KR101052754B1

KR101052754B1 - 기판 이송 장치

Info

Publication number: KR101052754B1
Application number: KR1020080114617A
Authority: KR
Inventors: 함승원
Original assignee: 세메스 주식회사
Priority date: 2008-11-18
Filing date: 2008-11-18
Publication date: 2011-08-01
Also published as: KR20100055751A

Abstract

개시된 기판 이송 장치는 기판을 부양시킨 상태에서 기판을 일 방향으로 이송시키는 기판 이송부 및 기판 이송부에 위치하는 기판의 일 부분을 지지하고, 기판을 일 방향과 다른 방향으로 방향 전환시키는 방향 전환부를 포함할 수 있고, 특히 방향 전환부는 기판의 일 부분을 파지 가능하게 지지하는 지지부 및 지지부를 일 방향과 다른 방향으로 구동시키는 구동부를 포함할 수 있다.

Description

기판 이송 장치{Apparatus for transferring a substrate}

본 발명의 기판 이송 장치에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 평판 디스플레이 소자 제조에 사용되는 기판 이송 장치에 관한 것이다.

평판 디스플레이 장치의 제조에서 실리콘 또는 유리로 이루어진 기판 상에는 전기적인 회로 패턴들이 형성될 수 있다. 상기 회로 패턴들은 증착 공정, 포토리소그래피 공정, 식각 공정 및 세정 공정 등과 같은 일련의 단위 공정들을 수행함으로써 형성될 수 있다. 그리고 상기 단위 공정들은 인-라인으로 수행될 수 있다. 이에, 상기 단위 공정들은 이송이 이루어지는 상태에서 수행될 수 있다. 그러므로 상기 단위 공정들을 수행하는 모듈들에는 기판을 이송하는 이송 장치가 구비된다. 아울러, 상기 단위 공정들을 수행하는 모듈들 사이에도 기판을 이송하는 이송 장치가 구비된다.

그리고 상기 단위 공정들의 수행에서는 기판의 방향을 전환할 필요가 있다. 이는, 상기 단위 공정들을 수행하기 위한 모듈들을 일렬로 배치할 수 없기 때문이다. 상기 기판의 방향 전환에 대한 예로서는 유-턴(U-turn) 방향 전환을 들 수 있다. 이에, 상기 기판 이송 장치는 기판의 방향을 전환시키는 부재를 구비하고, 이 를 사용하여 기판의 방향 전환을 수행하고 있다.

그러나 상기 기판의 방향을 전환하는 부재는 X축 방향 전환 부재, Y축 방향 전환 부재, 정렬 부재 등을 포함하기 때문에 그 구조가 다소 복잡한 단점이 있다.

본 발명의 목적은 간단한 구조를 가지는 방향 전환 부재를 구비하는 기판 이송 장치를 제공하는데 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예들에 따르면, 기판 이송 장치는 기판을 부양시킨 상태에서 상기 기판을 일 방향으로 이송시키는 기판 이송부 및 상기 기판 이송부에 위치하는 상기 기판의 일 부분을 지지하고, 상기 기판을 일 방향과 다른 방향으로 방향 전환시키는 방향 전환부를 포함할 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 기판 이송부는 상기 기판 이면을 향하여 에어를 공급하여 상기 기판을 부양시키는 에어 블로워 및 상기 에어 블로워를 사용하여 부양시킨 기판을 상기 일 방향으로 이송시키는 이송부를 포함할 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 에어 블로워는 상기 에어를 제공하기 위한 다수의 홀들을 갖는 다공 플레이트를 포함할 수 있거나, 또는 상기 에어의 제공이 가능한 기공을 갖는 다공성 물질로 이루어지는 다공 플레이트를 포함할 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 이송부는 상기 기판 이면 에지 부위를 진공 흡입에 의해 파지하는 진공척 및 상기 진공척을 구동시키는 구동부를 포함할 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 이송부는 상기 기판 이면 에지 부위에 면접하고, 회전 가능한 롤러 및 상기 롤러를 회전 구동시키는 구동부를 포함할 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 방향 전환부는 상기 기판의 일 부분을 파지 가능하게 지지하는 지지부 및 상기 지지부를 상기 일 방향과 다른 방향으로 구동시키는 구동부를 포함할 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 지지부는 진공 흡입이 가능하게 상기 기판 이면으로 진공을 제공하는 진공 흡입부를 포함할 수 있고, 상기 구동부는 상기 진공 흡입된 기판 이면에 면접하고, 상기 기판을 다른 방향으로 전환시키는 것이 가능한 롤러를 포함할 수 있다.

