JP4885107B2 - 蒸着装置 - Google Patents

Description

本発明は、蒸着装置に関し、より詳細には、基板の垂れ現象を防止するための蒸着装置に関する。

図１は、基板支持手段を含む蒸着装置を示す斜視図である。
図１を参照すれば、基板支持装置１００はチャンバ１１０と、前記チャンバ１１０内部でチャンバ１１０内部に搬入される基板１４０の二つの辺を支持する基板支持部１２０を含む。

基板支持部１２０は、チャンバ１１０外部に具備された器具部１３０によって昇降移動を繰り返すことができる。

基板支持部１２０を利用して基板１４０を支持する方法をよく見れば、チャンバ１１０内部に基板１４０が搬入される前に器具部１３０を利用して基板支持部１２０を下降させる。チャンバ１１０内部で基板１４０が搬入されれば、基板支持部１２０を利用して基板１４０を載置させる。以後、基板支持部１２０を上部方向に上昇させる。

より具体的に、基板支持部１２０は、チャンバ１１０の下部面と対向される基板１４０の一辺及び一辺と向い合う他辺の底面を支持する。すなわち、基板１４０の二つの辺は、基板支持部１２０によって載置された形態で支持される。

しかし、上述のように基板支持部が基板１４０の二つの辺のみ支持するようになれば、大面的基板を全体的に均一に支持することができないという問題が発生する。すなわち、基板１４０が大面的化されれば、基板１４０自体の荷重が増加されて基板１４０の中央領域が参照符号Ａのように垂れるという問題がある。
大韓民国特許公開第１０−２００３−００９５５８０号明細書 大韓民国登録実用第０３８５６９９号明細書 日本特許公開第２００３−０１７２５５号明細書 日本特許公開第２００３−０１７２５８号明細書

したがって、本発明は上記問題等を解消するために導出された発明で、本発明は蒸着装置内部に基板を支持する基板補助支持部を具備して基板の垂れ現象を防止する蒸着装置を提供することを目的とする。

上記目的を果たすための本発明の一側面によれば、本発明の蒸着装置は基板支持手段を含む。ここで、基板支持手段は、チャンバ内部で、前記チャンバ内部に搬入される基板の搬入方向側辺を支持する基板支持部及び前記基板支持部で支持されない基板の他の側辺を支持する基板補助支持部を含む。

この時、前記基板補助支持部は、前記基板の少なくとも一側辺を支持する支持台、及び前記支持台を上部または下部に移動させる駆動部を含むことができる。

前記支持台は、前記基板の底面と接触する支持片が具備された固定片、及び前記固定片と駆動部を連結する連結台を含むことができる。この時、前記連結台は前記基板の両側辺へ延長された一対の構造体も可能である。また、前記固定片は前記連結台に接続され、複数から成ることができる。

また、前記基板補助支持部は、前記基板の側辺を支持する第１基板補助支持部、及び前記第１基板補助支持部と対向されて位置し、前記基板の同じ側辺を支持する第２基板補助支持部を含むことができる。

以上のように、本発明によれば、蒸着装置内部に基板を支持する基板補助支持部がさらに形成されて基板のすべての辺が支持されることができる。これによって、基板の垂れ現象を防止し、基板が全体的に均一に支持されることができる。
また、基板の垂れ現象を防止して基板前面に合着されるマスクのアレイは、工程時間を減少させることができ、基板上に薄膜を形成する場合、生産性を向上させることができる。

図２は、本発明の第１実施例による基板支持手段を含む蒸着装置を示す斜視図であり、図３は本発明の第１実施例による基板支持部及び基板補助支持部の配置関係を図示した底面図である。

図２及び図３を参照すれば、本発明の実施例による蒸着装置２００は、基板支持手段を含む。ここで、前記基板支持手段はチャンバ２１０内部に、前記チャンバ２１０内部に搬入される基板２６０の搬入方向と一致する基板の側辺を支持する基板支持部２２０、及び前記基板支持部２２０で支持されない基板２６０の他の側辺を支持する基板補助支持部２４０を含む。

基板支持部２２０は、チャンバ２１０外部に具備された器具部２３０によって昇降移動を繰り返して遂行することができる。基板支持部２２０は、昇降移動によってチャンバ２１０内部に搬入される基板２６０を支持することができる。ここで、基板２６０は四つの辺で構成されて、説明の便宜上基板２６０がチャンバ２１０内に入って行く方向と水平になる基板２６０の一辺を第１辺２６１、前記第１辺２６１に沿って第２辺２６２、第３辺２６３、及び第４辺２６４と定義する。

例えば、チャンバ２００内部に搬入される基板２６０の搬入方向と一致する一辺を第１辺２６１、第１辺２６１と向い合う辺を第３辺２６３、チャンバ２１０内部に搬入される基板２６０の方向に垂直な基板２６０の辺を第２辺２６２、第２辺２６２と向い合う辺を第４辺２６４とする。

