JP4038035B2 - 水晶振動子組立装置 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧電振動素子としての水晶片をパッケージに取り付けて、電子機器としての携帯電話などに用いられる水晶振動子を組み立てる水晶振動子組立装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
電子機器としての携帯電話には、圧電振動素子としての水晶片を、パッケージ内に収容して構成される水晶振動子（水晶発振器ともいう）が用いられている。前記パッケージは、絶縁性を有する基板と、この基板上に実装される回路素子などを備えている。前述したパッケージに、前記水晶片を取り付ける装置として従来から種々の組立装置が用いられてきた。
【０００３】
前述した従来の組立装置は、前記パッケージの電極に導電性を有する接着剤を塗布し、この接着剤が硬化する前に前記水晶片を前記パッケージに重ねる。塗布した接着剤が硬化すると、前記水晶片は前記パッケージに固定される。このように従来の組立装置は、前記パッケージに水晶片を取り付けてきた。
【０００４】
また、前記水晶片は、前記パッケージの所定の位置に固定される必要がある。このため、前述した従来の組立装置は、例えば、特開平５−１９８９７４号公報、特開平３−６３０００号公報及び特開昭６３−３０６７００号公報などに示された位置決め装置を用いて、前記パッケージ及び水晶片を位置決めしてきた。
【０００５】
前述した公報に示された位置決め装置は、四方から互いに接離自在な四つの爪を備え、これら四つの爪間に前記パッケージ及び水晶片を挟んで位置決めしていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前述した公報に示された位置決め装置は、前述したように四つの爪間にパッケージ及び水晶片を挟んで位置決めするため、前記爪が摩耗する。すると、前記パッケージ及び水晶片を所定の位置に位置決めすることが困難となって、前記爪を交換する必要が生じる。
【０００７】
また、前述した公報に示された位置決め装置は、パッケージ及び水晶片の品番が変化して、これらパッケージ及び水晶片の外形寸法が変化すると、前記爪を交換する必要が生じる。このように、前述した公報に示された位置決め装置は、位置決めするパッケージ及び水晶片の品番毎に、爪を交換する必要があった。さらに、爪が直接、パッケージ及び水晶片に接触するので、前記四つの爪間にパッケージ及び水晶片を挟む際などに、パッケージ及び水晶片が破損する恐れがあった。
【０００８】
このように、従来の位置決め装置を用いると、組立装置は、爪を交換する必要が生じるなどの組立作業の準備にかかる手間が増加する。さらに、従来の位置決め装置は、パッケージ及び水晶片を破損させる恐れがあった。
【０００９】
したがって、本発明の目的は、取付作業の準備にかかる手間を抑制でき、かつ破損させることなく水晶片をパッケージに取り付けることができる水晶振動子組立装置を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決し目的を達成するために、請求項１に記載の本発明の水晶振動子組立装置は、パッケージに水晶片を取り付ける水晶振動子組立装置において、前記パッケージを載置する保持治具を複数有した搬送手段と、前記パッケージと該パッケージを載置した保持治具とを撮像可能な第１の撮像手段と、導電性を有する接着剤を収容してこの接着剤を塗布する接着剤収容塗布部と、前記接着剤収容塗布部を支持しかつこの接着剤収容塗布部との間の水平面内の位置が予め定められた支持部と、前記支持部を水平面内において移動する移動部とを備えて、前記パッケージに前記接着剤を塗布する塗布手段と、前記水晶片を保持して前記パッケージに重ねる載置手段と、前記水晶片と該水晶片を保持した載置手段とを撮像可能な第２の撮像手段と、前記搬送手段に前記第１の撮像手段に対応する位置に前記パッケージを位置付けさせて当該第１の撮像手段に前記保持治具上の前記パッケージを撮像させて、前記第１の撮像手段が撮像して得た画像情報から前記パッケージと該パッケージを載置した保持治具との相対的な位置を求め、かつ、前記搬送手段に前記第１の撮像手段に対応する位置から前記塗布手段に対応する位置に前記保持治具を搬送させて、前記相対的な位置に基づいて前記移動部に前記接着剤収容塗布部を適切な位置に位置付けさせて当該接着剤収容塗布部から前記接着剤を塗布して前記塗布手段に前記パッケージの適切な位置に導電性を有する接着剤を塗布させるとともに、前記搬送手段に前記塗布手段に対応する位置から前記載置手段及び第２の撮像手段に対応する位置に前記保持治具を搬送させて、当該第２の撮像手段に前記載置手段に保持された水晶片を撮像させて、第２の撮像手段が撮像して得た画像情報から前記水晶片と該水晶片を保持した載置手段との相対的な位置を求め、前記保持治具と前記パッケージとの相対的な位置と、前記載置手段と前記水晶片との相対的な位置と、に基いて前記載置手段に前記パッケージの適切な位置に前記水晶片を重ねさせる制御手段と、を備えたことを特徴としている。
【００１３】
請求項２に記載の本発明の水晶振動子組立装置は、請求項１に記載の水晶振動子組立装置において、前記保持治具は、前記パッケージが載置される載置面と、前記載置面に開口した貫通孔と、を備え、前記貫通孔を通して外気を吸引することにより前記載置面に前記パッケージを吸着することを特徴としている。
【００１４】
請求項３に記載の本発明の水晶振動子組立装置は、請求項１に記載の水晶振動子組立装置において、前記載置手段は、前記水晶片を保持する保持面と、前記保持面に開口した第２の貫通孔と、を備え、前記第２の貫通孔を通して外気を吸引することにより前記保持面に前記水晶片を吸着することを特徴としている。
【００１７】
請求項１に記載された本発明によれば、第１の撮像手段が撮像して得た保持治具とパッケージとの相対的な位置と、第２の撮像手段が撮像して得た載置手段と水晶片との相対的な位置と、に基いて、水晶片をパッケージに重ねる。このため、パッケージと水晶片とを位置決めすることなく、より確実にパッケージの適切な位置に水晶片を重ねることができる。
【００１８】
請求項２に記載された本発明によれば、保持治具が載置面にパッケージを吸着するので、保持治具に載置されたパッケージが位置ずれすることを防止できる。このため、水晶片をパッケージに取り付ける作業中に、第１の撮像手段が撮像して得た位置からパッケージが位置ずれすることを防止できる。
【００１９】
請求項３に記載された本発明によれば、載置手段が保持面に水晶片を吸着するので、載置手段に保持された水晶片が位置ずれすることを防止できる。このため、水晶片をパッケージに取り付ける作業中に、第２の撮像手段が撮像して得た位置から水晶片が位置ずれすることを防止できる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態にかかる水晶振動子組立装置１を、図１ないし図４９を参照して説明する。図１などに示す水晶振動子組立装置１は、図３及び図４などに示すパッケージとしてのセラミックパッケージ２に、圧電振動素子としての水晶片３（図５及び図６に示す）を取り付けて、水晶振動子（水晶発振器ともいう）を組み立てる装置である。
【００２１】
セラミックパッケージ２は、平面形状が矩形状に形成されており、セラミックなどからなる周知の絶縁基板と、回路素子などが積層されて構成されている。セラミックパッケージ２は、図３及び図４に示すように、外縁部が、他の部分より厚く形成されており、前記外縁部の内側に前記回路素子などと電気的に接続した電極５を複数設けている。
【００２２】
図５及び図６に示すように、セラミックパッケージ２の電極５に導電性を有する接着剤６が塗布される。該接着剤６によって水晶片３が、電極５と固定される。そして、接着剤６によって、電極５と水晶片３とは、電気的に接続する。
【００２３】
水晶振動子組立装置１は、前記セラミックパッケージ２の電極５に接着剤６を塗布して、水晶片３を電極５に固定する装置である。水晶振動子組立装置１は、図１及び図２に示すように、装置本体としてのフレーム１０と、搬送手段としての回転テーブル１１と、パッケージ搬入ユニット１２と、パッケージ載置ユニット１３と、計測カメラ１４と、塗布手段としての１次塗布ユニット１５と、水晶搬入ユニット１６と、水晶載置ユニット１７と、２次塗布ユニット１８と、搬出ユニット１９と、取り出しユニット２０と、制御手段としての制御装置６０と、を備えている。
【００２４】
フレーム１０は、図１などに示すように、工場などのフロア７上に載置される。フレーム１０は、板状のベース板８ａと、板状の天井板８ｂと、複数の扉９などを備えている。ベース板８ａは、水平方向に沿って略平坦に形成されている。
【００２５】
ベース板８ａ上には、回転テーブル１１と、パッケージ搬入ユニット１２と、パッケージ載置ユニット１３と、計測カメラ１４と、１次塗布ユニット１５と、水晶搬入ユニット１６と、水晶載置ユニット１７と、２次塗布ユニット１８と、搬出ユニット１９と、取り出しユニット２０と、が設置されている。
【００２６】
なお、ベース板８ａ上には、回転テーブル１１を中心として、時計回りに順に、パッケージ搬入ユニット１２及びパッケージ載置ユニット１３と、後述の第１計測カメラ１４ａと、１次塗布ユニット１５と、後述の第２計測カメラ１４ｂと、水晶搬入ユニット１６及び水晶載置ユニット１７と、２次塗布ユニット１８と、後述の第３計測カメラ１４ｃと、搬出ユニット１９及び取り出しユニット２０と、が設置されている。
【００２７】
天井板８ｂは、ベース板８ａの上方に間隔を存して設けられている。天井板８ｂは、水平方向に沿って略平坦に形成されている。扉９は、ベース板８ａと天井板８ｂとの間に設けられている。扉９は、ベース板８ａと天井板８ｂとの間の空間を、解放する位置と覆う位置とに亘って、ベース板８ａと天井板８ｂに回転自在に支持されている。即ち、扉９は、フレーム１０内を開閉する。又、フレーム１０は、制御装置６０を取り付けている。
【００２８】
回転テーブル１１は、図２に示すように、ベース板８ａの略中央に設けられている。回転テーブル１１は、図７及び図８に示すように、円板状のテーブル本体２１と、複数の保持治具２２と、駆動モータ２３と、を備えている。テーブル本体２１は、表面が水平方向に沿っている。テーブル本体２１は、その中心を通りかつ鉛直方向に沿う軸線Ｑ回りに回転自在に、ベース板８ａに支持されている。テーブル本体２１は、ベース板８ａに取り付けられた前述した駆動モータ２３によって、前記軸線Ｑ回りに回転される。
