KR100555619B1 - 2단 승하강 기판이송장치 및 이 기판이송장치가 적용된기판처리장치 - Google Patents

2단 승하강 기판이송장치 및 이 기판이송장치가 적용된기판처리장치 Download PDF

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Abstract

기판의 2단 승하강 장치가 개시된다. 그러한 기판의 2단 승하강 장치는 지지 프레임에 고정적으로 장착되어 구동력을 발생하는 구동부와, 상기 구동부의 일측에 구비되어 상기 구동부의 작동에 의해 승하강하는 지지부와, 그리고 상기 지지부의 일측에 활주가능하게 결합되어 상기 지지부가 승하강 하는 경우, 함께 연동하여 승하강함으로써 기판을 이송하는 기판 적치부를 포함하여, 상기 지지부의 스트로크와 상기 기판 적치부의 스트로크의 합으로 기판을 상, 하 이동시킨다.
기판, 세정, 2단, 승하강

Description

2단 승하강 기판이송장치 및 이 기판이송장치가 적용된 기판처리장치 {APPARATUS FOR TRANSPORTING WORKS CAPABLE OF ASCENDING AND DESCENDING BY 2-STAGE AND FOR TREATMENT WORKS}
도1 은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판의 승하강 장치가 적용된 기판처리라인을 도시하는 사시도.
도2 는 도1 에 도시된 기판의 2단 승하강 장치를 도시하는 사시도.
도3 은 도2 에 도시된 기판의 2단 승하강 장치의 후면 사시도.
도4 는 도2 에 도시된 기판의 2단 승하강 장치의 후면도.
도5 는 도2 에 도시된 기판의 2단 승하강 장치의 측면도.
도6 은 도2 에 도시된 2단 승하강 장치의 작동상태를 도시하는 작동 상태도.
본 발명은 기판의 2단 승하강 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 제한된 공간내에서 승하강 스트로크를 연장시킴으로써 수직방향으로 기판을 이송할 수 있는 기판의 2단 승하강 장치에 관한 것이다.
일반적으로 평판 디스플레이(FPD;Flat Panel Display), 반도체 웨이퍼, LCD, 포토 마스크용 글라스 등에 사용되는 기판은 일련의 처리라인을 거치면서 에칭, 스트립, 린스 등의 과정을 거친 후 세정을 하게 된다.
상기 기판의 처리라인에 있어서는 라인간에 기판을 이송하기 위한 이송장치들이 필수적으로 적용되며, 상기 기판 이송장치들에 관한 다양한 기술들이 개발되고 있다.
이러한 기판 이송장치들은 여러 형태가 가능하며 통상적으로 수평방식에 의하여 기판을 인수/인계하는 방식이다. 즉, 기판을 처리하기 위하여 이송장치들이 기판을 수평상태로 이송하여 라인 입측의 로더에 공급하거나 혹은 처리된 기판을 언로더로부터 인수하여 다른 처리라인으로 이송하는 방식이다.
그러나, 이러한 구조의 기판 이송장치는 수평방향으로 기판을 이송하는 방식이므로 처리 라인간에 높낮이 차이가 있는 경우, 즉, 수직방향으로는 기판을 이송하기 어려운 문제점이 있다.
따라서, 본 발명의 목적은 전술한 문제점을 해결하기 위하여 안출 된 것으로서, 본 발명의 목적은 수직방향으로 기판을 이송함으로써 높이차이가 있는 처리라인 간에도 기판을 용이하게 이송할 수 있는 기판의 승하강 장치를 제공하는데 있다.
