JPH09226987A - 基板搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 マガジンに収納された基板を、マガジンから
取出して位置のばらつき少なく次行程部に引き渡すし得
るようにする。 【解決手段】 マガジンに段積みして収納された複数の
基板を、１枚ずつ下方より真空吸着して取出し次工程部
に搬出するものにおいて、その搬出途中部で真空吸着を
解除した状態の基板に対し、その両側から同期して移動
する、第１の爪３２と、基板の辺部の形状に応じて動く
第２の爪３３とで基板を対向する両辺部又は対向する両
角部にて挟むことにより、基板を挟んだ方向の中心位置
に寄せるようにした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は液晶ディスプレイ等
の基板を位置決めして搬送する基板搬送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、例えば液晶ディスプレイの電極と
ＴＡＢ（テープキャリア方式）パッケージのアウターリ
ードとを接続するために、液晶ディスプレイ基板に自動
的にＡＣＦ（異方性導電フィルム）テープを装着する部
品実装装置が供されている。この種の部品実装装置は全
体的には図２０に示すごとくで、その図中左側端部にマ
ガジン１が設けられている。

【０００３】マガジン１は、詳細には図２１に示すよう
に、一定ピッチで多段の収納溝を有するもので、その各
溝に液晶ディスプレイのガラス基板２が複数枚人手によ
り収納される。操作者はこのマガジン１を上述の部品実
装装置にセットする。この状態で、装置は作動が開始さ
れると、マガジン１を図２２に示すマガジン移動手段３
により所定の位置まで上昇させる。上昇後、マガジン１
内の最下段のガラス基板２の下方にセルハンドラ４が進
入する。

【０００４】セルハンドラ４はマガジン１に対し接離す
るＸ方向及び上下のＺ方向に移動可能なロボットハンド
で、先端部にガラス吸着用の真空パッド５を複数有して
いる。このセルハンドラ４をＸ方向に移動させる手段６
は例えば１軸ロボットであり、Ｚ方向に移動させる手段
７は例えばエアシリンダである。又、真空パッド５はそ
れぞれ図示しない真空発生機に接続されている。

【０００５】上述のようにマガジン１内の最下段のガラ
ス基板２の下方に進入したセルハンドラ４は、その後、
Ｚ方向移動手段７により微小距離ΔＺ上昇せられて、最
下段のガラス基板２をマガジン１内の収納溝から押し上
げ浮かせる。そして、そのガラス基板２を真空パッド５
により真空吸着して保持し、Ｘ方向移動手段６によりマ
ガジン１から離間する方向に移動せられて、マガジン１
内から１枚のガラス基板２を取出し、次工程部に搬送す
る。次工程部では図２３に示すＸＹθステージ８が待機
している。

【０００６】ＸＹθステージ８はＸ方向、及びこれと直
交するＹ方向、並びに回転のθ方向に独立して移動可能
なステージであり、ガラス吸着用の真空パッド９を複数
有している。真空パッド９はそれぞれ図示しない真空発
生機に接続されている。セルハンドラ４は上記ＸＹθス
テージ８の上方に達した後、先の上昇距離ΔＺだけ下降
される。この結果、ＸＹθステージ８の上面にガラス基
板２が載せられる。この後、セルハンドラ４は真空パッ
ド５によるガラス基板２の真空吸着を解除し、代わって
ＸＹθステージ８が真空パッド９によりガラス基板２を
真空吸着して保持する。かくして、ガラス基板２はセル
ハンドラ４からＸＹθステージ８に引き渡される。

【０００７】そしてその後、ＸＹθステージ８はＹ方向
に移動してセルハンドラ４から離間する。セルハンドラ
４は再度Ｘ方向への移動を開始し、マガジン１から次の
ガラス基板２を搬出する作業にとりかかる。この作業に
先立って、マガジン１はマガジン移動手段３により一段
ピッチ下降している。一方、ガラス基板２を受け取った
ＸＹθステージ８は、その後、マーク認識カメラ１０上
に達する。マーク認識カメラ１０は固定配置されてお
り、鉛直下方よりガラス基板２を撮像するものである。
又、その近傍にはガラス基板２に対して均一な光を照射
する照明装置１１が配置されている。

