WO2004113205A1 - 薄板支持体 - Google Patents

Description

明 細 書 薄板支持体 技術分野

こ の発明は、 自重によつてたわむ薄板状物力 ネ¾数の支持部 材上に載置される台状体ヽ 板状体 、 棒状体あるいは 、 _れらの 組み合わせ体に関する。 さ らに詳しく は、 ガラス板 、 プラス チック板な どを水平に載置するための仮置き台、 これらを収 納するカセ ッ ト、 またこれら ^4板を機械を用いて搬送する際 に、 それらの薄板状物が載置されて支持する フォ ク状のェ ン ドェフエク タ （ロボッ 卜ハン ド ) に関する ものであ o 背景技術

近年、 液晶表示装置、 プラズマディ スプレイ 、 プラズマ駆 動液晶表示装置等に用いられるガラス基板は、 表示装置その ものの大型化と と もに、 多数枚取り によ る生産性向上のため に、 大面積化してきている o これらガラス基板は塵埃を嫌う ためなるベく 当接面の小さレ、部材で支持しなければな らない。 加えて軽量化のために 0 • 7 〜 0 . 4 m mへと薄肉化してき てお り 、 水平状態でこれをピンなどの支持部材に載置して部 分的に支持する と 自重でたわみ、 その支持には種 の工夫が なされている。

たと えば特開平 9 一 8 0 4 0 4号公報には、 ガラス基板を 載置する広いス テージ面に 、 その周辺部だけでな < 中心部付 近にも真空吸着 ロ を設けて、 ス テー シ中心部 けるガラス 基板の浮さ上が り を防止する こ と でガラ ス基板を平面上に確 実に固定しよ う とする方法が提案されている 。 しかし、 こ の 文献には 、 ガラス基板よ り ステー ン面カ /_[ヽ さ い場ム

P のガラ ス 板のたわみを琅小限に しよ う と い う 思想は記述されていない。 また 、 特開平 1 0 - 1 0 9 7 5 1 号公報には、 ガラ ス基板 载置用ェン ドエフ ク タ の幅をガラ ス基板収納用力セ ッ ト の 内側の基板支持ポケ ッ 卜 の先端に接触 しなレ、程度に大き く し てガラス 板の一辺の長さ に近づけ、 且つ 、 ェン エフ ェ ク タ をニ股に してガラス基板が股部で垂れ下がつ てもエン ドェ フ エ ク タ の基部に接角虫しなレヽよ う に工夫しているが 、 ガラス 基板の れ下が り を防止する方法は提案 してレヽない ο 一方 、 ガラス基板を多数枚収納するカセ ク ト に いてもガ ラ ス板のたわみは大き な問題で、 近年開発 されている一辺が

1 0 0 0 m mカゝら 2 0 0 0 m mを越 るガラス基板用の大型 カセ ッ 卜 では、. その左右の内部側面に設ける小さ なポケ ッ ト ではな < 、 図 3 のカセ V 5 に示すよ う に 、 左右の内部側面

\ BXけ られる基板支持のため の基部 と して 、 水平に取 り 付け られ長さ が 2 0 0 m mを越える櫛歯状の ピン 5 1 を持つ支持 体を内側に向け " ¾. した り 、 また、 特開平 1 1 一 3 5 0 8

9 号公報に開 TJ された力セ ッ ト のよ う に、 ガラス板の幅方向 に棒状体を渡 して棒上部の中央部を含む複数箇所に支持ピン を設ける な ど、 たわみを抑える工夫を してレ、 o こ のよ なガフ ス板の大型化に対 しては も はや前記特開 平 1 0 1 0 9 7 5 1 公報に記载の よ う に载置用ェン ドエフ ェ ク タ 1 (図 1 6 ) の様に 単に二股にするだけでは対処で

· - き ない 台

状 と なつた。 こ に 図中符号 6 はガラス基板、 1

1 はェン ェフ ェ ク タ の主部 1 4 は合成コ.ム製支持部材、

1 5 は樹脂製支持部材 2 1 はロ ボ ッ ト ァ ムをそれぞれ示

また 大开 力セ ッ 卜 の種類によ つては、 目 G特開平 1 1

3 5 0 8 9 号公報の 合は勿論、 目 IJ記櫛歯状の ピンを持つ基 板支持のための基部がカセ ッ ト 内部側面の左右のみな らず奥 の面と い ョu

にも け られたものがめ り 、 前記特開平 9 ― 8 0

4 0 4公報に記载された平板状のステ ジをェン ドエ フ ェ ク タ と して用レ、たのではその奥の ピンに干渉する ばか り でな く 、 特開平 1 1 ― 3 5 0 8 9 号公報に開示された力セ ッ 卜 では中 央付近の支持ピン (基部に相当） に当たってガラス基板を奥 まで揷入でさ ないな どの不都合が生 じる。 さ ら に 、 ガラス基 板の大型化によ る重虽増加の影響を軽減するためには ェン ドエフェク タ 自 体の重量の軽減も望まれている 発明の開示

本願の発明者は、 自 重によ つてたわむ薄板力 される 板 支持体であって、 複数の支持部材と これら を上部に備える基 部 と からなる薄板支持体において、 iu記薄板が複 の山部を 形成してたわむよ フ に配置された支持部材とヽ 板のた わみ量を減少させる手段と を有する こ と によつて 、 その薄板 のたわみ量を大幅に減少させる こ と ができ る と レ、 う こ と を見 出し、 本発明に つた o 前記特開平 1 0 一 1 0 9 7 5 1 に提案される様に、 ガラス 基板などの薄板を谷部が 1 つ 、 または山部が 1 つと なる よ う にたわませるのではな < 、 本発明者らは、 薄板に複数の山部 を形成させる こ と によ Ό 、 山部の髙さ 、 即ち 、 たわみ量を小 さ く する こ と ができ る こ と を兄出 し、 さ らに 、 複数の山部の 高さ を小さ く するための手段 、 即ち、 刖 己薄板のたわみ量を 減少させる手段を見出した ο まず、 複数の山部を形成させるには 、 例えば間隔が 6 0 c m程度の体 fe¾用平行棒の上に 1 m平方ヽ J子さ 1 m m程度のプ ラ スチッ ク板を置 < と 自重でたわんでふた山を形成する o ガ ラ ス基板な ど剛性の高い材料でも薄い場合は 、 特開平 1 1 一

