JP3506952B2 - 電気部品の位置出し供給方法及びその装置 - Google Patents
電気部品の位置出し供給方法及びその装置Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電気部品（電子部
品を含む）を位置出しして他の電気部品に装着する位置
に供給するための電気部品の位置出し供給方法及びその
装置に係り、例えば、ＩＣ（集積回路）チップを液晶パ
ネルにこれらのアライメントマーク同士を一致させて装
着する作業を行う場合に利用できるものである。
品を含む）を位置出しして他の電気部品に装着する位置
に供給するための電気部品の位置出し供給方法及びその
装置に係り、例えば、ＩＣ（集積回路）チップを液晶パ
ネルにこれらのアライメントマーク同士を一致させて装
着する作業を行う場合に利用できるものである。
【０００２】
【背景技術】液晶パネルにドライバ用ＩＣチップをＡＣ
Ｆ（異方性導電膜）等の導電材を介して装着する作業
は、ＩＣチップを液晶パネルの正確な所定位置に装着し
て両者を確実に電気的導通状態とするため、ＩＣチップ
のアライメントマークに液晶パネルのアライメントマー
クを一致させて行う。このため、ＩＣチップを液晶パネ
ルに装着するための装置には、装着位置でＩＣチップの
アライメントマーク及び液晶パネルのアライメントマー
クを撮像する撮像手段であるＣＣＤカメラが設けられて
いる。ＩＣチップは装着装置に設けられた吸着ヘッドに
吸着されて上記装着位置に供給されるが、ＩＣチップの
アライメントマークを撮像可能範囲が小さいＣＣＤカメ
ラで確実に撮像できるようにするためには、吸着ヘッド
に対してＩＣチップを位置出しした状態で吸着させ、こ
の位置出し状態でＩＣチップを吸着ヘッドの移動により
装着位置に供給しなければならない。
Ｆ（異方性導電膜）等の導電材を介して装着する作業
は、ＩＣチップを液晶パネルの正確な所定位置に装着し
て両者を確実に電気的導通状態とするため、ＩＣチップ
のアライメントマークに液晶パネルのアライメントマー
クを一致させて行う。このため、ＩＣチップを液晶パネ
ルに装着するための装置には、装着位置でＩＣチップの
アライメントマーク及び液晶パネルのアライメントマー
クを撮像する撮像手段であるＣＣＤカメラが設けられて
いる。ＩＣチップは装着装置に設けられた吸着ヘッドに
吸着されて上記装着位置に供給されるが、ＩＣチップの
アライメントマークを撮像可能範囲が小さいＣＣＤカメ
ラで確実に撮像できるようにするためには、吸着ヘッド
に対してＩＣチップを位置出しした状態で吸着させ、こ
の位置出し状態でＩＣチップを吸着ヘッドの移動により
装着位置に供給しなければならない。
【０００３】図９〜図１２は、ＩＣチップ８１を吸着ヘ
ッドに位置出し状態で吸着させるための従来の方法を示
す。ＩＣチップ８１は、導電部であるバンプを上向きに
したフェースアップの状態で容器の凹部に収納されてお
り、このＩＣチップ８１を図示しない吸着アームが吸着
し、この後、このままＩＣチップ８１は吸着アームでプ
リアライメントステージ８２に載せられる（図９）。プ
リアライメントステージ８２の上には、突き当て部材８
３がプリアライメントステージ８２との間にＩＣチップ
８１の厚さより小さい隙間を開けて配置されており、突
き当て部材８３が図１０と図１１で示す直角の水平二方
向の移動を行うことにより、ＩＣチップ８１は、直角の
水平二方向に位置出しされる。
ッドに位置出し状態で吸着させるための従来の方法を示
す。ＩＣチップ８１は、導電部であるバンプを上向きに
したフェースアップの状態で容器の凹部に収納されてお
り、このＩＣチップ８１を図示しない吸着アームが吸着
し、この後、このままＩＣチップ８１は吸着アームでプ
リアライメントステージ８２に載せられる（図９）。プ
リアライメントステージ８２の上には、突き当て部材８
３がプリアライメントステージ８２との間にＩＣチップ
８１の厚さより小さい隙間を開けて配置されており、突
き当て部材８３が図１０と図１１で示す直角の水平二方
向の移動を行うことにより、ＩＣチップ８１は、直角の
水平二方向に位置出しされる。
【０００４】このようにしてＩＣチップ８１を図１２の
二点鎖線位置から実線位置に位置出した突き当て部材８
３は、直角の水平二方向の逆移動を行うことによりＩＣ
チップ８１から後退し、そしてＩＣチップ８１は図示し
ない反転アームで吸着され、このアームが１８０度反転
することによりＩＣチップ８１が前記バンプが下向きと
なるフェースダウンの状態となった後、ＩＣチップは８
１に吸着ヘッドに吸着される。このときのＩＣチップ８
１は、突き当て部材８３の突き当て作用による位置出し
状態で吸着ヘッドに吸着されており、この位置出し状態
でＩＣチップ８１は吸着ヘッドの移動により前記装着位
置へ供給される。
二点鎖線位置から実線位置に位置出した突き当て部材８
３は、直角の水平二方向の逆移動を行うことによりＩＣ
チップ８１から後退し、そしてＩＣチップ８１は図示し
ない反転アームで吸着され、このアームが１８０度反転
することによりＩＣチップ８１が前記バンプが下向きと
なるフェースダウンの状態となった後、ＩＣチップは８
１に吸着ヘッドに吸着される。このときのＩＣチップ８
１は、突き当て部材８３の突き当て作用による位置出し
状態で吸着ヘッドに吸着されており、この位置出し状態
でＩＣチップ８１は吸着ヘッドの移動により前記装着位
置へ供給される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】以上の従来方法による
と、ＩＣチップを吸着ヘッドに位置出し状態で吸着させ
るためには、ＩＣチップをプリアライメントステージに
一旦載せる工程が必要になり、このため、作業時間が長
くなるという問題があった。また、ＩＣチップを液晶パ
ネルに装着するための装置には、吸着ヘッド以外に、プ
リアライメントステージや吸着アーム等の部材、手段を
設けなければならず、この結果、構造が複雑になって装
置全体が大型化するという問題もあった。
と、ＩＣチップを吸着ヘッドに位置出し状態で吸着させ
るためには、ＩＣチップをプリアライメントステージに
一旦載せる工程が必要になり、このため、作業時間が長
くなるという問題があった。また、ＩＣチップを液晶パ
ネルに装着するための装置には、吸着ヘッド以外に、プ
リアライメントステージや吸着アーム等の部材、手段を
設けなければならず、この結果、構造が複雑になって装
置全体が大型化するという問題もあった。
【０００６】本発明の目的は、ＩＣチップ等の第１電気
部品を液晶パネル等の第２電気部品に装着する作業をプ
リアライメントステージを使用する工程を省略して行
え、このため、作業時間の短縮を図ることができ電気部
品の位置出し供給方法を提供するところにある。
部品を液晶パネル等の第２電気部品に装着する作業をプ
リアライメントステージを使用する工程を省略して行
え、このため、作業時間の短縮を図ることができ電気部
品の位置出し供給方法を提供するところにある。
【０００７】また、本発明の目的は、プリアライメント
ステージを使用する工程に関係した部材、手段が不要に
なり、このため、構造の簡単化、装置全体の小型化を実
現できる電気部品の位置出し供給装置を提供するところ
にある。
ステージを使用する工程に関係した部材、手段が不要に
なり、このため、構造の簡単化、装置全体の小型化を実
現できる電気部品の位置出し供給装置を提供するところ
にある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、ＩＣチップ等
の第１電気部品を凹部に収納している容器は、比較的精
度良好に形成されていることに着目してなされている。
の第１電気部品を凹部に収納している容器は、比較的精
度良好に形成されていることに着目してなされている。
【０００９】本発明に係る電気部品の位置出し供給方法
は、容器にＸ方向と、このＸ方向と直交するＹ方向とに
