JP4450724B2 - 基板処理装置及びローダ装置及びアンローダ装置 - Google Patents
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Description
また、本発明の第1の観点におけるローダ装置は、被処理基板を所定角度傾斜させて載置するための開口部を有する載置部と、前記載置部に設定された第1の位置と、前記載置部の上方に設定された第2の位置と、前記載置部の下方に設定された第3の位置との間で前記開口部を通って昇降移動可能なリフト部材を有し、前記第2の位置で水平姿勢の前記基板を前記リフト部材の上に載せ、前記第1の位置で前記基板を前記リフト部材から前記載置部に移し変えるために、前記第2の位置から前記第1の位置まで下降させる間に前記リフト部材上で前記基板の姿勢を水平姿勢から前記所定角度傾斜した姿勢に変換する基板姿勢変換部とを有し、前記基板姿勢変換部が、搬送方向と平行な水平の回転軸を中心として自転可能なローラを備え、前記傾斜姿勢の際に下端側となる前記基板の一側面を前記ローラで案内して支持する基板サイド支持部を有する。
また、本発明の第2の観点におけるローダ装置は、被処理基板を所定角度傾斜させて載置するための開口部を有する載置部と、前記載置部に設定された第1の位置と、前記載置部の上方に設定された第2の位置と、前記載置部の下方に設定された第3の位置との間で前記開口部を通って昇降移動可能なリフト部材を有し、前記第2の位置で水平姿勢の前記基板を前記リフト部材の上に載せ、前記第1の位置で前記基板を前記リフト部材から前記載置部に移し変えるために、前記第2の位置から前記第1の位置まで下降させる間に前記リフト部材上で前記基板の姿勢を水平姿勢から前記所定角度傾斜した姿勢に変換する基板姿勢変換部と、前記第2の位置よりも僅かに低い第4の位置と、前記基板の昇降する領域の外側の第5の位置との間で移動し、前記第4の位置で前記基板を水平姿勢で支持する基板水平支持部とを有し、前記基板水平支持部が、前記基板昇降領域の外側に設けられた鉛直の回転軸を中心として前記第4の位置と前記第5の位置との間で旋回可能なアームと、前記アームに取り付けられた1本または複数本の支持ピンと、前記アームを旋回駆動するアーム駆動部とを有する。
また、本発明の第3の観点におけるアンローダ装置は、被処理基板を所定角度傾斜させて載置するための開口部を有する載置部と、前記載置部に設定された第1の位置と、前記載置部の上方に設定された第2の位置と、前記載置部の下方に設定された第3の位置との間で前記開口部を通って昇降移動可能なリフト部材を有し、前記リフト部材を前記第3の位置から前記第1の位置まで上昇させて前記基板を前記所定角度傾斜した姿勢のまま前記搬送路から前記リフト部材の上に移し変え、前記第1の位置から前記第2の位置まで上昇させる間に前記リフト部材上で前記基板の姿勢を前記傾斜姿勢から水平姿勢に変換する基板姿勢変換部とを有し、前記基板姿勢変換部が、搬送方向と平行な水平の回転軸を中心として自転可能なローラを備え、前記傾斜姿勢の際に下端側となる前記基板の一側面を前記ローラで案内して支持する基板サイド支持部を有する。
また、本発明の第4の観点におけるアンローダ装置は、被処理基板を所定角度傾斜させて載置するための開口部を有する載置部と、前記載置部に設定された第1の位置と、前記載置部の上方に設定された第2の位置と、前記載置部の下方に設定された第3の位置との間で前記開口部を通って昇降移動可能なリフト部材を有し、前記リフト部材を前記第3の位置から前記第1の位置まで上昇させて前記基板を前記所定角度傾斜した姿勢のまま前記搬送路から前記リフト部材の上に移し変え、前記第1の位置から前記第2の位置まで上昇させる間に前記リフト部材上で前記基板の姿勢を前記傾斜姿勢から水平姿勢に変換する基板姿勢変換部と、前記第2の位置よりも僅かに低い第4の位置と、前記基板の昇降する領域の外側の第5の位置との間で移動し、前記第4の位置で前記基板を水平姿勢で支持する基板水平支持部とを有し、前記基板水平支持部が、前記基板昇降領域の外側に設けられた鉛直の回転軸を中心として前記第4の位置と前記第5の位置との間で旋回可能なアームと、前記アームに取り付けられた1本または複数本の支持ピンと、前記アームを旋回駆動するアーム駆動部とを有する。