【０００８】そこで、ガラス基板２にあらかじめ設けら
れている位置認識用のマーク１２の画像をとらえて位
置、傾きを計測し、位置補正をすることで、高精度にＡ
ＣＦテープの装着を実行することができる。この場合、
具体的には、２か所のマーク１２を認識し、その重心位
置を算出することで、ガラス基板２の位置、傾きを計測
する。

【０００９】このようなロボットハンドによる搬送方法
を採るのは、ガラス基板２が衝撃荷重により容易に割
れ，欠けを起こすから、プリント基板では一般的である
ベルトコンベアによる搬送が採用できないためである。
又、ベルトコンベアの駆動では摺動によりごみが発生し
やすいため、クリーン度を要求される液晶ディスプレイ
等には適さないという背景事情もある。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】上述のものの場合、大
きく分けて３つの問題を有している。第１に、認識装置
の費用の増大である。マガジン１の収納溝の幅は、ガラ
ス基板１を収納するため、図２４に示すようにガラス基
板２の幅より若干大きい。つまり、その間には隙間Ｇが
ある。これはガラス基板２に寸法のばらつきがあるため
で、収納溝の幅は仕様上最大のガラス基板２の幅寸法に
余裕を見込んだものである。隙間Ｇの大きさは、ガラス
基板２の大きさにもよるが、数ミリの値である。従っ
て、前述のセルハンドラ４から取出す際に、ガラス基板
２の位置がその隙間Ｇの分だけばらつくことになる。

【００１１】一方、前述のように、高精度のテープ装着
をするためには、マーク１２の位置を高精度に測定しな
ければならない。このためには、高解像度の画像情報を
得なければならないが、マーク１２の大きさは、通常、
０．６〜１．５［ｍｍ］平方と小さく、又、画像を投射
するＣＣＤ素子の数は一定であるため、認識カメラ１０
の視野を狭くする必要がある。これは例えば３〜５［ｍ
ｍ］平方といった値である。しかし、ＸＹθステージ８
に引き渡されたガラス基板２が認識カメラ１０上に達し
たときに、上述の位置のばらつきがあるため、認識カメ
ラ１０の視野からマーク１２が外れて認識できないとい
う不具合が発生する。

【００１２】この認識エラーを防ぐためには、認識カメ
ラ１０に大きな視野で高解像度（ＣＣＤ素子が多数）の
ものを使用しなければならず、コストの増大を招く要因
となっていた。又、これらの画像情報を取り込む記憶装
置（半導体メモリ）も大容量となり、コスト高になって
いた。更に、認識用の照明も大きな視野で安定した均一
なものに保つ必要があり、このため照明の数の増大を招
き、コストを更に増大させる要因となっていた。

【００１３】第２に、認識処理時間の増大である。上述
のように広い認識視野の中から特定のマーク１２の位置
を認識するものでは、狭い視野の場合より、当然、処理
時間の増大が発生する。すなわち、装置の稼働率の低下
が起きる。これを防止するためには、画像処理装置をよ
り高速のものに変えなければならず、コストの増大を招
く。

【００１４】第３に、段取り替え性の悪化である。上記
第１及び第２の問題点を解決するために、図２５に示す
ように、ガラス基板２をマガジン１に収納された状態で
プッシャ１３により一括して側方より突き、反対側に押
し当てて位置決めするものが供されている。しかし、こ
のものでは、ガラス基板２のサイズが変わると、プッシ
ャ１３の押し出し量を変える段取り替えがいちいち必要
で、効率が悪かった。段取り替えをなくそうとすると、
ガラス基板２のすべてのサイズに対応し得る長ストロー
クのプッシャ１３が必要しなり、コスト高となる。

【００１５】又、図２６に示すように、プッシャ１３で
片押しすると、ガラス基板２の大きさが変わると、その
中心位置Ｏも変わるため、ガラス基板２の吸着位置をそ
の都度変更しなければならない。これは、前述のセルハ
ンドラ４の位置をＹ方向に変更させることであり、その
変更時間が必要となるため、稼働率の低下を招く。更
に、マガジン１には側面にプッシャ１３用の口１４を有
する専用のものが必要であり、マガジン１は通常多数製
作するため、コストの増大を招く。

