JP2009018406A - 研磨機及びその搬送治具 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】搬送物106を載置する搬送治具102は、中央プラットフォーム108と、搬送物106を補助的に支持する第1のトレイ110と、搬送物106を補助的に支持する第2のトレイ112と、を備える。第1のトレイ110及び第2のトレイ112は、それぞれ中央プラットフォーム108の両側に配置され、中央プラットフォーム108に隣接したそれぞれの一側が互いに対応した相補構造に形成される。第1のトレイ110及び第2のトレイ112は、相対的に移動調整され、搬送物106を補助的に支持する。
【選択図】図1A
Description
102 搬送治具
104 研磨砥石
106 搬送物
108 中央プラットフォーム
108a 中央プラットフォーム
110 第1のトレイ
112 第2のトレイ
114 切欠き部
116 真空孔
118 フランジ構造
120 凹部構造
122 電荷結合素子
Claims (13)
- 搬送物を載置する搬送治具であって、
中央プラットフォームと、
前記搬送物を補助的に支持する第1のトレイと、
前記搬送物を補助的に支持する第2のトレイと、を備え、
前記第1のトレイ及び前記第2のトレイは、それぞれ前記中央プラットフォームの両側に配置され、前記中央プラットフォームに隣接したそれぞれの一側が互いに対応した相補構造に形成され、前記第1のトレイ及び前記第2のトレイが相対的に移動調整され、前記搬送物を補助的に支持することを特徴とする搬送治具。 - 前記第1のトレイ及び前記第2のトレイの各々には、前記中央プラットフォームに対応した箇所に、切欠き部がそれぞれ設けられ、
前記切欠き部は、前記搬送物を補助的に支持する前記第1のトレイ及び前記第2のトレイの部分より短いことを特徴とする請求項1に記載の搬送治具。 - 前記第1のトレイ及び前記第2のトレイは、支持幅まで相対的に移動調整され、前記搬送物の短辺をそれぞれ補助的に支持することを特徴とする請求項1に記載の搬送治具。
- 前記第1のトレイ及び前記第2のトレイは、支持幅まで相対的に移動調整され、前記搬送物の長辺をそれぞれ補助的に支持することを特徴とする請求項1に記載の搬送治具。
- 前記第1のトレイ及び前記第2のトレイのうちの少なくとも1つの表面には、孔が密集して配置されていることを特徴とする請求項1に記載の搬送治具。
- 前記中央プラットフォームは、円形構造であることを特徴とする請求項1に記載の搬送治具。
- 前記中央プラットフォームは、十字形構造であることを特徴とする請求項1に記載の搬送治具。
- 前記第1のトレイ及び前記第2のトレイにより構成された互いに対応した相補構造の各々は、櫛歯状構造であり、
前記櫛歯状構造の各々は、相対的に移動調整して互いに組合され、前記搬送物を補助的に支持する互いに対応したフランジ構造及び凹部構造を含むことを特徴とする請求項1に記載の搬送治具。 - 基板を載置する搬送治具と、該搬送治具の両側にそれぞれ配置された2つの研磨砥石と、を備える研磨機であって、
前記搬送治具は、
中央プラットフォームと、
前記基板を補助的に支持し、前記中央プラットフォームの両側にそれぞれ配置され、前記中央プラットフォームに隣接したそれぞれの一側が互いに対応した相補構造に形成され、相対的に移動調整されて前記基板を補助的に支持する2つのトレイと、を有することを特徴とする研磨機。 - 前記2つのトレイは、前記中央プラットフォームに対応した箇所に切欠き部をそれぞれ有し、
前記切欠き部は、前記基板を補助的に支持する前記トレイの部分より短いことを特徴とする請求項9に記載の研磨機。 - 前記トレイは、支持幅まで相対的に移動調整され、搬送物の短辺をそれぞれ補助的に支持することを特徴とする請求項9に記載の研磨機。
- 前記トレイにより構成された互いに対応した相補構造の各々は、櫛歯状構造であり、
前記櫛歯状構造の各々は、相対的に移動調整して互いに組合され、搬送物を補助的に支持する互いに対応したフランジ構造及び凹部構造を含むことを特徴とする請求項9に記載の研磨機。 - 前記搬送治具の両側にそれぞれ配置され、前記基板の載置方向にずれが発生したか否かを検出する2つの電荷結合素子をさらに備えることを特徴とする請求項9に記載の研磨機。
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