並設され、それぞれがＸ方向とＹ方向の２次元の開口形
状となっている複数の凹部のうちの一つの凹部に収納さ
れている第１電気部品を１個の吸着ヘッドで吸着した
後、この吸着ヘッドをＸ方向駆動手段でＸ方向に移動さ
せることにより第１電気部品を前記凹部の壁に当接さ
せ、この当接後も前記吸着ヘッドをＸ方向駆動手段でＸ
方向に移動させることにより前記吸着ヘッドと第１電気
部品との間でＸ方向の位置ずれを生じさせるとともに、
前記容器をＹ方向へ移動させるためのＹ方向駆動手段に
よって前記容器をＹ方向へ移動させることにより第１電
気部品を前記凹部の壁に当接させ、この当接後も前記容
器を前記Ｙ方向駆動手段でＹ方向に移動させることによ
り前記吸着ヘッドと第１電気部品との間でＹ方向の位置
ずれを生じさせ、これらのＸ方向とＹ方向との位置ずれ
で位置出しがなされた第１電気部品を第２電気部品に装
着する装着位置に前記Ｘ方向駆動手段による前記吸着ヘ
ッドの移動によって供給し、この作業を繰り返すことに
よって前記複数の凹部のうちの残りの凹部に収納されて
いる第１電気部品を前記装着位置に順次供給することを
特徴とするものである。
は、容器にＸ方向と、このＸ方向と直交するＹ方向とに
並設され、それぞれがＸ方向とＹ方向の２次元の開口形
状となっている複数の凹部のうちの一つの凹部に収納さ
れている第１電気部品を１個の吸着ヘッドで吸着した
後、この吸着ヘッドをＸ方向駆動手段でＸ方向に移動さ
せることにより第１電気部品を前記凹部の壁に当接さ
せ、この当接後も前記吸着ヘッドをＸ方向駆動手段でＸ
方向に移動させることにより前記吸着ヘッドと第１電気
部品との間でＸ方向の位置ずれを生じさせるとともに、
前記容器をＹ方向へ移動させるためのＹ方向駆動手段に
よって前記容器をＹ方向へ移動させることにより第１電
気部品を前記凹部の壁に当接させ、この当接後も前記容
器を前記Ｙ方向駆動手段でＹ方向に移動させることによ
り前記吸着ヘッドと第１電気部品との間でＹ方向の位置
ずれを生じさせ、これらのＸ方向とＹ方向との位置ずれ
で位置出しがなされた第１電気部品を第２電気部品に装
着する装着位置に前記Ｘ方向駆動手段による前記吸着ヘ
ッドの移動によって供給し、この作業を繰り返すことに
よって前記複数の凹部のうちの残りの凹部に収納されて
いる第１電気部品を前記装着位置に順次供給することを
特徴とするものである。
【００１０】また、本発明に係る電気部品の位置出し供
給装置は、第１電気部品を、この第１電気部品を第２電
気部品に装着するための装着位置へ位置出して供給する
ための電気部品の位置出し供給装置であって、容器にＸ
方向と、このＸ方向と直交するＹ方向とに並設され、そ
れぞれがＸ方向とＹ方向の２次元の開口形状となってい
る複数の凹部のうちの一つの凹部に収納されている第１
電気部品を吸着する１個の吸着ヘッドと、この吸着ヘッ
ドをＸ方向へ移動させてこの吸着ヘッドに吸着された第
１電気部品を前記装着位置へ供給するＸ方向駆動手段
と、前記容器をＹ方向に移動させるＹ方向駆動手段と、
を有し、前記Ｘ方向駆動手段と前記Ｙ方向駆動手段は、
前記吸着ヘッドに吸着された第１部品が前記凹部の壁に
当接してからも駆動することによりこの吸着ヘッドと第
１電気部品との間でＸ方向とＹ方向の位置ずれを生じさ
せて第１電気部品の位置出しを行う位置出し駆動手段と
なっていることを特徴とするものである。
給装置は、第１電気部品を、この第１電気部品を第２電
気部品に装着するための装着位置へ位置出して供給する
ための電気部品の位置出し供給装置であって、容器にＸ
方向と、このＸ方向と直交するＹ方向とに並設され、そ
れぞれがＸ方向とＹ方向の２次元の開口形状となってい
る複数の凹部のうちの一つの凹部に収納されている第１
電気部品を吸着する１個の吸着ヘッドと、この吸着ヘッ
ドをＸ方向へ移動させてこの吸着ヘッドに吸着された第
１電気部品を前記装着位置へ供給するＸ方向駆動手段
と、前記容器をＹ方向に移動させるＹ方向駆動手段と、
を有し、前記Ｘ方向駆動手段と前記Ｙ方向駆動手段は、
前記吸着ヘッドに吸着された第１部品が前記凹部の壁に
当接してからも駆動することによりこの吸着ヘッドと第
１電気部品との間でＸ方向とＹ方向の位置ずれを生じさ
せて第１電気部品の位置出しを行う位置出し駆動手段と
なっていることを特徴とするものである。
【００１１】以上の本発明では、吸着ヘッドに吸着され
た第１電気部品がこの第１電気部品を収納していた容器
の凹部の壁に当接せしめられた後も、さらに吸着ヘッド
がＸ方向駆動手段でＸ方向へ移動するとともに、容器が
Ｙ方向駆動手段でＹ方向へ移動することにより、吸着ヘ
ッドに対する第１電気部品のＸ方向とＹ方向の位置ずれ
が生じ、これにより吸着ヘッドに対して第１電気部品は
位置出しされる。
た第１電気部品がこの第１電気部品を収納していた容器
の凹部の壁に当接せしめられた後も、さらに吸着ヘッド
がＸ方向駆動手段でＸ方向へ移動するとともに、容器が
Ｙ方向駆動手段でＹ方向へ移動することにより、吸着ヘ
ッドに対する第１電気部品のＸ方向とＹ方向の位置ずれ
が生じ、これにより吸着ヘッドに対して第１電気部品は
位置出しされる。
【００１２】このため、本発明では、プリアライメント
ステージを使用する工程を省略でき、したがって作業時
間を短縮できる。また、プリアライメントステージでの
工程に関係した部材、手段は不要になるため、装置全体
の構造を簡単化でき、装置全体を小型化することができ
る。
ステージを使用する工程を省略でき、したがって作業時
間を短縮できる。また、プリアライメントステージでの
工程に関係した部材、手段は不要になるため、装置全体
の構造を簡単化でき、装置全体を小型化することができ
る。
【００１３】
【００１４】
【００１５】本発明では、第１電気部品の位置出しを行
う位置出し駆動手段は、吸着ヘッドをＸ方向へ移動させ
るＸ方向駆動手段と、容器をＹ方向へ移動させるＹ方向
駆動手段とになっている。
う位置出し駆動手段は、吸着ヘッドをＸ方向へ移動させ
るＸ方向駆動手段と、容器をＹ方向へ移動させるＹ方向
駆動手段とになっている。
【００１６】位置出し駆動手段をこのように構成する
と、吸着ヘッドはもともと容器が配置された位置と前記
装着位置との間を往復動させなければならないため、こ
の往復動のための手段をそのまま第１電気部品のＸ方向
の位置出しを行うためのＸ方向駆動手段とすることがで
き、また、容器には複数の第１電気部品を収納するため
の複数の凹部が形成され、Ｙ方向に並設された複数の凹
部から第１電気部品を吸着ヘッドで取り出すためには、
容器をＹ方向に移動させるための駆動手段が必要である
ため、この駆動手段をそのまま第１電気部品のＹ方向の
位置出しを行うためのＹ方向駆動手段とすることができ
る。
と、吸着ヘッドはもともと容器が配置された位置と前記
装着位置との間を往復動させなければならないため、こ
の往復動のための手段をそのまま第１電気部品のＸ方向
の位置出しを行うためのＸ方向駆動手段とすることがで
き、また、容器には複数の第１電気部品を収納するため
の複数の凹部が形成され、Ｙ方向に並設された複数の凹
部から第１電気部品を吸着ヘッドで取り出すためには、
容器をＹ方向に移動させるための駆動手段が必要である
ため、この駆動手段をそのまま第１電気部品のＹ方向の
位置出しを行うためのＹ方向駆動手段とすることができ
る。
【００１７】本発明は、任意な第１電気部品を任意な第
２電気部品に装着するために適用できる。第１電気部品
は、例えば、ＩＣチップでもよく、トランジスタでもよ
く、ダイオードでもよく、コンデンサでもよい。また、
第２電気部品は、例えば、液晶パネルでもよく、硬質又
はフレキシブルの基板でもよい。
２電気部品に装着するために適用できる。第１電気部品
は、例えば、ＩＣチップでもよく、トランジスタでもよ
く、ダイオードでもよく、コンデンサでもよい。また、
第２電気部品は、例えば、液晶パネルでもよく、硬質又
はフレキシブルの基板でもよい。
【００１８】第１電気部品がＩＣチップであって、第２
電気部品が液晶パネルであり、そして、前記装着位置に
おいてＩＣチップを液晶パネルにこれらに設けられたア
ライメントマーク同士を一致させて装着する場合には、
本発明に係る前記装置には、ＩＣチップと液晶パネルに
設けられたアライメントマークを装着位置で撮像する撮
像手段と、この撮像手段で撮像された液晶パネルのアラ
イメントマークをＩＣチップのアライメントマークと一
致させるために液晶パネルの位置を調整する位置調整手
段とを設けてもよい。
電気部品が液晶パネルであり、そして、前記装着位置に
おいてＩＣチップを液晶パネルにこれらに設けられたア
ライメントマーク同士を一致させて装着する場合には、
本発明に係る前記装置には、ＩＣチップと液晶パネルに
設けられたアライメントマークを装着位置で撮像する撮
像手段と、この撮像手段で撮像された液晶パネルのアラ
イメントマークをＩＣチップのアライメントマークと一
致させるために液晶パネルの位置を調整する位置調整手
段とを設けてもよい。
【００１９】また、本発明に係る前記方法及び本発明に
係る前記装置において、第１電気部品を吸着する前記吸
着ヘッドの吸着手段は、空気の吸引によるものでもよ
く、第２電気部品が磁性体で形成され又は磁性体を有す
るものであれば、マグネットによるものでもよい。
係る前記装置において、第１電気部品を吸着する前記吸
着ヘッドの吸着手段は、空気の吸引によるものでもよ
く、第２電気部品が磁性体で形成され又は磁性体を有す
るものであれば、マグネットによるものでもよい。
【００２０】
【発明の実施の形態】以下に本発明の一実施形態を図面
に基づいて説明する。本実施形態は、第１電気部品であ
るＩＣチップを第２電気部品である液晶パネルに装着す
る場合であり、図１はこの装着作業に使用する装置の正
面図で、図２は同装置の一部破断の平面図、図３は同装
置の側断面図である。
に基づいて説明する。本実施形態は、第１電気部品であ
るＩＣチップを第２電気部品である液晶パネルに装着す
る場合であり、図１はこの装着作業に使用する装置の正
面図で、図２は同装置の一部破断の平面図、図３は同装
置の側断面図である。
【００２１】図１において、本実施形態に係る装置の後
部には支持部材１で支持された垂直板部材２が設けら
れ、この垂直板部材２には、ガイドレール３で案内され
て左右方向（Ｘ方向）に摺動自在となったスライド４が
配置されている。このスライド４は、サーボモータ５で
回転するボールねじ６に図３の連結部材７を介して連結
され、この連結部材７はボールねじ６に螺合するナット
部材を有するため、サーボモータ５の正回転、逆回転に
よりスライド４はＸ方向に移動する。図１に示すとお
り、スライド４にはピストンロッド８Ａが下向きとなっ
たシリンダ８が取り付けられ、ピストンロッド８Ａの先
端にはガイドレール９で案内されて垂直方向（Ｚ方向）
に摺動自在となった吸着ヘッド１０が結合され、この吸
着ヘッド１０はシリンダ８でＺ方向に移動する。
部には支持部材１で支持された垂直板部材２が設けら
れ、この垂直板部材２には、ガイドレール３で案内され
て左右方向（Ｘ方向）に摺動自在となったスライド４が
配置されている。このスライド４は、サーボモータ５で
回転するボールねじ６に図３の連結部材７を介して連結
され、この連結部材７はボールねじ６に螺合するナット
部材を有するため、サーボモータ５の正回転、逆回転に
よりスライド４はＸ方向に移動する。図１に示すとお
り、スライド４にはピストンロッド８Ａが下向きとなっ
たシリンダ８が取り付けられ、ピストンロッド８Ａの先
端にはガイドレール９で案内されて垂直方向（Ｚ方向）
に摺動自在となった吸着ヘッド１０が結合され、この吸
着ヘッド１０はシリンダ８でＺ方向に移動する。
【００２２】この吸着ヘッド１０には、バキュームポン
プ等からなる吸着手段から延びる管路１１が接続され、
これにより吸着ヘッド１０は物品を吸着する作用を有す
る。
プ等からなる吸着手段から延びる管路１１が接続され、
これにより吸着ヘッド１０は物品を吸着する作用を有す
る。
【００２３】以上のように構成された垂直板部材２の下
部には、図１に示すように水平台部１２が設けられ、こ
の水平台部１２の右上面には、図２に示すガイドレール
１３で案内されてＸ方向及びＺ方向と直交する前後方向
（Ｙ方向）に摺動自在となった容器載置部材１４が配置
されている。この容器載置部材１４は、サーボモータ１
５で回転するボールねじ１６に連結部材１７を介して連
結され、この連結部材１７はボールねじ１６に螺合する
ナット部材を有するため、容器載置部材１４は、サーボ
モータ１５の正回転、逆回転によりＹ方向に移動する。
部には、図１に示すように水平台部１２が設けられ、こ
の水平台部１２の右上面には、図２に示すガイドレール
１３で案内されてＸ方向及びＺ方向と直交する前後方向
（Ｙ方向）に摺動自在となった容器載置部材１４が配置
されている。この容器載置部材１４は、サーボモータ１
５で回転するボールねじ１６に連結部材１７を介して連
結され、この連結部材１７はボールねじ１６に螺合する
ナット部材を有するため、容器載置部材１４は、サーボ
モータ１５の正回転、逆回転によりＹ方向に移動する。
【００２４】容器載置部材１４には、ＩＣチップを入れ
た容器１８が位置決め部材１９で位置決めされて載置さ
れ、この容器１８にＸとＹの両方向に並設されている複
数の凹部２０のそれぞれにＩＣチップ２１が収納されて
いる（図４〜図７参照）。
た容器１８が位置決め部材１９で位置決めされて載置さ
れ、この容器１８にＸとＹの両方向に並設されている複
数の凹部２０のそれぞれにＩＣチップ２１が収納されて
いる（図４〜図７参照）。
【００２５】図２に示すとおり、前記水平台部１２の左
上面にはロッドレスシリンダ２２が配置され、このロッ
ドレスシリンダ２２に、２本のガイドレール２３で案内
されてＹ方向へ摺動自在となったスライド２４が連結部
材２５を介して連結されている。図１に示されているよ
うに、スライド２４の上には基台２６が固定され、その
上に順番にＸテーブル２７、Ｙテーブル２８、回転テー
ブル２９が載せられている。基台２６に対してＸテーブ
ル２７はガイドレールでＸ方向へ移動自在であり、Ｘテ
ーブル２７に対してＹテーブル２８はガイドレールでＹ
方向へ移動自在あり、Ｙテーブル２８に対して回転テー
ブル２９は回転軸受で垂直軸を中心に回転自在である。
上面にはロッドレスシリンダ２２が配置され、このロッ
ドレスシリンダ２２に、２本のガイドレール２３で案内
されてＹ方向へ摺動自在となったスライド２４が連結部
材２５を介して連結されている。図１に示されているよ
うに、スライド２４の上には基台２６が固定され、その
上に順番にＸテーブル２７、Ｙテーブル２８、回転テー
ブル２９が載せられている。基台２６に対してＸテーブ
ル２７はガイドレールでＸ方向へ移動自在であり、Ｘテ
ーブル２７に対してＹテーブル２８はガイドレールでＹ
方向へ移動自在あり、Ｙテーブル２８に対して回転テー
ブル２９は回転軸受で垂直軸を中心に回転自在である。
【００２６】基台２６には図１のマイクロメータ３０が
取り付けられ、このマイクロメータ３０のスピンドルは
Ｘテーブル２７から突設された突起２７Ａに当接してい
るため、マイクロメータ３０を正回転操作すると、この
マイクロメータ３０の正回転して前進するスピンドルに
よりＸテーブル２７はＸ方向の前進を行う。そして、基
台２６とＸテーブル２７との間には図２で示すリターン
ばね３１が架設されているため、マイクロメータ３０を
逆回転操作すると、Ｘテーブル２７はＸ方向の後退を行
う。また、Ｘテーブル２７には図１で示すマイクロメー
タ３２が取り付けられ、このマイクロメータ３２のスピ
ンドルはＹテーブル２８から突設された図２の突起２８
Ａに当接しているため、マイクロメータ３２を正回転操
作すると、このマイクロメータ３２の正回転して前進す
るスピンドルによりＹテーブル２８はＹ方向の前進を行
う。そして、Ｘテーブル２７とＹテーブル２８の間には
図２で示すリターンばね３３が架設されているため、マ
