. 상부 반송부(33)에 공급된 기판 W는, 이 상부 반송부(33)에 설치된 반송 롤러(34)에 의해 반출부(37)로부터 반출되어 제5 처리 유닛(1E)의 상부 반송부(4)에 이송된다.

제5 처리 유닛(1E)의 상부 반송부(4)에 반입된 기판 W는, 수평인 상태로 각 처리 유닛(1D)~(1A)의 상부 반송부(4)를 수평 방향으로 반송되고, 제1 처리 유닛(1A)의 상부 반송부(4)로부터 경사 받아건넴 유닛(61)과 받아건네진다.

즉, 경사 받아건넴 유닛(61)은, 그 자세 변환 부재(78)가 수평인 상태로 상승하고, 상기 제1 처리 유닛(1A)의 상부 반송부(4)와 같은 높이로 대기하고 있다. 따라서, 제1 처리 유닛(1A)의 상부 반송부(4)에 반송되어 온 기판 W는, 그 상부 반송부(4)로부터 상기 자세 변환 부재(78)의 받이 롤러(79)에 받아건네진다.

자세 변환 부재(78)가 기판 W를 받으면, 상기 경사 받아건넴 유닛(61)의 상하 구동 기구(64)가 작동하여 상기 자세 변환 부재(78)를 하강시키는 동시에, 자세 변환 기구(85)가 작동하여 상기 자세 변환 부재(78)를 수평인 상태로부터 75도의 각도로 경사지게한다.

상기 자세 변환 부재(78)와 함께 75도 각도 경사진 기판 W는, 자세 변환 부재(78)에 설치된 받이 롤러(79)가 회전 구동됨으로써 제1 처리 유닛(1A) 내에 반입되고, 그 처리부(3) 내의 반송축(15)에 설치된 반송 롤러(14)에 의해 배면이 지지되고, 하단이 구동 롤러(17)에 의해 지지된다. 그리고, 구동 롤러(17)가 회전 구동됨으로써, 기판 W는 제1 처리 유닛(1A)으로부터 제5 처리 유닛(1E)을 향해 75도 각도로 경사져 반송된다.

기판 W를 경사 받아건넴 유닛(61)에 의해 제1 처리 유닛(1A)의 상부 반송부(4)로부터 그 처리 유닛(1A)의 처리부(3)에 주고받을 때, 상기 자세 변환 부재(78)에 의해 기판 W의 하강과 경사를 동시에 행할 수 있다. 그러므로, 기판 W의 하강과 경사를 별개로 행하는 경우에 비해 택트 타임을 단축할 수 있다.

제1 처리 유닛(1A)에 공급된 기판 W는, 제1 처리 유닛(1A)으로부터 제5 처리 유닛(1E)을 향해 반송된다. 기판 W는 반송 과정에서, 각 처리 유닛(1A~1E)의 처리 수단(20)에 의해 차례로 소정의 처리가 행해진다.

즉, 제1 및 제2 처리 유닛(1A),(1B)에서는 약액 처리가 행해지고, 제3, 제4 처리 유닛(1C),(1D)에서는 약액을 린스하는 린스 처리가 행해진다. 그리고, 제5 처리 유닛(1E)에서는 기판 W에 부착된 린스액을 제거하는 건조 처리가 행해진다.

제5 처리 유닛(1E)에 의해 건조 처리된 기판 W는, 수평 받아건넴 유닛(31)에 받아건네진다. 즉, 수평 받아건넴 유닛(31)의 자세 변환 부재(45)는 75도의 각도로 경사진 상태로 대기하고 있다. 그에 따라 제5 처리 유닛(1E)으로부터 송출된 기판 W는 그 배면이 상기 자세 변환 부재(45)의 받이 롤러(46)에 의해 지지된다.

자세 변환 부재(45)가 기판 W를 받으면, 자세 변환 기구(50)의 구동원(55)이 작동하고, 가동체(52)를 하강 방향으로 구동한다. 그에 따라 상기 자세 변환 부재(45)는 링크(51)를 통하여 경사진 상태로부터 수평인 상태로 자세가 변환된다. 그리고, 자세가 수평으로 변환된 기판 W는 로봇(도시하지 않음) 등에 의해 꺼내져 다음 공정으로 받아건네진다.

이와 같이, 이 실시예의 처리 장치에 의하면, 미처리의 기판 W는, 장치 본체(1)의 상부에 설치된 제5 내지 제1 처리 유닛(1E)~(1A)의 상부 반송부(4)를 수평에 반송되어 경사 받아건넴 유닛(61)의 자세 변환 부재(78)에 받아건네진다. 그리고, 이 자세 변환 부재(78)동시에 하강과 동시에 75도의 각도로 경사되어 제1 처리 유닛(1A)의 처리부(3)에 공급된다.