【００２９】
保持治具２２は、テーブル本体２１の外縁部に設けられている。保持治具２２は、軸線Ｑを中心とした周方向に沿って並設されている。なお、図示例では、保持治具２２は、前記周方向に沿って等間隔に、８個設けられている。保持治具２２は、図９などに示すように、治具本体２２ａと、該治具本体２２ａから立設した円柱部２４と、治具本体２２ａと円柱部２４とを貫通した貫通孔２５（図９ないし図１１に示す）と、を備えている。
【００３０】
治具本体２２ａは、方体状に形成されかつテーブル本体２１の表面に、ボルトなどによって固定される。治具本体２２ａは、テーブル本体２１に固定されると、このテーブル本体２１の表面から上方に突出する。円柱部２４は、円柱状に形成されかつ治具本体２２ａから立設している。円柱部２４の治具本体２２ａから離れた上面２４ａは、平面形状が円形でかつ水平方向に沿って平坦に形成されている。なお、この上面２４ａは、本明細書の特許請求の範囲などに記載された載置面をなしているとともに、保持治具２２の上面をなしている。
【００３１】
また、貫通孔２５の一端は、図１０に示すように、テーブル本体２１に固定された治具本体２２ａの上面２４ａに開口している。貫通孔２５の他端側には、吸引手段を構成する吸引配管２６が連結している。吸引配管２６は、各保持治具２２からテーブル本体２１の中心方向に向かって延びている。吸引配管２６は、テーブル本体２１の中央部で、各保持治具２２に連結したもの同士が一体となって、吸引装置２７（図８に示す）に連結している。吸引装置２７として周知の真空ポンプを用いることができる。
【００３２】
吸引装置２７が、吸引配管２６及び貫通孔２５を通して、外気を吸引する。すると、後述するように、セラミックパッケージ２が、治具本体２２ａ即ち保持治具２２の上面２４ａに吸着される。
【００３３】
前述した構成の回転テーブル１１は、駆動モータ２３によって軸線Ｑを中心として、時計回り（図中の矢印Ｒに沿う方向）に回転されることによって、保持治具２２に保持したセラミックパッケージ２を、パッケージ搬入ユニット１２及びパッケージ載置ユニット１３の近傍と、第１計測カメラ１４ａの近傍と、１次塗布ユニット１５の近傍と、第２計測カメラ１４ｂの近傍と、水晶搬入ユニット１６及び水晶載置ユニット１７の近傍と、２次塗布ユニット１８の近傍と、第３計測カメラ１４ｃの近傍と、搬出ユニット１９及び取り出しユニット２０の近傍に、順に搬送する。
【００３４】
即ち、回転テーブル１１は、セラミックパッケージ２を、パッケージ搬入ユニット１２及びパッケージ載置ユニット１３と、１次塗布ユニット１５と、水晶載置ユニット１７と、搬出ユニット１９及び取り出しユニット２０に、順に搬送する。
【００３５】
パッケージ搬入ユニット１２は、図２に示すように、回転テーブル１１の外周側に設けられている。パッケージ搬入ユニット１２には、回転テーブル１１の外周側から、トレー３６が供給される。トレー３６は、矩形状の平板状に形成されている。トレー３６は、表面に、多数のセラミックパッケージ２を、２次元のマトリック状に並べる。
【００３６】
パッケージ搬入ユニット１２は、図１２及び図１３に示すように、スライドシリンダ２８と、一対のガイドレール２９と、シリンダ３０と、一対のチャック３１ａ，３１ｂと、を備えている。スライドシリンダ２８は、長手方向が回転テーブル１１のテーブル本体２１の径方向に沿った直線状のロッド３２と、ロッド３２に対しスライドするシリンダ本体３３と、を備えている。一対のガイドレール２９は、ロッド３２と平行である。シリンダ３０は、シリンダ本体３３に固定されたシリンダ本体３４と、このシリンダ本体３４から鉛直方向に沿って伸縮自在な伸縮ロッド３５と、を備えている。一対のチャック３１ａ，３１ｂは、伸縮ロッド３５が伸縮すると、互いに接離して、互いの間にトレー３６を挟む。
【００３７】
前述した構成のパッケージ搬入ユニット１２は、シリンダ本体３３が、回転テーブル１１のテーブル本体２１から離れた位置で、一旦伸縮ロッド３５が伸長した後、縮小して、チャック３１ａ，３１ｂ間にトレー３６を挟む。そして、シリンダ本体３３内に加圧された気体などが供給されるなどして、該シリンダ本体３３が回転テーブル１１のテーブル本体２１に向かって移動する。こうして、パッケージ搬入ユニット１２は、トレー３６即ちセラミックパッケージ２を、回転テーブル１１の近傍に搬入する。
【００３８】
パッケージ載置ユニット１３は、図２及び図１４などに示すように、パッケージ搬入ユニット１２の近傍に設けられている。パッケージ載置ユニット１３は、図１４及び図１５に示すように、移動部３７と、載置ヘッド部３８と、を備えている。
【００３９】
移動部３７は、図１４及び図１５に示すように、Ｙ軸駆動部３９と、Ｘ軸駆動部４０と、を備えている。Ｙ軸駆動部３９は、駆動モータ４１と、ボールねじ４２などを備えている。駆動モータ４１は、ベース板８ａに固定されている。
【００４０】
ボールねじ４２は、リードスクリュー４３と、ナット４４などを備えている。リードスクリュー４３は、一方向に沿って延在している。リードスクリュー４３は、長手方向が、一対のガイドレール２９とロッド３２と平行である。リードスクリュー４３は、周知の転がり軸受などによって、ベース板８ａに、軸芯回りに回転自在に支持されている。リードスクリュー４３には、駆動モータ４１の出力軸が連結している。
【００４１】
ナット４４は、リードスクリュー４３の外周に螺合している。ナット４４は、リードスクリュー４３がその軸芯回りに回転すると、該リードスクリュー４３の長手方向に沿って移動する。即ち、ナット４４は、リードスクリュー４３が回転すると、回転テーブル１１のテーブル本体２１に接離する。
【００４２】
Ｘ軸駆動部４０は、駆動モータ４５と、ボールねじ４６などを備えている。駆動モータ４５は、Ｙ軸駆動部３９のナット４４に固定されている。ボールねじ４６は、リードスクリュー４７と、ナット４８などを備えている。リードスクリュー４７は、一方向に沿って延在している。リードスクリュー４７は、長手方向が、一対のガイドレール２９とロッド３２に交差している。なお、図示例では、リードスクリュー４７の長手方向と、一対のガイドレール２９とロッド３２との双方の長手方向は、互いに直交している。
【００４３】
リードスクリュー４７は、周知の転がり軸受などによって、ナット４４に、軸芯回りに回転自在に支持されている。リードスクリュー４７には、駆動モータ４５の出力軸が連結している。
【００４４】
ナット４８は、リードスクリュー４７の外周に螺合している。ナット４８は、リードスクリュー４７がその軸芯回りに回転すると、該リードスクリュー４７の長手方向に沿って移動する。即ち、ナット４８は、リードスクリュー４７が回転すると、回転テーブル１１のテーブル本体２１に接線に沿って、移動する。
【００４５】
載置ヘッド部３８は、図１４及び図１５などに示すように、Ｘ軸駆動部４０のナット４８に固定されている。載置ヘッド部３８は、図１６及び図１７に示すように、ヘッド部本体４９と、リニアガイドシリンダ５０と、吸着部５１と、チャックシリンダ５２と、一対のパッケージチャック５３と、を備えている。
【００４６】
ヘッド部本体４９は、断面Ｔ状の柱状に形成されており、長手方向が鉛直方向に沿っている。ヘッド部本体４９は、ナット４８に固定されており、該ナット４８から立設している。リニアガイドシリンダ５０は、ヘッド部本体４９に固定されたシリンダ本体５４と、鉛直方向に沿いかつシリンダ本体５４に固定されたレール５５と、レール５５に移動自在に支持されたスライダ５６と、を備えている。
【００４７】
リニアガイドシリンダ５０は、シリンダ本体５４内に加圧された気体が供給されると、スライダ５６がレール５５に沿って移動する。即ち、リニアガイドシリンダ５０は、シリンダ本体５４内に加圧された気体が供給されると、スライダ５６が昇降する。なお、スライダ５６は、図１６及び図１７に示す一対のパッケージチャック５３間に吸着部５１の後述する下端面５１ａが位置する上死点と、図１９及び図２０に示す下端面５１ａが一対のパッケージチャック５３間から下方に向かって突出した下死点と、に亘って、移動する。
【００４８】
吸着部５１は、リニアガイドシリンダ５０のスライダ５６に固定されている。吸着部５１は、リニアガイドシリンダ５０のスライダ５６から下方即ちトレー３６に向かって延在している。吸着部５１のトレー３６寄りの下端部には、貫通孔５７（図１８に示す）が設けられている。
【００４９】
貫通孔５７は、一端が吸着部５１のトレー３６寄りの下端面５１ａに開口しており、他端には配管が連結する。該配管は、例えば、周知の真空ポンプなどの吸引装置などと連結している。吸着部５１は、前記真空ポンプが貫通孔５７などを通して外気を吸い込んで、セラミックパッケージ２を前記下端面５１ａに吸着する。
【００５０】
チャックシリンダ５２は、ヘッド部本体４９に固定されている。チャックシリンダ５２は、一対のパッケージチャック５３を接離させる。一対のパッケージチャック５３は、水平方向に沿って並設されている。一対のパッケージチャック５３は、図１８に示すように、互いの間に吸着部５１の下端部を挟む位置に設けられている。一対のパッケージチャック５３は、互いに近づくと、図１８に示すように、吸着部５１に吸着したセラミックパッケージ２を挟む。
【００５１】
前述した構成のパッケージ載置ユニット１３は、Ｙ軸駆動部３９の駆動モータ４１とＸ軸駆動部４０の駆動モータ４５を駆動して、吸着部５１の下端面５１ａを、トレー３６上の所望のセラミックパッケージ２に相対させる。このとき、スライダ５６は前述した上死点に位置している。
【００５２】
そして、リニアガイドシリンダ５０を駆動して、スライダ５６を下死点に移動させるとともに、吸引装置を駆動して貫通孔５７を通して外気を吸い込む。すると、下端面５１ａは、図１９及び図２０に示すように、一対のパッケージチャック５３から下方に突出し、該下端面５１ａにセラミックパッケージ２が吸着する。
【００５３】
そして、リニアガイドシリンダ５０を駆動して、スライダ５６を上死点に移動させるとともに、Ｙ軸駆動部３９の駆動モータ４１とＸ軸駆動部４０の駆動モータ４５を駆動して、吸着部５１の下端面５１ａ即ちセラミックパッケージ２を、回転テーブル１１の保持治具２２に相対させる。スライダ５６を下死点に移動させるとともに、吸引装置を停止する。下端面５１ａに吸着されていたセラミックパッケージ２が、保持治具２２上に載置される。
【００５４】
このように、パッケージ載置ユニット１３は、パッケージ搬入ユニット１２によって搬入されたセラミックパッケージ２を、トレー３６から保持治具２２即ち回転テーブル１１に移送して、該保持治具２２に載置する。なお、前記パッケージ搬入ユニット１２とパッケージ載置ユニット１３とは、本明細書に記した搬入手段を構成している。
