JP2006298574A - 基板搬送装置のシャフト支持装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 シャフト2を複数本並べた構成の基板搬送装置1において、各シャフト2のたわみを小さくするため、シャフト両端をそれぞれ、2個のベアリング12、12を一定距離を離して設置した軸受ユニット10、10によって支持する構成とし、シャフト両端の支持強度を高め、シャフト中央部に生じるたわみを抑制する。
【選択図】 図1
Description
2 シャフト
3 コロ
5 基板
6 支持フレーム
7 ベアリング
8 支持ユニット
9 支持コロ
10 軸受ユニット
11 ベアリングホルダ
12 ベアリング
13 止め輪
14 ボルト
15 セットカラー
Claims (1)
- 基板を乗せて搬送する複数のシャフトを備えた基板搬送装置において、前記シャフトの両端をそれぞれ、2個のベアリングを一定距離を離して設置した軸受ユニットによって支持したことを特徴とする基板搬送装置のシャフト支持装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005123020A JP2006298574A (ja) | 2005-04-20 | 2005-04-20 | 基板搬送装置のシャフト支持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005123020A JP2006298574A (ja) | 2005-04-20 | 2005-04-20 | 基板搬送装置のシャフト支持装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2006298574A true JP2006298574A (ja) | 2006-11-02 |
Family
ID=37467101
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005123020A Pending JP2006298574A (ja) | 2005-04-20 | 2005-04-20 | 基板搬送装置のシャフト支持装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006298574A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100857158B1 (ko) | 2006-12-01 | 2008-09-05 | 주식회사 에쎌텍 | 파티클의 생성을 방지하기 위한 마그네트 컨베이어용지지장치 |
CN105905519A (zh) * | 2016-05-27 | 2016-08-31 | 陈森法 | 一种货物输送用的辊道输送装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001315946A (ja) * | 2000-05-12 | 2001-11-13 | Ishida Co Ltd | 搬送装置のローラ支持構造 |
JP2002274642A (ja) * | 2001-03-16 | 2002-09-25 | Sumitomo Precision Prod Co Ltd | 基板処理装置 |
JP2003040446A (ja) * | 2001-07-31 | 2003-02-13 | Sumitomo Precision Prod Co Ltd | 基板処理装置 |
-
2005
- 2005-04-20 JP JP2005123020A patent/JP2006298574A/ja active Pending
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