JPH1095529A - 基板搬送方法および基板搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 簡易な構成で基板を確実に搬送することので
きる基板搬送方法および基板搬送装置を提供することを
目的とする。 【解決手段】 搬送機構２０は、センサ３４を付設し、
Ｘ方向に往復移動可能な支持台２３と、支持台２３上に
配設された多関節アーム２４の先端に配設され、Ｙ方向
に往復移動可能なハンド部２５とを有する。基板１を搬
送する際には、基板１の後端をハンド部２５の基端部に
配設された当接ピン４０により押圧し、基板１を当接ピ
ン４０とカセット１０のストッパー１５とにより挟持す
ることによって基板１を位置決めし、さらに、センサ３
４による基板１の側縁のＸ方向の位置の測定結果に基づ
いて、搬送機構２０による基板１のＸ方向への移動量を
制御する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は基板搬送方法およ
び基板搬送装置に関し、特に、液晶表示パネル用ガラス
基板等の角形の基板をカセットから取り出し、基板搬送
位置まで搬送する場合に好適な基板搬送方法および基板
搬送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば複数の角形の基板をカセットに収
納した状態で処理液槽に浸漬して処理する基板処理装置
においては、基板を収納して搬送するための搬送専用カ
セットから搬送機構により処理すべき基板を取り出し、
この基板を処理専用カセットに移し替えるようにしてい
る。また、処理を終了した基板は、搬送機構により処理
専用カセットから搬送専用カセットに移し替えられる。

【０００３】このとき、基板はカセット内においてその
側縁部を支持されているが、カセットにおける基板の支
持部分は基板の外形より若干大きく形成されている等の
理由により、複数の基板がカセットに収納された状態に
おいては、各基板の相対位置はそれぞれ若干異なってお
り、各基板は正確には整列していない。従って、カセッ
ト内の基板をカセットから搬出するため、基板を搬送機
構のハンド部により支持した場合に、当該ハンド部と基
板との位置関係が一定にはならない。このため、搬送機
構のハンド部により支持された基板をカセット内に収納
する際に、基板の端部がカセットと衝突して破損する
等、基板の搬送性に問題が生ずる。

【０００４】従来の搬送装置においては、このような問
題を解消するため、複数の基板をカセット内に収納した
状態で、基板の端縁を一対の押圧部材により押圧、挟持
して移動させることにより、複数の基板を互いに整列さ
せている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】近年、基板が大型化、
薄型化していることにより、カセット内にその側縁部を
支持されて収納された基板には撓みが発生している。こ
のため、基板の端縁を一対の押圧部材で押圧、挟持した
のみでは基板を正確に整列させることはできない。ま
た、カセットと基板との間の摩擦係数が大きい場合等に
おいては、複数の基板を一括して押圧しても、基板は容
易には移動せず、カセットが倒れたり基板が損傷を受け
たりする場合もある。

【０００６】このため、搬送機構自体に基板の端縁を押
圧する基板整列機構を付設し、基板を搬送機構により支
持する度に、搬送機構上で基板の位置決めを行うことも
考えられるが、この場合においては、搬送機構の構成が
複雑となり、また、使用するカセットの形状によっては
カセットと基板整列機構とが干渉するという問題も生ず
る。

【０００７】この発明は上記課題を解決するためになさ
れたものであり、簡易な構成で基板を確実に搬送するこ
とのできる基板搬送方法および基板搬送装置を提供する
ことを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、往復移動可能な支持台上に支持され前記支持台の移
動方向と交差する方向に往復移動可能な基板支持部材に
より、カセットに収納された角形の基板の下面を支持し
て当該カセット内から取り出し、基板搬送位置まで搬送
する基板搬送方法において、前記基板支持部材を、前記
カセットに収納された基板の下面に対して当該基板支持
部材の基端部に配設された当接部材の高さより小さい距
離だけ離隔した高さ位置において、前記カセット前面の
開口部から前記基板の下面と平行に進入させ、前記当接
部材で前記基板の後端を押圧することにより、当該基板
の先端をカセットの開口部と逆側に配設されたストッパ
ーに当接させて基板を位置決めする位置決め工程と、前
記基板支持部材を上昇させることにより、前記基板を当
該基板支持部材により支持する支持工程と、前記基板支
持部材を前記カセットの開口部から退出させることによ
り、前記基板を前記カセット内から搬出する搬出工程
と、前記カセット内から搬出された基板の側縁の位置を
前記支持台に配設されたセンサにより測定する測定工程
と、前記支持台を移動させることにより、前記基板支持
部材に支持された基板を基板搬送位置まで移動させる移
動工程とを備え、前記測定工程における測定結果に基づ
いて前記支持台の移動量を制御することを特徴とする。

