JP2008246362A

JP2008246362A - 搬送塗布装置

Info

Publication number: JP2008246362A
Application number: JP2007090030A
Authority: JP
Inventors: Futoshi Shimai; 太島井; Shigeru Kawada; 茂河田
Original assignee: Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd
Current assignee: Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd
Priority date: 2007-03-30
Filing date: 2007-03-30
Publication date: 2008-10-16

Abstract

【課題】搬送コロとの接触により温度分布の影響が少ない搬送塗布装置を提供する。
【解決手段】塗布位置よりも下流側の搬送ローラ１２…はシャフト１３とコロ１４を備え、シャフト１３のフレーム２から突出した一端にはギヤ１４が取り付けられ、このギヤ１４がドライブシャフト８に取り付けられたギヤに噛合している。しかしながら、搬送ローラ１２にあっては搬送ローラ４と異なり、コロ１４はシャフト１３の両端部のみに嵌着し、中間部には設けられていない。その結果、塗布後の基板Ｗは縁部下面のみがコロ１４に接することになり、コロに接触することで生じる温度分布の不均一が防止される。
【選択図】図１

Description

本発明は、ガラス基板などの基板を搬送しつつその表面にレジストやカラーフィルター用塗布液或いは現像液などを塗布する搬送塗布装置に関する。

ガラス基板を搬送しつつその表面に洗浄液を供給する装置として特許文献１が知られている。この特許文献１には複数の搬送ローラをモータによって回転せしめることでガラス基板を搬送ローラの軸と直交方向に搬送するようにしている。そして、搬送ローラのシャフトにはガラス基板の下面と当接することで摩擦力によってガラス基板を搬送するコロが所定間隔で取り付けられている。

また特許文献２には、ロッドの表面に細いステンレスのワイヤを密着するように巻き付けたマイクロロッドバーを、塗布液槽の中に設けたバックアップ材に載った状態でモータ駆動されるようにし、このマイクロロッドバーをガラス基板の進行方向と同方向に回転せしめることで、ガラス基板との接触部の直前に液溜りを形成しつつガラス基板に液を塗布するようにした塗布装置が提案されている。

特開２００５−０１３９６０号公報特開平９−３８５５４号公報

洗浄液を基板表面に供給する場合には、多少ラフでも問題はないが、特許文献１の洗浄液を塗布液に変えた場合には、問題が生じる。即ち、特許文献１において搬送される基板はその下面がコロに接触している。このコロに接触する箇所は温度が他の箇所に比べて変化しやすい。その結果、塗布液を塗布した後の乾燥速度が部分的に異なって、均一な膜厚を得ることができない。

また、特許文献２にあっては基板の下面に塗布液を塗布するようにしているため、そのまま搬送することはできず、搬送する前に基板を反転させなければならず、機構が複雑になる。

上記の課題を解決するため本発明は、基板を搬送しつつ基板表面に塗布液を供給する搬送塗布装置において、この搬送塗布装置はスリットノズルと複数の搬送ローラから構成され、前記スリットノズルの直下に配置される搬送ローラは前記基板の下面に全面的に接触する円柱状をなし、塗布部よりも下流側に配置される搬送ローラはモータにて回転せしめられるシャフトと基板の下面と当接して基板に搬送力を伝達する一対のコロとからなり、この一対のコロは基板の下面の縁部に当接するように前記シャフトの軸方向端部に嵌合された構成とした。

塗布部よりも上流側に配置される搬送ローラについては、できるだけコロとの接触面積を少なくしつつガラス基板の撓みを防止する構成として、シャフトの軸方向に所定の間隔だけ複数のコロを離間して嵌合させた構成が好ましい。

本発明に係る搬送塗布装置によれば、スリットノズルから基板に塗布する際には、基板の下面は円柱状ローラに全面的に接触しているため、基板の撓みはなく、均一な厚さで塗布され、その後下流側に搬送される工程では、ガラス基板の縁部のみにコロを接触させ、ガラス基板に不均一な温度分布が生じないようにしたので、均一な塗膜が形成される。

また、上流側に配置する搬送ローラとして、複数のコロをシャフトの軸方向に所定の間隔だけ離間して嵌合するようにすれば、ガラス基板の撓みを防止しつつ温度の不均一な分布も防止できる。

