JP3233011B2 - 基板の位置決め装置 - Google Patents
基板の位置決め装置Info
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- JP3233011B2 JP3233011B2 JP08369396A JP8369396A JP3233011B2 JP 3233011 B2 JP3233011 B2 JP 3233011B2 JP 08369396 A JP08369396 A JP 08369396A JP 8369396 A JP8369396 A JP 8369396A JP 3233011 B2 JP3233011 B2 JP 3233011B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、基板にチップを実
装する工程や、チップが実装された基板の検査工程など
において用いられる基板の位置決め装置に関するもので
ある。
装する工程や、チップが実装された基板の検査工程など
において用いられる基板の位置決め装置に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】ワープロ、パソコン、携帯電話機などの
電子機器の表示パネルは、ガラス基板などの基板の側縁
部に駆動素子であるチップを実装して組み立てられる。
またチップを実装した後で、チップが正しく実装された
かどうかの基板の検査が行われる。チップとしては、た
とえばフィルムキャルアを打抜いて得られるチップが用
いられている。
電子機器の表示パネルは、ガラス基板などの基板の側縁
部に駆動素子であるチップを実装して組み立てられる。
またチップを実装した後で、チップが正しく実装された
かどうかの基板の検査が行われる。チップとしては、た
とえばフィルムキャルアを打抜いて得られるチップが用
いられている。
【０００３】従来のこの種チップの実装装置としては、
特開平７−１０６７９６号公報に記載されたものが知ら
れている。このものは、特にその図２に示されるよう
に、表示パネル６０（符号は同公報援用、以下同）は可
動テーブル６１に載置されており、可動テーブル６１
は、Ｘテーブル６２、Ｙテーブル６３、θテーブル（タ
ーンテーブル）６４から構成されている。フィルムキャ
リアの打抜装置４０で打抜いて得られた電子部品（チッ
プ）は搭載ヘッドのノズル５４で真空吸着してピックア
ップされ、回転テーブル５１が水平方向へインデックス
回転することにより、表示パネル６０の側縁部にボンデ
ィング（実装）される。
特開平７−１０６７９６号公報に記載されたものが知ら
れている。このものは、特にその図２に示されるよう
に、表示パネル６０（符号は同公報援用、以下同）は可
動テーブル６１に載置されており、可動テーブル６１
は、Ｘテーブル６２、Ｙテーブル６３、θテーブル（タ
ーンテーブル）６４から構成されている。フィルムキャ
リアの打抜装置４０で打抜いて得られた電子部品（チッ
プ）は搭載ヘッドのノズル５４で真空吸着してピックア
ップされ、回転テーブル５１が水平方向へインデックス
回転することにより、表示パネル６０の側縁部にボンデ
ィング（実装）される。
【０００４】電子部品（チップ）７は、表示パネル６０
の複数の側縁部に実装されるので、表示パネル６０はθ
テーブル６４により９０°あるいは１８０°水平回転さ
れてその向きを変えられるようになっている。
の複数の側縁部に実装されるので、表示パネル６０はθ
テーブル６４により９０°あるいは１８０°水平回転さ
れてその向きを変えられるようになっている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、表示パネル
に実装される電子部品（チップ）にはきわめて高い実装
精度が要求される。したがって電子部品は、Ｘ方向、Ｙ
方向、θ（回転）方向の位置ずれを正確に補正したうえ
で、表示パネルの所定の位置に搭載しなければならな
い。このため上記従来の電子部品実装装置では、Ｘテー
ブル６２、Ｙテーブル６３、θテーブル６４を駆動して
表示パネル６０をＸ方向、Ｙ方向、回転方向へ移動させ
