JPH09186220A - 搬送装置及び搬送方法 - Google Patents
搬送装置及び搬送方法Info
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- JPH09186220A JPH09186220A JP33115395A JP33115395A JPH09186220A JP H09186220 A JPH09186220 A JP H09186220A JP 33115395 A JP33115395 A JP 33115395A JP 33115395 A JP33115395 A JP 33115395A JP H09186220 A JPH09186220 A JP H09186220A
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- substrate
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
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- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N2021/9513—Liquid crystal panels
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/1306—Details
- G02F1/1309—Repairing; Testing
Abstract
(57)【要約】
【課題】ＬＣＤ基板を搬送する工程の際にＬＣＤ基板の
位置を検出することができるので、正確な位置決めを行
うことが可能となるＬＣＤ基板の搬送方法及び搬送装置
を提供すること。 【解決手段】ＬＣＤ基板を搬送する搬送アーム１４の基
板載置部にＬＣＤ基板の位置を検出する検出機構３２、
３３、３６を設けた。
位置を検出することができるので、正確な位置決めを行
うことが可能となるＬＣＤ基板の搬送方法及び搬送装置
を提供すること。 【解決手段】ＬＣＤ基板を搬送する搬送アーム１４の基
板載置部にＬＣＤ基板の位置を検出する検出機構３２、
３３、３６を設けた。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、搬送装置および搬
送方法に関する。
送方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】被検査体例えば半導体ウエハやＬＣＤ基
板などの所定の検査を行う検査装置として、例えばＬＣ
Ｄ基板のプローブ装置がある。このプローブ装置の技術
に関しては特開昭６３ー３１１３９０号に開示されてい
る。この技術は、アクティブ・マトリクス構成の半完成
状態でのＬＣＤ基板の試験方式およびそれに用いられる
技術に関するものである。また、一般に、このＬＣＤ基
板のうち例えばＴＦＴ型ＬＣＤには、その部品としてＬ
ＣＤの画素データ毎にＯＮ、ＯＦＦ制御する電気回路の
形成されたガラス基板がＬＣＤ用基板として用いられて
いる。そして、このＬＣＤ用基板には複数の電気回路が
成膜装置等の処理装置を用いてマトリックス状に形成さ
れ、後にそれぞれを個々に分割し、使用するようにして
いる。マトリックス状に配列された個々の電気回路に
は、その周辺に電気的接点となる電極パッドが多数形成
されている。そして、個々の電気回路の良否を判定する
ための電気的検査はＬＣＤ基板を所定の位置に位置合せ
した後に、ＬＣＤ基板の周辺に設けられた電極パッドと
検査の為のプローブとを電気的に接触させながら所定の
電気回路の特性をプローブ装置によって行うものであ
る。
板などの所定の検査を行う検査装置として、例えばＬＣ
Ｄ基板のプローブ装置がある。このプローブ装置の技術
に関しては特開昭６３ー３１１３９０号に開示されてい
る。この技術は、アクティブ・マトリクス構成の半完成
状態でのＬＣＤ基板の試験方式およびそれに用いられる
技術に関するものである。また、一般に、このＬＣＤ基
板のうち例えばＴＦＴ型ＬＣＤには、その部品としてＬ
ＣＤの画素データ毎にＯＮ、ＯＦＦ制御する電気回路の
形成されたガラス基板がＬＣＤ用基板として用いられて
いる。そして、このＬＣＤ用基板には複数の電気回路が
成膜装置等の処理装置を用いてマトリックス状に形成さ
れ、後にそれぞれを個々に分割し、使用するようにして
いる。マトリックス状に配列された個々の電気回路に
は、その周辺に電気的接点となる電極パッドが多数形成
されている。そして、個々の電気回路の良否を判定する
ための電気的検査はＬＣＤ基板を所定の位置に位置合せ
した後に、ＬＣＤ基板の周辺に設けられた電極パッドと
検査の為のプローブとを電気的に接触させながら所定の
電気回路の特性をプローブ装置によって行うものであ
る。
【０００３】ところで、ＬＣＤ基板をプローブ装置で検
査する際には、予めＬＣＤ基板の位置を正確に検出し
て、この検出値を用いてＬＣＤ基板を正確な測定位置に
高精度に位置合わせして検査位置に搬送する搬送装置が
求められる。
査する際には、予めＬＣＤ基板の位置を正確に検出し
て、この検出値を用いてＬＣＤ基板を正確な測定位置に
高精度に位置合わせして検査位置に搬送する搬送装置が
求められる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来のＬＣＤ基板の検
査装置の場合、検査装置に設けられた搬送装置は基板の
位置検出を、基板を載置部に載置して、載置した基板の
下方から光を入射し基板の端で反射された光を検出して
基板の位置を検出していた。また検出機構も一箇所のみ
で行っていたためＬＣＤ基板の端を検出するためには基
板に載置した状態で回転させる必要があった。しかしな
がら、検査されるＬＣＤ基板が大型化すると共に、薄く
なり、例えば、縦５５０mm×横６５０mm×厚さ０.７mm
程度の大きさのＬＣＤ用基板が用いられようになると基
板の位置を検出する際、基板を載置台に載置すると、基
板が大きくたわんだリ、基板の端が上下にして振動して
基板の位置ズレを招き基板の正確な位置を検出できない
というおそれがあった。更に、ＬＣＤ基板が薄くなる
と、光学的に基板を検出する際に基板に光を照射し、得
られる検出値に外部からの外乱光の影響が大きく基板の
検出に支障をきたしていた。従って、ＬＣＤ基板のより
精度の高い位置合わせ及び検査が望まれている。
査装置の場合、検査装置に設けられた搬送装置は基板の
位置検出を、基板を載置部に載置して、載置した基板の
下方から光を入射し基板の端で反射された光を検出して
基板の位置を検出していた。また検出機構も一箇所のみ
で行っていたためＬＣＤ基板の端を検出するためには基
板に載置した状態で回転させる必要があった。しかしな
がら、検査されるＬＣＤ基板が大型化すると共に、薄く
なり、例えば、縦５５０mm×横６５０mm×厚さ０.７mm
程度の大きさのＬＣＤ用基板が用いられようになると基
板の位置を検出する際、基板を載置台に載置すると、基
板が大きくたわんだリ、基板の端が上下にして振動して
基板の位置ズレを招き基板の正確な位置を検出できない
というおそれがあった。更に、ＬＣＤ基板が薄くなる
と、光学的に基板を検出する際に基板に光を照射し、得
られる検出値に外部からの外乱光の影響が大きく基板の
検出に支障をきたしていた。従って、ＬＣＤ基板のより
精度の高い位置合わせ及び検査が望まれている。
【０００５】本発明は、上記課題を解決するためになさ
れたもので、ＬＣＤ基板などのアライメントを基板のサ
イズや厚さ、検出状態にかかわらず正確に行うことがで
きる搬送装置及び搬送方法を提供することを目的として
いる。
れたもので、ＬＣＤ基板などのアライメントを基板のサ
イズや厚さ、検出状態にかかわらず正確に行うことがで
きる搬送装置及び搬送方法を提供することを目的として
