KR102293360B1 - 가변 테이블 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 실시예들은 가변 테이블 장치를 제공한다. 본 발명의 일 실시예에 따른 가변 테이블 장치는 제1 베이스, 상기 제1 베이스 상에 제1 방향으로 이동 가능하도록 배치되며, 기판이 안착되는 제1 안착 영역을 형성하는 제1 테이블, 상기 제1 테이블과 상기 제1 방향으로 이격되고, 상기 제1 베이스 상에 상기 제1 방향으로 이동 가능하도록 배치되며, 상기 기판이 안착되는 제2 안착 영역을 형성하는 제2 테이블 및 상기 제1 테이블과 상기 제2 테이블의 사이에 배치되고, 상기 제1 방향과 상이한 제2 방향으로 복수개 배치되며 상기 기판이 안착되는 제3 안착 영역을 형성하는 지지바를 포함할 수 있다.

Description

가변 테이블 장치{VARIABLE TABLE APPARATUS}
본 발명의 실시예들은 가변 테이블 장치에 관한 것이다.
액정 표시 장치(LCD), 플라즈마 표시 장치(PDP), 유기 발광 소자(OLED) 등과 같은 평판 표시 장치는 대면적의 원 기판에 다양한 공정을 실시하여 제조된다. 예를 들어, 원 기판에 대해 증착 공정, 사진 공정, 현상 공정, 세정 공정, 식각 공정, 스트립 공정, 건조 공정 등의 공정을 실시하여, 평판 표시 장치를 제조할 수 있다.
테이블 장치는 이와 같은 공정에서 기판을 지지하기 위해 이용될 수 있다. 테이블 장치는 흡착 수단 또는 클램프 수단을 이용해 기판을 고정하여, 공정 중에 기판이 움직이는 것을 방지할 수 있다.
종래의 테이블 장치의 경우, 기판을 지지하는 테이블이 고정되어 있기 때문에 다양한 크기의 기판에 대응할 수 없고, 다양한 기판 제조 공정에 폭넓게 사용될 수 없어 범용성이 떨어진다. 또한, 종래의 테이블 장치는 기판이 안착되는 면 전체에 흡착홀이 형성되어 있기 때문에, 테이블 장치에 사용되는 공압 회로가 복잡해지고 경제성이 떨어지는 문제점이 있다.
전술한 배경 기술은 발명자가 본 발명의 도출을 위해 보유하고 있었거나, 본 발명의 도출 과정에서 습득한 기술 정보로서, 반드시 본 발명의 출원 전에 일반 공중에게 공개된 공지 기술이라 할 수는 없다.
본 발명의 실시예들은 기판의 제조 품질을 높일 수 있는 가변 테이블 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 다만, 전술한 과제는 본 발명의 실시예들에 따른 것으로, 본 발명의 목적 및 해결하고자 하는 과제는 이에 한정되지 않는다.
본 발명의 일 실시예에 따른 가변 테이블 장치는 제1 베이스, 상기 제1 베이스 상에 제1 방향으로 이동 가능하도록 배치되며, 기판이 안착되는 제1 안착 영역을 형성하는 제1 테이블, 상기 제1 테이블과 상기 제1 방향으로 이격되고, 상기 제1 베이스 상에 상기 제1 방향으로 이동 가능하도록 배치되며, 상기 기판이 안착되는 제2 안착 영역을 형성하는 제2 테이블 및 상기 제1 테이블과 상기 제2 테이블의 사이에 배치되고, 상기 제1 방향과 상이한 제2 방향으로 복수개 배치되며 상기 기판이 안착되는 제3 안착 영역을 형성하는 지지바를 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 가변 테이블 장치에 있어서, 상기 제1 안착 영역과, 상기 제3 안착 영역과, 상기 제2 안착 영역은 상기 제1 방향으로 순서대로 배치될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 가변 테이블 장치에 있어서, 상기 제1 안착 영역은 상기 제1 테이블의 이동에 따라, 상기 제3 안착 영역의 적어도 일부와 중첩될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 가변 테이블 장치에 있어서, 상기 제2 안착 영역은 상기 제2 테이블의 이동에 따라, 상기 제3 안착 영역의 적어도 일부와 중첩될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 가변 테이블 장치에 있어서, 상기 제1 테이블은 상기 제1 방향으로 이동 가능하며, 복수개의 흡착홀을 구비하고, 상기 기판을 흡착 고정하는 제1 흡착 플레이트 및 상기 제1 흡착 플레이트의 일측에 상기 제2 방향으로 복수개 배치되어, 상기 기판을 지지하는 제1 가이드바를 포함하고, 상기 제2 테이블은 상기 제1 방향으로 이동 가능하며, 복수개의 흡착홀을 구비하고, 상기 기판을 흡착 고정하는 제2 흡착 플레이트 및 상기 제2 흡착 플레이트의 일측에 상기 제2 방향으로 복수개 배치되어, 상기 기판을 지지하는 제2 가이드바를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 가변 테이블 장치에 있어서, 상기 제1 가이드바와 상기 제2 가이드바는 상기 지지바를 향해 상기 제1 방향으로 각각 연장될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 