ることにより、位置ずれを補正するようになっている。
に実装される電子部品（チップ）にはきわめて高い実装
精度が要求される。したがって電子部品は、Ｘ方向、Ｙ
方向、θ（回転）方向の位置ずれを正確に補正したうえ
で、表示パネルの所定の位置に搭載しなければならな
い。このため上記従来の電子部品実装装置では、Ｘテー
ブル６２、Ｙテーブル６３、θテーブル６４を駆動して
表示パネル６０をＸ方向、Ｙ方向、回転方向へ移動させ
ることにより、位置ずれを補正するようになっている。
【０００６】しかしながら上記θテーブル６４は、表示
パネル６０を９０°あるいは１８０°などの大角度回転
させるように設計されていたため、θ方向の位置ずれを
正確に補正することは困難であるという問題点があっ
た。因みにθ方向の位置ずれの大きさは、一般に１°以
内の微小角度であり、このような微小角度を正確に補正
するためには、表示パネルはきわめて精密に微小回転さ
せねばならないものである。チップを基板に実装した後
で、チップが正しく基板に実装されたかどうかを検査す
る検査装置などにおいても同様の課題がある。
パネル６０を９０°あるいは１８０°などの大角度回転
させるように設計されていたため、θ方向の位置ずれを
正確に補正することは困難であるという問題点があっ
た。因みにθ方向の位置ずれの大きさは、一般に１°以
内の微小角度であり、このような微小角度を正確に補正
するためには、表示パネルはきわめて精密に微小回転さ
せねばならないものである。チップを基板に実装した後
で、チップが正しく基板に実装されたかどうかを検査す
る検査装置などにおいても同様の課題がある。
【０００７】したがって本発明は、表示パネルなどの基
板の大角度の水平回転と、微小角度の正確な水平回転を
共に具現できる基板の位置決め装置を提供することを目
的とする。
板の大角度の水平回転と、微小角度の正確な水平回転を
共に具現できる基板の位置決め装置を提供することを目
的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、表示パネルな
どの基板を水平回転させるためのターンテーブル部を、
基板を載置するターンテーブルと、このターンテーブル
と一体的に回転するギヤと、このギヤに係合するラック
部材と、このラック部材のラック歯をこのギヤに弾接さ
せる弾接手段と、このラック部材をラック歯の歯並び方
向へ移動させるための送りねじとナットとモータとから
成る移動手段とから構成している。
どの基板を水平回転させるためのターンテーブル部を、
基板を載置するターンテーブルと、このターンテーブル
と一体的に回転するギヤと、このギヤに係合するラック
部材と、このラック部材のラック歯をこのギヤに弾接さ
せる弾接手段と、このラック部材をラック歯の歯並び方
向へ移動させるための送りねじとナットとモータとから
成る移動手段とから構成している。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明によれば、モータを駆動し
てラック部材をラック歯の歯並び方向へ移動させること
により、基板の大角度の水平回転と、微小角度の正確な
水平回転が共に可能となり、したがって基板の複数の側
縁部に、チップを高精度で実装することができる。また
チップが実装された基板の検査も、チップを１個づつ確
実にカメラの視野に入れるなどしながら、所定の検査を
行うことができる。
てラック部材をラック歯の歯並び方向へ移動させること
により、基板の大角度の水平回転と、微小角度の正確な
水平回転が共に可能となり、したがって基板の複数の側
縁部に、チップを高精度で実装することができる。また
チップが実装された基板の検査も、チップを１個づつ確
実にカメラの視野に入れるなどしながら、所定の検査を
行うことができる。
【００１０】次に、本発明の実施の形態を図面を参照し
て説明する。図１は本発明の一実施の形態のチップの実
装装置の斜視図、図２は同ターンテーブル部の斜視図、
図３は同ターンテーブル部の平面図、図４は同ターンテ
ーブル部の側面図である。
て説明する。図１は本発明の一実施の形態のチップの実
装装置の斜視図、図２は同ターンテーブル部の斜視図、
