JPH08244930A - 基板搬送装置 - Google Patents
基板搬送装置Info
- Publication number
- JPH08244930A JPH08244930A JP5263595A JP5263595A JPH08244930A JP H08244930 A JPH08244930 A JP H08244930A JP 5263595 A JP5263595 A JP 5263595A JP 5263595 A JP5263595 A JP 5263595A JP H08244930 A JPH08244930 A JP H08244930A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- transport roller
- roller shaft
- side plates
- base board
- Prior art date
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- Pending
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- Liquid Crystal (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
- Rollers For Roller Conveyors For Transfer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 大きなサイズの基板を搬送する場合にも、搬
送ローラ軸の自重による撓みによって搬送不良を生じる
ことのない基板搬送装置。 【構成】 一対の側板２ａ、２ｂが相互に一定距離だけ
離隔配置されて洗浄槽が構成されている。これらの側板
２ａ、２ｂには、互いに対向する位置にころがり軸受４
０、４０が取り付けられ、搬送ローラ５０の軸６０を回
転自在に水平方向に支持する。この際、軸６０の中央側
を中空パイプ部６４で構成しているので、搬送ローラ５
０の中央側の重量に起因して発生する撓みを減少させる
ことができる。このため、軸６０に基板Ｗを支持すべく
設けた段付ローラ７０、７０が傾斜することを防止で
き、搬送時における基板Ｗの支持不良を防止して搬送不
良の発生を防止することができる。
送ローラ軸の自重による撓みによって搬送不良を生じる
ことのない基板搬送装置。 【構成】 一対の側板２ａ、２ｂが相互に一定距離だけ
離隔配置されて洗浄槽が構成されている。これらの側板
２ａ、２ｂには、互いに対向する位置にころがり軸受４
０、４０が取り付けられ、搬送ローラ５０の軸６０を回
転自在に水平方向に支持する。この際、軸６０の中央側
を中空パイプ部６４で構成しているので、搬送ローラ５
０の中央側の重量に起因して発生する撓みを減少させる
ことができる。このため、軸６０に基板Ｗを支持すべく
設けた段付ローラ７０、７０が傾斜することを防止で
き、搬送時における基板Ｗの支持不良を防止して搬送不
良の発生を防止することができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、半導体ウエハ、液晶
用ガラス角型基板、プリント基板などの各種基板を、そ
の表面処理などのために、互いに平行に配置された多数
の搬送ローラによって水平方向に搬送する基板搬送装置
に関する。
用ガラス角型基板、プリント基板などの各種基板を、そ
の表面処理などのために、互いに平行に配置された多数
の搬送ローラによって水平方向に搬送する基板搬送装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、基板の表面に処理液を供給し
て基板処理を行う基板処理装置などにおいて、処理前、
処理中或いは処理後の基板をある場所から別の場所に搬
送するため、互いに平行に配置された多数の搬送ローラ
によって基板を水平方向に搬送する基板搬送装置が知ら
れている。
て基板処理を行う基板処理装置などにおいて、処理前、
処理中或いは処理後の基板をある場所から別の場所に搬
送するため、互いに平行に配置された多数の搬送ローラ
によって基板を水平方向に搬送する基板搬送装置が知ら
れている。
【０００３】図３は、従来の基板処理装置に組み込まれ