【００５５】
計測カメラ１４は、図２及び図２１に示すように、回転テーブル１１の外周側に設けられている。計測カメラ１４は、図示例では、三つ設けられている。一つの計測カメラ１４（以下第１計測カメラ１４ａと呼ぶ）は、回転テーブル１１の周方向に沿って、パッケージ搬入ユニット１２と１次塗布ユニット１５との間に設けられている。
【００５６】
他の一つの計測カメラ１４（以下第２計測カメラ１４ｂと呼ぶ）は、回転テーブル１１の周方向に沿って、１次塗布ユニット１５と水晶搬入ユニット１６との間に設けられている。残りの計測カメラ１４（以下第３計測カメラ１４ｃと呼ぶ）は、回転テーブル１１の周方向に沿って、２次塗布ユニット１８と、搬出ユニット１９との間に設けられている。なお、これらの計測カメラ１４ａ，１４ｂ，１４ｃは、構成及び機能が同一である。
【００５７】
計測カメラ１４（１４ａ，１４ｂ，１４ｃ）は、図２１及び図２２に示すように、ユニット本体６１と、ＣＣＤカメラ６２と、光源ランプ６３と、を備えている。ユニット本体６１は、ベース板８ａに固定されている。ユニット本体６１は、ベース板８ａから立設した柱状に形成されている。ＣＣＤカメラ６２は、保持治具２２に載置されたセラミックパッケージ２を撮像可能である。光源ランプ６３は、ハーフミラー６４などを介して、保持治具２２に載置されたセラミックパッケージ２に光を当てることが可能である。
【００５８】
第１計測カメラ１４ａは、パッケージ載置ユニット１３によって保持治具２２上に載置されたセラミックパッケージ２を撮像して、該保持治具２２上のセラミックパッケージ２の画像を制御装置６０に向かって出力する。第１計測カメラ１４ａは、本明細書の特許請求の範囲などに記載された第１の撮像手段をなしている。
【００５９】
第２計測カメラ１４ｂは、１次塗布ユニット１５によって電極５に接着剤６が塗布されたセラミックパッケージ２を撮像して、該セラミックパッケージ２の画像を制御装置６０に向かって出力する。第３計測カメラ１４ｃは、水晶載置ユニット１７によって水晶片３が重ねられたセラミックパッケージ２を撮像して、該セラミックパッケージ２の画像を制御装置６０に向かって出力する。
【００６０】
１次塗布ユニット１５は、図２に示すように、回転テーブル１１の外周側でかつ回転テーブル１１の周方向に沿って第１計測カメラ１４ａの隣りに設けられている。１次塗布ユニット１５は、図２３ないし図２５に示すように、移動部６５と、塗布ヘッド部６６と、調整部６７と、を備えている。
【００６１】
移動部６５は、図２３ないし図２５に示すように、Ｘ軸駆動部６８と、Ｙ軸駆動部６９と、を備えている。Ｘ軸駆動部６８は、駆動モータ７０と、ボールねじ７１と、を備えている。駆動モータ７０は、ベース板８ａに固定されている。
【００６２】
ボールねじ７１は、リードスクリュー７２と、ナット７３などを備えている。リードスクリュー７２は、一方向に沿って延在している。リードスクリュー７２は、長手方向が、回転テーブル１１のテーブル本体２１の接線方向に沿っている。リードスクリュー７２は、周知の転がり軸受などによって、ベース板８ａに、軸芯回りに回転自在に支持されている。リードスクリュー７２には、駆動モータ７０の出力軸が連結している。
【００６３】
ナット７３は、リードスクリュー７２の外周に螺合している。ナット７３は、リードスクリュー７２がその軸芯回りに回転すると、該リードスクリュー７２の長手方向に沿って移動する。
【００６４】
Ｙ軸駆動部６９は、駆動モータ７４と、ボールねじ７５などを備えている。駆動モータ７４は、Ｘ軸駆動部６８のナット７３に固定されている。ボールねじ７５は、リードスクリュー７６と、ナット７７などを備えている。リードスクリュー７６は、一方向に沿って延在している。リードスクリュー７６は、長手方向が、回転テーブル１１のテーブル本体２１の径方向に沿っている。このため、Ｘ軸駆動部６８のリードスクリュー７２と、Ｙ軸駆動部６９のリードスクリュー７６とは、互いに直交している。
【００６５】
リードスクリュー７６は、周知の転がり軸受などによって、ナット７３に、軸芯回りに回転自在に支持されている。リードスクリュー７６には、駆動モータ７４の出力軸が連結している。
【００６６】
ナット７７は、リードスクリュー７６の外周に螺合している。ナット７７は、リードスクリュー７６がその軸芯回りに回転すると、該リードスクリュー７６の長手方向に沿って移動する。即ち、ナット７７は、リードスクリュー７６が回転すると、回転テーブル１１のテーブル本体２１に接離する。
【００６７】
塗布ヘッド部６６は、図２３ないし図２５に示すように、ヘッド部本体７８と、リニアガイドシリンダ７９と、塗布部８０と、を備えている。ヘッド部本体７８は、一端がナット７７に固定された板状に形成されている。ヘッド部本体７８は、ナット７７から立設している。
【００６８】
リニアガイドシリンダ７９は、シリンダ本体８１と、レール８２と、スライダ８３と、を備えている。シリンダ本体８１は、ヘッド部本体７８に固定されている。シリンダ本体８１内には、加圧された気体が供給される。レール８２は、鉛直方向に沿って延在している。レール８２は、シリンダ本体８１に固定されている。スライダ８３は、レール８２の長手方向に沿って移動自在に、該レール８２に支持されている。
【００６９】
リニアガイドシリンダ７９は、シリンダ本体８１内に加圧された気体が供給されると、スライダ８３がレール８２に沿って移動する。即ち、リニアガイドシリンダ７９は、シリンダ本体８１内に加圧された気体が供給されると、スライダ８３が昇降する。
【００７０】
なお、スライダ８３は、上死点と下死点とに亘って移動する。上死点では、塗布部８０の後述する注射筒８４の針先８９ａが保持治具２２上に載置されたセラミックパッケージ２から十分に離れる。下死点では、前記針先８９ａがセラミックパッケージ２に近づいて前記針先８９ａと前記セラミックパッケージ２の電極５との間隔が、接着剤６の塗布に適切な間隔となる。
【００７１】
塗布部８０は、注射筒支持部８５と、注射筒８４などを備えている。注射筒支持部８５は、スライダ８３に固定されている。注射筒支持部８５は、内側に注射筒８４を通すことのできる孔８６と、ボルト８７とを備えている。ボルト８７は、注射筒支持部８５にねじ込まれている。ボルト８７は、注射筒支持部８５にねじ込まれると、前記孔８６を縮小させる。ボルト８７は、注射筒支持部８５からゆるめられると、前記孔８６を拡大させる。
【００７２】
注射筒８４は、筒部８８と、針８９とを備えている。筒部８８は、有底筒状に形成されている。針８９は、その長手方向に沿って貫通した孔を備えており、一端が筒部８８の底部に接続している。針８９は、その孔が、前記底部に開口しており、筒部８８の内外を連通している。注射筒８４内には、セラミックパッケージ２に水晶片３を取り付けるための導電性を有する接着剤６が収容される。また、筒部８８の前記針８９から離れた基端部には、加圧された気体を供給する加圧気体供給源と連結した配管９０が連結している。
【００７３】
調整部６７は、図２３に示すように、Ｘ軸駆動部６８と、回転テーブル１１との間に設けられている。調整部６７は、図２６及び図２７に示すように、ベース８ａに固定された調整部本体９１と、調整部本体９１に昇降自在に支持された調整台９２と、第１マイクロメータヘッド９３と、第２マイクロメータヘッド９４と、を備えている。
【００７４】
第１マイクロメータヘッド９３は、筒状のケース１００と、つまみ１０１と、スピンドル１０２と、を備えている。ケース１００は、長手方向が、鉛直方向に沿っている。ケース１００は、調整部本体９１に取り付けられている。
【００７５】
つまみ１０１は、ケース１００の基端部に回転自在に取り付けられている。スピンドル１０２は、柱状に形成されかつケース１００内に収容されている。スピンドル１０２は、ケース１００と同軸的に配されている。
【００７６】
スピンドル１０２は、つまみ１０１が回転するのに連動して、ケース１００から外方向に突出したり、ケース１００内に収容されたりする。スピンドル１０２は、突没方向が、鉛直方向に沿っている。スピンドル１０２は、その先端部が、調整台９２に固定されている。
【００７７】
第１マイクロメータヘッド９３は、つまみ１０１が回転操作されると、スピンドル１０２がケース１００から突没して、調整台９２を昇降させる。なお、スピンドル１０２をケース１００内に収容して、調整台９２が最も下方に位置すると、調整台９２の上面９８ａは、保持治具２２の上面２４ａと同一平面上に位置する。
【００７８】
第２マイクロメータヘッド９４は、筒状のケース１０３と、つまみ１０４と、スピンドル１０５と、を備えている。ケース１０３は、長手方向が、鉛直方向に沿っている。ケース１０３は、調整台９２に取り付けられている。
【００７９】
つまみ１０４は、ケース１０３の基端部に回転自在に取り付けられている。スピンドル１０５は、柱状に形成されかつケース１０３内に収容されている。スピンドル１０５は、ケース１０３と同軸的に配されている。
【００８０】
スピンドル１０５は、つまみ１０４が回転するのに連動して、ケース１０３から外方向に突出したり、ケース１０３内に収容されたりする。スピンドル１０５は、突没方向が、鉛直方向に沿っている。スピンドル１０５は、その先端部が、調整台９２を貫通した貫通孔９８ｂ内に挿入されている。
【００８１】
第２マイクロメータヘッド９４は、つまみ１０４が回転操作されると、スピンドル１０５をケース１０３から突没させる。なお、ケース１０３内に収容して、スピンドル１０５が最も下方に位置すると、スピンドル１０５の先端面１０５ａは、調整台９２の上面９８ａと同一平面上に位置する。
【００８２】
前述した構成の１次塗布ユニット１５は、保持治具２２に載置されたセラミックパッケージ２の電極５に導電性を有する接着剤６を塗布する前に、前記スライダ８３の下死点での針先８９ａの高さを調整する。このとき、注射筒支持部８５に支持された注射筒８４は、針先８９ａが、第２マイクロメータヘッド９４のスピンドル１０５の先端面１０５ａに相対している。さらに、前記スライダ８３は下死点に位置している。
【００８３】
まず、第１マイクロメータヘッド９３のスピンドル１０２と、第２マイクロメータヘッド９４のスピンドル１０５と、を下死点まで下げる。すると、調整台９２の上面９８ａと保持治具２２の上面２４ａとが同一平面上に位置し、スピンドル１０５の先端面１０５ａと調整台９２の上面９８ａとが同一平面上に位置する。
【００８４】
