KR101967932B1 - 기판 반송 장치 및 기판 처리 장치 - Google Patents

기판 반송 장치 및 기판 처리 장치 Download PDF

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Abstract

구동부와, 기판에 맞닿음으로써 반송력을 부여하는 반송용 롤러를 갖는 제 1 샤프트와, 구동부에 의한 구동력을 제 1 샤프트에 전달하는 제 2 샤프트와, 제 1 샤프트를 착탈 가능하게 지지하는 지지 부재와, 제 2 샤프트에 대해 제 1 샤프트를 착탈 가능하게 연결하는 연결 부재를 구비한 기판 반송 장치에 관한 것이다. 연결 부재는, 제 1 샤프트 및 제 2 샤프트에 있어서의 직경 방향에 대한 위치 어긋남이 허용 가능하게 구성된다.

Description

기판 반송 장치 및 기판 처리 장치{SUBSTRATE TRANSPORTING APPARATUS AND SUBSTRATE TREATING APPARATUS}
본 발명은, 기판 반송 장치 및 기판 처리 장치에 관한 것이다.
본원은, 2011년 11월 18일에, 일본에 출원된 일본 특허출원 2011-252456호에 기초하여 우선권을 주장하고, 그 내용을 여기에 원용한다.
액정 패널이나 반도체 디바이스의 제조 공정에 있어서는, 각종 기판에 대한 처리 효율을 향상시키기 위해, 기판의 반송 라인을 따라 각종 처리 장치를 배치하고, 복수의 반송 롤러를 갖는 기판 반송 장치에 의해 기판을 반송시키면서 기판에 대해 각종 처리가 실시되고 있다 (예를 들어, 특허문헌 1, 2 참조).
일본 공개특허공보 2008-56471호 일본 공개특허공보 2008-246362호
그런데, 상기 서술한 기판 반송 장치에 있어서는 기판에 대한 처리 품질을 확보하기 위해서 복수의 반송 롤러를 장착할 때에 각각에 대해 부착 정밀도가 요구된다. 그러나, 상기 종래 기술에서는, 반송 롤러의 조립성이 고려되어 있지 않기 때문에, 예를 들어 반송 롤러의 각각에 대해 1 개씩 레벨링을 실시할 필요가 있어, 조정 시간을 요한다는 문제가 있었다.
본 발명은, 이와 같은 과제를 감안하여 이루어진 것으로, 조립시의 조정 시간을 단축할 수 있는 기판 반송 장치 및 기판 처리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 기판 반송 장치는, 구동부와, 기판에 맞닿음으로써 반송력을 부여하는 반송용 롤러를 갖는 제 1 샤프트와, 상기 구동부에 의한 구동력을 상기 제 1 샤프트에 전달하는 제 2 샤프트와, 상기 제 1 샤프트를 착탈 가능하게 지지하는 지지 부재와, 상기 제 2 샤프트에 대해 상기 제 1 샤프트를 착탈 가능하게 연결하는 연결 부재를 구비하고, 상기 연결 부재는, 상기 제 1 샤프트 및 상기 제 2 샤프트에 있어서의 직경 방향에 대한 위치 어긋남을 허용 가능하게 구성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 기판 반송 장치에 의하면, 예를 들어 지지 부재로서 제 1 샤프트의 부착 부분의 수평 정밀도가 높은 것을 사용함으로써, 제 1 샤프트를 지지 부재에 장착함으로써 간편하게 장치를 조립할 수 있다. 또, 제 1 샤프트로서 장척 (長尺) 인 것을 사용한 경우에도, 제 2 샤프트에 대한 직경 방향에 대한 위치 어긋남이 연결 부재에 의해 허용되기 때문에, 직경 방향의 위치 어긋남을 고려할 필요가 없어짐으로써 제 1 샤프트의 조립시의 조정 시간을 단축시킬 수 있다.
상기 기판 반송 장치에 있어서는, 상기 연결 부재는, 상기 제 1 샤프트 및 상기 제 2 샤프트의 일단측에 각각 형성된 이너 기어부에 걸어 맞추는 아우터 기어부를 갖는 것이 바람직하다.
