KR100660785B1 - 글라스 클램프 로딩 장치 - Google Patents

글라스 클램프 로딩 장치 Download PDF

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KR100660785B1 KR1020050115781A KR20050115781A KR100660785B1 KR 100660785 B1 KR100660785 B1 KR 100660785B1 KR 1020050115781 A KR1020050115781 A KR 1020050115781A KR 20050115781 A KR20050115781 A KR 20050115781A KR 100660785 B1 KR100660785 B1 KR 100660785B1
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Abstract

TFT-LCD용 글라스의 측면을 클램프하여 로딩하는 장치에 관한 것으로, 글라스 기판을 이동시키는 글라스 클램프 로딩 장치에 있어서, 글라스 기판을 받쳐주는 다수개의 볼 캐스터, 글라스 기판의 이송 방향으로 글라스 기판의 좌, 우측을 클램핑하는 다수개의 클램프, 글라스 기판의 이송 방향의 좌, 우측에 각각 마련되어 다수개의 클램프를 지지하는 트랜스퍼 및 트랜스퍼를 글라스 기판의 이송 방향으로 이동시키는 구동장치를 포함하는 구성을 마련한다.
상기와 같은 글라스 클램프 로딩 장치를 이용하는 것에 의해, 글라스 기판의 이송과정에서 기판의 틀어짐을 방지할 수 있고, 기판 좌,우측부의 쳐짐현상을 방지할 수 있다.
글라스, 클램프, 로딩, 트랜스퍼, 볼