【００１６】本発明は上述の事情に鑑みてなされたもの
であり、従ってその目的は、マガジンから取出した基板
を位置のばらつき少なく引き渡すことができて、費用や
処理時間の増大化を抑制でき、段取り替え等の必要もな
くし得る基板搬送装置を提供するにある。

【００１７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の基板搬送装置においては、第１に、マガジ
ンに段積みして収納された複数の基板を、１枚ずつ下方
より真空吸着して取出し次工程部に搬出するものにあっ
て、その搬出途中部で真空吸着を解除した状態の基板に
対し、その両側から同期して移動する、第１の爪と、基
板の辺部の形状に応じて動く第２の爪とで基板を対向す
る両辺部にて挟むことにより、基板を挟んだ方向の中心
位置に寄せることを特徴とする。

【００１８】このものによれば、マガジンから取出され
た基板が、解放状態で第１の爪と第２の爪とにより対向
する両辺部にて挟まれ、その中心位置に寄せられて位置
決めされる。又、そのときに第２の爪は基板の辺部の形
状に応じて動き、基板を誤った方向に傾かせることが避
けられるから、基板の位置決めがより正確になされる。

【００１９】本発明の基板搬送装置においては、第２
に、第１及び第２の両爪により寄せた後又は寄せる前の
基板を、真空吸着を解除した状態でストッパに押し当て
ることにより、第１及び第２の両爪による寄せ方向と直
交する方向にも位置決めするようにしたことを特徴とす
る。このものによれば、基板の位置決めが第１及び第２
の両爪による寄せ方向のみならず、それと直交する方向
にもなされるもので、一段と正確に位置決めがなされ
る。

【００２０】本発明の基板搬送装置においては、第３
に、第１及び第２の両爪により寄せた後又は寄せる前の
基板を、真空吸着を解除した状態で第１及び第２の両爪
に押し当てることにより、第１及び第２の両爪による寄
せ方向と直交する方向にも位置決めするようにしたこと
を特徴とする。このものでも、基板の位置決めが第１及
び第２の両爪による寄せ方向のみならず、それと直交す
る方向にもなされるもので、一段と正確に位置決めがな
される。又、その直交方向の位置決めを、別途ストッパ
を要さず、第１及び第２の両爪でできるから、コストの
増大を抑制するのに効果がある。

【００２１】本発明の基板搬送装置においては、第４
に、マガジンに段積みして収納された複数の基板を、１
枚ずつ下方より真空吸着して取出し次工程部に搬出する
ものにおいて、その搬出途中部で真空吸着を解除した状
態の基板に対し、その両側から同期して移動する、第１
の爪と、基板の辺部の形状に応じて動く第２の爪とで基
板を対向する両角部にて挟むことにより、基板をその両
角部でそれぞれ接する両辺部の各対向方向の中心位置に
寄せることを特徴とする。

【００２２】このものによれば、マガジンから取出され
た基板が、解放状態で第１の爪と第２の爪とにより対向
する両角部にて挟まれ、その中心位置に寄せられて位置
決めされる。又、そのときに第２の爪は基板の辺部の形
状に応じて動き、基板を誤った方向に傾かせることが避
けられるから、基板の位置決めがより正確になされる。
更に、この場合、基板の位置決めは第１及び第２の両爪
による寄せ方向のみならず、それと直交する方向にも同
時になされるもので、一段と正確に位置決めがなされ
る。又、その直交方向の位置決めを、別途ストッパを要
さず、第１及び第２の両爪でできるから、コストの増大
を抑制するのに効果がある。更に、基板の両方向の位置
決めが同時にできるので、動作時間の一層の短縮もでき
る。

【００２３】

【発明の実施の形態】以下、本発明をＡＣＦテープを装
着する前段として液晶ディスプレイのガラス基板を搬送
する装置に適用した第１実施例につき、図１ないし図１
１を参照して説明する。まず部品実装装置の全体と、こ
れにセットされたマガジン１、このマガジン１からガラ
ス基板２を取出す機構、取出したガラス基板２を受けて
その位置を認識する認識装置は従来と同様であるので説
明を省略し、異なる部分についてのみ述べる。