이 구성에 의하면, 샤프트측의 이너 기어부와 연결 부재측의 아우터 기어부가 걸어 맞춰짐으로써 구동부의 구동력을 제 1 샤프트에 양호하게 전달할 수 있다.
상기 기판 반송 장치에 있어서는, 복수의 상기 제 1 샤프트가 상기 지지 부재에 지지되고, 상기 제 1 샤프트의 각각은 상기 반송용 롤러를 복수 갖고 있고, 상기 지지 부재에 지지된 이웃하는 상기 제 1 샤프트에 있어서의 상기 반송용 롤러는, 상기 기판의 반송 방향에 있어서 서로의 위치가 상이한 것이 바람직하다.
이 구성에 의하면, 반송용 롤러가 기판의 반송 방향에 있어서 서로의 위치가 상이하므로, 기판의 이면에 대해 반송용 롤러를 균일하게 접촉시킬 수 있다. 따라서, 기판의 표면에 소정의 처리를 실시했을 때 반송용 롤러의 접촉 불균일이 처리면에 악영향을 미치는 것을 방지할 수 있다.
상기 기판 반송 장치에 있어서는, 상기 반송용 롤러는, 상기 기판의 반송 방향에 있어서 지그재그상으로 배치되어 있는 것이 바람직하다.
이 구성에 의하면, 반송용 롤러가 기판의 반송 방향에 있어서 지그재그상으로 배치되므로, 상기 서술한 바와 같이 기판의 이면에 대해 반송용 롤러를 균일하게 접촉시킬 수 있어, 반송용 롤러의 접촉 불균일이 기판의 처리면에 악영향을 미치는 것을 방지할 수 있다.
상기 기판 반송 장치에 있어서는, 상기 지지 부재에는, 상기 제 1 샤프트의 수평도를 조정하는 수평도 조정 기구가 형성되는 것이 바람직하다.
이 구성에 의하면, 수평도 조정 기구에 의해 지지 부재에 지지되는 제 1 샤프트의 수평도를 간편하게 조정할 수 있다.
상기 기판 반송 장치에 있어서는, 상기 제 1 샤프트는, 베어링을 개재하여 상기 지지 부재에 지지되는 것이 바람직하다.
이 구성에 의하면, 제 1 샤프트가 지지 부재에 베어링을 개재하여 양호하게 지지되므로, 기판을 순조롭게 반송할 수 있다.
상기 기판 반송 장치에 있어서는, 상기 지지 부재에는, 상기 베어링을 지지하는 오목부가 형성되는 것이 바람직하다.
이 구성에 의하면, 오목부에 베어링을 끼어 넣음으로써 제 1 샤프트를 확실하게 지지할 수 있다.
상기 기판 반송 장치에 있어서는, 상기 지지 부재는, 상기 제 1 샤프트를 그 제 1 샤프트의 길이 방향에 있어서의 복수 지점에서 지지하는 것이 바람직하다.
이 구성에 의하면, 지지 부재가 복수 지점에서 제 1 샤프트를 안정적으로 지지하므로, 기판을 양호하게 반송할 수 있다.
본 발명의 기판 처리 장치는, 상기 기판 반송 장치와, 상기 기판 반송 장치에 의해 반송되는 기판에 대해 소정의 처리를 실시하는 처리부를 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 기판 처리 장치에 의하면, 상기 서술한 바와 같이 조립성이 우수한 기판 반송 장치를 구비하므로, 예를 들어 제 1 샤프트의 착탈 혹은 부착 작업을 간편하게 실시할 수 있어, 메인터넌스성이 우수한 기판 처리 장치가 제공된다.
본 발명의 기판 반송 방법은, 제 1 샤프트 및 제 2 샤프트에 있어서의 직경 방향에 대한 위치 어긋남을 허용 가능하게 구성되는 연결 부재를 개재하여 상기 제 1 샤프트를 착탈 가능하게 상기 제 2 샤프트에 접속함과 함께, 상기 제 1 샤프트를 착탈 가능하게 지지 부재에 의해 지지하는 공정과, 상기 제 1 샤프트의 반송용 롤러에 기판을 맞닿게 하는 공정과, 구동부에 의한 구동력을 상기 제 2 샤프트 및 연결 부재를 개재하여 상기 제 1 샤프트에 전달함으로써 상기 기판을 반송하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 제 1 샤프트로서 장척인 것을 사용한 경우에도, 제 2 샤프트에 대한 직경 방향에 대한 위치 어긋남이 연결 부재에 의해 허용되므로, 직경 방향의 위치 어긋남을 고려할 필요가 없어짐으로써 제 1 샤프트의 조립시의 조정 시간을 단축시킬 수 있다.