基板支持部２２０を利用して基板２６０を支持するためにはチャンバ２１０外部に具備された器具部２３０を利用して基板支持部２２０をチャンバ２１０下部へ下降させる。チャンバ２１０内部に基板２６０が搬入されれば、基板支持部２２０を上昇させて、基板支持部２２０上に基板２６０の底面を載置させる。この時、基板支持部２２０は基板２６０の第１辺２６１と第３辺２６３を支持する。
一方、基板支持部２２０の少なくとも一側には基板２６０を補助支持する基板補助支持部２４０が具備される。

基板補助支持部２４０は、基板支持部２２０によって支持されない基板２６０の他の側辺を支持するための手段であり、本実施例では基板２６０の第２辺及び第４辺２６２、２６４を支持するようにする。

基板補助支持部２４０は、基板２６０の第２辺及び第４辺２６２、２６４を支持する支持台２４１、及び支持台２４１を上部または下部へ移動させる駆動部２４２で成る。また、支持台２４１は、基板２６０の第２辺及び第４辺２６２、２６４の底面を支持する支持片２４１ｃ、支持片２４１ｃに垂直な方向に形成され、支持片２４１ｃに載置された基板２６０の移動を防止する固定片２４１ｂ、及び固定片２４１ｂと駆動部２４２を連結する連結台２４１ａを含む。

支持片２４１ｃはさまざまな形状で形成されることができるが、基板２６０の底面をより安定的に支持するために板形状で形成する。すなわち、支持片２４１ｃは板形状で形成され、基板２６０を支持片２４１ｃ上に平坦に安着させることができる。

固定片２４１ｂは、支持片２４１ｃに垂直な方向に形成され、支持片２４１ｃの上部方向に固定片２４１ｂを突出させて支持片２４１ｃに載置された基板２６０の移動を防止することができる。

チャンバ２１０の外部には、基板補助支持部２４０を駆動させるための駆動部２４２が形成される。駆動部２４２は、支持台２４１と機械的に結合されて、支持台２４１を上昇または下降させることができる。

また、駆動部２４２と固定片２４１ｂとを連結させるために、駆動部２４２と固定片２４１ｂとの間に連結台２４１ａを形成する。連結台２４１ａは、駆動部２４２に接続された円筒部材２４１ｆ、固定片２４１ｂと直交する方向に形成された第１スチック部材２４１ｄ、円筒部材２４１ｆと第１スチック部材２４１ｄとを連結する第２スチック部材２４１ｅで成る。また、連結台２４１ａ及び固定片２４１ｂは、基板２６０及び基板２６０の前面に具備されるマスク（図示せず）と接触されることを防止するために基板２６０及び基板支持部２２０のまわりの方向と離隔して形成されることが望ましい。

このように、支持台２４１及び駆動部２４２は、互いに接続されて一体型に形成されることで、駆動部２４２を利用して支持片２４１ｃ及び固定片２４１ｂを上昇または下降させることができる。
また、支持片２４１ｃ、固定片２４１ｂ、及び連結台２４１ａを含む支持台２４１は、基板２６０の第２辺２６２と第４辺２６４とを間に置いて互いに同じ構造体で形成されて、基板２６０の第２辺２６２と第４辺２６４を均一に支持することができる。

このように、本実施例は、基板補助支持部２４０を介して基板支持部２２０に支持されない基板２６０の第２辺２６２及び第４辺２６４を支持して、基板２６０の４つの辺すべてを均一に支持することができる。

これによって、基板２６０がチャンバ２１０の下部面へ垂れることを防止することができ、基板支持手段に大面的基板２６０を載置させることができる。また、基板２６０の垂れ現象を防止することによって、基板２６０と合着されるマスクアライン工程時間を減少させることができる。

図４Ａないし図４Ｃは、本発明の第１実施例による基板の支持方法を説明するための斜視図である。

図４Ａを参照すれば、チャンバ２１０内部の上端に具備された基板支持部２２０及び基板補助支持部２４０をチャンバ２１０の下部方向へ下降させる。この時、基板補助支持部２４０は基板支持部２２０よりチャンバ２１０下部面との離隔距離を短く位置させる。以後、チャンバ２１０内部で基板２６０を搬入させるために、基板出入部を開放させる。

図４Ｂを参照すれば、基板２６０がチャンバ２１０内部に搬入されれば、基板２６０を基板支持部２２０の間に位置させる。以後、器具部２３０を利用して基板支持部２２０を昇降させて、基板２６０を基板支持部２２０に載置させる。この時、基板支持部２２０は基板２６０の第１辺と前記第３辺２６１、２６３を支持する。