イクロメータ３２を逆回転操作すると、Ｙテーブル２８
はＹ方向の後退を行う。
取り付けられ、このマイクロメータ３０のスピンドルは
Ｘテーブル２７から突設された突起２７Ａに当接してい
るため、マイクロメータ３０を正回転操作すると、この
マイクロメータ３０の正回転して前進するスピンドルに
よりＸテーブル２７はＸ方向の前進を行う。そして、基
台２６とＸテーブル２７との間には図２で示すリターン
ばね３１が架設されているため、マイクロメータ３０を
逆回転操作すると、Ｘテーブル２７はＸ方向の後退を行
う。また、Ｘテーブル２７には図１で示すマイクロメー
タ３２が取り付けられ、このマイクロメータ３２のスピ
ンドルはＹテーブル２８から突設された図２の突起２８
Ａに当接しているため、マイクロメータ３２を正回転操
作すると、このマイクロメータ３２の正回転して前進す
るスピンドルによりＹテーブル２８はＹ方向の前進を行
う。そして、Ｘテーブル２７とＹテーブル２８の間には
図２で示すリターンばね３３が架設されているため、マ
イクロメータ３２を逆回転操作すると、Ｙテーブル２８
はＹ方向の後退を行う。
【００２７】さらに、Ｙテーブル２８には図１のマイク
ロメータ３４が取り付けられ、このマイクロメータ３４
のスピンドルは回転テーブル２９から突設された突起２
９Ａに当接しているため、マイクロメータ３４を正回転
操作すると、このマイクロメータ３４の正回転して前進
するスピンドルにより回転テーブル２９は正回転する。
そして、Ｙテーブル２８と回転テーブル２９の間には図
示しないリターンばねが架設されているため、マイクロ
メータ３４を逆回転操作すると、回転テーブル２９は逆
回転する。
ロメータ３４が取り付けられ、このマイクロメータ３４
のスピンドルは回転テーブル２９から突設された突起２
９Ａに当接しているため、マイクロメータ３４を正回転
操作すると、このマイクロメータ３４の正回転して前進
するスピンドルにより回転テーブル２９は正回転する。
そして、Ｙテーブル２８と回転テーブル２９の間には図
示しないリターンばねが架設されているため、マイクロ
メータ３４を逆回転操作すると、回転テーブル２９は逆
回転する。
【００２８】図２に示すとおり、回転テーブル２９の上
には液晶パネル載置板３５が固定されており、この液晶
パネル載置板３５の上に位置決め部材３６で液晶パネル
３７が位置決め載置されるようになっている。また、液
晶パネル載置板３５にはバキュームポンプ等からなる吸
着手段に接続された図示しない吸気口が形成されてお
り、液晶パネル載置板３５に載置された液晶パネル３７
はこの吸気口による吸着作用で載置板３５上に固定され
る。
には液晶パネル載置板３５が固定されており、この液晶
パネル載置板３５の上に位置決め部材３６で液晶パネル
３７が位置決め載置されるようになっている。また、液
晶パネル載置板３５にはバキュームポンプ等からなる吸
着手段に接続された図示しない吸気口が形成されてお
り、液晶パネル載置板３５に載置された液晶パネル３７
はこの吸気口による吸着作用で載置板３５上に固定され
る。
【００２９】図２で示された前記容器載置部材１４と前
記ロッドレスシリンダ２２との間の手前側には撮像手段
であるＣＣＤカメラ３８が２台固定設置されている。こ
れらのＣＣＤカメラ３８は、前記水平台部１２の中央部
に前方に向かって窪んで形成された窪み部１２Ａと一致
して設置されており、ＣＣＤカメラ３８の前方には図３
で示す反射鏡３９が配置されている。このため、反射鏡
３９の真上の画像を反射鏡３９を介してＣＣＤカメラ３
８で撮像できるようになっている。
記ロッドレスシリンダ２２との間の手前側には撮像手段
であるＣＣＤカメラ３８が２台固定設置されている。こ
れらのＣＣＤカメラ３８は、前記水平台部１２の中央部
に前方に向かって窪んで形成された窪み部１２Ａと一致
して設置されており、ＣＣＤカメラ３８の前方には図３
で示す反射鏡３９が配置されている。このため、反射鏡
３９の真上の画像を反射鏡３９を介してＣＣＤカメラ３
８で撮像できるようになっている。
【００３０】図１で示したサーボモータ５でＸ方向に移
動する吸着ヘッド１０の移動領域の左端位置は、吸着ヘ
ッド１０の移動起点Ｎとなっており、この移動起点Ｎに
戻った吸着ヘッド１０に前記ＩＣチップ２１が予め正確
に位置出し（プリアライメント）されて吸着されている
場合に、ＩＣチップ２１に設けられている２個のアライ
メントマイクロメータＡ（図８参照）が、２台のＣＣＤ
カメラ３８の小さい撮像可能範囲（例えば０．３平方ｍ
ｍ）に入るように設定されている。
動する吸着ヘッド１０の移動領域の左端位置は、吸着ヘ
ッド１０の移動起点Ｎとなっており、この移動起点Ｎに
戻った吸着ヘッド１０に前記ＩＣチップ２１が予め正確
に位置出し（プリアライメント）されて吸着されている
場合に、ＩＣチップ２１に設けられている２個のアライ
メントマイクロメータＡ（図８参照）が、２台のＣＣＤ
カメラ３８の小さい撮像可能範囲（例えば０．３平方ｍ
ｍ）に入るように設定されている。
【００３１】以上において、サーボモータ５、ボールね
じ６等により、吸着ヘッド１０をＸ方向へ移動させるた
めの図１のＸ方向駆動手段４０が構成され、シリンダ８
等により、吸着ヘッド１０をＺ方向へ移動させるための
図１のＺ方向駆動手段４１が構成されている。また、前
記サーボモータ１５、ボールねじ１６等により、ＩＣチ
ップを入れた容器１８をＹ方向へ移動させるための図２
のＹ方向駆動手段４２が構成されている。
じ６等により、吸着ヘッド１０をＸ方向へ移動させるた
めの図１のＸ方向駆動手段４０が構成され、シリンダ８
等により、吸着ヘッド１０をＺ方向へ移動させるための
図１のＺ方向駆動手段４１が構成されている。また、前
記サーボモータ１５、ボールねじ１６等により、ＩＣチ
ップを入れた容器１８をＹ方向へ移動させるための図２
のＹ方向駆動手段４２が構成されている。
【００３２】さらに、スライド２４、基台２６、Ｘテー
ブル２７、Ｙテーブル２８、回転テーブル２９により、
液晶パネル３７の位置をＸ方向とＹ方向と垂直軸を中心
とした回転方向とに調整するための図２の位置調整ステ
ージ４３が構成されている。位置調整手段であるこの位
置調整ステージ４３は、図２で示したロッドレスシリン
ダ２２等からなる前後進駆動手段４４でＹ方向へ移動自
在であり、前進したときには、位置調整ステージ４３は
前記反射鏡３９の真上に達するようになっている。
ブル２７、Ｙテーブル２８、回転テーブル２９により、
液晶パネル３７の位置をＸ方向とＹ方向と垂直軸を中心
とした回転方向とに調整するための図２の位置調整ステ
ージ４３が構成されている。位置調整手段であるこの位
置調整ステージ４３は、図２で示したロッドレスシリン
ダ２２等からなる前後進駆動手段４４でＹ方向へ移動自
在であり、前進したときには、位置調整ステージ４３は
前記反射鏡３９の真上に達するようになっている。
【００３３】位置調整ステージ４３を構成していて上下
に重ね合わせられているスライド２４、基台２６、Ｘテ
ーブル２７、Ｙテーブル２８、回転テーブル２９には開
口部が形成され（図２には回転テーブル２９の開口部２
９Ｂが示されている）、回転テーブル２９の上の液晶パ
ネル載置板３５にもこれらと開口部と一致する開口部３
５Ａが形成されている。このため、前後進駆動手段４４
で位置調整ステージ４３が前進位置に達したとき、液晶
パネル載置板３５に載置された液晶パネル３７の２個の
アライメントマークＢ（図８参照）をＣＣＤカメラ３８
で撮像できるようになっている。
に重ね合わせられているスライド２４、基台２６、Ｘテ
ーブル２７、Ｙテーブル２８、回転テーブル２９には開
口部が形成され（図２には回転テーブル２９の開口部２
９Ｂが示されている）、回転テーブル２９の上の液晶パ
ネル載置板３５にもこれらと開口部と一致する開口部３
５Ａが形成されている。このため、前後進駆動手段４４
で位置調整ステージ４３が前進位置に達したとき、液晶
パネル載置板３５に載置された液晶パネル３７の２個の