【０００９】請求項２に記載の発明は、カセットに収納
された角形の基板を基板搬送位置まで搬送する基板搬送
装置であって、往復移動可能な支持台と、前記支持台に
支持され、前記支持台の移動方向と交差する方向に往復
移動可能な基板支持部材と、前記基板支持部材の基端部
に配設された当接部材と、前記基板支持部材を前記カセ
ットに収納された基板の下面に対して前記当接部材の高
さより小さい距離だけ離隔した高さ位置において前記カ
セット前面の開口部から前記基板の下面と平行に進入さ
せ、前記当接部材で前記基板の後端を押圧することによ
り、当該基板の先端をカセットの開口部と逆側に配設さ
れたストッパーに当接させて基板を位置決めし、前記基
板支持部材を上昇させることにより、前記基板を当該基
板支持部材により支持し、前記基板支持部材を前記カセ
ットの開口部から退出させることにより、前記基板を前
記カセット内から搬出する基板支持部材駆動手段と、前
記支持台に付設され、前記基板支持部材により前記カセ
ットから搬出された基板の側縁の位置を測定するセンサ
と、前記センサの測定結果に基づき、前記支持台を移動
させる支持台駆動手段とを備えたことを特徴とする。

【００１０】請求項３に記載の発明は、往復移動可能な
支持台上に支持され前記支持台の移動方向と交差する方
向に往復移動可能な基板支持部材により、カセットに収
納された角形の基板の下面を支持して当該カセット内か
ら取り出し、基板搬送位置まで搬送する基板搬送方法に
おいて、前記基板支持部材を、前記カセットに収納され
た基板の下面に対して当該基板支持部材の先端部に配設
された当接部材の高さより大きい距離だけ離隔した高さ
位置において、前記カセット前面の開口部から前記基板
の下面と平行に進入させる進入工程と、前記基板支持部
材を前記基板の下面と近接する位置まで上昇させる上昇
行程と、前記基板支持部材を前記カセットの開口部方向
に移動させることにより、前記当接部材と前記基板の先
端とを当接させて基板を位置決めする位置決め工程と、
前記基板支持部材を上昇させることにより、前記基板を
当該基板支持部材により支持する支持工程と、前記基板
支持部材を前記カセットの開口部から退出させることに
より、前記基板を前記カセット内から搬出する搬出工程
と、前記カセット内から搬出された基板の側縁の位置を
前記支持台に配設されたセンサにより測定する測定工程
と、前記支持台を移動させることにより、前記基板支持
部材に支持された基板を基板搬送位置まで移動させる移
動工程とを備え、前記測定工程における測定結果に基づ
いて前記支持台の移動量を制御することを特徴とする。

【００１１】請求項４に記載の発明は、カセットに収納
された角形の基板を基板搬送位置まで搬送する基板搬送
装置であって、往復移動可能な支持台と、前記支持台に
支持され、前記支持台の移動方向と交差する方向に往復
移動可能な基板支持部材と、前記基板支持部材の先端部
に配設された当接部材と、前記基板支持部材を前記カセ
ットに収納された基板の下面に対して前記当接部材の高
さより大きい距離だけ離隔した高さ位置において前記カ
セット前面の開口部から前記基板の下面と平行に進入さ
せ、前記基板支持部材を前記基板の下面と近接する位置
まで上昇させ、前記基板支持部材を前記カセットの開口
部方向に移動させることにより前記当接部材と前記基板
の先端とを当接させて基板を位置決めし、前記基板支持
部材を上昇させることにより、前記基板を当該基板支持
部材により支持し、前記基板支持部材を前記カセットの
開口部から退出させることにより、前記基板を前記カセ
ット内から搬出する基板支持部材駆動手段と、前記支持
台に付設され、前記基板支持部材により前記カセットか
ら搬出された基板の側縁の位置を測定するセンサと、前
記センサの測定結果に基づき、前記支持台を移動させる
支持台駆動手段とを備えたことを特徴とする。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
面に基づいて説明する。

【００１３】先ず、基板を収納するカセット１０の構造
について説明する。図１２はカセット１０の斜視図であ
り、図１３はカセット１０をその開口部１６側から見た
正面図である。

【００１４】このカセット１０は、一対の支持板１１を
８本の保持部材１２および２本のストッパー１５により
連結した構造を有する。各保持部材１２には一定のピッ
チＰで支持溝１３が刻設されており、基板１はその側縁
をこの支持溝１３に支持されることにより、カセット１
０内において一定のピッチＰで支持される。

【００１５】次に、複数のカセット１０間において基板
１を移し替える動作について説明する。図１４は、基板
処理装置において、処理専用カセットと搬送専用カセッ
ト間で基板を移し替える動作を模式的に示す説明図であ
る。