図４Ｃを参照すれば、基板２６０の第２辺と第４辺２６２、２６４を支持するために、駆動部２４２を利用して基板補助支持部２４０を昇降させる。これによって、基板２６０の第２辺２６２及び第４辺２６４は基板補助支持部２４０によって載置される。このように、蒸着装置２００は基板支持部２２０及び基板補助支持部２４０を具備して、基板２６０の四つの辺を支持して基板２６０の垂れ現象を防止することができる。

図５は、本発明の第２実施例による基板支持手段を含む蒸着装置を示す斜視図であり、図６は本発明の第２実施例による基板支持部及び基板補助支持部の配置関係を図示した底面図である。

図５及び図６を参照すれば、本発明の蒸着装置３００は基板支持手段を含む。前記基板支持手段はチャンバ３１０内部に、前記チャンバ３１０内部に搬入される基板３６０の搬入方向と一致する基板の側辺を支持する基板支持部３２０、及び前記基板支持部３２０で支持されない基板３６０の他の側辺を支持する基板補助支持部３４０を含む。

本発明の第２実施例は第１実施例と全体的に同じであるが、基板３６０の底面と接触する支持片３４１ｃが具備された固定片３４１ｂが複数から成り、基板３６０の第２辺３６２及び第４辺３６４が均衡的に支持されることができる。

図７は、本発明の第３実施例による基板支持手段を含む蒸着装置を示す斜視図であり、図８は、本発明の第３実施例による基板支持部及び基板補助支持部の配置関係を図示した底面図である。

図７及び図８を参照すれば、本発明の蒸着装置４００は基板支持手段を含む。前記基板支持手段は、チャンバ４１０内部に、前記チャンバ４１０内部に搬入される基板４７０の搬入方向と一致する基板の側辺を支持する基板支持部４２０、及び前記基板支持部４２０で支持されない基板４７０の他の側辺を支持する基板補助支持部４４０、４６０を含む。

本発明の第３実施例は、第１実施例と全体的に同じであるが、基板補助支持部を第１基板補助支持部４４０、及び第２基板補助支持部４６０で設置する。

第１基板補助支持部４４０は、基板支持部４２０の右側面に配置されて、基板４７０の第２辺４７２及び第４辺４７４の右側領域を支持する。第２基板補助支持部４６０は、基板支持部４２０の左側面に形成されて、基板４７０の第２辺４７２及び第４辺４７４の左側領域を支持する。これによって、基板４７０の第２辺４７２及び第４辺４７４は基板補助支持部によってより安定的に支持されることができる。

基板支持手段を含む蒸着装置を示す斜視図である。 本発明の第１実施例による基板支持手段を含む蒸着装置を示す斜視図である。 本発明の第１実施例による基板支持部及び基板補助支持部の配置関係を図示した底面図である。 本発明の第１実施例による基板の支持方法を説明するための斜視図である。 本発明の第１実施例による基板の支持方法を説明するための斜視図である。 本発明の第１実施例による基板の支持方法を説明するための斜視図である。 本発明の第２実施例による基板支持手段を含む蒸着装置を示す斜視図である。 本発明の第２実施例による基板支持部及び基板補助支持部の配置関係を図示した底面図である。 本発明の第３実施例による基板支持手段を含む蒸着装置を示す斜視図である。 本発明の第３実施例による基板支持部及び基板補助支持部の配置関係を図示した底面図である。

符号の説明

２１０ チャンバ
２２０ 基板支持部
２３０ 器具部
２４０ 基板補助支持部
２５０ 駆動部

Claims (6)

1. 基板支持手段を具備する蒸着装置において、
   前記基板支持手段は、チャンバ内部で、前記チャンバ内部に搬入される基板の搬入方向と一致する基板の側辺を支持する基板支持部と、
   前記基板支持部で支持されない基板の他の側辺を支持する基板補助支持部と、
   を含み、
   前記基板支持手段と前記基板補助支持部とは、別々に、基板の厚さ方向に昇降移動させられるようになっていることを特徴とする蒸着装置。
2. 前記基板補助支持部は、
   前記基板の少なくとも一側辺を支持する支持台と、
   前記支持台を上部または下部に移動させる駆動部と、
   を含むことを特徴とする請求項１に記載の蒸着装置。
3. 前記支持台は、
   前記基板の底面と接触する支持片が具備された固定片と、
   前記固定片と駆動部とを連結する連結台を含むことを特徴とする請求項２に記載の蒸着装置。
4. 前記連結台は、前記基板の両側辺へ延長された一対の構造体であることを特徴とする請求項３に記載の蒸着装置。
5. 前記固定片は、前記連結台に接続され、複数から成ることを特徴とする請求項３に記載の蒸着装置。
6. 請求項１ないし請求項５のいずれか一項の蒸着装置において、
   前記基板補助支持部は、
   前記基板の側辺を支持する第１基板補助支持部と、
   前記第１基板補助支持部と対向されて位置し、前記基板の同じ側辺を支持する第２基板補助支持部を含むことを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれか一項に記載の蒸着装置。

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