セラミックパッケージ２の底面から電極５までの高さ分、第１マイクロメータヘッド９３のスピンドル１０２を上昇させる。すると、前記電極５と、調整台９２の上面９８ａと、が同一平面上に位置する。さらに、接着剤６を塗布する際の適切な針先８９ａと電極５との間隔分、第２マイクロメータヘッド９４のスピンドル１０５を上昇させる。
【００８５】
その後、ボルト８７をゆるめて、針先８９ａを第２マイクロメータヘッド９４のスピンドル１０５の先端面１０５ａに当接させる。この状態で、再度ボルト８７を閉めて、注射筒８４をスライダ８３に固定する。このように、針先８９ａと電極５との間隔を、塗布する接着剤６に応じて定められる適切な間隔とする。
【００８６】
そして、１次塗布ユニット１５は、セラミックパッケージ２の電極５に接着剤６を塗布する際には、まず、リニアガイドシリンダ７９を駆動してスライダ８３を上死点まで上昇させる。その後、Ｘ軸駆動部６８の駆動モータ７０と、Ｙ軸駆動部６９の駆動モータ７４を駆動して、針先８９ａを保持治具２２上のセラミックパッケージ２の電極５に相対させる。
【００８７】
そして、リニアガイドシリンダ７９を駆動してスライダ８３を下死点まで下降させるとともに、加圧気体供給源から注射筒８４内に加圧された気体を供給する。なお、この加圧気体の供給量は、電極５に塗布される接着剤６の量に応じて定められる。すると、スライダ８３の下死点での、針先８９ａと電極５との間隔が適切な間隔となっているので、適切な量の接着剤６が電極５の適切な位置に塗布される。
【００８８】
さらに、Ｘ軸駆動部６８の駆動モータ７０と、Ｙ軸駆動部６９の駆動モータ７４を駆動するなどして、セラミックパッケージ２の他の電極５に、先ほどと同様に接着剤６を塗布する。
【００８９】
水晶搬入ユニット１６は、図２に示すように、回転テーブル１１の外周側でかつ回転テーブル１１の周方向に沿って前記第２計測カメラ１４ｂの隣りに設けられている。水晶搬入ユニット１６には、回転テーブル１１の外周側からトレー１０６が供給される。トレー１０６は、矩形状の平板状に形成されている。トレー１０６は、表面に、多数の水晶片３を、２次元のマトリック状に並べる。
【００９０】
水晶搬入ユニット１６は、図２８及び図２９に示すように、スライドシリンダ１１０と、一対のガイドレール１１１と、シリンダ１１２と、一対のチャック１１３ａ，１１３ｂと、を備えている。スライドシリンダ１１０は、長手方向が回転テーブル１１のテーブル本体２１の径方向に沿った直線状のロッド１１４と、ロッド１１４に対しスライドするシリンダ本体１１５と、を備えている。一対のガイドレール１１１は、ロッド１１４と平行である。シリンダ１１２は、シリンダ本体１１５に固定されたシリンダ本体１１６と、このシリンダ本体１１６から鉛直方向に沿って伸縮自在な伸縮ロッド１１７と、を備えている。一対のチャック１１３ａ，１１３ｂは、伸縮ロッド１１７が伸縮すると、互いに接離して、互いの間にトレー１０６を挟む。
【００９１】
前述した構成の水晶搬入ユニット１６は、シリンダ本体１１５が、回転テーブル１１のテーブル本体２１から離れた位置で、一旦伸縮ロッド１１７が伸長した後縮小して、チャック１１３ａ，１１３ｂ間にトレー１０６を挟む。そして、シリンダ本体１１５内に加圧された気体などが供給されるなどして、該シリンダ本体１１５が回転テーブル１１のテーブル本体２１に向かって移動する。こうして、水晶搬入ユニット１６は、トレー１０６即ち水晶片３を、回転テーブル１１の近傍に搬入する。なお、トレー１０６は、一対のガイドレール１１１上を搬送される。
【００９２】
水晶載置ユニット１７は、図２及び図３０などに示すように、水晶搬入ユニット１６の近傍に設けられている。水晶載置ユニット１７は、図３０及び図３１に示すように、移動部１２７と、載置ヘッド部１２８と、水晶計測カメラ１２６（図３２に示す）とを備えている。
【００９３】
移動部１２７は、図３０及び図３１に示すように、Ｙ軸駆動部１２９と、Ｘ軸駆動部１３０と、を備えている。Ｙ軸駆動部１２９は、駆動モータ１３１と、ボールねじ１３２などを備えている。駆動モータ１３１は、ベース板８ａに固定されている。
【００９４】
ボールねじ１３２は、リードスクリュー１３３と、ナット１３４などを備えている。リードスクリュー１３３は、一方向に沿って延在している。リードスクリュー１３３は、長手方向が、一対のガイドレール１１１とロッド１１４と平行である。リードスクリュー１３３は、周知の転がり軸受などによって、ベース板８ａに、軸芯回りに回転自在に支持されている。リードスクリュー１３３には、駆動モータ１３１の出力軸が連結している。
【００９５】
ナット１３４は、リードスクリュー１３３の外周に螺合している。ナット１３４は、リードスクリュー１３３がその軸芯回りに回転すると、該リードスクリュー１３３の長手方向に沿って移動する。即ち、ナット１３４は、リードスクリュー１３３が回転すると、回転テーブル１１のテーブル本体２１に接離する。
【００９６】
Ｘ軸駆動部１３０は、駆動モータ１３５と、ボールねじ１３６などを備えている。駆動モータ１３５は、Ｙ軸駆動部１２９のナット１３４に固定されている。ボールねじ１３６は、リードスクリュー１３７と、ナット１３８などを備えている。リードスクリュー１３７は、一方向に沿って延在している。リードスクリュー１３７は、長手方向が、一対のガイドレール１１１とロッド１１４に交差している。なお、図示例では、リードスクリュー１３７の長手方向と、一対のガイドレール１１１とロッド１１４との双方の長手方向は、互いに直交している。
【００９７】
リードスクリュー１３７は、周知の転がり軸受などによって、ナット１３４に、軸芯回りに回転自在に支持されている。リードスクリュー１３７には、駆動モータ１３５の出力軸が連結している。
【００９８】
ナット１３８は、リードスクリュー１３７の外周に螺合している。ナット１３８は、リードスクリュー１３７がその軸芯回りに回転すると、該リードスクリュー１３７の長手方向に沿って移動する。即ち、ナット１３８は、リードスクリュー１３７が回転すると、回転テーブル１１のテーブル本体２１に接線に沿って、移動する。
【００９９】
載置ヘッド部１２８は、図３０に示すように、Ｘ軸駆動部１３０のナット１３８に固定されている。載置ヘッド部１２８は、図３３及び図３４に示すように、ヘッド部本体１３９と、昇降モータ１４０と、吸着部１４１とを備えている。
【０１００】
ヘッド部本体１３９は、ナット１３８に固定されている。ヘッド部本体１３９は、平板状に形成されており、ナット１３８から立設している。昇降モータ１４０は、ヘッド部本体１３９に固定されており、その出力軸１４０ａにピニオン１４２が取付られている。
【０１０１】
吸着部１４１は、平板状の吸着部本体１４３と、ラック１４４と、回転モータ１２５と、吸着ノズル１４５と、を備えている。吸着部本体１４３は、リニアガイド１４６を介して、ヘッド部本体１３９に取り付けられている。
【０１０２】
リニアガイド１４６は、レール１４７と、スライダ１４８とを備えている。レール１４７は、長手方向が鉛直方向に沿っている。レール１４７は、ヘッド部本体１３９に取り付けられている。スライダ１４８は、レール１４７の長手方向に沿って移動自在に、レール１４７に支持されている。スライダ１４８は、吸着部本体１４３に固定されている。
【０１０３】
ラック１４４は、長手方向が鉛直方向に沿っている。ラック１４４は、吸着部本体１４３に固定されている。ラック１４４は、ピニオン１４２と噛み合っている。このような構成によって、吸着部本体１４３は、昇降モータ１４０の回転駆動力によって、昇降する。即ち、吸着部１４１は、トレー１０６及び保持治具２２に接離自在となっている。なお、吸着部１４１は、図３４に示す上死点と図３５に示す下死点とに亘って移動する。
【０１０４】
回転モータ１２５は、出力軸１２５ａが鉛直方向に沿った状態で、吸着部本体１４３に固定されている。吸着ノズル１４５は、図３４及び図３５に示すように、ノズル本体２１１と、ノズル部２１２と、を備えている。ノズル本体２１１は、方体状に形成されかつ出力軸１２５ａに連結しているとともに、吸着部本体１４３に前記出力軸１２５ａ回りに回転自在に支持されている。ノズル本体２１１は、出力軸１２５ａから下方に向かって延在している。
【０１０５】
ノズル部２１２は、ノズル本体２１１の出力軸１２５ａから離れた端部に取り付けられている。ノズル部２１２は、図３４、図３５及び図４５に示すように、前記出力軸１２５ａから離れるのにしたがって、即ち保持治具２２に載置されたセラミックパッケージ２に向かうにしたがって徐々に細くなる載置手段としての先細部２１３を備えている。
【０１０６】
先細部２１３の先端面２１３ａは、水平方向に沿って平坦に形成されている。先端面２１３ａは、図４６及び図４７などに示すように、小判状に形成されている。なお、この先端面２１３ａは、本明細書の特許請求の範囲などに記載された保持面をなしている。また、先細部２１３は、図４６に示すように、平面形状が小判状に形成されている。
【０１０７】
また、先細部２１３は、図４６及び図４７に示すように、複数の第２の貫通孔１４９と、複数の凹溝２１５と、を備えている。第２の貫通孔１４９は、先端面２１３ａの長手方向に沿って並設されている。第２の貫通孔１４９は、小判状の先端面２１３ａの幅方向の中央に設けられている。なお、図示例では、第２の貫通孔１４９は、二つ設けられている。
【０１０８】
第２の貫通孔１４９は、それぞれ、一端が先細部２１３の先端面２１３ａに開口している。第２の貫通孔１４９は、前記先細部２１３内で互いに一対となって、他端に図示しない配管が連結する。該配管は、例えば、周知の真空ポンプなどの吸引装置などと連結している。
【０１０９】
凹溝２１５は、先端面２１３ａから凹に形成されている。凹溝２１５は、図４７などに示すように、一端が第２の貫通孔１４９に開口している。凹溝２１５は、一つの第２の貫通孔１４９に対し二つ設けられている。一つの第２の貫通孔１４９に設けられた凹溝２１５は、該第２の貫通孔１４９から先端面２１３ａの幅方向に沿って間隔を存する外縁２１３ｂに亘って形成されている。凹溝２１５の他端は、先端面２１３ａの外縁２１３ｂに開口している。即ち、一つの第２の貫通孔１４９に設けられた凹溝２１５の他端は、先端面２１３ａの互いに逆側に位置する外縁２１３ｂに開口している。
【０１１０】
水晶載置ユニット１７は、前記真空ポンプなどの吸引装置が第２の貫通孔１４９などを通して外気を吸い込んで、水晶片３を前記先端面２１３ａに吸着する。このとき、凹溝２１５は、吸着ノズル１４５のノズル部２１２の外側と、前記第２の貫通孔１４９内と、を互いに連通する。即ち、凹溝２１５は、第２の貫通孔１４９内と、外気とを連通している。さらに、前記先端面２１３ａに水晶片３を吸着している間には、前記真空ポンプなどの吸引装置は、前記第２の貫通孔１４９及び凹溝２１５を通して、外気を吸引している。