본 발명에 의하면, 조립시의 조정 시간을 단축한 기판 반송 장치 및 기판 처리 장치를 제공할 수 있다.
도 1 은 기판 처리 장치의 일례를 나타내는 도면.
도 2 는 기판 반송 장치의 구성을 나타내는 평면도.
도 3 은 기판 반송 장치를 X 방향 및 Y 방향에서 본 도면.
도 4 는 기판 반송 장치의 주요부 구성을 -Y 방향에서 본 도면.
도 5 는 연결 부재의 구성을 나타내는 단면도.
도 6 은 반송 롤러의 착탈 동작을 설명하기 위한 도면.
이하, 도면을 참조하여, 본 발명의 기판 반송 장치 및 기판 처리 장치에 관한 일 실시형태에 대해 설명한다. 이하의 설명에 있어서는, XYZ 직교 좌표계를 설정하고, 이 XYZ 직교 좌표계를 참조하면서 각 부재의 위치 관계에 대해 설명한다. 수평면 내에 있어서의 기판의 반송 방향을 X 축 방향, 수평면 내에 있어서 X 축 방향과 직교하는 방향을 Y 축 방향, X 축 방향 및 Y 축 방향의 각각과 직교하는 방향 (즉 연직 방향) 을 Z 축 방향으로 한다.
도 1 은, 기판 처리 장치의 일례를 나타내는 도면이다.
본 실시예에서는, 현상 처리 및 세정 처리를 실시하는 처리 장치에 적용한 예에 대해 설명한다.
기판 처리 장치 (100) 는, 도 1 에 나타내는 바와 같이 현상 유닛 (1) 과, 세정 유닛 (2) 과, 이들 현상 유닛 (1) 및 세정 유닛 (2) 사이에서 기판 (G) 을 반송하는 기판 반송 장치 (3) 를 갖고 있다. 기판 처리 장치 (100) 는, 기판 반송 장치 (3) 에 의해 반송되는 기판 (G) 이 현상 유닛 (1) 및 세정 유닛 (2) 을 통과하는 동안에 현상 처리 및 세정 처리를 실시하도록 되어 있다.
현상 유닛 (1) 은, 현상 챔버 (10) 를 갖고, 현상 챔버 (10) 내에 배치되는 반송 롤러 (50) (도 2 참조) 를 사이에 두고 상하에 현상 노즐 (11) 이 배치되고, 기판 (G) 은 반송 중에 현상 노즐 (11) 로부터 분사되는 현상액에 의해 현상 처리가 실시되도록 되어 있다.
세정 유닛 (2) 은, 세정 챔버 (20) 를 갖고, 세정 챔버 (20) 내에서 현상 처리 후의 기판 (G) 에 대해 세정 처리를 실시한다. 세정 챔버 (20) 내에는, 현상 챔버 (10) 내에 배치되는 반송 롤러 (50) 를 사이에 두고 상하에 복수의 세정 노즐 (21) 이 배치되고, 기판 (G) 은 반송 중에 표면에 잔존하는 현상액이 세정 노즐 (21) 로부터 분사되는 세정액에 의해 세정되도록 되어 있다.
도 2 는 기판 반송 장치 (3) 의 구성을 나타내는 도면으로, ＋Z 방향에서 본 평면도이다. 도 3 은 기판 반송 장치 (3) 의 구성을 나타내는 도면으로, 도 3(a) 는 ＋X 방향에서 본 측면도이며, 도 3(b) 는 도 3(a) 내에서의 A-A 선 화살표에 따른 위치에서 -Y 방향에서 본 측단면도이다. 또, 도 4 는 기판 반송 장치 (3) 의 주요부 구성을 나타내는 도면으로, 도 3(b) 내에서의 B-B 선 화살표에 따른 위치에서, -Y 방향에서 본 측단면도이다. 또한, 도 2 내지 도 4 에 있어서는, 설명에 관계가 없는 부재에 대해서는 도시를 생략하고 있다.