또한, 승하강 구조를 간단화함으로써 제조원가를 절감하고 조작이 간편한 기판의 승하강 장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 목적을 실현하기 위하여, 본 발명은 지지 프레임에 연결되는 베이스와, 상기 베이스의 일측에 구비되는 모터 조립체와, 상기 베이스 상면에 회전가능하게 장착된 회전부재와, 상기 회전부재와 상기 모터 조립체의 회전축을 연결하는 풀리벨트와, 상기 베이스의 양측에 구비되어 상기 지지부가 승하강할 수 있도록 하는 제1 슬라이딩 채널(first sliding channel)로 이루어짐으로써, 상기 지지 프레임에 고정적으로 장착되어 구동력을 발생하는 구동부와; 상기 구동부의 일측에 구비되어 상기 구동부의 작동에 의해 승하강하는 지지부와; 그리고 상기 지지부의 일측에 활주가능하게 결합되어 상기 지지부가 승하강 하는 경우, 함께 연동하여 승하강함으로써 기판을 이송하는 기판 적치부를 포함하여, 상기 지지부의 스트로크와 상기 기판 적치부의 스트로크의 합으로 기판을 상, 하 이동시키는 것을 특징으로 하는 2단 승하강 기판이송장치를 제공한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판의 2단 승하강 장치 및 기판처리장치를 상세하게 설명한다.
도시된 바와 같이, 본 발명이 제안하는 기판의 2단 승하강 장치(5,7)는 통상적인 기판처리라인에 적용되지만, 바람직하게는 도1 에 도시된 바와 같은 적층형의 기판처리라인의 입측 및 출측에 적용된다.
즉, 상기한 2단 승하강 장치(5,7)는 다층구조를 갖는 기판 처리라인에 적용됨으로써 기판(I)을 용이하게 인계 혹은 인수하게 된다.
이러한 기판처리라인을 보다 상세하게 설명하면, 프레임(1)의 상부에 이동가능하게 장착되어 레일(17)을 따라 기판(I)을 이송하는 수평 이송수단(3)과, 상기 프레임(1)의 입측 및 출측에 승/하강 가능하게 배치되며, 상기 수평 이송수단(3)으로부터/으로 기판(I)을 인수/인계하는 2단 승하강 장치(5,7)와, 상기 2단 승하강 장치(5,7)로부터 제1 이송유닛(9)을 통하여 기판(I)을 인수하여 처리하고 제2 이송유닛(11)을 통하여 배출하는 기판처리유닛(13)을 포함한다.
따라서, 수평 이송수단(3)에 의하여 기판(I)이 이송되면, 입측에 설치된 2단 승하강 장치(5)가 이를 인수하여 기판처리유닛(13)에 공급하고, 기판처리유닛(13)에서는 이 기판(I)을 적절하게 처리한 후 배출하고, 출측에 설치된 2단 승하강 장치(7)는 이를 인수하여 수평이송수단(3)에 인계함으로써 외부로 배출하게 된다.
이러한 2단 승하강 장치(5,7)는 입측 및 출측의 2단 승하강 장치가 동일하므로 이하 하나의 2단 승하강 장치(5)에 의하여 설명한다.
도2 내지 도6 에 도시된 바와 같이, 2단 승하강 장치(5)는 지지 프레임(8)에 고정적으로 장착되어 구동력을 발생하는 구동부(20)와, 상기 구동부(20)의 일측에 나사결합방식에 의하여 결합됨으로써, 상기 구동부(20)가 작동하는 경우 연동하여 승하강하는 지지부(24)와, 상기 지지부(24)의 일측에 활주가능하게 결합되어 상기 구동부(20)와 벨트(40)에 의하여 연결됨으로써, 상기 지지부(24)가 승하강 하는 경우, 연동하여 승하강하는 기판 적치부(18)를 포함한다.
이러한 구조를 갖는 2단 승하강 장치에 있어서, 상기 구동부(20)는 베이스(Base;21)를 포함하며, 상기 베이스(21)의 양단부에는 연장편(46)이 돌출 형성되어 기판처리라인의 지지 프레임(8)에 고정적으로 연결된다.
따라서, 상기 구동부(20)는 이러한 베이스(21)에 의하여 지지 프레임(8)의 소정위치에 고정된다.
또한, 상기 베이스(21)의 일측에는 모터 조립체(28)가 구비되며, 일정거리 떨어진 베이스(21)의 상면에는 회전부재(34)가 회전가능하게 장착된다. 이때, 상기 회전부재(34)는 바람직하게는 너트를 포함한다.
그리고, 모터 조립체(28)의 회전축(30)과 회전부재(34)는 풀리벨트(32)에 의하여 서로 연결된다. 또한, 상기 회전부재(34)는 후술하는 지지부(24)의 스크류축(26)에 회전가능하게 치합된 상태이다.