【００１６】この図において、１０ａ、１０ｂ、１０
ｃ、１０ｄは搬送専用カセットであり、１０ｅ、１０ｆ
は処理専用カセットである。これらのカセット１０ａ、
１０ｂ、１０ｃ、１０ｄ、１０ｅ、１０ｆは、基板処理
装置のインデクサー部に載置されている。また、２０は
基板処理装置のインデクサー部をＸ方向に往復移動する
搬送機構である。なお、搬送専用カセット１０ａ、１０
ｂ、１０ｃ、１０ｄおよび処理専用カセット１０ｅ、１
０ｆは、図１２および１３に示すカセット１０と同一の
構造を有する。

【００１７】図示しないカセット搬送機構により前段の
処理装置から搬送された搬送専用カセット１０ａまたは
１０ｂは、基板処理装置により処理すべき複数の基板１
を収納した状態でインデクサー部のローダ部１７に載置
される。そして、搬送機構２０が搬送専用カセット１０
ａまたは１０ｂと対向する位置まで移動し、搬送専用カ
セット１０ａまたは１０ｂ内から基板１を取り出した
後、処理専用カセット１０ｅ内に収納する。搬送専用カ
セット１０ａまたは１０ｂ内の全ての基板１が処理専用
カセット１０ｅ内に移し替えられると、処理専用カセッ
ト１０ｅは図示しないカセット搬送機構により処理装置
内に搬送される。

【００１８】また、処理を終了した複数の基板１を収納
した処理専用カセット１０ｆは、図示しないカセット搬
送機構によりインデクサー部のアンローダ部１８に載置
される。そして、搬送機構２０が処理専用カセット１０
ｆと対向する位置まで移動し、処理専用カセット１０ｆ
内から基板１を取り出した後、搬送専用カセット１０ｄ
または１０ｃと対向する位置まで移動し、搬送専用カセ
ット１０ｄまたは１０ｃ内に処理の終了した基板１を収
納する。

【００１９】このような基板１の移し替え時において
は、各カセット１０内に収納された基板１の相対位置は
それぞれ若干異なっており、基板１は正確には整列して
いない。従って、基板１を搬送機構２０のハンド部によ
り支持した場合に、当該ハンド部と基板１との位置関係
が一定にはならない。このため、搬送機構２０のハンド
部により支持された基板１を再度カセット１０内に収納
する際に、基板１の端部がカセット１０と衝突する場合
があることから、搬送機構２０のハンド部と基板１との
位置関係を調整する必要がある。

【００２０】次に、搬送機構２０の構成について説明す
る。図１は第１実施形態に係る搬送機構２０の斜視図で
あり、図２はその平面図である。

【００２１】この搬送機構２０は、支持台２３と、支持
台２３上に配設された多関節アーム２４と、多関節アー
ム２４の先端に配設されたハンド部２５とを有する。

【００２２】支持台２３は、一対のレール２１、２２に
沿ってＸ方向へ往復移動可能な移動テーブル３２と、移
動テーブル３２上をθ方向に回転可能な回転テーブル３
３とを互いに重畳させた構成となっている。そして、支
持台２３における回転テーブル３３には、基板１の側縁
の位置を検出するためのセンサ３４が付設されている。

【００２３】多関節アーム２４は、回転テーブル３３に
対して回動および上下移動可能な第１アーム３５と、第
１アーム３５の先端部において当該第１アーム３５に対
して回動可能に配設された第２アーム３６とから構成さ
れる。そして、第２アーム３６の先端部には、上記ハン
ド部２５が配設されている。これらの第１、第２アーム
３５、３６およびハンド部２５は、各アーム３５、３６
内に配設された駆動伝達機構により互いに連結されてい
る。そして、第１、第２アーム３５、３６は、図示しな
いモータの駆動により、図２において実線で示す位置と
二点鎖線で示す位置との間を移動する。これにより、基
板支持部材としてのハンド部２５は、支持台２３の移動
方法と直交する方向（Ｙ方向）に往復移動する。

【００２４】ハンド部２５の表面には、そこに載置され
た基板１を吸着保持するための４個の吸気孔３７が配設
されている。また、ハンド部２５の基端部には、後述す
るように、基板１の後端を押圧するための一対の当接ピ
ン４０が配設されている。この当接ピン４０の高さは、
カセット１０内における基板１の支持ピッチＰより小さ
くなっている。なお、ハンド部２５の基端部とは、ハン
ド部２５における基板１の支持領域より多関節アーム２
４における第２アーム３６側の位置を指す。

