KR100947425B1 - 증착장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판의 처짐현상을 방지하기 위한 증착장치에 관한 것으로, 본 발명의 증착장치는 기판 지지 수단을 포함한다. 여기서, 기판 지지 수단은 챔버 내부에서, 상기 챔버 내부로 반입되는 기판의 반입방향 측변을 지지하는 기판 지지부; 및 상기 기판 지지부에서 지지하지 않는 기판의 다른 측변을 지지하는 기판 보조 지지부를 포함한다.

Description

증착장치{Evaporation Apparatus}
본 발명은 증착장치에 관한 기술로서, 더욱 상세하게는 기판의 처짐현상을 방지하기 위한 증착장치에 관한 것이다.
이하에서 일반적인 기판 지지 수단을 포함하는 증착장치에 대해 설명하도록 한다.
도 1은 기판 지지 수단을 포함하는 증착장치를 나타내는 사시도이다.
도 1을 참조하면, 기판 지지 장치(100)는 챔버(110)와, 상기 챔버(110) 내부에서 챔버(110) 내부로 반입되는 기판(140)의 두 변을 지지하는 기판 지지부(120)를 포함한다.
기판 지지부(120)는 챔버(110) 외부에 구비된 기구부(130)에 의해 승, 하강이동을 반복할 수 있다.
기판 지지부(120)를 이용하여 기판(140)을 지지하는 방법을 살펴보면, 챔버(110) 내부에 기판(140)이 반입되기 전에 기구부(130)를 이용하여 기판 지지부(120)를 하강시킨다. 챔버(110) 내부로 기판(140)이 반입되면, 기판 지지부(120)를 이용하여 기판(140)을 재치시킨다. 이후, 기판 지지부(120)를 상부 방 향으로 상승시킨다.
보다 구체적으로, 기판 지지부(120)는 챔버(110)의 하부면과 대향되는 기판(140)의 일 변 및 일 변과 마주하는 타 변의 저면을 지지한다. 즉, 기판(140)의 두 변은 기판 지지부(120)에 의해 재치된 형태로 지지된다.
그러나 전술한 바와 같이 기판 지지부가 기판(140)의 두 변만 지지하게 되면, 대면적 기판을 전체적으로 균일하게 지지하지 못하는 문제가 발생한다. 즉, 기판(140)이 대면적화되면, 기판(140) 자체의 하중이 증가되어 기판(140)의 중앙 영역이 "A"와 같이 처지게되는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명은 전술한 문제점들을 해소하기 위해 도출된 발명으로, 본 발명은 증착장치 내부에 기판을 지지하는 기판 보조 지지부를 구비하여 기판의 처짐현상을 방지하는 증착장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
전술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따르면, 본 발명의 증착장치는 기판 지지 수단을 포함한다. 여기서, 기판 지지 수단은 챔버 내부에서, 상기 챔버 내부로 반입되는 기판의 반입방향 측변을 지지하는 기판 지지부 및 상기 기판 지지부에서 지지하지 않는 기판의 다른 측변을 지지하는 기판 보조 지지부를 포함한다.
이때, 상기 기판 보조 지지부는 상기 기판의 적어도 일 측변을 지지하는 지 지대 및 상기 지지대를 상부 또는 하부로 이동시키는 구동부를 포함할 수 있다. 상기 지지대는 상기 기판의 저면과 접촉하는 지지편이 구비된 고정편 및 상기 고정편과 구동부를 연결하는 연결대를 포함할 수 있다. 이때, 상기 연결대는 상기 기판의 양 측변으로 연장된 한 쌍의 구조체일 수 있다. 또한, 상기 고정편은 상기 연결대와 연결되어 복수 개로 이루어질 수 있다.
또한, 상기 기판 보조 지지부는 상기 기판의 측변을 지지하는 제1 기판 보조 지지부 및 상기 제1 기판 보조 지지부와 대향되어 위치하고, 상기 기판의 동일한 측변을 지지하는 제2 기판 보조 지지부를 포함할 수 있다.
본 발명은 증착장치 내부에 기판을 지지하는 기판 보조 지지부가 더 형성되어 기판의 모든 변이 지지될 수 있다. 이에 따라, 기판의 처짐현상을 방지하고, 기판이 전체적으로 균일하게 지지될 수 있다.
또한, 기판의 처짐현상을 방지하여 기판 전면에 합착되는 마스크의 얼라인 공정 시간을 감소시킬 수 있으며, 기판 상에 박막들을 형성할 경우 생산성을 향상시킬 수 있다.
