KR100975428B1 - 기판처리장치 - Google Patents

Abstract

다층구조를 가지는 기판처리장치에 관한 것이며, 부품의 수를 감소시키면서 기판을 원활하게 이동시켜 제조 비용을 줄일 수 있는 기판처리장치를 개시한다.

본 발명의 기판처리장치는, 외부에서 기판을 전달받는 제1 기판 이송부, 제1 기판 이송부와 다른 층에 설치되는 제2 기판 이송부, 제2 기판 이송부로부터 전달받는 기판을 처리하는 기판 처리부, 기판 처리부에서 처리된 기판을 이송하는 제3 기판 이송부, 제1 기판 이송부에서 기판을 전달받아 제2 기판 이송부로 전달하거나 또는 제3 기판 이송부로부터 전달받은 기판을 제1 기판 이송부로 전달하는 수직 이송부를 포함하며, 제1 기판 이송부는 서로 나란하게 배치되는 복수의 이송벨트를 구비하고 하나의 구동원으로 이송벨트를 동시에 구동하는 구조를 가진다.

다층, 기판, 처리, 도킹, 세정, 건조, 벨트, 텐션

Description

기판처리장치{Apparatus for treating substrate}

본 발명은 다층구조를 가지는 기판 처리장치에 적용되는 기판 이송장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 부품의 수를 감소시키면서 기판을 원활하게 이동시켜 제조 비용을 줄일 수 있는 기판처리장치에 관한 것이다.

다층 구조를 가지는 기판의 처리 장치는 외부에서 공급된 기판을 이송시키는 상부 이송수단을 구비한 상층부, 상층부로부터 공급된 기판을 공급받아 기판을 세정, 건조시키는 장비들이 설치되는 중층부, 그리고 지지부재 및 동력장치들이 설치된 하층부로 이루어진다. 그리고 상층부과 중층부 사이에는 양 사이드에 배치되어 승, 하강하면서 기판을 수직으로 이송하는 수직 이송 수단들이 제공된다.

상층부에는 제공되는 상부 이송수단은 일정한 거리가 띄워지는 한 쌍의 벨트를 구비하고 이 벨트의 상부에 기판을 이송시킬 수 있는 이송유닛이 결합된다. 그리고 벨트는 양끝에 각각 구동풀리와 피동풀리들이 배치된다. 구동풀리는 통상적으로 각각 복수의 서보 모터에 의하여 회전할 수 있다.

이러한 구조를 가지는 상부 이송수단은 두개의 서보 모터를 제어장치로 제어하게 되는데 동시에 동일한 거리만큼 이동벨트를 이동시키는 동기 제어가 용이하지 않게 되어 벨트들이 서로 이동되는 거리가 차이가 발생할 수 있는 단점이 있었다. 따라서 기판이 이송될 때 이송 불량으로 인하여 제품의 불량이 발생할 수 있는 문제점이 있었다. 또한, 더욱 간단한 구조로 제조하여 제조 비용을 줄일 필요가 있으나, 이에 충분하게 만족하지 못하는 단점이 있다.

따라서, 본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로서, 본 발명의 목적은 다층 구조로 이루어지는 기판 처리장치에 사용되는 기판 이송장치에서 기판 이송 불량을 방지하여 제품 불량이 발생하는 것을 줄이는 기판처리장치를 제공하는데 있다.

또한, 본 발명의 목적은 기판을 원활하게 이송하면서도 부품의 수를 줄여 제조 비용을 낮출 수 있는 기판처리장치를 제공하는데 있다.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 외부에서 기판을 전달받는 제1 기판 이송부, 상기 제1 기판 이송부와 다른 층에 설치되는 제2 기판 이송부, 상기 제2 기판 이송부로부터 전달받는 기판을 처리하는 기판 처리부, 상기 기판 처리부에서 처리된 기판을 이송하는 제3 기판 이송부, 상기 제1 기판 이송부에서 기판을 전달받아 제2 기판 이송부로 전달하거나 또는 제3 기판 이송부로부터 전달받은 기판을 상기 제1 기판 이송부로 전달하는 수직 이송부를 포함하며, 상기 제1 기판 이송부는 서로 나란하게 배치되는 복수의 이송벨트를 구비하고 하나의 구동 원으로 상기 이송벨트를 동시에 구동하는 기판처리장치를 제공한다.