따라서, 상기 모터 조립체(28)가 구동하는 경우 상기 회전부재(34)가 회전하게 되고, 상기 회전부재(34)가 회전하는 경우 스크류축(26)과 치합된 상태이므로 상기 스크류축(26)이 상승 혹은 하강하게 된다.
결과적으로, 상기 구동부(20)가 구동하는 경우 상기 스크류축(26)이 상승하므로 지지부(24)도 상승하게 된다.
그리고, 상기 베이스(21)의 양측에는 제1 슬라이딩 채널(First sliding channel;23)이 구비됨으로써 상기 지지부(24)의 외측에 구비된 외측 가이드레일(50)이 활주가능하게 결합된다.
또한, 상기 지지부(24)는 바람직하게는 사각틀(22)로 이루어지며, 그 상부에는 한 쌍의 로울러 지지대(36)가 돌출 형성되며, 상기 한 쌍의 로울러 지지대(36)에는 로울러(38)가 각각 회전가능하게 장착된다. 따라서, 상기 구동부(20)와 기판 적치부(18)를 서로 연결하는 한 쌍의 벨트(40)가 이 로울러(38)에 각각 걸리게 된다.
또한, 상기 지지부(24)의 내측면에는 내측 가이드레일(48)이 각각 부착되며, 내측 가이드레일(48)에는 상기 기판 적치부(18)에 연결된 제2 슬라이딩 채널(44)이 활주가능하게 결합된다.
따라서, 상기 기판 적치부(18)는 상기 내측 가이드레일(48)을 따라 상하로 이동할 수 있다.
그리고, 상기 지지부(24)의 외측면에는 외측 가이드레일(50)이 각각 부착되며, 외측 가이드레일(50)은 상기 구동부(20)에 연결된 제1 슬라이딩 채널(23)에 활주가능하게 결합된다.
따라서, 상기 지지부(24)가 상기 구동부(20)에 의하여 승하강 하는 경우, 상기 외측 가이드레일(50)이 제1 슬라이딩 채널(23)을 따라 이동한다.
또한, 상기 사각틀(22)의 내부에는 상하방향으로 스크류축(26)이 장착된다. 따라서, 상기 구동부(20)의 회전부재(34)가 상기 스크류축(26)을 따라 회전함으로써 상기 지지부(24)가 승하강 하게 된다.
한편, 상기 기판 적치부(18)는 기판(I)이 적치되는 기판 안착 프레임(6)과, 상기 기판 안착 프레임을 지지하는 스탠드(Stand;29)와, 상기 스탠드(29)의 하단 양측에 구비되어 상기 지지부(24)의 내측 가이드레일(48)에 결합되는 제2 슬라이딩 채널(Second sliding channel;44)로 이루어진다.
이러한 구조를 갖는 기판 적치부(18)는 그 하단 소정위치(52)에 상기 벨트(40)의 하단부(43)가 연결되고, 또한 벨트(40)의 상단부(42)가 상기 지지부(24)의 로울러(38)를 경유하여 상기 구동부(20)의 지지부(24)에 연결된다.
따라서, 상기 지지부(24)가 상기 구동부(20)의 구동에 의하여 승하강 하는 경우, 상기 기판 적치부(18) 또한 승하강하는 지지부(24) 상에서 벨트(40)에 의하여 승하강한다.
결과적으로, 구동부(20)의 구동에 의하여 지지부(24)가 승하강하게 되고, 동 시에 기판 적치부(18)도 승하강하게 되므로, 상기 기판 적치부(18)는 한 번의 구동에 의하여 이동 스트로크가 2배로 연장될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 2단 승하강 장치의 작동과정을 더욱 상세하게 설명한다.
도6 에 도시된 바와 같이, 기판(I)을 인수하기 위하여 기판 적치부(18)를 상승시키는 경우, 먼저 모터 조립체(28)를 구동시킨다. 이때, 모터 조립체(28)와 회전부재(34)는 풀리벨트(32)에 의하여 서로 연결된 상태이고, 스크류축(26)이 회전부재(34)를 관통하여 치합된 상태이다. 또한, 회전부재(34)가 장착된 베이스(21)가 지지 프레임(8)에 고정된 상태이다.
