KR100484017B1 - 이중 버퍼 및 어라이너가 구비된 로드락 챔버 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 평판표시소자 제조장치의 로드락 챔버에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판을 지지할 수 있는 이중 버퍼 및 상기 이중 버퍼에 지지된 기판의 위치를 보정할 수 있는 어라이너가 구비된 평판표시소자 제조장치의 로드락 챔버에 관한 것이다.
본 발명에 따른 평판표시소자 제조장치의 로드락 챔버는, 평판표시소자 제조장치의 로드락챔버에 있어서, 2개의 기판을 동시에 적재할 수 있는 이중 버퍼; 및 상기 이중 버퍼에 적재된 기판의 위치를 조정할 수 있는 어라이너;가 구비되는 것을 특징으로 한다.
Description
본 발명은 평판표시소자 제조장치의 로드락 챔버에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판을 지지할 수 있는 이중 버퍼 및 상기 이중 버퍼에 지지된 기판의 위치를 보정할 수 있는 어라이너가 구비된 평판표시소자 제조장치의 로드락 챔버에 관한 것이다.
일반적으로 평판표시소자 제조장치는 로드락 챔버, 반송 챔버, 공정챔버의 3가지 챔버로 구성된다. 이때, 상기 로드락 챔버는 외부로부터 공정이 수행될 기판을 반입하고, 공정챔버에서 공정이 완료된 기판을 외부로 반출하는 역할을 하는 챔버로서, 기판이 적재될 수 있는 기판지지수단이 구비된다.
또한, 상기 반송챔버는 상기 로드락 챔버와 공정챔버 사이에 설치되며, 상기 로드락 챔버와 공정챔버 간의 기판의 교환 과정에 있어서, 그 경유지로 사용되는 공간이다. 이때, 상기 반송챔버에는 기판을 로드락 챔버와 공정챔버로 옮길 수 있는 로봇이 설치되는 것이 일반적이다.
그리고 상기 공정챔버는 기판에 실제로 여러가지 공정을 진행하는 장소로서, 공정 진행에 필요한 여러가지 기구가 구비되며 기판을 승강할 수 있는 기판 승강핀 등이 구비된다.
종래의 로드락 챔버에도 기판을 지지하는 기판 지지수단이 구비되어 있었으나, 그 구조가 복잡하고 두개의 기판을 동시에 적재시키지 못하는 문제점이 있다. 또한, 기판이 점점 대형화되면서 기판을 지지하는 부위가 좁아서 대형 기판의 지지에는 적합하지 못한 문제점이 있다.
본 발명의 목적은 2개의 기판을 동시에 지지할 수 있는 이중 버퍼가 구비된 로드락 챔버를 제공함에 있다.
본 발명의 다른 목적은 가장 자리 부분의 처짐 현상 없이 대형 기판을 지지하는데 적합한 이중 버퍼가 구비된 로드락 챔버를 제공함에 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 상기 이중 버퍼에 지지된 기판이 정확한 위치에 위치되도록 기판의 위치를 보정할 수 있는 어라이너(Aligner)가 구비된 로드락 챔버를 제공함에 있다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 평판표시소자 제조장치의 로드락 챔버는, 평판표시소자 제조장치의 로드락챔버에 있어서, 2개의 기판을 동시에 적재할 수 있는 이중 버퍼; 및 상기 이중 버퍼에 적재된 기판의 위치를 조정할 수 있는 어라이너;가 구비되는 것을 특징으로 한다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 평판표시소자 제조장치의 로드락 챔버의 각 구성요소의 구조 및 작용을 상세하게 설명한다.
본 발명에 따른 평판표시소자 제조장치의 로드락 챔버에는 이중 버퍼(100)와 어라이너(200)가 구비된다.
상기 이중 버퍼(100)는 2개의 기판을 동시에 적재할 수 있도록 구비된다. 따라서 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 이중 버퍼(100)에는 제1 버퍼(110) 및 상기 제1 버퍼(110)의 하부에 상기 제1 버퍼(110)와 평행하게 설치되는 제 2 버퍼(120)가 구비된다. 이때 상기 제1, 제2 버퍼(110, 120)는 동일한 판상의 형태로 이루어지는 것이 바람직하다. 이는 상기 제1, 제2 버퍼(110, 120)에 지지되는 기판(130)이 동일한 기판이므로 양 버퍼(110, 120)가 동일한 형상 및 크기를 가지는 것이 동일한 크기의 기판의 지지에 유리하기 때문이다.
