KR0145258B1 - 전자부품의 본딩장치 - Google Patents

전자부품의 본딩장치

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KR0145258B1
KR0145258B1 KR1019940029680A KR19940029680A KR0145258B1 KR 0145258 B1 KR0145258 B1 KR 0145258B1 KR 1019940029680 A KR1019940029680 A KR 1019940029680A KR 19940029680 A KR19940029680 A KR 19940029680A KR 0145258 B1 KR0145258 B1 KR 0145258B1
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nozzle shaft
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KR1019940029680A
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야스토 오니쯔카
Original Assignee
모리시타 요이찌
마쯔시다덴기산교 가부시끼가이샤
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Abstract

본 발명은, 전극을 가진 기판에 그 기판을 구동하기 위한 전자부품을 고속이고, 정밀도좋게 본딩할 수 있는 전자부품의 본딩장치를 제공하는 것을 목적으로 한 것이며, 그 구성에 있어서, 기판(2)을 본딩위치(b)에 위치결정하는 테이블장치(c)와, 하단부에 전자부품(1)을 흡착하는 노즐(25)을 가진 노즐샤프트(24)를 구비한 이송헤드(H)와, 둘레가장자리에 이 이송헤드(H)를 방사형상으로 복수개 장착하고, 간헐적으로 회전하므로서, 이 이송헤드(H)를 본딩위치(b)에 이동시키는 회전체(11)와, 이송헤드(H)에 의해 본딩위치(b)에 이송된 전자부품(1)과 기판(2)의 위치어긋남을 검출하는 인식장치(E)와 인식장치(E)에 의해서 검출된 위치어긋남에 의거해서 이송헤드(H)에 설치된 레버를 미소하게 변위시키므로서 노즐샤프트(24)를 미소한 각도회전시키는 구동기구로 구성되는 것을 특징으로 한 것이다.

Description

전자부품의 본딩장치
제 1도는 본 발명의 제 1실시예의 전자부품의 본딩장치의 개요를 설명하는 평면도,
제 2도는 본 발명의 제 1실시예의 전자부품의 본딩장치의 단면도,
제 3도는 본 발명의 제 1실시예의 전자부품의 본딩장치의 노즐샤프트의 승강기구의 사시도,
제 4도는 본 발명의 제 1실시예의 전자부품의 본딩장치의 노즐샤프트의 회전기구의 사시도,
제 5도는 본 발명의 제 1실시예의 전자부품의 본딩장치의 노즐샤프트의 회전기구의 평면도,
제 6도는 본 발명의 제 1실시예의 전자부품의 본딩장치의 부분평단면도,
제 7도는 본 발명의 제 1실시예의 전자부품의 본딩장치의 제어계의 블록도,
제 8도는 본 발명의 제 1실시예의 전자부품의 본딩장치에 있어서의 본딩동작의 설명도,
제 9도는 본 발명의 제 1실시예의 전자부품의 본딩장치에 있어서의 본딩동작의 다른 설명도,
제 10도는 본 발명의 제 2실시예의 전자부품의 본딩장치의 단면도,
제 11도는 본 발명의 제 2실시예의 전자부품의 본딩장치의 요부의 단면확대도,
제 12도는 본 발명의 제 2실시예의 전자부품의 본딩장치의 부분평단면도,
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 전자부품 2 : 액정패널
2a : 상판 2b : 하판
3 : 필름캐리어 4 : 칩
5 : 전극 6 : 리드
11 : 회전체 12 : 인덱스기구
13 : 제 1의 회전축 14 : 제 3의 모터
15 .. 암 16 : 제 1의 링캠
17, 18 : 오목부 19 : 제 1의 기어
20 : 제 2의 모터 21 : 제 2의 기어
22 : 제 1의 베어링 23 : 노즐홀더
24 : 노즐샤프트 25 : 진공흡착노즐
26 : 제 1의 튜브 27 : 제 2의 튜브
27a : 밸브 30 : 대직경부
31 : 제 1의 핀 32 : 제 2의 핀
33 : 제 1의 코일스프링 34 : 제 3의 롤러
35 : 스토퍼 36 : 제 2의 코일스프링
37 : 제 1의 베어링 38 : 제 1의 레버
39 : 제 1의 롤러 40 : 제 2의 롤러
41 : x테이블 42 : y테이블
43 : θ테이블 44 : 열압착소자
45 : 카메라 46 : 거울통
