JP2013110195A - 基板搬送装置及び基板処理装置 - Google Patents
基板搬送装置及び基板処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013110195A JP2013110195A JP2011252456A JP2011252456A JP2013110195A JP 2013110195 A JP2013110195 A JP 2013110195A JP 2011252456 A JP2011252456 A JP 2011252456A JP 2011252456 A JP2011252456 A JP 2011252456A JP 2013110195 A JP2013110195 A JP 2013110195A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shaft
- substrate
- support member
- transfer
- transport
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 121
- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims abstract description 40
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 33
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 9
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 68
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 18
- 238000011161 development Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 3
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G13/00—Roller-ways
- B65G13/02—Roller-ways having driven rollers
- B65G13/06—Roller driving means
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
- B65G49/061—Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
- B65G49/067—Sheet handling, means, e.g. manipulators, devices for turning or tilting sheet glass
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67718—Changing orientation of the substrate, e.g. from a horizontal position to a vertical position
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Rollers For Roller Conveyors For Transfer (AREA)
Abstract
【解決手段】駆動部と、基板に当接することで搬送力を付与する搬送用コロを有する第1シャフトと、駆動部による駆動力を第1シャフトに伝達する第2シャフトと、第1シャフトを着脱可能に支持する支持部材と、第2シャフトに対して第1シャフトを着脱可能に連結する連結部材と、を備えた基板搬送装置に関する。連結部材は、第1シャフト及び第2シャフトにおける径方向に対する位置ズレを許容可能に構成される。
【選択図】図4
Description
この構成によれば、シャフト側のインナーギア部と連結部材側のアウターギア部とが係合することで駆動部の駆動力を第1シャフトに良好に伝達できる。
この構成によれば、搬送用コロが基板の搬送方向において互いの位置が異なっているので、基板の裏面に対して搬送用コロを均一に接触させることができる。よって、基板の表面に所定の処理を行った際に搬送用コロの接触ムラが処理面に悪影響を及ぼすことを防止できる。
この構成によれば、搬送用コロが基板の搬送方向において千鳥状に配置されるので、上述のように基板の裏面に対して搬送用コロが均一に接触させることができ、搬送用コロの接触ムラが基板の処理面に悪影響を及ぼすことを防止できる。
この構成によれば、水平度調整機構によって支持部材に支持される第1シャフトの水平度を簡便に調整することができる。
この構成によれば、第1シャフトが支持部材にベアリングを介して良好に支持されるので、基板をスムーズに搬送することができる。
この構成によれば、凹部にベアリングをはめ込むことで第1シャフトを確実に支持することができる。
この構成によれば、支持部材が複数個所で第1シャフトを安定的に支持するので、基板を良好に搬送できる。
本実施例では、現像処理及び洗浄処理を行う処理装置に適用した例について説明する。基板処理装置100は、図1に示すように現像ユニット1と、洗浄ユニット2と、これら現像ユニット1及び洗浄ユニット2間において基板Gを搬送する基板搬送装置3と、を有している。基板処理装置100は、基板搬送装置3により搬送される基板Gが現像ユニット1及び洗浄ユニット2を通過する間に現像処理及び洗浄処理を行うようになっている。
第1シャフト53は連結部71を介して駆動機構61に接続され、駆動機構61によって回転駆動する。第1シャフト53における駆動機構61側の端部には連結部71に係合可能なインナーギア部53aが設けられている(図5参照)。
図5に示されるように、連結部材72は円筒状の部材から構成され、内面に第1シャフト53に設けられたインナーギア部53a及び第2シャフト62に設けられたインナーギア部62aが係合するアウターギア部72aが設けられている。
これにより、第2シャフト62側のインナーギア部62a及び第1シャフト53側のインナーギア部53aと連結部材72のアウターギア部72aが係合することで駆動部64の駆動力を第1シャフト53に良好に伝達することができる。
Claims (9)
- 駆動部と、
基板に当接することで搬送力を付与する搬送用コロを有する第1シャフトと、
前記駆動部による駆動力を前記第1シャフトに伝達する第2シャフトと、
前記第1シャフトを着脱可能に支持する支持部材と、
前記第2シャフトに対して前記第1シャフトを着脱可能に連結する連結部材と、を備え、