가변 테이블 장치에 있어서, 상기 복수개의 지지바와, 상기 복수개의 제1 가이드바와, 상기 복수개의 제2 가이드바는 상기 제2 방향으로 서로 어긋나도록 배치될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 가변 테이블 장치에 있어서, 상기 제1 테이블과 상기 제2 테이블이 가장 이격된 위치에서, 상기 제1 가이드바와 상기 제2 가이드바는 상기 제1 방향으로 상기 지지바의 길이만큼 이격될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 가변 테이블 장치에 있어서, 상기 제1 테이블과 상기 제2 테이블이 가장 근접한 위치에서, 상기 복수개의 제1 가이드바의 단부를 따라 연장되는 제1 가상선은 상기 복수개의 제2 가이드바 상에 배치되고, 상기 복수개의 제2 가이드바의 단부를 따라 연장되는 제2 가상선은 상기 복수개의 제1 가이드바 상에 배치될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 가변 테이블 장치에 있어서, 상기 제1 방향으로, 상기 제1 흡착 플레이트의 길이와 상기 제2 흡착 플레이트의 길이는 상기 지지바의 길이, 상기 제1 가이드바의 길이 및 상기 제2 가이드바의 길이 중 적어도 어느 하나보다 짧을 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 가변 테이블 장치에 있어서, 상기 제1 베이스와 연결되고, 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향과 상이한 제3 방향으로 연장되는 중심축을 가지며, 상기 중심축을 중심으로 상기 제1 베이스를 적어도 어느 한 방향으로 회전시키는 회전 유닛을 더 포함할 수 있다.
전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점은 이하의 발명을 실시하기 위한 구체적인 내용, 청구범위 및 도면으로부터 명확해질 것이다.
본 발명의 실시예들에 따른 가변 테이블 장치는 기판이 안착되는 영역의 면적을 가변시킴으로써, 다양한 크기의 기판에 대응할 수 있으며, 여러 기판 제조 공정에 적용될 수 있어, 범용성이 우수하다.
또한, 본 발명의 실시예들에 따른 가변 테이블 장치는 복수개의 지지바 또는 가이드바가 기판을 지지함으로써, 공압 회로의 사용을 최소화하면서도 대면적의 기판의 처짐을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 가변 테이블 장치를 나타내는 도면이다.
도 2는 도 1의 가변 테이블 장치의 정면도이다.
도 3은 도 1의 제1 테이블의 확대도이다.
도 4 내지 도 6은 도 1의 가변 테이블 장치의 작동 상태를 나타내는 도면이다.
도 7은 도 1의 회전 유닛을 나타내는 도면이다.
도 8은 도 7의 회전 유닛에 의해 가변 테이블 장치가 회전하는 상태를 나타내는 도면이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 발명의 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시예로 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 다른 실시예에 도시되어 있다 하더라도, 동일한 구성요소에 대하여서는 동일한 식별부호를 사용한다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 구성요소들은 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
이하, 첨부된 도면들에 도시된 본 발명에 관한 실시예들을 참조하여 본 발명을 상세히 설명한다. 참고로, 본 명세서에서 특별히 언급하지 않는 한, 제1 방향, 제2 방향, 제3 방향은 각각 X축 방향, Y축 방향, Z축 방향에 대응될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 가변 테이블 장치(100)를 나타내는 도면이다. 도 2는 도 1의 가변 테이블 장치(100)의 정면도이다. 도 3은 도 1의 제1 테이블(120)의 확대도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 가변 테이블 장치(100)는 제1 베이스(110)와, 제1 테이블(120)과, 제2 테이블(130)과, 제3 테이블(140)과, 슬라이드 가이드(150)와, 슬라이더(160)를 포함할 수 있다.
제1 베이스(110)는 가변 테이블 장치(100)를 지지하며, 가변 테이블 장치(100)를 다른 부품 등에 장착시킬 수 있다. 제1 베이스(110)는 플레이트 형상을 가지며, 지면 또는 다른 부품의 장착면과 수평을 이루도록 배치될 수 있다. 제1 베이스(110)의 형상은 특별히 한정하지 않으며, 가변 테이블 장치(100)의 수평을 유지하면서 이를 지지할 수 있으면 충분하다.