【０１１１】
また、水晶載置ユニット１７は、前記先端面２１３ａに吸着した水晶片３を、セラミックパッケージ２に重ねる場合には、前記真空ポンプなどの吸引装置が吸引を停止するとともに第２の貫通孔１４９などを通して気体を排出する。このように、先細部２１３は、先端面２１３ａに水晶片３を吸着して水晶片３を保持する。また、先細部２１３は、先端面２１３ａに吸着した水晶片３を先端面２１３ａから離してセラミックパッケージ２に重ねる。
【０１１２】
水晶計測カメラ１２６は、回転テーブル１１と水晶搬入ユニット１６との双方の近傍に設けられている。水晶計測カメラ１２６は、図３２に示すように、ＣＣＤカメラ１５２と、光源ランプ１５３と、を備えている。
【０１１３】
ＣＣＤカメラ１５２は、ベース板８ａに固定されている。ＣＣＤカメラ１５２は、ベース板８ａに対し立設している。ＣＣＤカメラ１５２は、レンズの対物側が上方に相対している。ＣＣＤカメラ１５２は、上方に吸着ノズル１４５が位置すると、前記先端面２１３ａに吸着された水晶片３を撮像可能である。
【０１１４】
光源ランプ１５３は、水晶計測カメラ１２６の上端部に取り付けられている。光源ランプ１５３は、ハーフミラー１５４などを介して、上方に向かって光りを照射する。光源ランプ１５３は、上方に吸着ノズル１４５が位置すると、前記先端面２１３ａに吸着された水晶片３に光をあてることが可能である。
【０１１５】
なお、前述した構成の水晶計測カメラ１２６は、本明細書の特許請求の範囲に記載された第２の撮像手段をなしている。
【０１１６】
前述した構成の水晶載置ユニット１７は、Ｙ軸駆動部１２９の駆動モータ１３１とＸ軸駆動部１３０の駆動モータ１３５を駆動して、吸着部１４１の先端面２１３ａを、トレー１０６上の所望の水晶片３に相対させる。なお、このとき、スライダ１４８即ち吸着部１４１は前述した上死点に位置している。
【０１１７】
そして、昇降モータ１４０を駆動して、スライダ１４８即ち吸着部１４１を下死点に移動させるとともに、吸引装置を駆動して第２の貫通孔１４９を通して外気を吸い込む。すると、図３５に示すように、吸着部１４１が下降するとともに、先端面２１３ａに水晶片３が吸着する。
【０１１８】
そして、昇降モータ１４０を駆動して、スライダ１４８即ち吸着部１４１を上死点に移動させるとともに、Ｙ軸駆動部１２９の駆動モータ１３１とＸ軸駆動部１３０の駆動モータ１３５とを駆動して、先端面２１３ａを水晶計測カメラ１２６の上方に位置させる。水晶計測カメラ１２６が撮像した映像に基いて、前記先端面２１３ａと水晶片３との相対的な位置関係を求める。
【０１１９】
その後、Ｙ軸駆動部１２９の駆動モータ１３１とＸ軸駆動部１３０の駆動モータ１３５と回転モータ１２５を駆動して、保持治具２２に載置されたセラミックパッケージ２の所望の位置に、吸着した水晶片３を相対させる。スライダ１４８を下死点に移動させるとともに、吸引装置を停止する。
【０１２０】
先端面２１３ａに吸着されていた水晶片３が、セラミックパッケージ２上に重ねられる。第１計測カメラ１４ａの映像から得た保持治具２２とセラミックパッケージ２との相対的な位置と、前記水晶計測カメラ１２６の映像から得た先端面２１３ａと水晶片３との相対的な位置と、に基いて、セラミックパッケージ２に水晶片３を位置決めする。
【０１２１】
このように、水晶載置ユニット１７は、水晶搬入ユニット１６によって搬入された水晶片３を、トレー１０６から取り出して、接着剤６が塗布されたセラミックパッケージ２に重ねる。
【０１２２】
２次塗布ユニット１８は、図２に示すように、回転テーブル１１の外周側でかつ回転テーブル１１の周方向に沿って水晶搬入ユニット１６の隣りに設けられている。２次塗布ユニット１８は、図３６ないし図３８に示すように、移動部６５と、塗布ヘッド部６６と、調整部６７と、を備えている。なお、移動部６５と塗布ヘッド部６６と調整部６７とは、前述した１次塗布ユニット１５と構成がほぼ同一であるので、同一箇所には同一符号を付して説明する。
【０１２３】
移動部６５は、図３６ないし図３８に示すように、Ｘ軸駆動部６８と、Ｙ軸駆動部６９と、を備えている。Ｘ軸駆動部６８は、駆動モータ７０と、ボールねじ７１と、を備えている。駆動モータ７０は、ベース板８ａに固定されている。
【０１２４】
ボールねじ７１は、リードスクリュー７２と、ナット７３などを備えている。リードスクリュー７２は、一方向に沿って延在している。リードスクリュー７２は、長手方向が、回転テーブル１１のテーブル本体２１の接線方向に沿っている。リードスクリュー７２は、周知の転がり軸受などによって、ベース板８ａに、軸芯回りに回転自在に支持されている。リードスクリュー７２には、駆動モータ７０の出力軸が連結している。
【０１２５】
ナット７３は、リードスクリュー７２の外周に螺合している。ナット７３は、リードスクリュー７２がその軸芯回りに回転すると、該リードスクリュー７２の長手方向に沿って移動する。
【０１２６】
Ｙ軸駆動部６９は、駆動モータ７４と、ボールねじ７５などを備えている。駆動モータ７４は、Ｘ軸駆動部６８のナット７３に固定されている。ボールねじ７５は、リードスクリュー７６と、ナット７７などを備えている。リードスクリュー７６は、一方向に沿って延在している。リードスクリュー７６は、長手方向が、回転テーブル１１のテーブル本体２１の径方向に沿っている。このため、Ｘ軸駆動部６８のリードスクリュー７２と、Ｙ軸駆動部６９のリードスクリュー７６とは、互いに直交している。
【０１２７】
リードスクリュー７６は、周知の転がり軸受などによって、ナット７３に、軸芯回りに回転自在に支持されている。リードスクリュー７６には、駆動モータ７４の出力軸が連結している。
【０１２８】
ナット７７は、リードスクリュー７６の外周に螺合している。ナット７７は、リードスクリュー７６がその軸芯回りに回転すると、該リードスクリュー７６の長手方向に沿って移動する。即ち、ナット７７は、リードスクリュー７６が回転すると、回転テーブル１１のテーブル本体２１に接離する。
【０１２９】
塗布ヘッド部６６は、図３６ないし図３８に示すように、ヘッド部本体７８と、リニアガイドシリンダ７９と、塗布部８０と、を備えている。ヘッド部本体７８は、一端がナット７７に固定された板状に形成されている。ヘッド部本体７８は、ナット７７から立設している。
【０１３０】
リニアガイドシリンダ７９は、シリンダ本体８１と、レール８２と、スライダ８３と、を備えている。シリンダ本体８１は、ヘッド部本体７８に固定されている。シリンダ本体８１内には、加圧された気体が供給される。レール８２は、鉛直方向に沿って延在している。レール８２は、シリンダ本体８１に固定されている。スライダ８３は、レール８２の長手方向に沿って移動自在に、該レール８２に支持されている。
【０１３１】
リニアガイドシリンダ７９は、シリンダ本体８１内に加圧された気体が供給されると、スライダ８３がレール８２に沿って移動する。即ち、リニアガイドシリンダ７９は、シリンダ本体８１内に加圧された気体が供給されると、スライダ８３が昇降する。
【０１３２】
なお、スライダ８３は、上死点と下死点とに亘って移動する。上死点では、塗布部８０の後述する注射筒８４の針先８９ａが保持治具２２上に載置されたセラミックパッケージ２から十分に離れる。下死点では、前記針先８９ａがセラミックパッケージ２に近づいて前記針先８９ａと前記セラミックパッケージ２の電極５との間隔が、接着剤６の塗布に適切な間隔となる。
【０１３３】
塗布部８０は、注射筒支持部８５と、注射筒８４などを備えている。注射筒支持部８５は、スライダ８３に固定されている。注射筒支持部８５は、内側に注射筒８４を通すことのできる孔８６と、ボルト８７とを備えている。ボルト８７は、注射筒支持部８５にねじ込まれている。ボルト８７は、注射筒支持部８５にねじ込まれると、前記孔８６を縮小させる。ボルト８７は、注射筒支持部８５からゆるめられると、前記孔８６を拡大させる。
【０１３４】
注射筒８４は、筒部８８と、針８９とを備えている。筒部８８は、有底筒状に形成されている。針８９は、その長手方向に沿って貫通した孔を備えており、一端が筒部８８の底部に接続している。針８９は、その孔が、前記底部に開口しており、筒部８８の内外を連通している。注射筒８４内には、セラミックパッケージ２に水晶片３を取り付けるための導電性を有する接着剤６が収容される。また、筒部８８の前記針８９から離れた基端部には、加圧された気体を供給する加圧気体供給源と連結した配管９０が連結している。
【０１３５】
調整部６７は、図３６に示すように、Ｘ軸駆動部６８と、回転テーブル１１との間に設けられている。調整部６７は、図３７及び図３８に示すように、ベース８ａに固定された調整部本体９１と、調整部本体９１に昇降自在に支持された調整台９２と、第１マイクロメータヘッド９３と、第２マイクロメータヘッド９４と、を備えている。
【０１３６】
第１マイクロメータヘッド９３は、筒状のケース１００と、つまみ１０１と、スピンドル１０２と、を備えている。ケース１００は、長手方向が、鉛直方向に沿っている。ケース１００は、調整部本体９１に取り付けられている。
【０１３７】
つまみ１０１は、ケース１００の基端部に回転自在に取り付けられている。スピンドル１０２は、柱状に形成されかつケース１００内に収容されている。スピンドル１０２は、ケース１００と同軸的に配されている。
【０１３８】
スピンドル１０２は、つまみ１０１が回転するのに連動して、ケース１００から外方向に突出したり、ケース１００内に収容されたりする。スピンドル１０２は、突没方向が、鉛直方向に沿っている。スピンドル１０２は、その先端部が、調整台９２に固定されている。
【０１３９】
第１マイクロメータヘッド９３は、つまみ１０１が回転操作されると、スピンドル１０２がケース１００から突没して、調整台９２を昇降させる。なお、スピンドル１０２をケース１００内に収容して、調整台９２が最も下方に位置すると、調整台９２の上面９８ａは、保持治具２２の上面２４ａと同一平面上に位置する。
【０１４０】
第２マイクロメータヘッド９４は、筒状のケース１０３と、つまみ１０４と、スピンドル１０５と、を備えている。ケース１０３は、長手方向が、鉛直方向に沿っている。ケース１０３は、調整台９２に取り付けられている。
【０１４１】
つまみ１０４は、ケース１０３の基端部に回転自在に取り付けられている。スピンドル１０５は、柱状に形成されかつケース１０３内に収容されている。スピンドル１０５は、ケース１０３と同軸的に配されている。