【００２５】図３は、この搬送機構２０を有する基板搬
送装置の主要な電気的構成を示すブロック図である。

【００２６】この基板搬送装置は、ＲＯＭ４１、ＲＡＭ
４２およびＣＰＵ４３を備えた制御部４４を有する。こ
の制御部４４は、インタフェース４５を介して、前述し
たセンサ３４と、支持台２３における移動テーブル３２
のＸ方向への移動と回転テーブル３３のθ方向への回転
を制御する支持台制御部４６と、ハンド部２５のＹ方向
への移動と上下移動とを制御するハンド制御部４７と各
々接続されている。

【００２７】次に、上述した搬送機構２０を使用して基
板１を搬送する動作について説明する。図４はハンド部
２５により基板１を搬送する状態を示す平面図であり、
図５はその搬送状態を段階的に示す側面概要図である。
また、図６は基板１の搬送動作を示すフローチャートで
ある。

【００２８】なお、以下の説明においては、図１４に示
す処理専用カセット１０ｆから基板１を取り出した後、
この基板１を搬送専用カセット１０ｃに収納する場合の
動作を例にとって説明する。

【００２９】先ず、支持台２３をＸ方向に移動させるこ
とにより、搬送機構２０を処理専用カセット１０ｆと対
向する位置に配置する（ステップＳ１１）。

【００３０】続いて、第１アーム３５を回転テーブル３
３に対して上下移動させることにより、多関節アーム２
４を介してハンド部２５を昇降させ、ハンド部２５の上
面が処理専用カセット１０ｆに収納された基板１の下面
から当接ピン４０の高さより小さい距離だけ下方に位置
する状態において停止させる。続いて、図５（ａ）に示
すように、この高さ位置において、ハンド部２５をＹ方
向に移動させ、処理専用カセット１０ｆの開口部１６か
ら処理専用カセット１０ｆ内に進入させる。そして、ハ
ンド部２５の基端部に配設された当接ピン４０により基
板１の後端を押圧して基板１を移動させた後、基板１の
先端部が処理専用カセット１０ｆのストッパー１５と当
接した位置でハンド部２５の移動を停止させる（ステッ
プＳ１２）。

【００３１】この状態においては、図５（ｂ）に示すよ
うに、基板１は、ハンド部２５の基端部に配設された当
接ピン４０と処理専用カセット１０ｆのストッパー１５
とにより挟持される。このため、基板１は、ストッパー
１５により規制される一定の位置に配置される。この状
態においては、基板１は、少なくともその角度θとＹ方
向の位置とが一定の位置となった状態で位置決めされる
ことになる。但し、基板１のＸ方向の位置は、基板１毎
に若干異なっている。

【００３２】次に、ハンド部２５を上昇させ、図５
（ｃ）に示すように、基板１をハンド部２５の上面によ
り支持する。また、吸気孔３７より吸気を行うことによ
り、基板１をハンド部２５上に吸着保持する（ステップ
Ｓ１３）。

【００３３】続いて、図５（ｄ）に示すように、ハンド
部２５を逆方向に移動させることにより、処理専用カセ
ット１０ｆ内から退出させる。これに伴い、ハンド部２
５に支持された基板１がカセット内から搬出される（ス
テップＳ１４）。

【００３４】ハンド部２５が図２において実線で示す位
置まで移動すれば、ハンド部２５を停止させる。この状
態においては、図４において二点鎖線で示すように、基
板１の側縁が支持台２３の回転テーブル３３に付設され
たセンサ３４と対向する位置に配置される。

【００３５】この状態において、センサ３４により基板
１の側縁の位置を測定する（ステップＳ１５）。この測
定により、ハンド部２５と当該ハンド部２５に支持され
た基板１とのＸ方向の位置関係、すなわち、ハンド部２
５が基板１を支持した状態において、ハンド部２５のＸ
方向の中心位置と基板１のＸ方向の中心位置とのずれ量
を測定することができる。

【００３６】続いて、支持台２３の回転テーブル３３を
移動テーブル３２に対して１８０°回転させる。そし
て、支持台２３をＸ方向に移動させて、ハンド部２５を
基板１を収納すべき搬送専用カセット１０ｃと対向する
位置まで移動させる（ステップＳ１６）。但し、このと
きの支持台２３のＸ方向の移動量は、上述したハンド部
２５と当該ハンド部２５に支持された基板１とのＸ方向
の位置関係を考慮したものとする。

【００３７】すなわち、通常であれば、ハンド部２５の
Ｘ方向の中心位置と搬送専用カセット１０ｃの中心位置
とが一致する位置まで支持台２３を移動させるべきもの
ではあるが、この場合においては、ハンド部２５と当該
ハンド部２５に支持された基板１とのＸ方向の位置関係
を考慮し、基板１のＸ方向の中心位置とハンド部２５の
Ｘ方向の中心位置とのずれ量に応じた値だけ、支持台２
３の移動量を加減するようにする。例えば、基板１のＸ
方向の中心位置がハンド部２５のＸ方向の中心位置に対
して１ｍｍだけハンド部２５の右方向にずれていた場合
においては、支持台２３のハンド部２５の右方向に対す
る移動量を１ｍｍだけ小さくする。これにより、基板１
がハンド部２５に支持された状態において、基板１がＸ
方向に位置ずれを生じていた場合であっても、支持台２
３の移動距離によってこの位置ずれを補正することがで
きる。

【００３８】そして、ハンド部２５を搬送専用カセット
１０ｃ内に進入させた後、ハンド部２５を下降させるこ
とにより、そこに保持した基板１を搬送専用カセット１
０ｃ内に収納する（ステップＳ１７）。

【００３９】以上のように、第１実施形態に係る搬送機
構２０においては、基板１の後端を当接ピン４０により
押圧し、基板１を当接ピン４０とストッパー１５とによ
り挟持することにより、基板１の角度θとＹ方向の位置
とを一定の位置として位置決めし、さらに、処理専用カ
セット１０ｆから搬出した基板１の側縁のＸ方向の位置
の測定結果に基づいて、搬送機構２０による基板１のＸ
方向への移動量を制御していることから、処理専用カセ
ット１０ｆに収納された基板１がわずかな位置ずれを生
じていた場合であっても、その位置ずれを補正して基板
１を搬送専用カセット１０ｃに搬送することが可能とな
る。このとき、基板１の縁部の測定と測定結果に基づく
移動量の制御とは、Ｘ方向のみについて行えばよいこと
から、その制御が複雑なものとなることはない。

【００４０】また、基板１の端縁の位置を測定するため
のセンサ３４を支持台２３に付設しているため、複数の
位置に配置されたカセット１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１
０ｄ、１０ｅ、１０ｆのうちいずれのカセットから基板
１を取り出す場合においても、単一のセンサ３４により
基板１の端縁を測定することが可能となる。

【００４１】次に、搬送機構の他の実施形態について説
明する。図７は第２実施形態に係る搬送機構５０の斜視
図であり、図８はその平面図である。

【００４２】第１実施形態に係る搬送機構２０において
は、一対の当接ピン４０をハンド部２５の基端部に配設
していたが、この搬送機構５０においては、一対の当接
ピン６０をハンド部２５の先端部に配設している。

【００４３】第２実施形態に係る搬送機構５０は、第１
実施形態に係る搬送機構２０と同様、支持台２３と、支
持台２３上に配設された多関節アーム２４と、多関節ア
ーム２４の先端に配設されたハンド部２５とを有する。

【００４４】支持台２３は、一対のレール２１、２２に
沿ってＸ方向へ往復移動可能な移動テーブル３２と、移
動テーブル３２上をθ方向に回転可能な回転テーブル３
３とを互いに重畳させた構成となっている。そして、支
持台２３における回転テーブル３３には、基板１の側縁
の位置を検出するためのセンサ３４が付設されている。

【００４５】多関節アーム２４は、回転テーブル３３に
対して回動および上下移動可能な第１アーム３５と、第
１アーム３５の先端部において当該第１アーム３５に対
して回動可能に配設された第２アーム３６とから構成さ
れる。そして、第２アーム３６の先端部には、上記ハン
ド部２５が配設されている。これらの第１、第２アーム
３５、３６およびハンド部２５は、各アーム３５、３６
内に配設された駆動伝達機構により互いに連結されてい
る。そして、第１、第２アーム３５、３６は、図示しな
いモータの駆動により、図２において実線で示す位置と
二点鎖線で示す位置との間を移動する。これにより、基
板支持部材としてのハンド部２５は、支持台２３の移動
方法と直交する方向（Ｙ方向）に往復移動する。

【００４６】ハンド部２５の表面には、そこに載置され
た基板１を吸着保持するための４個の吸気孔３７が配設
されている。また、ハンド部２５の先端部には、後述す
るように、基板１の先端を押圧するための一対の当接ピ
ン６０が配設されている。この当接ピン６０の高さは、
カセット１０内における基板１の支持ピッチＰより小さ
くなっている。

【００４７】この搬送機構５０は、第１実施形態に係る
搬送機構２０と同様、図３に示すような電気的構成を具
備し、制御部４４により制御される。

【００４８】次に、上述した搬送機構５０を使用して基
板１を搬送する動作について説明する。図９はハンド部
２５により基板１を搬送する状態を示す平面図であり、
図１０はその搬送状態を段階的に示す側面概要図であ
る。また、図１１は基板１の搬送動作を示すフローチャ
ートである。

【００４９】なお、以下の説明においては、第１実施形
態の場合と同様、図１４に示す処理専用カセット１０ｆ
から基板１を取り出した後、この基板１を搬送専用カセ
ット１０ｃに収納する場合の動作を例にとって説明す
る。