상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 기판 이송 장치는 이송을 위하여 부양시킨 상태에서 있는 기판을 일 방향으로부터 다른 방향으로 방향 전환시킨다. 특히, 기판의 방향 전환을 진공 또는 롤러를 사용함에 의해 달성할 수 있다. 따라서 상기 기판의 방향에 따른 부재들의 간편화를 도모할 수 있다.

이하, 본 발명은 본 발명의 실시예들을 보여주는 첨부 도면들을 참조하여 더욱 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범 위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.

하나의 요소가 다른 하나의 요소 또는 층 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로서 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접적으로 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들 또는 층들이 이들 사이에 게재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접적으로 배치되거나 연결되는 것으로서 설명되는 경우, 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 유사한 요소들에 대하여는 전체적으로 유사한 참조 부호들이 사용될 것이며 또한, “및/또는”이란 용어는 관련된 항목들 중 어느 하나 또는 그 이상의 조합을 포함한다.

다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다. 이들 용어들은 단지 다른 요소로부터 하나의 요소를 구별하기 위하여 사용되는 것이다. 따라서 하기에서 설명되는 제1 요소, 조성, 영역, 층 또는 부분은 본 발명의 범위를 벗어나지 않으면서 제2 요소, 조성, 영역, 층 또는 부분으로 표현될 수 있을 것이다.

공간적으로 상대적인 용어들, 예를 들면, “하부” 또는 “바닥” 그리고 “상부” 또는 “맨 위“ 등의 용어들은 도면들에 설명된 바와 같이 다른 요소들에 대하여 한 요소의 관계를 설명하기 위하여 사용될 수 있다. 상대적 용어들은 도면에 도시된 방위에 더하여 장치의 다른 방위들을 포함할 수 있다. 예를 들면, 도면들 중 하나에서 장치가 방향이 바뀐다면, 다른 요소들의 하부 쪽에 있는 것으로 설명된 요소들이 상기 다른 요소들의 상부 쪽에 있는 것으로 맞추어질 것이다. 따라 서 “하부”라는 전형적인 용어는 도면의 특정 방위에 대하여 “하부” 및 “상부” 방위 모두를 포함할 수 있다. 이와 유사하게, 도면들 중 하나에서 장치가 방향이 바뀐다면, 다른 요소들의 “아래” 또는 “밑”으로서 설명된 요소들은 상기 다른 요소들의 “위”로 맞추어질 것이다. 따라서 “아래” 또는 “밑”이란 전형적인 용어는 “아래”와 “위”의 방위 모두를 포함할 수 있다.

하기에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 하기에서 사용된 바와 같이, 단수의 형태로 표시되는 것은 특별히 명확하게 지시되지 않는 이상 복수의 형태도 포함한다. 또한, “포함한다” 및/또는 “포함하는”이란 용어가 사용되는 경우, 이는 언급된 형태들, 영역들, 완전체들, 단계들, 작용들, 요소들 및/또는 성분들의 존재를 특징짓는 것이며, 다른 하나 이상의 형태들, 영역들, 완전체들, 단계들, 작용들, 요소들, 성분들 및/또는 이들 그룹들의 추가를 배제하는 것은 아니다.

달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.

본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들인 단면 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화 들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화들은 예상될 수 있는 것들이다. 따라서 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차들을 포함하는 것이다. 예를 들면, 평평한 것으로서 설명된 영역은 일반적으로 거칠기 및/또는 비선형적인 형태들을 가질 수 있다. 또한, 도해로서 설명된 뾰족한 모서리들은 둥글게 될 수도 있다. 따라서 도면들에 설명된 영역들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상들은 영역의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.