アライメントマークＢ（図８参照）をＣＣＤカメラ３８
で撮像できるようになっている。
【００３４】次ぎに、ＩＣチップ２１を液晶パネル３７
にこれらのアライメントマークＡとＢとを一致させて装
着する作業について説明する。以下の本実施形態に係る
装置の作動は、容器１８及び凹部２０の各寸法を含む各
種データが記録されているコンピュータによる制御手段
で予め定められた手順のとおりに行われる。
にこれらのアライメントマークＡとＢとを一致させて装
着する作業について説明する。以下の本実施形態に係る
装置の作動は、容器１８及び凹部２０の各寸法を含む各
種データが記録されているコンピュータによる制御手段
で予め定められた手順のとおりに行われる。
【００３５】図示しない作業開始スイッチをオンにする
と、移動起点Ｎにあった吸着ヘッド１０は前記Ｘ方向駆
動手段４０の駆動により図１において右移動し、この
後、Ｚ方向駆動手段４１で一定位置まで下降する。吸着
ヘッド１０が下降するこの位置は、図４に示すとおり、
ＩＣチップ２１を入れた容器１８の上面から若干上方の
位置であり、また、このときの吸着ヘッド１０が達して
いるＸ方向の位置は、図７の二点鎖線で示すように、そ
れぞれにＩＣチップ２１が収納されている複数の凹部２
０のうち、最前列の凹部２０のなかの移動起点Ｎに最も
近い凹部２０−１の位置であるが、吸着ヘッド１０は、
ＸとＹの両方向を有する２次元の開口形状になっている
この凹部２０−１の中心と正確に一致する位置には達し
ておらず、凹部２０−１の中心からＸとＹの両方向に多
少ずれた位置に達している。
と、移動起点Ｎにあった吸着ヘッド１０は前記Ｘ方向駆
動手段４０の駆動により図１において右移動し、この
後、Ｚ方向駆動手段４１で一定位置まで下降する。吸着
ヘッド１０が下降するこの位置は、図４に示すとおり、
ＩＣチップ２１を入れた容器１８の上面から若干上方の
位置であり、また、このときの吸着ヘッド１０が達して
いるＸ方向の位置は、図７の二点鎖線で示すように、そ
れぞれにＩＣチップ２１が収納されている複数の凹部２
０のうち、最前列の凹部２０のなかの移動起点Ｎに最も
近い凹部２０−１の位置であるが、吸着ヘッド１０は、
ＸとＹの両方向を有する２次元の開口形状になっている
この凹部２０−１の中心と正確に一致する位置には達し
ておらず、凹部２０−１の中心からＸとＹの両方向に多
少ずれた位置に達している。
【００３６】図４で示す位置まで吸着ヘッド１０が下降
すると、この吸着ヘッド１０に接続されている前記吸着
手段が駆動し、これにより、予めバンプを下向きにして
凹部２０−１に収納されていたＩＣチップ２１は図５に
示すとおり吸着ヘッド１０に吸着され、凹部２０−１の
底から離れる。この後、Ｘ方向駆動手段４０が吸着ヘッ
ド１０を図５において右へ移動させ、これによりＩＣチ
ップ２１を凹部２０−１の側壁２０Ａに当接させる。こ
の当接後もＸ方向駆動手段４０は吸着ヘッド１０を同じ
方向に移動させ、この移動は吸着ヘッド１０がＩＣチッ
プ２１を吸着したまま行われ、これにより吸着ヘッド１
０とＩＣチップ２１との間でＸ方向の位置ずれが生じ、
吸着ヘッド１０によるＩＣチップ２１の吸着位置の変更
が行われる。このようにＸ方向駆動手段４０によってな
される吸着ヘッド１０とＩＣチップ２１との間での位置
ずれは、吸着ヘッド１０とＩＣチップ２１とが所定の位
置関係になるまで、図６で示されている本実施形態で
は、ＩＣチップ２１のＸ方向の中心と吸着ヘッド１０の
Ｘ方向の中心とが一致するまで行われる。
すると、この吸着ヘッド１０に接続されている前記吸着
手段が駆動し、これにより、予めバンプを下向きにして
凹部２０−１に収納されていたＩＣチップ２１は図５に
示すとおり吸着ヘッド１０に吸着され、凹部２０−１の
底から離れる。この後、Ｘ方向駆動手段４０が吸着ヘッ
ド１０を図５において右へ移動させ、これによりＩＣチ
ップ２１を凹部２０−１の側壁２０Ａに当接させる。こ
の当接後もＸ方向駆動手段４０は吸着ヘッド１０を同じ
方向に移動させ、この移動は吸着ヘッド１０がＩＣチッ
プ２１を吸着したまま行われ、これにより吸着ヘッド１
０とＩＣチップ２１との間でＸ方向の位置ずれが生じ、
吸着ヘッド１０によるＩＣチップ２１の吸着位置の変更
が行われる。このようにＸ方向駆動手段４０によってな
される吸着ヘッド１０とＩＣチップ２１との間での位置
ずれは、吸着ヘッド１０とＩＣチップ２１とが所定の位
置関係になるまで、図６で示されている本実施形態で
は、ＩＣチップ２１のＸ方向の中心と吸着ヘッド１０の
Ｘ方向の中心とが一致するまで行われる。
【００３７】これらの中心が一致すると、ＩＣチップ２
１は吸着ヘッド１０に対しＸ方向において位置出しされ
たことになる。
１は吸着ヘッド１０に対しＸ方向において位置出しされ
たことになる。
【００３８】次いで、Ｙ方向駆動手段４２により容器１
８は図２のＹ方向の上側（前方）へ移動し、これによ
り、ＩＣチップ２１は図７で示されている凹部２０の後
壁２０Ｂに当接し、この当接後もＹ方向駆動手段４２は
駆動する。これにより、前述と同様にして吸着ヘッド１
０とＩＣチップ２１との間にはＹ方向の位置ずれが生
じ、この位置ずれは、吸着ヘッド１０とＩＣチップ２１
とが所定の位置関係になるまで行われる。この結果、Ｉ
Ｃチップ２１は吸着ヘッド１０に対しＹ方向にも位置出
しされることになる。図７はこのときのＩＣチップ２１
を示している。
８は図２のＹ方向の上側（前方）へ移動し、これによ
り、ＩＣチップ２１は図７で示されている凹部２０の後
壁２０Ｂに当接し、この当接後もＹ方向駆動手段４２は
駆動する。これにより、前述と同様にして吸着ヘッド１
０とＩＣチップ２１との間にはＹ方向の位置ずれが生
じ、この位置ずれは、吸着ヘッド１０とＩＣチップ２１
とが所定の位置関係になるまで行われる。この結果、Ｉ
Ｃチップ２１は吸着ヘッド１０に対しＹ方向にも位置出
しされることになる。図７はこのときのＩＣチップ２１
を示している。
【００３９】この後、Ｚ方向駆動手段４１の駆動により
吸着ヘッド１０は上昇し、そして、Ｘ方向駆動手段４０
の駆動で吸着ヘッド１０はＩＣチップ２１を吸着したま
ま移動起点Ｎ、言い換えると、ＩＣチップ２１を前記液
晶パネル３７に装着するための位置に戻る。この間に容
器１８はＹ方向駆動手段４２の逆駆動によって前記Ｙ方
向の位置出し前の位置に戻る。
吸着ヘッド１０は上昇し、そして、Ｘ方向駆動手段４０
の駆動で吸着ヘッド１０はＩＣチップ２１を吸着したま
ま移動起点Ｎ、言い換えると、ＩＣチップ２１を前記液
晶パネル３７に装着するための位置に戻る。この間に容
器１８はＹ方向駆動手段４２の逆駆動によって前記Ｙ方
向の位置出し前の位置に戻る。
【００４０】吸着ヘッド１０は移動起点ＮでＺ方向駆動
手段４１の駆動によって下降し、この下降は、吸着ヘッ
ド１０に吸着されているＩＣチップ２１のアライメント
マークＡを前記ＣＣＤカメラ３８で撮像できる高さ位置
まで吸着ヘッド１０が達したとき、停止する。この後、
アライメントマークＡがＣＣＤカメラ３８で図８のよう
に撮像され、このマークＡは図示しない画像表示装置に
表示され、そのままこの画像表示装置に記録される。次
いで、吸着ヘッド１０はＺ方向駆動手段４１で所定位置
まで上昇する。
手段４１の駆動によって下降し、この下降は、吸着ヘッ
ド１０に吸着されているＩＣチップ２１のアライメント
マークＡを前記ＣＣＤカメラ３８で撮像できる高さ位置
まで吸着ヘッド１０が達したとき、停止する。この後、
アライメントマークＡがＣＣＤカメラ３８で図８のよう
に撮像され、このマークＡは図示しない画像表示装置に
表示され、そのままこの画像表示装置に記録される。次
いで、吸着ヘッド１０はＺ方向駆動手段４１で所定位置
まで上昇する。
【００４１】この後、図示しないスイッチをオンにする
と、予め前記液晶パネル載置板３５上に液晶パネル３７
が載置されていた前記位置調整ステージ４３は、前後進
駆動手段４４で前進し、液晶パネル３７のアライメント