3 5 0 8 9号公報の図 1 に提案される力セ ク 卜のよ う に、 同 じ高さの 9本 ALてた棒材上に収納する と、 山部が 9個または 尾根部 3個を形成してたわむ 。 本発明は、 このよ う に複数の 山部等を形成して白重でたわむ薄板に 、 さ らにたわみ量を減 少させる手段を施してなるベく 薄板を平坦に保つこ とのでさ る支持体を提供しよ する も のである 0 み _¾

tu記たわ を減少させ 一

る手段と しての つは 板支持 体の 準水平面から支持部材の頂部がヽ なる咼さになる に複数の支持部材を配置する こ とである 。 例えば、 山部の 頂上部、 斜面部、 谷部を支持する部材の頂部高さ を変える こ と によ り 、 複数の山部を形成させる。 こ ですベての高さ を 支持する必要はなく 、 ガラス基板などの薄板はある程度の剛 性があるため、 例えば 、 刖 面部のみを単数または複数の 支持部材で支持する とい う 手段もある のと き 、 支持部材 の頂部は 、 薄板の傾斜にそつて傾斜させても よい で基 準水平面は 、 複数ある支持部材の頂部の高さ を定めるための 一 、

定の水平面であれば 、 刖記基部の上部面または下部面な ど の基部の一部を含む水平面でも よいしヽ 或いは基部取 り 付け 部の一部を含む水平面など 、 任 Mに某 面 ^ PX する こ とが でさ る。 本発明では薄板がなす山部は複数あれば形状には制限はな い。 例えば 、 整列した複数の独立峰型の薄板の山部を形成さ せるために 、 支持部材を各山部の頂部を支持する よ う に整列 して配置する。 また、 山部の一種である複数の直線状の尾根 部からなる波板状の山部群を形成させるためには、 複数ある 尾根部を支持するためにヽ 支持部材を列状に配置し列上での 支持部材間隔を列間よ り 広く する。 或いは水面の円形波紋状 型の円形尾根部群を形成させるためには、 支持部材を同心円 状に配置し 、 各円周上の支持部材間隔を各円 間よ り 広く す ればよい。

尾根部が複数の場合、 れが 3 以上であれば大面積の薄板 でもたわみを小さ く する こ と がでさ好ま しい。 尚、 直線状の 尾根部を形成させる方向はヽ 基部を一方向から見て平行、 或 いは直交、 斜交するなど任 HX定してよい。

本発明の支持部材は 点状 3 p¾

|i e口raまたは小さい面積で薄板を 支える部品である。 その形状はボタ ン状、 円柱状、 半球状 、 角板状 、 横長棒片、 或レ、は 、 m. iLした棒状物の上に前記のボ タ ン状 、 半球状などの任 の支持部材 設する こ と もでき る 0 ~~の支持部材は、 単に薄板を載置するための小さな台で あつてあ よいし、 一部に 吸引 P を設けても よい。 m 己たわみ量を減少させる手段が 、 1 つの尾根部を複数列 に配置された支持部材群で る こ と を特徴とする こ とができ る こで複数列と は 、 支持部材が 、 平行線上にあっても よ い し小さい角度をなす直線上にめつても よい し、 また、 ゆる い複数の曲線上に配列されて も よレ、 o こ の場合、 たわみ量を さ らに減少させる手段と して 、 1 つの尾根部を支える支持部 材の複数列の間隔を広げて 、 尾根の高さ を下げる支持部材の 配置をする こ と ができ る o こ こで支持部材は、 列間で隣あつ て配置されても よいしヽ 交互に配置されても よい し、 同列上 で等間隔であつても異なつた間隔でも よい 0 また 、 冃 U記たわみ量を減少させる手段が 、 複数列の う ちの レ、ずれかの支持部材の頂部が他列のそれよ り 高く ても よいし 同 じであって よい。 特にふた山の尾根部を形成させ薄板の 側辺部が垂れ下が り すぎる場合は薄板支持用基部上にある 2 列の支持部材の つ ち列方向の最も外側列に位置する支持部材 を高く するか 逆に谷間部が低すぎる場合は外側支持部を低