22 搬送機構
24 洗浄プロセス部
40 搬入部(IN)
42 スクラバ洗浄ユニット(SCR)
46 搬送機構
50 パスユニット(PASSL)
112 コロ
114 (傾斜)搬送路
120 基板姿勢変換機構(水平→傾斜)
120' 基板姿勢変換機構(傾斜→水平)
130 ロールブラシ
134 リンスノズル
136 エアナイフ
144 (水平)搬送路
146 基板姿勢変換機構(傾斜→水平)
148 コロ
150 フレーム
152 搬送駆動部
154 インバッファ
156,158 軸受
160 電気モータ
168 交差軸型ギア
170 エアシリンダ
172 リフトベース
174 リフタ
176 梃部
178 リフトピン
180,182,184 ヒンジ部
186 エアシリンダ
192 サイド支持部
Claims (18)
- 被処理基板を水平な搬送方向と直交する水平線に対して所定角度傾斜した姿勢で搬送路上を搬送する搬送部と、
前記搬送路上の前記基板に対して所望の処理を施す処理部と、
前記搬送路に設定された第1の位置と、前記第1の位置の上方に設定された第2の位置と、前記第1の位置の下方に設定された第3の位置との間で昇降移動可能なリフト部材を有し、前記第2の位置で水平姿勢の前記基板を前記リフト部材の上に載せ、前記第1の位置で前記基板を前記リフト部材から前記搬送路に移し変えるために、前記第2の位置から前記第1の位置まで下降させる間に前記リフト部材上で前記基板の姿勢を水平姿勢から前記所定角度傾斜した姿勢に変換する基板姿勢変換部と
を有し、
前記基板姿勢変換部が、搬送方向と平行な水平の回転軸を中心として自転可能なローラを備え、前記傾斜姿勢の際に下端側となる前記基板の一側面を前記ローラで案内して支持する基板サイド支持部を有する、
基板処理装置。 - 被処理基板を水平な搬送方向と直交する水平線に対して所定角度傾斜した姿勢で搬送路上を搬送する搬送部と、
前記搬送路上の前記基板に対して所望の処理を施す処理部と、
前記搬送路に設定された第1の位置と、前記第1の位置の上方に設定された第2の位置と、前記第1の位置の下方に設定された第3の位置との間で昇降移動可能なリフト部材を有し、前記第2の位置で水平姿勢の前記基板を前記リフト部材の上に載せ、前記第1の位置で前記基板を前記リフト部材から前記搬送路に移し変えるために、前記第2の位置から前記第1の位置まで下降させる間に前記リフト部材上で前記基板の姿勢を水平姿勢から前記所定角度傾斜した姿勢に変換する基板姿勢変換部と、
前記第2の位置よりも僅かに低い第4の位置と、前記基板の昇降する領域の外側の第5の位置との間で移動し、前記第4の位置で前記基板を水平姿勢で支持する基板水平支持部と
を有し、
前記基板水平支持部が、前記基板昇降領域の外側に設けられた鉛直の回転軸を中心として前記第4の位置と前記第5の位置との間で旋回可能なアームと、前記アームに取り付けられた1本または複数本の支持ピンと、前記アームを旋回駆動するアーム駆動部とを有する、
基板処理装置。 - 被処理基板を水平な搬送方向と直交する水平線に対して所定角度傾斜した姿勢で搬送路上を搬送する搬送部と、
前記搬送路上の前記基板に対して所望の処理を施す処理部と、
前記搬送路に設定された第1の位置と、前記第1の位置の上方に設定された第2の位置と、前記第1の位置の下方に設定された第3の位置との間で昇降移動可能なリフト部材を有し、前記リフト部材を前記第3の位置から前記第1の位置まで上昇させて前記基板を前記所定角度傾斜した姿勢のまま前記搬送路から前記リフト部材の上に移し変え、前記第1の位置から前記第2の位置まで上昇させる間に前記リフト部材上で前記基板の姿勢を前記傾斜姿勢から水平姿勢に変換する基板姿勢変換部と