제1 테이블(120)은 제1 베이스(110) 상에 제1 방향, 예를 들어, 도 1의 X축 방향으로 이동 가능하도록 배치될 수 있다. 본 발명의 일 실시예에서 제1 테이블(120)을 이동시키는 이동 부재는 후술하는 슬라이드 가이드(150) 및 슬라이더(160)일 수 있다. 예를 들어, 제1 테이블(120)은 슬라이드 가이드(150) 및 슬라이더(160)와 연결되어, X축 방향으로 왕복 이동하도록 배치될 수 있다. 제1 테이블(120)은 기판(S)이 안착되는 제1 안착 영역(A1)을 형성할 수 있다(도 4 참조). 제1 테이블(120)은 지지대(121)와, 제1 흡착 플레이트(122)와, 제1 가이드바(124)와, 장착 슬롯(126)과, 지지 리브(127)를 포함할 수 있다.
지지대(121)는 제1 테이블(120)을 제1 베이스(110) 상에 지지한다. 지지대(121)는 제1 방향과 상이한 제2 방향, 예를 들어, 도 1의 Y축 방향으로 배치될 수 있다. 지지대(121)의 일면은 제1 흡착 플레이트(122)의 일면과 결합되고, 지지대(121)의 타면은 슬라이더(160)의 상면과 결합될 수 있다.
제1 흡착 플레이트(122)는 기판(S)의 일면을 흡착하여 고정할 수 있다. 제1 흡착 플레이트(122)는 지지대(121) 상에 배치되며, 제1 방향으로 폭 W1을 가질 수 있다. 제1 흡착 플레이트(122)는 상면에 복수개의 흡착홀(123)을 구비할 수 있다. 일 실시예로, 제1 흡착 플레이트(122)의 폭 W1은 종래의 흡착 플레이트의 폭보다 클 수 있다. 보다 구체적으로, 제1 흡착 플레이트(122)의 폭 W1은 150 mm 이상일 수 있다.
흡착홀(123)은 제1 흡착 플레이트(122)의 내부 공간을 통해 공압 회로(미도시)와 연결될 수 있다. 상기 공압 회로를 제어하여 흡착홀(123)이 외부 공기를 흡입함으로써, 기판(S)이 제1 흡착 플레이트(122) 상에 흡착되어 고정될 수 있다. 흡착홀(123)의 개수와 형상 또는 배열 등은 특별히 한정하지 않으며, 가변 테이블 장치(100)가 적용되는 기판 제조 공정 또는 기판(S)의 크기와 종류를 고려하여 적절히 선택될 수 있다.
제1 가이드바(124)는 제1 흡착 플레이트(122)의 일측에 제2 방향으로 복수개 배치되어, 기판(S)을 지지한다. 예를 들어, 제1 가이드바(124)는 장착 슬롯(126)과 지지 리브(127)에 의해 지지될 수 있다.
보다 구체적으로, 지지대(121)의 일면에는 복수개의 장착 슬롯(126)이 배치될 수 있다. 장착 슬롯(126)은 제2 방향으로 복수개 배치되며, 일면이 절개되어 형성된 슬릿을 구비할 수 있다. 각각의 장착 슬롯(126)의 슬릿에는 지지 리브(127)가 각각 삽입될 수 있다. 지지 리브(127)는 일측이 장착 슬롯(126)의 슬릿에 삽입되고, 타측이 제1 방향, 예를 들어, 도 1의 X축 방향으로 연장되도록 구부러진 형상을 가질 수 있다. 지지 리브(127)는 장착 슬롯(126)에 삽입된 상태에서 볼트 및 너트를 이용하여 장착 슬롯(126)과 기계적으로 체결되거나, 장착 슬롯(126)과 용접될 수 있다.
제1 가이드바(124)는 지지 리브(127)의 상면에 배치될 수 있다. 제1 가이드바(124)는 제1 방향으로 길이 L1을 가지며, 제2 방향으로 폭 w1을 가질 수 있다. 또한, 제1 가이드바(124)는 제2 방향으로 등간격으로 배치될 수 있다. 예를 들어, 제1 가이드바(124)는 이웃하는 제1 가이드바(124)와 제2 방향으로 간격 D1만큼 이격되어 복수개 배치될 수 있다.