이하에서는, 본 발명의 실시예를 도시한 도면을 참조하여, 본 발명을 보다 구체적으로 설명한다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 지지 수단을 포함하는 증착장치를 나타내는 사시도이고, 도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 지지부 및 기판 보조 지지부의 배치 관계를 도시한 저면도이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 증착장치(200)는 기판 지지 수단을 포함한다. 여기서, 상기 기판 지지 수단은 챔버(210) 내부에서, 상기 챔버(210) 내부로 반입되는 기판(260)의 반입방향 측변을 지지하는 기판 지지부(220) 및 상기 기판 지지부(220)에서 지지하지 않는 기판(260)의 다른 측변을 지지하는 기판 보조 지지부(240)를 포함한다.
기판 지지 수단(220)은 챔버(210) 외부에 구비된 기구부(230)에 의해 승·하강 이동을 반복 수행할 수 있다. 기판 지지부(220)는 승·하강 이동을 통해, 챔버(210) 내부로 반입되는 기판(260)을 지지할 수 있다.
여기서, 기판(260)은 4 개의 변으로 구성되며, 설명의 편의상 챔버(210) 내로 들어오는 기판(260)의 방향과 수평하는 기판(260)의 변을 제1 변(261), 상기 제1 변(261)을 따라 제2 변(262), 제3 변(263) 및 제4 변(264)이라 정의하도록 한다.
예를 들어, 챔버(200) 내부로 반입되는 기판(260)의 반입 방향 변을 제1 변(261), 제1 변(261)과 마주하는 변을 제3 변(263), 챔버(210) 내부로 반입되는 기판(260)의 방향과 수직하는 기판(260)의 변을 제2 변(262), 제2 변(262)과 마주하는 변을 제4 변(264)이라 한다.
기판 지지부(220)를 이용하여 기판(260)을 지지하기 위해서는 챔버(210) 외부의 구비된 기구부(230)를 이용하여 기판 지지부(220)를 챔버(210) 하부로 하강시킨다. 챔버(210) 내부로 기판(260)이 반입되면, 기판 지지부(220)를 상승시켜, 기판 지지부(220) 상에 기판(260)의 저면을 재치시킨다. 이때, 기판 지지부(220)는 기판(260)의 제1 변(261)과 제3 변(263)을 지지한다.
한편, 기판 지지부(220)의 적어도 일 측에는 기판(260)을 보조 지지해주는 기판 보조 지지부(240)가 구비된다.
기판 보조 지지부(240)는 기판 지지부(220)에 의해 지지되지 않은 기판(260)의 다른 측변을 지지하기 위한 수단으로, 본 실시예에서는 기판(260)의 제2 변 및 제4 변(262,264)을 지지하도록 한다.
기판 보조 지지부(240)는 기판(260)의 제2 변 및 제4 변(262,264)을 지지해주는 지지대(241), 및 지지대(241)를 상부 또는 하부로 이동시키기는 구동부(242)로 이루어진다. 또한, 지지대(241)는 기판(260)의 제2 변 및 제4 변(262,264)의 저면을 지지하는 지지편(241c), 지지편(241c)과 수직되는 방향으로 형성되어, 지지편(241c)에 재치된 기판(260)의 이동을 방지하는 고정편(241b) 및 고정편(241b)과 구동부(242)를 연결하는 연결대(241a)를 포함한다.
지지편(241c)은 여러가지 형상으로 형성될 수 있으나, 기판(260)의 저면을 보다 안정적으로 지지하기 위해 판 형상으로 형성된다. 즉, 지지편(241c)은 판 형상으로 형성되어, 기판(260)을 지지편(241c) 상에 평평하게 안착시킬 수 있다.
고정편(241b)은 지지편(241c)과 수직하는 방향으로 형성되며, 지지편(241c)의 상부방향으로 고정편(241b)을 돌출시켜 지지편(241c)에 재치된 기판(260)의 이동을 방지할 수 있다.
챔버(210)의 외부에는 기판 보조 지지부(240)를 구동시키기 위한 구동부(242)가 형성된다. 구동부(242)는 지지대(241)와 기계적으로 결합되어, 지 지대(241)를 승강 또는 하강시킬 수 있다.