前記連結部材は、前記第1シャフト及び前記第2シャフトにおける径方向に対する位置ズレを許容可能に構成されることを特徴とする基板搬送装置。 - 前記連結部材は、前記第1シャフト及び前記第2シャフトの一端側にそれぞれ設けられたインナーギア部に係合するアウターギア部を有することを特徴とする請求項1に記載の基板搬送装置。
- 複数の前記第1シャフトが前記支持部材に支持され、
前記第1シャフトの各々は前記搬送用コロを複数有しており、
前記支持部材に支持された隣り合う前記第1シャフトにおける前記搬送用コロは、前記基板の搬送方向において互いの位置が異なっていることを特徴とする請求項1又は2に記載の基板搬送装置。 - 前記搬送用コロは、前記基板の搬送方向において千鳥状に配置されていることを特徴とする請求項3に記載の基板搬送装置。
- 前記支持部材には、前記第1シャフトの水平度を調整する水平度調整機構が設けられることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の基板搬送装置。
- 前記第1シャフトは、ベアリングを介して前記支持部材に支持されることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の基板搬送装置。
- 前記支持部材には、前記ベアリングを支持する凹部が設けられることを特徴とする請求項6に記載の基板搬送装置。
- 前記支持部材は、前記第1シャフトを該第1シャフトの長さ方向における複数個所で支持することを特徴とする請求項1〜7のいずれか一項に記載の基板搬送装置。
- 請求項1〜8のいずれか一項に記載の基板搬送装置と、
前記基板搬送装置により搬送される基板に対して所定の処理を行う処理部と、を備えることを特徴とする基板処理装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011252456A JP5923281B2 (ja) | 2011-11-18 | 2011-11-18 | 基板搬送装置及び基板処理装置 |
KR1020120129108A KR101967932B1 (ko) | 2011-11-18 | 2012-11-14 | 기판 반송 장치 및 기판 처리 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011252456A JP5923281B2 (ja) | 2011-11-18 | 2011-11-18 | 基板搬送装置及び基板処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013110195A true JP2013110195A (ja) | 2013-06-06 |
JP5923281B2 JP5923281B2 (ja) | 2016-05-24 |
Family
ID=48663987
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011252456A Active JP5923281B2 (ja) | 2011-11-18 | 2011-11-18 | 基板搬送装置及び基板処理装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5923281B2 (ja) |
KR (1) | KR101967932B1 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014072366A (ja) * | 2012-09-28 | 2014-04-21 | Tdk Corp | 成膜処理装置 |
CN104401644A (zh) * | 2014-10-24 | 2015-03-11 | 四川大学 | 多功能宽度可调输送装置 |
JP2015192021A (ja) * | 2014-03-28 | 2015-11-02 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 基板搬送装置 |
CN115009759A (zh) * | 2021-03-05 | 2022-09-06 | 显示器生产服务株式会社 | 基板传送装置 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105621006A (zh) * | 2014-11-07 | 2016-06-01 | 天津罗赛姆科技发展有限公司 | 一种钢板举升运输装置 |
CN105668234B (zh) * | 2016-03-15 | 2018-10-19 | 武汉华星光电技术有限公司 | 基板夹持对位装置和基板加工系统 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0525719U (ja) * | 1991-09-11 | 1993-04-02 | 株式会社芝浦製作所 | 基板搬送装置 |
JP2000031238A (ja) * | 1998-07-10 | 2000-01-28 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板搬送装置 |
JP2002329761A (ja) * | 2001-04-27 | 2002-11-15 | Tokyo Electron Ltd | 搬送装置、洗浄装置及び現像装置 |
JP2004338893A (ja) * | 2003-05-16 | 2004-12-02 | Ulvac Japan Ltd | 基板搬送装置 |
JP2008058360A (ja) * | 2006-08-29 | 2008-03-13 | Ricoh Co Ltd | 駆動連結機構、駆動装置、現像装置、プロセスカートリッジ及び画像形成装置 |
JP2010155683A (ja) * | 2008-12-26 | 2010-07-15 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板搬送機構および基板処理装置 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008056471A (ja) | 2006-09-04 | 2008-03-13 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 搬送ローラ及び基板搬送装置 |
JP2008246362A (ja) | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 搬送塗布装置 |
-
2011