도 1 내지 도 3에는 제1 가이드바(124)가 제2 방향으로 6개 배치되는 것으로 나타냈으나, 이에 한정하지 않는다. 제1 가이드바(124)의 개수는 기판(S)의 크기 및 종류에 따라 달라질 수 있다.
이와 같은 구성을 통해, 본 발명의 일 실시예에 따른 가변 테이블 장치(100)에 있어서, 기판(S)의 일측은 제1 흡착 플레이트(122)에 의해 고정되고, 다른 부분은 제1 가이드바(124)에 의해 지지되어, 기판(S)이 자중에 의해 아래로 처지는 것이 방지될 수 있다. 또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 가변 테이블 장치(100)는 제1 테이블(120)의 전체가 흡착 플레이트로 형성되는 경우에 비해, 공압 회로의 구성을 간단히 할 수 있어 비용을 절감할 수 있다.
일 실시예로, 제1 흡착 플레이트(122)와 제1 가이드바(124)는 제1 방향으로 끊어짐 없이 연속되도록 배치될 수 있다. 이에 따라, 기판(S)이 제1 방향을 따라 아래로 처지는 것을 보다 확실하게 방지할 수 있다.
다른 실시예로, 제1 가이드바(124)는 마찰 부재(125)를 구비할 수 있다. 마찰 부재(125)는 제1 가이드바(124)의 상면에 제1 가이드바(124)의 길이 방향을 따라 적어도 하나 이상 배치될 수 있다. 마찰 부재(125)는 고무와 같은 탄성을 갖는 연질의 소재나, 펠트(felt) 또는 부직포와 같은 다공성의 섬유 소재 등으로 이루어질 수 있다. 마찰 부재(125)는 기판(S)의 일면과 접촉하여, 공정 도중 기판(S)에 발생하는 움직임 또는 진동을 억제할 수 있다.
제2 테이블(130)은 제1 테이블(120)과 제1 방향, 예를 들어, 도 1의 X축 방향으로 이격되고, 제1 베이스(110) 상에 제1 방향으로 이동 가능하도록 배치될 수 있다. 제1 테이블(120)과 마찬가지로, 제2 테이블(130)을 이동시키는 이동 부재는 슬라이드 가이드(150) 및 슬라이더(160)일 수 있다. 제2 테이블(130)은 기판(S)이 안착되는 제2 안착 영역(A2)을 형성할 수 있다(도 4 참조). 제2 테이블(130)은 지지대(131)와, 제2 흡착 플레이트(132)와, 제2 가이드바(134)와, 마찰 부재(135)와, 장착 슬롯(136)과, 지지 리브(137)를 포함할 수 있다.
또한, 제2 가이드바(134)는 제1 방향으로 길이 L2를 가지며, 제2 방향으로 폭 w2를 가질 수 있다. 또한, 제2 가이드바(134)는 이웃하는 제2 가이드바(134)와 제2 방향으로 간격 D2만큼 이격되어 복수개 배치될 수 있다. 일 실시예로, 제2 가이드바(134)는 제1 가이드바(124)와 동일한 치수를 가지고, 동일한 간격으로 배치될 수 있다. 제2 테이블(130)의 나머지 구성은 제1 테이블(120)의 구성과 동일하며, 이에 대해서는 설명을 생략한다.
일 실시예로, 제1 가이드바(124)와 제2 가이드바(134)는 후술하는 지지바(141)를 향해 제1 방향으로 연장되도록 배치될 수 있다.
다른 실시예로, 제2 테이블(130)은 제1 방향으로의 중심축을 기준으로 제1 테이블(120)과 대칭을 이룰 수 있다. 이때, 제1 가이드바(124)와 제2 가이드바(134)는 제2 방향으로 서로 어긋나도록 배치될 수 있다.
제3 테이블(140)은 제1 테이블(120)과 제2 테이블(130)의 사이에 배치될 수 있다. 예를 들어, 제3 테이블(140)은 제1 베이스(110) 상에, 제1 방향으로 제1 테이블(120)과 제2 테이블(130)의 사이에 배치될 수 있다. 제3 테이블(140)은 제1 테이블(120) 및 제2 테이블(130)과 달리, 제1 베이스(110) 상에 고정 설치될 수 있다. 제3 테이블(140)은 기판(S)이 안착되는 제3 안착 영역(A3)을 형성할 수 있다(도 4 참조). 제3 테이블(140)은 지지바(141)와, 지지대(142)를 포함할 수 있다.
지지바(141)는 제1 방향으로 연장되는 막대 형상의 부재로서, 제1 테이블(120)과 제2 테이블(130)의 사이에 배치될 수 있다. 지지바(141)는 제2 방향으로 서로 이격되어 복수개 배치될 수 있다. 지지바(141)는 제1 방향 또는 제2 방향으로 기판(S)의 중심부를 지지할 수 있다.