図３は同ターンテーブル部の平面図、図４は同ターンテ
ーブル部の側面図である。
【００１１】図１において、基台１上には、基板の位置
決め装置である可動テーブル部１０が設けられている。
可動テーブル部１０は、Ｘテーブル部１１、Ｙテーブル
部１２、ターンテーブル部２０を段積して構成されてい
る。ターンテーブル部２０は、基板２を載置するターン
テーブル２１を備えている。１３はＸテーブル部１１を
駆動するモータ、１４はＹテーブル部１２を駆動するモ
ータである。Ｘテーブル部１１とＹテーブル部１２が駆
動すると、基板２を保持するターンテーブル部２０はＸ
方向やＹ方向へ水平移動する。すなわちＸテーブル部１
１とＹテーブル部１２は、基板２を保持するターンテー
ブル部２０を水平方向へ移動させる移動テーブル部とな
っている。またターンテーブル部２０が駆動すると、基
板２は水平回転する。
決め装置である可動テーブル部１０が設けられている。
可動テーブル部１０は、Ｘテーブル部１１、Ｙテーブル
部１２、ターンテーブル部２０を段積して構成されてい
る。ターンテーブル部２０は、基板２を載置するターン
テーブル２１を備えている。１３はＸテーブル部１１を
駆動するモータ、１４はＹテーブル部１２を駆動するモ
ータである。Ｘテーブル部１１とＹテーブル部１２が駆
動すると、基板２を保持するターンテーブル部２０はＸ
方向やＹ方向へ水平移動する。すなわちＸテーブル部１
１とＹテーブル部１２は、基板２を保持するターンテー
ブル部２０を水平方向へ移動させる移動テーブル部とな
っている。またターンテーブル部２０が駆動すると、基
板２は水平回転する。
【００１２】基台１の側部には、門型の支持部３が設け
られている。支持部３の上部には移動機構部４が設けら
れている。移動機構部４には、搭載ヘッド５が保持され
ている。搭載ヘッド５はノズル６を有している。支持部
３の後方にはチップ７を収納したチップ供給部としての
トレイ８を載置する台部９が設けられている。移動機構
部４が駆動することにより、搭載ヘッド５はトレイ８と
基板２の間を移動し、トレイ８に備えられたチップ７を
ノズル６の下端部に真空吸着してピックアップし、基板
２の側縁部に搭載する。チップ供給部としては、トレイ
以外にも、フィルムキャリアを金型で打抜いて供給する
打抜機構なども用いられる。搭載ヘッド５の移動路の下
方には、ノズル６に保持されたチップを下方から観察し
てその位置ずれを検出する検出手段としてのカメラ３３
が設けられている。
られている。支持部３の上部には移動機構部４が設けら
れている。移動機構部４には、搭載ヘッド５が保持され
ている。搭載ヘッド５はノズル６を有している。支持部
３の後方にはチップ７を収納したチップ供給部としての
トレイ８を載置する台部９が設けられている。移動機構
部４が駆動することにより、搭載ヘッド５はトレイ８と
基板２の間を移動し、トレイ８に備えられたチップ７を
ノズル６の下端部に真空吸着してピックアップし、基板
２の側縁部に搭載する。チップ供給部としては、トレイ
以外にも、フィルムキャリアを金型で打抜いて供給する
打抜機構なども用いられる。搭載ヘッド５の移動路の下
方には、ノズル６に保持されたチップを下方から観察し
てその位置ずれを検出する検出手段としてのカメラ３３
が設けられている。
【００１３】次に、図２〜図４を参照して、ターンテー
ブル部２０の詳細な構造を説明する。２２は台板であ
り、支壁２３が立設されている。支壁２３の前面には、
断面形状がカギ型の昇降台２４が配設されている。支壁
２３の前面には、昇降台２４の背面に装着された垂直な
ガイドレール２５にスライド自在に嵌合するスライダ２
６が設けられている。
ブル部２０の詳細な構造を説明する。２２は台板であ
り、支壁２３が立設されている。支壁２３の前面には、
断面形状がカギ型の昇降台２４が配設されている。支壁
２３の前面には、昇降台２４の背面に装着された垂直な
ガイドレール２５にスライド自在に嵌合するスライダ２
６が設けられている。
【００１４】図４において、台板２２上にはモータ２７
が設けられている。モータ２７の回転軸には、エンコー
ダ２８とカム３０が設けられている。２９はエンコーダ
２８の回転量を検出するセンサである。昇降台２４の内