Description

글라스 클램프 로딩 장치{Glass Clamp Loading Apparatus}
도 1은 종래의 기판반송장치의 로딩부 동력전달구조를 설명하기 위한 부분 확대사시도,
도 2는 글라스를 클램프하여 이동시키는 종래의 글라스 클램프 로딩 장치의 구조를 나타낸 도면,
도 3은 본 발명에 따른 글라스 클램프 로딩 장치의 주요부를 도시한 블록도,
도 4는 본 발명에 적용되는 더미부를 구비한 기판을 나타내는 도면.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
100 : 글라스 클램프 로딩 장치 110 : 더미부
120 : 클램프 130 : 트랜스퍼
140 : 볼 캐스터
본 발명은 TFT-LCD용 글라스의 측면을 클램프하여 로딩하는 장치에 관한 것으로, 특히 글라스의 틀어짐을 방지하고, 글라스의 좌,우 가장자리 부분의 처짐 (Deflection)을 방지하는 글라스 클램프 로딩 장치에 관한 것이다.
일반적으로 액정표시장치용 글라스 기판은 주처리공정에서 포토레지스트 도포액이나 감광성 폴리아미드수지, 컬러 필터용 염색체 등으로 이루어지는 박막층이 기판의 주면에 형성되고, 이 기판들은 기판이송장치에 로딩되어 일방향으로 이동되면서 약액 도포공정, 세정공정 및 건조공정 등과 같은 후처리공정을 거치게 된다.
후처리공정을 위한 기판처리장치로서는 대한민국 공개특허공보 2002-97004호에 기재된바와 같이, 피처리기판을 거의 수평으로 얹어 반송하기 위한 반송체를 수평방향으로 부설하여 이루어지는 반송로, 반송로 위에서 기판을 반송하기 위해 반송체를 구동하는 구동수단, 반송로 위의 기판의 피처리면에 소정의 처리액을 공급하기 위한 1개 또는 복수의 노즐을 포함하는 처리액 공급수단, 기판상에서 액을 중력으로 떨어뜨리기 위해 반송로 상에서 반송로의 전방 또는 후방을 향해 상기 기판을 경사시키는 기판경사수단을 갖는다.
그러나, 이와 같은 종래기술에 의한 기판반송장치에서는 구조상 장치가 복잡해지므로 제작비는 물론이거니와 유지보수시 과다한 비용이 소요되는 문제가 있다.
이러한 문제를 해결하기 위한 방법의 일례가 대한민국 공개특허공보 2005-9343호에 개시되어 있다.
도 1은 상기 공보에 개시된 기판반송장치의 로딩부 동력전달구조를 설명하기 위한 부분 확대사시도이다.
도 1은 기판(B)이 로딩됨과 아울러 약액 처리영역으로 이동시키는 로딩부(2)로서, 로딩부(2)는 제1 프레임(6), 이 제1 프레임(6)에 다수개가 배치되고 구동원 (M1)에 의해 회전하면서 로딩된 기판(B)을 일방향으로 이동시키는 로울러(R)들을 포함한다.
제1 프레임(6)은 원형이나 다각형의 단면을 가지는 금속파이프들이 용접이나 볼트와 같은 체결부재 등으로 연결되어 기판(B)이 일방향으로 일정구간 이동될 수 있는 길이를 가지는 통상의 프레임 구조로 제작되고, 로울러(R)들은 로딩되는 기판(B)의 크기에 대응하여 이 기판(B)이 안착될 수 있는 길이를 가지는 금속 또는 합성수지재질로 이루어진 통상의 원형파이프가 사용되며, 제1 프레임(6)에서 수평한 자세를 가지며 베어링과 같은 지지부재(8)에 양측단이 회전 가능하게 고정되어 있다.
또 로울러(R)들에는 로딩되는 기판(B)과의 접촉 면적이 최소화 될 수 있도록 로울러(R)들 보다 큰 지름을 가지는 링(Ring) 모양의 수평 가이드구(G1)와 수직 가이드구(G2)가 끼움 결합으로 고정되어 있다.
수평 가이드구(G1)는 로울러(R)들에 로딩된 기판(B)이 휘거나 변형되는 것을 방지할 수 있도록 2개 또는 그 이상이 이격 고정되고, 수직 가이드구(G2)는 수평 가이드구(G1)와 동일한 형상으로 제작되어 로울러(R)들의 양측단에 위치되도록 끼움 결합으로 고정되어 있다.
또한 수직 가이드구(G2)는 로딩부(2)에서 로울러(R)들의 수평 가이드구(G1)에 로딩된 기판(B)이 이동될 때에 이송구간을 이탈하거나 로딩된 자세가 변화되는 것을 방지할 수 있도록 기판(B)의 측면이 지지될 수 있는 크기 범위내로 제작된다.
수평 가이드구(G1) 및 수직 가이드구(G2)들은 로딩된 기판(B)이 미끄러지거 나 스크래치가 유발되지 않는 합성수지 또는 고무재질로 제작하였다.
또 도 1에 있어서, 로울러(R)들은 제1 프레임(6)의 상측에서 지지부재(8)들에 의해 일정한 자세로 다수개가 이격 고정됨과 아울러 로울러(R)들의 일측단에는 체인(C)으로 연결된 스프라켓(S)이 설치되어 구성되어 있다.
이러한 구성에 의해, 로울러(R) 중에서 어느 하나가 도 1에서와 같이 제1 프레임(6) 일측에 설치된 모터와 같은 구동원(M1)과 동력 전달이 가능하게 연결되어 이 구동원(M1)의 구동에 의해 로울러(R)들이 동일한 속도 및 방향으로 회전하면서 로딩된 기판(B)을 이동시킨다.
최근, 제조 공정에서 생산성을 향상시키기 위해 1매의 글라스 기판(Mother Glass; 원판)으로 이루어진 패널에 하나의 표시장치를 형성하기 위한 단위 기판(이를 '셀'이라 함)을 다수 개 형성하며, 커팅 공정을 통하여 원판을 4, 6 또는 8매 이상의 단위 기판(셀)으로 분리한 다음 후 공정으로 진행하게 된다. 이와 같이 글라스 기판의 대형화에 따라 도 1에 도시된 바와 같은 구조에 있어서는 글라스의 로딩시 글라스의 틀어짐이 발생한다는 문제점이 있었다.
