CN1787954A - 薄板支撑体 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种薄板支撑体，在放置由于自重而弯曲的大型液晶显示装置用玻璃基板(6)时，用每个多列针状支撑部件(16，18)支撑大型液晶显示装置用玻璃基板(6)上产生的多个凸脊。通过放置在该薄板支撑体上，弯曲量变少。作为薄板支撑体可以是机器人的叉状末端执行器和盒子。

Description

薄板支撑体

技术领域

本发明涉及将由于自重而弯曲的薄板状物放置在多个支撑部件上的台状体、板状体、棒状体或其组合体。详细地说，涉及用于水平放置玻璃板、塑料板等的临时堆放台、容纳它们的盒子、或者用机械输送上述薄板时，该薄板状物被放置支撑的叉状末端执行器(机械手)。

背景技术

近年来，液晶显示装置、等离子显示器、等离子驱动液晶显示装置等中采用的玻璃基板在显示装置本身大型化的同时，因为根据使用多张提高生产性，也在大面积化。为了防尘，必须用接触面尽可能小的部件支撑上述玻璃基板。而且为减轻重量，壁的厚度应为0.7～0.4mm，在水平状态下，如果将其放置在针等支撑部件上部分支撑，则会由于自重而弯曲，其支撑要想很多办法。

例如，特开平9-80404号公报中公开了通过防止玻璃基板在台面中心部浮起，确保玻璃基板固定在平面上的方法，即，在放置玻璃基板的大台面上，不仅在其周边部而且在中心部附近均设有真空吸附口。但是，该文献中没有提及台面小于玻璃基板时，如何将玻璃基板的弯曲限制在最小值。

特开平10-109751号公报中公开了确定玻璃基板放置用末端执行器的宽度大小，以不接触玻璃基板容纳盒内侧的基板支撑罩的前端的程度加大，接近玻璃基板一边的长度，且末端执行器分成两股，玻璃基板即使在分叉部下垂，也不会接触末端执行器的基部，可是，并没有提出防止玻璃基板下垂的方法。

另一方面，即使在容纳多个玻璃基板的盒子中，玻璃板的弯曲也是大问题，近年来开发的一个边从1000mm到超过2000mm的玻璃基板用的大型盒子中，未在其左右内部侧面设置小盒子，如图3的盒子5所示，作为设在左右内部侧面的用于支撑基板的基部，向内侧设置支撑体，该支撑体具有水平安装的长度超过200mm的梳齿状针51，另外，象特开平11-35089号公报公开的盒子那样，沿玻璃板的宽度方向架设棒状体，在包含棒上部的中央部的多个地方设置支撑针，以抑制弯曲。

相对于上述玻璃板的大型化，如前述特开平10-109751号公报已记载的放置用末端执行器1(图16)那样，形成仅用两股无法对玻璃板进行处理的状态。这里，图中的符号6表示玻璃基板、11表示末端执行器的主体、14表示合成橡胶制成的支撑部件、15表示树脂制成的支撑部件、21表示机械手。

根据大型盒子的种类，如前述特开平11-35089号公报的情况下，不用说，带有前述梳齿状针的用于基板支撑的基部不仅在盒子内部侧面的左右，也可以设在里面，将前述特开平9-80404号公报记载的平板状台面用作末端执行器，不仅会妨碍其里面的针，而且在特开平11-35089号公报公开的盒子中，会碰到中央附近的支撑针(相当于基部)，产生玻璃基板不能插入内部的不良情况。而且，为了减轻由于玻璃基板大型化而导致重量增加所带来的影响，需要减少末端执行器自身的重量。

发明内容

本申请的发明人提出一种放置由于自重而弯曲的薄板的薄板支撑体，该薄板支撑体由多个支撑部件和上部带有上述支撑部件的基部构成，该薄板支撑体带有支撑部件和减少前述薄板弯曲量的机构，上述支撑部件按照使前述薄板形成多个凸部地弯曲的方式配置，由此可大幅度地减少薄板的弯曲量，进而完成本发明。

并不像前述特开平10-109751提出的那样使玻璃基板等的薄板弯曲形成1个凹部或1个凸部，本发明人通过在薄板上形成多个凸部，可减小凸部的高度，即弯曲量，而且，提出了减小多个凸部的高度的机构，即减小前述薄板的弯曲量的机构。

首先，为了形成多个凸部，例如要在间隔60cm左右的体操用双杠上放置1平方米、厚1mm左右的塑料板，该塑料板由于自重而弯曲成两个凸状。即使是玻璃基板等刚性强的材料，在较薄时，如特开平11-35089号公报的图1提出的盒子那样，如果放在同样高度的9根棒材上，会弯曲形成9个凸部或3个凸脊部。本发明在上述形成多个凸部等并由于自重而弯曲的薄板上进一步施加减小弯曲量的机构，可提供使薄板尽可能平坦的支撑体。