を有し、
前記基板姿勢変換部が、搬送方向と平行な水平の回転軸を中心として自転可能なローラを備え、前記傾斜姿勢の際に下端側となる前記基板の一側面を前記ローラで案内して支持する基板サイド支持部を有する、
基板処理装置。 - 被処理基板を水平な搬送方向と直交する水平線に対して所定角度傾斜した姿勢で搬送路上を搬送する搬送部と、
前記搬送路上の前記基板に対して所望の処理を施す処理部と、
前記搬送路に設定された第1の位置と、前記第1の位置の上方に設定された第2の位置と、前記第1の位置の下方に設定された第3の位置との間で昇降移動可能なリフト部材を有し、前記リフト部材を前記第3の位置から前記第1の位置まで上昇させて前記基板を前記所定角度傾斜した姿勢のまま前記搬送路から前記リフト部材の上に移し変え、前記第1の位置から前記第2の位置まで上昇させる間に前記リフト部材上で前記基板の姿勢を前記傾斜姿勢から水平姿勢に変換する基板姿勢変換部と、
前記第2の位置よりも僅かに低い第4の位置と、前記基板の昇降する領域の外側の第5の位置との間で移動し、前記第4の位置で前記基板を水平姿勢で支持する基板水平支持部と
を有し、
前記基板水平支持部が、前記基板昇降領域の外側に設けられた鉛直の回転軸を中心として前記第4の位置と前記第5の位置との間で旋回可能なアームと、前記アームに取り付けられた1本または複数本の支持ピンと、前記アームを旋回駆動するアーム駆動部とを有する、
基板処理装置。 - 前記基板姿勢変換部が、前記リフト部材を前記第2の位置と前記第3の位置との間で連続的に移動させる、請求項1〜4のいずれか一項に記載の基板処理装置。
- 前記搬送部が、前記搬送路上に所定のピッチで棒状のコロを敷設し、各々のコロを前記搬送方向と直交する水平線に対して所定角度傾斜させて回転可能に配置する、請求項1〜4のいずれか一項に記載の基板処理装置。
- 前記コロを両端部および中心部でそれぞれ支持する軸受を有する、請求項6に記載の基板処理装置。
- 前記搬送部が、前記搬送路上で前記基板を搬送するために前記コロを回転駆動する搬送駆動部を有する、請求項6または請求項7に記載の基板処理装置。
- 前記リフト部材が、
前記搬送方向に所望の間隔を置いて配置され、相隣接する前記コロの間を前記コロとほぼ平行に通り抜けできる複数の棒状または板状の支持部材と、
各々の前記支持部材に所望の間隔を置いて立設された複数本のリフトピンと
を有する、請求項6〜8のいずれか一項に記載の基板処理装置。 - 前記基板姿勢変換部が、
前記リフト部材の所定箇所に設けられた回転軸を中心として前記支持部材を鉛直面内で回転可能に支持する回転支持部と、
前記リフト部材を水平姿勢と前記所定角度の傾斜姿勢との間で回転移動させるための回転駆動部と、
前記リフト部材と前記回転支持部と前記回転駆動部とを支持するベース部と、
前記ベース部を昇降移動させるための昇降駆動部と
を有する、請求項1〜9のいずれか一項に記載の基板処理装置。 - 前記回転軸が前記リフト部材の一端部に設けられる、請求項10記載の基板処理装置。
- 前記回転駆動部が、前記リフト部材の中間部ないし他端端に結合されたアクチエータを有する、請求項11に記載の基板処理装置。
- 前記処理部が、前記搬送路上の前記基板に処理液を供給するノズルを有する、請求項1〜12のいずれか一項に記載の基板処理装置。
- 前記処理部が、前記搬送路上の前記基板に乾燥用の気体を吹き付けるエアナイフを有する、請求項1〜13のいずれか一項に記載の基板処理装置。
- 被処理基板を所定角度傾斜させて載置するための開口部を有する載置部と、