いる。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、被搬送体を移
動可能な第１の手段に設ける工程と、この第１の手段に
対して前記被搬送体を相対的に静止した状態で、基準位
置からのズレ量を検出する工程と、前記被搬送体が設け
られた第１の手段を、第２の手段に対して相対的に移動
させて前記被搬送体を基準位置に位置合わせする工程と
を具備することを特徴する。
動可能な第１の手段に設ける工程と、この第１の手段に
対して前記被搬送体を相対的に静止した状態で、基準位
置からのズレ量を検出する工程と、前記被搬送体が設け
られた第１の手段を、第２の手段に対して相対的に移動
させて前記被搬送体を基準位置に位置合わせする工程と
を具備することを特徴する。
【０００７】また、被搬送体を搬送アームに設ける工程
と、この搬送アームに被搬送体を設けた状態で前記被搬
送体の位置を検出する工程と、この検出値が所定値以上
の時前記搬送体を位置合わせする工程とを具備すること
を特徴とする。
と、この搬送アームに被搬送体を設けた状態で前記被搬
送体の位置を検出する工程と、この検出値が所定値以上
の時前記搬送体を位置合わせする工程とを具備すること
を特徴とする。
【０００８】また、被搬送体を搬送アームに設ける工程
と、この搬送アームに設けた被搬送体の位置情報を検出
する工程と、この検出した被搬送体の位置情報に基づい
て、予め定められた位置に前記被搬送体を位置決めした
後、搬送する、または、被搬送体を搬送する工程とを具
備することを特徴とする。
と、この搬送アームに設けた被搬送体の位置情報を検出
する工程と、この検出した被搬送体の位置情報に基づい
て、予め定められた位置に前記被搬送体を位置決めした
後、搬送する、または、被搬送体を搬送する工程とを具
備することを特徴とする。
【０００９】搬送手段に設けられた方形状基板を予め定
められた基準位置に位置決めして搬送する搬送装置にお
いて、前記方形状基板を搬送する搬送手段と、この搬送
手段に設けられ前記方形状基板の少なくとも直交する方
形状基板の２辺の端部の予め定められた基準位置からの
ズレ量を検出する手段と、この検出手段で検出した方形
状基板ズレ量を補正する際に、前記方形状基板を載置す
る回転可能な載置体とを具備し、前記検出手段は、複数
の検出素子で構成され載置された方形状基板の予め定め
られた基準位置の端部に対して直交する様に設けられ、
且つ少なくとも１つの検出素子が搬送手段に設けられた
被搬送体の位置を検出可能とすることを特徴とする。
められた基準位置に位置決めして搬送する搬送装置にお
いて、前記方形状基板を搬送する搬送手段と、この搬送
手段に設けられ前記方形状基板の少なくとも直交する方
形状基板の２辺の端部の予め定められた基準位置からの
ズレ量を検出する手段と、この検出手段で検出した方形
状基板ズレ量を補正する際に、前記方形状基板を載置す
る回転可能な載置体とを具備し、前記検出手段は、複数
の検出素子で構成され載置された方形状基板の予め定め
られた基準位置の端部に対して直交する様に設けられ、
且つ少なくとも１つの検出素子が搬送手段に設けられた
被搬送体の位置を検出可能とすることを特徴とする。
【００１０】また、前記検出手段は、方形状基板に光を
照射し、方形状基板で反射された光の検出値と、外部か
ら入射される外光の検出値とを取り込み、この検出値を
比較することにより前記検出手段の検出値を補正するこ
とを特徴とする。
照射し、方形状基板で反射された光の検出値と、外部か
ら入射される外光の検出値とを取り込み、この検出値を
比較することにより前記検出手段の検出値を補正するこ
とを特徴とする。
【００１１】また、所定の間隔で収容された方形状基板
の下方に搬送手段を進入させる工程と、前記搬送手段を
上昇させて方形状基板載置し、この方形状基板の上方に
位置する基板と接触しない位置で停止させる工程と、前
記搬送手段を後退させつつ載置した方形状基板の予め定
められた位置からのズレ量を検出する工程と、この搬送
手段とθ回転可能な載置体とを近接して搬送手段の載置
面と、載置体の載置面とを水平位置にする工程と、前記
載置体の吸引を開始するとともに搬送手段の吸引を解除
する工程と、前記載置体を搬送手段から離間する方向に
移動させる工程と、前記検出した方形状基板の予め定め
られた位置からのズレ量から算出したθ回転方向のズレ
量分前記載置体を回転させる工程と、搬送手段を方形状
基板のＸ方向およびＹ方向の位置を補正可能な位置に移
動させる工程と、前記搬送手段と前記載置体とを近接し
て前記搬送手段の載置面位置と前記載置体の載置面位置
とを水平位置に移動させる工程と、前記搬送手段の吸引
を開始するとともに前記載置体の吸引を解除する工程
と、前記方形状基板を載置した搬送手段を載置体上方へ
移動させて方形状基板の位置を予め定められた位置に位
置決めする工程と、前記方形状基板を所定の検査位置に
搬送可能なように前記搬送手段を回転移動させる工程と
を具備することを特徴とする。
の下方に搬送手段を進入させる工程と、前記搬送手段を
上昇させて方形状基板載置し、この方形状基板の上方に
位置する基板と接触しない位置で停止させる工程と、前
記搬送手段を後退させつつ載置した方形状基板の予め定
められた位置からのズレ量を検出する工程と、この搬送
手段とθ回転可能な載置体とを近接して搬送手段の載置
面と、載置体の載置面とを水平位置にする工程と、前記
載置体の吸引を開始するとともに搬送手段の吸引を解除
する工程と、前記載置体を搬送手段から離間する方向に
移動させる工程と、前記検出した方形状基板の予め定め
られた位置からのズレ量から算出したθ回転方向のズレ
量分前記載置体を回転させる工程と、搬送手段を方形状
基板のＸ方向およびＹ方向の位置を補正可能な位置に移
動させる工程と、前記搬送手段と前記載置体とを近接し
て前記搬送手段の載置面位置と前記載置体の載置面位置
とを水平位置に移動させる工程と、前記搬送手段の吸引
を開始するとともに前記載置体の吸引を解除する工程
と、前記方形状基板を載置した搬送手段を載置体上方へ
移動させて方形状基板の位置を予め定められた位置に位
置決めする工程と、前記方形状基板を所定の検査位置に
搬送可能なように前記搬送手段を回転移動させる工程と
を具備することを特徴とする。
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施例を添付図
面に基づいて具体的に説明する。
面に基づいて具体的に説明する。
【００１２】図１に示すようにＬＣＤ基板Ｓを検査する
検査装置のうちプローブ装置１０は、方形状基板例えば
５５０ｍｍ×６５０ｍｍ×０、７ｍｍのＬＣＤ基板Ｓを
ロード、アンロードするローダ部１１と、このローダ部
１１から受け取ったＬＣＤ基板Ｓの電気的検査を行なう
プローブ部１２とで構成されている。
検査装置のうちプローブ装置１０は、方形状基板例えば
５５０ｍｍ×６５０ｍｍ×０、７ｍｍのＬＣＤ基板Ｓを
ロード、アンロードするローダ部１１と、このローダ部
１１から受け取ったＬＣＤ基板Ｓの電気的検査を行なう
プローブ部１２とで構成されている。
【００１３】まずプローブ装置１０の主要部のローダ部
１１について概略を説明する。ローダ部１１はＬＣＤ基
板Ｓを所定方向（図１ではＺ方向）に所定枚数例えば２
５枚を所定の間隔で積層する形で収納容器９例えばカセ
ットＣが載置可能なように構成されている。ＬＣＤ基板
Ｓの間隔は、各ＬＣＤ基板Ｓを搬送アーム１４に支持す
るため、この搬送アーム１４がＬＣＤ基板Ｓの裏面に挿
入できる間隔に構成されている。このローダ部１１の所
定方向（図１ではＸ方向に）には未検査ＬＣＤ基板Ｓを
収納するカセットＣ１と検査済みＬＣＤ基板Ｓを収納す
るカセットＣ２とが一対ずつ予め定められた位置に設け
られている。また、カセットＣ１に収納されたＬＣＤ基
板Ｓを１枚ずつ取り出してプローブ部１２へ搬送する搬
送手段１４、例えば搬送アームが収納容器９に対向する