48 : 유지홀더 50 : 제 2의 링캠
51 : 제 3의 기어 52 : 제 2의 베어링
53 : 제 1의 모터 54 : 제 4의 기어
55 : 제 2의 레버 56 : 제 2의 회전축
57 : 제 4의 롤러 58 : 요철부
59 : 제 4의 핀 60 : 제어부
61 : 제 1의 모터 62 : 제 2의 모터
63 : 제 1의 이송나사 64 : 제 2의 이송나사
65 : 제 2의 베어링 66 : 제 3의 베어링
67 : 제 1의 너트 67a : 제 1의 승강부재
67b : 제 1의 블록 68 : 제 2의 너트
68a : 제 2의 승강부재 68b : 제 2의 블록
69 : 제 1의 슬라이더 70 : 제 2의 슬라이더
71 : 제 1의 안내레일 72 : 제 2의 안내레일
73 : 제 4의 모터 74 : 제 3의 이송나사
75 : 제 4의 베어링 76 : 제 3의 나트
77 : 프레임 80 : 제 3의 블록
81a : 제 1의 롤러 81b : 제 2의 롤러
82 : 제 1의 캠 82a : 잘린부분
83 : 제 2의 캠 101 : 베이스
102 : 지지프레임 102a : 제 1의 수평부
102b : 제 2의 수평부 103 : 제 1의 브래킷
104 : 로터리밸브 104a : 내통부
104b : 외통부 104c : 부수의 관로
104d : 원환형상의 홈 105 : 제 2의 브래킷
110 : 지지프레임 111 : 제 1의 브래킷
112 : 제 2의 브래킷 151 : 제 3의 핀
A ... 텐테이블장치 a ... 픽업위치
b ... 본딩장치 B ...전자부품공급부
C ... 테이블장치 D ... 임시인식장치
E ... 본인식장치 F ... 압착헤드
G ... 흡인장치 H ... 이송헤드
I ... 모터구동부 K ... 밸브구동부
본 발명은, 액정패널 등의 기판에, 그 기판을 구동하기 위한 전자부품을 본딩하기 위한 전자부품의 본딩장치에 관한 것이다.
종례, 전자기기나 랩톱퍼스널컴퓨터등의 디스플레이장치에 사용되는 액정패널은, 그 가장자리에 형성된 전극에 액정패널구동용의 전자부품의 리드를 본딩해서 조립하게 된다. 전자부품은, Tape Automated Bonding 법(이하 TAB법이라 생략한다)에 의해서 공급된 TCP(Tape Carrer Package)이며, 테이프형상의 TAB테이프로부터 금형에 의해서 펀칭가공해서 얻게 된다.
액정패널의 전극이나 전자부품의 리드는, 약 100㎛의 좁은피치로 다수형성되어 있기 때문에, 양자의 위치맞춤은 매우 정확히 행할 필요가 있다.
한편, 1개의 액정패널에는, 다수의 전자부품이 본딩되기 때문에, 본딩을 고속으로 행할 필요가 있다.
액정패널에 전자부품을 자동적으로 본딩하는 장치로서는, 일본국특개평 2-186652, 동특개평 2-294047, 동특개평 3-123803에 기재되어 있다.
이들 공보에 기재되어 있는 전자부품의 본딩장치는, 임시위치결정스테이지에서 임시 위치결정된 전자부품을 1개의 장착헤드에 의해서 기판위치결정스테이지위의 액정패널까지 반송하고, 카메라로 액정패널의 전극과 전자부품의 리드의 위치맞춤상태를 관찰해서 양자의 위치맞춤을 행하므로서, 본딩을 행하도록 구성되어 있다.
그러나 상기한 종래의 전자부품의 본딩장치에 있어서는 1개의 장착헤드에 의해서 본딩이 행하여지기 때문에, 작업성이 나쁘고, 또, 본딩을 고속으로 행할 수 없다고 하는 문제가 있었다.
본 발명은, 전극을 가진 기판에 전자부품을 고속이고 정밀도 좋게 본딩할 수 있는 전자부품의 본딩장치를 제공한다.
본 발명의 전자부품의 본딩장치는, 기판을 본딩위치에 위치결정하는 테이블장치와, 하단부에 전자부품을 흡착하는 노즐을 가진 노즐샤프트를 구비한 이송헤드와 동가장자리에 상기 이송헤드를 방사형상으로 복수개 장착하고, 수직축을 중심으로 간헐적회전하므로서, 상기 이동헤드를 차례로 본딩위치에 이동시키는 회전체와, 본딩위치에 이송된 전자부품과 기판과의 위치어긋남을 검출하는 인식장치와, 상기 노즐샤프트에 승강동작을 행하게 하는 승강기구와, 상기 노즐샤프트를 노즐샤프트의 축심을 중심으로 미소하게 회전시키는 회전기구를 구비하고, 상기 회전기구는, 각 이동헤드에 베설한 레버와, 상기 노즐샤프트의 상단부로부터 돌출하는 밀어붙이기부재와, 상기 밀어붙이기부재를 상기 레버의 선단부에 부세하는 부세체와, 상기 본딩위치에 위치하는 이송헤드의 레버의 타단부에 당접하고, 이 레버를 상기 인식장치에 검출한 위치어긋남에 의거해서 미소하게 변위시키므로서, 상기 노즐 샤프트를 그 축심을 중심으로 회전시키는 구동기구를 구비한 것이다.