マークＢをＣＣＤカメラ３８で撮像できる位置に達す
る。このときの液晶パネル３７の高さ位置は、ＩＣチッ
プ２１のアライメントマークＡをＣＣＤカメラ３８で撮
像したときと同じ高さ位置であり、液晶パネル３７のア
ライメントマークＢをＣＣＤカメラ３８で図８にように
撮像し、このマークＢは前記画像表示装置に表示され
る。
と、予め前記液晶パネル載置板３５上に液晶パネル３７
が載置されていた前記位置調整ステージ４３は、前後進
駆動手段４４で前進し、液晶パネル３７のアライメント
マークＢをＣＣＤカメラ３８で撮像できる位置に達す
る。このときの液晶パネル３７の高さ位置は、ＩＣチッ
プ２１のアライメントマークＡをＣＣＤカメラ３８で撮
像したときと同じ高さ位置であり、液晶パネル３７のア
ライメントマークＢをＣＣＤカメラ３８で図８にように
撮像し、このマークＢは前記画像表示装置に表示され
る。
【００４２】この画像表示装置を見ながら作業者は、位
置調整ステージ４３に設けられている前記マイクロメー
タ３０，３２，３４の回転操作を行い、これにより、液
晶パネル３７をＸ方向とＹ方向と垂直軸と中心とした回
転方向とに微動させ、ＩＣチップ２１のマイクロメータ
マークＡに液晶パネル３７のアライメントマークＢを一
致させる作業を行う。液晶パネル３７は液晶パネル載置
板３５に前記位置決め部材３６で位置決めされて載置さ
れているが、液晶パネル３７の外形状は正確なものとは
なっておらず、誤差があり、したがって、この外形状を
基準にして位置決め部材３６で位置決めされている液晶
パネル３７は正確な位置出し状態で液晶パネル載置板３
５に載置されていないため、以上のようにマイクロメー
タ３０，３２，３４の回転操作を行うことにより、アラ
イメントマークＡとＢを一致させる。
置調整ステージ４３に設けられている前記マイクロメー
タ３０，３２，３４の回転操作を行い、これにより、液
晶パネル３７をＸ方向とＹ方向と垂直軸と中心とした回
転方向とに微動させ、ＩＣチップ２１のマイクロメータ
マークＡに液晶パネル３７のアライメントマークＢを一
致させる作業を行う。液晶パネル３７は液晶パネル載置
板３５に前記位置決め部材３６で位置決めされて載置さ
れているが、液晶パネル３７の外形状は正確なものとは
なっておらず、誤差があり、したがって、この外形状を
基準にして位置決め部材３６で位置決めされている液晶
パネル３７は正確な位置出し状態で液晶パネル載置板３
５に載置されていないため、以上のようにマイクロメー
タ３０，３２，３４の回転操作を行うことにより、アラ
イメントマークＡとＢを一致させる。
【００４３】この後、吸着ヘッド１０はＺ方向駆動手段
４１で下降し、これにより、この吸着ヘッド１０に吸着
されていたＩＣチップ２１は液晶パネル３７の所定位置
に予め粘着されていたＡＣＦに押し付けられる。次い
で、吸着ヘッド１０は前記吸着手段による吸着作用を解
除してＺ方向駆動手段４１により上昇し、この結果、Ａ
ＣＦに粘着されたＩＣチップ２１は液晶パネル３７上に
残される。吸着ヘッド１０がＩＣチップ２１を液晶パネ
ル３７のＡＣＦに押し付けてから上昇すると、位置調整
ステージ４３は前後進駆動手段４４の逆駆動によりもと
の後退位置に戻り、この後退位置で作業者は液晶パネル
３７を位置調整ステージ４３から取り外す。そして、液
晶パネル３７はＩＣチップ２１を加熱押圧する装置に送
られ、この装置でＩＣチップ２１を液晶パネル３７に加
熱押圧することにより、ＡＣＦ内の導電粒子同士が接続
されることになり、アライメントマークＡとＢを一致さ
せて正確な位置関係となっているＩＣチップ２１と液晶
パネル３７は確実に電気的導通状態となる。
４１で下降し、これにより、この吸着ヘッド１０に吸着
されていたＩＣチップ２１は液晶パネル３７の所定位置
に予め粘着されていたＡＣＦに押し付けられる。次い
で、吸着ヘッド１０は前記吸着手段による吸着作用を解
除してＺ方向駆動手段４１により上昇し、この結果、Ａ
ＣＦに粘着されたＩＣチップ２１は液晶パネル３７上に
残される。吸着ヘッド１０がＩＣチップ２１を液晶パネ
ル３７のＡＣＦに押し付けてから上昇すると、位置調整
ステージ４３は前後進駆動手段４４の逆駆動によりもと
の後退位置に戻り、この後退位置で作業者は液晶パネル
３７を位置調整ステージ４３から取り外す。そして、液
晶パネル３７はＩＣチップ２１を加熱押圧する装置に送
られ、この装置でＩＣチップ２１を液晶パネル３７に加
熱押圧することにより、ＡＣＦ内の導電粒子同士が接続
されることになり、アライメントマークＡとＢを一致さ
せて正確な位置関係となっているＩＣチップ２１と液晶
パネル３７は確実に電気的導通状態となる。
【００４４】以上により、容器１８に入れられていた１
個目のＩＣチップ２１を液晶パネル３７に装着する作業
が終了する。
個目のＩＣチップ２１を液晶パネル３７に装着する作業
が終了する。
【００４５】以下、同様の作業を繰り返すことによって
容器１８に入れられているそれぞれＩＣチップ２１を液
晶パネル３７に順次装着する作業が行われるが、図７で
示す容器１８の最前列の凹部２０のうち、移動起点Ｎか
ら２番目に近い凹部２０−２に収納されているＩＣチッ
プ２１を吸着ヘッド１０が吸着するときには、Ｘ方向駆
動手段４０による吸着ヘッド１０の移動起点Ｎからの移
動距離は、前記１番目のＩＣチップ２１を吸着したとき
の移動距離と、凹部２０同士のＸ方向間隔Ｌ１とを足し
たものとなる。また、容器１８の第２列目の凹部２０−
３に収納されていたＩＣチップ２１を吸着ヘッド１０が
吸着するときは、前記Ｙ方向駆動手段４２により容器１
８が凹部２０同士のＹ方向間隔Ｌ２分だけ前進した後
に、吸着ヘッド１０はＩＣチップ２１を吸着する。
容器１８に入れられているそれぞれＩＣチップ２１を液
晶パネル３７に順次装着する作業が行われるが、図７で
示す容器１８の最前列の凹部２０のうち、移動起点Ｎか
ら２番目に近い凹部２０−２に収納されているＩＣチッ
プ２１を吸着ヘッド１０が吸着するときには、Ｘ方向駆
動手段４０による吸着ヘッド１０の移動起点Ｎからの移
動距離は、前記１番目のＩＣチップ２１を吸着したとき
の移動距離と、凹部２０同士のＸ方向間隔Ｌ１とを足し
たものとなる。また、容器１８の第２列目の凹部２０−
３に収納されていたＩＣチップ２１を吸着ヘッド１０が
吸着するときは、前記Ｙ方向駆動手段４２により容器１
８が凹部２０同士のＹ方向間隔Ｌ２分だけ前進した後
に、吸着ヘッド１０はＩＣチップ２１を吸着する。
【００４６】以上説明した本実施形態によると、ＩＣチ
ップ２１を液晶パネル３７に装着する前に必要な吸着ヘ
ッド１０に対するＩＣチップ２１の位置出し作業は、吸
着ヘッド１０に吸着させたＩＣチップ２１を、このＩＣ
チップ２１を収納していた容器１８の凹部２０の壁２０
Ａ，２０Ｂに当接させた後も、吸着ヘッド１０と容器１
８との間にＸ方向、Ｙ方向への相対移動を生じさせ、こ
れにより吸着ヘッド１０に対するＩＣチップ２１の吸着
位置をずらせることにより行うため、従来のプリアライ
メントステージを使用した工程は不要になり、このた
め、それだけ作業時間を短縮でき、作業性の向上を図る
ことができる。また、プリアライメントステージの工程
に関係した部材、手段も不要になるため、装置全体の構
造を簡単化して装置の小型化を図ることができる。
ップ２１を液晶パネル３７に装着する前に必要な吸着ヘ
ッド１０に対するＩＣチップ２１の位置出し作業は、吸
着ヘッド１０に吸着させたＩＣチップ２１を、このＩＣ
チップ２１を収納していた容器１８の凹部２０の壁２０
Ａ，２０Ｂに当接させた後も、吸着ヘッド１０と容器１
８との間にＸ方向、Ｙ方向への相対移動を生じさせ、こ
れにより吸着ヘッド１０に対するＩＣチップ２１の吸着
位置をずらせることにより行うため、従来のプリアライ
メントステージを使用した工程は不要になり、このた
め、それだけ作業時間を短縮でき、作業性の向上を図る
ことができる。また、プリアライメントステージの工程
に関係した部材、手段も不要になるため、装置全体の構