作为减少前述弯曲量的机构之一，可设置多个支撑部件，使薄板支撑体的基准水平面到支撑部件的顶部高度不同。例如，通过改变支撑凸部的顶端部、斜面部、凹部的部件的顶部高度，可形成多个凸部。此处，不必支撑全部高度，由于玻璃基板等薄板具有一定刚性，因此可以采用例如用单个或多个支撑部件仅支撑前述斜面部的机构。此时，也可以顺着薄板的倾斜而使支撑部件的顶部倾斜。此处的基准水平面如果是用于确定具有多个支撑部件顶部的高度的一定水平面，则可以任意设定基准面，可以是包含前述基部的上部面或下部面等基部的一部分的水平面，或者是包含基部安装部的一部分的水平面等。

本发明的薄板构成的凸部只要有多个则对其形状没有限制。例如，要形成整列的多个独立凸峰形的薄板凸部，可整齐排列支撑部件，以支撑各凸部的顶部。另外，要形成作为凸部的一种的由多个直线状的凸脊部构成的波浪状的凸部群，为了支撑多个凸脊部，可列状排列支撑部件，使列上的支撑部件的间隔大于列间距。或者为了形成水面的圆形波纹状的圆形凸脊部群，可同心圆状地设置支撑部件，使各圆周上的支撑部件间隔大于各圆周间距也可。

有多个凸脊部时，如果有3个以上，即使大面积的薄板，能减小弯曲量也优选。另外，形成直线状的凸脊部的方向可以任意设定，从一个方向看基部，可以平行、垂直或斜交叉等。

本发明的支撑部件是用点状部件或小面积支撑薄板的部件。其形状可以是钮扣状、圆柱状、半球状、角形板状、长方形棒片或在直立的棒状物上设置前述钮扣状、半球状等任意的支撑部件。该支撑部件可以是单纯放置薄板的小台子，也可以在一部分上设置真空吸附口。

前述减小弯曲量的机构，其特征可以是在多列上形成1个凸脊部的支撑部件群。此处所说的多列是指支撑部件可以位于平行线上，也可以位于构成小角度的直线上，另外也可以排列在平缓的多个曲线上。此时，作为进一步减小弯曲量的机构，可增大支撑1个凸脊部的支撑部件的多列之间的间隔，设置降低凸脊高度的支撑部件。此处的支撑部件可以在列间相邻设置，也可以交错设置，同一列上可以等间隔，也可以不等间隔。

前述减小弯曲量的机构，在多列中任意一列的支撑部件的顶部可以高于其它列，也可以相同。特别是要形成两个凸起的凸脊部，薄板的侧边部过度下垂时，可使薄板支撑用基部上的2列支撑部件中的位于列方向上最外侧列的支撑部件升高，或者相反地，当凹间部过低时，可施加下述机构：使外侧支撑部降低，内侧支撑部升高，使凹间部变浅的机构；或者即使同一列上，列的开始部分与终端部分之一或双方升高，减小前面下垂或后面下垂之一，或者减小二者的弯曲量的机构；或者采用可根据薄板的厚度和弯曲状态任意改变支撑部件的高度的支撑部件驱动机构；或者使支撑部件的顶部具有角度，以配合薄板的倾斜角度的机构等。

前述支撑部件之间至少一个可带有吸附机构。由此可强制地将薄板吸附在支撑部件上，防止玻璃板浮起。特别是支撑部件的高度相同时，设置在2列支撑部件之间带有吸附机构的支撑部件、吸附薄板，则可限制凸脊部顶端的高度，提升凹间部的高度，可减小弯曲，较优先。

进而，前述减小弯曲量的机构可以是棒片状的支撑部件，其支撑前述凸脊部，且设在与凸脊方向垂直的方向上，小于凸脊的宽度。该棒片状支撑部件的顶面可以是水平的，也可以配合构成凸脊部的薄板的内曲面。即，前述棒片状支撑部件的上面可配合弯曲倾斜的薄板的内面而倾斜。

采用前述机构减小薄板上多个凸部或凸脊部的高低差的薄板支撑体可用作输送机用的叉状末端执行器。叉状末端执行器带有的基部的个数为2～3个或以上，可将各基部设在同一平面上，也可以设在不同高度的平面上。

另外，末端执行器的基部有3个或以上时，其中至少一个的支撑部件可为1列，该支撑部件的作用可以是单纯的放置台，放置台也可以带有吸附机构。此处的末端执行器的基部为长板状、棱柱状、圆柱状、角管状、圆管状等，前端和末端的粗细可以相同，也可以不同。

图16示出的比较例中，薄板支撑体的梳齿状针51横向突出地设在内侧两侧面上的大型玻璃基板用盒子5与现有的V字形末端执行器组合，则不能充分增大末端执行器的2个基部外侧之间的距离，由此，玻璃基板如果放置在其上，会如图4(c)所示地弯曲形成1个凸脊部。