또한, 구동부(242)와 고정편(241b)을 연결시키기 위해, 구동부(242)와 고정편(241b) 사이에 연결대(241a)를 형성한다. 연결대(241a)는 구동부(242)와 연결된 원통부재(241f), 고정편(241b)과 직교하는 방향으로 형성된 제1 스틱부재(241d), 원통부재(241f)와 제1 스틱부재(241d)를 연결하는 제2 스틱부재(241e)로 이루어진다. 또한, 연결대(241a) 및 고정편(241b)은 기판(260) 및 기판(260)의 전면에 구비되는 마스크(미도시)와 접촉되는 것을 방지하기 위해 기판(260) 및 기판 지지 수단(220)의 둘레 방향과 이격하여 형성되는 것이 바람직하다.
이와 같이, 지지대(241)와 구동부(242)는 서로 연결되어 일체형으로 형성됨으로써, 구동부(242)를 이용하여 지지편(241c) 및 고정편(241b)을 승강 또는 하강시킬 수 있다.
또한, 지지편(241c), 고정편(241b), 연결대(241a)를 포함하는 지지대(241)는 기판(260)의 제2 변과 제4 변(262,264)을 사이에 두고 서로 동일한 구조체로 형성되어, 기판(260)의 제2 변과 제4 변(262,264)을 균일하게 지지할 수 있다.
이와 같이, 본 실시예는 기판 보조 지지부(240)를 통해 기판 지지부(220)에 지지되지 않는 기판(260)의 제2 변 및 제4 변(262,264)을 지지하여, 기판(260)의 네 변 모두를 균일하게 지지할 수 있다.
이에 따라, 기판(260)이 챔버(210)의 하부면으로 처지는 것을 방지할 수 있고, 기판 지지 수단에 대면적 기판(260)을 재치시킬 수 있다. 또한, 기판(260)의 처짐현상을 방지함에 따라, 기판(260)과 합착되는 마스크 얼라인 공정시간을 감소 시킬 수 있다.
도 4a 내지 도 4c는 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판의 지지 방법을 설명하기 위한 사시도이다.
도 4a를 참조하면, 챔버(210) 내부의 상단에 구비된 기판 지지부(220) 및 기판 보조 지지부(240)를 챔버(210)의 하부 방향으로 하강시킨다. 이때, 기판 보조 지지부(240)는 기판 지지부(220)보다 챔버(210) 하부면과의 이격 거리를 짧게 위치시킨다. 이후, 챔버(210) 내부로 기판(260)을 반입시키기 위해, 기판 출입부를 개방시킨다.
도 4b를 참조하면, 기판(260)이 챔버(210) 내부로 반입되면, 기판(260)을 기판 지지부(220) 사이에 위치시킨다. 이후, 기구부(230)를 이용하여 기판 지지부(220)를 승강시켜, 기판(260)을 기판 지지부(220)에 재치시킨다. 이때, 기판 지지부(220)는 기판(260)의 제1 변과 상기 제3 변(261,263)을 지지한다.
도 4c를 참조하면, 기판(260)의 제2 변과 제4 변(262,264)을 지지하기 위해, 구동부(242)를 이용하여 기판 보조 지지부(240)를 승강시킨다. 이에 따라, 기판(260)의 제2 변 및 제4 변(262,264)은 기판 보조 지지부(240)에 의해 재치된다.
이와 같이, 증착장치(200)는 기판 지지부(220) 및 기판 보조 지지부(240)를 구비하여, 기판(260)의 네 변 모두를 지지하여 기판(260)의 처짐현상을 방지할 수있다.
도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 기판 지지 수단을 포함하는 증착장치를 나타내는 사시도이고, 도 6은 본 발명의 제2 실시예에 따른 기판 지지부 및 기판 보조 지지부의 배치 관계를 도시한 저면도이다.
도 5 및 도 6을 참조하면, 본 발명의 증착장치(300)는 기판 지지 수단을 포함한다. 여기서, 상기 기판 지지 수단은 챔버(310) 내부에서, 상기 챔버(310) 내부로 반입되는 기판(360)의 반입방향 측변을 지지하는 기판 지지부(320) 및 상기 기판 지지부(320)에서 지지하지 않는 기판(360)의 다른 측변을 지지하는 기판 보조 지지부(340)를 포함한다.
본 발명의 제2 실시예는 제1 실시예와 전체적으로 동일하되, 기판(360)의 저면과 접촉하는 지지편(341c)이 구비된 고정편(341b)이 복수 개로 이루어져, 기판(360)의 제2 변 및 제4 변(362,364)이 균형적으로 지지될 수 있다.