(실시 예1)
다음에, 도면을 참조하면서 본 발명의 전자부품의 본딩장치의 제 1실시예를 설명한다.
제 1도는 실시예 1의 전자부품의 본딩장치의 개요를 설명하는 평면도이다. 제 1도에 있어서, 본딩장치는 턴테이블장치 A와, 전자부품(1)의 공급부 B와, 액정패널(2)를 본딩위치에 위치결정하는 테이블장치C와, 전자부품(1)의 이송로에 설치된 임시인식장치C와, 전자부품(1)의 본딩위치b의 아래쪽에 설치된 본인식장치E와, 테이블장치C의 위쪽에 설치된 압착헤드F로 이루어져 있다.
턴테이블장치A는, 회전체(11)의 주변가장자리에 설치된 6개의 이송해드H를 구비하고, 화살표 N1방향으로 인덱스회전하므로서, 전자부품의 공급부 B의 전자부품(1)을 이송헤드 H 에 의해 흡착해서 테이블장치C위에 얹어놓은 액정패널(2)의 위쪽으로 이송한다.
전자부품의 공급부B는 금형이다. 이 금형은, 화살표N 2방향으로 피치이송되는 필름캐리어(3)을 펀칭가공해서 전자부품(1)을 얻을 수 있다.
칩(4)는 필름케리어(3)에 일정한 피치마다 접착되어 있다. 또한 전자부품(1)을 공급하는 공급부 B로서는, 미리 필름케리어(3)으로부터 펀칭가공된 전자부품(1)을 수납한 트레이라도 된다.
테이블장치C는, 액정패널(2)를 본딩위치 b에 위치결정한다.
임시인식장치D는, 턴테이블장치A에 의해, 액정패널(2)로 향해서 이송되는 전자부품(1)의 리드의 위치를 아래쪽에서부터 인식한다.
인식장치D로서는, 카메라나 레이저장치 등이 사용된다. 또 본인식장치E는, 전자부품(1)의 리드를 액정패널(2)의 전극(5)에 본딩하는 위치에 있어서, 전자부품(1)의 리드와 액정패널(2)의 전극(5)의 x, y 및 θ방향의 상대적인 위치어긋남을 정밀하게 인식한다. 이 본인식장치E로서는 카메라가 사용된다.
압착헤드 F는, 전자부품(1)에 형성된 리드를 액정패널(2)의 전극에 열압착해서 본딩한다.
제 2도는, 본 실시예의 전자부품의 본딩장치의 단면도이다. 제 2도에 있어서, 테이블장치C는, 액정패널(2)를 흡인구멍(도시생략)에서 흡착해서 유지하는 홀더(48)과 x테이블(41)과 y테이블(42)와 θ테이블(43)을 구비하고 있으며, 홀더(48)에 유지된 액정패널(2)를 -방향, y 방향, 및 θ방향(수평회전방향)으로 이동시킨다.
액정패널(2)는, 상판(2a)와 하판(2b)를 맞붙어서 조립되어 있고, 하판(2b)의 가장자리에 전극(5)(제 3도참조)를 형성하고 있다. 상판(2a)와 하판(2b)는 투명한 유리판이며, 하판에 형성된 전극(5)는, 하판(2b)의 아래쪽에서부터 투시할 수 있다. 또한 도시하지 않으나, 전극(5)의 윗면, 또는 전자부품(1)의 리드(6)의 아래면에는, 리드(6)을 전극(5)에 본딩하기 위한 이방성도전테이프가 접착되어 있다.
제 2도에 있어서, 압축테이프F는 열압착소자(44)를 구비하고 있다. 압착헤드F는 열압착소자(44)가 상하동작을 행하게 하기 위한 모터등의 상하움직임기구를 구비하고 있고, 열압착소자(44)가 하강해서 전자부품(1)의 리드(6)을 액정패널(2)의 전극(5)에 열압착한다.
또 본 인식장치E는 본딩위치 b의 아래쪽에 있고, 기울통(46)을 가지는 카메라(45)에 의해, 전자부품(1)의 리드(6)과 액정패널(2), 전극(5)의 상대적인 위치어긋남이 관찰된다.
다음에 제 2도, 제 3도, 제 6도를 참조하면서 턴테이블장치A의 상세한 구조를 설명한다. 베이스판 (101)의 윗면에는 제 3의 모터(14)에 의해서 구동되는 인덱스기구(12)가 설치되고 있고, 회전체(11)은 인덱스 기구(12)의 제 1의 회전축(13)에 지지되어 있다. 제 3의 모터(14)가 구동해서 인덱스기구(12)가 작동하면, 회전체(11)은 간헐적으로 회전한다(제 1도의 화살표 N1참조). 회전체(11)의 둘레가장자리에는, 6개의 이송헤드 H가 방사형상으로 장착되어 있다. 1개의 장착헤드 H는, 회전체(11)에 장착된 암(15), 노즐샤프트(24), 제 1의 레버(38) 및 제 2의 레버(55)을 1조로 해서 구성되어 있다.
