KR100768560B1 - 기판 처리 장치 - Google Patents

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Abstract

택트 타임을 줄일 수 있는 기판 처리 장치가 제공된다. 상기 기판 처리 장치는 다수의 처리 모듈이 U 형태로 배치된 공정 처리부로, U 형태의 일단으로 들어온 기판이 다수의 처리 모듈을 연속적으로 거쳐서 U 형태의 타단으로 나가는 공정 처리부, U 형태의 일단과 타단의 서로 마주보는 부분 사이에 설치된 버퍼부로, 버퍼부를 통해서 기판이 일단으로 들어가거나 타단으로부터 나가는 버퍼부, 및 기판이 적재된 카세트가 놓여지는 적어도 하나의 로드 포트와, 버퍼부와 카세트 사이의 기판 이송을 전담하는 인덱서 로봇을 포함하는 인덱서부를 포함한다.
기판 처리 장치, 택트 타임, 버퍼부

Description

기판 처리 장치{Apparatus of processing glass substrate}
도 1은 종래의 기판 처리 장치를 설명하기 위한 평면도이다.
도 2는 본 발명의 실시예들에 따른 기판 처리 장치를 설명하기 위한 평면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치에 포함되는 버퍼부를 설명하기 위한 평면도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 처리 장치에 포함되는 버퍼부를 설명하기 위한 개념적인 사시도이다.
(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)
100 : 기판 처리 장치 120 : 공정 처리부
120a : 제1 섹션 120b : 제2 섹션
120c : 제3 섹션 130 : 인덱서부
132 : 로드 포트 134 : 인덱서 로봇
140 : 카세트 150 : 버퍼부
151a, 152a : 로딩 버퍼부 151b, 152b : 언로딩 버퍼부
본 발명은 기판 처리 장치에 관한 것이다.
최근 들어, 정보 처리 기기는 다양한 형태의 기능과 더욱 빨라진 정보 처리 속도를 갖도록 급속하게 발전하고 있다. 이러한 정보 처리 장치는 가동된 정보를 표시하기 위해 디스플레이 장치를 가진다. 지금까지는 디스플레이 장치로 브라운관(cathode ray tube) 모니터가 주로 사용되었으나, 최근에는 반도체 기술의 급속한 발전에 따라 가볍고 공간을 작게 차지하는 평판 디스플레이 장치의 사용이 급격히 증대하고 있다. 평판 디스플레이로는 다양한 종류가 있으며, 이들 중 전력 소모와 부피가 작으며 저전압 구동형인 액정 디스플레이(Liquid Crystal Display)가 널리 사용되고 있다.
이러한 액정 디스플레이를 제조하기 위해 기판 상에는 패턴의 형성을 위해 예컨대, 식각, 세정, 또는 건조 등과 같은 다양한 제조 공정이 실행되어야 한다. 최근에는 다양한 제조 공정을 연속적으로 처리할 수 있도록 다수의 처리 모듈이 연속적으로 배치된 기판 처리 장치를 사용한다.
이러한 기판 처리 장치는 다양한 형태로 구현할 수 있는데, 예를 들면, 도 1과 같이 구현할 수 있다.
도 1을 참조하면, 기판 처리 장치(10)는 다수의 처리 모듈이 U 형태로 배치된 공정 처리부(20)와, 기판(S)이 적재된 카세트(40)가 놓여지는 적어도 하나의 로드 포트(32)와 상기 공정 처리부(20)와 상기 카세트(40) 사이의 기판(S) 이송을 전담하는 인덱서 로봇(34)을 포함하는 인덱서부(30)를 포함할 수 있다. 구체적으로, U 형태의 일단으로 들어온 기판(S)은 다수의 처리 모듈을 연속적으로 거쳐서 U 형태의 타단으로 나가게 되고, 인덱서 로봇(34)은 U 형태의 일단으로 기판(S)을 로딩하고 U 형태의 타단으로 나오는 기판(S)을 언로딩하여 카세트(40)에 다시 적재해야 한다.
그런데, 인덱서 로봇(34)은 U 형태의 일단/타단에서 각각 로딩/언로딩 작업을 하기 때문에, 인덱서 로봇(34)의 동작 반경이 커지게 된다. 따라서, 하나의 제품을 생산하는 데 요구되는 기준 시간인 택트 타임(tact time)이 증가하게 된다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 택트 타임을 줄일 수 있는 기판 처리 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 실시예들에 따른 기판 처리 장치는 다수의 처리 모듈이 U 형태로 배치된 공정 처리부로, U 형태의 일단으로 들어온 기판이 다수의 처리 모듈을 연속적으로 거쳐서 U 형태의 타단으로 나가는 공정 처리부, U 형태의 일단과 타단의 서로 마주보는 부분 사이에 설치된 버퍼부로, 버퍼부를 통해서 기판이 일단으로 들어가거나 타단으로부터 나가는 버퍼부, 및 기판이 적재된 카세트가 놓여지는 적어도 하나의 로드 포트와, 버퍼부와 카세트 사이의 기판 이송을 전담하는 인덱서 로봇을 포함하는 인덱서부를 포함한다. 여기서, 버퍼부는 U 형태의 일단과 연결되고 인덱서 로봇으로부터 기판을 받는 로딩 버퍼부와, U 형태의 타단과 연결되고 인덱서 로봇으로 기판을 전달하는 언로딩 버퍼부를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서, 버퍼부는 1단으로 구성되어, 로딩 버퍼부와 언로딩 버퍼부는 U 형태의 일단과 타단의 서로 마주보는 부분 사이에 나란히 배치될 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에서, 버퍼부는 2단으로 구성되어, 2단 중 하단은 로딩 버퍼부가 배치되고, 2단 중 상단은 언로딩 버퍼부가 배치될 수 있다.