상기 제1 이송벨트, 상기 제1 이송벨트에 마주하여 배치되는 제2 이송벨트, 상기 제1 이송벨트와 상기 제2 이송벨트에 결합되며 기판이 적재되는 이송유닛, 상기 제1 이송벨트와 상기 제2 이송벨트의 양단에 배치되는 아이들 풀리들, 상기 제1 이송벨트의 중앙부에 배치되는 구동풀리, 상기 구동풀리를 회전시키는 구동원, 상기 제2 이송벨트의 중앙부에 배치되는 종동풀리, 그리고 상기 구동풀리와 상기 종동풀리를 연결하는 동력전달부재를 포함하는 것이 바람직하다.

상기 구동풀리와 상기 종동풀리는 상기 제1 이송벨트와 상기 제2 이송벨트의 내주면 또는 외주면에 배치되고, 그 반대편에 텐션 조절부가 제공되는 것이 바람직하다.

상기 텐션 조절부는 풀리로 이루어지는 것이 바람직하다.

상기 동력전달부재는 동력전달을 위한 축으로 이루어지는 것이 바람직하다.

이와 같은 본 발명은 구동풀리를 제1 이송벨트의 중앙부에 배치하고 이 구동풀리와 함께 회전하는 종동풀리는 제2 이송벨트의 중앙부에 배치하여 동력전달부재로 연결함으로써 사이드에서 승, 하강하는 수직 이송부의 이송에 방해가 되지 않아 원활하게 기판을 이송할 수 있다. 또한 본 발명은 중앙부에 하나의 구동원을 배치하여 부품의 수를 줄임으로써 제조 비용을 줄일 수 있는 효과가 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세하게 설명 하면 다음과 같다.

도 1은 본 발명의 실시 예를 설명하기 위한 전체적인 구성도이고, 도 2는 도 1의 주요 부분을 상세하게 도시한 도면으로, 다층 구조로 이루어지는 기판처리장치(1)에 적용되는 기판 이송부(3)를 도시하고 있다. 본 발명의 실시 예가 적용될 수 있는 기판 처리장치(1)는 상층부(A), 중층부(B), 하층부(C)를 포함한다.

상층부(A)는 외부에서 기판(G)을 받아 양측으로 이송시키는 제1 기판 이송부(3)를 포함하고 있다. 그리고 중층부(B)는 기판의 세정과 건조 등을 수행할 수 있는 기판 처리부(5, 7, 9)들이 배치된다. 또한, 중층부(B)에는 기판 처리부(5, 7, 9)에 기판(G)을 공급하는 제2 기판 이송부(4)와 기판 처리부(5, 7, 9)에서 처리된 기판(G)을 이송하는 제3 기판 이송부(10)들이 제공된다. 제2 기판 이송부(4)와 제3 기판 이송부(10)는 롤러 등의 구름부재가 회전하는 구조에 의하여 기판(G)을 수평으로 이송시키는 구조로 이루어질 수 있다.

하층부(C)는 동력장치들이 배치될 수 있다. 본 발명의 실시 예에서 기판 처리 장치가 3개의 층으로 나누어진 예를 설명하고 있으나 이에 한정되는 것은 아니며 다수의 층으로 이루어지는 것에도 적용될 수 있다.

다층 구조의 기판 처리장치(1)는 본 출원인이 출원하여 등록된 대한민국 특허등록 제10-0500169호에 개시되어 있으며, 본 발명의 실시 예인 기판 처리부(3)가 적용될 수 있다.

상층부(A)와 중층부(B)의 사이드 측에는 상층부(A)에서 중층부(B) 또는 중층부(B)에서 상층부(A)로 기판을 이동시키는 수직 이송부(11, 13)가 배치된다. 수직 이송부(11, 13)는 상술한 특허 공보에 개시된 바와 같이 구동원에 의하여 승, 하강 하면서 기판 이송부(3)에 의하여 이송되는 기판(G)을 전달받아 이송시킬 수 있다.

상층부(A)에 제공된 기판 이송부(3)는, 도 2에 도시하고 있는 바와 같이, 모터(M) 등의 구동원에 의하여 회전동력을 전달받는 구동풀리(31), 구동풀리(31)와 연동하여 회전하는 종동풀리(33), 구동풀리(31)와 종동풀리(33)에 의하여 회전하는 제1 이송벨트(35)와 제2 이송벨트(37), 그리고 제1 이송벨트(35)와 제2 이송벨트(37)에 결합되어 기판(G)을 이송시키는 이송유닛(39)을 포함한다. 또한, 구동풀리(31)와 종동풀리(33)는 바(bar) 또는 축으로 이루어지는 동력전달부재(41)에 의하여 서로 결합되어 구동풀리(31)의 회전에 따라 종동풀리(33)가 함께 회전할 수 있는 구조로 결합된다.