面には、カム３０に当接するローラ３１が設けられてい
る。昇降台２４はスプリング３２で下方へ弾発されてお
り、そのバネ力によりローラ３１はカム３０に当接して
いる。したがってモータ２７が駆動してカム３０が回転
すると、昇降台２４はガイドレール２５とスライダ２６
に案内されて昇降する。その昇降量は、エンコーダ２８
とセンサ２９で検出される。
が設けられている。モータ２７の回転軸には、エンコー
ダ２８とカム３０が設けられている。２９はエンコーダ
２８の回転量を検出するセンサである。昇降台２４の内
面には、カム３０に当接するローラ３１が設けられてい
る。昇降台２４はスプリング３２で下方へ弾発されてお
り、そのバネ力によりローラ３１はカム３０に当接して
いる。したがってモータ２７が駆動してカム３０が回転
すると、昇降台２４はガイドレール２５とスライダ２６
に案内されて昇降する。その昇降量は、エンコーダ２８
とセンサ２９で検出される。
【００１５】図２において、昇降台２４の上面には、可
動板４０が設けられている。図４において、可動板４０
の下面にはスライダ４１が設けられているスライダ４１
は、昇降台２４の上面に配設された水平なガイドレール
４２にスライド自在に嵌合している。可動板４０の下面
にはナット４３が装着されている。ナット４３はガイド
レール４２と平行な水平な送りねじ４４に螺合してい
る。図２および図３において、昇降台２４の側部には送
りねじ４４を回転させるモータ４５が装着されている。
４６はモータ４５の回転軸に装着されたエンコーダ、４
７はエンコーダ４６の回転量を検出するセンサである。
動板４０が設けられている。図４において、可動板４０
の下面にはスライダ４１が設けられているスライダ４１
は、昇降台２４の上面に配設された水平なガイドレール
４２にスライド自在に嵌合している。可動板４０の下面
にはナット４３が装着されている。ナット４３はガイド
レール４２と平行な水平な送りねじ４４に螺合してい
る。図２および図３において、昇降台２４の側部には送
りねじ４４を回転させるモータ４５が装着されている。
４６はモータ４５の回転軸に装着されたエンコーダ、４
７はエンコーダ４６の回転量を検出するセンサである。
【００１６】可動板４０の側部中央には、カギ型の板体
４８が装着されている。また昇降台２４の上面の両側部
には板体４８を検出するための始端センサ４９と終端セ
ンサ５０が設けられている。モータ４５が駆動して送り
ねじ４４が回転すると、可動板４０はガイドレール４２
に沿って横方向へ水平移動し、その移動量はエンコーダ
４６とセンサ４７で検出される。また可動板４０が始端
限界点へ移動したことは始端センサ４９で検出され、ま
た終端限界点へ移動したことは、終端センサ５０で検出
される。
４８が装着されている。また昇降台２４の上面の両側部
には板体４８を検出するための始端センサ４９と終端セ
ンサ５０が設けられている。モータ４５が駆動して送り
ねじ４４が回転すると、可動板４０はガイドレール４２
に沿って横方向へ水平移動し、その移動量はエンコーダ
４６とセンサ４７で検出される。また可動板４０が始端
限界点へ移動したことは始端センサ４９で検出され、ま
た終端限界点へ移動したことは、終端センサ５０で検出
される。
【００１７】図４において、可動板４０の上方には弾接
部材５１が設けられている。弾接部材５１の下面にはス
ライダ５２が装着されている。スライダ５２は可動板４
０上に設けられたガイドレール５３にスライド自在に嵌
合している。弾接部材５１はスプリング５４によりその
前部に取り付けられたラック部材５５をギヤ５６に弾圧
している。ターンテーブル２１の下部にはギヤ５６が設
けられている。ラック部材５５が弾接部材５１で背後か
ら弾圧されることにより、ラック部材５５のラック歯５
５ａはギヤ５６にしっかり弾接されて係合している。す
なわち、弾接部材５１やスプリング５４などは、ラック
歯５５ａをギヤ５６に弾接させる弾接手段となってい
る。
部材５１が設けられている。弾接部材５１の下面にはス
ライダ５２が装着されている。スライダ５２は可動板４
０上に設けられたガイドレール５３にスライド自在に嵌
合している。弾接部材５１はスプリング５４によりその
前部に取り付けられたラック部材５５をギヤ５６に弾圧
している。ターンテーブル２１の下部にはギヤ５６が設
けられている。ラック部材５５が弾接部材５１で背後か
ら弾圧されることにより、ラック部材５５のラック歯５
５ａはギヤ５６にしっかり弾接されて係合している。す
なわち、弾接部材５１やスプリング５４などは、ラック
歯５５ａをギヤ５６に弾接させる弾接手段となってい
る。
【００１８】図４に示すように、ターンテーブル２１の
下部には直立したパイプ５７が接続されている。パイプ
５７はエルボ５８を介して空気圧ユニット（図外）に接
続されている。パイプ５７はベアリング５９にその軸心
を中心に回転自在に保持されている。６０はベアリング
５９の支持筒である。パイプ５７の上部には、ターンテ
ーブル２１とギヤ５６が一体的に取り付けられている。
図１に示すように、ターンテーブル２１上には基板２が
載置される。空気圧ユニットを駆動してパイプ５７を通
して真空吸引することにより、基板２はターンテーブル
２１上にしっかり真空吸着して保持される。ターンテー
ブル２１の上面には溝６１が同心円状に多数個形成され
ている。この溝６１は基板２のすべり止めである。
下部には直立したパイプ５７が接続されている。パイプ
５７はエルボ５８を介して空気圧ユニット（図外）に接
続されている。パイプ５７はベアリング５９にその軸心
を中心に回転自在に保持されている。６０はベアリング
５９の支持筒である。パイプ５７の上部には、ターンテ
ーブル２１とギヤ５６が一体的に取り付けられている。
図１に示すように、ターンテーブル２１上には基板２が
載置される。空気圧ユニットを駆動してパイプ５７を通
して真空吸引することにより、基板２はターンテーブル
２１上にしっかり真空吸着して保持される。ターンテー
ブル２１の上面には溝６１が同心円状に多数個形成され
ている。この溝６１は基板２のすべり止めである。
【００１９】図１に示すモータ４５が駆動して送りねじ
４４が回転すると、ナット４３は送りねじ４４に沿って
移動する。これにより可動板４０および可動板４０上の
弾接部材５１やラック部材５５は、ラック歯５５ａの歯
並び方向（ラック部材５５の長手方向）へ移動し、これ
によりギヤ５６は回転し、ターンテーブル２１もギヤ５
６と一体的に回転する。これにより、ターンテーブル２
１上の基板２は水平回転する。この場合、ラック部材５
５はスプリング５４のバネ力によりギヤ５６側に弾圧さ
れているので、ラック歯５５ａはギヤ５６にしっかり係
合しており、したがってギヤ５６はがたつきなく正確に
回転できる。
４４が回転すると、ナット４３は送りねじ４４に沿って
移動する。これにより可動板４０および可動板４０上の
弾接部材５１やラック部材５５は、ラック歯５５ａの歯
並び方向（ラック部材５５の長手方向）へ移動し、これ
によりギヤ５６は回転し、ターンテーブル２１もギヤ５
６と一体的に回転する。これにより、ターンテーブル２
１上の基板２は水平回転する。この場合、ラック部材５
５はスプリング５４のバネ力によりギヤ５６側に弾圧さ
れているので、ラック歯５５ａはギヤ５６にしっかり係
合しており、したがってギヤ５６はがたつきなく正確に
回転できる。
【００２０】このチップの実装装置は上記にような構成
より成り、次に全体の動作を説明する。図１に示すよう
に、基板２をターンテーブル２１上に載置し、Ｘテーブ
ル部１１、Ｙテーブル部１２、ターンテーブル部２０を
駆動して、基板２をＸ方向、Ｙ方向、回転方向へ移動さ
せ、図示するように基板２の長辺を搭載ヘッド５側の所
定の位置に位置決めする。そこで搭載ヘッド５はトレイ
８の上方へ移動してトレイ８のチップ７をノズル６の下
端部に真空吸着してピックアップし、基板２へ向って移
動する。その途中で、ノズル６に真空吸着されたチップ
７をカメラ３３で下方から観察し、チップ７のＸ方向、
Ｙ方向、回転方向の位置ずれを検出する。
より成り、次に全体の動作を説明する。図１に示すよう
に、基板２をターンテーブル２１上に載置し、Ｘテーブ
ル部１１、Ｙテーブル部１２、ターンテーブル部２０を
駆動して、基板２をＸ方向、Ｙ方向、回転方向へ移動さ
せ、図示するように基板２の長辺を搭載ヘッド５側の所
定の位置に位置決めする。そこで搭載ヘッド５はトレイ
８の上方へ移動してトレイ８のチップ７をノズル６の下
端部に真空吸着してピックアップし、基板２へ向って移
動する。その途中で、ノズル６に真空吸着されたチップ
７をカメラ３３で下方から観察し、チップ７のＸ方向、
Ｙ方向、回転方向の位置ずれを検出する。
【００２１】検出された位置ずれのうち、Ｘ方向の位置
ずれはＸテーブル部１１を駆動して基板２をＸ方向へ移
動させることにより補正し、Ｙ方向の位置ずれはＹテー
ブル部１２を駆動して基板２をＹ方向へ移動させること
により補正し、回転方向の位置ずれはターンテーブル部
２０を駆動することにより補正する。このターンテーブ
ル部２０のターンテーブル２１は、モータ４５を駆動し
てギヤ５６を回転させることにより水平回転し、回転方
向の補正が行われるが、このギヤ５６の回転は、ナット
４３を送りねじ４４に沿って移動させることにより行わ
れるので、ギヤ５６を精密に回転させて、回転方向の位
置ずれを高精度で行うことができる。しかもスプリング
５４に弾発されることにより、ラック部材５５のラック
歯５５ａはギヤ５６にしっかり係合しているので、ギヤ
５６はがたつきなく正確に回転できる。
ずれはＸテーブル部１１を駆動して基板２をＸ方向へ移
動させることにより補正し、Ｙ方向の位置ずれはＹテー
ブル部１２を駆動して基板２をＹ方向へ移動させること
により補正し、回転方向の位置ずれはターンテーブル部
２０を駆動することにより補正する。このターンテーブ
ル部２０のターンテーブル２１は、モータ４５を駆動し
てギヤ５６を回転させることにより水平回転し、回転方
向の補正が行われるが、このギヤ５６の回転は、ナット
４３を送りねじ４４に沿って移動させることにより行わ
れるので、ギヤ５６を精密に回転させて、回転方向の位
置ずれを高精度で行うことができる。しかもスプリング
５４に弾発されることにより、ラック部材５５のラック
歯５５ａはギヤ５６にしっかり係合しているので、ギヤ
５６はがたつきなく正確に回転できる。
【００２２】以上のようにしてＸ方向、Ｙ方向、回転方
向の位置ずれを補正したならば、搭載ヘッド５は基板２
の長辺の側縁部の上方へ移動し、そこでノズル６に下降
・上昇動作を行わせて、チップ７を基板２の側縁部に実
装する。なお、チップ７がフィルムキャリアを打抜いて
得られたチップの場合、そのリードを熱圧着手段により
基板２の側縁部の電極上に熱圧着してボンディングされ
るが、この熱圧着手段等は周知機構であるので説明は省
略する。
向の位置ずれを補正したならば、搭載ヘッド５は基板２
の長辺の側縁部の上方へ移動し、そこでノズル６に下降
・上昇動作を行わせて、チップ７を基板２の側縁部に実
装する。なお、チップ７がフィルムキャリアを打抜いて
得られたチップの場合、そのリードを熱圧着手段により
基板２の側縁部の電極上に熱圧着してボンディングされ
るが、この熱圧着手段等は周知機構であるので説明は省
略する。
【００２３】図１において、搭載ヘッド５はトレイ８と
基板２の間を繰り返し往復移動することにより、基板２
の長辺の側縁部にはチップ７が横一列に所定個数実装さ
れる。そして長辺に対するチップ７の実装が終了したな
らば、モータ４５を駆動してターンテーブル２１を大き
く（９０°）回転させ、基板２の短辺を搭載ヘッド５側
に向ける。そして上述した動作を繰り返すことにより、
基板２の短辺の側縁部にもチップ７を実装する。なお一
般には、基板２の長辺と短辺では、チップ７の品種が異
るので、この場合には搭載ヘッド５に供給するチップ７
を変更する。以上のようにして基板２に対するチップ７
の実装が終了したならば、基板２はターンテーブル２１
から取り出されて次の工程へ送られ、ターンテーブル２
１上には次の基板２が載置されて、上記した作業が繰り
返される。
基板２の間を繰り返し往復移動することにより、基板２
の長辺の側縁部にはチップ７が横一列に所定個数実装さ
れる。そして長辺に対するチップ７の実装が終了したな
らば、モータ４５を駆動してターンテーブル２１を大き
く（９０°）回転させ、基板２の短辺を搭載ヘッド５側
に向ける。そして上述した動作を繰り返すことにより、