도 2 에 나타내는 바와 같이, 기판 반송 장치 (3) 는, 기판 (G) 을 반송하는 반송부 (51) 와, 반송부 (51) 의 각 반송 롤러 (50) 에 대해 구동력을 전달하는 구동 기구 (61) 와, 구동 기구 (61) 의 구동력을 반송부 (51) 에 전달하는 연결부 (71) 를 갖는다.
반송부 (51) 는, 상기 현상 챔버 (10) 및 세정 챔버 (20) 내에 설치되어, 기판 (G) 의 반송을 실시하기 위한 것이다. 반송부 (51) 는, 기판 (G) 의 반송 방향인 X 방향을 따라 배치된 복수의 반송 롤러 (50) 와, 그 반송 롤러 (50) 를 지지하는 지지 부재 (49) 와, 베어링 부재 (베어링) (52) 와, 수평 조정 기구 (55) 를 갖는다.
반송 롤러 (50) 는, 제 1 샤프트 (53) 와, 제 1 샤프트 (53) 에 끼워 맞춰지고, 기판 (G) 에 맞닿음으로써 반송력을 부여하는 롤러부 (54) 를 갖는다.
제 1 샤프트 (53) 는 연결부 (71) 를 개재하여 구동 기구 (61) 에 접속되고, 구동 기구 (61) 에 의해 회전 구동한다. 제 1 샤프트 (53) 에 있어서의 구동 기구 (61) 측의 단부에는 연결부 (71) 에 걸어 맞춤 가능한 이너 기어부 (53a) 가 형성되어 있다 (도 5 참조).
롤러부 (54) 는 기판 (G) 의 이면에 맞닿아, 마찰력에 의해 기판 (G) 에 대해 반송력을 부여한다. 롤러부 (54) 는, 복수의 반송용 롤러 (54a) 와, 그 반송용 롤러 (54a) 와 일체로 형성되는 원통형의 베이스부 (54b) 를 갖고, 베이스부 (54b) 가 제 1 샤프트 (53) 에 끼워 맞춰짐으로써 복수의 반송용 롤러 (54a) 가 제 1 샤프트 (53) 에 고정되어 있다. 여기서, 반송용 롤러 (54a) 란 롤러부 (54) 중, 기판 (G) 의 이면에 맞닿는 부분을 의미한다. 또한, 롤러부 (54) 는, 예를 들어 내약품성을 갖는 합성 수지 재료로 구성된다.
제 1 샤프트 (53) 는 베어링 부재 (52) 에 의해 지지 부재 (49) 에 대해 자유롭게 회전할 수 있도록 지지되고, 제 1 샤프트 (53) 에 고정된 반송용 롤러 (54a) 는 기판 (G) 에 맞닿음으로써 반송력을 부여할 수 있다. 또한, 제 1 샤프트 (53) 는, 지지 부재 (49) 에 대해 착탈 가능하게 되어 있다.
지지 부재 (49) 는 제 1 샤프트 (53) 의 길이 방향을 따라 배치된 1 쌍의 부재로 구성되고, 각각에는 제 1 샤프트 (53) 를 지지하기 위한 오목부 (49a) 가 형성되어 있다. 오목부 (49a) 는 복수의 제 1 샤프트 (53) 를 소정의 위치 정밀도로 양호하게 유지할 수 있는 가공 정밀도를 갖고 있다.
도 3(a) 및 도 3(b) 에 나타내는 바와 같이 제 1 샤프트 (53) 는, 베어링 부재 (52) 를 개재하여 오목부 (49a) 에 장착되어 있다. 이로써, 베어링 부재 (52) 를 오목부 (49a) 에 끼워 넣음으로써 반송 롤러 (50) (제 1 샤프트 (53)) 를 지지 부재 (49) 에 확실하게 지지할 수 있다.