た基板搬送装置の構造を説明する正面図である。従来の
基板搬送装置では、同図に示すように、一対の側板２
ａ、２ｂが相互に一定距離だけ離隔配置されて処理槽が
構成されている。これらの側板２ａ、２ｂには、互いに
対向する位置にそれぞれ貫通孔が形成され、両貫通孔に
それぞれスベリ型軸受４ａ、４ｂが取り付けられ、基板
Ｗを載置する搬送ローラ５を構成する搬送ローラ軸６の
両端を回転可能に支持している。
た基板搬送装置の構造を説明する正面図である。従来の
基板搬送装置では、同図に示すように、一対の側板２
ａ、２ｂが相互に一定距離だけ離隔配置されて処理槽が
構成されている。これらの側板２ａ、２ｂには、互いに
対向する位置にそれぞれ貫通孔が形成され、両貫通孔に
それぞれスベリ型軸受４ａ、４ｂが取り付けられ、基板
Ｗを載置する搬送ローラ５を構成する搬送ローラ軸６の
両端を回転可能に支持している。
【０００４】なお、図示を省略するが、上記のような搬
送ローラ５は複数個互いに平行に水平方向に配置されて
いる。さらに、各搬送ローラ５に設けた搬送ローラ軸６
の一端に固定された駆動ギア８は、図示を省略する伝達
機構を介して、単一の駆動モータにそれぞれ連結されて
いる。このため、各搬送ローラ５を連動させて等速度で
回転させ、各搬送ローラ５の一対の段付ローラ７ａ、７
ｂ上に載せられた基板Ｗを所定方向に搬送することがで
きる。
送ローラ５は複数個互いに平行に水平方向に配置されて
いる。さらに、各搬送ローラ５に設けた搬送ローラ軸６
の一端に固定された駆動ギア８は、図示を省略する伝達
機構を介して、単一の駆動モータにそれぞれ連結されて
いる。このため、各搬送ローラ５を連動させて等速度で
回転させ、各搬送ローラ５の一対の段付ローラ７ａ、７
ｂ上に載せられた基板Ｗを所定方向に搬送することがで
きる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、近年、基板
サイズの大型化が進み、基板Ｗを支持する一対の段付ロ
ーラ７ａ、７ｂ間の間隔を広くしなければならなくな
り、それに応じて搬送ローラ軸６も長くせざるを得なく
なっている。
サイズの大型化が進み、基板Ｗを支持する一対の段付ロ
ーラ７ａ、７ｂ間の間隔を広くしなければならなくな
り、それに応じて搬送ローラ軸６も長くせざるを得なく
なっている。
【０００６】しかし、搬送ローラ軸６は、中実で円柱状
のステンレス材から形成されているので、その長さが長
くなるにつれてその重さも大きくなり、自重によって撓
んでしまう。このような撓んだ搬送ローラ軸６によって
基板Ｗを搬送しようとした場合、搬送ローラ軸６に固定
された一対の段付ローラ７ａ、７ｂが傾斜して、これら
段付ローラ７ａ、７ｂ外周の基板支持面の平行度が悪く
なる。このため、基板Ｗが段付ローラ７ａ、７ｂの段の
上に乗り上げて搬送不良を生じてしまうなどの問題が生
じる。
のステンレス材から形成されているので、その長さが長
くなるにつれてその重さも大きくなり、自重によって撓
んでしまう。このような撓んだ搬送ローラ軸６によって
基板Ｗを搬送しようとした場合、搬送ローラ軸６に固定
された一対の段付ローラ７ａ、７ｂが傾斜して、これら
段付ローラ７ａ、７ｂ外周の基板支持面の平行度が悪く
なる。このため、基板Ｗが段付ローラ７ａ、７ｂの段の
上に乗り上げて搬送不良を生じてしまうなどの問題が生
じる。
【０００７】そこで、この発明は、大きなサイズの基板
を搬送する場合にも、搬送ローラ軸の自重による撓みに
よって搬送不良を生じることのない基板搬送装置を提供
することを目的とする。
を搬送する場合にも、搬送ローラ軸の自重による撓みに
よって搬送不良を生じることのない基板搬送装置を提供
することを目的とする。
【０００８】また、この発明は、大きなサイズの基板を
搬送する場合にも搬送ローラ軸の撓みによって搬送不良
を生じることがなく、かつ基板の搬送中にその基板に処
理液を供給してその表面処理を行うことが可能な基板搬
送装置を提供することを目的とする。
搬送する場合にも搬送ローラ軸の撓みによって搬送不良
を生じることがなく、かつ基板の搬送中にその基板に処
理液を供給してその表面処理を行うことが可能な基板搬
送装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、請求項１の基板搬送装置は、基板を水平に支持して
搬送する基板搬送装置において、互いに一定間隔だけ離