基板２の短辺の側縁部にもチップ７を実装する。なお一
般には、基板２の長辺と短辺では、チップ７の品種が異
るので、この場合には搭載ヘッド５に供給するチップ７
を変更する。以上のようにして基板２に対するチップ７
の実装が終了したならば、基板２はターンテーブル２１
から取り出されて次の工程へ送られ、ターンテーブル２
１上には次の基板２が載置されて、上記した作業が繰り
返される。
【００２４】本発明は、上記実施の形態に限らず、他の
実施の形態も可能である。すなわち例えば図１におい
て、基板２にチップ７を実装した後、チップ７が基板２
に正しく実装されたかどうかを検査する基板の検査工程
などに用いることもできる。この場合、カメラ３３をこ
の検査用カメラとして兼用し、上述のように基板２を大
角度や微小角度に正確に水平回転させながら、チップ７
を１個づつ確実にカメラ３３の視野に入れながら、検査
を行うことができる。勿論、図１に示すチップの実装装
置とは別個に、基板の検査装置を独立して設け、チップ
の実装が終了した基板をこの基板の検査装置へ搬送し
て、基板の検査を行うこともできる。このように本発明
の基板の位置決め装置は、基板の組立てラインにおける
様々な工程において使用することができる。
実施の形態も可能である。すなわち例えば図１におい
て、基板２にチップ７を実装した後、チップ７が基板２
に正しく実装されたかどうかを検査する基板の検査工程
などに用いることもできる。この場合、カメラ３３をこ
の検査用カメラとして兼用し、上述のように基板２を大
角度や微小角度に正確に水平回転させながら、チップ７
を１個づつ確実にカメラ３３の視野に入れながら、検査
を行うことができる。勿論、図１に示すチップの実装装
置とは別個に、基板の検査装置を独立して設け、チップ
の実装が終了した基板をこの基板の検査装置へ搬送し
て、基板の検査を行うこともできる。このように本発明
の基板の位置決め装置は、基板の組立てラインにおける
様々な工程において使用することができる。
【００２５】
【発明の効果】本発明によれば、ターンテーブル部のモ
ータを駆動してラック部材をラック歯の歯並び方向へ移
動させることにより、基板の大角度の水平回転と、微小
角度の正確な水平回転が共に可能となり、したがって基
板の複数の側縁部に、チップを高精度で正確に実装する
ことができる。またチップが実装された基板の検査も、
チップを１個づつ確実にカメラの視野に入れるなどしな
がら、所定の検査を行うことができる。このように本発
明は、基板の組立てラインにおける様々な工程におい
て、基板の正確な位置決めを行って所定の作業を行うこ
とができる。
ータを駆動してラック部材をラック歯の歯並び方向へ移
動させることにより、基板の大角度の水平回転と、微小
角度の正確な水平回転が共に可能となり、したがって基
板の複数の側縁部に、チップを高精度で正確に実装する
ことができる。またチップが実装された基板の検査も、
チップを１個づつ確実にカメラの視野に入れるなどしな
がら、所定の検査を行うことができる。このように本発
明は、基板の組立てラインにおける様々な工程におい
て、基板の正確な位置決めを行って所定の作業を行うこ
とができる。
【図１】本発明の一実施の形態のチップの実装装置の斜
視図
視図
【図２】本発明の一実施の形態のチップの実装装置のタ
ーンテーブル部の斜視図
ーンテーブル部の斜視図
【図３】本発明の一実施の形態のチップの実装装置のタ
ーンテーブル部の平面図
ーンテーブル部の平面図
【図４】本発明の一実施の形態のチップの実装装置のタ
ーンテーブル部の側面図
ーンテーブル部の側面図
２ 基板 ４ 移動機構部 ５ 搭載ヘッド ６ ノズル ７ チップ ８ トレイ １０ 可動テーブル部 １１ Ｘテーブル部 １２ Ｙテーブル部 ２０ ターンテーブル部 ２１ ターンテーブル ４０ 可動板 ４３ ナット ４４ 送りねじ ４５ モータ ５１ 弾接部材 ５４ スプリング ５５ ラック部材 ５５ａ ラック歯 ５６ ギヤ
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/52 H01L 21/60 H05K 13/02 H05K 13/04 G02F 1/1345