또, 제 1 샤프트 (53) 가 베어링 부재 (52) 를 개재하여 지지 부재 (49) 에 양호하게 지지되므로, 반송 롤러 (50) (제 1 샤프트 (53)) 는 기판 (G) 을 순조롭게 반송할 수 있다.
또한, 지지 부재 (49) 는, 기판 처리 장치 (100) 의 베이스 (100A) 에 고정되어 있다. 본 실시형태에 있어서는, 지지 부재 (49) 가 각 제 1 샤프트 (53) 를 2 점에서 지지하고 있는데, 3 점 이상에서 지지하는 구성을 채용해도 상관없다. 제 1 샤프트 (53) 를 지지하는 수를 증가시킴으로써 제 1 샤프트 (53) 상에 대형 기판 (G) 을 재치 (載置) 했을 경우에 제 1 샤프트 (53) (반송 롤러 (50)) 에 휨이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
도 2 에 나타내는 바와 같이, 지지 부재 (49) 에는 복수의 제 1 샤프트 (53) 가 지지되어 있다. 지지 부재 (49) 에 지지된 이웃하는 제 1 샤프트 (53) 에 있어서의 반송용 롤러 (54a) 는, 기판 (G) 의 반송 방향 (X 방향) 에 있어서 서로의 위치가 상이하다. 즉, 반송용 롤러 (54a) 는, 기판 (G) 의 반송 방향에 있어서 지그재그상으로 배치되어 있다. 이로써, 기판 (G) 의 이면에 대해, 복수의 반송용 롤러 (54a) 를 균일하게 맞닿게 하는 것이 가능하게 되어 있다.
도 3 에 나타내는 바와 같이 수평 조정 기구 (55) 는, 지지 부재 (49) 의 수평도를 조정함으로써 그 지지 부재 (49) 에 지지된 반송 롤러 (50) (반송용 롤러 (54a)) 의 레벨링을 실시하기 위한 것이다. 수평 조정 기구 (55) 는, 지지 부재 (49) 를 구성하는 1 쌍의 부재 각각에 대해 Z 방향의 위치를 독립적으로 조정 가능하게 되어 있다.
구동 기구 (61) 는, 제 2 샤프트 (62) 와, 제 2 샤프트 (62) 를 회전 구동시키는 구동부 (64) 를 갖는다. 또한, 제 2 샤프트 (62) 는, 제 1 샤프트 (53) 와 동일한 수만큼 형성되어 있다. 제 2 샤프트 (62) 는, 현상 챔버 (10) 및 세정 챔버 (20) 에 접속되는 기판 처리 장치 (100) 의 베이스 (100A) 에 대해 자유롭게 회전할 수 있도록 지지되어 있다.
제 2 샤프트 (62) 는, 연결부 (71) 를 개재하여 접속된 제 1 샤프트 (53) 에 구동부 (64) 의 구동력을 전달한다. 제 2 샤프트 (62) 에 있어서의 구동 기구 (61) 측의 단부에는 연결부 (71) 에 걸어 맞춤 가능한 이너 기어부 (62a) 가 형성되어 있다. 제 2 샤프트 (62) 에 있어서의 연결부 (71) 와 반대측의 단부에는 기어 (62b) 가 형성되어 있다.
도 4 에 나타내는 바와 같이 구동부 (64) 는, 기판 (G) 의 반송 방향인 X 방향과 평행하게 배치된 구동용 샤프트 (65) 와, 구동용 샤프트 (65) 에 복수 부착되는 구동용 기어 (66) 와, 구동용 샤프트 (65) 를 회전 구동시키는 구동 모터 (67) 를 갖는다. 구동용 샤프트 (65) 는, ＋X 방향측에 있어서의 단부에 형성된 기어 (68) 가 구동 모터 (67) 에 연결되는 기어 (67a) 와 서로 맞물림으로써 구동 모터 (67) 의 구동력이 전달되도록 되어 있다.
