JP2004338893A - 基板搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数のローラーシャフ22a〜22fトを回転させて基板10を搬送する基板搬送装置において、各ローラーシャフト22a〜22fに幅の細いのリング状ローラー30a〜30d、31a〜31d、32a〜32d、33a〜33d、34a〜34d、35a〜35dを適当な間隔で複数個配設すると共に、基板10の両側部に接する複数のサイドローラー28a〜28fを基板10の搬送方向に適当な間隔で配設する。また、リング状ローラー30a〜30d、31a〜31d、32a〜32d、33a〜33d、34a〜34d、35a〜35dの位置は、少なくとも隣り合うローラーシャフト22a〜22f毎に異なるようにすることが望ましい。
【選択図】図2
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、液晶パネルを構成するガラス基板にCVD法やスパッタリング法などで被膜を形成する成膜装置において、基板を水平に搬送する基板搬送装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、この種の基板搬送装置に用いる搬送方法としては、複数のローラーを回転させてキャリアを搬送し、移動するキャリア上に基板を載置する、いわゆるキャリア方式が用いられている。このものは、移動するキャリアごと基板が搬送されるため、基板に対するダメージを回避できるという利点がある。
【0003】
ところが、キャリア方式の搬送方法では、キャリアを搬送開始地点に復帰させるための戻しラインの設置が必要となり、基板の大型化にともなって成膜装置全体が大きくなりすぎて、装置のコスト高の要因となってきている。
【0004】
また、キャリアは成膜工程での汚染も激しいため洗浄作業などの定期的な保守が必要となり、その洗浄作業自体も、ブラストによる純水洗浄などの特殊な方法で行われることが多い。さらに、洗浄を行う際にはキャリアの取り外しや再組み立てなどの作業工程も必要となる。したがって、保守作業を行うたびに相当時間を確保しなくてはならず、装置全体の稼働率の低下を招くことになる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記のようなキャリアを用いずに、本数を増加させて互いの間隔を接近させたローラーだけで搬送装置を構成し、これらのローラーをそれぞれ回転させて、その上面で基板を直接搬送させるローラー方式の搬送方法も知られている。
【0006】
このものはキャリアを用いないため、これにより派生する不具合、即ち、上記した戻しラインの装備が不要となり、また、保守作業も簡略化でき、低コスト化や稼働率の向上が期待できる。
【0007】
しかしながら、このようなローラー方式で基板を搬送させる場合、回転するローラーに対する基板の接触面積が大きくなるため、基板へのダメージが懸念され、また、ローラーが回転する際の振動で基板が横揺れするなどして、これによりスムーズな基板搬送を阻害するという問題が生じる。
【0008】
本発明は、基板の大型化に起因する上記問題点に鑑み、構造の簡素化や、要する保守作業の簡略化を維持しつつ、基板に対するダメージを抑制できて確実な基板搬送を行い得る基板搬送装置を提供することを課題としている。
【0009】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明は、基板の搬送方向に配列した複数のローラーシャフトを回転させて基板を搬送する基板搬送装置において、前記複数のローラーシャフトにそれぞれ幅の細いリング状ローラーを適当な間隔で複数個配設すると共に、基板の両側部に当接する複数のサイドローラーを基板の搬送方向に適当な間隔で配設したことを特徴とするものである。
【0010】
これにより、基板搬送装置全体では、ローラー方式の搬送方法を用いることができるので、上記した戻しラインが不要となって成膜装置全体が簡素化でき、これに要する保守作業が簡略なもので済む。また、搬送される基板面は幅の細いリング状ローラーの外周端縁でのみ接触し、基板側部はサイドローラーに当接するため、基板に対するダメージを抑制でき、横揺れなどの不具合も防止できて確実に基板を搬送することができる。
【0011】
また、前記ローラーシャフトに配設した複数のリング状ローラーの配設位置が、少なくとも隣り合うローラーシャフト毎に異なっているので、搬送される基板面の特定部分が、基板の搬送方向に配列した複数のローラーシャフトのリング状ローラー外周端縁と同じ場所で繰り返して接触することを防止でき、これによる基板のダメージをさらに抑制することができる。
【0012】
また、前記ローラーがOリング状の弾性材料からなり、一対のリング状押圧部材を互いに押圧して該押圧部材間の弾性材料の外周端縁を該押圧部材の外径方向外側に突出させたものである。このときの消耗品は、基板との接触端縁を形成するOリングであるが、これに対する保守作業は、ねじ止めなどで押圧された状態を取り外して解除し、新品と取り換えることで容易に対処できる。