位置（図１では検査部側）にＬＣＤ基板Ｓを搬出入可能
にするために移動可能に設けられている。このカセット
Ｃ１及びＣ２の搬送手段１４に対向する面側にはＬＣＤ
基板Ｓを搬出入可能な開口部が設けられている。また、
カセットＣ１及びＣ２の内側の側面はＬＣＤ基板Ｓを上
下方向に所定間隔あけて水平に載置可能な支持溝が設け
られている。またカセットＣ１及びＣ２の外周の所定方
向（図１ではＸ軸方向）でカセットを夫々挟むように対
向する位置には、カセットＣ１及びＣ２に収容されたＬ
ＣＤ基板Ｓの有無を検出する検出装置２０が設けられて
いる。この検出装置２０は一方側には光を発光可能な発
光部が設けられている。また他方側には、この発光部か
らの光を受光する位置に受光部が設けられている。この
受光部での光の検出によりＬＣＤ基板Ｓの有無が電気信
号として検出可能に構成されている。この検出装置２０
からの検出信号は、制御装置（図示せず）を介して液晶
パネル１９にカセットＣ１及びＣ２の何段目にＬＣＤ基
板Ｓが存在するかを表示可能に構成されている。
１１について概略を説明する。ローダ部１１はＬＣＤ基
板Ｓを所定方向（図１ではＺ方向）に所定枚数例えば２
５枚を所定の間隔で積層する形で収納容器９例えばカセ
ットＣが載置可能なように構成されている。ＬＣＤ基板
Ｓの間隔は、各ＬＣＤ基板Ｓを搬送アーム１４に支持す
るため、この搬送アーム１４がＬＣＤ基板Ｓの裏面に挿
入できる間隔に構成されている。このローダ部１１の所
定方向（図１ではＸ方向に）には未検査ＬＣＤ基板Ｓを
収納するカセットＣ１と検査済みＬＣＤ基板Ｓを収納す
るカセットＣ２とが一対ずつ予め定められた位置に設け
られている。また、カセットＣ１に収納されたＬＣＤ基
板Ｓを１枚ずつ取り出してプローブ部１２へ搬送する搬
送手段１４、例えば搬送アームが収納容器９に対向する
位置（図１では検査部側）にＬＣＤ基板Ｓを搬出入可能
にするために移動可能に設けられている。このカセット
Ｃ１及びＣ２の搬送手段１４に対向する面側にはＬＣＤ
基板Ｓを搬出入可能な開口部が設けられている。また、
カセットＣ１及びＣ２の内側の側面はＬＣＤ基板Ｓを上
下方向に所定間隔あけて水平に載置可能な支持溝が設け
られている。またカセットＣ１及びＣ２の外周の所定方
向（図１ではＸ軸方向）でカセットを夫々挟むように対
向する位置には、カセットＣ１及びＣ２に収容されたＬ
ＣＤ基板Ｓの有無を検出する検出装置２０が設けられて
いる。この検出装置２０は一方側には光を発光可能な発
光部が設けられている。また他方側には、この発光部か
らの光を受光する位置に受光部が設けられている。この
受光部での光の検出によりＬＣＤ基板Ｓの有無が電気信
号として検出可能に構成されている。この検出装置２０
からの検出信号は、制御装置（図示せず）を介して液晶
パネル１９にカセットＣ１及びＣ２の何段目にＬＣＤ基
板Ｓが存在するかを表示可能に構成されている。
【００１４】またカセットＣ１及びＣ２の開口面の反対
側には検査の無人化に対応してクリーンルーム内各プロ
セスユニット間をカセット搬送する自動搬送車（ＡＧ
Ｖ）からロボットハンドによりカセットを自動的に授受
可能なような受け入れ機構、例えば凹部１５形状の切り
込みが設けられている。このＡＧＶによるカセットＣ１
及びＣ２の搬送はホストコンピュータ（図示せず）の制
御により行われるように構成されている。上述のように
してローダ部１１が構成されている。
側には検査の無人化に対応してクリーンルーム内各プロ
セスユニット間をカセット搬送する自動搬送車（ＡＧ
Ｖ）からロボットハンドによりカセットを自動的に授受
可能なような受け入れ機構、例えば凹部１５形状の切り
込みが設けられている。このＡＧＶによるカセットＣ１
及びＣ２の搬送はホストコンピュータ（図示せず）の制
御により行われるように構成されている。上述のように
してローダ部１１が構成されている。
【００１５】つぎにＬＣＤ基板Ｓの所定の検査をするプ
ローブ部１２について概略を説明する。このプローブ部
１２にはＬＣＤ基板Ｓを載置可能に構成された載置台１
６と、この載置台１６をＹ方向に移動可能なＹ方向移動
機構１７、例えばボールネジ１７ａ及びレールガイド１
７ｂと、このＹ方向移動機構１７をＸ方向に移動させる
Ｘ方向移動機構１８、例えばボールネジ１８ａ及びレー
ルガイド１８ｂとが設けられている。またＬＣＤ基板Ｓ
の測定を行う際に、載置台１６に載置されたＬＣＤ基板
Ｓの周辺部に設けられた電極列に接触してテスター（図
示せず）からの電気的信号をＬＣＤ駆動回路（図示せ
ず）との間で授受するプローブを備えた測定部３０が設
けられている。またＬＣＤ基板Ｓの測定を行う際に各種
測定項目の設定や、ＬＣＤ基板Ｓが検査装置のどの位置
にあるかを所定の制御プログラムにより表示可能な液晶
表示パネル１９が載置台１６の近傍に設けられている。
以上のような構成によりＬＣＤ基板Ｓプローブ装置が構
成されている。
ローブ部１２について概略を説明する。このプローブ部
１２にはＬＣＤ基板Ｓを載置可能に構成された載置台１
６と、この載置台１６をＹ方向に移動可能なＹ方向移動
機構１７、例えばボールネジ１７ａ及びレールガイド１
７ｂと、このＹ方向移動機構１７をＸ方向に移動させる
Ｘ方向移動機構１８、例えばボールネジ１８ａ及びレー
ルガイド１８ｂとが設けられている。またＬＣＤ基板Ｓ
の測定を行う際に、載置台１６に載置されたＬＣＤ基板
Ｓの周辺部に設けられた電極列に接触してテスター（図
示せず）からの電気的信号をＬＣＤ駆動回路（図示せ
ず）との間で授受するプローブを備えた測定部３０が設
けられている。またＬＣＤ基板Ｓの測定を行う際に各種
測定項目の設定や、ＬＣＤ基板Ｓが検査装置のどの位置
にあるかを所定の制御プログラムにより表示可能な液晶
表示パネル１９が載置台１６の近傍に設けられている。
以上のような構成によりＬＣＤ基板Ｓプローブ装置が構
成されている。
【００１６】次に図２および図３を参照しながらローダ
部１１の詳細について説明する。ローダ部１１は、ＬＣ
Ｄ基板Ｓをロード・アンロードする搬送アーム１４と、
この搬送アーム１４により収容容器９からプローブ部１
２へ未検査のＬＣＤ基板Ｓをロードする工程と、プロー
ブ部１２から収容容器９へ検査済みのＬＣＤ基板Ｓをア
ンロードするアンロード工程とを同時に行うことが可能
な様に、複数鵜のピンセット例えば上下２段の平行な２
枚のピンセット、即ち、ロードピン１４ａとアンロード
ピン１４ｂとを持つように構成されている。この搬送ア
ーム１４とカセットＣ１及びＣ２とでＬＣＤ基板Ｓの受
け渡しが可能なように、カセットＣ１及びＣ２内部には
搬送アーム１４が進退可能になるようにタイミングベル
ト２５Ａと、回転ローラ２５Ｂとが設けられるように構
成されている。また搬送アーム１４上には吸着機構（図
示せず）によりＬＣＤ基板Ｓを所定の圧力で吸引固定可
能な吸引口３１が所定の位置、例えば、搬送アーム１４
のＬＣＤ基板Ｓの載値領域の例えば４隅に設けられてい
る。
部１１の詳細について説明する。ローダ部１１は、ＬＣ
Ｄ基板Ｓをロード・アンロードする搬送アーム１４と、
この搬送アーム１４により収容容器９からプローブ部１
２へ未検査のＬＣＤ基板Ｓをロードする工程と、プロー
ブ部１２から収容容器９へ検査済みのＬＣＤ基板Ｓをア
ンロードするアンロード工程とを同時に行うことが可能
な様に、複数鵜のピンセット例えば上下２段の平行な２
枚のピンセット、即ち、ロードピン１４ａとアンロード
ピン１４ｂとを持つように構成されている。この搬送ア
ーム１４とカセットＣ１及びＣ２とでＬＣＤ基板Ｓの受
け渡しが可能なように、カセットＣ１及びＣ２内部には
搬送アーム１４が進退可能になるようにタイミングベル
ト２５Ａと、回転ローラ２５Ｂとが設けられるように構
成されている。また搬送アーム１４上には吸着機構（図
示せず）によりＬＣＤ基板Ｓを所定の圧力で吸引固定可
能な吸引口３１が所定の位置、例えば、搬送アーム１４
のＬＣＤ基板Ｓの載値領域の例えば４隅に設けられてい
る。
【００１７】更に、搬送アーム１４上に載置されたＬＣ
Ｄ基板Ｓの位置を検出するための検出機構３２、３３、
３６が、載置された時のＬＣＤ基板Ｓの周辺部の位置で
搬送アーム１４に設けられている。上記検出機構３２、
３３、３６はＬＣＤ基板Ｓの検出の際にＬＣＤ基板Ｓに
対して相対的に静止した状態で検出可能にする為にＬＣ
Ｄ基板Ｓを搬送する搬送アーム１４に設けられている。
この構成によりＬＣＤ基板Ｓの周辺部の振動による影響
を抑制している。また、上記検出機構３２、３３、３６
は例えば、搬送アーム１４がＬＣＤ基板Ｓを載置した際
にＬＣＤ基板Ｓと接触しない位置で非接触状態で且つＬ
ＣＤ基板Ｓの検出誤差を抑制するために搬送アーム１４
の載置面の凹部を形成し、この凹部内に設けられてい
る。好ましくはガラスからなるＬＣＤ基板Ｓが有する半
投光性に起因する基板内部からの散乱光を抑制し、ＬＣ
Ｄ基板Ｓの裏面側の表面のみの検出を可能なように上記
検出機構３２、３３、３６の光学系が構成されている。
また、この検出機構３２、３３、３６は、ＬＣＤ基板Ｓ
の微小量の位置検出が可能なように一つが１０ミクロン
から５０ミクロンの大きさの検出素子３４で構成され
る。好ましくは２５ミクロン程度の大きさの検出素子３
４、例えばセルが複数個集合して一つのセンサーとして
構成されるラインセンサーが好適である。
Ｄ基板Ｓの位置を検出するための検出機構３２、３３、
３６が、載置された時のＬＣＤ基板Ｓの周辺部の位置で
搬送アーム１４に設けられている。上記検出機構３２、
３３、３６はＬＣＤ基板Ｓの検出の際にＬＣＤ基板Ｓに
対して相対的に静止した状態で検出可能にする為にＬＣ
Ｄ基板Ｓを搬送する搬送アーム１４に設けられている。
この構成によりＬＣＤ基板Ｓの周辺部の振動による影響
を抑制している。また、上記検出機構３２、３３、３６
は例えば、搬送アーム１４がＬＣＤ基板Ｓを載置した際
にＬＣＤ基板Ｓと接触しない位置で非接触状態で且つＬ
ＣＤ基板Ｓの検出誤差を抑制するために搬送アーム１４
の載置面の凹部を形成し、この凹部内に設けられてい
る。好ましくはガラスからなるＬＣＤ基板Ｓが有する半
投光性に起因する基板内部からの散乱光を抑制し、ＬＣ
Ｄ基板Ｓの裏面側の表面のみの検出を可能なように上記
検出機構３２、３３、３６の光学系が構成されている。
また、この検出機構３２、３３、３６は、ＬＣＤ基板Ｓ
の微小量の位置検出が可能なように一つが１０ミクロン
から５０ミクロンの大きさの検出素子３４で構成され
る。好ましくは２５ミクロン程度の大きさの検出素子３
４、例えばセルが複数個集合して一つのセンサーとして
構成されるラインセンサーが好適である。
【００１８】図６に示されるように、上記検出機構３
２、３３、３６のセルで検出されたＬＣＤ基板Ｓの当該
位置での検出信号はデータ信号として例えば全てのセル
のアドレスに対して各々出力されるパルス信号をＬＣＤ
基板Ｓの位置情報として位置演算装置６１に送られる。
そして、ＬＣＤ基板Ｓの位置が演算されて位置制御装置
６２に送られＬＣＤ基板Ｓの位置、Ｘ、Ｙ、θを制御す
るように構成されている。また、このＬＣＤ基板Ｓの位
置データ検出時に、検出条件を一定にする為に同時に外
乱光を外乱光検出セル３５でデータとして取り込みバッ
クグラウンドを常に一定にするように構成されている。
２、３３、３６のセルで検出されたＬＣＤ基板Ｓの当該
位置での検出信号はデータ信号として例えば全てのセル
のアドレスに対して各々出力されるパルス信号をＬＣＤ
基板Ｓの位置情報として位置演算装置６１に送られる。
そして、ＬＣＤ基板Ｓの位置が演算されて位置制御装置
６２に送られＬＣＤ基板Ｓの位置、Ｘ、Ｙ、θを制御す
るように構成されている。また、このＬＣＤ基板Ｓの位
置データ検出時に、検出条件を一定にする為に同時に外
乱光を外乱光検出セル３５でデータとして取り込みバッ
クグラウンドを常に一定にするように構成されている。
【００１９】このＬＣＤ基板Ｓの位置データの検出は、
検出機構３２、３３、３６におけるＬＣＤ基板Ｓを検出
したセルのみデータを取り込むように構成してもよい
し、すべてのセルのアドレスに対して順番にＬＣＤ基板
の有無に対応するように例えばＬＣＤ基板Ｓがある場合
はＨ信号、ＬＣＤ基板Ｓがない場合はＬ信号というよう
にデータを読み込み、このデータを記憶して、記憶した
データからＬＣＤ基板Ｓの位置を検出するように構成し
てもよい。以上のような構成により搬送アーム１４が構
成されている。
検出機構３２、３３、３６におけるＬＣＤ基板Ｓを検出
したセルのみデータを取り込むように構成してもよい
し、すべてのセルのアドレスに対して順番にＬＣＤ基板
の有無に対応するように例えばＬＣＤ基板Ｓがある場合
はＨ信号、ＬＣＤ基板Ｓがない場合はＬ信号というよう
にデータを読み込み、このデータを記憶して、記憶した
データからＬＣＤ基板Ｓの位置を検出するように構成し
てもよい。以上のような構成により搬送アーム１４が構
成されている。
【００２０】次にこの搬送アームを駆動させる駆動機構
について述べる。この搬送アーム１４は上下方向に移動
可能なように駆動機構が設けられている。この駆動機構
は、例えばボールネジ２１からなり搬送アーム１４から
下方に垂直方向に設けられている。このボールネジ２１
の下方端部にはＬＣＤ基板ＳをカセットＣ１及びＣ２と
プローブ部１２とで受け渡し可能にするため、搬送アー
ム１４の向きを変えられるように搬送アーム１４を所定
の位置を中心としてθ回転可能とする基台２２が設けら
れている。更に、この基台２２上には搬送アーム１４が
カセットＣ１から取り出したＬＣＤ基板Ｓを一時、載置
して、搬送アーム１４が収納容器９からプローブ部１２
へＬＣＤ基板Ｓを搬送する際に、このＬＣＤ基板Ｓの向
きを変えるための回転可能な載置体２３が設けられてい
る。またこの載置体２３には、吸引機構（図示せず）に
よりＬＣＤ基板Ｓを所定の圧力のもとで吸引固定可能な
吸引口が設けられている。
について述べる。この搬送アーム１４は上下方向に移動
可能なように駆動機構が設けられている。この駆動機構
は、例えばボールネジ２１からなり搬送アーム１４から
下方に垂直方向に設けられている。このボールネジ２１
の下方端部にはＬＣＤ基板ＳをカセットＣ１及びＣ２と
プローブ部１２とで受け渡し可能にするため、搬送アー
ム１４の向きを変えられるように搬送アーム１４を所定
の位置を中心としてθ回転可能とする基台２２が設けら
れている。更に、この基台２２上には搬送アーム１４が
カセットＣ１から取り出したＬＣＤ基板Ｓを一時、載置
して、搬送アーム１４が収納容器９からプローブ部１２
へＬＣＤ基板Ｓを搬送する際に、このＬＣＤ基板Ｓの向
きを変えるための回転可能な載置体２３が設けられてい
る。またこの載置体２３には、吸引機構（図示せず）に
よりＬＣＤ基板Ｓを所定の圧力のもとで吸引固定可能な
吸引口が設けられている。
【００２１】また、基台２２の下方には、搬送アーム１
４をＸ方向に移動可能なＸ方向駆動機構２４として、例
えばＬＭガイド２４ａとレール２４ｂとが設けられてい
る。このＸ方向移動機構２４により搬送アーム１４がカ
セットＣから未検査ＬＣＤ基板を取り出し検査部１２へ
搬送するとともに検査済みのＬＣＤ基板をカセットＣへ
搬送する際にＸ方向に移動可能なように構成されてい
る。またＬＣＤ基板Ｓを搬送する搬送アーム１４の垂直
方向の高さは制御装置（図示せず）により所定の高さに
設定される様に構成されている。この高さの設定により
搬送アーム１４が、ＬＣＤ基板Ｓを搬出入する際カセッ
トＣ内の上下の位置に位置するＬＣＤ基板と干渉しない
位置での授受が可能とされている。以上のような構成に
より搬送アーム１４の駆動機構が構成されている。
４をＸ方向に移動可能なＸ方向駆動機構２４として、例
えばＬＭガイド２４ａとレール２４ｂとが設けられてい
る。このＸ方向移動機構２４により搬送アーム１４がカ
セットＣから未検査ＬＣＤ基板を取り出し検査部１２へ
搬送するとともに検査済みのＬＣＤ基板をカセットＣへ