- 2011-11-18 JP JP2011252456A patent/JP5923281B2/ja active Active
-
2012
- 2012-11-14 KR KR1020120129108A patent/KR101967932B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0525719U (ja) * | 1991-09-11 | 1993-04-02 | 株式会社芝浦製作所 | 基板搬送装置 |
JP2000031238A (ja) * | 1998-07-10 | 2000-01-28 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板搬送装置 |
JP2002329761A (ja) * | 2001-04-27 | 2002-11-15 | Tokyo Electron Ltd | 搬送装置、洗浄装置及び現像装置 |
JP2004338893A (ja) * | 2003-05-16 | 2004-12-02 | Ulvac Japan Ltd | 基板搬送装置 |
JP2008058360A (ja) * | 2006-08-29 | 2008-03-13 | Ricoh Co Ltd | 駆動連結機構、駆動装置、現像装置、プロセスカートリッジ及び画像形成装置 |
JP2010155683A (ja) * | 2008-12-26 | 2010-07-15 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板搬送機構および基板処理装置 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014072366A (ja) * | 2012-09-28 | 2014-04-21 | Tdk Corp | 成膜処理装置 |
JP2015192021A (ja) * | 2014-03-28 | 2015-11-02 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 基板搬送装置 |
CN104401644A (zh) * | 2014-10-24 | 2015-03-11 | 四川大学 | 多功能宽度可调输送装置 |
CN115009759A (zh) * | 2021-03-05 | 2022-09-06 | 显示器生产服务株式会社 | 基板传送装置 |
CN115009759B (zh) * | 2021-03-05 | 2023-12-01 | 显示器生产服务株式会社 | 基板传送装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20130055523A (ko) | 2013-05-28 |
KR101967932B1 (ko) | 2019-04-10 |
JP5923281B2 (ja) | 2016-05-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5923281B2 (ja) | 基板搬送装置及び基板処理装置 | |
JP5056339B2 (ja) | 基板搬送装置用基板把持機構 | |
JP2007091397A (ja) | 基板搬送装置 | |
JP2018161729A (ja) | 産業用ロボット | |
JP2008066661A (ja) | 基板搬送装置及び基板搬送方法 | |
KR101232695B1 (ko) | 기판 반송 장치 | |
JP3223771U (ja) | 基板搬送装置及び基板洗浄装置 | |
KR101071268B1 (ko) | 기판 이송 장치 | |
KR101116654B1 (ko) | 기판 이송 모듈 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 | |
JP3182013U (ja) | 基板保持部材 | |
KR20080082137A (ko) | 기판 반송장치 및 기판처리방법 | |
JP2010195571A (ja) | 搬送装置 | |
CN101562123B (zh) | 板状部件的输送装置及板状部件的输送方法 | |
KR101040696B1 (ko) | 기판 이송 장치 | |
KR100783069B1 (ko) | 기판 이송 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 | |
WO2019239510A1 (ja) | 対基板作業機 | |
JP2009229258A (ja) | 基板搬送装置及び基板検査装置 | |
KR20130046737A (ko) | 기판 이송 장치 | |
KR101040695B1 (ko) | 기판 이송 장치 | |
KR100819039B1 (ko) | 기판 이송 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 | |
KR100706182B1 (ko) | 기판 이송장치와 이 장치에 적합한 베어링장치 | |
KR100807250B1 (ko) | 기판이송장치 | |
KR101529931B1 (ko) | 광학부재 부착 장치 | |
KR101733840B1 (ko) | 패턴 전사 시스템 및 패턴 전사 방법 | |
KR101116658B1 (ko) | 커플링 및 이를 포함하는 처리액 공급 장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140901 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150514 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150519 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150707 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20150708 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160322 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160418 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5923281 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |