JP2000053246A - ガラス基板の支持構造およびガラス基板搬送用ハンド - Google Patents
ガラス基板の支持構造およびガラス基板搬送用ハンドInfo
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- B65G2249/00—Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
- B65G2249/04—Arrangements of vacuum systems or suction cups
- B65G2249/045—Details of suction cups suction cups
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- Manipulator (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ガラス基板の撓みを最小にするように支持す
る。 【解決手段】 長方形のガラス基板１をピン２により、
水平に４点支持するガラス基板の支持構造であって、上
記ピン２はガラス基板１と共通の中心を有し各辺の長さ
が基板の各辺の長さの略５６％である長方形３の各頂点
に位置している。
る。 【解決手段】 長方形のガラス基板１をピン２により、
水平に４点支持するガラス基板の支持構造であって、上
記ピン２はガラス基板１と共通の中心を有し各辺の長さ
が基板の各辺の長さの略５６％である長方形３の各頂点
に位置している。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はクリーンルーム内で
ＰＤＰ（プラズマ・デイスプレイ・パネル）用等のガラ
ス基板を支持する支持構造およびガラス基板を移送する
ロボットに使用するガラス基板搬送用ハンドに関する。
ＰＤＰ（プラズマ・デイスプレイ・パネル）用等のガラ
ス基板を支持する支持構造およびガラス基板を移送する
ロボットに使用するガラス基板搬送用ハンドに関する。
【０００２】
【従来の技術】図５は複数のガラス基板等を収納したカ
セットの斜視図である。このカセットａは、基板ｂの両
端部を水平に支持するようになっていて、上下方向に所
定間隔をもって複数枚（１５〜２０枚）収納するように
なっている。
セットの斜視図である。このカセットａは、基板ｂの両
端部を水平に支持するようになっていて、上下方向に所
定間隔をもって複数枚（１５〜２０枚）収納するように
なっている。
【０００３】図６は基板搬送用ロボットの平面図であ
る。上記カセットａから基板ｂを取り出すのに、基板搬
送用ロボットｃ（多関節アームロボット）が使用されて
いる。多関節アームロボットｃは、２本の関節アームｄ
を有し、関節アームｄの先端には薄いハンドｅを有して
おり、このハンドｅをカセットａの基板ｂの間に水平に
挿入し、基板ｂの下面から支持したのち、わずかに上方
に持ち上げてカセットａから取り出すようになってい
る。
る。上記カセットａから基板ｂを取り出すのに、基板搬
送用ロボットｃ（多関節アームロボット）が使用されて
いる。多関節アームロボットｃは、２本の関節アームｄ
を有し、関節アームｄの先端には薄いハンドｅを有して
おり、このハンドｅをカセットａの基板ｂの間に水平に
挿入し、基板ｂの下面から支持したのち、わずかに上方
に持ち上げてカセットａから取り出すようになってい
る。
【０００４】また、ガラス基板の検査装置にあっては、
基板をロボットから受け取りＸステージまたはＸ−Ｙス
テージに載置するローティング装置において昇降する４
本のピンの上に基板を載置する。
基板をロボットから受け取りＸステージまたはＸ−Ｙス
テージに載置するローティング装置において昇降する４
本のピンの上に基板を載置する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】近年、サイズの大きい
薄型ガラス基板（例えば、ｔ０．７ｍｍ×９００ｍｍ×
１１００ｍｍ、ｔ１．１ｍｍ×１０００ｍｍ×１５００
ｍｍ）をハンドリングする必要性が高まっている。この
ような大型の基板を従来のように端部で支持したり、支
持位置にこだわらずに支持すると、基板が大きく撓みカ
セットに収める場合や搬送する場合に、出し入れがむず
かしくなり、搬送中にパターンに悪影響を及ぼすなどの
問題がある。
薄型ガラス基板（例えば、ｔ０．７ｍｍ×９００ｍｍ×
１１００ｍｍ、ｔ１．１ｍｍ×１０００ｍｍ×１５００
ｍｍ）をハンドリングする必要性が高まっている。この
ような大型の基板を従来のように端部で支持したり、支
持位置にこだわらずに支持すると、基板が大きく撓みカ
セットに収める場合や搬送する場合に、出し入れがむず
かしくなり、搬送中にパターンに悪影響を及ぼすなどの
問題がある。
【０００６】本発明は従来技術のかかる問題点に鑑み案
出したもので、大きなサイズの薄型のガラス基板を少い
撓みで支持するガラス基板の支持構造およびガラス基板
搬送用ハンドを提供することを目的とする。
出したもので、大きなサイズの薄型のガラス基板を少い
撓みで支持するガラス基板の支持構造およびガラス基板
搬送用ハンドを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１記載発明のガラス基板の支持構造は、長方
形のガラス基板をピンにより水平に４点支持するガラス
基板の支持構造であって、上記ピンはガラス基板と共通
の中心を有し、各辺の長さが基板の各辺の長さの略５６
％である長方形の各頂点に位置している。
め、請求項１記載発明のガラス基板の支持構造は、長方
形のガラス基板をピンにより水平に４点支持するガラス
基板の支持構造であって、上記ピンはガラス基板と共通
の中心を有し、各辺の長さが基板の各辺の長さの略５６
％である長方形の各頂点に位置している。
【０００８】また、請求項２記載発明のガラス基板搬送
用ハンドは、長方形のガラス基板を水平に把持して移送
する基板搬送用ロボットに使用される基板搬送用ハンド
であって、該基板搬送用ハンドは上面に基板を吸着して
把持する吸盤を有しており、該吸盤はガラス基板と共通
の中心を有し、各辺の長さが基板の各辺の長さの略５６
％である長方形の各頂点に位置している。
用ハンドは、長方形のガラス基板を水平に把持して移送
する基板搬送用ロボットに使用される基板搬送用ハンド
であって、該基板搬送用ハンドは上面に基板を吸着して
把持する吸盤を有しており、該吸盤はガラス基板と共通
の中心を有し、各辺の長さが基板の各辺の長さの略５６
％である長方形の各頂点に位置している。
【０００９】次に、本発明の作用を説明する。長方形の
薄板を共通の中心を有し、その長方形に相似の長方形の
各頂点に位置する支点で支持すると、薄板は自重により
撓み、その周縁部と中央部の撓み量が最も大きい。簡単
のために薄板を梁として考え、その中心に対称な２個の
支点で支持し、梁の中心の撓み量と梁の端部の撓み量が
等しくなる条件を材料力学の公式により求めると、支点
の位置は梁の端部から梁の全長の略２２％の距離にある
ことがわかる。支点がこの位置にあるときに梁の撓み量
が最小になる。薄板を４点で支持したときもほぼ同様に
考えられるので、長方形のガラス基板をガラス基板と共
通の中心を有し、各辺の長さが基板の各辺の長さの略５
６％である長方形の各頂点に支点を位置させることによ
り、基板の撓み量を最小にすることができる。
薄板を共通の中心を有し、その長方形に相似の長方形の
各頂点に位置する支点で支持すると、薄板は自重により
撓み、その周縁部と中央部の撓み量が最も大きい。簡単
のために薄板を梁として考え、その中心に対称な２個の
支点で支持し、梁の中心の撓み量と梁の端部の撓み量が
等しくなる条件を材料力学の公式により求めると、支点
の位置は梁の端部から梁の全長の略２２％の距離にある
ことがわかる。支点がこの位置にあるときに梁の撓み量
が最小になる。薄板を４点で支持したときもほぼ同様に
考えられるので、長方形のガラス基板をガラス基板と共
通の中心を有し、各辺の長さが基板の各辺の長さの略５
６％である長方形の各頂点に支点を位置させることによ
り、基板の撓み量を最小にすることができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の１実施形態につい
て図面を参照しつつ説明する。図１はガラス基板を支持
する支点の位置を示す斜視図である。図において１はガ
ラス基板、２はガラス基板１を水平に４点支持するピン
である。３は各ピン２の支点を頂点とする長方形であ
る。ガラス基板１は、短辺の長さがＬ1 、長辺の長さが
Ｌ2 であり、４本のピン２により支持されている。各ピ
ン２の支点を頂点とする長方形３の各長辺３ａと基板１
の長辺１ａとの距離はａであり、各短辺３ｂと基板１の
短辺１ｂとの距離はｂである。
て図面を参照しつつ説明する。図１はガラス基板を支持
する支点の位置を示す斜視図である。図において１はガ
ラス基板、２はガラス基板１を水平に４点支持するピン
である。３は各ピン２の支点を頂点とする長方形であ
る。ガラス基板１は、短辺の長さがＬ1 、長辺の長さが
Ｌ2 であり、４本のピン２により支持されている。各ピ
ン２の支点を頂点とする長方形３の各長辺３ａと基板１
の長辺１ａとの距離はａであり、各短辺３ｂと基板１の
短辺１ｂとの距離はｂである。
【００１１】ガラス基板１の撓み量を最小にするａおよ
びｂの値を求める。簡単のため長方形の基板１を梁とみ
なして計算する。図２は梁を中心に対称な２点で支持
し、一様な荷重ｗを負荷したときの端部（ｘ＝０）およ
中央部（ｘ＝ｌ／２）の各撓みδ1 およびδ2 はそれぞ
れ次式で与えられる。 δ1 ＝−ｗｌ1 ／２４ＥＩ（３ｌ1 3 ＋６ｌ1 2 ｌ2 −ｌ2 3 ） （１） δ2 ＝−ｗｌ2 2 ／３８４ＥＩ（５ｌ2 2 −２４ｌ1 2 ） （２） δ1 ＝δ2 として（１）および（２）式からｌ1 を求め
ると、ｌ1 ＝０．２２２ｌとなる。
びｂの値を求める。簡単のため長方形の基板１を梁とみ
なして計算する。図２は梁を中心に対称な２点で支持
し、一様な荷重ｗを負荷したときの端部（ｘ＝０）およ
中央部（ｘ＝ｌ／２）の各撓みδ1 およびδ2 はそれぞ
れ次式で与えられる。 δ1 ＝−ｗｌ1 ／２４ＥＩ（３ｌ1 3 ＋６ｌ1 2 ｌ2 −ｌ2 3 ） （１） δ2 ＝−ｗｌ2 2 ／３８４ＥＩ（５ｌ2 2 −２４ｌ1 2 ） （２） δ1 ＝δ2 として（１）および（２）式からｌ1 を求め
ると、ｌ1 ＝０．２２２ｌとなる。
【００１２】これをガラス基板１にあてはめると、ａは
略０．２２Ｌ1 、ｂは略０．２２Ｌ 2 となり、長方形３
の長辺３ａの長さは、略０．５６Ｌ2 、短辺３ｂの長さ
は略０．５６Ｌ1 となる。
略０．２２Ｌ1 、ｂは略０．２２Ｌ 2 となり、長方形３
の長辺３ａの長さは、略０．５６Ｌ2 、短辺３ｂの長さ
は略０．５６Ｌ1 となる。
【００１３】支点の位置をこのように選ぶことにより、
ｔ０．７ｍｍ×９００ｍｍ×１１００ｍｍのガラス基板
では、撓みは４．２ｍｍ以内にすることができるし、ｔ
１．１ｍｍ×１０００ｍｍ×１５００ｍｍのガラス基板
では６．０ｍｍ以内にすることができる。
ｔ０．７ｍｍ×９００ｍｍ×１１００ｍｍのガラス基板
では、撓みは４．２ｍｍ以内にすることができるし、ｔ
１．１ｍｍ×１０００ｍｍ×１５００ｍｍのガラス基板
では６．０ｍｍ以内にすることができる。
【００１４】図３はガラス基板搬送用ハンドの平面図で
ある。図において４はハンド、５は吸盤、１０は突起で
ある。ハンド４は先端にＶ字状の切欠部４ｂを有する長
方形の薄板形状をしており、基端部４ａで図示しない基
板搬送用ロボットに接続されている。ハンド上面には、
ガラス基板１を吸着して把時する４個の吸盤５を有して
いる。突起１０は、吸着したときの吸盤５とほぼ同じ高
さになっている。
ある。図において４はハンド、５は吸盤、１０は突起で
ある。ハンド４は先端にＶ字状の切欠部４ｂを有する長
方形の薄板形状をしており、基端部４ａで図示しない基
板搬送用ロボットに接続されている。ハンド上面には、
ガラス基板１を吸着して把時する４個の吸盤５を有して
いる。突起１０は、吸着したときの吸盤５とほぼ同じ高
さになっている。
【００１５】吸盤５は、ガラス基板１と共通の中心を有
し、各辺の長さがガラス基板１の各辺の長さの略５６％
である長方形３の各頂点に位置している。
し、各辺の長さがガラス基板１の各辺の長さの略５６％
である長方形３の各頂点に位置している。
【００１６】図４は吸盤５の断面図である。吸盤５はハ
ンド４の上面に設けられた窪み４ｃ内に設けられてお
り、底板６ａの上面周縁部に環状の突起６ｂを有すると