< し内側支持部を高く し谷間部を浅く する手段、 |pj じ列上で あつても列の始め部分と終わ り 部分のいずれ力 或レ、は双方を 高く して刖 れと後ろ垂れのいずれか或いは双方のたわみ量 を減少させる手段 、 薄板の厚さやたわみ状態に応じて支持部 材の高さ を任思に変える と のでき る支持部材駆動手段、 支 持部材の頂部に角度つけて薄板の傾斜角度に合せる手段な ど を施すこ とがでさ また 目 IJ 己支持部材の間に少な 'く と も 1 つに吸 手段を持 たせる · - こ と もでき る れによ り 強制的に薄板を支持部材に 引きつけてガラス板の浮さ を防止する こ と ができ る 。 特に支 持部材が同 じ高さの場 薄板を 2列の支持部材間に吸着手 段つき支持部材を配設して引き付ければ 、 尾根部の頂上部の 高さ を押さ え 谷間部の高さ をあげる作用が働き たわみを 少なく する こ と ができて好ま しい。 さ らに 目 U記たわみ量を減少させる手段は、 前記尾根部を 支持し 且つ 、 尾根方向に直交する方向に配置され 、 尾根幅 に比 て小さい棒片状の支持部材とする こ と も でき る。 こ の 棒片状の支持部材の頂面は水平であつても、 尾根部をなす薄 板の裏曲面にあわせても よい 。 即ち、 刖記の棒片状の支持部 材の上面は たわんで傾斜している薄板の裏面にあわせて傾 斜させる _ と もでさ る 刖述のよ つ な手段によ つて薄板にネ复数の山部或いは尾根部 の高低差を小さ く した薄板支持体は 搬送機用 フオーク状ェ ン ドエフェ ク タ と して利用でさ る フ才 ク状ェン ドエフ エ ク タ が有する基部の数は 2 ない し 3 以上であつて 、 それぞれ の基部が同一平面上に配置されて よい し なつた高さ の平 面上に 13 されても よい また 、 ェン ドエフェ ク タ の基部が 3 以上の場 Π は、 それ ら の内の少な < と 1 つは支持部材が 1 列であつてあ よ く 、 こ の支持部材の作用は単なる ftさ であつ て も 置き台であつ て且つ吸着手段を有 して も よい ·>- o こ でェン ド'ェフ エク タ の 基部は •pc板状 、 角棒状 丸棒状 角パィ プ状 丸パイ プ状な どであつて 先端と根元 と で太さが じであつてあ、 って も よい o 図 1 6 に示 した比較例は、 内側両側面に薄板支持体の櫛歯 状ピン 5 1 が長く 横に突出 して BXけ られている大型のガラス 基板用力セ. 卜 5 と 従来の V字状ェン Kェフ ェ ク タ と の組 み合わせよ に、 ェン ド、ェフ ェ ク タ の 2 つの基部外側間の距 離を必要充分に広げる こ と がでさ ないため ガラス基板はこ れに载置される と 図 4 ( c ) の よ ラ に 1 つの尾根部を形成 し てたわむ。 これに対 し本願の発明者は それ らのェン ド'ェェ ク タ の基 部の側部の少な < と も 方に複 の薄板支持用水平方向突部 を設ける と に よ り 、 れと基部 と の上に支持部材を列状に 酉己置する こ と に よ り ヽ 複数の低レ、高 さ の尾根状のたわみを発 現させる こ と に成功 し 、 新規な薄板搬送用ェン ドエフ エ ク タ を開発する こ と ができた 。 さ ら に 、 この水平方向突起部の長 さ を力セ ッ ト の大さ さ に合わせて調節する こ と は、 たわみ X. を減少させる手段と して有効であ ■0。 こ で 記水平方向突起部は 、 目 IJ記ェン ド、ェフ エ ク タ が薄 板収納用力セ ッ 卜 内に揷入され薄板を載置される位置に停止 した際にヽ 水平方向突起部の長手方向長さ が薄板収納用力セ ッ 卜 内の水平面内での複数の櫛歯状ピン間距離よ り 十分小 さ

< 、 且つ 、 m記水平方向突起部の厚み力 ^s前記力セ ッ ト の棚段 間距離に比ベて充分に小さレヽこ と が好ま しレ、 。 これによ つて、 ェン ド、工フェ ク タが力セ ッ 卜 内を 自 由 に移動でき、 たわみの 少なレ、大型薄板を支障な < 、 力セ ッ 卜や処理室への搬入搬出 がでさ る よ う になつた o こ こで 記薄板支持用水平方向突部 は、 ェフ ェ ク タ基部の上部表面高 さ と 同一面をな しても よい し、 ェフ 工 ク タ基部の上に小型の板片を取 り 付けたも のでも よい 次に 、 本願の発明者ら は、 本発明のェン ェフ エ ク タ を一 部品 と してヽ ³ ンピュ一タ を持つ通常の薄板搬送用 ロ ボ ッ 卜 に搭載する事に よ り 、 軌道演算手段及び駆動手段と しての コ ンピュ一タ と 、 位置を検出するセンサを用レ、ヽ 自 赏によ つて たわむ 板を大型カセ ク 卜の内面や他のガラス 板に 触さ せず、 且つ 、 目 的場所に搬送載置する よ 5 に ェン ェフェ ク タの軌 を制御し、 つて大型の薄板を搬送して 種 に 処理、 加ェする薄板加ェシステムをも実現した o 本発明のェ

1

ン ドエェク タ を搭載する搬送機は 、 刖 ボ V 卜に限らず 多関節 Πボッ ト、 ァ一ム搬送機、 =1 ンべァ式搬送機等 自重 によつてたわむ薄板を搬送する機械すべてに応用する こ と が でき る o

本発明においては、 記薄板支持用水平方向突部の上面の みな らず ェ ン ドエ フ ェク タ上の必要な場所に コ ム製の支 持部材と プラ ス チ ッ ク ス製の支持部材と のレ、ずれか或レ、は双 方を配置して前記支持部材と しても よい o また 真空吸着 P を有する支持部材を複数配置する こ と によ り m記薄板をェ ン ドエフェク タ に固定した り 、 たわみの発現状 ISを制御して も よレ、 0

また 本発明のェン ド、ェフェク タは水平に保つて薄板を搭 載するのを常態とするが 搬送中は、 薄板が風に煽られるの を避けるため、 搬送方向刖方側を若干低 < する こ とが好ま し い。 また 公知の手段によつて薄板を吸着してェン ド'ェフェ ク タに固 Atすれば、 薄板を 直に保持した り 反転させても よい。 本発明の薄板支持体と して他の例に、 4板を 1 枚 と少な く と も 1 つの棚段に載置して収納する力セ ッ トがある。 すな わち 刖 S己の複数列に配置した支持部材、 または前記の棒状 の支持部材を てて 、 基部である梁または平板上に設け、 本 発明の手段によつて 、 薄板に複数の山部または尾根部を形成 させ たわみ量を少なく させる。 こで、 尾根部を形成させ る場 Π その方向は、 、■(4板が出入する方向に直交であっても平 行でめつても斜行しても よレ、 薄板が、 複数列上に配置され た支持部材に載置されて複数の尾根部を形成してたわむ状態 は、 実験によつて観察、 測定するのが好ま しいが、 材料力学 的計算によつて P i 昇して求めても よい。 本発明の薄板支持体がェン ドェフェク タである場合は、 大 型で重息