【００５０】先ず、支持台２３をＸ方向に移動させるこ
とにより、搬送機構５０を処理専用カセット１０ｆと対
向する位置に配置する（ステップＳ２１）。

【００５１】続いて、第１アーム３５を回転テーブル３
３に対して上下移動させることにより、多関節アーム２
４を介してハンド部２５を昇降させ、ハンド部２５の上
面が処理専用カセット１０ｆに収納された基板１の下面
から当接ピン６０の高さより大きい距離だけ下方に位置
する状態において停止させる。続いて、図１０（ａ）に
示すように、この高さ位置において、ハンド部２５をＹ
方向に移動させ、処理専用カセット１０ｆの開口部１６
から処理専用カセット１０ｆ内に進入させる。そして、
ハンド部２５の先端部に配設された当接ピン６０が基板
１の先端より奥側に到達する位置までハンド部２５を移
動させた後、停止させる（ステップＳ２２）。

【００５２】続いて、ハンド部２５を基板１と近接する
位置まで上昇させる。この位置は、図１０（ｂ）に示す
ように、ハンド部２５の上面が基板１の下面から当接ピ
ン６０の高さより小さい距離だけ離隔した位置である。

【００５３】次に、図１０（ｃ）に示すように、ハンド
部２５を逆方向にわずかな距離だけ移動させ、当接ピン
６０により基板１の先端を押圧して基板１を移動させる
（ステップＳ２４）。この状態においては、基板１は、
ハンド部２５の先端部に配設された当接ピン６０により
その位置を規制され、一定の位置に配置される。この状
態においては、基板１は、少なくともその角度θとＹ方
向の位置とが一定の位置となった状態で位置決めされる
ことになる。但し、基板１のＸ方向の位置は、基板１毎
に若干異なっている。

【００５４】次に、ハンド部２５を上昇させ、図１０
（ｄ）に示すように、基板１をハンド部２５の上面によ
り支持する。また、吸気孔３７より吸気を行うことによ
り、基板１をハンド部２５上に吸着保持する（ステップ
Ｓ２５）。

【００５５】続いて、図１０（ｅ）に示すように、ハン
ド部２５を逆方向に移動させることにより、処理専用カ
セット１０ｆ内から退出させる。これに伴い、ハンド部
２５に支持された基板１がカセット内から搬出される
（ステップＳ２６）。

【００５６】ハンド部２５が図８において実線で示す位
置まで移動すれば、ハンド部２５を停止させる。この状
態においては、図９において二点鎖線で示すように、基
板１の側縁が支持台２３の回転テーブル３３に付設され
たセンサ３４と対向する位置に配置される。

【００５７】この状態において、センサ３４により基板
１の側縁の位置を測定する（ステップＳ２７）。この測
定により、ハンド部２５と当該ハンド部２５に支持され
た基板１とのＸ方向の位置関係、すなわち、ハンド部２
５が基板１を支持した状態において、ハンド部２５のＸ
方向の中心位置と基板１のＸ方向の中心位置とのずれ量
を測定することができる。

【００５８】続いて、支持台２３の回転テーブル３３を
移動テーブル３２に対して１８０°回転させる。そし
て、支持台２３をＸ方向に移動させて、ハンド部２５を
基板１を収納すべき搬送専用カセット１０ｃと対向する
位置まで移動させる（ステップＳ２８）。但し、このと
きの支持台２３のＸ方向の移動量は、第１実施形態の場
合と同様、上述したハンド部２５と当該ハンド部２５に
支持された基板１とのＸ方向の位置関係を考慮したもの
とする。

【００５９】そして、ハンド部２５を搬送専用カセット
１０ｃ内に進入させた後、ハンド部２５を下降させるこ
とにより、そこに保持した基板１を搬送専用カセット１
０ｃ内に収納する（ステップＳ２９）。

【００６０】以上のように、第２実施形態に係る搬送機
構５０においては、基板１の先端を当接ピン６０により
押圧して一定の距離移動させることにより、基板１の角
度θとＹ方向の位置とを一定の位置として位置決めし、
さらに、処理専用カセット１０ｆから搬出した基板１の
側縁のＸ方向の位置の測定結果に基づいて、搬送機構５
０による基板１のＸ方向への移動量を制御していること
から、処理専用カセット１０ｆに収納された基板１がわ
ずかな位置ずれを生じていた場合であっても、その位置
ずれを補正して基板１を搬送専用カセット１０ｃに搬送
することが可能となる。このとき、第１実施形態の場合
と同様、基板１の縁部の測定と測定結果に基づく移動量
の制御とは、Ｘ方向のみについて行えばよいことから、
その制御が複雑なものとなることはない。