隔して対向配置された一対の側板と、両端部が一対の側
板によってそれぞれ回転自在にかつ水平に支持され、中
央側に中空部を有する搬送ローラ軸と、搬送ローラ軸に
固定されて搬送ローラ軸とともに回転することにより、
外周部に載置された基板を搬送する搬送ローラとを備え
ることを特徴とする。
め、請求項１の基板搬送装置は、基板を水平に支持して
搬送する基板搬送装置において、互いに一定間隔だけ離
隔して対向配置された一対の側板と、両端部が一対の側
板によってそれぞれ回転自在にかつ水平に支持され、中
央側に中空部を有する搬送ローラ軸と、搬送ローラ軸に
固定されて搬送ローラ軸とともに回転することにより、
外周部に載置された基板を搬送する搬送ローラとを備え
ることを特徴とする。
【００１０】また、請求項２の基板搬送装置は、搬送ロ
ーラ軸が、側板によって支持される両端部で中実となっ
ていることを特徴とする。
ーラ軸が、側板によって支持される両端部で中実となっ
ていることを特徴とする。
【００１１】また、請求項３の基板搬送装置は、さら
に、搬送ローラの外周部に載置されて搬送される基板の
表面に向けて所定の処理液を供給する処理液供給ノズル
を有することを特徴とする。
に、搬送ローラの外周部に載置されて搬送される基板の
表面に向けて所定の処理液を供給する処理液供給ノズル
を有することを特徴とする。
【００１２】
【作用】請求項１の基板搬送装置では、両端部が一対の
側板によってそれぞれ回転自在にかつ水平に支持され、
中央側に中空部を有する搬送ローラ軸を備えるので、搬
送ローラ軸の主に中央側の重量に起因して発生する撓み
を減少させて搬送ローラのうちの基板を支持する部分の
傾斜を低減することができ、搬送時における基板の支持
不良を防止して搬送不良の発生を予防することができ
る。
側板によってそれぞれ回転自在にかつ水平に支持され、
中央側に中空部を有する搬送ローラ軸を備えるので、搬
送ローラ軸の主に中央側の重量に起因して発生する撓み
を減少させて搬送ローラのうちの基板を支持する部分の
傾斜を低減することができ、搬送時における基板の支持
不良を防止して搬送不良の発生を予防することができ
る。
【００１３】また、請求項２の基板搬送装置では、搬送
ローラ軸が側板によって支持される両端部で中実となっ
ているので、搬送ローラ軸の強度を高めて基板の支持を
確実なものとすることができる。
ローラ軸が側板によって支持される両端部で中実となっ
ているので、搬送ローラ軸の強度を高めて基板の支持を
確実なものとすることができる。
【００１４】また、請求項３の基板搬送装置では、さら
に搬送ローラの外周部に載置されて搬送される基板の表
面に向けて所定の処理液を供給する処理液供給ノズルを
有するので、基板を搬送しつつ基板処理が可能となる。
に搬送ローラの外周部に載置されて搬送される基板の表
面に向けて所定の処理液を供給する処理液供給ノズルを
有するので、基板を搬送しつつ基板処理が可能となる。
【００１５】
【実施例】図１は、この発明に係る基板搬送装置を基板
洗浄装置に適用した実施例を示す概略斜視図である。こ
の装置は、洗浄すべき基板Ｗを収容する洗浄槽２を備え
る。この洗浄槽２は、互いに所定間隔をもって離間し互
いに対向して鉛直方向に延びる一対の側板２ａ、２ｂを
備える。なお、この洗浄槽２内では、洗浄液Ｌが基板Ｗ
上面に供給されて基板Ｗ上面の洗浄処理が行われる。
洗浄装置に適用した実施例を示す概略斜視図である。こ
の装置は、洗浄すべき基板Ｗを収容する洗浄槽２を備え
る。この洗浄槽２は、互いに所定間隔をもって離間し互
いに対向して鉛直方向に延びる一対の側板２ａ、２ｂを
備える。なお、この洗浄槽２内では、洗浄液Ｌが基板Ｗ
上面に供給されて基板Ｗ上面の洗浄処理が行われる。
【００１６】洗浄槽２の上方位置には、基板２の上面に
洗浄液Ｌを供給するため複数のパイプ９が水平配置され
ており、パイプ９に接続されたポンプ（図示省略）を作
動させて洗浄液Ｌをパイプ９に圧送すると、各パイプ９
の下面側に一定間隔で穿設された孔から洗浄液Ｌが基板
Ｗの上面に向けて吐出されるようになっている。
洗浄液Ｌを供給するため複数のパイプ９が水平配置され
ており、パイプ９に接続されたポンプ（図示省略）を作
動させて洗浄液Ｌをパイプ９に圧送すると、各パイプ９
の下面側に一定間隔で穿設された孔から洗浄液Ｌが基板
Ｗの上面に向けて吐出されるようになっている。