실시예

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 나타내는 개략적인 구성도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 나타내는 개략적인 단면도이다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치(100)는 평판 디스플레이 소자의 제조에서 실리콘 또는 유리로 이루어진 기판(G) 상에 포토레지스트막을 도포하기 위한 단위 공정, 포토레지스트막의 일부를 제거하는 단위 공정, 포토레지스트막을 스트립하는 단위 공정, 그리고 언급한 단위 공정들 사이에서의 기판(G)을 이송하는 단위 공정 등에 사용될 수 있다.

상기 기판 이송 장치(100)는 기판 이송부(11)와 방향 전환부(117)를 포함한다.

구체적으로, 기판 이송부(11)는 기판(G)을 부양시킨 상태에서 상기 기판(G)을 일 방향으로 이송시키는 부재이다. 이에, 상기 기판 이송부(11)는 기판(G)을 부양시키기 위하여 상기 기판(G)의 이면을 향하여 에어를 공급하는 에어 블로워(air blower)(111)와 상기 에어 블로워(111)를 사용하여 부양시킨 기판(G)을 일 방향으로 이송시키는 이송부(113)를 포함할 수 있다.

특히, 상기 에어 블로워(111)는 상기 기판(G)의 이면을 향하여 에어를 공급하기 위한 다수의 홀(111b)들을 갖는 다공 플레이트(perforated plate)(111a)를 포함할 수 있다. 그리고 상세하게 도시하지는 않았지만, 상기 에어 블로워(111)는 상기 다공 플레이트(111a)에 에어를 공급하는 에어 공급부와 연결될 수 있다. 예를 들면, 상기 다공 플레이트(111a)는 에어 매니폴드(air manifold)와 연결될 수 있으며, 에어 매니폴드는 에어 공급부와 연결될 수 있다. 이에, 상기 에어 공급부로부터 상기 다공 플레이트(111a)의 홀(111b)들을 통해 상기 기판(G)의 이면으로 에어를 공급함에 의해 상기 기판(G)을 부양시킬 수 있는 것이다. 아울러, 상기 에어 공급부는 공압 펌프와 에어 탱크를 포함할 수 있으며, 에어 배관을 통해 상기 다공 플레이트(111a)로 에어를 공급할 수 있다. 또한, 상기 다공 플레이트(111a)를 통해 공급되는 에어의 유량을 조절하기 위한 밸브(미도시)를 더 포함할 수 있다. 또한, 상기 다공 플레이트(111a)는 알루미늄과 같은 금속으로 이루어질 수 있으며, 상기 홀(111b)들은 약 수 ㎜의 직경을 가지는 크기로 한정할 수 있다.

아울러, 상기 에어 블로워(111)는 다공성 물질(porous material)로 이루어진 다공 플레이트를 포함할 수도 있다. 즉, 상기 에어 블로워(111)는 상기 기판(G)의 이면으로 에어의 공급이 가능한 기공을 갖는 다공성 물질로 이루어지는 다공 플레이트를 포함할 수도 있는 것이다. 상기 다공성 물질로 이루어진 다공 플레이트는 탄소 또는 스테인리스 스틸로 이루어질 수 있으며, 소결 공정에 의해 형성될 수 있다. 또한, 상기 다공 플레이트의 기공은 약 수십 ㎛의 크기로 한정할 수 있다.