즉, 도 1에 도시된 구조에서는 글라스 기판이 소정의 크기로 절단된 후 수평가이드구G1과 수직가이드구G2에 의해 후처리 공정으로의 로딩시 적용가능 하지만, 단위 기판으로 분리되기 전의 공정에서는 글라스의 틀어짐 등 여러가지의 문제점이 발생하였다.
도 1에 도시된 구조에서 글라스 기판의 대형화에 따라 보다 안정적으로 글라스를 이동시키기 위해 도 2에 도시된 바와 같이 클램프 수단을 사용한 구조가 제안 되었다.
도 2는 글라스를 클램프하여 이동시키는 종래의 글라스 클램프 로딩 장치의 구조를 나타낸 도면이다.
도 2에 있어서, 글라스 클램프 로딩 장치(10)는 프레임에 일정 간격으로 다수개가 마련된 샤프트, 글라스 기판(11)의 크기에 대응되도록 각각의 샤프트의 외주면에 마련되어 회전되는 다수개의 아이들 롤러(Idie Roller)(12), 기판(11)의 후단의 더미(Dummy)부(14)를 클램핑하는 클램프(13), 상기 클램프를 지지하는 트랜스퍼(15) 및 트랜스퍼(15)를 구동시켜 글라스 기판(11)을 이송시키 는 구동모터를 포함하여 구성된다.
즉 도 2에 도시된 글라스 클램프 로딩 장치(10)는 아이들 롤러(12) 상에 글라스 기판(11)이 탑재된 후 클램프(13)가 기판(11)의 후단의 더미부(14)를 클램핑한 다음 구동모터의 구동에 의해 트랜스퍼(15)가 구동되어 아이들 롤러(12)가 회전하고 이 회전에 따라 기판(11)이 이송된다.
그러나, 상기 공보 등에 개시된 기술에 있어서는 기판(11)의 후단의 더미부(14)를 클램핑한 채 이송하는 과정에서 기판(11)의 전단부가 틀어지는 문제점이 발생할 뿐만 아니라, 또한, 상기 아이들 롤러(12)가 기판(11)의 좌, 우측 단부를 지지해주지 못하여 기판의 쳐짐현상이 발생된다는 문제점이 있었다.
또, 기판(11)의 이송 과정에 있어서, 아이들 롤러(12)와 트랜스퍼(15)의 진 직도를 맞추어야 한다는 문제점도 있었다.
본 발명의 목적은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 이루어진 것으로서, 글라스 기판의 좌, 우측의 더미부를 클램핑한 상태로 이송하여 글라스 기판의 이송과정에서 글라스 기판의 좌우 틀어짐 또는 쳐짐현상을 방지할 수 있는 글라스 클램프 로딩 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 글라스 기판의 이송과정에서 글라스 기판의 진직도를 맞출 필요가 없어 공정이 보다 간결해질 수 있는 글라스 클램프 로딩 장치를 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 글라스 클램프 로딩 장치는 글라스 기판을 이동시키는 글라스 클램프 로딩 장치에 있어서, 상기 글라스 기판을 받쳐주는 다수개의 볼 캐스터, 상기 글라스 기판의 이송 방향으로 상기 글라스 기판의 좌, 우측을 클램핑하는 다수개의 클램프, 상기 글라스 기판의 이송 방향의 좌, 우측에 각각 마련되어 상기 다수개의 클램프를 지지하는 트랜스퍼 및 상기 트랜스퍼를 상기 글라스 기판의 이송 방향으로 이동시키는 구동장치를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또 본 발명에 따른 글라스 클램프 로딩 장치에 있어서, 상기 다수개의 클램프의 각각은 상기 글라스 기판의 더미부를 각각 클램핑하는 것을 특징으로 한다.
또 본 발명에 따른 글라스 클램프 로딩 장치에 있어서, 상기 클램프는 상기 좌, 우측의 트랜스퍼에서 상기 글라스 기판의 이송 방향으로 일정 간격을 두고 서로 동일 갯수로 마련되는 것을 특징으로 한다.
또 본 발명에 따른 글라스 클램프 로딩 장치에 있어서, 상기 클램프는 상기 좌, 우측의 트랜스퍼의 각각의 측에서 상기 글라스 기판의 4개의 모서리부에 각각 2개씩 마련되는 것을 특징으로 한다.
또 본 발명에 따른 글라스 클램프 로딩 장치에 있어서, 상기 좌, 우측의 트랜스퍼의 각각은 상기 글라스 기판과 중첩되지 않는 위치에 마련되는 것을 특징으로 한다.
또 본 발명에 따른 글라스 클램프 로딩 장치에 있어서, 상기 좌, 우측의 트랜스퍼는 동시에 동일하게 이동하는 것을 특징으로 한다.
또 본 발명에 따른 글라스 클램프 로딩 장치에 있어서, 상기 다수개의 볼 캐스터의 각각은 전후좌우의 방향으로 구를 수 있는 것을 특징으로 한다.
또 본 발명에 따른 글라스 클램프 로딩 장치에 있어서, 상기 구동장치는 리니어 모터인 것을 특징으로 한다.
또 본 발명에 따른 글라스 클램프 로딩 장치에 있어서, 상기 구동장치는 모노캐리어인 것을 특징으로 한다.
또 본 발명에 따른 글라스 클램프 로딩 장치에 있어서, 상기 글라스 기판은 TFT-LCD용 글라스인 것을 특징으로 한다.