里物を载置して機敏に搬送する必要力 ^Sあるため、 主に 灰素繊維強化材料等比弾性率の高レ、材料を使用 して形成する こ とが好ま しく 、 さ らに、 炭素繊維の中で m 比弾性率の 高いピクチ系炭素繊維を用いる こ とが好ま しい。 様に、 本 発明の薄板支持体が薄板収納用力セッ 卜である場 a も、 多数 のガラス板を収納したカセ ッ ト を搬送するため軽里高強度で ある u記炭素繊維強化材料やガラス繊維強化材料を用いる こ と が好ま しい。 また 、 軽量化するためにこれら繊維強化材料 をパイプ状に力 Gェして用レヽる こ と が好ま しい。 また 、 支持部 材と しては 、 ¾¾質や針脂製支持部材 合成ゴム製支持部材、 吸 着口 を持つ支持部材などがある なお 本発明にい う薄板と は 液日日お示用ガラス基板のみ な らず、 プラ スチッ ク ス基板、 プフズマテ ィ スプレィ用ガフ ス基板、 プラズマ駆動液晶表示用ガラス基板、 有機ェ レク 卜 ロ ノレ ミ ネ ッセ ンス表示器用ガラ ス基板、 機ェ レク 卜 Π ノレミ ネ ッ セ ンス表示器用ガラ ス基板や金属板な ど、 自 重に よつて たわむ公知の薄板を示す。 図面の簡単な説明

図 1 は、 本発明の薄板支持体であるェ ン ドエフ エ ク タ を有 する搬送機、 及び、 本発明の薄板支持体である ガラス基板収 納用カセ ッ ト を備えた薄板加工システムの一例である。

図 2 は、 本発明の一実施例でエン ドエフヱ ク タ を、 ガラス 基板が収納 されたカセ ッ ト に揷入した状態で示す平面図であ る。 ，

図 3 は、 本発明の他の一実施例でエン ドェフエ ク タ を、 ガラ ス基板が収納されたカセ ッ ト に揷入した状態で示す平面図で ある。

図 4 ( a ) および ( ) は、 本 明のェン ドエフ ヱ ク タ に よ つてそれぞれガラス基板を水平に支持した状態を示す垂直断 面図であ 、 （ c ) は、 2 本のェン ドエフェ ク タ の基部間隔が 狭いェン ドエフエク タ によ り ガラ ス基板を支持 した比較例の 垂直断面図である o 図 5 は、 本発明の支持部材を用いた一実施例のェ ン ドエフ ェ ク タ の断面図で （ a ) は基部が 3 本の場合、 （ b ) は基部が 4 本の場合である。 図 6 は、本発明の一実施例のェン ドエフエ ク タ の断面図で、 支持部材の種類およびそれ らの配列を変えた例である。

図 7 は、 本発明の支持体において、 中列に吸着口 をもつ支 持部材と 両側に 2 列の支持部材を配置した各種基部の断面図 で、 （ a ) は基部が各棒、 （ b ) は基部が角パイ プ、 （ c ) は基 部が H型材料の例である。

図 8 は 、 本発明の支持体において、 中列に樹脂製支持部材 と 両側に 2 列の合成ゴム製支持部材を配置 した各種基部の断 面図で ( d ). は C型材料、 （ e ) 支持部材を具えた板片を持 つ角ノ ィ プ、 （ f ) は吸着を も ち且つ傾斜した頂部の支持部材 を具えた例である。

図 9 は 、 本発明の 2 本の基部を持つェン ドェフエ ク タ に、 高い支持部材と低い支持部材と を設けて左右側辺の垂れ下が り を少な く したガラス板を載置した例の斜視図である。

図 1 0 は、 本発明の 2 本の基部を持つェン ドエフユ ク タ の 斜視図で 、 高 さ の異なる 2 列の支持部材を備えた板片付き角 パィ プを基部とする例である。

図 1 1 は、 本発明のエン ドェフエ ク タが、 従来の櫛歯状基 部を有するガラス基板収納用力セ ッ ト 内でガラ ス基板を支持 している状態を示す断面図であ

図 1 2 は、 本発明のカセ ッ ト の一例を示す斜視図である。 図 1 3 は、 図 1 2 のカセ ッ ト の断面図で、 ガラス基板を収 納 している例である。

図 1 4 は、 本発明のガラ ス基板収納用カセ ッ ト の他の ί列の 斜視図である。 図 1 5 は、 奥に櫛歯状に複数の基部を有する本 明のガラ ス基板収納用カセ ッ ト の立面図である

図 1 6 は、 従来のエン ドェフエ ク タ と従来の大型の力セ ッ 卜 と の組み合わせた例の平面図である 発明を実施するための最良の実施形態

以下に、 本発明の最良の実施形態の例を 、 図 1 から図 1 5 匕

に基づいて説明する。 なお、 以下の実施形 は本願発明の範 囲を限定する も のではない。 即ち当業者であれば本願発明の 原理の範囲で、 他の実施形態を採用する こ と が可能であ 図 1 は、 本発明の薄板加工シス テムの一例 と してのヽ 液晶 板の化学処理シス テ ムを示す。 こ の実施例の加 X処理シス テムでは、 エ ン ドェフ エ ク タ 1 をァーム 2 1 にハン Kと して 搭載したロ ボッ ト型搬送機 2 が、 薄板でめるガラス基板 6 を 力セ ッ ト 5 から取 り 出 して現像な どの加ェ処理装置 4 に投入 する。 次いで、 加工処理終了後、 ロ ボク 卜型搬送機 2 が 、 ガ ラス基板 6 を加工装置 4 か ら取 り 出 して力セ V 卜 5 に返送し 力セ ッ ト 7 内の棚段に載置する。 尚、 >- の力セ ク 卜 は図 1 2 記載の本発明の薄板支持体である。 図 2 は、本発明の薄板搬送用ェン ドェフェ ク タ の一実施例 で 、 水平方向突部 1 2 を持つエ ン ドェフェ ク タ 1 を 、 力セ ッ 卜 5 内でガラ ス基板の下に挿入 した状態を示す平面図である