以下に本発明の最適な実施例を添付図面に基づいて説明する。図１は本発明に係る搬送塗布装置の平面図、図２は同搬送塗布装置の側面図、図３（ａ）は図１のＡ−Ａ線断面図、（ｂ）は図１のＢ−Ｂ線断面図である。

搬送塗布装置はスリットノズルと複数の搬送ローラから構成されている。スリットノズル１は下端部に塗布液をカーテン状に吐出するスリット状吐出口１ａを備えている。

搬送ローラは本実施例では３種類の搬送ローラを適用し、いずれも搬送方向に沿って配置されたフレーム２，２間に回転自在に支持されている。そして塗布位置、即ち前記スリットノズル１の直下には、他の搬送ローラよりも大径の円柱状（円筒状も含まれる）搬送ローラ３が配置されている。

塗布位置よりも上流側の搬送ローラ４…はシャフト５とコロ６を備えている。シャフト５のフレーム２から突出した一端にはギヤ７が取り付けられ、このギヤ７がフレーム２の外側に配置されたドライブシャフト８に取り付けられたギヤ９に噛合している。またドライブシャフト８はベースに設けたモータ１０によって回転せしめられる。

また、前記シャフト５の外側にはコロ６がスペーサ１１を介して所定の間隔で嵌着されている。コロ６はシャフト５と一体的に回転するため、前記モータ１０を駆動するとコロ６が回転し、このコロ６は図３（ａ）に示すように、基板Ｗの下面に当接するため摩擦力によって基板Ｗは図１において左方に搬送される。

塗布位置よりも下流側の搬送ローラ１２…もシャフト１３とコロ１４を備えている。そして、シャフト１３のフレーム２から突出した一端にはギヤ１５が取り付けられ、このギヤ１５が前記ドライブシャフト８に取り付けられたギヤ９に噛合している。

しかしながら、搬送ローラ１２にあっては搬送ローラ４と異なり、コロ１４はシャフト１３の両端部のみに嵌着し、中間部には設けられていない。その結果、塗布後の基板Ｗは図３（ｂ）に示すように、縁部下面のみがコロ１４に接することになり、コロに接触することで生じる温度分布の不均一ができるだけ生じないようにしている。

搬送ローラ１２によって搬送するエリアは加熱エリアであり、この加熱エリアで塗布液は乾燥して塗膜が形成される。そして、更に下流側に搬送されるのであるが、搬送ローラ１２…よりも下流のエリアでは、既に塗布液が硬化（乾燥）しているので、上流側の搬送ローラ４と同じ構造の搬送ローラを用いる。

尚、上流側の搬送ローラ４については特に実施例で示した構造のものに限定はされない。

本発明に係る搬送塗布装置の平面図同搬送塗布装置の側面図（ａ）は図１のＡ−Ａ線断面図、（ｂ）は図１のＢ−Ｂ線断面図

符号の説明

１…スリットノズル、１ａ…スリット状吐出口、２…フレーム、３…スリットノズル１の直下の搬送ローラ、４…塗布位置よりも上流側の搬送ローラ、５…シャフト、６…コロ、７…ギヤ、８…ドライブシャフト、９…ギヤ、１０…モータ、１１…スペーサ、１２…塗布位置よりも下流側の搬送ローラ、１３…シャフト、１４…コロ、１５…ギヤ、Ｗ…基板。

Claims

基板を搬送しつつ基板表面に塗布液を供給する搬送塗布装置において、この搬送塗布装置はスリットノズルと複数の搬送ローラから構成され、前記スリットノズルの直下に配置される搬送ローラは前記基板の下面に全面的に接触する円柱状をなし、塗布部よりも下流側に配置される搬送ローラはモータにて回転せしめられるシャフトと基板の下面と当接して基板に搬送力を伝達する一対のコロとからなり、この一対のコロは基板の下面の縁部に当接するように前記シャフトの軸方向端部に嵌合されていることを特徴とする搬送塗布装置。
請求項１に記載の搬送塗布装置において、前記塗布部よりも上流側に配置される搬送ローラはモータにて回転せしめられるシャフトと基板の下面と当接して基板に搬送力を伝達する複数のコロとからなり、前記複数のコロは前記シャフトの軸方向に所定の間隔だけ離間して嵌合されていることを特徴とする搬送塗布装置。