造を簡単化して装置の小型化を図ることができる。
【００４７】また、吸着ヘッド１０に対するＩＣチップ
２１の位置出しのために吸着ヘッド１０を容器１８に対
しＸ方向に移動させることは、ＩＣチップ２１を容器１
８の位置から液晶パネル３７への装着位置に供給するた
めにもともとの必要なＸ方向駆動手段４０を活用して行
われ、また、ＩＣチップ２１の位置出しのために容器１
８を吸着ヘッド１０に対しＹ方向に移動させることも、
容器１８のＹ方向へ並設されたそれぞれの凹部２０から
ＩＣチップ２１を吸着ヘッド１０で取り出すためにもと
もと必要なＹ方向駆動手段４２を活用して行われるた
め、これらのＸ方向駆動手段４０とＹ方向駆動手段４２
をＩＣチップ２１の位置出しのための位置出し駆動手段
とすることができ、特別な位置出し駆動手段は不要にな
るため、この点でも構造の簡単化、装置全体の小型化を
達成できる。
２１の位置出しのために吸着ヘッド１０を容器１８に対
しＸ方向に移動させることは、ＩＣチップ２１を容器１
８の位置から液晶パネル３７への装着位置に供給するた
めにもともとの必要なＸ方向駆動手段４０を活用して行
われ、また、ＩＣチップ２１の位置出しのために容器１
８を吸着ヘッド１０に対しＹ方向に移動させることも、
容器１８のＹ方向へ並設されたそれぞれの凹部２０から
ＩＣチップ２１を吸着ヘッド１０で取り出すためにもと
もと必要なＹ方向駆動手段４２を活用して行われるた
め、これらのＸ方向駆動手段４０とＹ方向駆動手段４２
をＩＣチップ２１の位置出しのための位置出し駆動手段
とすることができ、特別な位置出し駆動手段は不要にな
るため、この点でも構造の簡単化、装置全体の小型化を
達成できる。
【００４８】
【発明の効果】本発明によると、プリアライメントステ
ージが不要になり、このため、このプリアライメントス
テージに関する工程と、部材、手段とを省略でき、作業
時間の短縮、構造の簡単化、装置全体の小型化を達成で
きる。
ージが不要になり、このため、このプリアライメントス
テージに関する工程と、部材、手段とを省略でき、作業
時間の短縮、構造の簡単化、装置全体の小型化を達成で
きる。
【図１】本発明の一実施形態に係る装置を示す正面図で
ある。
ある。
【図２】同装置の一部破断の平面図である。
【図３】同装置の側断面図である。
【図４】容器の凹部内の第１電気部品であるＩＣチップ
を吸着ヘッドが吸着する直前を示す容器の一部拡大の正
断面図である。
を吸着ヘッドが吸着する直前を示す容器の一部拡大の正
断面図である。
【図５】吸着ヘッドによってＩＣチップが吸着された後
を示す容器の一部拡大の正断面図である。
を示す容器の一部拡大の正断面図である。
【図６】吸着ヘッドに対するＩＣチップのＸ方向の位置
出し状態を示す容器の一部拡大の正断面図である。
出し状態を示す容器の一部拡大の正断面図である。
【図７】Ｘ方向とＹ方向の両方についてのＩＣチップの
位置出し状態を示す容器の一部拡大の平面図である。
位置出し状態を示す容器の一部拡大の平面図である。
【図８】ＩＣチップのアライメントマークと第２電気部
品ある液晶パネルのアライメントマークとを一致させる
作業を示す図である。
品ある液晶パネルのアライメントマークとを一致させる
作業を示す図である。
【図９】プリアライメントステージを使用する従来の位
置出し方法を説明するための図で、初期状態を示す斜視
図である。
置出し方法を説明するための図で、初期状態を示す斜視
図である。
【図１０】同第２状態を示す斜視図である。
【図１１】同第３状態を示す斜視図である。
【図１２】同第４状態を示す斜視図である。
【符号の説明】
１０ 吸着ヘッド
１８ 容器
２０ 凹部
２０Ａ，２０Ｂ 壁
２１ 第１電気部品であるＩＣチップ
３７ 第２電気部品である液晶パネル
３８ 撮像手段であるＣＣＤカメラ
４０ 位置出し駆動手段を構成するＸ方向駆動手段
４１ Ｚ方向駆動手段
４２ 位置出し駆動手段を構成するＹ方向駆動手段
４３ 位置調整手段である位置調整ステージ
Ａ，Ｂ アライメントマーク
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平３−160791（ＪＰ，Ａ)
特開 平４−333300（ＪＰ，Ａ)
特開 平９−246796（ＪＰ，Ａ)
特開 昭55−166935（ＪＰ，Ａ)
特開 平８−288337（ＪＰ，Ａ)
特公 平２−5039（ＪＰ，Ｂ２)
特公 昭58−24016（ＪＰ，Ｂ２)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H05K 13/04
Claims (3)
- 【請求項１】 容器にＸ方向と、このＸ方向と直交する
Ｙ方向とに並設され、それぞれがＸ方向とＹ方向の２次
元の開口形状となっている複数の凹部のうちの一つの凹
部に収納されている第１電気部品を１個の吸着ヘッドで
吸着した後、この吸着ヘッドをＸ方向駆動手段でＸ方向
に移動させることにより第１電気部品を前記凹部の壁に
当接させ、この当接後も前記吸着ヘッドをＸ方向駆動手
段でＸ方向に移動させることにより前記吸着ヘッドと第
１電気部品との間でＸ方向の位置ずれを生じさせるとと
もに、前記容器をＹ方向へ移動させるためのＹ方向駆動
手段によって前記容器をＹ方向へ移動させることにより
第１電気部品を前記凹部の壁に当接させ、この当接後も
前記容器を前記Ｙ方向駆動手段でＹ方向に移動させるこ
とにより前記吸着ヘッドと第１電気部品との間でＹ方向
の位置ずれを生じさせ、これらのＸ方向とＹ方向との位
置ずれで位置出しがなされた第１電気部品を第２電気部
品に装着する装着位置に前記Ｘ方向駆動手段による前記
吸着ヘッドの移動によって供給し、この作業を繰り返す
ことによって前記複数の凹部のうちの残りの凹部に収納
されている第１電気部品を前記装着位置に順次供給する
ことを特徴とする電気部品の位置出し供給方法。 - 【請求項２】 第１電気部品を、この第１電気部品を第
２電気部品に装着するための装着位置へ位置出して供給
するための電気部品の位置出し供給装置であって、容器にＸ方向と、このＸ方向と直交するＹ方向とに並設
され、それぞれがＸ方向とＹ方向の２次元の開口形状と
なっている複数の凹部のうちの一つの 凹部に収納されて
いる第１電気部品を吸着する１個の吸着ヘッドと、 この吸着ヘッドをＸ方向へ移動させてこの吸着ヘッドに
吸着された第１電気部品を前記装着位置へ供給するＸ方
向駆動手段と、 前記容器をＹ方向に移動させるＹ方向駆動手段と、 を有し、 前記Ｘ方向駆動手段と前記Ｙ方向駆動手段は、前記吸着
ヘッドに吸着された第１部品が前記凹部の壁に当接して
からも駆動することによりこの吸着ヘッドと第１電気部
品との間でＸ方向とＹ方向の位置ずれを生じさせて 第１
電気部品の位置出しを行う位置出し駆動手段となってい
ることを特徴とする電気部品の位置出し供給装置。 - 【請求項３】 請求項２ に記載の電気部品の位置出し供
給装置において、第１電気部品はＩＣチップであって、
第２電気部は液晶パネルであり、これらのＩＣチップと
液晶パネルのそれぞれに設けられたアライメントマーク
を前記装着位置でこれらのＩＣチップと液晶パネルから
撮像する撮像手段と、この撮像手段で撮像された前記液
晶パネルのアライメントマークを前記ＩＣチップのアラ
イメントマークと一致させるために前記液晶パネルの位
置を調整する位置調整手段とを有することを特徴とする
電気部品の位置出し供給装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14950399A JP3506952B2 (ja) | 1999-05-28 | 1999-05-28 | 電気部品の位置出し供給方法及びその装置 |
| US09/565,877 US6490787B1 (en) | 1999-05-28 | 2000-05-05 | Method and apparatus for aligning and supplying electrical component |