前記載置部に設定された第1の位置と、前記載置部の上方に設定された第2の位置と、前記載置部の下方に設定された第3の位置との間で前記開口部を通って昇降移動可能なリフト部材を有し、前記第2の位置で水平姿勢の前記基板を前記リフト部材の上に載せ、前記第1の位置で前記基板を前記リフト部材から前記載置部に移し変えるために、前記第2の位置から前記第1の位置まで下降させる間に前記リフト部材上で前記基板の姿勢を水平姿勢から前記所定角度傾斜した姿勢に変換する基板姿勢変換部と
を有し、
前記基板姿勢変換部が、搬送方向と平行な水平の回転軸を中心として自転可能なローラを備え、前記傾斜姿勢の際に下端側となる前記基板の一側面を前記ローラで案内して支持する基板サイド支持部を有する、
ローダ装置。 - 被処理基板を所定角度傾斜させて載置するための開口部を有する載置部と、
前記載置部に設定された第1の位置と、前記載置部の上方に設定された第2の位置と、前記載置部の下方に設定された第3の位置との間で前記開口部を通って昇降移動可能なリフト部材を有し、前記第2の位置で水平姿勢の前記基板を前記リフト部材の上に載せ、前記第1の位置で前記基板を前記リフト部材から前記載置部に移し変えるために、前記第2の位置から前記第1の位置まで下降させる間に前記リフト部材上で前記基板の姿勢を水平姿勢から前記所定角度傾斜した姿勢に変換する基板姿勢変換部と、
前記第2の位置よりも僅かに低い第4の位置と、前記基板の昇降する領域の外側の第5の位置との間で移動し、前記第4の位置で前記基板を水平姿勢で支持する基板水平支持部と
を有し、
前記基板水平支持部が、前記基板昇降領域の外側に設けられた鉛直の回転軸を中心として前記第4の位置と前記第5の位置との間で旋回可能なアームと、前記アームに取り付けられた1本または複数本の支持ピンと、前記アームを旋回駆動するアーム駆動部とを有する、
ローダ装置。 - 被処理基板を所定角度傾斜させて載置するための開口部を有する載置部と、
前記載置部に設定された第1の位置と、前記載置部の上方に設定された第2の位置と、前記載置部の下方に設定された第3の位置との間で前記開口部を通って昇降移動可能なリフト部材を有し、前記リフト部材を前記第3の位置から前記第1の位置まで上昇させて前記基板を前記所定角度傾斜した姿勢のまま前記搬送路から前記リフト部材の上に移し変え、前記第1の位置から前記第2の位置まで上昇させる間に前記リフト部材上で前記基板の姿勢を前記傾斜姿勢から水平姿勢に変換する基板姿勢変換部と
を有し、
前記基板姿勢変換部が、搬送方向と平行な水平の回転軸を中心として自転可能なローラを備え、前記傾斜姿勢の際に下端側となる前記基板の一側面を前記ローラで案内して支持する基板サイド支持部を有する、
アンローダ装置。 - 被処理基板を所定角度傾斜させて載置するための開口部を有する載置部と、
前記載置部に設定された第1の位置と、前記載置部の上方に設定された第2の位置と、前記載置部の下方に設定された第3の位置との間で前記開口部を通って昇降移動可能なリフト部材を有し、前記リフト部材を前記第3の位置から前記第1の位置まで上昇させて前記基板を前記所定角度傾斜した姿勢のまま前記搬送路から前記リフト部材の上に移し変え、前記第1の位置から前記第2の位置まで上昇させる間に前記リフト部材上で前記基板の姿勢を前記傾斜姿勢から水平姿勢に変換する基板姿勢変換部と、
前記第2の位置よりも僅かに低い第4の位置と、前記基板の昇降する領域の外側の第5の位置との間で移動し、前記第4の位置で前記基板を水平姿勢で支持する基板水平支持部と
を有し、
前記基板水平支持部が、前記基板昇降領域の外側に設けられた鉛直の回転軸を中心として前記第4の位置と前記第5の位置との間で旋回可能なアームと、前記アームに取り付けられた1本または複数本の支持ピンと、前記アームを旋回駆動するアーム駆動部とを有する、
アンローダ装置。
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