ともに、中央に貫通孔６ｃを有する有底円筒状の基板受
け部材６と、底板６ａの下面に固着され、中央に貫通孔
６ｃに連通する貫通孔７ａを有し、杯を被せた形状の弾
性支持部材７と、基板支持部材６の肩の段差部を上方か
ら抑えるような張り出し部を有する環状の抑え板８とか
ら構成されている。９は空気吸引通路である。基板受け
部材６は抑え板８により、わずかに上下動可能に抑えら
れている。
ンド４の上面に設けられた窪み４ｃ内に設けられてお
り、底板６ａの上面周縁部に環状の突起６ｂを有すると
ともに、中央に貫通孔６ｃを有する有底円筒状の基板受
け部材６と、底板６ａの下面に固着され、中央に貫通孔
６ｃに連通する貫通孔７ａを有し、杯を被せた形状の弾
性支持部材７と、基板支持部材６の肩の段差部を上方か
ら抑えるような張り出し部を有する環状の抑え板８とか
ら構成されている。９は空気吸引通路である。基板受け
部材６は抑え板８により、わずかに上下動可能に抑えら
れている。
【００１７】次に、本実施形態の作用を説明する。基板
１をピン２あるいは、吸盤５により以上説明したような
位置で支持しているので、基板１の撓みは最小になり、
許容値よりも小さく保つことができる。したがって、カ
セットに収める場合や搬送する場合に出し入れが容易に
なり、搬送中にパターンに悪影響を及ぼすことがない。
１をピン２あるいは、吸盤５により以上説明したような
位置で支持しているので、基板１の撓みは最小になり、
許容値よりも小さく保つことができる。したがって、カ
セットに収める場合や搬送する場合に出し入れが容易に
なり、搬送中にパターンに悪影響を及ぼすことがない。
【００１８】本発明は以上述べた実施形態に限定される
ものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変
更が可能である。
ものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変
更が可能である。
【００１９】
【発明の効果】以上述べたように、本発明のガラス基板
の支持構造およびガラス基板搬送用ハンドは基板を支持
するピンあるいは吸盤を有し、支点がガラス基板と共通
の中心を有し、各辺の長さが基板の各辺の長さの略５６
％である長方形の各頂点に位置しているので、基板の撓
み量が最小になり、カセットに収める場合や搬送する場
合の出し入れが容易であり、搬送中にパターンに悪影響
を及ぼすことがないなど優れた効果を有する。
の支持構造およびガラス基板搬送用ハンドは基板を支持
するピンあるいは吸盤を有し、支点がガラス基板と共通
の中心を有し、各辺の長さが基板の各辺の長さの略５６
％である長方形の各頂点に位置しているので、基板の撓
み量が最小になり、カセットに収める場合や搬送する場
合の出し入れが容易であり、搬送中にパターンに悪影響
を及ぼすことがないなど優れた効果を有する。
【図１】本発明のガラス基板の支持構造を示す斜視図で
ある。
ある。
【図２】一様な荷重の梁を２点支持した場合の撓みの説
明図である。
明図である。
【図３】ガラス基板搬送用ハンドの平面図である。
【図４】吸盤の断面図である。
【図５】カセットの斜視図である。
【図６】基板搬送用ロボットの平面図である。
１ 基板 ２ ピン ３ 長方形 ４ ガラス基板搬送用ハンド ５ 吸盤
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3C016 BA03 EA01 3F061 AA01 CA01 CB05 CB12 CC00 CC03 DB04 DB06
Claims (2)
- 【請求項１】 長方形のガラス基板をピンにより水平に
４点支持するガラス基板の支持構造であって、上記ピン
はガラス基板と共通の中心を有し各辺の長さが基板の各
辺の長さの略５６％である長方形の各頂点に位置してい
ることを特徴とするガラス基板の支持構造。 - 【請求項２】 長方形のガラス基板を水平に把持して移
送する基板搬送用ロボットに使用される基板搬送用ハン
ドであって、該基板搬送用ハンドは上面に基板を吸着し
て把持する吸盤を有しており、該吸盤はガラス基板と共
通の中心を有し各辺の長さが基板の各辺の長さの略５６
％である長方形の各頂点に位置していることを特徴とす