상기 기판 이송부(11)의 이송부(113)는 상기 에어 블로워(111)를 사용하여 부양시킨 기판(G)을 상기 기판(G)의 이송 진행 방향인 일 방향으로 이송시키는 부재이다. 특히, 상기 이송부(113)는 도 1에서와 같이 상기 에어 블로워(111)에 의해 부양된 기판(G)의 이면 에지 부위를 진공 흡입에 의해 파지하는 진공척(113a) 및 상기 진공척(113a)을 구동시키는 구동부(113b)를 포함할 수 있다. 그리고 상기 이송부(113)의 진공척(113a)은 상기 기판(G)의 이면 에지 부위 일측만을 파지할 수도 있고, 상기 기판(G)의 이면 에지 부위 양측 모두를 파지할 수 있다. 즉, 상기 이송부(113)의 진공척(113a)은 기판(G)의 진행 방향과 동일한 방향으로 연장되는 선상에 위치하는 기판(G)의 이면 에지 부위 일측 또는 양측을 파지할 수 있는 구조를 갖는 것이다. 이와 같이, 상기 이송부(113)의 진공척(113a)이 상기 기판(G)의 이면 에지 부위를 파지하는 구조를 갖는 것은 상기 기판 이송부(11)의 에어 블로워(111)를 사용한 기판(G)의 부양에 지장을 주지 않기 위함이다. 즉, 상기 이송부(113)의 진공척(113a)이 상기 기판(G)의 이면 중심 부위를 파지하는 구조를 가질 경우에는 상기 기판 이송부(11)의 에어 블로워(111)를 사용한 기판(G)의 부양이 용이하게 이루어지지 않을 것이 자명하기 때문이다.

아울러, 상기 이송부(113)의 구동부(113b)는 상기 진공척(113a)을 구동시키 는 것으로써, 주로 리니어 모터, 리니어 모션 가이드(linear motion guide), 볼 스크루와 볼 블록을 구비하는 부재 등을 포함할 수 있다. 즉, 상기 이송부(113)의 구동부(113b)는 상기 진공척(113a)과 연결되고, 상기 진공척(113a)을 기판(G)의 진행 방향과 동일한 방향으로 이동되게 구동시키는 것이다. 이에, 상기 이송부(113)의 구동부(113b)를 사용하여 상기 진공척(113a)을 일 방향으로 이동시킴으로써 상기 진공척(113a)에 의해 파지된 기판(G)이 상기 일 방향으로 이송이 이루어지는 것이다.

그러므로 상기 기판 이송부(11)는 상기 에어 블로워(111)를 사용하여 상기 기판(G)을 부양시킨 상태에서 상기 이송부(113)를 사용하여 상기 기판(G)을 일 방향으로 이송시키는 것이다.

도 3은 도 1의 기판 이송 장치에 구비되는 기판 이송부의 다른 예를 나타내는 개략적인 도면이다.

도 3을 참조하면, 언급한 진공척(113a)과 구동부(113b)를 구비하는 이송부(113)와 다른 롤러(115a)와 구동부(115b)를 구비하는 이송부(115)를 나타낸다. 상기 롤러(115a)는 회전 가능한 부재로써, 상기 기판(G)의 이면 에지 부위에 면접하게 위치시킨다. 또한, 상기 롤러(115a)는 상기 기판(G)의 이면 에지 부위의 일측 또는 양측 모두에 면접하게 위치시킬 수 있다. 아울러, 상기 이송부(115)의 롤러(115a)가 상기 기판(G)의 이면 에지 부위를 파지하는 구조를 갖는 것은 언급한 바와 같이 상기 기판 이송부(11)의 에어 블로워(111)를 사용한 기판(G)의 부양에 지장을 주지 않기 위함이다. 또한, 상기 구동부(115b)는 롤러(115a)를 회전 구동시 키기 위한 것으로써, 주로 구동축 기능을 갖는 프레임에 의해 롤러(115a)와 연결된다. 아울러, 상기 구동부(115b)의 예로서는 모터 등을 들 수 있다.

이에, 상기 이송부(115)를 사용한 기판(G)의 이송은 상기 롤러(115a)에 기판(G)의 이면 에지 부위를 면접시킨 상태에서 상기 구동부(115b)를 사용하여 상기 롤러(115a)를 기판(G)의 이송 진행 방향인 일 방향으로 회전시킴으로써 상기 기판(G)이 롤러(115a)의 회전에 의해 상기 일 방향으로 이송이 이루어지는 것이다.