【0013】
さらに、前記複数のローラーシャフトをその一方の軸端を同期回転することで駆動させるようにしたので、基板を一定の速度で搬送させることができる。このため、装置設計上の簡素化を実現できる。
【0014】
【発明の実施の形態】
図1は、インライン型スパッタ装置の一例を示す。このインライン型スパッタ装置1は、仕込ゾーン2、第1成膜ゾーン3、第1隔離室4、第2成膜ゾーン5、第2隔離室6、取出ゾーン7の各ユニットから構成される。各ユニットは仕切弁8により隔離でき、仕切弁8を開閉して基板を1枚ずつ順に搬送できるようになっている。
【0015】
このように構成されるインライン型スパッタ装置1を用い、ガラス基板を上記の各ユニットに順番に搬送してスパッタ成膜を行うが、本実施の形態においては、第1成膜ゾーン3において、例えば、ITO膜などのスパッタ成膜を行い、第2成膜ゾーン5において、例えば、Ag金属膜などのスパッタ成膜を行う。
【0016】
このとき、第1成膜ゾーン3及び第2成膜ゾーン5においては、スパッタカソード及びそれに付随するターゲットを天井部内側に下向きに取り付け、その下部に位置して載置されるガラス基板の上面に対してスパッタ成膜を行う。スパッタ成膜時には、300℃以上の高温環境となるため成膜室内はこれに耐え得るような耐熱部品を使用することが必要となる。
【0017】
図2は、上記で使用される搬送装置の一例を示す概略説明図であり、(a)は平面断面図、(b)は基板の搬送方向から見たA−A矢視図、(c)は側面から見たB−B矢視図である。
【0018】
インライン式スパッタ成膜装置1の一つの真空室9内には、図2に示すように、等間隔に設けた軸受け20a〜20f及び軸受け21a〜21fで両端を支持されたローラーシャフト22a〜22fがそれぞれ平行に配置されている。そして、軸受け20a〜20f側のローラーシャフト22a〜22fの端部は、真空室9の室外壁に設置された回転導入機構23a〜23fから室内に気密に挿入された回転軸に、継手25a〜25fを介してそれぞれ連結されている。また、各回転導入機構23a〜23eは、駆動モーター26によりベルト27を介して一体的に同期駆動されるように構成されている。また、軸受け20a〜20fと軸受け21a〜21fとの中間部においては、各ローラーシャフト22a〜22fの撓みを防止するため、中間軸受け24a〜24fを設けている。この中間軸受け24a〜24fは、下面からローラーシャフトを支持するものであり、ベアリング等の公知の手段により、ローラーシャフトを支持する際にその回転を妨げないように構成されており、また、ガラス基板10の搬送を妨げることがないように、ローラーシャフトの上面空間に突出部が形成されないように構成されている。さらに、軸受け20a〜20f及び軸受け21a〜21fの位置に、ガラス基板10の両側部に接してガラス基板10の横揺れを防止するサイドローラー28a〜28f及びサイドローラー29a〜29fが設けられている。
【0019】
このように構成した基板搬送方式は、通常のキャリア搬送方式と比較して、戻しラインのための装置が不要で、メンテナンスが比較的容易という利点がある。しかし、このまま、ローラーシャフト上で基板搬送を行うと、ローラーシャフトとの接触及び離間を基板全面にわたって何回も繰り返すことになり、基板に対するダメージの要因となる。特に、スパッタ成膜においては上記したように基板は高温に曝され、熱応力の集中により反りが生じやすい。このような応力集中部に上記のようなダメージが重なると基板はその部分で欠けや割れを生じることがあり、また、これらにより発生するダストは成膜工程上深刻な問題を引き起こす要因となる。
【0020】
そこで、本発明においては、各ローラーシャフトの複数箇所に幅の細いリング状ローラーを取り付ける。例えば、図2において、ローラーシャフト22a上に4つのリング状ローラー30a〜30dを適当な間隔をあけて嵌装して取り付けた。
【0021】
幅の細いリング状ローラーの詳細を図3に示す。即ち、図3(a)に示すように、ローラーシャフトに嵌装できるように内面を円筒状にくり抜いて一対の押圧部材40と41とを成形し、この押圧部材40と41との間に弾力性Oリング42を介在させて図2のローラーシャフト22に嵌装する。そして、このままの配置状態で、図3(b)に示すように固定ねじ43a、43bにより押圧部材40と41とを互いに押圧してねじ止め固定する。このとき、押圧部材41の当接部41aはOリング42のガイド部としても機能し、その結果、Oリング42は楕円変形してその外径方向に突出した形状となる。
【0022】
このような押圧部材40、41は、成膜室内の高温環境及びこのような環境を経た基板の高熱に耐えられるように、ポリイミドなどの耐熱性樹脂(例えば、デュポン社製商品名べスペルなど)により形成されるのが好ましく、また、Oリング42も弾力性及び耐熱性を有するフッ素ゴム系の素材(例えば、デュポン社製商品名バイトンやカルレッツ)であることが好ましい。また、Oリング42の材質に関しては、搬送する基板に着色しないように、白色のものを用いることがより好ましい。