搬送する際にＸ方向に移動可能なように構成されてい
る。またＬＣＤ基板Ｓを搬送する搬送アーム１４の垂直
方向の高さは制御装置（図示せず）により所定の高さに
設定される様に構成されている。この高さの設定により
搬送アーム１４が、ＬＣＤ基板Ｓを搬出入する際カセッ
トＣ内の上下の位置に位置するＬＣＤ基板と干渉しない
位置での授受が可能とされている。以上のような構成に
より搬送アーム１４の駆動機構が構成されている。
【００２２】次に上記実施の形態の動作を説明する。プ
ローブ装置１０が稼動すると、まず所定のプログラムに
より搬送アーム１４がカセットＣ１からＬＣＤ基板Ｓを
取り出し、所定の位置にＬＣＤ基板Ｓを位置決めした
後、プローブ部１２に搬送する。この動作の詳細につい
て以下に述べる。
ローブ装置１０が稼動すると、まず所定のプログラムに
より搬送アーム１４がカセットＣ１からＬＣＤ基板Ｓを
取り出し、所定の位置にＬＣＤ基板Ｓを位置決めした
後、プローブ部１２に搬送する。この動作の詳細につい
て以下に述べる。
【００２３】図１に示されるように未検査ＬＣＤ基板Ｓ
を収容するカセットＣ１の所定のＬＣＤ基板Ｓの下方位
置に搬送アーム１４が進入する。そしてロードアーム１
４ａがＬＣＤ基板Ｓの下方に進入し、所定の位置で上記
アーム１４ａを予め定められた量、上方に移動させ、上
記ロードアーム１４ａ上にＬＣＤ基板Ｓを載置する。そ
の後、カセットＣ１のＬＣＤ基板Ｓを支持している支持
溝からＬＣＤ基板Ｓを搬出し、所定のプログラムによ
り、このＬＣＤ基板Ｓの上方に位置するＬＣＤ基板Ｓと
接触しない位置でロードアーム１４ａが停止する。そし
てＬＣＤ基板Ｓを載置した状態でロードアーム１４ａ上
に設けられている吸引口３１から吸引してＬＣＤ基板Ｓ
を仮固定する。ＬＣＤ基板Ｓを載置面に仮固定した状態
でロードアーム１４ａはカセットＣ１内からカセットＣ
１外へ退避する。この工程動作の間に、ロードアーム１
４ａ上に設けられる検出機構３２でＬＣＤ基板Ｓの位置
を検出する。
を収容するカセットＣ１の所定のＬＣＤ基板Ｓの下方位
置に搬送アーム１４が進入する。そしてロードアーム１
４ａがＬＣＤ基板Ｓの下方に進入し、所定の位置で上記
アーム１４ａを予め定められた量、上方に移動させ、上
記ロードアーム１４ａ上にＬＣＤ基板Ｓを載置する。そ
の後、カセットＣ１のＬＣＤ基板Ｓを支持している支持
溝からＬＣＤ基板Ｓを搬出し、所定のプログラムによ
り、このＬＣＤ基板Ｓの上方に位置するＬＣＤ基板Ｓと
接触しない位置でロードアーム１４ａが停止する。そし
てＬＣＤ基板Ｓを載置した状態でロードアーム１４ａ上
に設けられている吸引口３１から吸引してＬＣＤ基板Ｓ
を仮固定する。ＬＣＤ基板Ｓを載置面に仮固定した状態
でロードアーム１４ａはカセットＣ１内からカセットＣ
１外へ退避する。この工程動作の間に、ロードアーム１
４ａ上に設けられる検出機構３２でＬＣＤ基板Ｓの位置
を検出する。
【００２４】このＬＣＤ基板Ｓの検出および検出により
得られた基板のずれ量を補正するＬＣＤ基板Ｓのアライ
メントについて図面を参照して以下に詳細に述べる。
得られた基板のずれ量を補正するＬＣＤ基板Ｓのアライ
メントについて図面を参照して以下に詳細に述べる。
【００２５】図３から図５に示すように搬送されるＬＣ
Ｄ基板Ｓが搬送ロードアーム１４ａ上の載置された状態
でＬＣＤ基板Ｓの周辺部の予め定められた位置をライン
センサーＡ、Ｂ、Ｃで検出する。次にこのラインセンサ
ーＡ及びＢの検出により得られたＬＳＤ基板Ｓの位置情
報と、ラインセンサーＡとＢとの設定距離ｄからまずＬ
ＣＤ基板のずれ量の要素であるＸ軸方向の傾きθを算出
する。まず、ＬＣＤ基板ＳのＹ方向のずれ量は、ライン
センサーＡ、Ｂ、Ｃの大きさが２５μｍであるのでｙ１
番目と、ｙ２番目のラインセンサの位置から２５×｜ｙ
２ーｙ１｜と表わされる。またこのＹ方向の検出位置と
ラインセンサーＡおよびラインセンサＢが設けられてい
る所定距離ｄからＬＣＤ基板の所定位置からのずれ角θ
は、 ｔａｎθ＝｛｜ｙ２ーｙ１｜×２５（μｍ）×１／ｄ｝ ・・・・（１ ） と表わすことが出来るので、次のような式で求められ
る。 θ＝ｔａｎ-1｛｜ｙ2ーｙ1｜×２５（μｍ）×1／ｄ｝ ・・・（２ ） 例えば（１）の式においてアライメントの精度が１００
μｍである時、（２）式からずれ角θはθ＝０、０１９
°と算出される。上述のように得られたＬＣＤ基板Ｓの
傾きθを補正するために搬送アーム１４はＬＣＤ基板Ｓ
を載置体２３に載置する。まず、搬送アーム１４の載置
面と載置体２３の載置面が相対的に近接するＺ軸方向に
移動して各々の載置面を水平にする。好ましくはＬＣＤ
基板Ｓが載置される際に衝撃を受けない為に載置体２３
が上昇することがよい。そして水平に位置する載置体２
３と搬送アーム１４とでＬＣＤ基板Ｓの位置をずらさな
いために吸引固定が行われる。まず載置体２３上の吸引
口でＬＣＤ基板Ｓを吸引する。そして双方の吸引動作が
行われている状態から載置体でＬＣＤ基板Ｓが吸引され
仮固定されると搬送アーム１４上の吸引は解除する。そ
の後、搬送アーム１４が載置体２３より相対的に離間す
る。次にＬＣＤ基板Ｓの位置検出値から算出して求め
た、ＬＣＤ基板Ｓの所定位置からのずれ量（θ）度分の
みＬＣＤ基板Ｓを載置した載置体２３を回転してＬＣＤ
基板Ｓを所定の位置に位置合わせする。次に、ＬＣＤ基
板ＳのＸ軸及びＹ軸方向の平行方向のずれ量を補正する
位置合わせを行う。まずＬＣＤ基板Ｓを載置した載置体
２３と搬送アーム１４とが近接する方向、例えば下方か
ら搬送アーム１４が上昇する。この搬送アーム１４と載
置体とが水平に位置する時に、ＬＣＤ基板ＳのＸ軸方向
の位置を合わせるために搬送アーム１４の中心位置とＬ
ＣＤ基板Ｓの中心位置とを位置合わせする。この位置合
わせは、予めラインセンサーＡ及びＢで検出したＬＣＤ
基板Ｓの位置情報を用いて、ラインセンサーＡからライ
ンセンサーＢに向かい仮想線ＡーＢをひいた時、この仮
想線ＡーＢとＬＣＤ基板Ｓの周辺部で形成するＬＣＤ基
板Ｓの外形線とが交差する位置がラインセンサーＡ及び
Ｂの中間点１／２ｄの位置になるように搬送アーム１４
がＣＰＵの制御により移動する。そして搬送アーム１４
が所定の位置に移動した時、載置体２３からＬＣＤ基板
Ｓを受け取る。その後同様にＹ軸方向の位置を合わせる
ためにＬＣＤ基板Ｓを載置体２３に載置する。そして搬
送アーム１４が相対的に離間して、Ｘ軸方向の補正と同
様に予めラインセンサーＡとＣのＬＣＤ基板Ｓの位置情
報からＬＣＤ基板Ｓの周辺部が所定の位置に位置するよ
うに搬送アーム１４を進退方向に移動させる。さして搬
送アーム１４が載置体２３に相対的に近接してＬＣＤ基
板Ｓが所定の位置に位置決めされたＬＣＤ基板Ｓを載置
体２３から受け取る。以上のような工程によりＬＣＤ基
板Ｓが所定の位置に位置合せされる。
Ｄ基板Ｓが搬送ロードアーム１４ａ上の載置された状態
でＬＣＤ基板Ｓの周辺部の予め定められた位置をライン
センサーＡ、Ｂ、Ｃで検出する。次にこのラインセンサ
ーＡ及びＢの検出により得られたＬＳＤ基板Ｓの位置情
報と、ラインセンサーＡとＢとの設定距離ｄからまずＬ
ＣＤ基板のずれ量の要素であるＸ軸方向の傾きθを算出
する。まず、ＬＣＤ基板ＳのＹ方向のずれ量は、ライン
センサーＡ、Ｂ、Ｃの大きさが２５μｍであるのでｙ１
番目と、ｙ２番目のラインセンサの位置から２５×｜ｙ
２ーｙ１｜と表わされる。またこのＹ方向の検出位置と
ラインセンサーＡおよびラインセンサＢが設けられてい
る所定距離ｄからＬＣＤ基板の所定位置からのずれ角θ
は、 ｔａｎθ＝｛｜ｙ２ーｙ１｜×２５（μｍ）×１／ｄ｝ ・・・・（１ ） と表わすことが出来るので、次のような式で求められ
る。 θ＝ｔａｎ-1｛｜ｙ2ーｙ1｜×２５（μｍ）×1／ｄ｝ ・・・（２ ） 例えば（１）の式においてアライメントの精度が１００
μｍである時、（２）式からずれ角θはθ＝０、０１９
°と算出される。上述のように得られたＬＣＤ基板Ｓの