75도로 경사진 기판 W는, 경사진 상태에서 상부 반송부(4)에 의해 수평으로 반송된 방향과 역방향, 즉 제1 처리 유닛(1A)으로부터 제5 처리 유닛(1E)을 향해 반송되면서, 각 처리 유닛에 의해 소정의 처리가 행해진다.

즉, 기판 W에 소정의 처리를 행하기 위하여, 이 기판 W의 반송 경로를, 도 2에 화살표 X로 나타내는 장치 본체(1)의 일단 윗쪽으로부터 공급하여 타단으로 하강시키면서 경사지게 한 후, 타단으로부터 일단을 향해 반송하면서 처리를 행하고, 동 도면에 화살표 Y로 나타낸 바와 같이 타단으로부터 수평으로 하여 배출시키는 경로로 하였다. 즉, 기판 W의 반송 경로는 측면 형상이 대략 ㄷ자형으로 된다.

그러므로, 장치 본체(1)에 대한 기판 W의 공급과 반출을, 장치 본체(1)의 일단에서, 예를 들면 1대의 교환용의 로봇으로 행하는 것이 가능해지기 때문에, 작업 성의 향상이나 설비의 유효 이용을 도모할 수 있다.

또한, 장치 본체(1)의 상부에 상부 반송부(4)를 설치함으로써, 측면 형상이 대략 ㄷ자형의 기판 W의 반송 경로를 확보할 수 있다. 그러므로, 장치 본체(1)를 설치하는 스페이스 이외에, 여분의 스페이스를 필요로 하지 않기 때문에, 클린 룸의 스페이스를 유효 이용할 수 있다.

상부 반송부(4)에 의해 장치 본체(1)의 타단에 수평으로 반송된 기판 W는, 경사 받아건넴 유닛(61)에 의해 하강과 경사가 동시에 행해지고 제1 처리 유닛(1A)에 받아건네진다.

그러므로, 기판 W의 하강과 경사를 별개로 행하는 경우에 비해 주고받는데 필요한 시간을 단축할 수 있는 외에, 기판 W의 하강과 경사를 경사 받아건넴 유닛(61)만으로 행할 수 있기 때문에, 장치의 소형화를 도모할 수도 있다.

상기 일실시예에서는, 장치 본체(1)의 일단에 수평 받아건넴 유닛(31)을 설치하고, 타단에 경사 받아건넴 유닛(61)을 설치하고, 기판을 장치 본체(1)의 일단으로부터 공급하고, 타단으로 반송하여 측면 형상이 ㄷ자형으로 되는 반송 경로에서 U턴 시켜 장치 본체(1)의 일단으로부터 반출하도록 했다.

그에 대신하여, 도 10에 나타낸 처리 장치는, 장치 본체(1)의 제1 처리 유닛(1A) 측의 단부에 제1 경사 받아건넴 유닛(61A)을 설치하고, 제5 처리 유닛(1E) 측의 단부에 제2 경사 받아건넴 유닛(61B)을 설치한다. 이들, 제1 받아건넴 유닛 및 제2 받아건넴 유닛(61A, 61B)은 상기 일실시예에 나타낸 경사 받아건넴 유닛(61)과 같은 구성이다.

한편, 미처리의 기판 W는 동 도면에 화살표 S로 나타낸 바와 같이, 제3 처리 유닛(1C)의 상부 반송부(4)로부터 로봇 등에 의해 공급한다. 제3 처리 유닛(1C)의 상부 반송부(4)에 공급된 기판 W는, 제1 처리 유닛(1A)를 향해 수평으로 반송되고, 이 제1 처리 유닛(1A)의 상부 반송부(4)로부터 제1 경사 받아건넴 유닛(61A)의 상승 위치에서 수평인 상태로 대기한 자세 변환 부재(78)에 받아건네진다.

기판 W를 받은 자세 변환 부재(78)는 하강하면서 경사져 기판 W를 75도의 각도로 경사시켜, 제1 처리 유닛(1A)의 처리부(4)에 받아건넨다. 제1 처리 유닛(1A)의 처리부(4)에 공급된 기판 W는 제5 처리 유닛(1E)을 향해 반송되고, 그 반송 과정에서 소정의 처리가 행해진다.

제5 처리 유닛(1E)에 의해 처리된 기판 W는, 제2 경사 받아건넴 유닛(61B)의 75도의 각도로 경사져 하강 위치에서 대기하는 자세 변환 부재(78)에 받아건네진다. 기판 W를 받은 자세 변환 부재(78)는 경사상태로부터 수평 방향으로 회동하면서 상승한다.