【０１４２】
スピンドル１０５は、つまみ１０４が回転するのに連動して、ケース１０３から外方向に突出したり、ケース１０３内に収容されたりする。スピンドル１０５は、突没方向が、鉛直方向に沿っている。スピンドル１０５は、その先端部が、調整台９２を貫通した貫通孔９８ｂ内に挿入されている。
【０１４３】
第２マイクロメータヘッド９４は、つまみ１０４が回転操作されると、スピンドル１０５をケース１０３から突没させる。なお、ケース１０３内に収容して、スピンドル１０５が最も下方に位置すると、スピンドル１０５の先端面１０５ａは、調整台９２の上面９８ａと同一平面上に位置する。
【０１４４】
前述した構成の２次塗布ユニット１８は、前記セラミックパッケージ２に接着固定された水晶片３に、さらに導電性の接着剤６を塗布するユニットである。なお、２次塗布ユニット１８が接着剤６を塗布する位置は、前記電極５の上方に位置する水晶片３の表面である。
【０１４５】
また、２次塗布ユニット１８による接着剤６の塗布は、セラミックパッケージ２に対する水晶片３の接着強度を向上させるためなどに行われる。このため、２次塗布ユニット１８による接着剤６の塗布は、組み立てる水晶振動子の品番に応じて行われる。したがって、２次塗布ユニット１８による接着剤６の塗布が行われる水晶振動子もあり、２次塗布ユニット１８による接着剤６の塗布が必要ない水晶振動子もある。
【０１４６】
２次塗布ユニット１８においても、前述した１次塗布ユニット１５と同様に、セラミックパッケージ２の底面からの電極５の高さに応じて、前記調整部６７を用いて、注射筒８４の位置が調整される。そして、２次塗布ユニット１８は、１次塗布ユニット１５と同様に、必要に応じてＹ軸駆動部６９の駆動モータ７４とＸ軸駆動部６８の駆動モータ７０とを駆動し、加圧気体供給源から注射筒８４内に加圧された気体を供給して、所望箇所に、接着剤６を塗布する。
【０１４７】
搬出ユニット１９は、図２に示すように、回転テーブル１１の外周側でかつ、この回転テーブル１１の周方向に沿って第３計測カメラ１４ｃと、パッケージ搬入ユニット１２と、の間に設けられている。
【０１４８】
搬出ユニット１９は、回転テーブル１１の外周側からトレー１６９が供給される。トレー１６９は、矩形状の平板状に形成されている。トレー１６９は、表面に、取り出しユニット２０によって保持治具２２から取り外された水晶片３付きのセラミックパッケージ２が、２次元のマトリック状に並べられる。
【０１４９】
搬出ユニット１９は、図３９及び図４０に示すように、スライドシリンダ１７０と、一対のガイドレール１７１と、シリンダ１７２と、一対のチャック１７３ａ，１７３ｂと、を備えている。スライドシリンダ１７０は、長手方向が回転テーブル１１から離れる方向に沿った直線状のロッド１７４と、ロッド１７４に対しスライドするシリンダ本体１７５と、を備えている。一対のガイドレール１７１は、ロッド１７４と平行である。シリンダ１７２は、シリンダ本体１７５に固定されたシリンダ本体１７６と、このシリンダ本体１７６から鉛直方向に沿って伸縮自在な伸縮ロッド１７７と、を備えている。一対のチャック１７３ａ，１７３ｂは、伸縮ロッド１７７が伸縮すると、鉛直方向に沿って互いに接離して、互いの間にトレー１６９を挟む。
【０１５０】
前述した構成の搬出ユニット１９は、シリンダ本体１７５が、回転テーブル１１のテーブル本体２１から離れた位置で、一旦伸縮ロッド１７７が伸長した後縮小して、チャック１７３ａ，１７３ｂ間にトレー１６９を挟む。そして、シリンダ本体１７５内に加圧された気体などが供給されるなどして、該シリンダ本体１７５が回転テーブル１１のテーブル本体２１に向かって移動する。こうして、搬出ユニット１９は、トレー１６９を、回転テーブル１１の近傍に搬入する。
【０１５１】
また、取り出しユニット２０によって、保持治具２２上の水晶片３付きのセラミックパッケージ２が取り外されて、トレー１６９上に載置される。その後、トレー１６９上に水晶片３付きのセラミックパッケージ２が所定数以上載置されると、シリンダ本体１７５内に加圧された気体などが供給されるなどして、該シリンダ本体１７５が回転テーブル１１のテーブル本体２１から離れる。このように、搬出ユニット１９は、水晶片３付きのセラミックパッケージ２を、水晶振動子組立装置１の外方向に搬送する。その後、水晶片３付きのセラミックパッケージ２は、水晶振動子の組立工程の後工程に向かって搬送される。
【０１５２】
取り出しユニット２０は、図２及び図４１に示すように、搬出ユニット１９の近傍に設けられている。取り出しユニット２０は、図４１及び図４２に示すように、移動部１８０と、取り出しヘッド部１８１と、を備えている。移動部１８０は、図４１及び図４２に示すように、Ｙ軸駆動部１８２と、Ｘ軸駆動部１８３と、を備えている。Ｙ軸駆動部１８２は、駆動モータ１８４と、ボールねじ１８５などを備えている。駆動モータ１８４は、ベース板８ａに固定されている。
【０１５３】
ボールねじ１８５は、リードスクリュー１８６と、ナット１８７などを備えている。リードスクリュー１８６は、一方向に沿って延在している。リードスクリュー１８６は、長手方向が、一対のガイドレール１７１とロッド１７４と平行である。リードスクリュー１８６は、周知の転がり軸受などによって、ベース板８ａに回転自在に支持されている。リードスクリュー１８６には、駆動モータ１８４の出力軸が連結している。
【０１５４】
ナット１８７は、リードスクリュー１８６の外周に螺合している。ナット１８７は、リードスクリュー１８６がその軸芯回りに回転すると、該リードスクリュー１８６の長手方向に沿って移動する。即ち、ナット１８７は、リードスクリュー１８６が回転すると、回転テーブル１１のテーブル本体２１に接離する。
【０１５５】
Ｘ軸駆動部１８３は、駆動モータ１８８と、ボールねじ１８９などを備えている。駆動モータ１８８は、Ｙ軸駆動部１８２のナット１８７に固定されている。ボールねじ１８９は、リードスクリュー１９０と、ナット１９１などを備えている。リードスクリュー１９０は、一方向に沿って延在している。リードスクリュー１９０は、長手方向が、一対のガイドレール１７１とロッド１７４に交差している。なお、図示例では、リードスクリュー１９０の長手方向と、一対のガイドレール１７１とロッド１７４との双方の長手方向は、互いに直交している。
【０１５６】
リードスクリュー１９０は、周知の転がり軸受などによって、ナット１８７に、軸芯回りに回転自在に支持されている。リードスクリュー１９０には、駆動モータ１８８の出力軸が連結している。ナット１９１は、リードスクリュー１９０の外周に螺合している。ナット１９１は、リードスクリュー１９０がその軸芯回りに回転すると、該リードスクリュー１９０の長手方向に沿って移動する。
【０１５７】
取り出しヘッド部１８１は、図４１及び図４２に示すように、Ｘ軸駆動部１８３のナット１９１に固定されている。取り出しヘッド部１８１は、図４３及び図４４に示すように、ヘッド部本体１９２と、リニアガイドシリンダ１９３と、ロータリアクチュエータ１９４と、チャックシリンダ２０１と、一対のチャック１９５と、を備えている。
【０１５８】
ヘッド部本体１９２は、ナット１９１に固定されている。リニアガイドシリンダ１９３は、ヘッド部本体１９２に固定されたシリンダ本体１９６と、鉛直方向に沿いかつシリンダ本体１９６に固定されたレール１９７と、レール１９７に移動自在に支持されたスライダ１９８と、を備えている。
【０１５９】
リニアガイドシリンダ１９３は、シリンダ本体１９６内に加圧された気体が供給されると、スライダ１９８がレール１９７に沿って移動する。即ち、リニアガイドシリンダ１９３は、シリンダ本体１９６内に加圧された気体が供給されると、スライダ１９８が昇降する。
【０１６０】
なお、スライダ１９８は、一対のチャック１９５が保持治具２２及びトレー１６９から十分に離れる上死点と、一対のチャック１９５が保持治具２２に近づいて該保持治具２２に載置されたセラミックパッケージ２を挟むことができる下死点と、に亘って昇降する。
【０１６１】
ロータリアクチュエータ１９４は、アクチュエータ本体１９９と、このアクチュエータ本体１９９に回転自在に支持された出力軸２００とを備えている。アクチュエータ本体１９９は、スライダ１９８に取り付けられている。アクチュエータ本体１９９は、その内側に加圧された気体などが供給されると、出力軸２００を軸芯回りに回転させる。ロータリアクチュエータ１９４は、出力軸２００が鉛直方向に沿っている。出力軸２００には、チャックシリンダ２０１が連結している。
【０１６２】
チャックシリンダ２０１は、一対のチャック１９５を接離させる。一対のチャック１９５は、水平方向に沿って並設されている。一対のチャック１９５は、チャックシリンダ２０１の下方で、かつ保持治具２２及びトレー１６９に相対することが可能な位置に配されている。一対のチャック１９５は、互いに近づくと、水晶片３付きのセラミックパッケージ２を挟む。
【０１６３】
前述した構成の取り出しユニット２０は、Ｙ軸駆動部１８２の駆動モータ１８４と、Ｘ軸駆動部１８３の駆動モータ１８８とを駆動して、一対のチャック１９５を、保持治具２２に相対させる。このとき、スライダ１９８は、前述した上死点に位置している。
【０１６４】
ロータリアクチュエータ１９４を駆動して、一対のチャック１９５間にセラミックパッケージ２を挟める位置まで、チャックシリンダ２０１を回転する。リニアガイドシリンダ１９３を駆動して、スライダ１９８を前記下死点に向かって移動する。一対のチャック１９５間に、セラミックパッケージ２を位置させる。チャックシリンダ２０１を駆動して、一対のチャック１９５間にセラミックパッケージ２を挟む。
【０１６５】
リニアガイドシリンダ１９３を駆動してスライダ１９８を前記上死点に移動するとともに、駆動モータ１８４，１８８とロータリアクチュエータ１９４を駆動して、一対のチャック１９５をトレー１６９に相対させる。チャックシリンダ２０１などを駆動して、トレー１６９の所定位置に、水晶片３付きのセラミックパッケージ２を載置する。
【０１６６】
このように、取り出しユニット２０は、水晶片３付きのセラミックパッケージ２を、吸引装置２７の吸引する力に抗して、保持治具２２から取り外す。その後、取り出しユニット２０は、トレー１６９に水晶片３付きのセラミックパッケージ２を載置する。なお、前記搬出ユニット１９と取り出しユニット２０とは、本明細書に記した搬出手段を構成している。
【０１６７】