제 2도에 있어서, 베이스판(101)의 윗면에 지지프레임(102)가 장착되고, 그 지지 프레임(102)의 상부는 제 1의 수평부(102a)와 제 2의 수평부(102b)로 이루어진 2층구조로 되어 있다. 제 1의 수평부(102a)의 윗면에는, 제 1의 모터(53)과 제 2의 모터(20)이 장착되어 있고, 제 2의 수평부(102b)의 아래면에는 링형상의 제 1브래킷(103)이 장착되어 있다. 제 1의 링형상의 브래킷(103)의 내주변에는 제 1의 링캠(16)의 회전을 안내하는 제 1의 베어링(22)가, 외주변에는 제 2의 링캠(50)의 회전을 안내하는 제 2의 베어링(52)가 장착되어 있다. 제 1의 링캠(16) 및 제 2의 링캠(50)의 회전중심은, 회전체(11)의 회전축에 일치하고 있다.
제 3도는 노즐샤프트의 승강기구를 표시하고 있다. 또한, 도면작성의 형편상, 제 3도에서는 이송헤드H를 픽업위치 a와 본딩위치 b의 2개만 기재하고 있다. 제 1의 링캠(16)은 그 아래면이 캠면으로 되어 있고, 오목부(17), (18)의 픽업위치a와 본딩위치b에 대응하는 위치에 형성되어 있다. 또, 제 1의 링캠(16)의 상부에는 링형상의 제 1의 기어(19)가 일체적으로 형성되어 있다. 제 2의 모터(20)에 구동되어서 회전하는 제 2의 기어(21)은, 제 1의 기어(19)에 걸어맞추어져 있다. 제 1의 베어링 (22)는 제 1의 기어(19)의 회전을 안내한다. 따라서 제 2의 모터(20)이 구동하면, 제 2의 기어 (21)은 회전하고, 제 1의 기어(19)와 제 1의 링캠(16)은 화살표 R의 방향으로 회동한다.
제 2도, 제 3도에 있어서, 암 (15)의 선단부에는 노즐홀더(23)이 장착되어 있고, 노즐홀더(23)의 내부에는 수직인 노즐샤프트(24)가 상하움직임자재하고, 또한, 그 축심을 중심으로 회전자재하게, 삽입되어 있다. 노즐샤프트(24)의 하단부에는 전자부품(1)을 진공흡착하는 노즐(25)가 장착되어 있다. 노즐샤프트(24)의 상단부의 대직경부(30)에는 제 1의 핀(31)과 제 2의 핀(32)가 수평방향에 방사형상으로 돌출배설되어 있다.
제 1의 핀(31)에는 제 1의 코일스프링(33)이 장착되어 있고, 또 제 2의 핀 (32)의 선단부에는 제 3의 롤러 (34)가 축에 장착되어 있다. 제 1의 코일스프링 (33)의 일단부는 암(15)위에 세워 배설된 제 3의 핀(151)에 장착되어 있다. 대직경부(30)의 아래쪽에, 스토퍼(35)가 노즐샤프트(24)에 대해서 접동자재하게 장착되어 있다. 스토퍼(35)와 암(15)는 제 2의 코일스프링(36)으로 결합되어 있고, 제 2의 코일스프링(36)은 스토퍼(35)를 아래쪽으로 부세하고 있다. 암(15)의 윗면 중앙에, 제 1의 베어링(37)이 배설되어 있다. 제 1의 베어링(37)에는 제 1의 레버(38)이 상하방향으로 요동자재하게 축밭침되어 있다. 제 1의 레버(38)의 후단부에, 제 1의 롤러(39)가 축에 장착되어 있고,. 제 1의 롤러(39)는 제 1의 링캠(16)의 캠면에 당접하고 있다. 또 제 1의 레버(38)의 선단부에, 스토퍼(35)의 아래면에 당접하는 제 2의 롤러(40)이 축에 장착되어 있다. 스토퍼(35)는, 제 2의 코일스프링(36)의 탄성력에 의해, 제 2의 롤러(40)에 탄성당접하고 있다. 상기한 바와 같이 제 2의 모터(20)이 구동해서 제 1의 링캠(16)이 회동하면, 제 1의 롤러(39)는 캠면의 오목부(17), (18)을 따라서 구동한다. 여기서 제 1의 롤러(39)가 오목부 (17), (18)에 끼워들면, 제 1의 레버(38)은 제 2의 코일스프링(36)의 탄성력에 의해 스토퍼(35)에 눌려서 밑으로 내려져서 요동하고, 노즐샤프트(24)는 제 1의 코일스프링(33)의 수직방향성분의 힘에 의해 하강한다. 또 제 1의 롤러(39)가 오목부(17), (18)로부터 탈출하면, 제 1의 롤러(39)는 캠면에서 눌려서 내려지고, 노즐샤프트(24)는 제 2의 코일스프링(36)의 탄성력에 대항해서 상승한다.