도 7은 본 발명의 제3 실시예에 따른 기판 지지 수단을 포함하는 증착장치를 나타내는 사시도이고, 도 8은 본 발명의 제3 실시예에 따른 기판 지지부 및 기판 보조 지지부의 배치 관계를 도시한 저면도이다.
도 7 및 도 8을 참조하면, 본 발명의 증착장치(400)는 기판 지지 수단을 포함한다. 여기서, 상기 기판 지지 수단은 챔버(410) 내부에서, 상기 챔버(410) 내부로 반입되는 기판(470)의 반입방향 측변을 지지하는 기판 지지부(420) 및 상기 기판 지지부(420)에서 지지하지 않는 기판(470)의 다른 측변을 지지하는 기판 보조 지지부(440,460)를 포함한다.
본 발명의 제3 실시예는 제1 실시예와 전체적으로 동일하되, 기판 보조 지지부를 제1 기판 보조 지지부(440) 및 제2 기판 보조 지지부(460)로 설치한다.
제1 기판 보조 지지부(440)는 기판 지지부(420)의 우측면에 배치되어, 기 판(470)의 제2 변 및 제4 변(472,474)의 우측 영역을 지지해준다. 제2 기판 보조 지지부(460)는 기판 지지부(420)의 좌측면에 형성되어, 기판(470)의 제2 변 및 제4 변(472,474)의 좌측 영역을 지지해준다.
이에 따라, 기판(470)의 제2 변 및 제4 변(472,474)은 기판 보조 지지부에 의해 보다 안정적으로 지지될 수 있다.
본 발명의 증착장치는 OLED(Organic Light Emitting Display Device), LCD(Liquid Crystal Display), FED(Field Emission Display), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), 및 VFD(Vacuum Fluorescent Display)에 적용될 수 있음을 당업자에게 자명하다.
이상에서와 같이 상세한 설명과 도면을 통해 본 발명의 최적 실시예를 개시하였다. 용어들은 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미 한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.
도 1은 기판 지지 수단을 포함하는 증착장치를 나타내는 사시도.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 지지 수단을 포함하는 증착장치를 나타내는 사시도.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 지지부 및 기판 보조 지지부의 배치 관계를 도시한 저면도.
도 4a 내지 도 4c는 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판의 지지 방법을 설명하기 위한 사시도.
도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 기판 지지 수단을 포함하는 증착장치를 나타내는 사시도.
도 6은 본 발명의 제2 실시예에 따른 기판 지지부 및 기판 보조 지지부의 배치 관계를 도시한 저면도.
도 7은 본 발명의 제3 실시예에 따른 기판 지지 수단을 포함하는 증착장치를 나타내는 사시도.
도 8은 본 발명의 제3 실시예에 따른 기판 지지부 및 기판 보조 지지부의 배치 관계를 도시한 저면도.
♣ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ♣
210 : 챔버 220 : 기판 지지부
230 : 기구부 240 : 기판 보조 지지부
250 : 구동부

Claims (6)

  1. 기판 지지 수단을 구비하는 증착장치에 있어서,
    상기 기판 지지 수단은
    챔버 내부에서 상기 챔버 내부로 반입되는 기판의 반입방향 측변을 지지하는 기판 지지부; 및
    상기 기판 지지부에서 지지하지 않는 기판의 다른 측변을 지지하는 기판 보조 지지부를 포함하며,
    상기 기판 보조 지지부는
    상기 기판의 적어도 일 측변을 지지하는 지지대; 및
    상기 지지대를 상부 또는 하부로 이동시키는 구동부를 포함하는 증착장치.
  2. 삭제
  3. 제1 항에 있어서, 상기 지지대는
    상기 기판의 저면과 접촉하는 지지편이 구비된 고정편; 및
    상기 고정편과 구동부를 연결하는 연결대를 포함하는 증착장치.
  4. 제3 항에 있어서, 상기 연결대는 상기 기판의 양 측변으로 연장된 한 쌍의 구조체인 증착장치.
  5. 제3 항에 있어서, 상기 고정편은 상기 연결대와 연결되어 복수 개로 이루어지는 증착장치.
  6. 제1 항에 있어서, 상기 기판 보조 지지부는
    상기 기판의 측변을 지지하는 제1 기판 보조 지지부; 및
    상기 제1 기판 보조 지지부와 대향되어 위치하고, 상기 기판의 동일한 측변을 지지하는 제2 기판 보조 지지부를 포함하는 증착장치.
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