Claims (1)
- 【請求項１】基板を載置するターンテーブル部と、この
ターンテーブル部を水平方向へ移動させる移動テーブル
部とを備えた基板の位置決め装置であって、 前記ターンテーブル部が、基板を載置するターンテーブ
ルと、このターンテーブルと一体的に回転するギヤと、
このギヤに係合するラック部材と、このラック部材のラ
ック歯をこのギヤに弾接させる弾接手段と、このラック
部材をラック歯の歯並び方向へ移動させるための送りね
じとナットとモータとから成る移動手段とを備えたこと
を特徴とする基板の位置決め装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08369396A JP3233011B2 (ja) | 1996-04-05 | 1996-04-05 | 基板の位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08369396A JP3233011B2 (ja) | 1996-04-05 | 1996-04-05 | 基板の位置決め装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09275115A JPH09275115A (ja) | 1997-10-21 |
| JP3233011B2 true JP3233011B2 (ja) | 2001-11-26 |
Family
ID=13809583
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP08369396A Expired - Lifetime JP3233011B2 (ja) | 1996-04-05 | 1996-04-05 | 基板の位置決め装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3233011B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000069241A1 (en) * | 1999-05-06 | 2000-11-16 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Component mounting apparatus and method therefor |
| US7513284B2 (en) | 2004-01-21 | 2009-04-07 | Panasonic Corporation | Compression device |
| CN100366393C (zh) * | 2005-11-23 | 2008-02-06 | 深圳易拓科技有限公司 | 转盘式螺钉安装机 |
| JP4497176B2 (ja) * | 2007-06-06 | 2010-07-07 | パナソニック株式会社 | 電子部品のボンディング装置 |
| CN105589229B (zh) * | 2016-03-08 | 2019-01-08 | 凌云光技术集团有限责任公司 | 液晶屏自动点灯治具 |
| CN107552970B (zh) * | 2017-10-31 | 2019-04-16 | 新昌县彭诚农业科技有限公司 | 一种激光雕刻机的冷却装置 |
| CN108710231A (zh) * | 2018-07-04 | 2018-10-26 | 中电科风华信息装备股份有限公司 | 一种邦定机的精准旋转对位预压执行机构 |
| KR102447076B1 (ko) * | 2022-02-16 | 2022-09-23 | 김재선 | 정전척 포커스링 가공용 머시닝센터 고속선회지그 |
-
1996
- 1996-04-05 JP JP08369396A patent/JP3233011B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09275115A (ja) | 1997-10-21 |
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