즉, 제 1의 링캠(16), 제 2의 모터(20), 제 1의 레버(38), 스토퍼(35), 제 2의 코일스프링(36)은, 노즐샤프트(24)에 승강동작을 행하게 하는 승강수단으로 되어 있다.
다음에 제 2도, 제 4도, 제 5도, 제 6도를 참조하면서, 노즐샤프트(24)를 그 축심을 중심으로 미소하게 회전시키는 회전기구를 설명한다. 제 2의 링캠(50)에, 제 3의 기어(51)이 일체적으로 형성되어 있다. 제 2의 베어링(52)는 제 2의 링캠(50)의 회전을 안내한다. 제 1의 모터(53)의 회전축에, 제 4의 기어(54)가 장착되어 있다. 제 4의 기어(54)는 제 2의 기어(51)에 걸어맞추고 있다. 암(15)위에, 제 2의 레버(55)가 제 2의 회전축(56)에 측장착되어 있다. 제 2의 레버(55)는, ㄱ자 형상으로 굴곡해 있고, 그 후단부에는 제 2의 링캠(50)의 캠면이 둘레면에 당접하는 제 4의 롤러(57)이 축에 장착되어 있고, 선단부에, 제 4의 핀(59)가 수직으로 세워 배설되어 있다. 제 2의 링캠(50)의 둘레면에, 요철부(58)이 형성되어 있다. 이 요철부(58)은, 본딩위치 b에 대응하는 위치에 형성되어 있다.
제 1의 코일스프링(33)의 탄성력에 의해, 밀어붙이기부재로서의 제 3의 롤러(34)는 제 2의 레버(55)의 선단부의 제 4의 핀(59)에 탄성당접되어 있다. 따라서, 제 2의 레버(55)는 제 1의 코일스프링(33)의 탄성력에 의해, 제 5도에 있어서 반시계방향으로 부세되어 있으며, 이 부세력에 의해 제 2의 레버(55)의 후단부에 제 4의 롤러(57)은 제 2의 링캠(50)의 둘레면에 당접하고 있다.
제 6도에 있어서, 회전체(11)의 간헐적으로 회전하면, 제 4의 롤러(57)은 제 2의 링캠(50)의 둘레면에 당접하면서 이동한다. 이때, 본딩위치 b에서 정지한 이송헤드 H의 제 2의 레버(55)의 제 4의 롤러(57)은, 제 2의 링캠(50)에 형성된 요철부(58)의 중간위치에서 정지한다. 이 상태에서 제 1의 모터(53)이 구동해서 제 4의 기어(54)가 회전하면, 제 2의 링캠(50)은 회전하고, 제 4의 롤러(57)은 요철부(58)을 따라서 구동한다. 그러자 제 2의 레버(55)는 제 2의 회전축(56)을 중심으로 약간 회전하고, θ방향으로 미소하게 변위한다. 그러자 제 3의 롤러(34)가 당접하고 있는 제 4의 핀(59)의 위치도 미소하게 번위하므로 노즐샤프트(24)도 θ방향으로 미소하게 회전한다. 이 θ방향의 회전각도는, 제 2의 링캠(50)의 회전량으로 결정된다.
제 2의 링캠(50), 제 1의 모터(53), 제 2의 레버(55), 제 3의 롤러(34)(밀어뭍이기부재) 및 제 1의 코일스프링(부세체)(33)은, 노즐샤프트(24)를 그 축심을 중심으로 θ방향으로 미소각도 회전시키는 회전기구를 구성하고 있다.
또 제 1실시예에 있어서는, 제 2의 링캠(50)과 제 1의 모터(53)은 제 2의 레버(55)를 미소하게 변위시키는 구동기구로 되어있다.
다음에 제 2도, 제 7도를 사용해서 배관의 설명을 행한다. 제 2도에 있어서, 제 1의 튜브(26)은 노즐(25)에 접속되어 있고, 로터리밸브(104)와 제 2의 튜브(27)을 개재해서 흡인장치G에 접속되어 있다. 로터리밸브(104)는, 회전체(111)의 윗면에 고정되는 내통부(104a)와, 내통부(104a)에 대해서 회전자재하게 장착된 외통부(104b)로 구성되어 있고, 외통부(104b)의 상단부는, 제 2의 브래킷(105)에 의해서 제 1의 수평부(102a)위에 고정되어 있다. 내통부(104a)의 내부에, 복수의 관로(104c)가 형성되어있고, 그 하단부는 대응하는 제 1의 튜브(26)에 연결되어 있다. 또 관로 (104c)의 상단부는 의통부(104b)의 내주면에 형성된 원환형상의 홈(104b)로 연통하고 있고, 이 홈(104d)는 흡인장치G로 통하는 제 2의 튜브(27)로 연통하고 있다.