【００２４】図１及び図２には上記マガジン１と認識装
置との間の、セルハンドラ４が通過するところに設けた
天板２１を示しており、これの下面に以下の部品を設け
ている。そのうちのピニオン２２は天板２１の中央部に
設けている。このピニオン２２は図３に示す支軸２３に
よりベアリング２４を介して支持したものであり、この
ピニオン２２を抜け止めするナット２５を支軸２３の下
端部に装着している。

【００２５】ピニオン２２の両側にはラック２６，２７
をピニオン２２に噛合させて配置している。ラック２６
はテーブル２８と一体で、ラック２７はテーブル２９と
一体であり、これらのテーブル２８，２９はそれぞれ直
線ガイド３０，３１によりラック２６，２７の長手方向
（Ｙ方向）の摺動以外はその動きを拘束されている。テ
ーブル２８には第１の爪３２を、テーブル２９には第２
の爪３３を、それぞれねじ３４，３５によって、互いに
向き合うように取付けている。第１の爪３２の内部には
図４に示す基板検出センサ３６を配設しており、これは
一定以上の力で押しつけられたときガラス基板２の存在
を検知する圧力センサから成っている。又、第２の爪３
３は、図５及び図６に示すように、ホルダ３７と、この
ホルダ３７の下端部に中央の枢支ピン３８及び両側のス
プリング３９によって揺動自在に弾性支持された爪主体
４０から成っている。

【００２６】一方、前記ラック２６，２７の各外側には
それそれローラ４１，４２を設けて、ラック２６，２７
とピニオン２２とのがたを抑制している。ローラ４１，
４２は、図７にそのうちのローラ４１を代表して示すよ
うに、それぞれ支軸４３，４４によりベアリング４５，
４６を介して支持したものであり、このローラ４１，４
２を抜け止めするナット４７，４８を支軸４３，４４の
各下端部に装着している。

【００２７】更に、ローラ４１の外側にはエアシリンダ
４９を取付けており、これのピストンロッド５０をフロ
ーティングジョイント５１を介して前記テーブル２８に
連結している。図８はエアシリンダ４９の駆動系路を示
しており、この駆動系路には、電磁バルブ５２と、レギ
ュレータ５３、スピードコントローラ５４，５５が存
し、これらを配管５６でつないでいる。

【００２８】次に、上記構成のものの作用を述べる。ガ
ラス基板２は前述のようにセルハンドラ４に真空吸着さ
れてマガジン１から１枚取出され、図２に示すように天
板２１の下方（第１の爪３２と第２の爪３３との間）に
至ったところで一旦停止する。このとき、エアシリンダ
４９はピストンロッド５０を押し出して第１の爪３２と
第２の爪３３とを開いた状態にあり、これら第１及び第
２の爪３２，３３がガラス基板２の進入を妨げることは
ない。

【００２９】この後、セルハンドラ４はガラス基板２の
真空吸着を解除する。そして、電磁バルブ５２の切り替
えにより、エアシリンダ４９はピストンロッド５０を引
っ込める動作を開始する。すると、テーブル２８が引か
れて第１の爪３２をラック２６と共に第２の爪３３側に
移動させ、同時に、ラック２６の移動に伴うピニオン２
２の回転によってラック２７が第１の爪３２側に移動さ
れ、テーブル２９及び第２の爪３３も第１の爪３２側に
移動される。

【００３０】すなわち、第１の爪３２と第２の爪３３は
同期して互いに相手側へ移動するもので、これにより、
図９に示すように、ガラス基板２の両側からガラス基板
２に近付き、そして、図１０に示すようにガラス基板２
を対向する両辺部２ａ，２ｂにて挟む。このとき、セル
ハンドラ４によるガラス基板２の真空吸着は既に解除さ
れているので、ガラス基板２は真空パッド５上をすべ
り、挟まれた方向の中心位置に寄せられて停止、つま
り、位置決めされる。

【００３１】又、第２の爪３３は爪主体４０が揺動自在
であるから、ガラス基板２の両辺部２ａ，２ｂが平行で
なくても、接する辺部２ｂの形状（傾き）に応じて動
き、この状態で、位置決めを完了する。かくして、ガラ
ス基板２を誤った方向に傾かせることが避けられるもの
であり、ガラス基板２の位置決めをより正確に行なうこ
とができる。このようにして、マガジン１の収納溝の幅
の余裕によるガラス基板２の位置のばらつきが補正され
る。