傾きθを補正するために搬送アーム１４はＬＣＤ基板Ｓ
を載置体２３に載置する。まず、搬送アーム１４の載置
面と載置体２３の載置面が相対的に近接するＺ軸方向に
移動して各々の載置面を水平にする。好ましくはＬＣＤ
基板Ｓが載置される際に衝撃を受けない為に載置体２３
が上昇することがよい。そして水平に位置する載置体２
３と搬送アーム１４とでＬＣＤ基板Ｓの位置をずらさな
いために吸引固定が行われる。まず載置体２３上の吸引
口でＬＣＤ基板Ｓを吸引する。そして双方の吸引動作が
行われている状態から載置体でＬＣＤ基板Ｓが吸引され
仮固定されると搬送アーム１４上の吸引は解除する。そ
の後、搬送アーム１４が載置体２３より相対的に離間す
る。次にＬＣＤ基板Ｓの位置検出値から算出して求め
た、ＬＣＤ基板Ｓの所定位置からのずれ量（θ）度分の
みＬＣＤ基板Ｓを載置した載置体２３を回転してＬＣＤ
基板Ｓを所定の位置に位置合わせする。次に、ＬＣＤ基
板ＳのＸ軸及びＹ軸方向の平行方向のずれ量を補正する
位置合わせを行う。まずＬＣＤ基板Ｓを載置した載置体
２３と搬送アーム１４とが近接する方向、例えば下方か
ら搬送アーム１４が上昇する。この搬送アーム１４と載
置体とが水平に位置する時に、ＬＣＤ基板ＳのＸ軸方向
の位置を合わせるために搬送アーム１４の中心位置とＬ
ＣＤ基板Ｓの中心位置とを位置合わせする。この位置合
わせは、予めラインセンサーＡ及びＢで検出したＬＣＤ
基板Ｓの位置情報を用いて、ラインセンサーＡからライ
ンセンサーＢに向かい仮想線ＡーＢをひいた時、この仮
想線ＡーＢとＬＣＤ基板Ｓの周辺部で形成するＬＣＤ基
板Ｓの外形線とが交差する位置がラインセンサーＡ及び
Ｂの中間点１／２ｄの位置になるように搬送アーム１４
がＣＰＵの制御により移動する。そして搬送アーム１４
が所定の位置に移動した時、載置体２３からＬＣＤ基板
Ｓを受け取る。その後同様にＹ軸方向の位置を合わせる
ためにＬＣＤ基板Ｓを載置体２３に載置する。そして搬
送アーム１４が相対的に離間して、Ｘ軸方向の補正と同
様に予めラインセンサーＡとＣのＬＣＤ基板Ｓの位置情
報からＬＣＤ基板Ｓの周辺部が所定の位置に位置するよ
うに搬送アーム１４を進退方向に移動させる。さして搬
送アーム１４が載置体２３に相対的に近接してＬＣＤ基
板Ｓが所定の位置に位置決めされたＬＣＤ基板Ｓを載置
体２３から受け取る。以上のような工程によりＬＣＤ基
板Ｓが所定の位置に位置合せされる。
【００２６】その後、搬送アーム１４が載置体２３から
所定の位置にアライメントされたＬＣＤ基板Ｓをプロー
ブ部１２へ搬送する。そしてこの搬送アーム１４が所定
の高さに移動し、プローブ部１２に近接する。そして、
プローブ部１２の予め定められた位置にＬＣＤ基板Ｓを
載置するために、載置台２３上方にＬＣＤ基板Ｓを支持
するピン（図示せず）が上昇する。このピン先端部と載
置台１４の載置面との間に生じた空間にＣＰＵの制御に
より搬送アーム１４を挿入し、その後ＬＣＤ基板Ｓをピ
ン先端で支持するように搬送アーム１４が下方に移動す
る。その後、搬送アーム１４はＬＣＤ基板Ｓを受け渡
し、この位置から退避して支持ピンが下降する。そして
載置されたＬＣＤ基板Ｓは、吸引機構（図示せず）によ
り所定の圧力で吸引され載置台２３に吸引固定される。
このＬＣＤ基板Ｓの位置合わせは、ＬＣＤ基板Ｓ上の所
定の位置に形成された基準マークであるアライメントマ
ークを認識手段（図示せず）により認識して、このアラ
イメントマークを所定の基準位置に位置決めすることで
行われる。同様に測定部であるプローブ部の位置合せも
プローブ部に設けられた基準ピンであるアライメントピ
ンを認識手段（図示せず）により認識して、位置合せが
行われる。そして、所定の検査位置に位置合わせが行わ
れたＬＣＤ基板Ｓの周辺部に形成された電極とプローブ
とを電気的に接触させてテスター（図示せず）から所定
の電気信号を送り、ＬＣＤ基板Ｓの電気的特性の検査を
行う。この電気的特性の検査が行われたＬＣＤ基板Ｓ
は、検査結果の良否や良品のグレードをＣＰＵに記憶さ
れたプログラムより判断される。そして、この結果に基
づいて搬送アーム１４がＬＣＤ基板Ｓをプローブ部１０
からローダ部１１へ搬送し、カセット載置部１３上のカ
セットＣに収納する。上記のようなＬＣＤ基板Ｓの検査
は、未検査のＬＣＤ基板Ｓを収納するカセットＣのＬＣ
Ｄ基板Ｓがすべて検査されるまで順次行われる。以上の
ような工程によりＬＣＤ基板Ｓの電気的特性の検査が行
われる。
所定の位置にアライメントされたＬＣＤ基板Ｓをプロー
ブ部１２へ搬送する。そしてこの搬送アーム１４が所定
の高さに移動し、プローブ部１２に近接する。そして、
プローブ部１２の予め定められた位置にＬＣＤ基板Ｓを
載置するために、載置台２３上方にＬＣＤ基板Ｓを支持
するピン（図示せず）が上昇する。このピン先端部と載
置台１４の載置面との間に生じた空間にＣＰＵの制御に
より搬送アーム１４を挿入し、その後ＬＣＤ基板Ｓをピ
ン先端で支持するように搬送アーム１４が下方に移動す
る。その後、搬送アーム１４はＬＣＤ基板Ｓを受け渡
し、この位置から退避して支持ピンが下降する。そして
載置されたＬＣＤ基板Ｓは、吸引機構（図示せず）によ
り所定の圧力で吸引され載置台２３に吸引固定される。
このＬＣＤ基板Ｓの位置合わせは、ＬＣＤ基板Ｓ上の所
定の位置に形成された基準マークであるアライメントマ
ークを認識手段（図示せず）により認識して、このアラ
イメントマークを所定の基準位置に位置決めすることで
行われる。同様に測定部であるプローブ部の位置合せも
プローブ部に設けられた基準ピンであるアライメントピ
ンを認識手段（図示せず）により認識して、位置合せが
行われる。そして、所定の検査位置に位置合わせが行わ
れたＬＣＤ基板Ｓの周辺部に形成された電極とプローブ
とを電気的に接触させてテスター（図示せず）から所定
の電気信号を送り、ＬＣＤ基板Ｓの電気的特性の検査を
行う。この電気的特性の検査が行われたＬＣＤ基板Ｓ
は、検査結果の良否や良品のグレードをＣＰＵに記憶さ
れたプログラムより判断される。そして、この結果に基
づいて搬送アーム１４がＬＣＤ基板Ｓをプローブ部１０
からローダ部１１へ搬送し、カセット載置部１３上のカ
セットＣに収納する。上記のようなＬＣＤ基板Ｓの検査
は、未検査のＬＣＤ基板Ｓを収納するカセットＣのＬＣ
Ｄ基板Ｓがすべて検査されるまで順次行われる。以上の
ような工程によりＬＣＤ基板Ｓの電気的特性の検査が行
われる。
【００２７】また、この検査は、カセットＣ内の未検査
ＬＣＤ基板Ｓを全数検査せずにＣＰＵに記憶された所定
のプログラムによりカセットＣ内の任意のＬＣＤ基板Ｓ
のみの検査を行ってもよい。
ＬＣＤ基板Ｓを全数検査せずにＣＰＵに記憶された所定
のプログラムによりカセットＣ内の任意のＬＣＤ基板Ｓ
のみの検査を行ってもよい。
【００２８】次に、本発明の実施の形態の効果を説明す
る。このＬＣＤ基板Ｓの搬送方法は、ＬＣＤ基板Ｓを検
出する際に搬送アーム１４に相対的に静止した状態でＬ
ＣＤ基板Ｓの位置を検出するのでＬＣＤ基板Ｓがたわむ
ことや振動することにより発生する検出誤差の精度が向
上してＬＣＤ基板Ｓの位置決め精度が向上する。また載
置体２３と搬送アーム１４とでＬＣＤ基板Ｓの受け渡し
を行う際に、ＬＣＤ基板Ｓが渡される方を近接させるの
で、受け渡しの際にＬＣＤ基板Ｓに対して重力によって
ＬＣＤ基板Ｓに作用する力が加わりＬＣＤ基板Ｓが破損
するのを防止することができる。更にＬＣＤ基板Ｓをカ
セットＣから搬出する工程中に搬送アーム上でＬＣＤ基
板Ｓの位置を検出できるので検出するために載置体２３
に乗せかえる工程を簡略化できるのでスループットが向
上する。更にＬＣＤ基板Ｓの検出の際に検出機構３２が
外部の測定条件に左右やれないようにバックグラウンド
をキャンセルするように構成されているのでＬＣＤ基板
Ｓのような薄い形状で半透光性のものであっても光学的
に高精度にＬＣＤ基板Ｓの位置を検出することが可能と
なる。