また、搬出ユニット１９と、回転テーブル１１との間には、図２及び図４１に示すように、ＮＧ品収容部２０３が設けられている。ＮＧ品収容部２０３には、制御装置６０が不良品であると判定したセラミックパッケージ２が、取り出しユニット２０によって搬送されてくる。ＮＧ品収容部２０３は、取り出しユニット２０によって搬送されてきた不良品と判定されたセラミックパッケージ２を収容する。
【０１６８】
制御装置６０は、周知のＲＡＭ、ＲＯＭ及びＣＰＵなどを備えている。制御装置６０は、回転テーブル１１と、パッケージ搬入ユニット１２と、パッケージ載置ユニット１３と、各計測カメラ１４ａ，１４ｂ，１４ｃと、１次塗布ユニット１５と、水晶搬入ユニット１６と、水晶載置ユニット１７と、２次塗布ユニット１８と、搬出ユニット１９と、取り出しユニット２０などと接続している。
【０１６９】
制御装置６０は、回転テーブル１１と、パッケージ搬入ユニット１２と、パッケージ載置ユニット１３と、各計測カメラ１４ａ，１４ｂ，１４ｃと、１次塗布ユニット１５と、水晶搬入ユニット１６と、水晶載置ユニット１７と、２次塗布ユニット１８と、搬出ユニット１９と、取り出しユニット２０を制御して水晶振動子組立装置１全体の制御をつかさどる。
【０１７０】
制御装置６０は、予め、組み立てる水晶振動子の品番などを記憶している。制御装置６０は、品番に応じて定められる、接着剤６を塗布する電極５の位置と、２次塗布ユニット１８による接着剤６の塗布の有無などの加工データなどを記録している。
【０１７１】
制御装置６０には、図示しない入力手段が接続しており、この入力手段から入力される水晶振動子の品番と組立個数などに基いて、水晶振動子組立装置１の動作を制御する。
【０１７２】
入力手段としては、周知のキーボード、各種のスイッチや操作ボタン及びＣＤ−ＲＯＭ駆動装置などの各種の記録媒体駆動装置などの、各種の情報入力用の装置などを用いることができる。入力手段は、新たな品番の加工データを制御装置６０に入力するようになっていても良い。
【０１７３】
また、制御装置６０は、第１計測カメラ１４ａが得た画像情報Ｚ１（図４８に示す）から、パッケージ載置ユニット１３によって保持治具２２に載置されたセラミックパッケージ２と、該セラミックパッケージ２を載置した保持治具２２と、の相対的な位置を求める。
【０１７４】
このとき、まず、制御装置６０は、保持治具２２の上面２４ａの幾何学的な中心Ｃ１と、セラミックパッケージ２の重心ＣＧ１と、セラミックパッケージ２の長手方向Ｓ１と、を求める。
【０１７５】
回転テーブル１１のテーブル本体２１の径方向Ｋ１と前記長手方向Ｓ１とのなす角θ１を求める。前記中心Ｃ１と前記重心ＣＧ１との回転テーブル１１のテーブル本体２１の接線方向に沿った間隔Ｘ１と、前記中心Ｃ１と前記重心ＣＧ１との回転テーブル１１のテーブル本体２１の径方向に沿った間隔Ｙ１と、を求める。これらの間隔Ｘ１，Ｙ１と角θ１を、保持治具２２とセラミックパッケージ２との相対的な位置とする。
【０１７６】
制御装置６０は、第１計測カメラ１４ａからの画像情報Ｚ１から求めた保持治具２２とセラミックパッケージ２との相対的な位置Ｘ１，Ｙ１，θ１に基いて、１次塗布ユニット１５の各駆動モータ７０，７４を制御して、電極５の適切な位置に、針先８９ａを相対させる。そして、制御装置６０は、１次塗布ユニット１５に、電極５の適切な位置に、接着剤６を塗布させる。
【０１７７】
制御装置６０は、第２計測カメラ１４ｂが得た画像情報から、電極５への接着剤６の塗布状況の良否を判定する。制御装置６０は、所定の電極５に接着剤６が塗布されていれば良品と判定し、所定の電極５に接着剤６が塗布されていない場合及び誤った電極５に接着剤６が塗布されている場合には不良品と判定する。また、制御装置６０は、電極５から塗布された接着剤６が許容される範囲を超えて位置ずれしている場合なども、不良品と判定する。
【０１７８】
さらに、制御装置６０は、水晶計測カメラ１２６が得た画像情報Ｚ２（図４９に示す）から、吸着ノズル１４５の先細部２１３と、水晶片３と、の相対的な位置を算出する。
【０１７９】
このとき、まず、制御装置６０は、先細部２１３の幾何学的な中心Ｃ２と、水晶片３の重心ＣＧ２と、水晶片３の長手方向Ｓ２と、先細部２１３の長手方向Ｋ２と、を求める。
【０１８０】
前記長手方向Ｋ２と前記長手方向Ｓ２とのなす角θ２を求める。前記中心Ｃ２と前記重心ＣＧ２との先細部２１３の幅方向に沿った間隔Ｘ２と、前記中心Ｃ２と前記重心ＣＧ２との先細部２１３の長手方向に沿った間隔Ｙ２と、を求める。これらの間隔Ｘ２，Ｙ２と角θ２を、先細部２１３と水晶片３との相対的な位置とする。
【０１８１】
制御装置６０は、保持治具２２とセラミックパッケージ２との相対的な位置Ｘ１，Ｙ１，θ１と、先細部２１３と水晶片３との相対的な位置Ｘ２，Ｙ２，θ２とに基いて、水晶載置ユニット１７の各モータ１２５，１３１，１３５を制御して、セラミックパッケージ２の適切な位置に先細部２１３を相対させる。そして、制御装置６０は、先細部２１３に、セラミックパッケージ２の適切な位置に水晶片３を重ねさせる。
【０１８２】
制御装置６０は、保持治具２２とセラミックパッケージ２との相対的な位置Ｘ１，Ｙ１，θ１に基いて、２次塗布ユニット１８の各駆動モータ１２４，１５８を制御して、適切な位置に接着剤６を塗布する。
【０１８３】
制御装置６０は、第３計測カメラ１４ｃが得た画像情報から、セラミックパッケージ２と、該セラミックパッケージ２に取り付けられた水晶片３と、の相対的な位置を算出する。制御装置６０は、セラミックパッケージ２と水晶片３との位置ずれが所定の範囲内であれば、水晶片３付きのセラミックパッケージ２を良品であると判定する。制御装置６０は、前記位置ずれが所定の範囲を超えると水晶片３付きのセラミックパッケージ２を不良品であると判定する。
【０１８４】
また、制御装置６０は、２次塗布ユニット１８によって接着剤６が塗布されるセラミックパッケージ２においては、この２次塗布ユニット１８による接着剤６の塗布状況の良否を判定する。このとき、制御装置６０は、１次塗布ユニット１５による接着剤６の塗布状況と、同様に良否を判定する。
【０１８５】
制御装置６０は、１次塗布ユニット１５による接着剤６の塗布状況と、水晶片３の位置と、２次塗布ユニット１８による接着剤６の塗布状況と、のうち全てが良好であるセラミックパッケージ２を、取り出しユニット２０を制御してトレー１６９に載置する。一方、制御装置６０は、１次塗布ユニット１５による接着剤６の塗布状況と、水晶片３の位置と、２次塗布ユニット１８による接着剤６の塗布状況と、のうち少なくとも一つが不良であるセラミックパッケージ２を、取り出しユニット２０を制御してＮＧ品収容部２０３まで搬送する。
【０１８６】
前述した構成の水晶振動子組立装置１は、まず、作業員などが前記入力手段などを用いて、組み立てる水晶振動子の品番と個数などを制御装置６０に入力する。調整部６７を用いて、１次塗布ユニット１５の注射筒８４の位置を調整するとともに、必要に応じて２次塗布ユニット１８の注射筒８４の位置を調整する。
【０１８７】
その後、入力手段などから制御装置６０に作業開始指令を入力する。すると、パッケージ搬入ユニット１２が回転テーブル１１の近傍にトレー３６を搬入するとともに、水晶搬入ユニット１６が回転テーブル１１の近傍にトレー１０６を搬入する。パッケージ載置ユニット１３が、トレー３６上のセラミックパッケージ２を一つずつ保持治具２２上に載置する。回転テーブル１１が、保持治具２２にセラミックパッケージ２が載置されるのに応じて、矢印Ｒに沿って断続的に回転する。
【０１８８】
セラミックパッケージ２が載置された保持治具２２が、第１計測カメラ１４ａの下方を通ると、該第１計測カメラ１４ａが保持治具２２とセラミックパッケージ２とを撮像する。そして、１次塗布ユニット１５が、保持治具２２とセラミックパッケージ２との相対的な位置Ｘ１，Ｙ１，θ１に基いて、保持治具２２に載置されたセラミックパッケージ２の所定の電極５に接着剤６を塗布する。
【０１８９】
セラミックパッケージ２が載置された保持治具２２が、第２計測カメラ１４ｂの下方を通ると、該第２計測カメラ１４ｂが保持治具２２とセラミックパッケージ２とを撮像する。
【０１９０】
そして、水晶載置ユニット１７が、水晶片３を保持し、水晶計測カメラ１２６の上方を通る。水晶計測カメラ１２６が、先細部２１３と水晶片３とを撮像する。保持治具２２とセラミックパッケージ２との相対的な位置Ｘ１，Ｙ１，θ１と、先細部２１３と水晶片３との相対的な位置Ｘ２，Ｙ２，θ２とに基いて、水晶片３をセラミックパッケージ２の適切な位置に重ねる。
【０１９１】
必要に応じて、水晶片３が載置されたセラミックパッケージ２に、２次塗布ユニット１８が保持治具２２とセラミックパッケージ２との相対的な位置Ｘ１，Ｙ１，θ１に基いて接着剤６を塗布する。セラミックパッケージ２が載置された保持治具２２が、第３計測カメラ１４ｃの下方を通ると、該第３計測カメラ１４ｃが保持治具２２とセラミックパッケージ２とを撮像する。
【０１９２】
そして、制御装置６０が、第２及び第３計測カメラ１４ｂ，１４ｃからの画像情報に基いて、水晶片３付きのセラミックパッケージ２の良否を判定する。この良否に基いて、取り出しユニット２０が、保持治具２２から水晶片３付きのセラミックパッケージ２を取り外して、トレー１６９またはＮＧ品収容部２０３に搬送する。
【０１９３】
本実施形態の水晶振動子組立装置１によれば、第１計測カメラ１４ａが撮像して得た画像情報Ｚ１から、セラミックパッケージ２と保持治具２２とを相対的な位置Ｘ１，Ｙ１，θ１を求める。
【０１９４】
この求めた相対的な位置Ｘ１，Ｙ１，θ１に基いて、セラミックパッケージ２に接着剤６を塗布するため、セラミックパッケージ２を位置決めすることなく、セラミックパッケージ２の適切な位置に接着剤６を塗布できる。したがって、セラミックパッケージ２に水晶片３を取り付ける際に、セラミックパッケージ２を位置決めする必要がない。
【０１９５】
また、水晶計測カメラ１２６が撮像して得た画像情報Ｚ２から先細部２１３と水晶片３とを相対的な位置Ｘ２，Ｙ２，θ２を求める。前記セラミックパッケージ２と保持治具２２とを相対的な位置Ｘ１，Ｙ１，θ１と、先細部２１３と水晶片３とを相対的な位置Ｘ２，Ｙ２，θ２と、に基いて、水晶片３をセラミックパッケージ２に重ねる。このため、セラミックパッケージ２と水晶片３を位置決めすることなく、セラミックパッケージ２の適切な位置に水晶片３を重ねることができる。
【０１９６】
このため、セラミックパッケージ２及び水晶片３を位置決めするための爪などを用いる必要がなくなり、勿論該爪を交換する必要がない。したがって、セラミックパッケージ２に水晶片３を取り付ける作業の準備にかかる手間と時間を抑制できる。また、前述した爪などを用いる必要がないので、セラミックパッケージ２に水晶片３を取り付ける作業中に不意にセラミックパッケージ２及び水晶片３などが破損することを防止できる。