【００３２】なお、このときの第１の爪３２と第２の爪
３３がガラス基板２を挟む力は、レギュレータ５３によ
り破損を起こさない強さにあらかじめ調整されている。
たゞし、第２の爪３３が揺動しないでガラス基板２の辺
部２ｂに当たった場合、図１０に示すように、第２の爪
３３がガラス基板２に点接触し、ガラス基板２に過大な
応力集中が生じる。ガラス基板２は脆性材料であるガラ
スでできているため、上述のような過大な応力集中が生
じると、この部分で割れ，欠けを発生し、製品上好まし
くない。これに対して、第２の爪３３が揺動自在な上記
構成のものでは、第２の爪３３がガラス基板２に点接触
することが避けられるので、ガラス基板２に過大な応力
集中が生じることもなく、割れ，欠けの発生を防止する
ことができる。

【００３３】しかして、その後、第１の爪３２内の基板
検出センサ３６がガラス基板２の押しつけによりガラス
基板２の存在を検知すれば、ガラス基板２の寄せは完了
したとシステムが判断し、セルハンドラ４によるガラス
基板２の真空吸着を再び行なう。そして、電磁バルブ５
２を元に戻して、エアシリンダ４９のピストンロッド５
０を押し出すことにより、第１の爪３２と第２の爪３３
とを開き、セルハンドラ４の移動を進めてＸＹθステー
ジ８に引き渡す。

【００３４】この後、ガラス基板２のマーク認識が行な
われるが、ガラス基板２の位置のばらつきは補正されて
いるので、マーク認識ができないような不具合が発生す
ることはない。

【００３５】このように本構成のものでは、ガラス基板
２の位置のばらつきを補正した状態で、ガラス基板２の
マーク認識を行ない得るので、認識エラーを生じること
はなく、信頼性を向上できる。又、その結果、マーク位
置検出範囲を小さく設定できるので、従来必要とされた
大きな視野の高解像度カメラや、大容量メモリ、多数の
照明装置を不要ならしめ得、コストの低減を達成するこ
とができる。

【００３６】更に、マーク位置検出範囲を小さく設定で
きることにより、システムがマーク位置を検出するため
の処理時間を減少でき、且つ、マーク位置検出の精度も
高くできて、性能の向上を達成することができる。

【００３７】そして、ガラス基板２の大きさが変わって
も、従来のもののようなプッシャを必要とせず、そのス
トロークを変える必要もないため、段取り替え作業や長
ストロークのプッシャを不要にできる。又、ガラス基板
２の大きさが変わっても、これを片押しすることがない
ので、ガラス基板２の中心位置が変わらず、セルハンド
ラ４がマガジン１よりガラス基板２を搬出するスポット
を変える必要がなくて、こちらの変更も不要であり、変
更時間を要しない。加えて、マガジン１の側面にプッシ
ャ１３用の口１４を有する専用のものを必要とすること
もないので、コストの低減を達成することができる。

【００３８】以上に対して、図１２は本発明の第２実施
例を示す。このものでは、第１の爪３２と第２の爪３３
との各待機位置を、ガラス基板２を挟む方向に可変とし
ており、図は第１の爪３２側のみを代表して示してい
る。具体的には、テーブル２８，２９にそれぞれ第２の
直線ガイド６１，６２を設け、これらにガイド溝６３，
６４を形成した第１の爪３２と第２の爪３３とをそれぞ
れ摺動可能に嵌合して、そのガイド溝６３，６４に通し
たロックねじ６５，６６により締め付け固定するように
している。

【００３９】この結果、セルハンドラ４がガラス基板２
を搬送してくるときの第１の爪３２及び第２の爪３３の
各待機位置を、ガラス基板２の進入を妨げない最小限の
間隔で設定できる。これにより、ガラス基板２を挟むと
きの第１の爪３２及び第２の爪３３の移動量を最小にで
きるもので、動作時間を短縮できる。又、エアシリンダ
４９にはピストンロッド５０のストロークの小さいもの
が使用できるようになるので、コストの低減ができる。