제 7도에 있어서 제 2의 튜브(27)의 도중에, 각각 밸브(27a)가 배설되어 있고, 노즐(25)에 의한 전자부품(1)의 흡인과 흡인해제를 행한다.
다음에 제 7도를 사용해서 제어계의 구성에 대해서 설명한다. 제 3의 모터(14) 제 2의 모터(20) 및 제 1의 모터(53)은, 모터구동부(1)을 개재해서 제어부(60)에 접속되어 있고, 제어부로부터의 지령에 따라서 구동된다. 밸브구동부K는, 제어부(60)으로부터의 지령에 따라서 밸브(27a)의 개폐를 행한다. 제어부(60)은, 공급부B, 테이블장치C, 임시인식장치D, 본 인식장치E, 압착헤드F에 접속되어 있으며, 이들을 제어한다, 또 제어부(60)은, 임시인식장치D에 의해 검출된 전자부품(1)의 리드(6)의 위치, 및 본 인식장치E에 의해 검출된 리드(6)과 전극(5)의 상대적인 위치어긋남에 의거해서, 제 1의 모터(53)과 테이블장치C를 제어하고, 전자부품(1)의 리드(6)을 액정패널의 전극(5)에 위치맞춤한다. 전자부품의 본딩장치는 상기와 같이 구성되어 있다.
다음에 전체의 동작을 설명한다. 제 1도 및 제 2도에 있어서, 회전체(11)이 N1방향으로 인덱스회전하므로서, 픽업위치a에 있어서 노즐(25)에 의해 픽업된 전자부품(1)은, 임시인식장치D의 윗쪽으로 이송되어, 임시인식이 행하여 진다. 이 임시인식장치D는, 전자부품(1)이 노즐(25)의 하단부에 진공흡착되어 있는지 여부를 검출하는 동시에, 전자부품(1)의 리드(6)의 대략적인 위치를 인식한다. 회전체(11)이 또 간헐적으로 회전하면, 전자부품(1)은 임시인식장치의 위쪽으로부터, 본딩위치b로 이송된다. 이와 동시에, 임시인식장치에서 검출한 리드의 대략적인 위치에 의거해서. 테이블장치C가 구동된다.
다음에 제 8도(a), (b), (c)와 제 9도 (a), (b), (c)를 참조하면서 본딩동작을 설명한다.제 8도(a)는, 노즐(25)에 진공흡착된 전자부품(1)이 액정페널(2)의 위쪽으로 이송되어온 상태를 표시하고 있다. 다음에 제 1의 모터(20)(제 3도)이 구동하므로서, 제 8도(b)에 표시한 바와 같이 노즐(25)는 하강하고, 전자부품(1)의 리드(6)은 액정패널(2)의 하판(2b)의 전극위에 겹쳐지고, 그 상태에서 리드(6)과 전극(5)의 상대적인 위치어긋남이 본인식장치E에 의해 검출된다.
만일 위치어긋남이 허용치이내이면, 압착소자(44)는 리드(6)의 바로위로 이동되고, 다음에 하강되어서, 리드(6)은 전극(5)에 압압되어서, 열압착된다. 위치어긋남이 허용치 이상이면, 제 8도(c)에 표시한 바와 같이 노즐(25)는 상승하고, 전자부품(1)은 액정패널(2)로부터 부상한다. 다음에 테이블장치C의 x테이블(41)과 y테이블(42)가 구동하므로서, x방향과 y방향의 위치어긋남이 보정된다. 또 제1의 모터(53)(제 4도)이 구동하므로서, 노즐샤프트(24)는 θ방향으로 회전하고, θ방향의 위치어긋남이 보정된다. 제 4도 및 제 5도에서 설명한 회전기구에 의하면, 노즐샤프트(24)의 정밀한 θ회전이 가능하며 따라서 θ방향의 위치어긋남의 보정을 정확히 행할 수 있다. 또 이때, 압착소자(44)는 리드(6)의 위쪽으로 이동한다.
이상과 같이 해서 x방향, y방향 및 θ방향의 위치어긋남이 보정된 후에, 다음에 제 9도(a)에 표시한 바와 같이 노즐(25)가 하강하여, 전자부품(1)의 리드(6)은 액정패널(2)의 전극(5)위에 착지하고, 또 압착소자(44)가 하강해서, 리드(6)이 전극(5)에 열압착한다. 다음에 노즐(25)에 의한 진공흡착이 해제된 후, 제 9도(b)에 표시한 바와 같이 노즐(25)가 상승하고, 계속해서 제 9도(C) 표시한 바와 같이 회전체(11)이 N1방향으로 인덱스회전한다. 그후, 압착소자(44)는 상승하고, 본딩작업은 종료한다. 이상과 같은 동작을 반복하므로서, 액정패널(2)에 전자부품(1)이 계속 본딩된다.