상승 위치에서 수평으로 된 자세 변환 부재(78)에 지지된 기판 W는, 제5 처리 유닛(1E)의 상부 반송부(4)로부터 제3 처리 유닛(1C)의 상부 반송부까지 반송되고, 여기서 동 도면에 화살표 O로 나타낸 바와 같이 로봇(도시하지 않음) 등에 의해 반출된다.

즉, 이 실시예에서는, 장치 본체(1)의 일단과 타단에 각각 경사 받아건넴 유닛(61A, 61B)을 설치하도록 하였으므로, 장치 본체(1)의 상부에 일렬로 설치된 상부 반송부(4) 중, 중도부에 위치하는 제3 처리 유닛(1C)의 상부 반송부(4)에서 기판 W의 공급과 반출을 행할 수 있다.

즉, 장치 본체(1)의 길이 방향의 단부에, 이 장치 본체(1)에 대하여 기판 W를 공급하거나, 반출하기 위한 작업 스페이스를 확보할 수 없는 경우 등에, 장치 본체(1)의 길이 방향 중도부의 측방의 동일 부분에서, 이 장치 본체(1)에 대하여 기판 W의 공급과 반출을 행할 수 있다.

그리고, 도 10에 나타낸 실시예에 있어서, 미처리의 기판 W를 제2 경사 반송 유닛(61B)의 상부로부터 공급하고, 상부 반송부(4)를 반송하여 제1 경사 반송 유닛(61A)에 수평인 상태에서 받아건네고, 그 다음에, 기판 W를 75도에 경사지게 하여 제1 내지 제5 처리부(3)를 차례로 반송하여 처리한 후, 제2 경사 반송 유닛(61B)에 의해 자세를 수평으로 변환하고, 그 위치 또는 수평으로 변환하는 동시에 상승시켜, 그 상승 위치로부터 반출하도록 해도 된다.

상기 일실시예에서는 장치 본체의 일단에 수평 받아건넴 유닛을 설치하고, 이 수평 받아건넴 유닛의 상부 반송부를 통하여 제5 처리 유닛(1E)의 상부 반송부에 미처리의 기판을 주고 받도록 했지만, 기판을 제5 처리 유닛(1E)의 상부 반송부에 직접 공급하도록 해도 된다.

본 발명에 의하면, 수평 반송된 기판을 하강시키는 동시에 경사시켜, 수평 반송 방향과 역방향으로 반송하여 처리하기 위하여, 장치 본체의 측방에 반송 컨베이어를 설치하는 일 없이,기판의 공급과 반출을 같은 위치에서 행하는 것이 가능해진다. 그러므로, 여분의 스페이스를 필요로 하지 않고 기판의 처리를 능률적으로 행하는 것이 가능해진다.

Claims (8)

1. 기판을 소정의 각도로 경사지게 하여 반송(搬送)하면서 처리하는 기판 처리 장치로서,

   장치 본체;

   상기 장치 본체에 설치되어 상기 기판을 소정의 각도로 경사지게 하여 반송하는 경사 반송 수단;

   상기 경사 반송 수단에 의해 반송되는 기판을 처리하는 처리 수단;

   상기 장치 본체의 상부에 설치되어 상기 기판을 수평인 상태에서 상기 경사 반송 수단에 의한 반송 방향과 역방향으로 반송하는 상부 반송 수단; 및

   상기 장치 본체의 일단측에 설치되고, 회전 방향 및 상하 방향으로 구동 가능하게 설치된 제1 받이부를 구비하는 제1 경사 받아건넴 수단;

   을 포함하고,

   상기 제1 받이부는, 상기 상부 반송 수단에 의해 상기 기판을 수평인 상태에서 받으면, 상기 제1 받이부 자체가 회전 방향 및 하강 방향으로 구동되어 상기 기판을 소정의 각도로 경사지게 하여 상기 경사 반송 수단에 받아건네는,

   기판 처리 장치.
2. 기판을 소정의 각도로 경사지게 하여 반송(搬送)하면서 처리하는 기판 처리 장치로서,

   장치 본체;

   상기 장치 본체에 설치되어 상기 기판을 소정의 각도로 경사지게 하여 반송하는 경사 반송 수단;

   상기 경사 반송 수단에 의해 반송되는 기판을 처리하는 처리 수단;

   상기 장치 본체의 상부에 설치되어 상기 기판을 수평인 상태에서 상기 경사 반송 수단에 의한 반송 방향과 역방향으로 반송하는 상부 반송 수단;