지지바(141)는 제1 베이스(110)의 일측에 적어도 하나 이상 배치되는 지지대(142)에 의해 지지될 수 있다. 도 1에는 지지대(142)가 제1 베이스(110)의 중앙부와, 제2 방향으로 제1 베이스(110)의 양측에 각각 배치되는 것으로 나타냈으나, 지지대(142)의 개수와 형상은 특별히 한정하지 않는다.
이와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 가변 테이블 장치(100)는 제1 테이블(120)과 제2 테이블(130)의 사이에 배치되는 센터 테이블을, 복수개의 지지바(141)를 포함하는 제3 테이블(140)로 구성함으로써 간단한 구성으로 기판(S)의 처짐을 방지할 수 있다.
다른 실시예로, 지지바(141)의 상면에는 마찰 부재(미도시)가 배치될 수 있다. 상기 마찰 부재는 제1 가이드바(124) 또는 제2 가이드바(134)에 배치되는 마찰 부재(125, 135)와 동일할 수 있다.
다른 실시예로, 지지바(141)는 제1 가이드바(124) 및/또는 제2 가이드바(134)와 제2 방향으로 서로 어긋나도록 배치될 수 있다. 이에 따라, 제1 테이블(120) 및/또는 제2 테이블(130)이 제1 방향으로 이동하는 과정에서, 제1 가이드바(124) 및/또는 제2 가이드바(134)가 지지바(141)와 충돌하거나, 지지바(141)에 의해 움직임이 제한되는 것을 방지할 수 있다.
다른 실시예로, 제1 방향으로, 제1 흡착 플레이트(122)의 폭 W1과, 제2 흡착 플레이트(132)의 폭 W2는, 제1 가이드바(124)의 길이 L1과, 제2 가이드바(134)의 길이 L2와, 지지바(141)의 길이 L3 중 적어도 어느 하나보다 작을 수 있다.
슬라이드 가이드(150)는 제1 베이스(110) 상에 제1 방향으로 배치된다. 예를 들어, 한 쌍의 슬라이드 가이드(150)가 제2 방향으로 소정의 간격만큼 이격되어, 제1 방향으로 나란히 배치될 수 있다.
슬라이더(160)는 슬라이드 가이드(150)와 연결되어, 슬라이드 가이드(150)의 길이 방향으로 이동할 수 있다. 예를 들어, 슬라이더(160)는 슬라이드 가이드(150)의 양측면에 형성된 홈에 끼워져, 슬라이드 가이드(150)의 상면을 따라 제1 방향으로 왕복 이동할 수 있다.
슬라이드 가이드(150)와 슬라이더(160)는 이동 부재를 구성할 수 있다. 슬라이드 가이드(150)와 슬라이더(160)의 개수는 특별히 한정하지 않는다. 본 발명의 일 실시예에 따른 가변 테이블 장치(100)에서, 슬라이드 가이드(150)는 한 쌍 구비되고, 슬라이더(160)는 각각의 슬라이드 가이드(150)에 두 개가 배치될 수 있다. 각각의 슬라이더(160)는 제1 테이블(120)의 지지대(121)와, 제2 테이블(130)의 지지대(131)와 연결될 수 있다.
이와 같은 구성을 통해, 본 발명의 일 실시예에 따른 가변 테이블 장치(100)는 제1 테이블(120)과 제2 테이블(130)의 위치를 변경하여, 기판(S)이 안착되는 영역의 면적을 변경할 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 일 실시예에 따른 가변 테이블 장치(100)는 다양한 크기와 종류의 기판(S)에 대응할 수 있다.
도 4 내지 도 6은 도 1의 가변 테이블 장치(100)의 작동 상태를 나타내는 도면이다.
도 4는 제1 테이블(120)과 제2 테이블(130)이 가장 멀리 떨어진 위치(이하, '최이격 위치(the uttermost position)'라고도 함)에 있는 상태를 나타낸다. 최이격 위치에서, 가변 테이블 장치(100)는 제1 방향으로 폭 TW를 가질 수 있다.
제1 테이블(120)은 기판(S)의 적어도 일부가 안착되는 영역인 제1 안착 영역(A1)을 형성할 수 있다. 제1 안착 영역(A1)은 제1 흡착 플레이트(122)와 제1 가이드바(124)에 의해 구획되는 영역이다. 예를 들어, 제1 안착 영역(A1)의 제1 방향의 길이는 제1 흡착 플레이트(122)의 폭 W1과 제1 가이드바(124)의 길이 L1를 합한 길이에 대응되고, 제1 안착 영역(A1)의 제2 방향의 길이는 제1 흡착 플레이트(122)의 제2 방향으로의 길이에 대응될 수 있다.