그리고 상기 제1 버퍼(110)와 상기 제2 버퍼(120)는 도 2에 도시된 바와 같이, 연결부재(140)에 의하여 연결되는데, 상기 연결부재(140)는 상기 제1, 제2 버퍼(110, 120)의 일측면 가장자리를 연결한다. 이는, 상기 제2 버퍼(120)에도 기판이 지지되어야 하기 때문에 상기 제1 버퍼(110)와 제2 버퍼(120) 사이에 많은 연결부재를 설치할 수 없으며, 특히, 상기 제1 버퍼(110)와 제2 버퍼(120) 사이의 4면 중 한 면을 제외하고 3면은 개방되어야 하므로 어느 한면에만 연결부재를 설치할 수 있기 때문이다.
또한, 상기 제1 버퍼(110)와 제2 버퍼(120)에는 도 1에 도시된 바와 같이, 각각 양측에 복수개의 보조지지대(150)가 구비된다. 즉, 제1, 제2 버퍼(110, 120)의 좌우 양측에 외측으로 돌출되는 보조지지대(150)가 소정 간격으로 구비됨으로써 상기 제1, 제2 버퍼(110, 120)에 대형 기판이 지지되더라도 상기 기판(130)의 가장자리가 처지는 현상이 발생하지 않도록 하는 것이다.
그리고 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 제1 버퍼(110) 및 제2 버퍼(120)에는 소정 간격으로 다수개의 지지핀(160)이 형성된다. 이때 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 지지핀(160)은 그 상부에 기판(130)이 지지된 채로 상기 기판(130)과 제1, 제2 버퍼(110, 120) 사이의 공간으로 로봇 핸드(도면에 미도시)가 통과할 수 있도록 소정 길이를 갖도록 구비되는 것이 바람직하다.
또한 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 보조지지대(150)에도 소정 간격으로 복수개의 지지핀(160)이 형성되는 것이 바람직하다.
그리고 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 제2 버퍼(120)의 중앙부에는 1개의 구동부(170)가 구비된다. 상기 구동부(170)는 로드락 챔버(10)의 외부와 연결되며, 그 연결부위는 벨로우즈 모듈에 의하여 보호된다. 이때, 상기 구동부(170)는 로드락 챔버(10) 외부에 설치되어 있는 구동 모터(도면에 미도시)와 연결된다. 따라서, 상기 구동 모터의 구동에 의하여 상기 이중 버퍼(100)가 상하로 이동할 수 있는 것이다.
또한 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 제2 버퍼(120)의 각 모서리에는 구동 가이드부(180)가 더 구비되는 것이 바람직하다. 즉, 상기 이중 버퍼(100)가 상하로 구동하는 경우에 구동부가 하나이므로 정확한 직진 운동이 되지 못할 수 있으므로 상기 제2 버퍼(120)의 각 모서리에 긴 원기둥 형상의 구동 가이드부(180)를 설치하여 상기 이중 버퍼(100)의 상하 운동이 정확한 직진운동이 될 수 있도록 보조하는 것이다.
다음으로 상기 로드락 챔버(10)에는 상기 이중 버퍼(100)에 적재된 기판(130)의 위치를 조정할 수 있는 어라이너(200)가 더 구비된다.
상기 어라이너(200)는 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 로드락 챔버에 상기 이중 버퍼(100) 및 상기 이중 버퍼에 지지되는 기판(130)의 움직임에 방해되지 않도록 구비되는 것이 바람직하다. 상기 어라이너(200)는 상기 기판(130)이 상기 이중 버퍼(100)에 위치된 후에 상기 기판(130)의 위치를 정확한 곳으로 정정하기 위해서 상기 기판(130)의 모서리 부분을 밀어주는 역할을 하므로 상기 기판(130)이 상기 이중버퍼(100)에 위치되는 과정이나, 상기 이중 버퍼(100)가 상하로 이동하면서 상기 기판을 로봇 핸드에 인계하는 과정 등에서 방해가 되지 않아야 하기 때문이다. 이때 도 5에 도시된 바와 같이 상기 어라이너(200)는 상기 로드락 챔버(10)의 마주보는 모서리에 2개가 대칭되게 구비되는 것이 더욱 바람직하다. 이는 로드락 챔버(10)의 구조를 간단하게 하고, 단 한번 어라이너(200)를 구동시킴으로써 기판의 얼라인을 완료하여 기판의 얼라인에 적은 시간을 소비하도록 하기 위함이다.
그리고 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 어라이너(200)에는 수평방향으로 구동되어, 상기 기판(130)의 위치를 변경시키는 기판접촉부(210)가 구비된다. 즉, 상기 어라이너(200)가 수직축(220)에 의하여 상기 로드락 챔버(10)의 외부에 설치되어 있는 구동 모터(230)에 의하여 수평 방향으로 구동함으로써 상기 이중 버퍼(100)에 위치된 기판(130)의 위치를 미세하게 변경시키는 것이다.