| TW089109633A TW507491B (en) | 1999-05-28 | 2000-05-19 | Aligned feeding method and device |
| KR1020000028050A KR20010020899A (ko) | 1999-05-28 | 2000-05-24 | 전기부품의 위치 맞추기 공급방법 및 그 장치 |
| CN00117914A CN1275883A (zh) | 1999-05-28 | 2000-05-27 | 电气零件之对准供给方法及其装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14950399A JP3506952B2 (ja) | 1999-05-28 | 1999-05-28 | 電気部品の位置出し供給方法及びその装置 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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| JP3506952B2 true JP3506952B2 (ja) | 2004-03-15 |
Family
ID=15476585
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14950399A Expired - Fee Related JP3506952B2 (ja) | 1999-05-28 | 1999-05-28 | 電気部品の位置出し供給方法及びその装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
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| JP (1) | JP3506952B2 (ja) |
| KR (1) | KR20010020899A (ja) |
| CN (1) | CN1275883A (ja) |
| TW (1) | TW507491B (ja) |
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|---|---|---|---|---|
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| DE102005054921A1 (de) * | 2004-12-13 | 2006-06-22 | Assembléon N.V. | Berührungslose Schnittstelle für Bestückungsmaschinen |
| NL1028316C2 (nl) * | 2005-02-17 | 2006-08-21 | Fico Bv | Positioneerinrichting, overzetinrichting en werkwijze voor het positioneren van een houder voor elektronische componenten. |
| KR101241128B1 (ko) * | 2006-06-30 | 2013-03-08 | 엘지디스플레이 주식회사 | 평판표시장치용 얼라이너와 이를 이용한 스크라이빙장비 |
| TWI399516B (zh) * | 2007-02-05 | 2013-06-21 | Fih Hong Kong Ltd | 測量設備及其測量方法 |
| TWI501349B (zh) * | 2012-02-24 | 2015-09-21 | Dawning Leading Technology Inc | Wafer adsorption head |
| KR101368900B1 (ko) * | 2012-06-07 | 2014-03-06 | 주식회사 에이에스티젯텍 | 이송 및 고정시 플렉시블 디스플레이 판넬의 휨 방지가 가능한 플렉시블 디스플레이 판넬 정렬 및 본딩용 장치 |
| CN104981144A (zh) * | 2015-07-21 | 2015-10-14 | 苏州佳祺仕信息科技有限公司 | Io端对位组装设备 |
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|---|---|---|---|---|
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| JPS62292328A (ja) * | 1986-06-12 | 1987-12-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 部品装着方法 |
| KR920002278B1 (ko) * | 1988-02-15 | 1992-03-20 | 다이요유덴 가부시끼가이샤 | 리드선이 없는 회로부품의 장착장치 |
| US5040291A (en) * | 1990-05-04 | 1991-08-20 | Universal Instruments Corporation | Multi-spindle pick and place method and apparatus |
| US5420691A (en) * | 1991-03-15 | 1995-05-30 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Electric component observation system |
| DE69300850T2 (de) * | 1992-07-01 | 1996-03-28 | Yamaha Motor Co Ltd | Verfahren zum Montieren von Komponenten und Vorrichtung dafür. |
| JP3333060B2 (ja) | 1995-04-11 | 2002-10-07 | 東レエンジニアリング株式会社 | チップボンディング方法及びその装置 |
| JP2001517361A (ja) * | 1995-06-30 | 2001-10-02 | デザイン・コンポーネンツ・インコーポレーテッド | 要素配置用の自動化されたシステム |
| US5787577A (en) * | 1996-08-16 | 1998-08-04 | Motorola, Inc. | Method for adjusting an electronic part template |
| US6085407A (en) * | 1997-08-21 | 2000-07-11 | Micron Technology, Inc. | Component alignment apparatuses and methods |
-
1999
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-
2000
- 2000-05-05 US US09/565,877 patent/US6490787B1/en not_active Expired - Fee Related
- 2000-05-19 TW TW089109633A patent/TW507491B/zh not_active IP Right Cessation
- 2000-05-24 KR KR1020000028050A patent/KR20010020899A/ko not_active Application Discontinuation
- 2000-05-27 CN CN00117914A patent/CN1275883A/zh active Pending
Also Published As
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