るガラス基板搬送用ハンド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10226991A JP2000053246A (ja) | 1998-08-11 | 1998-08-11 | ガラス基板の支持構造およびガラス基板搬送用ハンド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10226991A JP2000053246A (ja) | 1998-08-11 | 1998-08-11 | ガラス基板の支持構造およびガラス基板搬送用ハンド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000053246A true JP2000053246A (ja) | 2000-02-22 |
Family
ID=16853807
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10226991A Pending JP2000053246A (ja) | 1998-08-11 | 1998-08-11 | ガラス基板の支持構造およびガラス基板搬送用ハンド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000053246A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004113205A1 (ja) * | 2003-06-19 | 2004-12-29 | Rorze Corporation | 薄板支持体 |
| JP2014511023A (ja) * | 2011-02-04 | 2014-05-01 | ザ・ボーイング・カンパニー | 太陽光集光器フレーム |
| CN112591464A (zh) * | 2020-12-16 | 2021-04-02 | 尚大(苏州)智能制造研究院有限公司 | 一种机器人搬运用机械手臂及搬运方法 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06247507A (ja) * | 1993-02-26 | 1994-09-06 | Tokyo Electron Yamanashi Kk | 搬送アーム |
| JPH08143147A (ja) * | 1994-11-18 | 1996-06-04 | Metsukusu:Kk | 薄板状ワークの吸着装置 |
| JPH08208003A (ja) * | 1995-01-31 | 1996-08-13 | Canon Inc | 基板搬送用フィンガ |
| JPH1095529A (ja) * | 1996-09-20 | 1998-04-14 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板搬送方法および基板搬送装置 |
| JPH11188681A (ja) * | 1997-12-24 | 1999-07-13 | Canon Inc | 基板搬送用ハンド及びその吸着機構 |
-
1998
- 1998-08-11 JP JP10226991A patent/JP2000053246A/ja active Pending
Patent Citations (5)
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050714 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080911 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080916 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081107 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090127 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090602 |