또한 상기 어라이너(200)는 도 6에 도시된 바와 같이, 상하 운동 가이드부(240)가 구비되어 상기 기판 접촉부(210)가 상하 방향으로 구동될 수 있도록 구비되는 것이 바람직하다.
본 발명의 평면표시소자 제조장치의 로드락 챔버에 의하면 2개의 기판을 동시에 지지할 수 있으므로 로드락 챔버내에서 기판의 교환이 용이한 장점이 있다.
또한, 본 발명의 평판표시소자 제조장치의 로드락 챔버에 의하면 이중 버퍼에 보조지지대가 더 설치되어 있어서 가장 자리 부분의 처짐 현상 없이 대형 기판을 지지할 수 있는 장점이 있다.
그리고 본 발명의 평판표시소자 제조장치의 로드락 챔버에 의하면 상기 이중 버퍼에 지지된 기판이 정확한 위치에 위치되도록 기판의 위치를 보정할 수 있는 장점이 있다.
도 1은 본 발명에 따른 이중버퍼의 구조를 나타내는 평면 사시도이다.
도 2는 본 발명에 따른 이중버퍼의 구조를 나타내는 단면도이다.
도 3은 본 발명에 따른 이중버퍼에 기판이 지지된 모습을 나타내는 단면도이다.
도 4는 본 발명에 따른 이중버퍼의 구조를 나타내는 저면 사시도이다.
도 5는 본 발명에 따른 어라이너가 로드락챔버에 설치된 모습을 나타내는 평면도이다.
도 6은 본 발명에 따른 어라이너의 구조를 나타내는 사시도이다.
< 도면의 주요부분에 대한 부호 설명 >
10 : 로드락 챔버 100 : 이중 버퍼
110 : 제1 버퍼 120 : 제2 버퍼
130 : 기판 140 : 연결부재
150 : 보조지지대 160 : 지지핀
170 : 구동부 180 : 구동 가이드부
200 : 어라이너 210 : 기판접촉부
220 : 수직축 230 : 구동 모터
240 : 상하운동 가이드부
Claims (13)
- 평판표시소자 제조장치의 로드락챔버에 있어서,2개의 기판을 동시에 적재할 수 있는 이중 버퍼; 및상기 이중 버퍼에 적재된 2개의 기판을 동시에 위치 조정할 수 있는 어라이너;가구비되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 로드락 챔버.
- 제1항에 있어서, 상기 이중 버퍼에는,제1 버퍼 및 상기 제1 버퍼의 하부에 상기 제1 버퍼와 평행하게 구비되는 제 2 버퍼로 구성되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 로드락 챔버.
- 제2항에 있어서, 상기 제1 버퍼와 상기 제2 버퍼는,상기 제1, 제2 버퍼의 일측면을 연결하는 연결부재에 의하여 연결되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 로드락 챔버.
- 제2항에 있어서, 상기 제1 버퍼와 제2 버퍼에는,각각 양측에 수평방향으로 돌출되어 마련되며, 기판의 가장자리를 지지하는 복수개의 보조지지대가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 로드락 챔버.
- 제4항에 있어서, 상기 제1 버퍼 및 상기 제2 버퍼에는,상기 제1 버퍼 및 제2 버퍼의 상면에 수직방향으로 돌출되어 형성되며, 그 상단에 기판이 지지되는 다수개의 지지핀이 소정 간격 이격되어 형성되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 로드락 챔버.
- 제5항에 있어서, 보조지지대에는,상기 보조지지대의 상면에 수직방향으로 돌출되어 형성되며, 그 상단에 기판이 지지되는 다수개의 지지핀이 소정 간격 이격되어 형성되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 로드락 챔버.
- 제6항에 있어서,상기 제2 버퍼의 하부에 결합되어 마련되며, 상기 이중 버퍼를 상하 방향으로 구동시키는 구동부가 구비되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 로드락 챔버.
- 제7항에 있어서, 상기 구동부는,상기 제2 버퍼의 중앙부에 1개가 구비되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 로드락 챔버.
- 제7항에 있어서, 상기 제2 버퍼의 각 모서리에는,상기 제2 버퍼의 하부에 결합되어 마련되며, 상기 이중 버퍼의 직선 운동을 안내하는 구동 가이드부가 구비되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 로드락 챔버.
- 삭제
- 제9항에 있어서, 상기 어라이너는,상기 로드락 챔버의 마주보는 모서리에 2개가 대칭되게 구비되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 로드락 챔버.
- 제11항에 있어서, 상기 어라이너에는,수평방향으로 구동되어, 상기 기판의 위치를 변경시키는 기판접촉부가 구비되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 로드락 챔버.
- 제12항에 있어서, 상기 어라이너에는,상기 기판접촉부를 상하방향으로 구동시키는 상하운동 가이드부가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 로드락 챔버.
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