2 本の基部 1 1 はそれぞれ長尺状のほぼ長方形に成形し 、 そ れらの基部 1 1 の外側部に水平方向突部 1 2 をそれぞれ 5個 ずつ設けた。 各基部 1 1 の表面には ム

、 成ゴム製の支持部材

1 4 を各水平方向突部 1 2 に 1 個づつヽ 基部 1 1 の内側部に 樹脂製の支持部材 1 5 を 3 個 直 吸着 P 1 3 を 2個取り 付 け、 また各ェフェク タ主部 1 1 (D根兀には 力セ V ト 5ゃガ ラ ス基板 6 を検出するためのセ ンサ 1 7 ( こ の例では反射型 セ ンサ） を 1 個取 り 付けた 0 1口 J じ高さにある 2 つの基部 1 1 の上部表面を基準面とする とヽ 各支持部材 1 3 1 4 , 1 5 の高さはすべて同じである

本実施例の前に、櫛歯状ピン 5 1 が長レ、大型の力セ ッ 卜 5 に 適合させるために 、 2 つの長方形の基部 1 1 のみに支持部材

1 4や 1 5 を酉己 してガラス基板をェン ド、ェ フェク タ 1 に載 置しても図 4 ( c ) の様に一山に しかな らなかつたが、 支持 部材 1 4 を具えた水平方向突部 1 2 を BXけ 櫛歯状ピン 5 1 の先端よ り 奥まで突出させ · - る と によつて 、 支持部材 1 4 の 列と支持部材 1 5 と 1 3 の列の上にガラス基板が 2 つの尾根 部を形成してたわみ、 たわみ里は大幅に減少した o

尚、水平方向突部 1 2 と櫛歯状ピン 5 1 と は同じ高さでは干 渉しあ う の でヽ ェン ドェフェク タ 1 を力セ V 卜 5 に揷入する 場合は、 上下方向にある m状ピン 5 1 の間に揷入して賴!] 状ピン 5 1 の水平方向の間に停止 し 次に上に移動させてガ ラ ス基板を持ち上げる o こ の载置動作によつてヽ 力セ ッ 卜 5 の櫛歯状ピ ン 5 1 上で中央部が谷状にたわんだガラス基板が、 ェ ン ドエフ エク タの基部 1 1 上で低レ、尾根部を形成 して大幅 にたわみ量が減少し、 見た 目 にはフラ ク h状になる 。 ガラス 基板をカセ ッ ト から抜き 出すと き は、 上下方向にある櫛歯状 ピン 5 1 の間をエン ドェフ エ ク タ 1 が水平移動する。 ガラス 基板をカセ ッ ト に揷入する と き は、 こ の動作の逆を行えばよ レ、。 図 2 に示す実施例の具体例 と して、 カセ ッ ト 5 にガラス基 板 6 を収納する ためのェン ドエフエ ク タ 1 を下記寸法で設計 制作した。 材料はピッチ系炭素繊維複合材料である。

くカセ ッ ト 5 の内側寸法 >

間 口 1 1 2 6 m m X高さ 9 0 O m m X奥行き 1 3 0 O m m、 く基板支持体の櫛歯状ピン 5 1 の寸法と数 >

櫛歯状ピ ン ： 長 さ 2 3 3 m m X幅 1 5 m m X高 さ 1 4 m mの ピン 2 4本、 先端に合成ゴム製のキャ ップあ り 。

各櫛歯状ピ ンの間隔 （内寸） ： 2 2 m m、

基板支持体 ： 1 1 セ ッ ト を両横内面及び奥内面に縦に して配 列設置、

く液晶表示器用ガラス基板 >

寸法.： 横 1 1 0 O m m X縦 1 2 5 O m m X厚み 0 . 6 m m、 カセ ッ ト 内での下方たわみ ： 1 3 m m

< エ ン ドェ フ エ ク タ >

基部 1 1 ： 幅 5 4 m m X厚み 1 O m m X長さ 1 0 3 7 m m、 2 本、

水平方向突部 1 2 ： 幅 3 O m m X長さ 2 8 m m X厚み 5 m m、 エ ン ドェ フ エ ク タ根元部 ： 幅 6 4 O m m X奥行き約 3 0 0 m m、 2 つの 部の内側間隔 ： 4 5 6 m mに平行配置 o

<支持部材の配置 >

配置位置は図 2 に示す。 合成ゴム製支持部材 1 4 、 合成樹 脂製支持部材 1 5 、 真空吸引 口 を持つ吸着支持部材 1 3 を配 置し 、 またエフェク タ根元部にセンサ 1 7 を設 した。

ェフェク タ基部内側支持部材列間 : 4 7 2 m m 、

2つのェフ ク タ基部外側 (水平方向突部上） 支持部材列間 距離 6 0 8 m m o

、

刖記寸法の、 図 2 に示す実施例のェ ン ドエ フ ェク タ 1 用 いてその中央部に 記ガラス基板 6 を支持する と、 図 2 ( b ) に示すよ う にガラス基板 6 はふた山状にたわみ 、 最頂部と最 低部の高低差 h b は 4 . 3 m mでめつ に。 尚、 エ ン ドェ フ ェ ク タ 1 自体のたわみは 3 . 1 m mで、 合計 7 . 5 m mでめ り 、 力セ 卜 5 の上下の ¼1歯状ピン 5 1 間の 2 2 m mの間隙に対 してヽ 水平突起部 1 2 は、 ガラス基板 6 を載置してこれら ピ ンを支障なく かわしてガラス基板 6 を搬入搬出する こ とがで きた 0