[실시예 2]
다음에 제 10도∼제 12도를 참조하면서 본 발명의 제 2실시예의 전자부품의 본딩장치가 설명된다. 또한 제 1실시예와 동일한 구성요소에는 동일부호를 부여하므로서 설명을 생략한다. 제 10도는 제 2실시예의 본딩장치의 단면을 표시하고 있다. 픽업위치a와 본딩위치b에 대응하는 위치에, 제 1의 모터(61)과 제 2의 모터(62)가 배설되어 이다. 제 1의 모터(61)과 제 2의 모터(62)는, 각각 제 1의 브래킷(111)과 제 2의 브래킷(112)에 의해 지지프레임(110)에 장착되어 있다.
수직인 제1의 이송나사(63)과 제 2의 이송나사(64)는, 각각 제 1의 모터(61)과 제 2의 모터(62)에 의해 구동되어서 회전한다. 제 2의 베어링(65)와 제 3의 베어링(66)은, 각각 제 1의 브래킷(111)과 제 2의 브래킷(112)에 장착되어 있다. 제 1의 이송나사(63)과 제 2의 이송나사 (64)에, 각각 제 1의 너트(67)와 제 2의 너트(68)이 나사맞춤되어 있다. 제 1의 너트(67)와 제 2의 너트(68)은, 각각 제 1의 승강부재(67a)와 제 2의 승강부재(68a)에 장착되어 있으며, 이들 승강부재(67a),(68a)의 하단부에는 각각 제 1의 블록(67b)와 제 2의 블록(68 b)가 장착되어 있다. 제 1의 캠(82)는 원통형이며, 지지프레임(110)의 하부면에 고정되어 있다(제 12도 참조).
제 12도에 있어서, 제 1의 캠(82)의 픽업위치a 와 본딩위치 b에 대응하는 위치에 잘린부분(82a)가 형성되어 있다. 또, 제 1의 블록(67b)와 제 2의 블록(68b)는, 이 잘린 부분(82a)의 바깥둘레를 덮도록 배치되어 있다. 제 1의 레버(38)의 후단부에, 2개의 제 1의 롤러(81a)와 제 2의 롤러(81b)가 회전자재하게 장착되어 있고, 제 1의 롤러(81a)는 제 1의 캠(82)의 하부면에, 제 2의 롤러(81b)는 제 1의 블록(67b)와 제 2의 블록 (68b)의 하부면에 각각 당접한다. 또 제1의 승강부제(67)와 제 2의 블록 (68a)의 배면에, 각각 제 1의 슬라이더(69)와 제 2의 슬라이더(70)이 장착되어 있다. 제 1의 슬라이더(69)와 제 2의 슬라이더(70)은, 제 1의 브래킷(111)과 제 2의 브래킷(112)에 각각 장착된 수직인 제 1의 안내레일(71)과 제 2의 안내레일(72)에 끼워맞추어져 있다. 따라서, 제 1의 모터(61)과 제 2의 모터(62)가 구동하면, 제 1의 너트(67)과 제 2의 너트(68)은 각각 제 1의 이송나사(63)과 제 2의 이송나사(64)를 따라서 상하로 움직이고, 제 1의 블록(67a)와 제 2의 블록(68b)도 상하로 움직인다. 그러자 제 1의 레버(38)은 제 1의 베어링(37)을 중심으로 상하방향으로 요동하고, 노즐샤프트(24)는 상하로 움직인다.
다음에 제 10도, 제 11도, 제 12도를 참조해서 노즐샤프트(24)의 회전기구가 설명된다. 제 10도 및 제 11도, 제 12도에 있어서, 원통형의 제 2의 캠(83)은, 지지프레임(110)의 하부면에 고정되어 있다. 제 11도에 있어서, 제 4의 모터(73)은, 제 4의 베어링(75)에 회전자재하게 지지된 제 3의 이송나사(74)를 회전시킨다. 제 4의 모터(73)과 제 4의 베어링(75)는 지지프레임(110)에 고정되어 있다. 제 3의 이송나사(74)에 제 3의 너트(76)의 나사맞춤되어 있다. 제 3의 너트(76)에 프레임(77)이 결합되어 있으며, 프레임(77)의 하부에 제 3의 블록(80)이 장착되어 있다. 제 2의 캠(83)은 부분적으로 잘라져 있고, 그 잘린부분에 제 3의 블록(80)이 반경방향으로 접동자재하게 설치되어 있다. 또 제 2의 캠(83)의 바깥면과 제 3의 블록(80)의 바깥면(80a)에, 제 2의 레버(55)의 후단부에 축에 장착된 제 4의 롤러(57)이 당접하고 있다. 제 3의 슬라이더(78)은 제 3의 블록(80)의 윗면에 장착되어 있다. 제 3의 안내레일(79)는 제 3의 슬라이더(78)과 끼워맞춰진다. 따라서, 회전체(11)이 회전하면, 제 4의 롤러(57)은 제 2의 캠(83)의 바깥면을 따라서 구동하면서 이동한다. 그리고 회전체(11)이 정지하면, 제 3의 블록980)의 바깥면(80a)에, 본딩위치 b에서 정지한 제 2의 레버(55)의 제 4의 롤러(57)이 당접한다. 이 상태에서 제 4의 모터(73)이 구동해서, 제 3의 이송나사(74)가 회전하면, 제 3의 너트(76)은 제 3의 이송나사(74)를 따라서 접동하고 제 3의 블록(80)도 동일방향으로 이동한다. 그러자, 제 4의 롤러(57)은 제3의 블록(80)에 압압되어서 동일방향으로 이동하고, 제 2의 레버(55)는 제 2의 회전축(56)을 중심으로 수평회전하고, 노즐샤프트(24)는 θ방향으로 회전한다. 제 2실시예에 있어서, 제 4의 모터(73), 제 3의 이송나사(74), 제 3의 너트(76) 및 제 3의 블록(80)이 레버를 미소하게 변위시키는 구동기구를 구성하고 있다.