그리고 언급한 실시예의 경우에는 기판(G)의 이면 에지 부위를 파지 또는 롤링하여 상기 기판(G)을 부양시킨 상태에서 일 방향으로 이송시키는 것에 대하여 설명하고 있기 때문에 상기 에어 블로워(111)의 다공 플레이트(111a)가 기판(G)보다 다소 좁은 폭을 가져야 한다. 즉, 기판(G)의 이면 에지 부위를 파지 또는 롤링할 수 있는 여부 부위를 가져야 하는 것이다. 그러나 본 발명의 다른 실시예의 경우에서와 같이 언급한 에어 블로워(111)의 다공 플레이트(111a)가 기판(G)보다 다소 좁은 폭이 아닌 에어 블로워(111)의 다공 플레이트(111a)가 기판보다 다소 넓은 폭을 가질 경우에도 기판의 에지 부위 자체를 파지하는 방법 등을 적용함으로써 기판(G)의 이송을 용이하게 달성할 수 있다.

다시 도 1을 참조하면, 방향 전환부(117)는 기판 이송부(11)에 위치하는 상기 기판(G)의 일 부분을 지지하고, 상기 기판 이송부(11)에 의해 이송되는 기판(G)의 진행 방향인 일 방향이 아닌 다른 방향으로 방향을 전환시키는 부재이다. 즉, 상기 방향 전환부(117)는 상기 기판(G)을 유-턴 방향 전환 구간 등에 적용할 수 있는 부재인 것이다. 다시 말해, 상기 방향 전환부(117)는 상기 기판(G)을 일 방향으로 이송하면서 단위 공정을 수행하다가 상기 일 방향이 아닌 다른 방향으로 상기 기판(G)을 이송하면서 단위 공정을 수행할 경우에 상기 기판(G)의 방향을 일 방향으로부터 다른 방향으로 전환시키는 부재인 것이다.

이에, 본 발명의 일 실시예에 따르면 상기 방향 전환부(117)는 상기 기판(G)의 일 부분을 파지하여 지지하는 지지부(117a) 및 상기 지지부(117a)를 상기 일 방향이 아닌 다른 방향으로 구동시키는 구동부(117b)를 포함할 수 있다.

여기서, 상기 방향 전환부(117)의 지지부(117a)는 상기 기판(G)의 이면으로 진공을 제공하여 상기 기판을 진공 흡입하는 진공 흡입부를 포함할 수 있다. 아울러, 상기 구동부(117b)는 상기 진공 흡입부를 사용하여 진공 흡입된 상기 기판(G)의 이면 면접하고, 상기 기판(G)을 다른 방향으로 전환시키는 롤러를 포함할 수 있다. 이때, 상기 구동부(117b)로써의 롤러는 그 자체가 롤링이 가능한 구동원을 가질 수도 있고, 아니면 롤링이 가능하게 롤러와 연결되는 구동원을 가질 수도 있다. 그리고 상기 지지부(117a)인 진공 흡입부는 상기 기판(G)의 이면 중심 부위로 진공을 제공하여 상기 기판(G)을 진공 흡입하는 것이 바람직하다. 이는, 상기 기판(G)의 에지 부위로 진공을 제공하여 상기 기판(G)을 진공 흡입할 경우 상기 기판(G)이 기울어질 수 있기 때문이다. 다만, 언급한 방향 전환을 위한 상기 기판(G)의 지지시 상기 기판(G)이 기울어져도 무방하거나 상기 기판(G)이 기울어지는 것을 저지할 수 있을 경우에는 상기 방향 전환을 위한 상기 기판(G)의 지지를 상기 기판(G)의 이면의 중심 부위가 아닌 다른 부위에 적용하여도 무방하다. 또한, 상기 구동부(117b)로써의 롤러는 상기 기판(G)의 방향을 일 방향이 아닌 다른 방향으로 방향 전환이 가능하게 배치하는 것이 적절하다. 이에, 본 발명의 일 실시예에서는 상기 구동부(117b)인 롤러를 원 형상을 갖도록 배치시킨다. 이와 같이, 상기 구동부(117b)인 롤러를 원 형상을 갖도록 배치시킴으로써 상기 기판(G)의 방향을 전환을 원하는 방향으로 용이하게 수행할 수 있다.