<比較例 >

図 2 にぉレ、てヽ 水平突起部 1 2 を設けないで基部 1 1 上の 外側に支持部材 1 4 を移し [2f3不しなぃェ ン ドエフエク タ を製 作した o 従って 2 つの基部 1 1 の外側に支持部材 1 4 力 ^s並 ぶ列の 1 隔が小さ < な り 5 5 2 m である。 ガラ ス基板 6 を これに載置した と ろ図 4 ( c ) に示すよ う なひと 山にたわ み、 支持部材 1 5 の位置では浮さ上が り 、 最頂部と最低部の 高低差 h c は 3 9 m mでヽ ェン ドェフェ ク タ 1 自 体のたわみ は 3 . 8 m mであつた ο 従つ て、 上下の ピン 5 1 間は 2 2 m mであるから力セ V 卜 5 への搬入出がでさ ない 果と なつた かく して 上記実施例 と 比較例 と の結果から明 らかなよ つ に 本実施例のェン ド、ェフ ェ ク タ を用いる こ と によ り 、 ガラ ス基板 6 のたわみを 3 9 m mか ら 4 . 3 m mへと 、 ほぼ 9 分 の 1 に減少 させる と ができ た。 また、 大型の力セ ッ ト に さ ら に多数毎のガラス基板 6 を収納でき るため、 液日日 / 器の 生産性向上と ス 卜 ダク ンに貢献する こ と がでさ る よ う にな つた 0 図 3 に示す実施例は 力セ ッ 卜 5 内のガラス基板支持用の 基部である櫛歯状支持ピ ン 5 1 が 長方形のエ ン ドェ フ 工 ク タ 1 の 2 つの基部 1 1 上に設けた合成ゴム製の支持部材

1 4 の列 と 樹脂製支持部材 1 5 と 吸着 P付き支持部材 1 3 からなる列の上に ガラ ス基板 6 は尾根部を形成 してふた山 状にたわんだ例である o こ のェン Kェフェ ク タ 1 によ つて も ガラス基板のたわみはひと 山の場 α に比ベて大幅に減少 した のである ο 図 4 ( a ) 及ぴ ( b ) は 、 本発明の実施例のェン ドエ フ ェ ク タ 1 を水平に してそれぞれガラ ス基板 6 を支持 した状態を示 す ¾·断面図であ り 、 ガラス基板 6 は低レ 、ふた山状にたわみ、 高低差 h a h b は 比較例である 図 4 ( c ) の高低差 h c よ り 何れも小さい o ^ ~ ^ ~では図 4 ( b ) に、 2 で示したェ ン Kェフェク タ 1 の延在方向に直角な断面図でヽ ェン ド、ェフ ェ ク タの基部 1 1 と そ の上の じ高さの支持部材 1 4 1 5 上に載置したガラス基板 6 がふた山状にたわんでいる状 mヽを 示す 。 図 4 ( a ) の断面図はヽ 2 つの基部 1 1 の外側に け た水平突起部 1 2上に高レ、支持部材 1 6 の列と基部 1 1 の内 側に BXり た低い支持部材 1 8 の列によつてガラス基板はふた 山を形成してたわんでいる状態を示す o 図 4 の ( a ) の場 o はヽ 支持部材の高さ をかえる とい う本発明のたわみを減少さ せる手段によつて 、 （ b ) の場合よ り いつそ 高低差が小さ < な り n a < h b とする こ と ができた 0

図 5 は 、 本発明の複数の基部 1 1 にガラス 板を した 薄板支持体の例で、 基部 1 1 の延在方向に直角な断面図であ る。 図 5 ( a )は、エン ドェフェク タ 1 3本の基部 1 1 からな る例であ り 、 図 5 ( b )は基部 1 1が 4本の例である o こ こでは支持 部材の高さ は一定と して基部 1 1 に取り 付け 、 基部 1 1 体

、 の高さを変えてたわみを減少させた例で、 一辺が 2 m刖後め るいはこれを越えるガラス基板を支持するために有効なも の である。

図 6 はヽ 一辺が 1 8 0 0 m mを越免るガフス板 6 を 3本の 基部 1 1 にガラス基板 6 を載置した本発明の薄板支持体のヽ 基部延在方向に直角な断面図である 0 中央部の基部 1 1 には 合成ゴム製支持部材 1 4 を 2列 じ高さ に配 し、 その間に 吸着口 を持つ支持部材 1 3 の列を同 じ高さに配置してレ、る。 こ の支持部材 1 3 は、 たわむガラス板 6 の尾根部の頂点をそ の裏から吸着して引きつけ 、頂点が高く な らない手段、即ち、 たわみを減少させる手段が施されている。 次に、 両サィ ドの 基部 1 1 には 、 外側列に通常の支持部材 1 4 を配し、 内側列 に吸着 P を持つ支持部材 1 3 の列を配置して、 その上でガラ ス基板 6 が浮き上が らないよ う に吸着して引きつけ、 |pj時に その左右の端の垂れ下 り を防止 したもので、 こ こにもたわみ を減少させる手段が施されている。 図 7 には 、 各種の本発明の基部 1 1 に支持部材 1 4 の 2つ の列と吸着口 を持つ支持部材 1 3 の列と配置した例を示す。

( a ) は基部 1 1 がムク の各棒で 、 構造が最も簡単で比重が 比較的軽 < 弾' |·生率の高いセラ ミ ッ ク材料、炭素繊維強化材料、 ガラス繊維強化材料などを使用 して製作する 。 ここで基部 1

1 は厚みが薄い板材であっても よい o

( b ) は基部 1 1 が角パイ プで 、 中が中空で軽いため大型の ェン ドエフェ ク タ用に使用 される も のである 。 材質はアルミ 二ゥム合金 、 鋼材など金属でも よいが弾性率の高い炭素繊維 強化材料などを使用 して製作する こ と が好ま しい。 角パイ プ は 、 高剛性を保ちながら軽量化でき 、 コス トダウンも可能で ある。