【００４０】図１３は本発明の第３実施例を示す。この
ものでは、第１及び第２の両爪３２，３３を駆動する機
構を、搬出途中のガラス基板２より下側に位置するよう
にしている。具体的には、天板２１に代わるベースプレ
ート６７の上面にすべての部品を設けており、ガラス基
板２はその上方に至るようになっている。この結果、各
部の動作時に発生する塵，ほこりをガラス基板２の上側
リード面に落下させることがなく、液晶ディスプレイな
どクリーン度を要求されるものに適する。

【００４１】図１４は本発明の第４実施例を示す。この
ものでは、ガラス基板２を第１及び第２の両爪３２，３
３による寄せ方向と直交する方向にも位置決めするよう
にしている。具体的には、上記ベースプレート６７の上
面又は前記天板２１の下面に、ガラス基板２の進入先に
位置させて、ストッパ６８，６９をストッパ上下移動手
段７０，７１と共に設けている。

【００４２】図２４に示すように、マガジン１内には隙
間ＧがＹ方向に存在するだけでなく、Ｘ方向にも隙間ｇ
が存在する。この隙間ｇもガラス基板２の位置のばらつ
きを起こす要因である。これに対して、本実施例のもの
では、ガラス基板２が第１及び第２の両爪３２，３３に
よる寄せを終了した後で移動を進めたとき、ストッパ６
８，６９はセルハンドラ４の通過を妨げないものの、ス
トッパ上下移動手段７０，７１により上昇せられてお
り、このため、ガラス基板２が比較的遅い速度でストッ
パ６８，６９に当たってセルハンドラ４と共に停止す
る。又、このとき、セルハンドラ４によるガラス基板２
の真空吸着は解除されており、従って、ガラス基板２は
真空パッド５上をすべって進入方向とは反対側にずれた
位置で停止し、つまり、位置決めされる。

【００４３】この後、セルハンドラ４によるガラス基板
２の真空吸着を再び行なう。このときにはストッパ６
８，６９はストッパ上下移動手段７０，７１により下降
されるものとし、よって、その後、セルハンドラ４が更
に移動を進めたときには、ガラス基板２はストッパ６
８，６９の上方を通過し、そして、ＸＹθステージ８に
引き渡される。このものによれば、ガラス基板２の位置
決めが一段と正確にできる。なお、このストッパ６８，
６９によるガラス基板２のＸ方向の位置決めは、ガラス
基板２が第１及び第２の両爪３２，３３により寄せられ
る前に行なうようにしても良い。

【００４４】図１５及び図１６は本発明の第５実施例を
示す。このものでは、第１及び第２の両爪３２，３３に
より、ガラス基板２を第１及び第２の両爪３２，３３に
よる寄せ方向と直交する方向にも位置決めするようにし
ている。

【００４５】具体的には、第１及び第２の両爪３２，３
３のガラス基板２の進入元方向側の端部３２ａ，３３ｂ
を曲面状に形成して、ガラス基板２が進入する前にこれ
ら両爪３２，３３をガラス基板２の幅より小さい間隔ま
で閉じさせ、これによって、ガラス基板２を両爪３２，
３３の端部３２ａ，３３ｂに当てさせて上述同様のＸ方
向の位置決めをするようにしている（図１５）。

【００４６】この位置決め後、両爪３２，３３はガラス
基板２の幅より大きい間隔まで開いてガラス基板２を移
動させ、両爪３２，３３間に至ったところで、両爪３
２，３３を閉じてガラス基板２をその対向する両辺部２
ａ，２ｂで挟みＹ方向の位置決めをする（図１６）。こ
のものでも、ガラス基板２の位置決めが一段と正確にで
きる。又、Ｘ方向の位置決めを、第４実施例のストッパ
６８，６９を別途要さず、第１及び第２の両爪３２，３
３でできるから、コストの増大を抑制するのに効果があ
る。