본 발명의 기타 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
도 2는 본 발명의 실시예들에 따른 기판 처리 장치를 설명하기 위한 평면도이다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 실시예들에 따른 기판 처리 장치(100)는 공정 처리부(120), 인덱서부(130), 버퍼부(150)를 포함한다.
공정 처리부(120)는 다수의 처리 모듈이 U 형태로 배치되고, U 형태의 일단으로 들어온 기판(S)이 다수의 처리 모듈을 연속적으로 거쳐서 U 형태의 타단으로 나가게 된다.
공정 처리부(120) 내의 다수의 처리 모듈의 구성을 예를 들어 설명하면 다음과 같다. 공정 처리부(120)는 각각 적어도 하나의 처리 모듈을 포함하는 제1 내지 제3 섹션(120a, 120b, 120c)를 포함할 수 있다. 여기서 설명되는 공정 처리부(120)의 구조는 예시적인 것에 불과하고, 본 발명의 보호 범위가 이에 한정되는 것은 아니다.
제1 섹션(120a)은 다양한 처리 공정이 진행되는 섹션으로, 예를 들어, 식각, 포토레지스트 도포 등과 같은 공정이 진행될 수 있다. 이들 각각의 공정은 널리 공지된 것이므로 자세히 설명하지 않는다.
제2 섹션(120b)은 제1 섹션(120a)의 후속부에 연결되어, 제1 섹션(120a)에서 처리된 기판의 진행 방향을 역방향으로 바꾸기 위한 유터닝(U- turning) 섹션일 수 있다. 이러한 제2 섹션(120b)은 전체의 설치 공간 또는 풋 프린트(foot print)를 감소시키는 역할도 한다. 물론, 제2 섹션(120b)은 예를 들어, 컨베이어 반송과 같은 방식과 같은 방식으로 구현할 수 있다.
제3 섹션(120c)은 제1 섹션(120a)과 평행하고 제2 섹션(120b)의 후속부에 연결되어, 제2 섹션(120b)에서 진행 방향이 바뀐 기판을 세정하기 위한 린싱(rinsing) 섹션일 수 있다. 이러한 제3 섹션(120c)은 세정, 수세, 여과 등과 같 은 연속적인 세정 단계들로 구현될 수 있다.
인덱서부(130)는 적어도 하나의 로드 포트(132)와 인덱서 로봇(134)을 포함한다.
로드 포트(132)는 기판(S)이 적재된 카세트(140)가 놓여지는 곳으로, 예를 들어, 도 2에서와 같이 4개의 로드 포트가 배치될 수 있다. 인덱서 로봇(134)은 이송로(136)를 따라서 움직이면서, 버퍼부(150)와 카세트(140) 사이의 기판(S) 이송을 전담하게 된다.
특히, 본 발명의 실시예들에서는 U형태의 일단과 타단의 서로 마주보는 부분 사이에 설치된 버퍼부(150)를 포함하는데, 버퍼부(150)를 통해서 기판(S)이 공정 처리부(120)의 일단으로 들어가거나 타단으로부터 나가게 된다. 즉, 본 발명의 실시예들에서는 기판(S)이 공정 처리부(120)로 들어가거나 공정 처리부(120)로부터 나오는 부분이 버퍼부(150)로 한정되게 된다. 따라서, 종래 기술(도 1 참조)에 비해 인덱서 로봇(134)의 동작 반경이 줄어들게 된다. 따라서, 하나의 제품을 생산하는 데 요구되는 기준 시간인 택트 타임(tact time)이 줄어들게 된다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치에 포함되는 버퍼부를 설명하기 위한 평면도이다.
도 3을 참조하면, 버퍼부(151)는 U 형태의 일단과 연결되고 인덱서 로봇으로부터 기판을 받는 로딩 버퍼부(151a)와, U 형태의 타단과 연결되고 인덱서 로봇으로부터 기판을 전달하는 언로딩 버퍼부(151b)를 포함한다. 일 실시예에서는 버퍼부(151)는 도 3에서와 같이 1단으로 구성되어 있으므로, 로딩 버퍼부(151a)와 언로 딩 버퍼부(151b)는 U 형태의 일단과 타단의 서로 마주보는 부분 사이에 나란히 배치된다. 여기서, 로딩 버퍼부(151a)와 언로딩 버퍼부(151b) 각각은 컨베이어 반송을 할 수 있고, 컨베이어 반송의 구성은 널리 알려져 있으므로 자세히 설명하지 않는다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 처리 장치에 포함되는 버퍼부를 설명하기 위한 개념적인 사시도이다.
도 4를 참조하면, 버퍼부(152)는 U 형태의 일단과 연결되고 인덱서 로봇으로부터 기판을 받는 로딩 버퍼부(152a)와, U 형태의 타단과 연결되고 인덱서 로봇으로부터 기판을 전달하는 언로딩 버퍼부(152b)를 포함하는데, 다른 실시예에서 버퍼부(152)는 도 4에서와 같이 2단으로 구성되어 있고, 2단 중 하단은 로딩 버퍼부(152a)가 배치되고, 2단 중 상단은 언로딩 버퍼부(152b)가 배치된다. 여기서, 언로딩 버퍼부(152b)는 2단 중 상단에 있으므로, 다수의 처리 모듈을 거친 기판을 언로딩 버퍼부(152b)에 제공하기 위해서 공정 처리부(120)의 타단에는 기판을 들어 올리는 리프트(lift)가 구비될 수 있다. 이러한 리프트의 구성은 널리 알려져 있으므로 자세히 설명하지 않는다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 처리 장치는 일 실시예에 비해, 기판 처리 장치가 차지하는 면적이 줄어들 수 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
상기한 바와 같은 기판 처리 장치는 인덱서 로봇의 동작 반경이 줄어들게 되므로, 택트 타임이 줄어들게 된다.