【００６１】また、基板１の端縁の位置を測定するため
のセンサ３４を支持台２３に付設しているため、複数の
位置に配置されたカセット１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１
０ｄ、１０ｅ、１０ｆのうちいずれのカセットから基板
１を取り出す場合においても、単一のセンサ３４により
基板１の端縁を測定することが可能となる。

【００６２】上述した第１、第２実施形態においては、
当接ピン４０、６０として、カセット１０内に収納され
た基板１のピッチＰより小さい高さを有するものを使用
していることから、この当接ピン４０、６０を備えたハ
ンド部２５を複数の基板１をピッチＰで収納したカセッ
ト内に進入させることが可能となる。このとき、例えば
基板処理装置における処理槽の大きさを小さくする目的
等により、処理専用カセット１０ｅ、１０ｆにおける基
板１の支持ピッチＰ１が搬送専用カセット１０ａ、１０
ｂ、１０ｃ、１０ｄにおける基板１の支持ピッチＰ２よ
り小さく設定されている場合等においては、当接ピン４
０、６０の高さは、より小さい支持ピッチＰ１よりさら
に小さくする必要がある。

【００６３】なお、上述した第１、第２実施形態におい
ては、当接部材として一対の当接ピン４０、６０を使用
した場合について説明したが、Ｘ方向に所定の大きさを
有し、基板１の先端または後端と当接する当接面を備え
た単一の当接部材を使用してもよい。

【００６４】また、上述した第１、第２実施形態におい
ては、基板１を処理専用カセット１０ｆから搬送専用カ
セット１０ｃに搬送する場合について説明したが、この
発明は基板１をカセット間で搬送するものに限らず、基
板１をカセットから基板処理部等の他の基板搬送位置ま
で搬送する各種の基板搬送装置に適用することが可能で
ある。

【００６５】

【発明の効果】請求項１または２に記載の発明によれ
ば、基板の後端を当接部材により押圧し、基板を当接部
材とストッパーとにより挟持することにより、基板の支
持部材の移動方向に対する位置決めを行い、さらに、基
板の側縁の位置の測定結果に基づいて、支持台の移動方
向への基板の移動量を制御していることから、カセット
に収納された基板が位置ずれを生じていた場合であって
も、その位置ずれを補正して基板を搬送することが可能
となる。

【００６６】請求項３または４に記載の発明によれば、
基板の先端を当接部材により押圧して一定の距離移動さ
せることにより、基板の支持部材の移動方向に対する位
置決めを行い、さらに、基板の側縁の位置の測定結果に
基づいて、支持台の移動方向への基板の移動量を制御し
ていることから、カセットに収納された基板が位置ずれ
を生じていた場合であっても、その位置ずれを補正して
基板を搬送することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１実施形態に係る搬送機構２０の斜視図であ
る。

【図２】第１実施形態に係る搬送機構２０の平面図であ
る。

【図３】基板搬送装置の主要な電気的構成を示すブロッ
ク図である。

【図４】ハンド部２５により基板１を搬送する状態を示
す平面図である。

【図５】基板１の搬送状態を段階的に示す側面概要図で
ある。

【図６】基板１の搬送動作を示すフローチャートであ
る。

【図７】第２実施形態に係る搬送機構５０の斜視図であ
る。

【図８】第２実施形態に係る搬送機構５０の平面図であ
る。

【図９】ハンド部２５により基板１を搬送する状態を示
す平面図である。

【図１０】基板１の搬送状態を段階的に示す側面概要図
である。

【図１１】基板１の搬送動作を示すフローチャートであ
る。

【図１２】カセット１０の斜視図である。

【図１３】カセット１０の正面図である。

【図１４】カセット間で基板を移し替える動作を模式的
に示す説明図である。

【符号の説明】

１ 基板 １０ カセット １５ ストッパー ２０ 搬送機構 ２３ 支持台 ２４ 多関節アーム ２５ ハンド部 ３２ 移動テーブル ３３ 回転テーブル ３４ センサ ３５ 第１アーム ３６ 第２アーム ４０ 当接ピン ４４ 制御部 ４６ 支持台制御部 ４７ ハンド制御部 ５０ 搬送機構 ６０ 当接ピン