【００４７】図１７は本発明の第６実施例を示す。この
ものでは、ガラス基板２を対向する両角部２ｅ，２ｆに
て挟むことにより、ガラス基板２をその両角部２ｅ，２
ｆでそれぞれ接する両辺部２ａ，２ｃ、２ｂ，２ｄの各
対向方向（Ｙ，Ｘ両方向）の中心位置に同時に寄せるよ
うにしている。 具体的には、この場合の第１及び第２
の両爪７２，７３はともにガラス基板２の角部２ｅ，２
ｆで辺部２ａ，２ｃ、２ｂ，２ｄにそれぞれ接するＬ字
形に形成しており、ガラス基板２の角部２ｅ，２ｆの対
向方向すなわち対角方向に移動するようにしている。
又、第２の爪７３は、爪主体７４をホルダ７５に中央の
枢支ピン７６及び両側のスプリング７７によって揺動自
在に弾性支持している。

【００４８】このものによれば、第５実施例同様の効果
が得られると共に、更にガラス基板２のＹ，Ｘ両方向の
位置決めが同時にできるので、動作時間の一層の短縮が
できる。

【００４９】図１８及び図１９は本発明の第７実施例を
示す。このものでは、第２の爪７８を、ケース７９と、
これにスプリング８０と共に基部８１ａを収納したポス
ト８１、ケース７９に装着されてポスト８１を導出させ
た長孔８２を有するプレート８３で構成して、ホルダ３
７に２組設けている。

【００５０】この構成で、ガラス基板２を挟む際は、ポ
スト８１がガラス基板２の辺部２ｂの形状に応じてスプ
リング８０を圧縮しながら後退移動し、ガラス基板２の
辺部２ｂの形状に応じた位置で位置決めを完了する。従
って、このものでも、ガラス基板２の位置決めをより正
確に行なうことができると共に、ガラス基板２の割れ，
欠けも防止できる。

【００５１】なお、本発明は上記し且つ図面に示した実
施例にのみ限定されるものではなく、特に各部の形状
や、配置、駆動方式などは適宜選定できるものであり、
又、基板も液晶ディスプレイのガラス基板には限られ
ず、回路基板用のセラミック基板や、ＩＣチップ用のシ
リコンウェーハ等であっても良いもので、更に、第１の
爪と第２の爪は駆動，従動の関係が前述とは逆であって
も良く、ともに専用の駆動装置により駆動されるもので
あっても良いなど、要旨を逸脱しない範囲内で適宜変更
して実施し得る。

【００５２】

【発明の効果】本発明は以上説明したとおりのもので、
下記の効果を奏する。請求項１の基板搬送装置によれ
ば、マガジンから取出された基板を第１の爪と第２の爪
とで挟んでより正確に位置決めできるので、基板を位置
のばらつき少なく引き渡すことができて、費用や処理時
間の削減を達成でき、段取り替え等の必要もなくすこと
ができる。

【００５３】請求項２の基板搬送装置によれば、ガラス
基板を挟むときの第１の爪及び第２の爪の移動量を最小
にできて、動作時間を短縮できる。又、第１の爪及び第
２の爪の移動駆動源に移動量の小さいものが使用できる
ようになるので、コストの低減ができる。

【００５４】請求項３の基板搬送装置によれば、各部の
動作時に発生する塵，ほこりを基板の上面に落下させる
ことがなく、クリーン度を要求されるものに適する。請
求項４の基板搬送装置によれば、基板の位置決めを第１
及び第２の両爪による挟み方向のみならず、それと直交
する方向にもできるので、更に正確に位置決めできる。

【００５５】請求項５の基板搬送装置によれば、基板の
位置決めを、上述同様に第１及び第２の両爪による挟み
方向のみならず、それと直交する方向にもできて、更に
正確に位置決めできるのに加えて、その直交方向の位置
決めを、別途ストッパを要さず、第１及び第２の両爪で
できるから、コストの増大を抑制できる。請求項６の基
板搬送装置によれば、請求項５同様の効果が得られるほ
かに、基板の上記両方向の位置決めが同時にできるの
で、動作時間の一層の短縮ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例を示す位置決め装置全体の
下方からの斜視図