【０１９７】
保持治具２２が、貫通孔２５を通して吸引することにより上面２４ａにセラミックパッケージ２を吸着するので、保持治具２２に載置されたセラミックパッケージ２が位置ずれすることを防止できる。このため、作業中に、第１計測カメラ１４ａが撮像して得た画像情報Ｚ１から求めたセラミックパッケージ２と保持治具２２とを相対的な位置Ｘ１，Ｙ１，θ１から、セラミックパッケージ２が位置ずれすることを防止できる。
【０１９８】
先細部２１３が、第２の貫通孔１４９を通して吸引することにより先端面２１３ａに水晶片３を吸着するので、先細部２１３に保持された水晶片３が位置ずれすることを防止できる。このため、作業中に、水晶計測カメラ１２６が撮像して得た画像情報Ｚ２から求めた先細部２１３と水晶片３とを相対的な位置Ｘ２，Ｙ２，θ２から、水晶片３が位置ずれすることを防止できる。
【０１９９】
このため、位置決めすることなく、セラミックパッケージ２の適切な位置により確実に接着剤６を塗布でき、セラミックパッケージ２の適切な位置に水晶片３をより確実に重ねることができる。したがって、セラミックパッケージ２に対する水晶片３の位置が高精度な水晶振動子を組み立てることができる。
【０２００】
【発明の効果】
【０２０４】
請求項１に記載の本発明は、第１の撮像手段が撮像して得た保持治具とパッケージとの相対的な位置と、第２の撮像手段が撮像して得た載置手段と水晶片との相対的な位置と、に基いて、水晶片をパッケージに重ねる。このため、パッケージと水晶片とを位置決めすることなく、水晶片をパッケージの適切な位置に重ねることができる。
【０２０５】
このため、パッケージ及び水晶片を位置決めするための爪などを用いる必要がなくなり、勿論該爪を交換する必要がない。したがって、パッケージに水晶片を取り付ける作業の準備にかかる手間と時間を抑制できる。また、前述した爪などを用いる必要がないので、パッケージに水晶片を取り付ける作業中に不意にパッケージと水晶片が破損することを防止できる。
【０２０６】
請求項２に記載の本発明は、保持治具が載置面にパッケージを吸着するので、保持治具に載置されたパッケージが位置ずれすることを防止できる。このため、水晶片をパッケージに取り付ける作業中に、第１の撮像手段が撮像して得た位置からパッケージが位置ずれすることを防止できる。
【０２０７】
このため、位置決めすることなく、パッケージの適切な位置に接着剤を塗布できる。したがって、準備にかかる手間と時間を抑制でき、パッケージなどが不意に破損することを防止できることにくわえ、パッケージに高精度に接着剤を塗布できる。
【０２０８】
請求項３に記載の本発明は、載置手段が保持面に水晶片を吸着するので、載置手段に保持された水晶片が位置ずれすることを防止できる。このため、水晶片をパッケージに取り付ける作業中に、第２の撮像手段が撮像して得た位置から水晶片が位置ずれすることを防止できる。
【０２０９】
このため、位置決めすることなく、パッケージの適切な位置に水晶片を重ねることができる。したがって、準備にかかる手間と時間を抑制でき、パッケージ及び水晶片が不意に破損することを防止できることにくわえ、パッケージに高精度に水晶片を取り付けることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態にかかる水晶振動子組立装置を示す側面図である。
【図２】図１に示された水晶振動子組立装置の要部を示す平面図である。
【図３】図１に示された水晶振動子組立装置によって組み立てられる水晶振動子のセラミックパッケージを示す平面図である。
【図４】図３中のＩＶ―ＩＶ線に沿う断面図である。
【図５】図１に示された水晶振動子組立装置によって取り付けられた水晶片付きセラミックパッケージを示す平面図である。
【図６】図５中のＶＩ―ＶＩ線に沿う断面図である。
【図７】図１に示された水晶振動子組立装置の回転テーブルを示す平面図である。
【図８】図７に示された回転テーブルの側面図である。
【図９】図７に示された回転テーブルの保持治具を示す平面図である。
【図１０】図９中のＸ―Ｘ線に沿う断面図である。
【図１１】図９中のＸＩ―ＸＩ線に沿う断面図である。
【図１２】図１に示された水晶振動子組立装置のパッケージ搬入ユニットを示す平面図である。
【図１３】図１２中の矢印Ａ方向からみた図である。
【図１４】図１に示された水晶振動子組立装置のパッケージ搬入ユニットとパッケージ載置ユニットを示す平面図である。
【図１５】図１４中の矢印Ｂ方向からみた図である。
【図１６】図１４に示されたパッケージ載置ユニットの載置ヘッド部を示す側面図である。
【図１７】図１６中の矢印Ｃ方向からみた図である。
【図１８】図１７中のＤ−Ｄ線に沿う断面図である。
【図１９】図１６に示された載置ヘッド部の吸着部が下降した状態を示す側面図である。
【図２０】図１９中の矢印Ｃ１方向からみた図である。
【図２１】図１に示された水晶振動子組立装置の計測カメラを示す平面図である。
【図２２】図２１中の矢印Ｅ方向からみた図である。
【図２３】図１に示された水晶振動子組立装置の１次塗布ユニットを示す平面図である。
【図２４】図２３中の矢印Ｆ方向からみた一部を断面で示す図である。
【図２５】図２３中の矢印Ｇ方向からみた図である。
【図２６】図２３に示された１次塗布ユニットの調整部を示す正面図である。
【図２７】図２６中の矢印Ｈ方向からみた図である。
【図２８】図１に示された水晶振動子組立装置の水晶搬入ユニットを示す平面図である。
【図２９】図２８中の矢印Ｉ方向からみた図である。
【図３０】図１に示された水晶振動子組立装置の水晶搬入ユニットと水晶載置ユニットを示す平面図である。
【図３１】図３０中の矢印Ｊ方向からみた図である。
【図３２】図３０に示された水晶載置ユニットの水晶計測カメラを示す側面図である。
【図３３】図３０に示された水晶載置ユニットの載置ヘッド部を示す平面図である。
【図３４】図３３中の矢印Ｋ方向からみた図である。
【図３５】図３３に示された載置ヘッド部の吸着部が下降した状態を示す側面図である。
【図３６】図１に示された水晶振動子組立装置の２次塗布ユニットを示す平面図である。
【図３７】図３６中の矢印Ｌ方向からみた一部を断面で示す図である。
【図３８】図３６中の矢印Ｍ方向からみた図である。
【図３９】図１に示された水晶振動子組立装置の搬出ユニットを示す平面図である。
【図４０】図３９中の矢印Ｎ方向からみた図である。
【図４１】図１に示された水晶振動子組立装置の搬出ユニットと取り出しユニットを示す平面図である。
【図４２】図４１中の矢印Ｏ方向からみた図である。
【図４３】図４１に示された取り出しユニットの取り出しヘッド部を示す正面図である。
【図４４】図４３中の矢印Ｐ方向からみた図である。
【図４５】図３３に示された載置ヘッド部の吸着ノズルのノズル部を一部断面で示す正面図である。
【図４６】図４５中の矢印Ｓ方向からみた図である。
【図４７】図４５に示されたノズル部の先端面を示す平面図である。
【図４８】第１計測カメラが撮像して得た画像情報の一例を示す説明図である。
【図４９】水晶計測カメラが撮像して得た画像情報の一例を示す説明図である。
【符号の説明】
１ 水晶振動子組立装置
２ セラミックパッケージ（パッケージ）
３ 水晶片
６ 接着剤
１４ａ 第１計測カメラ（第１の撮像手段）
１５ １次塗布ユニット（塗布手段）
２２ 保持治具
２４ａ 上面（載置面）
２５ 貫通孔
６０ 制御装置（制御手段）
１２６ 水晶計測カメラ（第２の撮像手段）
１４９ 第２の貫通孔
２１３ 先細部（載置手段）
２１３ａ 先端面（保持面）
Ｘ１、Ｙ１、θ１ パッケージと保持治具との相対的な位置
Ｘ２、Ｙ２、θ２ 水晶片と先細部との相対的な位置
Ｚ１ 第１の撮像手段が撮像して得た画像情報
Ｚ２ 第２の撮像手段が撮像して得た画像情報

Claims (3)

1. パッケージに水晶片を取り付ける水晶振動子組立装置において、
   前記パッケージを載置する保持治具を複数有した搬送手段と、
   前記パッケージと該パッケージを載置した保持治具とを撮像可能な第１の撮像手段と、
   導電性を有する接着剤を収容してこの接着剤を塗布する接着剤収容塗布部と、前記接着剤収容塗布部を支持しかつこの接着剤収容塗布部との間の水平面内の位置が予め定められた支持部と、前記支持部を水平面内において移動する移動部とを備えて、前記パッケージに前記接着剤を塗布する塗布手段と、
   前記水晶片を保持して前記パッケージに重ねる載置手段と、
   前記水晶片と該水晶片を保持した載置手段とを撮像可能な第２の撮像手段と、
   前記搬送手段に前記第１の撮像手段に対応する位置に前記パッケージを位置付けさせて当該第１の撮像手段に前記保持治具上の前記パッケージを撮像させて、前記第１の撮像手段が撮像して得た画像情報から前記パッケージと該パッケージを載置した保持治具との相対的な位置を求め、かつ、
   前記搬送手段に前記第１の撮像手段に対応する位置から前記塗布手段に対応する位置に前記保持治具を搬送させて、前記相対的な位置に基づいて前記移動部に前記接着剤収容塗布部を適切な位置に位置付けさせて当該接着剤収容塗布部から前記接着剤を塗布して前記塗布手段に前記パッケージの適切な位置に導電性を有する接着剤を塗布させるとともに、
   前記搬送手段に前記塗布手段に対応する位置から前記載置手段及び第２の撮像手段に対応する位置に前記保持治具を搬送させて、当該第２の撮像手段に前記載置手段に保持された水晶片を撮像させて、第２の撮像手段が撮像して得た画像情報から前記水晶片と該水晶片を保持した載置手段との相対的な位置を求め、前記保持治具と前記パッケージとの相対的な位置と、前記載置手段と前記水晶片との相対的な位置と、に基いて前記載置手段に前記パッケージの適切な位置に前記水晶片を重ねさせる制御手段と、
   を備えたことを特徴とする水晶振動子組立装置。
2. 前記保持治具は、前記パッケージが載置される載置面と、前記載置面に開口した貫通孔と、を備え、前記貫通孔を通して外気を吸引することにより前記載置面に前記パッケージを吸着することを特徴とする請求項１記載の水晶振動子組立装置。
3. 前記載置手段は、前記水晶片を保持する保持面と、前記保持面に開口した第２の貫通孔と、を備え、前記第２の貫通孔を通して外気を吸引することにより前記保持面に前記水晶片を吸着することを特徴とする請求項１記載の水晶振動子組立装置。

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