Claims (5)

  1. 다수의 처리 모듈이 U 형태로 배치된 공정 처리부로, 상기 U 형태의 일단으로 들어온 기판이 상기 다수의 처리 모듈을 연속적으로 거쳐서 U 형태의 타단으로 나가는 공정 처리부;
    상기 U 형태의 일단과 타단의 서로 마주보는 부분 사이에 설치된 버퍼부로, 상기 버퍼부를 통해서 상기 기판이 상기 일단으로 들어가거나 상기 타단으로부터 나가는 버퍼부; 및
    상기 기판이 적재된 카세트가 놓여지는 적어도 하나의 로드 포트와, 상기 버퍼부와 상기 카세트 사이의 기판 이송을 전담하는 인덱서 로봇을 포함하는 인덱서부를 포함하며,
    상기 버퍼부는,
    상기 U 형태의 일단과 연결되고 상기 인덱서 로봇으로부터 기판을 받는 로딩 버퍼부와,
    상기 U 형태의 타단과 연결되고 상기 인덱서 로봇으로 기판을 전달하는 언로딩 버퍼부를 포함하는 기판 처리 장치.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 로딩 버퍼부와 상기 언로딩 버퍼부는 각각 컨베이어 반송을 하는 기판 처리 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 버퍼부는 1단으로 구성되어, 상기 로딩 버퍼부와 상기 언로딩 버퍼부는 상기 U 형태의 일단과 타단의 서로 마주보는 부분 사이에 나란히 배치된 기판 처리 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 버퍼부는 2단으로 구성되어, 상기 2단 중 하단은 상기 로딩 버퍼부가 배치되고, 상기 2단 중 상단은 상기 언로딩 버퍼부가 배치되는 기판 처리 장치.
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