제2 테이블(130)은 기판(S)의 적어도 일부가 안착되는 영역인 제2 안착 영역(A2)을 형성할 수 있다. 제2 안착 영역(A2)은 제2 흡착 플레이트(132)와 제2 가이드바(134)에 의해 구획되는 영역이다. 예를 들어, 제2 안착 영역(A2)의 제1 방향의 길이는 제2 흡착 플레이트(132)의 폭 W2과 제2 가이드바(134)의 길이 L2를 합한 길이에 대응되고, 제2 안착 영역(A2)의 제2 방향의 길이는 제2 흡착 플레이트(132)의 제2 방향으로의 길이에 대응될 수 있다.
일 실시예로, 제1 안착 영역(A1)의 면적은 제2 안착 영역(A2)의 면적과 동일할 수 있다.
제3 테이블(140)은 기판(S)의 적어도 일부가 안착되는 영역인 제3 안착 영역(A3)을 형성할 수 있다. 제3 안착 영역(A3)은 제1 흡착 플레이트(122)와, 제2 흡착 플레이트(132)와, 지지바(141)에 의해 구획되는 영역이다. 예를 들어, 제3 안착 영역(A3)의 제1 방향의 길이는 지지바(141)의 길이 L3에 대응되고, 제3 안착 영역(A3)의 제2 방향의 길이는 제1 흡착 플레이트(122)의 제2 방향으로의 길이 또는 제2 흡착 플레이트(132)의 제2 방향으로의 길이에 대응될 수 있다.
일 실시예로, 제3 테이블(140)의 지지바(141) 간의 간격 D3는 제1 가이드바(124)의 폭 W1과 제2 가이드바(134)의 폭 W2를 합한 값보다 클 수 있다. 이에 따라, 제1 테이블(120)과 제2 테이블(130)이 제3 테이블(140)을 향해 제1 방향으로 이동하는 경우, 제1 가이드바(124)와 제2 가이드바(134)가 지지바(141)의 사이에 배치될 수 있다.
일 실시예로, 복수개의 제1 가이드바(124)의 단부를 따라 연장되는 제1 가상선(IL1)은 제1 안착 영역(A1)과 제3 안착 영역(A3)의 경계선 상에 배치될 수 있다. 또한, 복수개의 제2 가이드바(134)의 단부를 따라 연장되는 제2 가상선(IL2)은 제2 안착 영역(A2)과 제3 안착 영역(A3)의 경계선 상에 배치될 수 있다.
일 실시예로, 제1 안착 영역(A1)과, 제3 안착 영역(A3)과, 제2 안착 영역(A2)은 제1 방향으로 순서대로 배치될 수 있다. 또한, 제1 안착 영역(A1)과, 제3 안착 영역(A3)과, 제2 안착 영역(A2)은 제1 방향으로 끊어짐 없이 연속되게 배치될 수 있다. 즉, 제1 흡착 플레이트(122)와, 제1 가이드바(124)와, 지지바(141)와, 제2 가이드바(134)와, 제2 흡착 플레이트(132)는 제1 방향으로 연속하여 배치될 수 있다.
다른 실시예로, 최이격 위치에서 제1 방향으로 제1 가이드바(124)의 단부와 제2 가이드바(134)의 단부 사이의 거리는 지지바(141)의 길이 L3에 대응될 수 있다.
도 5는 제1 테이블(120)과 제2 테이블(130)이 제1 방향으로 이동하여, 서로를 향해 근접한 상태를 나타낸다. 이 상태에서, 가변 테이블 장치(100)는 제1 방향으로 폭 TW'를 가질 수 있다.
제1 테이블(120)이 중앙의 제3 테이블(140), 즉, 지지바(141)를 향해 접근함에 따라, 제1 가이드바(124)가 지지바(141)의 사이로 진입하여, 제1 안착 영역(A1)의 일부와 제3 안착 영역(A3)의 일부가 중첩되는 제1 중첩 영역(B1)이 형성된다.
마찬가지로, 제2 테이블(130)이 중앙의 제3 테이블(140)을 향해 접근함에 따라, 제2 가이드바(134)가 지지바(141)의 사이로 진입하여, 제2 안착 영역(A2)의 일부와 제3 안착 영역(A3)의 일부가 중첩되는 제2 중첩 영역(B2)이 형성된다. 즉, 도 5의 X축 방향에서 보았을 때, 제1 중첩 영역(B1)에서 제1 가이드바(124)와 지지바(141)가 서로 겹치고, 제2 중첩 영역(B2)에서 제2 가이드바(134)와 지지바(141)가 서로 겹치게 된다.