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 往復移動可能な支持台上に支持され前記
   支持台の移動方向と交差する方向に往復移動可能な基板
   支持部材により、カセットに収納された角形の基板の下
   面を支持して当該カセット内から取り出し、基板搬送位
   置まで搬送する基板搬送方法において、 前記基板支持部材を、前記カセットに収納された基板の
   下面に対して当該基板支持部材の基端部に配設された当
   接部材の高さより小さい距離だけ離隔した高さ位置にお
   いて、前記カセット前面の開口部から前記基板の下面と
   平行に進入させ、前記当接部材で前記基板の後端を押圧
   することにより、当該基板の先端をカセットの開口部と
   逆側に配設されたストッパーに当接させて基板を位置決
   めする位置決め工程と、 前記基板支持部材を上昇させることにより、前記基板を
   当該基板支持部材により支持する支持工程と、 前記基板支持部材を前記カセットの開口部から退出させ
   ることにより、前記基板を前記カセット内から搬出する
   搬出工程と、 前記カセット内から搬出された基板の側縁の位置を前記
   支持台に配設されたセンサにより測定する測定工程と、 前記支持台を移動させることにより、前記基板支持部材
   に支持された基板を基板搬送位置まで移動させる移動工
   程とを備え、 前記測定工程における測定結果に基づいて前記支持台の
   移動量を制御することを特徴とする基板搬送方法。
2. 【請求項２】 カセットに収納された角形の基板を基板
   搬送位置まで搬送する基板搬送装置であって、 往復移動可能な支持台と、 前記支持台に支持され、前記支持台の移動方向と交差す
   る方向に往復移動可能な基板支持部材と、 前記基板支持部材の基端部に配設された当接部材と、 前記基板支持部材を前記カセットに収納された基板の下
   面に対して前記当接部材の高さより小さい距離だけ離隔
   した高さ位置において前記カセット前面の開口部から前
   記基板の下面と平行に進入させ、前記当接部材で前記基
   板の後端を押圧することにより、当該基板の先端をカセ
   ットの開口部と逆側に配設されたストッパーに当接させ
   て基板を位置決めし、前記基板支持部材を上昇させるこ
   とにより、前記基板を当該基板支持部材により支持し、
   前記基板支持部材を前記カセットの開口部から退出させ
   ることにより、前記基板を前記カセット内から搬出する
   基板支持部材駆動手段と、 前記支持台に付設され、前記基板支持部材により前記カ
   セットから搬出された基板の側縁の位置を測定するセン
   サと、 前記センサの測定結果に基づき、前記支持台を移動させ
   る支持台駆動手段と、を備えたことを特徴とする基板搬
   送装置。
3. 【請求項３】 往復移動可能な支持台上に支持され前記
   支持台の移動方向と交差する方向に往復移動可能な基板
   支持部材により、カセットに収納された角形の基板の下
   面を支持して当該カセット内から取り出し、基板搬送位
   置まで搬送する基板搬送方法において、 前記基板支持部材を、前記カセットに収納された基板の
   下面に対して当該基板支持部材の先端部に配設された当
   接部材の高さより大きい距離だけ離隔した高さ位置にお
   いて、前記カセット前面の開口部から前記基板の下面と
   平行に進入させる進入工程と、 前記基板支持部材を前記基板の下面と近接する位置まで
   上昇させる上昇行程と、 前記基板支持部材を前記カセットの開口部方向に移動さ
   せることにより、前記当接部材と前記基板の先端とを当
   接させて基板を位置決めする位置決め工程と、 前記基板支持部材を上昇させることにより、前記基板を
   当該基板支持部材により支持する支持工程と、 前記基板支持部材を前記カセットの開口部から退出させ
   ることにより、前記基板を前記カセット内から搬出する
   搬出工程と、 前記カセット内から搬出された基板の側縁の位置を前記
   支持台に配設されたセンサにより測定する測定工程と、 前記支持台を移動させることにより、前記基板支持部材
   に支持された基板を基板搬送位置まで移動させる移動工
   程とを備え、 前記測定工程における測定結果に基づいて前記支持台の
   移動量を制御することを特徴とする基板搬送方法。
4. 【請求項４】 カセットに収納された角形の基板を基板
   搬送位置まで搬送する基板搬送装置であって、 往復移動可能な支持台と、 前記支持台に支持され、前記支持台の移動方向と交差す
   る方向に往復移動可能な基板支持部材と、 前記基板支持部材の先端部に配設された当接部材と、 前記基板支持部材を前記カセットに収納された基板の下
   面に対して前記当接部材の高さより大きい距離だけ離隔
   した高さ位置において前記カセット前面の開口部から前
   記基板の下面と平行に進入させ、前記基板支持部材を前
   記基板の下面と近接する位置まで上昇させ、前記基板支
   持部材を前記カセットの開口部方向に移動させることに
   より前記当接部材と前記基板の先端とを当接させて基板
   を位置決めし、前記基板支持部材を上昇させることによ
   り、前記基板を当該基板支持部材により支持し、前記基
   板支持部材を前記カセットの開口部から退出させること
   により、前記基板を前記カセット内から搬出する基板支
   持部材駆動手段と、 前記支持台に付設され、前記基板支持部材により前記カ
   セットから搬出された基板の側縁の位置を測定するセン
   サと、 前記センサの測定結果に基づき、前記支持台を移動させ
   る支持台駆動手段と、を備えたことを特徴とする基板搬
   送装置。