구동풀리(31)는 제1 이송벨트(35)의 가운데 부분에 설치되는 것이 바람직하다. 또한, 종동풀리(33)는 제2 이송벨트(37)의 가운데 부분에 설치되는 것이 바람직하다. 따라서 구동풀리(31)와 종동풀리(33)를 연결하는 동력전달부재(41)는 제1 이송벨트(35)와 제2 이송벨트(37)의 가운데 부분에 위치하게 된다. 이러한 동력전달부재(41)의 배치구조는 사이드 측에서 기판을 상, 하 방향으로 이동시키는 수직 이송부(11)의 이동에 방해를 주지 않으므로 다층으로 이루어진 기판 처리장치의 설계 자유도를 높일 수 있다.

또한, 구동풀리(31)에 회전력을 공급하는 모터 등의 구동원은 중앙부에 1개만 설치하여도 제1 이송벨트(35)와 제2 이송벨트(37)를 함께 회전시킬 수 있으므로 부품의 수를 감소시켜 제조 비용을 줄일 수 있다.

제1 이송벨트(35)와 제2 이송벨트(37)는 각각 양측에 아이들 풀리(43, 45, 47, 49)들이 제공된다. 따라서 제1 이송벨트(35)와 제2 이송벨트(37)는 이러한 아이들 풀리(43, 45, 47, 49)들에 의하여 원활하게 회전할 수 있다. 또한, 구동풀리(31)와 종동풀리(33)가 인접하는 부분에서는 텐션풀리(51, 53, 55, 57)들이 배치된다. 이러한 텐션풀리(51, 53, 55, 57)들은 제1 이송벨트(35)와 제2 이송벨트(37)들을 가압하여 항상 적절한 장력을 유지할 수 있다.

한편, 기판(G)을 이송시키는 이송유닛(39)은 제1 이송벨트(35)와 제2 이송벨트(37)에 결합된 고정부재(61, 63)들에 결합된다. 이러한 이송유닛(39)은 상술한 특허공보에 개시된 것과 동일한 구조가 사용될 수 있다. 물론 이송유닛(39)은 상술한 예에 한정되는 것은 아니며 단지 기판(G)을 중앙부에서 사이드 측으로 이송시킬 수 있는 것이면 어느 것이나 적용할 수 있다.

도 3은 본 발명의 실시 예를 설명하기 도면으로, 제1 이송벨트(35)를 회전시키는 구동풀리(31)와 텐션풀리(51, 53)들이 배치되는 예를 도시하고 있다. 즉, 구동풀리(31)는 제1 이송벨트(35)의 중앙부 안쪽에 배치되어 제1 이송벨트(35)에 밀착된 상태로 제1 이송벨트(35)를 구동하고 있다. 그리고 텐션풀리(51, 53)는 제1 이송벨트(35)의 외측에서 내측으로 가압하면서 장력을 조절하면서 회전하는 구조로 이루어진다.

도 4는 도 3과 대응되며 다른 실시 예를 설명하기 위한 도면으로, 제1 이송벨트(35)를 회전시키는 구동풀리(31)와 텐션풀리(51, 53)들이 다르게 배치된 예를 도시하고 있다. 즉, 구동풀리(31)는 제1 이송벨트(35)의 중앙부 외측에 배치되어 제1 이송벨트(35)에 밀착된 상태로 제1 이송벨트(35)를 구동하고 있다. 그리고 텐션풀리(51, 53)는 제1 이송벨트(35)의 내측에서 외측으로 가압하면서 장력을 조절하는 구조로 이루어져 있다. 이러한 다른 실시 예는 본 발명의 실시 예를 다양하게 실시 할 수 있음을 보여주는 것이다.

이와 같이 이루어지는 본 발명의 기판처리장치에 의하여 기판이 이송되는 과정을 상세하게 설명하면 다음과 같다.