이때, 도 5에 나타낸 바와 같이, 제1 가상선(IL1)과 제2 가상선(IL2)은 지지바(141) 상에 배치될 수 있다.
도 6은 제1 테이블(120)과 제2 테이블(130)이 가장 가까이 근접한 위치(이하, '최근접 위치(the nearest position)'라고도 함)에 있는 상태를 나타낸다. 최근접 위치에서, 가변 테이블 장치(100)는 제1 방향으로 폭 TW"를 가질 수 있다.
도 6에 나타낸 바와 같이, 최근접 위치에서는 제1 안착 영역(A1)과, 제2 안착 영역(A2)과, 제3 안착 영역(A3)이 모두 중첩되는 제3 중첩 영역(C1)이 형성된다. 즉, 도 6의 X축 방향에서 보았을 때, 제3 중첩 영역(C1)에서 제1 가이드바(124)와, 지지바(141)와, 제2 가이드바(134)가 모두 겹치게 된다.
이와 같은 구성을 통해, 본 발명의 일 실시예에 따른 가변 테이블 장치(100)는 제1 가이드바(124)와, 제2 가이드바(134)와, 지지바(141)가 제1 방향으로 나란히 배치되되, 제2 방향으로 서로 엇갈리도록 배치됨으로써, 기판(S)이 어느 한쪽으로 치우치는 것을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 가변 테이블 장치(100)는 제1 방향으로 제1 가이드바(124)와, 제2 가이드바(134)와, 지지바(141)가 연속하여 배치됨으로써, 기판(S)이 처지는 것, 특히, 제1 방향을 따라 아래로 처지는 것을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 가변 테이블 장치(100)는 제1 방향으로 제1 가이드바(124)와 제2 가이드바(134)를 이동시킴으로써, 다양한 크기의 기판(S)에 대응할 수 있다. 또한, 제1 안착 영역(A1)과, 제2 안착 영역(A2)과, 제3 안착 영역(A3)이 서로 중첩되는 제1 중첩 영역(B1)과, 제2 중첩 영역(B2)과, 제3 중첩 영역(B3)을 형성하여, 기판(S)이 제1 방향 및/또는 제2 방향을 따라 아래로 처지는 것을 보다 효과적으로 방지할 수 있다.
도 7은 도 1의 회전 유닛(180)을 나타내는 도면이고, 도 8은 도 7의 회전 유닛(180)에 의해 가변 테이블 장치(100)가 회전하는 상태를 나타내는 도면이다.
도 1 및 도 7을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 가변 테이블 장치(100)는 제2 베이스(170)와, 회전 유닛(180)을 더 포함할 수 있다.
제2 베이스(170)는 가변 테이블 장치(100)를 지지하며, 가변 테이블 장치(100)를 다른 부품 등에 장착시킨다. 제2 베이스(170)는 플레이트 형상을 가지며, 지면 또는 다른 부품의 장착면에 대해 수평하게 배치될 수 있다. 제2 베이스(170)의 형상은 특별히 한정하지 않으며, 가변 테이블 장치(100)의 수평을 유지하면서 지지할 수 있으면 충분하다.
회전 유닛(180)은 제1 베이스(110)와 제2 베이스(170)의 사이에 배치된다. 회전 유닛(180)은 제3 방향, 예를 들어, 도 7의 Z축 방향으로 연장되는 중심축 AX1을 가질 수 있다. 회전 유닛(180)은 외부에 배치되는 컨트롤러(미도시)와 연결되어, 중심축 AX1을 중심으로 시계 방향 또는 반시계 방향으로 제1 베이스(110)를 회전시킬 수 있다. 이에 따라, 도 8에 나타낸 바와 같이, 가변 테이블 장치(100) 전체가 회전 유닛(180)에 의해 어느 한 방향으로 회전할 수 있다.
이와 같은 구성을 통해, 본 발명의 일 실시예에 따른 가변 테이블 장치(100)는 기판(S)의 크기 및 형상 또는 공정 순서에 유연하게 대응할 수 있다. 또한 본 발명의 일 실시예에 따른 가변 테이블 장치(100)는 기판(S)이 제1 테이블(120)의 제1 흡착 플레이트(122)와, 제2 테이블(130)의 제2 흡착 플레이트(132)에 의해 고정된 상태에서 회전하게 되어, 보다 안정적으로 회전할 수 있다.