( c ) は基部が Η型材料で、 材質はアルミ 二ゥム合金、 鋼材 など金属でも よいが弾†生率の高いセラ ミ ッ ク材料、 炭素繊維 強化材料ヽ ガラ ス繊維強化材料などを使用 して製作する のが 好ま しく 、 軽量化にも貢献する。 図 8 には、 本発明の支持体において、 中列に樹脂製支持部 材と両側に 2列の合成ゴム製支持部材を配置した各種基部の 断面図で、 図 8 ( d ) は C型材料で、 材質はアルミ ニウム合 金、鋼材など金属でも よいが、弾性率の高いセラ ミ ック材料、 炭素繊維強化材料、 ガラ ス繊維強化材料な どを使用 して製作 するのが好ま しく 、 軽量化、 コ ス ト ダ ウ ンにも貢献する。

( e ) は支持部材 1 4 ， 1 5 を備えた板片 1 9 を持つ角パイ プの例で 、弾性率の高！/ヽセラ ミ ック材料、炭素繊維強化材料、 ガラス繊維強化材料 、 或いはこれらを組み合わせるな どして 製作するのが好ま し < 、軽量化、コ ス トダウンにも貢献する。

( f ) は 、 吸着口 を持ち且つ傾斜した頂部の支持部材 1 3 を 具えた基部 1 1 の例で 、 これは紙面方向に横長で 、 薄板の傾 斜したたわみを意図 した状態に導く のに有効であ 図 9 は 、 図 3 のェン ドエフエク タ を改良した例を示す斜視 図で、 このェン ドエフェク タの延在方向に垂直断面図である 図 4 ( a ) に相当する 。 即ち、 2つの基部 1 1 の外側に高い 支持部材 1 6 の列と基部 1 1 の内側に設けた低レ、支持部材 1

8 の列によってガラス基板をふた山状にたわませている。 こ の場合は 、 支持部材の高さ を力 える とい う本発明のたわみを 減少させる手段によつて、 図 4 の （ a )、 ( b ) を比較しての ベたよ う に、 図 3 の 合よ り いっそ う 高低差を小さ く する こ と ができた。 図 1 0 は 9 のェ ン ェ フ ェク タ を ^ ら 大型ガフ ス 板用に改良した例を示す斜視図である 即ち、 2つの 部 1

1 に板片 1 9 を 5枚づつ取 り 付け その上の外側に it)さ 5 m mの支持部材 1 6 の列と 内側に けた高さ 4 m mの低い支持 部材 1 8 の列 ( 2つの基部 えのそれぞれの支持部材 1 8 の 列間距離は 6 0 0 m ) によつてガラス基板 ¾rふた山状にた わませている の場ムは 支持部材の高さ をかえる とレ、 ラ 本発明のたわみを減少させる手段に加 X.て 1 本の基部の上 の支持部材の列間距離を大さ < して 3 0 0 m mにする とレ、 う たわみを減少させる手段によつて 図 3や図 9 の ±县 よ り レ、 つそ う 大判の 1 8 0 0 m m X 2 2 0 0 m m X 0 . D m mガラ ス板の高低差を 1 0 m m程度に少な < して載置する こ と がで きた 。 本図のェン ド、ェフェクは 図 1 2 に示す本発明の力セ ッ 卜や、 特開平 1 1 ― 3 5 0 8 9 号公報で提案してレヽる力セ

V 卜 と組み合わせて使用するこ とがでさ る 図 1 1 は、 m歯状ピン 5 1 のある力セ ッ ト 5 内で、 本発明 のェン ドエ フ ェク タ 1 にガラス基板 6 を載置した場面の ェ ン ドエ フエタ タの延在方向に直角な断面図である 。 ガラス基 板 6 は、 カセ ク 卜 5 内の中即 状ピン 5 1 上では、 中央部が谷 状に大き く たわんでレ、る のェン ド、ェフ ク タは、 2つの 基部のそれぞれ内側上部に配列した低レ、支持部材 1 8 と 外 側部に設けた水平方向突起部 1 2 の上部に配列 した高レ、支持 部材 1 6 が特徴で 図 2 の 口 に比ベてガラス基板 6 の左右 両端の れ下が り は少なく なつた 尚、 本図の例では、 支持 部材 1 6 と 1 8 の頂面は 、 尾根部が思図 した傾斜になる よ う V R 計し、 その傾斜にめわせてある 図 1 2 は 本発明の薄板支持体が 、 ガラス基板収納用力セ ッ 卜 7 である場ムの斜視図である 0 ガラス基板を図 1 2 の左 手 または右奥側から出 し入れする 力セッ ト 7 に備 ら れた基部である複数の梁 5 2 の上に支持部材の 2本ずつ 3組 が、 頭頂に樹脂製の支持部材 1 5 を けた棒材が垂直に配置 され 、 すべての梁を通して 2列ずつ 3組酉己 τΑされている 最 置したガラス基板は出 し入れ方向で梁 5 2 に直角方向に尾根 を形成させる こ と によつて、， カセ 卜内 おいてもたわみ が著しく 少な < なつた。 本図の力セ ク 卜は、 —辺力 S 1 mを越 えた Ό 、 厚みが 0 D m m以下のたわみやすいガラス基板を 収納するのに有効でめ o 0 図 1 3 は 、 本発明の薄板支持体が 、 ガラス基板収納用力セ ッ 卜 7 の場合で ガラス 板を揷入搬出する方向から見た図