따라서, 회전부재(34)가 회전하는 경우, 스크류축(26)이 상승하게 됨으로써 지지부(24)가 상승하게 된다. 이때, 구동부(20)의 제1 슬라이딩 채널(23)이 지지부(24)의 외측 가이드레일(50)에 결합된 상태이므로 스크류축(26)이 회전하는 것을 방지하여 수직방향으로만 이동할 수 있다.
이와 같은 과정을 통하여 지지부(24)가 상승하게 되며, 이때 벨트(40)가 로울러(38)를 중심으로 일단부(42)는 구동부(20)에 연결된 상태이고, 타단부(43)는 기판 적치부(18)에 연결된 상태이다.
따라서, 상기 지지부(24)가 상승하는 경우, 상기 벨트(40)의 일단부(42)는 고정된 상태의 구동부(20)에 연결되어 있음으로 벨트(40)의 타단부(43)가 기판 적치부(18)를 상향으로 당기게 된다. 결과적으로, 기판 적치부(18)가 기판 인수 위치까지 상승함으로서 기판(I)을 인수할 수 있다.
이와 같이, 상기 지지부(24)가 상승함으로써 한 스트로크(Stroke)를 얻을 수 있고, 상승하는 지지부(24)상에서 기판 적치부(18)가 벨트(40)에 의하여 다시 상승하게 되므로 또 한 스트로크를 얻을 수 있음으로, 결과적으로 한 번의 구동에 의하여 두배의 스트로크를 얻을 수 있다.
반대로, 기판(I)이 안착된 기판 적치부(18)를 하강시키는 경우, 모터 조립체(28)를 역방향으로 구동시킴으로써 회전부재(34)를 역방향으로 회전시킨다. 이와 같이 회전부재(34)가 역방향으로 회전하게 되면, 스크류축(26)이 하강하게 되므로써 지지부(24)가 하강하게 된다.
상기 지지부(24)가 하강하는 경우, 로울러(38)도 하강함으로써 그 위치가 낮아지게 되며, 아울러, 벨트(40)의 타단부(43)에 연결된 기판 적치부(18)가 그 자중에 의하여 하강하게 된다.
이때, 상기 기판 적치부(18)의 제2 슬라이딩 채널(44)이 지지부(24)의 내측 가이드레일(48)에 결합된 상태이다.
따라서, 상기 기판 적치부(18)는 기판(I)을 안착한 상태로 지지부(24)를 따라 하강하게 됨으로써 기판(I)을 이송할 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판의 2단 승하강 장치는 수직방향으로 구동가능함으로 서로 높이 차이가 있는 기판 처리라인 혹은 카세트간에 기판을 이송시킬 수 있는 장점이 있다.
또한, 한 번의 구동으로 두배의 스트로크를 얻을 수 있음으로 제한된 공간에 서 기판의 이송을 효율적으로 실시할 수 있는 장점이 있다.
이상을 통해 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니고 특허청구의 범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고, 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.

Claims (9)

  1. 지지 프레임에 연결되는 베이스와, 상기 베이스의 일측에 구비되는 모터 조립체와, 상기 베이스 상면에 회전가능하게 장착된 회전부재와, 상기 회전부재와 상기 모터 조립체의 회전축을 연결하는 풀리벨트와, 상기 베이스의 양측에 구비되어 상기 지지부가 승하강할 수 있도록 하는 제1 슬라이딩 채널(first sliding channel)로 이루어짐으로써, 상기 지지 프레임에 고정적으로 장착되어 구동력을 발생하는 구동부와;
    상기 구동부의 일측에 구비되어 상기 구동부의 작동에 의해 승하강하는 지지부와; 그리고
    상기 지지부의 일측에 활주가능하게 결합되어 상기 지지부가 승하강 하는 경우, 함께 연동하여 승하강함으로써 기판을 이송하는 기판 적치부를 포함하여,
    상기 지지부의 스트로크와 상기 기판 적치부의 스트로크의 합으로 기판을 상, 하 이동시키는 것을 특징으로 하는 2단 승하강 기판이송장치.