【００１７】また、これらのパイプ９の下方位置には、
複数の搬送ローラ５０が一対の側板２ａ、２ｂ間に水平
方向に平行かつ等間隔で連設されている。各搬送ローラ
５０は、これらの搬送ローラ軸６０の一端側に設けたタ
イミングプーリ１０、これらタイミングプーリ１０に掛
け渡されたタイミングベルト１２及びタイミングベルト
１２の緩みを防ぐテンションプーリ１４によって互いに
連結されている。したがって、モータ１６の回転がタイ
ミングベルト１８を介して１つのタイミングプーリ１０
に伝達されると、各搬送ローラ５０は同期して等速で回
転する。この結果、各搬送ローラ５０に固定された段付
ローラ７０上に水平に支持された基板Ｗは、矢印Ａの方
向に定速で搬送されることとなる。よって、基板Ｗを水
平方向に一定速度で搬送しつつ基板Ｗ上に洗浄液Ｌを供
給することができ、基板Ｗの連続的な洗浄処理を行うこ
とが可能となる。
複数の搬送ローラ５０が一対の側板２ａ、２ｂ間に水平
方向に平行かつ等間隔で連設されている。各搬送ローラ
５０は、これらの搬送ローラ軸６０の一端側に設けたタ
イミングプーリ１０、これらタイミングプーリ１０に掛
け渡されたタイミングベルト１２及びタイミングベルト
１２の緩みを防ぐテンションプーリ１４によって互いに
連結されている。したがって、モータ１６の回転がタイ
ミングベルト１８を介して１つのタイミングプーリ１０
に伝達されると、各搬送ローラ５０は同期して等速で回
転する。この結果、各搬送ローラ５０に固定された段付
ローラ７０上に水平に支持された基板Ｗは、矢印Ａの方
向に定速で搬送されることとなる。よって、基板Ｗを水
平方向に一定速度で搬送しつつ基板Ｗ上に洗浄液Ｌを供
給することができ、基板Ｗの連続的な洗浄処理を行うこ
とが可能となる。
【００１８】図２は、図１の装置の要部の正面構造を示
す部分断面図である。搬送ローラ５０の搬送ローラ軸６
０の両端は、一対の側板２ａ、２ｂ間に回転可能に支持
されている。この搬送ローラ軸６０のうち両側板２ａ、
２ｂに近い位置には、それぞれ一対の段付ローラ７０が
取り付けられており、これら一対の段付ローラ７０を一
組として基板Ｗの両側部を支持する。なお、段付ローラ
７０は、小輪７０ａとガイド輪７０ｂとで構成されてお
り、小輪７０ａの外周面で基板Ｗの両側部を支持する一
方、ガイド輪７０ｂで基板Ｗの蛇行を防止している。
す部分断面図である。搬送ローラ５０の搬送ローラ軸６
０の両端は、一対の側板２ａ、２ｂ間に回転可能に支持
されている。この搬送ローラ軸６０のうち両側板２ａ、
２ｂに近い位置には、それぞれ一対の段付ローラ７０が
取り付けられており、これら一対の段付ローラ７０を一
組として基板Ｗの両側部を支持する。なお、段付ローラ
７０は、小輪７０ａとガイド輪７０ｂとで構成されてお
り、小輪７０ａの外周面で基板Ｗの両側部を支持する一
方、ガイド輪７０ｂで基板Ｗの蛇行を防止している。
【００１９】搬送ローラ軸６０は、両端側の中実部６
２、６２と中央側の中空パイプ部６４とからなる。各中
実部６２、６２は、一対の側板２ａ、２ｂに設けた転が
り軸受４０、４０によって回転可能に支持されている。
一方、中空パイプ部６４の両端は、両中実部６２、６２
に設けた段差部分６２ａ、６２ａと嵌り合い溶接によっ
て固定されている。
２、６２と中央側の中空パイプ部６４とからなる。各中
実部６２、６２は、一対の側板２ａ、２ｂに設けた転が
り軸受４０、４０によって回転可能に支持されている。
一方、中空パイプ部６４の両端は、両中実部６２、６２
に設けた段差部分６２ａ、６２ａと嵌り合い溶接によっ
て固定されている。
【００２０】以上から明らかなように、この実施例では
搬送ローラ軸６０の中央側を中空パイプ部６４で構成し
ているので、搬送ローラ５０の中央側の重量に起因して
発生する撓みを減少させることができる。このため、搬
送ローラ軸６０に基板Ｗを支持すべく設けた段付ローラ
７０、７０が傾斜することを防止でき、搬送時における
基板Ｗの支持不良を防止して搬送不良の発生を防止する
ことができる。なお、搬送ローラ５０の中央側の重量を
減らすのは、転がり軸受４０、４０を支点とした場合、
中央側に加わる荷重ほど搬送ローラ軸６０の撓みを生じ
させ易いこいとを考慮したものである。
搬送ローラ軸６０の中央側を中空パイプ部６４で構成し
ているので、搬送ローラ５０の中央側の重量に起因して