본 발명의 상기 및 그밖의 목적과 새로운 특징은 본 명세서의 기술 및 첨부 도면에 의해 더욱 명확하게 될 것이다.
이하, 본 발명의 구성을 도면에 따라서 설명한다.
또한, 본 발명의 설명에 있어서는 동일 부분은 동일 부호를 붙이고, 그 반복 설명은 생략한다.
도 3은 본 발명에 따른 글라스 클램프 로딩 장치(100)의 주요부를 도시한 블록도이고, 도 4는 본 발명에 적용되는 더미부(110)를 구비한 기판(11)을 나타내는 도면. 다.
도 3 및 도 4에 있어서, (120)은 도 3에서 화살표로 나타낸 바와 같은 글라스 기판(11)의 이송 방향으로 글라스(11)의 좌, 우측의 더미부(110)을 클램핑하는 다수개의 클램프이고, (130)은 글라스 기판(11)의 이송 방향의 좌, 우측에 각각 마련되어 다수개의 클램프(120)를 지지하는 한쌍의 트랜스퍼이며, (140)은 글라스 기판(11)을 받쳐주는 다수개의 볼 캐스터이다.
이 다수개의 볼 캐스터(140)는 특정한 구조로만 한정되는 것은 아니지만, 예를 들어 각각 장방형의 판상으로 이루어진 베이스 상의 오목홈 내에 마련된 다수개의 볼 캐스터(140)의 각각이 전후좌우의 방향으로 구를 수 있도록 구성되면 좋다. 또 다수개의 볼 캐스터(140)는 글라스 기판(11)의 하중을 분산 배치하기 위해 일정 간격으로 마련된다.
또 본 발명에 있어서는 한쌍의 트랜스퍼(130)를 글라스 기판의 이송 방향으로 이동시키는 구동모터가 마련되며, 이 구동모터로서는 예를 들어 리니어모터(Linear Motor)를 사용하거나 또는 NSK사의 모델명 MCM02, MCM03과 같은 모노캐리 어(Monocarrier)가 사용된다.
또한, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 클램프(120)는 좌, 우측의 한쌍의 트랜스퍼(130)에서 글라스 기판(11)의 이송 방향으로 일정 간격을 두고 서로 동일 갯수로, 즉 좌, 우측의 트랜스퍼(130)의 각각의 측에서 글라스 기판(11)의 4개의 모서리부(111)에 각각 2개씩 마련된다.
즉, 본 발명에 따르면, 좌, 우측의 한쌍의 트랜스퍼(130)가 글라스 기판(11) 또는 다수개의 볼 캐스터(140)와 중첩되지 않는 위치에 마련되므로, 도 2에 도시된 바와 같은 아이들 롤러(12)와 트랜스퍼(15)의 진직도를 맞추어야 한다는 문제점을 해결할 수 있게 된다.
다음에 도 3에 도시된 글라스 클램프 로딩 장치(100)의 동작에 대해 설명하면 다음과 같다.
베이스 상의 오목홈 내에 마련된 볼 캐스터(140) 상으로 기판(11)이 이송되는 시점에 글라스 기판(11)의 이송 방향으로 글라스 기판(11)의 좌, 우측의 더미부(110)를 좌, 우측의 트랜스퍼(130)의 각각의 측에서 글라스 기판(11)의 4개의 모서리부(111)에 각각 2개씩 마련된 클램프(120)가 클램프한다.
이후 한쌍의 트랜스퍼(130)를 구동시키는 리니어모터 또는 모노캐리어로 이루어진 구동장치의 작동에 의해 좌, 우측의 한쌍의 트랜스퍼(130)가 동시에 직선 이동한다. 좌, 우측의 한쌍의 트랜스퍼(130)가 동시에 동일하게 이동하는 것에 의해 글라스 기판(11)의 4개의 모서리부(111)에 각각 2개씩 지지된 클램프(120)도 트랜스퍼(130)의 이동에 따라 글라스 기판의 이송 동작과 함께 이동한다.
상술한 바와 같은 글라스 기판(11)의 이송시, 베이스 상의 오목홈 내에 마련된 다수개의 볼 캐스터(140)도 글라스 기판(11)의 이송방향으로 굴러가며, 볼 형상으로 이루어져 글라스 기판(11)의 하중에 의한 마찰을 최소로 할 수 있게 된다.
따라서, 글라스 기판(11)이 볼 캐스터(140)의 회전에 의해 이송될 수 있으며, 클램프(120)가 글라스 기판(11)의 좌, 우측의 더미부(110)를 클램핑하고 있으므로, 글라스 기판(11)의 틀어짐 및 쳐짐 없이 이송할 수 있게 된다.
이상 본 발명자에 의해서 이루어진 발명을 상기 실시예에 따라 구체적으로 설명하였지만, 본 발명은 상기 실시예에 한정되는 것은 아니고 그 요지를 이탈하지 않는 범위에서 여러 가지로 변경 가능한 것은 물론이다.
즉, 상기 실시예에 있어서는 글라스 클램프 로딩 장치에 적용되는 글라스 기판으로서 TFT-LCD용 글라스의 실시예에 대해 설명하였지만, 이에 한정되는 것은 아니며 통상의 전자기기에 사용되는 디스플레이용 글라스 기판의 로딩 장치에 적용하여 실현할 수 있음은 물론이다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 글라스 클램프 로딩 장치에 의하면, 글라스 기판의 이송 방향의 좌, 우측을 클램핑하는 다수개의 클램프를 마련하는 것에 의해 글라스 기판의 이송과정에서 기판의 틀어짐을 방지할 수 있고, 기판 좌,우측부의 쳐짐현상을 방지할 수 있다는 효과가 얻어진다.
또, 본 발명에 따른 글라스 클램프 로딩 장치에 의하면, 좌, 우측의 트랜스퍼의 각각이 글라스 기판과 중첩되지 않는 위치에 마련되므로, 글라스 기판의 진직 도를 맞출 필요가 없어 공정이 보다 간결해질 수 있다는 효과도 얻어진다.