   상기 장치 본체의 일단측에 설치되고, 회전 방향 및 상하 방향으로 구동 가능하게 설치된 제1 받이부를 구비하는 제1 경사 받아건넴 수단; 및

   상기 장치 본체의 타단측에 설치되고, 회전 방향 및 상하 방향으로 구동가능하게 설치된 제2 받이부를 구비하는 제2 경사 받아건넴 수단;

   을 포함하고,

   상기 제1 받이부는, 상기 상부 반송 수단에 의해 상기 기판을 수평인 상태에서 받으면, 상기 제1 받이부 자체가 회전 방향 및 하강 방향으로 구동되어 상기 기판을 소정의 각도로 경사지게 하여 상기 경사 반송 수단에 받아건네고,

   상기 제2 받이부는, 상기 경사 반송 수단에 의해 반송되면서 상기 처리 수단에 의해 처리된 기판을 경사진 상태에서 받으면, 상기 제2 받이부 자체가 회전 방향 및 상승 방향으로 구동되어 상기 기판을 수평으로 하여 상기 상부 반송 수단에 받아건네는,

   기판 처리 장치.
3. 기판을 소정의 각도로 경사지게 하여 반송(搬送)하면서 처리하는 기판 처리 장치로서,

   장치 본체;

   상기 장치 본체에 설치되어 상기 기판을 소정의 각도로 경사지게 하여 상기 장치 본체의 길이 방향을 따라 반송하는 경사 반송 수단;

   상기 경사 반송 수단에 의해 반송되는 기판을 처리하는 처리 수단;

   상기 장치 본체의 상부에 설치되어 상기 기판을 수평인 상태에서 상기 경사 반송 수단에 의한 반송 방향과 역방향으로 반송하는 상부 반송 수단;

   상기 장치 본체의 길이 방향의 일단측에 설치되고, 회전 방향 및 상하 방향으로 구동 가능하게 설치된 제1 받이부를 구비하는 제1 경사 받아건넴 수단; 및

   상기 장치 본체의 길이 방향의 타단측에 설치되고, 회전 방향 및 상하 방향으로 구동가능하게 설치된 제2 받이부를 구비하는 제2 경사 받아건넴 수단;

   을 포함하고,

   상기 제1 받이부는, 상기 상부 반송 수단의 길이 방향의 중도부(中途部)로부터 공급되어 수평 반송된 상기 기판을 수평인 상태에서 받으면, 상기 제1 받이부 자체가 회전 방향 및 하강 방향으로 구동되어 상기 기판을 소정의 각도로 경사지게 하여 상기 경사 반송 수단에 받아건네고,

   상기 제2 받이부는, 상기 경사 반송 수단에 의해 반송되면서 상기 처리 수단에 의해 처리된 기판을 경사진 상태에서 받으면, 상기 제2 받이부 자체가 회전 방향 및 상승 방향으로 구동되어 상기 기판을 수평으로 하여 상기 상부 반송 수단에 받아건넴으로써, 상기 기판을 상기 상부 반송 수단에 의해 반송시켜 그 길이 방향의 중도부로부터 반출시키는,

   기판 처리 장치.
4. 제1항에 있어서,

   상기 제1 경사 받아건넴 수단은,

   상기 기판을 받는 받이 롤러를 가지는 제1 받이부와, 상기 제1 받이부를 회전 가능하게 지지하는 동시에 상하 구동 기구에 의해 상하 방향으로 구동되는 상하 가동체와, 상기 상하 가동체에 설치되어 상기 제1 받이부를 수평인 상태와 소정의 각도로 경사진 상태로 회전시키는 회전 구동 기구를 구비한, 기판 처리 장치.
5. 제2항 또는 제3항에 있어서,

   상기 제1 경사 받아건넴 수단은,

   상기 기판을 받는 받이 롤러를 가지는 제1 받이부와, 상기 제1 받이부를 회전 가능하게 지지하는 동시에 상하 구동 기구에 의해 상하 방향으로 구동되는 상하 가동체와, 상기 상하 가동체에 설치되어 상기 제1 받이부를 수평인 상태와 소정의 각도로 경사진 상태로 회전시키는 회전 구동 기구를 구비하고,

   상기 제2 경사 받아건넴 수단은,

   상기 기판을 받는 받이 롤러를 가지는 제2 받이부와, 상기 제2 받이부를 회전 가능하게 지지하는 동시에 상하 구동 기구에 의해 상하 방향으로 구동되는 상하 가동체와, 상기 상하 가동체에 설치된 상기 제2 받이부를 수평인 상태와 소정의 각도로 경사진 상태로 회전시키는 회전 구동 기구를 구비하는, 기판 처리 장치.
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