【図２】位置決め装置全体の上方からの斜視図

【図３】ピニオン部分の拡大破断斜視図

【図４】第１の爪部分の拡大側面図

【図５】第２の爪部分の拡大破断側面図

【図６】第２の爪部分の拡大下面図

【図７】ローラ部分の拡大破断斜視図

【図８】エアシリンダの駆動系路図

【図９】基板の位置決めをするときの動作説明図その１

【図１０】基板の位置決めをするときの動作説明図その
２

【図１１】基板の位置決めをするときの異なる動作説明
図

【図１２】本発明の第２実施例を示す第１の爪部分の拡
大斜視図

【図１３】本発明の第３実施例を示す位置決め装置全体
の上方からの斜視図

【図１４】本発明の第４実施例を示すストッパ部分の拡
大斜視図

【図１５】本発明の第５実施例を示す第１及び第２の爪
部分の平面図

【図１６】第１及び第２の爪部分の異なる動作状態の平
面図

【図１７】本発明の第６実施例を示す第１及び第２の爪
部分の下面図

【図１８】本発明の第７実施例を示す第１及び第２の爪
部分の破断側面図

【図１９】第１及び第２の爪部分の下面図

【図２０】従来例を示す部品実装装置全体の斜視図

【図２１】基板を収納したマガジンの拡大斜視図

【図２２】マガジンから基板を取出す部分の拡大斜視図

【図２３】基板のマーク認識をする部分の拡大斜視図

【図２４】基板を収納したマガジンの拡大横断面図

【図２５】マガジンに収納した基板を片押しする部分の
拡大斜視図

【図２６】基板の片押しを基板の大きさの大小で示す説
明図

【符号の説明】

１はマガジン、２はガラス基板、４はセルハンドラ、５
は真空パッド、８はＸＹθステージ、１０はマーク認識
カメラ、１２は位置認識用のマーク、２１は天板、２２
はピニオン、２６，２７はラック、３０，３１は直線ガ
イド、３２は第１の爪、３３は第２の爪、３７はホル
ダ、３８は枢支ピン、３９はスプリング、４０は爪主
体、４９はエアシリンダ、６１，６２は第２の直線ガイ
ド、６３，６４はガイド溝、６５，６６はロックねじ、
６７はベースプレート、６８，６９はストッパ、７０，
７１はストッパ上下移動手段、７２は第１の爪、７３は
第２の爪、７４は爪主体、７６は枢支ピン、７７はスプ
リング、７８は第２の爪、７９はケース、８０はスプリ
ング、８１はポスト、８３はプレートを示す。

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 マガジンに段積みして収納された複数の
   基板を、１枚ずつ下方より真空吸着して取出し次工程部
   に搬出するものにおいて、その搬出途中部で真空吸着を
   解除した状態の基板に対し、その両側から同期して移動
   する、第１の爪と、基板の辺部の形状に応じて動く第２
   の爪とで基板を対向する両辺部にて挟むことにより、基
   板を挟んだ方向の中心位置に寄せることを特徴とする基
   板搬送装置。
2. 【請求項２】 第１及び第２の両爪の待機位置を、基板
   を挟む方向に可変としたことを特徴とする請求項１記載
   の基板搬送装置。
3. 【請求項３】 第１及び第２の両爪を駆動する機構を、
   搬出途中の基板より下側に位置するようにしたことを特
   徴とする請求項１記載の基板搬送装置。
4. 【請求項４】 第１及び第２の両爪により寄せた後又は
   寄せる前の基板を、真空吸着を解除した状態でストッパ
   に押し当てることにより、第１及び第２の両爪による寄
   せ方向と直交する方向にも位置決めするようにしたこと
   を特徴とする請求項１記載の基板搬送装置。
5. 【請求項５】 第１及び第２の両爪により寄せた後又は
   寄せる前の基板を、真空吸着を解除した状態で第１及び
   第２の両爪に押し当てることにより、第１及び第２の両
   爪による寄せ方向と直交する方向にも位置決めするよう
   にしたことを特徴とする請求項１記載の基板搬送装置。
6. 【請求項６】 マガジンに段積みして収納された複数の
   基板を、１枚ずつ下方より真空吸着して取出し次工程部
   に搬出するものにおいて、その搬出途中部で真空吸着を
   解除した状態の基板に対し、その両側から同期して移動
   する、第１の爪と、基板の辺部の形状に応じて動く第２
   の爪とで基板を対向する両角部にて挟むことにより、基
   板をその両角部でそれぞれ接する両辺部の各対向方向の
   中心位置に寄せることを特徴とする基板搬送装置。