Claims (10)

  1. 글라스 기판을 이동시키는 글라스 클램프 로딩 장치에 있어서,
    상기 글라스 기판을 받쳐주는 다수개의 볼 캐스터,
    상기 글라스 기판의 이송 방향으로 상기 글라스 기판의 좌, 우측을 클램핑하는 다수개의 클램프,
    상기 글라스 기판의 이송 방향의 좌, 우측에 각각 마련되어 상기 다수개의 클램프를 지지하는 트랜스퍼 및
    상기 트랜스퍼를 상기 글라스 기판의 이송 방향으로 이동시키는 구동장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 글라스 클램프 로딩 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 다수개의 클램프의 각각은 상기 글라스 기판의 더미부를 각각 클램핑하는 것을 특징으로 하는 글라스 클램프 로딩 장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 클램프는 상기 좌, 우측의 트랜스퍼에서 상기 글라스 기판의 이송 방향으로 일정 간격을 두고 서로 동일 갯수로 마련되는 것을 특징으로 하는 글라스 클램프 로딩 장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 클램프는 상기 좌, 우측의 트랜스퍼의 각각의 측에서 상기 글라스 기판의 4개의 모서리부에 각각 2개씩 마련되는 것을 특징으로 하는 글라스 클램프 로딩 장치.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 좌, 우측의 트랜스퍼의 각각은 상기 글라스 기판과 중첩되지 않는 위치에 마련되는 것을 특징으로 하는 글라스 클램프 로딩 장치.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 좌, 우측의 트랜스퍼는 동시에 동일하게 이동하는 것을 특징으로 하는 글라스 클램프 로딩 장치.
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 다수개의 볼 캐스터의 각각은 전후좌우의 방향으로 구를 수 있는 것을 특징으로 하는 글라스 클램프 로딩 장치.
  8. 제 1항 내지 제 7항 중의 어느 한 항에 있어서,
    상기 구동장치는 리니어 모터인 것을 특징으로 하는 글라스 클램프 로딩 장치.
  9. 제 1항 내지 제 7항 중의 어느 한 항에 있어서,
    상기 구동장치는 모노캐리어인 것을 특징으로 하는 글라스 클램프 로딩 장치.
  10. 제 1항 내지 제 7항 중의 어느 한 항에 있어서,
    상기 글라스 기판은 TFT-LCD용 글라스인 것을 특징으로 하는 글라스 클램프 로딩 장치.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102117588A (zh) * 2009-12-31 2011-07-06 塔工程有限公司 阵列测试装置
KR101137956B1 (ko) * 2009-10-06 2012-05-10 유한회사 옵티칼 안경렌즈 고정지그
KR101198239B1 (ko) * 2010-12-14 2012-11-09 엘지디스플레이 주식회사 대면적 기판의 처리장치
CN106469669A (zh) * 2015-08-19 2017-03-01 三星显示有限公司 基板移送系统

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101137956B1 (ko) * 2009-10-06 2012-05-10 유한회사 옵티칼 안경렌즈 고정지그
CN102117588A (zh) * 2009-12-31 2011-07-06 塔工程有限公司 阵列测试装置
KR101115874B1 (ko) * 2009-12-31 2012-02-22 주식회사 탑 엔지니어링 어레이 테스트 장치
KR101198239B1 (ko) * 2010-12-14 2012-11-09 엘지디스플레이 주식회사 대면적 기판의 처리장치
CN106469669A (zh) * 2015-08-19 2017-03-01 三星显示有限公司 基板移送系统
CN106469669B (zh) * 2015-08-19 2021-11-19 三星显示有限公司 基板移送系统

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