1 2 の断面図である 。 棒片 5 3 上に |RJ じ高さで 2列に配置し た支持部材 1 5 上に 、 ガラ ス基板が 3つの尾根部を形成して 載置されている 0 図 1 4 は 本発明の間口 1 m lu後のガラス基板収納用力セ ッ 卜 7 の斜視図で 、 図 2 で用いた力セ ッ 卜 5 を次のよ う に改 造した 。 即ち ガラス基板 6 を載 する ¾口歯状ピン 5 1 の先 丄 に力セ V ト 中央に向力 つて下がる傾斜をつけたキャ クプ状 の本発明の支持部材 1 5 を付け 、 ftp 困:状ピン 5 1 の同 じ長さ の 2 3 3 m mと し、 奥の面中央に縦に長さ 3 5 0 m mの櫛歯 状ピン 5 1 を新たに設けた 図 1 5 は 、 奥の面の中央に縦に櫛 状ピン 5 1 を配置した 図 1 4 のガラス基板収納用力セ ク 5 の断面図である 奥の 面中央に縦に長さ 3 5 0 m mの櫛歯状ピン 5 1 を新たに け た ガラス基板のたわみ量がヽ 本発明の改良によ り ふた山に たわんでたわみ量は減少 した 図 1 6 は 来の大型の力セ ク 卜 と従来のェン ドエフェク タ と の組み合わせた比較例の平面図である こ のェ ン ド、ェ フ ェク タは幅が狭く 、 ガラス板を載置する と図 4 ( c ) のよ う にひと 山にな り 、 高低差も大さかつた 以上 、 図示例に基づき説明 したが 、 こ の発明は上述の例に 限定される も のではなく 、 特許 on求項の範囲の記載の範囲内 で 宜 更する こ とができ る

産業上の利用可能性

本願発明に れ 、 g によ り たわんで しま つ 液晶 示 用大型ガラス基板等の薄板を搬送した り 、 載置する際に 、 薄 板が複数の山部ない し尾根部を形成 してたわむよ ラ に 、 複数 の支持部材を基部上に配置する こ と によ り ヽ のたわみ量を 小さ く する こ と ができ た また 、 一つの長尺状の基部 1 1 上 に複数列の支持部材の列を ΗΧけだけでは複数の尾根部が形成 されな力 つた士县 A

部 1 1 の外側に水平方向突部 1 2 を け 、 その上に支持部材 1 4 の列を配置し、 この基部 1 1 の内 側上部に支持部材 1 3 1 5 する と 2 つの基部 1 1 上のガ ラス基板にそれぞれ尾根部が発生した 。 さ ら に 、 1 つの尾根

- 部を支持する支持部材の列間距離を広げる こ と に よ つて 、 のたわみ量を さ ら に減少 させる と もできた さ ら にヽ ネ复数の山部ない し 根部を形成する よ に支持 し たガラス基板でも 、 垂れさ が に差力 ^sある■¾县口 、 それが大さ い側に配置 した支持部材の列の高 さ をその反対側の列の支持 部材よ 高 < する と れ下が が持ち上げられ 、 高低差は 減少する。

、

辺が 2 m 刖後の大型のガフ ス基板の場 は 、 ェン ド、ェフ ェク タの ¾部を 4 本以上にする場合が多レ、が 、 本発明の外側 に突部を けたェン ドエフ エ ク タ は、 工フェ ク タ主部に水平 方向突部を ける こ と に よ り 2 本ない し 3本に減少させる こ と ができ コス 削減に寄与する こ と がでさ る またヽ 本 明の 板支持体がガラ ス基板用カセ ク 卜 であ る と き 、 ガラ ス基板のたわみ量を減少させる こ と がでさ るため 力セ ク 卜 の基部である棚段数を増やすこ と ができ 、 生産性を 向上させる こ と がでさヽ 或いは 、 棚段数が同 じな らば力セ ッ ト の高 さ を低 < せる こ と ができ 、 te 里化と と も にコス 卜 ダゥ ンが実現でさ る な •Jo 、 本願発明に係るェン ドェフ ェ ク タ に保持される薄板 は、 曰

液曰曰表示 用ガラス基板に限らずプラズマテ ィ スプレィ 用ガラス基板 、 プラスチッ ク板 、 金属板な どあ ら ゆる薄板形 状物でめつ ても い

Claims

請求の範囲

1 . 自重によってたわむ薄板が載置される薄板支持体であつ て、 複数の支持部材と これらを上部に備える少なく と も 1 つ の基部と を有する薄板支持体において、

前記薄板が複数の山部を形成してたわむよ う に配置された 支持部材と、

前記薄板のたわみ量を減少させる手段と、

を有する こ と を特徴とする薄板支持体。

2 . 前記たわみ量を減少させる手段が、 薄板支持体の基準水 平面から異なる高さに支持部材の頂部がある こ と を特徴とす る請求項 1 の薄板支持体。

3 . 前記たわみ量を減少させる手段が、 前記支持部材の前記 薄板と の当接面が水平面に対して傾斜している こ と を特徴と する請求項 1 または 2 の薄板支持体。

4 . 前記支持部材の少なく と も 1 つが吸着手段を有する こ と を特徴とする請求項 1 から 3 いずれかに記載の薄板支持体。

5 . 前記薄板が複数の尾根部を形成し、 且つ、 前記尾根部の 1 つを少なく と も 2列に配列された前記支持部材が支持して いる こ と を特徴とする請求項 1 から 4 いずれかに記載の薄板 支持体。

6 . 前記薄板が尾根部を形成し、 且つ、

前記たわみ量を減少させる手段が、 薄板支持体の基準水平面 から同 じ高さに支持部材の頂部がある こ と を特徴とする請求 項 1 の薄板支持体。

7 . 前記薄板の尾根部を 3 以上形成させる こ と を特徴とする 請求項 5 または 6 の薄板支持体。

8 . 請求項 5 から 7 いずれかにおける支持部材の少なく と も 1 つが、 吸着手段を有する こ と を特徴とする請求項 5 から 7 いずれかに記載の薄板支持体。

9 . 請求項 1 から 9 のいずれかに記載の薄板支持体が、 薄板 搬送機用エン ドェフエク タである こ と を特徴とする薄板支持 体。

1 0 . 請求項 9 のエン ドェフエ ク タを具えたこ と を特徴とす る薄板搬送用ロボッ ト。 .

1 1 . 請求項 1 から 8 のいずれかに記載の薄板支持体が、 薄 板収納用カセッ トである こ と を特徴とする薄板支持体。

1 2 . 請求項 1 から 8 いずれかに記載の薄板支持体を備えた 薄板加工システム。