発生する撓みを減少させることができる。このため、搬
送ローラ軸６０に基板Ｗを支持すべく設けた段付ローラ
７０、７０が傾斜することを防止でき、搬送時における
基板Ｗの支持不良を防止して搬送不良の発生を防止する
ことができる。なお、搬送ローラ５０の中央側の重量を
減らすのは、転がり軸受４０、４０を支点とした場合、
中央側に加わる荷重ほど搬送ローラ軸６０の撓みを生じ
させ易いこいとを考慮したものである。
【００２１】また、搬送ローラ軸６０が一対の側板２
ａ、２ｂによって支持される両端部で中実となっている
ので、搬送ローラ５０基板Ｗからの荷重が直接加わる部
分で搬送ローラ軸６０の強度を高めて基板Ｗの支持を確
実なものとすることができる。なお、搬送ローラ軸６０
の中央側に中空パイプ部６４を設けているので、この部
分が中実である場合に比較して搬送ローラ軸６０の慣性
質量が減少し、搬送ローラ５０の回転の制御が容易にな
るとともに、駆動源であるモータ１６の負荷を減少させ
ることができる。
ａ、２ｂによって支持される両端部で中実となっている
ので、搬送ローラ５０基板Ｗからの荷重が直接加わる部
分で搬送ローラ軸６０の強度を高めて基板Ｗの支持を確
実なものとすることができる。なお、搬送ローラ軸６０
の中央側に中空パイプ部６４を設けているので、この部
分が中実である場合に比較して搬送ローラ軸６０の慣性
質量が減少し、搬送ローラ５０の回転の制御が容易にな
るとともに、駆動源であるモータ１６の負荷を減少させ
ることができる。
【００２２】さらに、搬送ローラ軸６０を中空パイプ部
６４の両端に中実部６２、６２をはめ込んで固定する構
造となっているので、中空パイプ部６４のみの量産や中
実部６２、６２のみの量産が可能となり、用途に応じて
様々な部品６２、６４を予め準備しておいてこれらを適
宜組み合わせることができるので、コストの削減を図る
ことができる。さらに、中空パイプ部６４内の中空部に
対応する材料費を減少させることもできる。なお、段付
ローラ７０、７０は、シュパンリング方式によって搬送
ローラ軸６０を締め付けて摩擦力によって搬送ローラ軸
６０に固定するタイプのものであるので、中空パイプ部
６４に孔開けする特別の加工が不要となり、中空パイプ
部６４の加工を容易なものとすることができる。
６４の両端に中実部６２、６２をはめ込んで固定する構
造となっているので、中空パイプ部６４のみの量産や中
実部６２、６２のみの量産が可能となり、用途に応じて
様々な部品６２、６４を予め準備しておいてこれらを適
宜組み合わせることができるので、コストの削減を図る
ことができる。さらに、中空パイプ部６４内の中空部に
対応する材料費を減少させることもできる。なお、段付
ローラ７０、７０は、シュパンリング方式によって搬送
ローラ軸６０を締め付けて摩擦力によって搬送ローラ軸
６０に固定するタイプのものであるので、中空パイプ部
６４に孔開けする特別の加工が不要となり、中空パイプ
部６４の加工を容易なものとすることができる。
【００２３】以上、実施例に即してこの発明を説明した
が、この発明は上記実施例に限定されるものではない。
例えば、上記実施例では基板搬送機構１０、１２、１
６、１８、５０を基板洗浄装置に適用した例を示した
が、前処理用の剥離装置やレジスト用の現像装置などの
各種処理装置に適用することもできる。
が、この発明は上記実施例に限定されるものではない。
例えば、上記実施例では基板搬送機構１０、１２、１
６、１８、５０を基板洗浄装置に適用した例を示した
が、前処理用の剥離装置やレジスト用の現像装置などの
各種処理装置に適用することもできる。
【００２４】また、上記実施例では搬送ローラ５０の搬
送ローラ軸６０の中央側を中空構造としているが、搬送
ローラ軸６０全体を中空とすることもできる。ただしこ
の場合、搬送ローラ軸６０の強度が所期の強度以上に保
たれるように、搬送ローラ軸６０を構成するパイプの肉
厚、直径、長さ等の寸法を適宜調節する必要がある。
送ローラ軸６０の中央側を中空構造としているが、搬送
ローラ軸６０全体を中空とすることもできる。ただしこ
の場合、搬送ローラ軸６０の強度が所期の強度以上に保
たれるように、搬送ローラ軸６０を構成するパイプの肉
厚、直径、長さ等の寸法を適宜調節する必要がある。
【００２５】
【発明の効果】以上のように、請求項１の装置によれ
ば、両端部が一対の側板によってそれぞれ回転自在にか