구동용 기어 (66) 의 각각은, 제 2 샤프트 (62) 의 일단부에 형성된 기어 (62b) 와 서로 맞물림으로써 구동용 샤프트 (65) 의 회전력을 제 2 샤프트 (62) 로 전달 가능하게 되어 있다. 또한, 상세에 대해서는 후술하는데, 제 2 샤프트 (62) 의 기어 (62b) 와 구동용 기어 (66) 는 양호한 정밀도로 위치 맞춤이 이루어져 있고, 양호하게 서로 맞물린 상태로 되어 있고, 시간 경과적인 기어의 마모가 억제된 것으로 되어 있다.
연결부 (71) 는, 상기 제 1 샤프트 (53) 의 이너 기어부 (53a) 및 상기 제 2 샤프트 (62) 의 이너 기어부 (62a) 에 서로 맞물림 (걸어 맞춤) 으로써 제 2 샤프트 (62) 에 대해 제 1 샤프트 (53) 를 착탈 가능하게 연결하는 복수의 연결 부재 (72) 를 갖는 것이다.
도 5 는 연결 부재 (72) 의 구성을 나타내는 단면도이다.
도 5 에 나타내는 바와 같이, 연결 부재 (72) 는 원통형의 부재로 구성되고, 내면에 제 1 샤프트 (53) 에 형성된 이너 기어부 (53a) 및 제 2 샤프트 (62) 에 형성된 이너 기어부 (62a) 가 걸어 맞춰지는 아우터 기어부 (72a) 가 형성되어 있다.
이것에 의해, 제 2 샤프트 (62) 측의 이너 기어부 (62a) 및 제 1 샤프트 (53) 측의 이너 기어부 (53a) 와 연결 부재 (72) 의 아우터 기어부 (72a) 가 걸어 맞춰짐으로써 구동부 (64) 의 구동력을 제 1 샤프트 (53) 에 양호하게 전달할 수 있다.
각 연결 부재 (72) 는, 제 1 샤프트 (53) 및 제 2 샤프트 (62) 에 있어서의 직경 방향에 대한 위치 어긋남을 허용 가능하게 되어 있다. 즉, 연결 부재 (72) 는, 샤프트 (53, 62) 끼리를 원터치로 끼워 넣음 가능한 소위 플로팅 커플링을 사용하여 구성되어 있다.
계속해서, 반송 롤러 (50) 의 착탈 동작에 대해 상세히 서술한다. 또한, 이하의 설명에서는 연결 부재 (72) 가 미리 제 2 샤프트 (62) 에 부착된 상태가 되어 있는 것으로 한다.
반송 롤러 (50) 의 장착 동작은, 도 6 에 나타내는 바와 같이 제 1 샤프트 (53) 의 이너 기어부 (53a) 를 제 2 샤프트 (62) 에 부착된 연결 부재 (72) 의 내부에 삽입함과 함께, 제 1 샤프트 (53) 에 형성된 베어링 부재 (52) 를 지지 부재 (49) 에 형성된 오목부 (49a) 에 삽입함으로써 완료한다. 이와 같이 반송 롤러 (50) 의 장착 동작은, 연결 부재 (72) 를 사용함으로써 간편하게 또한 확실하게 원터치로 실시할 수 있다. 이것에 의해, 제 1 샤프트 (53) 의 이너 기어부 (53a) 가 연결 부재 (72) 의 내면에 형성된 아우터 기어부 (72a) 에 걸어 맞춰진 상태가 된다.
한편, 반송 롤러 (50) 의 분리 동작은, 제 1 샤프트 (53) 의 일단측 (제 2 샤프트 (62) 와 반대측) 을 지지 부재 (49) 의 오목부 (49a) 내로부터 들어올림과 함께, 제 1 샤프트 (53) 의 타단측 (제 2 샤프트 (62) 측) 을 연결 부재 (72) 내로부터 빼냄으로써 완료한다. 이와 같이 반송 롤러 (50) 의 분리 동작은, 연결 부재 (72) 를 사용함으로써 간편하고 또한 확실하게 원터치로 실시할 수 있다.