도 4는 도 1의 기판 이송 장치를 사용하여 기판의 방향을 전환하는 상태를 나타내는 개략적인 도면이다.

도 4를 참조하면, 상기 구동부(117b)인 롤러를 동일한 방향으로 회전시킬 경우에는 롤러와 면접한 기판(G) 또한 회전하기 때문에 상기 기판(G)의 방향을 일 방향이 아닌 다른 방향으로 용이하게 전환시킬 수 있는 것이다.

언급한 본 발명의 실시예의 경우에는 상기 방향 전환부(117)로써 진공 흡입부를 갖는 지지부(117a) 및 롤러를 갖는 구동부(117b)에 대하여 설명하고 있지만, 상기 기판(G)의 에지 부위를 파지한 상태에서 상기 기판(G)을 일 방향으로부터 다른 방향으로 변환시키는 가이드 부재 등을 사용하여도 무방하다.

이와 같이, 본 발명의 실시예들에 따른 기판 이송 장치는 기판 일 부분의 파지와 간단한 방향 전환만으로도 기판을 일 방향과 다른 방향으로 방향 전환을 용이하게 수행할 수 있다. 그러므로 본 발명은 간단한 구조로의 적용 가능을 통하여 기판 이송 장치의 원가 자체를 충분하게 절감시킬 수 있고, 더불어 유지 보수에 대한 원가 또한 절감이 가능할 뿐만 아니라 기판의 방향 전환에 따른 소요 시간까지도 충분하게 단축시킬 수 있다.

이에, 본 발명의 기판 이송 장치를 평판 디스플레이 소자의 제조 등과 같은 집적 회로 소자의 제조에 적용할 경우 산업 경쟁력의 향상을 기대할 수 있다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 나타내는 개략적인 구성도이다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 나타내는 개략적인 단면도이다.

Claims

기판(G)을 부양시킨 상태에서 상기 기판(G)을 일 방향으로 이송시키는 기판 이송부(11); 및

상기 기판 이송부(11)에 위치하는 상기 기판(G)의 일 부분을 지지하고, 상기 기판(G)을 일 방향과 다른 방향으로 방향 전환시키는 방향 전환부(117)를 포함하며,

상기 기판 이송부(11)는,

상기 기판(G)의 이면을 향하여 에어를 공급하여 상기 기판(G)을 부양시키는 에어 블로워(111); 및

상기 에어 블로워(111)를 사용하여 부양시킨 기판(G)을 상기 일 방향으로 이송시키는 이송부(113)를 포함하고,

상기 이송부(113)는

상기 기판(G)의 이면 에지 부위를 진공 흡입에 의해 파지하는 진공척(113a); 및

상기 진공척(113a)을 구동시키는 구동부(113b)를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
삭제
제1 항에 있어서, 상기 에어 블로워(111)는 상기 에어를 제공하기 위한 다수의 홀들(111b)을 갖는 다공 플레이트(111a)를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
제1 항에 있어서, 상기 에어 블로워(111)는 상기 에어의 제공이 가능한 기공을 갖는 다공성 물질로 이루어지는 다공 플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
삭제
삭제
제1 항에 있어서, 상기 방향 전환부(117)는,

상기 기판(G)의 일 부분을 파지 가능하게 지지하는 지지부(117a);

상기 지지부(117a)를 상기 일 방향과 다른 방향으로 구동시키는 구동부(117b)를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
제7 항에 있어서, 상기 지지부(117a)는 진공 흡입이 가능하게 상기 기판(G)의 이면으로 진공을 제공하는 진공 흡입부를 포함하고,

상기 구동부(117b)는 상기 진공 흡입된 기판(G)의 이면에 면접하고, 상기 기판(G)을 다른 방향으로 전환시키는 것이 가능한 롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.