  2. 삭제
  3. 제1 항에 있어서, 상기 지지부는 사각틀과, 상기 사각틀 상단에 장착되는 로울러와, 상기 로울러 상에 걸쳐지며 상기 기판적치부의 일단과 상기 구동부의 일단을 연결하는 벨트와, 상기 사각틀에 상하방향으로 구비되며 상기 회전부재를 관통하는 스크류축과, 상기 사각틀의 외측에 구비되어 상기 구동부의 제1 슬라이딩 채널에 활주가능하게 결합되는 외측 가이드레일과, 상기 사각틀의 내측에 구비되어 상기 기판 적치부가 활주가능하게 결합되는 내측 가이드레일을 포함하는 2단 승하강 기판 이송 장치.
  4. 제3 항에 있어서, 상기 기판 적치부는 기판이 적치되는 기판 안착 프레임과, 상기 기판 안착 프레임을 지지하는 스탠드(Stand)와, 상기 스탠드의 하단 양측에 구비되어 상기 지지부의 내측 가이드레일에 결합되는 제2 슬라이딩 채널(Second sliding channel)을 포함하는 2단 승하강 기판 이송 장치.
  5. 프레임과;
    상기 프레임에 장착되어, 기판을 수평방향으로 이송시키는 수평 이송수단과;
    상기 프레임에 승/하강 가능하게 배치되며, 승하강 가능한 지지부 및 기판 적치부로 이루어짐으로써, 구동부의 작동에 의하여 상기 지지부 및 기판 적치부가 순차적으로 승하강 함으로써 기판을 상기 수평이송수단으로부터/으로 인수/인계하는 2단 승하강 수단과; 그리고
    상기 2단 승하강 수단으로부터 이송유닛을 통하여 기판을 인수하여 처리하고 배출하는 기판의 처리장치.
  6. 제5 항에 있어서, 상기 2 단 승하강 수단은 지지 프레임에 고정적으로 장착되어 구동력을 발생하는 구동부와, 상기 구동부의 일측에 구비되어 상기 구동부의 작동에 의해 승하강하는 지지부와, 그리고 상기 지지부의 일측에 활주가능하게 결합되어 상기 지지부가 승하강 하는 경우, 함께 연동하여 승하강함으로써 기판을 이송하는 기판 적치부를 포함하여, 상기 지지부의 스트로크와 상기 기판 적치부의 스트로크의 합으로 기판을 상, 하 이송시키는 기판의 처리장치.
  7. 제5 항에 있어서, 상기 구동부는 상기 지지 프레임에 연결되는 베이스와, 상기 베이스의 일측에 구비되는 모터 조립체와, 상기 베이스 상면에 회전가능하게 장착된 회전부재와, 상기 회전부재와 상기 모터 조립체의 회전축을 연결하는 풀리벨트와, 상기 베이스의 양측에 구비되어 상기 지지부가 승하강할 수 있도록 하는 제1 슬라이딩 채널(first sliding channel)을 포함하는 기판의 처리장치.
  8. 제7 항에 있어서, 상기 지지부는 사각틀과, 상기 사각틀의 상부에 장착되어 상기 벨트가 걸쳐지는 로울러와, 상기 사각틀에 상하방향으로 구비되며 상기 회전부재를 관통하는 스크류축과, 상기 사각틀의 외측에 구비되어 상기 구동부의 제1 슬라이딩 채널에 활주가능하게 결합되는 외측 가이드레일과, 상기 사각틀의 내측에 구비되어 상기 기판적치대가 활주가능하게 결합되는 내측 가이드레일을 포함하는 기판의 처리장치.
  9. 제8 항에 있어서, 상기 기판 적치부는 기판이 적치되는 기판 안착 프레임과, 상기 기판 안착 프레임을 지지하는 스탠드(Stand)와, 상기 스탠드의 하단 양측에 구비되어 상기 지지부의 내측 가이드레일에 결합되는 제2 슬라이딩 채널(Second sliding channel)을 포함하는 기판의 처리장치.
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