그런데, 복수의 반송 롤러를 사용하여 기판을 반송하는 종래의 기판 반송 장치에 있어서는, 반송 굴곡이 생기지 않도록 반송 롤러를 양호한 정밀도로 설치할 필요가 있었다. 이것은, 반송 롤러의 평면도가 낮으면 기판에 휨이 발생할 가능성이 있기 때문이다. 또, 반송 롤러는 장척상인 것이기 때문에, 복수의 반송 롤러와 그 반송 롤러에 대해 구동력을 전달하는 구동부의 접속 부분의 위치 맞춤을 양호한 정밀도로 실시하는 것은 어렵고, 만일 위치 정밀도가 약간이라도 어긋나면, 반송 롤러의 기어와 구동부의 기어의 맞물림 부분에 부하가 가해짐으로써 시간 경과적으로 기어가 마모되고, 구동부의 구동력이 반송 롤러에 전달될 수 없게 되어, 반송 불량 등의 문제를 일으킬 우려가 있었다.
본 실시형태에서는, 이와 같은 문제를 해결하기 위하여, 상기 서술한 구성을 채용하고 있다. 구체적으로 기판 처리 장치 (100) 는, 복수의 반송 롤러 (50) 를 지지하는 지지 부재 (49) 의 수평도를 수평 조정 기구 (55) 에 의해 조정하는 것을 가능하게 하고 있다. 이로써, 지지 부재 (49) 에 지지된 복수의 반송 롤러 (50) 의 수평도를 간편하게 조정할 수 있다.
또, 기판 처리 장치 (100) 는, 구동부 (64) 의 구동부를 전달하는 제 2 샤프트 (62) 에 대해, 직경 방향에 대한 위치 어긋남을 허용하는 플로팅 커플링으로 이루어지는 연결 부재 (72) 를 개재하여 반송 롤러 (50) (제 1 샤프트 (53)) 가 간접적으로 연결되어 있다.
제 2 샤프트 (62) 는 제 1 샤프트 (53) 에 대해 짧기 때문에, 구동부 (64) 의 구동용 샤프트 (65) 에 장착된 구동용 기어 (66) 에 대해 기어 (62b) 를 양호한 정밀도로 배치된 것이 된다. 따라서, 제 2 샤프트 (62) 의 기어 (62b) 와 구동용 기어 (66) 는 양호하게 맞물린 상태가 되어 있고, 시간 경과적인 기어의 마모를 억제할 수 있다.
또, 반송 롤러 (50) (제 1 샤프트 (53)) 는, 상기 연결 부재 (72) 를 개재하여 제 2 샤프트 (62) 에 대해 직경 방향의 위치 어긋남이 허용된 상태에서 구동부 (64) 의 구동용 기어 (66) 에 접속할 수 있으므로, 반송 롤러 (50) 와 제 2 샤프트 (62) 사이에 직경 방향의 위치 어긋남이 생겼을 경우에도, 이 위치 어긋남에 의해 제 2 샤프트 (62) 의 기어 (62b) 와 구동용 기어 (66) 의 맞물림 상태에 부하가 가해진다는 문제가 생기는 경우가 없다. 따라서, 제 1 샤프트 (53) 와 제 2 샤프트 (62) 의 직경 방향의 위치 어긋남에서 기인된 시간 경과적인 기어 (62b, 66) 의 마모를 방지할 수 있다. 따라서, 기어 (62b, 66) 의 마모에 의한 반송 롤러 (50) 의 구동 불량이 방지된 신뢰성이 높은 기판 반송 장치 (3) 를 제공할 수 있다.
또, 장척상의 반송 롤러 (50) 를 반송부 (51) 에 장착할 때, 구동부 (64) 와의 맞물림 부분의 위치 맞춤을 고려할 필요가 없기 때문에, 장척상의 반송 롤러 (50) 를 장착할 때의 조정 시간을 대폭 단축할 수 있다.
이상과 같이 본 실시형태에 관련된 기판 처리 장치 (100) 에 의하면, 현상 유닛 (1) 및 세정 유닛 (2) 의 각 챔버 (10, 20) 내에서 기판 (G) 을 양호하게 반송함으로써 기판 (G) 에 대해 현상 처리 및 세정 처리를 양호하게 실시할 수 있다. 또, 상기 서술한 바와 같이 반송 롤러 (50) 의 착탈 혹은 부착 작업을 간편하고 또한 단시간에 실시할 수 있으므로, 메인터넌스성이 우수한 것이 된다.