つ水平に支持され、中央側に中空部を有する搬送ローラ
軸を備えるので、搬送ローラ軸の主に中央側の重量に起
因して発生する撓みを減少させて搬送ローラのうちの基
板を支持する部分の傾斜を低減することができ、搬送時
における基板の支持不良を防止して搬送不良の発生を予
防することができる。
ば、両端部が一対の側板によってそれぞれ回転自在にか
つ水平に支持され、中央側に中空部を有する搬送ローラ
軸を備えるので、搬送ローラ軸の主に中央側の重量に起
因して発生する撓みを減少させて搬送ローラのうちの基
板を支持する部分の傾斜を低減することができ、搬送時
における基板の支持不良を防止して搬送不良の発生を予
防することができる。
【００２６】また、請求項２の装置によれば、搬送ロー
ラ軸が側板によって支持される両端部で中実となってい
るので、搬送ローラ軸の強度を高めて基板の支持を確実
なものとすることができる。
ラ軸が側板によって支持される両端部で中実となってい
るので、搬送ローラ軸の強度を高めて基板の支持を確実
なものとすることができる。
【００２７】また、請求項３の装置によれば、さらに搬
送ローラの外周部に載置されて搬送される基板の表面に
向けて所定の処理液を供給する処理液供給ノズルを有す
るので、基板を搬送しつつ基板処理が可能となる。
送ローラの外周部に載置されて搬送される基板の表面に
向けて所定の処理液を供給する処理液供給ノズルを有す
るので、基板を搬送しつつ基板処理が可能となる。
【図１】この発明にかかる基板処理装置の一実施例を示
す概略斜視図である。
す概略斜視図である。
【図２】図１の部分断面図である。
【図３】従来の基板処理装置を示す図である。
Ｗ 基板 ２ 洗浄槽 ２ａ、２ｂ 側板 １０ タイミングプーリ １２、１８ タイミングベルト １４ テンションプーリ １６ モータ ４０ 転がり軸受 ５０ 搬送ローラ ６０ 搬送ローラ軸 ６２ 中実部 ６４ 中空パイプ部 ７０ 段付ローラ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ａ
Claims (3)
- 【請求項１】 基板を水平に支持して搬送する基板搬送
装置において、 互いに一定間隔だけ離隔して対向配置された一対の側板
と、 両端部が一対の側板によってそれぞれ回転自在にかつ水
平に支持され、中央側に中空部を有する搬送ローラ軸
と、 搬送ローラ軸に固定されて搬送ローラ軸とともに回転す
ることにより、外周部に載置された基板を搬送する搬送
ローラと、を備えることを特徴とする基板搬送装置。 - 【請求項２】 搬送ローラ軸は、側板によって支持され
る両端部で中実となっていることを特徴とする請求項１
記載の基板搬送装置。 - 【請求項３】 さらに、搬送ローラの外周部に載置され
て搬送される基板の表面に向けて所定の処理液を供給す
る処理液供給ノズルを有することを特徴とする請求項１
記載の基板搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5263595A JPH08244930A (ja) | 1995-03-13 | 1995-03-13 | 基板搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5263595A JPH08244930A (ja) | 1995-03-13 | 1995-03-13 | 基板搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08244930A true JPH08244930A (ja) | 1996-09-24 |
Family
ID=12920291
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5263595A Pending JPH08244930A (ja) | 1995-03-13 | 1995-03-13 | 基板搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08244930A (ja) |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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