이송유닛(39)이 가운데 부분에 배치되어 있는 상태에서 상층부(A) 가운데 부분으로 기판 공급장치(도시생략)에 의하여 기판(G)이 공급되어 상술한 이송유닛(39)에 올려진다. 그리고 제어장치에 의하여 모터(M)가 제어되면서 구동풀리(31)가 회전한다. 구동풀리(31)가 회전함에 따라 동력전달부재(41)를 통하여 회전력이 종동풀리(33)로 전달되어 종동풀리(33)가 구동풀리(31)와 동시에 회전한다. 따라서 제1 이송벨트(35)와 제2 이송벨트(37)는 함께 회전하여 원활하게 이송 유닛(39)을 사이드 측으로 이송시킬 수 있다.

그리고 사이드로 이송된 기판은 수직 이동부(11, 13) 중의 하나에 의하여 중층부(B)로 이동되어 기판 처리부(5, 7, 9)에서 기판(G)이 처리될 수 있다. 처리된 기판(G)은 다시 수직 이동부(11, 13)의 중의 하나에 의하여 상층부(A)로 이동된다. 그리고 처리된 기판(G)을 받은 이송 유닛(39)은 기판 이송장치(1)의 상술한 동작에 의하여 중앙부로 이동되어 외부로 배출될 수 있다.

따라서 본 발명의 실시 예는 하나의 구동원으로 제1 이송벨트(35)와 제2 이송벨트(37) 동시에 회전하게 되어 부품의 수를 줄일 수 있으며, 또한, 기판 이송 불량을 방지할 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시 예가 적용될 수 있는 기판 처리 장치의 전체적인 구성도이다.

도 2는 본 발명의 제1 실시 예를 설명하기 위하여 주요부를 도시한 도면이다.

도 3은 본 발명의 제1 실시 예의 구성도이다.

도 4는 도 3에 대응하는 본 발명의 제2 실시 예를 설명하기 위한 구성도이다.

[도면의 주요 부분의 부호의 설명]

3, 4, 10 : 제1, 2, 3 기판이송부, 5, 7, 9 : 기판처리부

11, 13 : 수직이송부, 31 : 구동풀리,

33 : 종동풀리 35 : 제1 이송벨트,

37 : 제2 이송벨트, 41 : 동력전달부재,

43, 45, 47, 49 : 아이들풀리, 51, 53, 55, 57 : 텐션풀리,

61, 63 : 고정부재

Claims (5)

1. 외부에서 기판을 전달받는 제1 기판 이송부, 상기 제1 기판 이송부와 다른 층에 설치되는 제2 기판 이송부, 상기 제2 기판 이송부로부터 전달받는 기판을 처리하는 기판 처리부, 상기 기판 처리부에서 처리된 기판을 이송하는 제3 기판 이송부, 상기 제1 기판 이송부에서 기판을 전달받아 제2 기판 이송부로 전달하거나 또는 제3 기판 이송부로부터 전달받은 기판을 상기 제1 기판 이송부로 전달하는 수직 이송부를 포함하며, 상기 제1 기판 이송부는 서로 나란하게 배치되는 복수의 이송벨트를 구비하고 하나의 구동원으로 상기 이송벨트를 동시에 구동하며,

   상기 제1 기판 이송부는

   제1 이송벨트,

   상기 제1 이송벨트에 마주하여 배치되는 제2 이송벨트,

   상기 제1 이송벨트와 상기 제2 이송벨트에 결합되며 기판이 적재되는 이송유닛,

   상기 제1 이송벨트와 상기 제2 이송벨트의 양단에 배치되는 아이들풀리들,

   상기 제1 이송벨트의 가운데 부분에 배치되는 구동풀리,

   상기 구동풀리를 회전시키는 구동원,

   상기 제2 이송벨트의 가운데 부분에 배치되는 종동풀리, 그리고

   상기 구동풀리와 상기 종동풀리를 연결하는 동력전달부재를 포함하고,

   상기 동력전달부재는 동력전달을 위한 축으로 이루어지는 기판처리장치.
2. 삭제
3. 청구항 1에 있어서,

   상기 구동풀리와 상기 종동풀리는

   상기 제1 이송벨트와 상기 제2 이송벨트의 내주면 또는 외주면에 배치되고, 그 반대편에 텐션 조절부가 제공되는 기판처리장치.
4. 청구항 3에 있어서,

   상기 텐션 조절부는 풀리로 이루어지는 기판처리장치.
5. 삭제

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