또, 기판 처리 장치 (100) 가 갖는 기판 반송 장치 (3) 는, 기판 (G) 에 접촉하는 반송용 롤러 (54a) 가 기판 (G) 의 반송 방향에 있어서 지그재그상이 되도록 각 반송 롤러 (50) 에 형성되어 있기 때문에, 기판 (G) 의 이면에 대해, 복수의 반송용 롤러 (54a) 를 균일하게 맞닿게 할 수 있다.
따라서, 기판 (G) 의 표면에 대해 현상 처리를 실시했을 때 또는 세정 처리를 실시했을 때, 반송용 롤러 (54a) 의 접촉 불균일이 처리면에 악영향을 미치는 것을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명은, 상기 서술한 실시형태에 한정되지는 않고, 발명의 취지를 일탈하지 않는 범위 내에서 적절히 변경이 가능하다. 예를 들어, 상기 실시형태에서는, 기판 처리 장치 (100) 로서, 현상 유닛 (1) 및 세정 유닛 (2) 사이에 있어서 기판 반송 장치 (3) 에 의해 기판 (G) 을 반송하는 경우를 예로 들어 설명했는데, 본 발명은 이것에 한정되지는 않는다. 즉, 기판 (G) 에 대해 레지스트 재료를 도포하는 도포 처리를 실시하는 기판 처리 장치 등, 반송 중의 기판 (G) 에 대해 소정의 처리를 실시하는 여러 가지의 기판 처리 장치에 본 발명은 적용 가능하다.
3 … 기판 반송 장치
49 … 지지 부재
49a … 오목부
52 … 베어링 부재 (베어링),
53 … 제 1 샤프트
53a … 이너 기어부
54 … 롤러부
54a … 반송용 롤러
55 … 수평 조정 기구
62 … 제 2 샤프트
62a … 이너 기어부
64 … 구동부
72 … 연결 부재
72a … 아우터 기어부
100 … 기판 처리 장치

Claims (10)

  1. 구동부와,
    기판에 맞닿음으로써 반송력을 부여하는 반송용 롤러를 갖는 제 1 샤프트와,
    상기 구동부에 의한 구동력을 상기 제 1 샤프트에 전달하는 제 2 샤프트와,
    상기 제 1 샤프트를 착탈 가능하게 지지하는 지지 부재와,
    상기 제 2 샤프트에 대해 상기 제 1 샤프트를 착탈 가능하게 연결하는 연결 부재를 구비하고,
    상기 연결 부재는, 상기 제 1 샤프트 및 상기 제 2 샤프트에 있어서의 직경 방향에 대한 위치 어긋남을 허용 가능하며,
    상기 연결 부재는, 상기 제 1 샤프트 및 상기 제 2 샤프트의 일단측에 각각 형성된 이너 기어부에 걸어 맞춰지는 아우터 기어부를 갖는 플로팅 커플링으로 구성되고,
    상기 제 1 샤프트는, 베어링을 개재하여 상기 지지 부재에 지지되고,
    상기 지지 부재에는, 상기 베어링을 지지하는 오목부가 형성되고,
    상기 오목부는, 상기 지지 부재의 상면으로부터 연직 방향 하방으로 움푹 패이는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    복수의 상기 제 1 샤프트가 상기 지지 부재에 지지되고,
    상기 제 1 샤프트의 각각은 상기 반송용 롤러를 복수 갖고 있고,
    상기 지지 부재에 지지된 이웃하는 상기 제 1 샤프트에 있어서의 상기 반송용 롤러는, 상기 기판의 반송 방향에 있어서 서로의 위치가 상이한 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 반송용 롤러는, 상기 기판의 반송 방향에 있어서 지그재그상으로 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 지지 부재에는, 상기 제 1 샤프트의 수평도를 조정하는 수평도 조정 기구가 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 지지 부재는, 상기 제 1 샤프트를 그 제 1 샤프트의 길이 방향에 있어서의 복수 지점에서 지지하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
  9. 제 1 항에 기재된 기판 반송 장치와,
    상기 기판 반송 장치에 의해 반송되는 기판에 대해 소정의 처리를 실시하는 처리부를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  10. 삭제
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