본 명세서에서는 본 발명을 한정된 실시예를 중심으로 설명하였으나, 본 발명의 범위 내에서 다양한 실시예가 가능하다. 또한 설명되지는 않았으나, 균등한 수단도 또한 본 발명에 그대로 결합되는 것이라 할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 보호범위는 아래의 청구범위에 의하여 정해져야 할 것이다.
100: 가변 테이블 장치
110: 제1 베이스
120: 제1 테이블
130: 제2 테이블
140: 제3 테이블
150: 슬라이드 가이드
160: 슬라이더
170: 제2 베이스
180: 회전 유닛
S: 기판

Claims (11)

  1. 제1 베이스;
    상기 제1 베이스 상에 제1 방향으로 이동 가능하도록 배치되며, 기판이 안착되는 제1 안착 영역을 형성하는 제1 테이블;
    상기 제1 테이블과 상기 제1 방향으로 이격되고, 상기 제1 베이스 상에 상기 제1 방향으로 이동 가능하도록 배치되며, 상기 기판이 안착되는 제2 안착 영역을 형성하는 제2 테이블; 및
    상기 제1 테이블과 상기 제2 테이블의 사이에 배치되고, 상기 제1 방향과 상이한 제2 방향으로 복수개 배치되며 상기 기판이 안착되는 제3 안착 영역을 형성하는 지지바;를 포함하고,
    상기 제1 테이블은
    상기 제1 방향으로 이동 가능하며, 복수개의 흡착홀을 구비하고, 상기 기판을 흡착 고정하는 제1 흡착 플레이트; 및
    상기 제1 흡착 플레이트의 일측에 상기 제2 방향으로 복수개 배치되어, 상기 기판을 지지하는 제1 가이드바;를 포함하고,
    상기 제2 테이블은
    상기 제1 방향으로 이동 가능하며, 복수개의 흡착홀을 구비하고, 상기 기판을 흡착 고정하는 제2 흡착 플레이트; 및
    상기 제2 흡착 플레이트의 일측에 상기 제2 방향으로 복수개 배치되어, 상기 기판을 지지하는 제2 가이드바;를 포함하며,
    상기 제1 가이드바와 상기 제2 가이드바는 상기 지지바를 향해 상기 제1 방향으로 각각 연장되며,
    상기 복수개의 지지바와, 상기 복수개의 제1 가이드바와, 상기 복수개의 제2 가이드바는 상기 제2 방향으로 서로 어긋나도록 배치되고,
    상기 복수개의 지지바 개수는 상기 복수개의 제1 가이드바 개수 또는 상기 복수개의 제2 가이드바 개수와 동일하거나 많은, 가변 테이블 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 안착 영역과, 상기 제3 안착 영역과, 상기 제2 안착 영역은 상기 제1 방향으로 순서대로 배치되는, 가변 테이블 장치.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 안착 영역은
    상기 제1 테이블의 이동에 따라, 상기 제3 안착 영역의 적어도 일부와 중첩되는, 가변 테이블 장치.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 제2 안착 영역은
    상기 제2 테이블의 이동에 따라, 상기 제3 안착 영역의 적어도 일부와 중첩되는, 가변 테이블 장치.
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 테이블과 상기 제2 테이블이 가장 이격된 위치에서,
    상기 제1 가이드바와 상기 제2 가이드바는 상기 제1 방향으로 상기 지지바의 길이만큼 이격되는, 가변 테이블 장치.
  9. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 테이블과 상기 제2 테이블이 가장 근접한 위치에서,
    상기 복수개의 제1 가이드바의 단부를 따라 연장되는 제1 가상선은 상기 복수개의 제2 가이드바 상에 배치되고,
    상기 복수개의 제2 가이드바의 단부를 따라 연장되는 제2 가상선은 상기 복수개의 제1 가이드바 상에 배치되는, 가변 테이블 장치.
  10. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 방향으로, 상기 제1 흡착 플레이트의 길이와 상기 제2 흡착 플레이트의 길이는 상기 지지바의 길이, 상기 제1 가이드바의 길이 및 상기 제2 가이드바의 길이 중 적어도 어느 하나보다 짧은, 가변 테이블 장치.
  11. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 베이스와 연결되고, 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향과 상이한 제3 방향으로 연장되는 중심축을 가지며, 상기 중심축을 중심으로 상기 제1 베이스를 적어도 어느 한 방향으로 회전시키는 회전 유닛을 더 포함하는, 가변 테이블 장치.
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