る。このＬＣＤ基板Ｓの搬送方法は、ＬＣＤ基板Ｓを検
出する際に搬送アーム１４に相対的に静止した状態でＬ
ＣＤ基板Ｓの位置を検出するのでＬＣＤ基板Ｓがたわむ
ことや振動することにより発生する検出誤差の精度が向
上してＬＣＤ基板Ｓの位置決め精度が向上する。また載
置体２３と搬送アーム１４とでＬＣＤ基板Ｓの受け渡し
を行う際に、ＬＣＤ基板Ｓが渡される方を近接させるの
で、受け渡しの際にＬＣＤ基板Ｓに対して重力によって
ＬＣＤ基板Ｓに作用する力が加わりＬＣＤ基板Ｓが破損
するのを防止することができる。更にＬＣＤ基板Ｓをカ
セットＣから搬出する工程中に搬送アーム上でＬＣＤ基
板Ｓの位置を検出できるので検出するために載置体２３
に乗せかえる工程を簡略化できるのでスループットが向
上する。更にＬＣＤ基板Ｓの検出の際に検出機構３２が
外部の測定条件に左右やれないようにバックグラウンド
をキャンセルするように構成されているのでＬＣＤ基板
Ｓのような薄い形状で半透光性のものであっても光学的
に高精度にＬＣＤ基板Ｓの位置を検出することが可能と
なる。
【００２９】なお前述の実施の形態は本技術である搬送
装置をＬＣＤプローブ装置に適用した例について述べた
がＬＣＤプローブ装置に限らず、ＬＣＤ基板Ｓのような
大型の被搬送体を使用する搬送装置を有する半導体処理
装置であれば何でもよい。
装置をＬＣＤプローブ装置に適用した例について述べた
がＬＣＤプローブ装置に限らず、ＬＣＤ基板Ｓのような
大型の被搬送体を使用する搬送装置を有する半導体処理
装置であれば何でもよい。
【００３０】
【発明の効果】本発明の代表的な効果としては、被搬送
体であるＬＣＤ基板を搬送アームの載置面に載置して吸
引固定してＬＣＤ基板の位置を検出するのでＬＣＤ基板
Ｓが搬送アームに対して相対的に静止しており物理的な
ＬＣＤ基板の振動やＬＣＤ基板の形状により発生する検
出誤差を抑制することができる。
体であるＬＣＤ基板を搬送アームの載置面に載置して吸
引固定してＬＣＤ基板の位置を検出するのでＬＣＤ基板
Ｓが搬送アームに対して相対的に静止しており物理的な
ＬＣＤ基板の振動やＬＣＤ基板の形状により発生する検
出誤差を抑制することができる。
【図１】本発明の一実施の形態に係るＬＣＤ基板検査装
置の全体斜視図である。
置の全体斜視図である。
【図２】図１のＬＣＤ検査装置の要部を示す側面図であ
る。
る。
【図３】図１のＬＣＤ検査装置の要部を示す斜視図であ
る。
る。
【図４】図３に示すＬＣＤ検査装置の要部を示す拡大斜
視図である。
視図である。
【図５】図３に示すＬＣＤ検査装置の位置補正説明図で
ある。
ある。
【図６】ＬＣＤ検査装置の検出制御系のブロック図であ
る。
る。
搬送アーム １４ 収容容器 ９ ＬＣＤ基板 Ｓ 検出機構 ３２、３３、３６ 検出素子 ３４ 載置体 ２３
Claims (6)
- 【請求項１】被搬送体を移動可能な第１の手段に設ける
工程と、この第１の手段に対して前記被搬送体を相対的
に静止した状態で、基準位置からのズレ量を検出する工
程と、前記被搬送体が設けられた第１の手段を、第２の
手段に対して相対的に移動させて前記被搬送体を基準位
置に位置合わせする工程とを具備することを特徴とする
搬送方法。 - 【請求項２】被搬送体を搬送アームに設ける工程と、こ
の搬送アームに被搬送体を設けた状態で前記被搬送体の
位置を検出する工程と、この検出値が所定値以上の時、
前記被搬送体を位置合わせする工程とを具備することを
特徴とする搬送方法。 - 【請求項３】被搬送体を搬送アームに設ける工程と、こ
の搬送アームに設けた被搬送体の位置情報を検出する工
程と、この検出した被搬送体の位置情報に基づいて、予
め定められた位置に前記被搬送体を位置決めした後、搬
送する又は、被搬送体を搬送する工程とを具備すること
を特徴とする搬送方法。 - 【請求項４】搬送手段に設けられた方形状基板を予め定
められた基準位置に位置決めして搬送する搬送装置にお
いて、前記方形状基板を搬送する搬送手段と、この搬送
手段に設けられ、前記方形状基板の少なくとも直交する
方形状基板の２辺の端部の予め定められた基準位置から
のズレ量を検出する検出手段と、この検出手段で検出し
た方形状基板のズレ量を補正する際に、前記方形状基板
を載置する回転可能な載置体とを具備し、前記検出手段
は、複数の検出素子で構成され載置された方形状基板の
予め定められた基準位置の端部に対して直交する様に設
けられ、且つ少なくとも１つの検出素子が搬送手段に設
けられた被搬送体の位置を検出可能とすることを特徴と
する搬送装置。 - 【請求項５】前記検出手段は、方形状基板に光を照射
し、方形状基板で反射された光の検出値と、外部から入
射される外光の検出値とを取り込み、この検出値を比較
することにより前記検出手段の検出値を補正することを
特徴とする請求項４の搬送装置。 - 【請求項６】所定の間隔で収容された方形状基板の下方
に搬送手段を進入させる工程と、前記搬送手段を上昇さ
せて方形状基板を載置し、この方形状基板の上方に位置
する基板と接触しない位置で停止させる工程と、前記搬
送手段を後退させつつ載置した方形状基板の予め定めら
れた位置からのズレ量を検出する工程と、この搬送手段
とθ回転可能な載置体とを近接して搬送手段の載置面
と、前記載置体の載置面とを水平位置にする工程と、前
記載置体の吸引を開始するとともに搬送手段の吸引を解
除する工程と、前記載置体を搬送手段から離間する方向
に移動させる工程と、前記検出した方形状基板の予め定
められた位置からのズレ量から算出したθ回転方向のズ
レ量分前記載置体を回転させる工程と、搬送手段を方形
状基板のＸ方向およびＹ方向の位置を補正可能な位置に
移動させる工程と、前記搬送手段と前記載置体とを近接
して前記搬送手段の載置面位置と前記載置体の載置面位
置とを水平位置に移動させる工程と、前記搬送手段の吸
引を開始するとともに前記載置体の吸引を解除する工程
と、前記方形状基板を載置した搬送手段を載置体上方へ
移動させて方形状基板の位置を予め定められた位置に位
置決めする工程と、前記方形状基板を所定の検査位置に
搬送可能なように前記搬送手段を回転移動させる工程と
を具備することを特徴とする搬送方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33115395A JPH09186220A (ja) | 1995-11-27 | 1995-11-27 | 搬送装置及び搬送方法 |
| US08/753,250 US5825500A (en) | 1995-11-27 | 1996-11-21 | Unit for transferring to-be-inspected object to inspection position |
| TW085114420A TW336212B (en) | 1995-11-27 | 1996-11-22 | A carrier for carrying an object article to a test position |
| KR1019960057730A KR100350692B1 (ko) | 1995-11-20 | 1996-11-26 | 피검사체를 검사위치에 반송하기 위한 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33115395A JPH09186220A (ja) | 1995-11-27 | 1995-11-27 | 搬送装置及び搬送方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09186220A true JPH09186220A (ja) | 1997-07-15 |
Family
ID=18240469