또한 제 2실시예에 있어서, 레버의 구동기구는 본딩위치에 대응하는 위치에 배설되었으나, 목적이나 용도에 따라서 복수개소에 배설하는 것이 가능하다. 또 본 발명의 제 1실시예 및 제 2실시예에 있어서, 제 2의 레버(55)를 제 2의 회전축(56)을 중심으로 요동시켜서, 노즐샤프트(24)에 θ방향의 회전을 전달하도록 구성하였으나, 제 2의 레버(55)를 암(15)에 대해서 한쪽방향으로 접동자재하게 장착하고, 이 레버를 구동기구에 의해서 한쪽방향으로 왕복이동시켜서, 노즐샤프트(24)에 θ방향의 회전을 절달하도록 구성해도 된다.
본 발명의 전자부품의 본딩장치에 의하면 다음의 이점을 가져온다.
① 복수의 이송헤드를 사용하기 때문에, 기판(액정패널)에의 전자부품의 본딩을 고속으로 행할 수 있다.
② 구동기구에서, 각 이송헤드에 배설한 레버를 미소하게 변위시켜서 노즐샤프트를 미소하게 회전시키기 때문에, 노즐에 흡착된 전자부품의 θ방향의 위치를 좁은 각도범위에서 정밀도 좋게 조절할 수 있다.
③ 구동기구는, 본딩위치에 도달한 이송헤드의 레버만을 미소하게 변위시키기 때문에 구동기구를 각 이송헤드에 설치할 필요도 없고, 턴테이블장치를 소형화할 수 있다.

Claims (3)

  1. 전자부품의 공급장치와, 기판을 본딩위치에 위치결정하는 테이블장치와, 인덱스회전하는 회전체와, 일단부가 상기 회전체에 연결된 암과, 상기 암의 타단부에 수직으로 설치되고, 승강동작과 회전동작을 행하는 노즐샤프트와, 상기 노즐샤프트의 하단부에 설치되고, 상기 전자부품을 흡착하는 노즐로 이루어지고, 상기 회전체의 둘레가장자리에 방사형상으로 설치된 이송헤드로 구성되고 상기 공급장치와 상기 테이블장치와의 사이에 설치된 턴테이블장치와, 상기 노즐샤프트에 연결되고, 상기 노즐샤프트를 승강동작시키는 승강기구와, 상기 본딩위치에 이송된 상기 전자부품과 상기 기판과의 위치어긋남을 검출하는 인식장치와, 상기 노즐샤프트의 상단부에 설치된 밀어붙이기부재와, 상기 암에 연결되고, 상기 밀어붙이기부재에 당접하는 레버와, 상기 레버의 선단부에 부세하는 부세체로 이루어지고, 상기 인식장치에 의해서 검출한 위치어긋남에 의거해서, 상기 노즐샤프트의 축심을 중심으로, 상기 레버를 미소하게 변위시키는 구동기구와, 상기 테이블장치의 위쪽에 있고, 상기 전자부품에 형성된 리드를, 상기 기판에 형성된 전극에 압압해서 압착하는 압착헤드로 구성되는 것을 특징으로 하는 전자부품의 본딩장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 구동기구는, 상기 레버의 타단부에 당접하는 캠과, 이 캠을 구동하는 모터로 구성되는 것을 특징으로 하는 전자부품의 본딩장치.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 구동기구는, 모터에 의해서 회전하는 이송나사와, 상기 이송나사에 나사맞춤하는 너트와, 상기 레버의 타단부에 당접하는 블록으로 구성되는 것을 특징으로 하는 전자부품의 본딩장치.
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