【0023】
また、上記したように押圧部材40と41とは固定ねじ43a、43bにより固定されているので、メンテナンス時に消耗したOリング42を交換する場合も、その固定ねじ43a、43bを取り外すことにより簡単に作業を行うことができる。
【0024】
また図2のように、リング状ローラー30a〜30d、31a〜31d、32a〜32d、33a〜33d、34a〜34d、35a〜35dを、それぞれ図3(b)に示す形状に形成し、さらに、隣り合うローラーシャフト22a〜22f毎に、4つのリング状ローラーa〜dの配設位置が相違するように取り付ける。
【0025】
このようにして、リング状ローラー30a〜30d、31a〜31d、32a〜32d、33a〜33d、34a〜34d、35a〜35dにより支持してガラス基板10の搬送を行う。即ち、図2において搬送基板が到達する以前に、駆動モーター26により回転導入機構23a〜23fを駆動し、ローラーシャフト22a〜22fを所定の回転速度で回転導入機構23a〜23f側からみて半時計回りに回転させた状態で、図2の紙面下側からガラス基板10を送り込む。このとき、ガラス基板10は最初にローラーシャフト22aのリング状ローラー30a〜30dに接触し、これに支持されて、ローラーシャフト22aから22b方向へ送り出される。各ローラーシャフトにおいて、このようなリング状ローラーと基板との接触、支持、送り出しが繰り返されて、基板は、ローラーシャフト22a〜22f上を搬送される。そして、このような搬送を連続的に行うことができる。このとき、隣り合うローラーシャフト毎にリング状ローラーの配設位置が相違しているので、基板10の裏面において、基板10の進行方向の各リング状ローラーと接触する位置が異なり、基板裏面のダメージ発生を軽減し、大型のガラス基板でもスムーズに搬送することができる。
【0026】
なお、配設されるローラーシャフト、リング状ローラー、サイドローラー、中間軸受けなどの数量は、上記実施例に限定されるものではなく、基板サイズなどに応じて適宜変更してもよい。
【0027】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明の基板搬送装置では、ローラー搬送方式を採用しているため、キャリア搬送方式などと比較して、基板サイズが大きくなっても装置構造が簡略化でき、保守作業も簡便なもので済む。また、搬送する基板を、ローラーシャフトの外周方向に突出させて設けた少数の耐熱性Oリングの外周端縁で支持して搬送するため、基板との接触部分が少なくなりダメージを軽減することができる。
【0028】
さらに、このような耐熱性Oリングの配設位置を少なくとも隣り合うローラーシャフト毎に相違させることにより、Oリングとの接触が、基板の特定部分に固定されないため、さらに、基板に対するダメージを軽減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】インライン型スパッタ装置の概略を示す斜視図
【図2】図1の各ユニットにおける基板搬送装置の概略図
【図3】本発明のOリング外周端縁の形成工程図
【符号の説明】
20a〜20f 軸受け
21a〜21f 軸受け
22a〜22f ローラーシャフト
23a〜23f 回転導入機構
28a〜28f サイドローラー
29a〜29f サイドローラー
30a〜30d リング状ローラー
31a〜31d リング状ローラー
32a〜32d リング状ローラー
33a〜33d リング状ローラー
34a〜34d リング状ローラー
35a〜35d リング状ローラー
40 41 リング状押圧部材
42 耐熱性Oリング
Claims (5)
- 基板の搬送方向に配列した複数のローラーシャフトを回転させて基板を搬送する基板搬送装置において、前記複数のローラーシャフトにそれぞれ幅の細いリング状ローラーを適当な間隔で複数個配設すると共に、基板の両側部に当接する複数のサイドローラーを基板の搬送方向に適当な間隔で配設したことを特徴とする基板の搬送装置。
- 前記ローラーシャフトに配設した複数のリング状ローラーの配設位置が、少なくとも隣り合うローラーシャフト毎に異なっていることを特徴とする請求項1に記載の基板搬送装置。
- 前記ローラーがOリング状の弾性材料からなり、一対のリング状押圧部材を互いに押圧して該押圧部材間の弾性材料の外周端縁を該押圧部材の外径方向外側に突出させたものであることを特徴とする請求項1または2に記載の基板搬送装置。
- 前記基板が大面積のガラス基板であることを特徴とする請求項1乃至3に記載の基板搬送装置。
- 前記複数のローラーシャフトをその一方の軸端を同期回転することで駆動させるようにしたことを特徴とする請求項1乃至4に記載の基板搬送装置。
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