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33115395A Pending JPH09186220A (ja) | 1995-11-20 | 1995-11-27 | 搬送装置及び搬送方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5825500A (ja) |
| JP (1) | JPH09186220A (ja) |
| TW (1) | TW336212B (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002217261A (ja) * | 2001-01-12 | 2002-08-02 | Tokyo Electron Ltd | 被処理体の搬送システム及び被処理体の搬送方法 |
| JP2002217262A (ja) * | 2001-01-12 | 2002-08-02 | Tokyo Electron Ltd | 被処理体の搬送方法 |
| JP2002217263A (ja) * | 2001-01-12 | 2002-08-02 | Tokyo Electron Ltd | 被処理体の搬送システム及び被処理体の搬送方法 |
| JP2018164033A (ja) * | 2017-03-27 | 2018-10-18 | 株式会社東京精密 | プローバおよびプリアライメント方法 |
| CN112578239A (zh) * | 2020-12-04 | 2021-03-30 | 四川鼎玺汽车零部件有限公司 | 一种高压管检测装置 |
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| JPH10224099A (ja) * | 1997-02-04 | 1998-08-21 | Fuji Mach Mfg Co Ltd | 回路部品装着方法および回路部品装着システム |
| TW495060U (en) * | 1998-07-24 | 2002-07-11 | Inventec Corp | Brightness test device of liquid crystal display panel |
| JP2001261196A (ja) * | 2000-03-15 | 2001-09-26 | Fuji Photo Film Co Ltd | シート材位置決め方法及び装置 |
| JP4343386B2 (ja) * | 2000-03-17 | 2009-10-14 | 富士フイルム株式会社 | 印刷版自動露光装置 |
| JP3745750B2 (ja) * | 2003-06-27 | 2006-02-15 | 東芝テリー株式会社 | 表示パネルの検査装置および検査方法 |
| CN102183854B (zh) * | 2011-05-09 | 2012-11-21 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 面板对位装置及面板对位方法 |
| JP2015224990A (ja) * | 2014-05-28 | 2015-12-14 | セイコーエプソン株式会社 | 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 |
| KR102181121B1 (ko) * | 2016-09-20 | 2020-11-20 | 주식회사 원익아이피에스 | 기판 이송 장치 및 기판 이송 장치의 제어 방법 |
| US10444740B2 (en) * | 2017-09-26 | 2019-10-15 | Wuhan China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. | Panel sorting device |
| US10811290B2 (en) * | 2018-05-23 | 2020-10-20 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Systems and methods for inspection stations |
| CN109405743B (zh) * | 2018-11-29 | 2020-07-10 | 武汉华星光电技术有限公司 | 显示模组的定位方法及定位装置、控制器及存储介质 |
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| JPS6086397A (ja) * | 1983-07-11 | 1985-05-15 | ザ・バブコツク・アンド・ウイルコツクス・カンパニ− | 管膨脹装置および方法 |
| JPH01103849A (ja) * | 1987-10-16 | 1989-04-20 | Teru Kyushu Kk | 基板搬送機構 |
| JPH04186862A (ja) * | 1990-11-21 | 1992-07-03 | Tokyo Electron Sagami Ltd | キャリア内基板の検出装置 |
| JP2985323B2 (ja) * | 1991-03-04 | 1999-11-29 | 株式会社日立製作所 | パターン検査方法及びその装置 |
| US5319216A (en) * | 1991-07-26 | 1994-06-07 | Tokyo Electron Limited | Substrate detector with light emitting and receiving elements arranged in staggered fashion and a polarization filter |
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-
1995
- 1995-11-27 JP JP33115395A patent/JPH09186220A/ja active Pending
-
1996
- 1996-11-21 US US08/753,250 patent/US5825500A/en not_active Expired - Fee Related
- 1996-11-22 TW TW085114420A patent/TW336212B/zh active
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|---|---|---|---|---|
| JP2002217261A (ja) * | 2001-01-12 | 2002-08-02 | Tokyo Electron Ltd | 被処理体の搬送システム及び被処理体の搬送方法 |
| JP2002217262A (ja) * | 2001-01-12 | 2002-08-02 | Tokyo Electron Ltd | 被処理体の搬送方法 |
| JP2002217263A (ja) * | 2001-01-12 | 2002-08-02 | Tokyo Electron Ltd | 被処理体の搬送システム及び被処理体の搬送方法 |
| JP2018164033A (ja) * | 2017-03-27 | 2018-10-18 | 株式会社東京精密 | プローバおよびプリアライメント方法 |
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| CN112578239B (zh) * | 2020-12-04 | 2023-09-05 | 四川鼎玺创新科技有限公司 | 一种高压管检测装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TW336212B (en) | 1998-07-11 |
| US5825500A (en) | 1998-10-20 |
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