与此相对，本申请的发明人在上述末端执行器基部的侧部的至少一处设置多个用于支撑薄板的水平方向突起，由此支撑部件在突起和基部上排成列状，由此成功发现了多个高度较低的凸脊状弯曲，开发出了新型的薄板输送用末端执行器。进而，配合盒子的大小来调节该水平方向突起部的长度，可有效地作为减小弯曲量的机构。

前述末端执行器插入用于容纳薄板的盒子内，停在放置薄板的位置时，此处的水平方向突起部最好在长度方向的长度比在用于容纳薄板的盒子内的水平面内的多个梳齿状针之间的距离小得多，且前述水平方向突起部的厚度最好比前述盒子的板层之间的距离小得多。由此，末端执行器可在盒子内自由移动，可没有妨碍地将弯曲小的大型薄板向盒子及处理室搬入搬出。此处用于支撑前述薄板的水平方向突起部可与执行器基部的上部表面高度在同一平面上，也可以在执行器基部上安装小型的板片。

此后，本申请的发明人将本发明的末端执行器作为零件搭载在带有计算机的常用薄板输送用机器人上，由此，采用作为轨道运算机构及驱动机构的计算机、检测位置的传感器，使由于自重而弯曲的薄板不接触大型盒子的内面及其它玻璃基板，且控制末端执行器的轨道，以便输送放置在目的场所，从而输送大型薄板，实现各种处理、加工薄板的加工系统。搭载本发明的末端执行器的输送机并不仅限于前述机器人，可用于多关节机器人、长臂输送机、传送带式输送机等所有输送由于自重而弯曲的薄板的机器。

本发明中，可将橡胶制成的支撑部件和塑料制成的支撑部件之一或两者不仅设在前述用于支撑薄板的水平方向突起的上面，而且设置在末端执行器上所需的地方，作为前述支撑部件。又，通过设置多个带有真空吸附口的支撑部件，可将前述薄板固定在末端执行器上，控制弯曲的显现状况。

本发明的末端执行器以保持水平，搭载薄板为常态，但在输送途中，为了避免薄板煽风，最后将输送方向的前方侧降低一些。另外，如果用公知的机构吸附薄板，将其固定在末端执行器上，也可以垂直地保持薄板，使其翻转。

作为本发明的薄板支撑体的其它例子，还有将每个薄板放置在至少一个板层上收容的盒子。即，立起排列成前述多列的支撑部件或前述棒状的支撑部件，设在基部，即梁或平板上，采用本发明的方法，在薄板上形成多个凸部或凸脊部以减小弯曲量。此处，形成凸脊部时，其方向可以与薄板出入的方向垂直，可以与其平行或斜交叉。薄板放置在排列成多列的支撑部件上，形成多个凸脊部地弯曲状态可以通过实验来观察、测定，但也可以通过材料力学的计算求出。

本发明的薄板支撑体是末端执行器时，由于必须放置大型的重物并灵敏地输送，因此最好主要使用碳纤维强化材料等比弹性率高的材料来形成，进而，最好使用碳纤维中比弹性率高的沥青系碳纤维。同样地，本发明的薄板支撑体是用于容纳薄板的盒子时，为了搬送容纳有多个玻璃板的盒子，最好采用重量轻、强度高的前述碳纤维强化材料和玻璃纤维强化材料。而且为了减轻重量，最好将上述纤维强化材料加工成管状使用。又，作为支撑部件可以是由硬树脂制成的支撑部件、由合成橡胶制成的支撑部件、带有吸附口的支撑部件等。

本发明所述的薄板不仅是液晶显示用玻璃基板，也可以是塑料基板、等离子显示器用玻璃基板、等离子驱动液晶显示用玻璃基板、有机场致发光显示器用玻璃基板、无机场致发光显示器用玻璃基板及金属板等由于自重而弯曲的公知薄板。

附图说明

图1是带有作为本发明的薄板支撑体的末端执行器的输送机及带有作为本发明的薄板支撑体的用于容纳玻璃基板的盒子的薄板加工系统的一例。

图2是表示将本发明一个实施例的末端执行器插入容纳有玻璃基板的盒子中的状态的俯视图。

图3是表示将本发明另一个实施例的末端执行器插入容纳有玻璃基板的盒子中的状态的俯视图。

图4(a)和图4(b)是表示用本发明的末端执行器水平支撑各玻璃基板的状态的垂直剖面图，图4(c)是用2个末端执行器的基部间隔小的末端执行器支撑玻璃基板的比较例的垂直剖面图。

图5是采用本发明的支撑部件的一个实施例的末端执行器的剖面图，图5(a)表示3个基部的情况，图5(b)表示4个基部的情况。

图6是本发明一个实施例的末端执行器的剖面图，是改变支撑部件的种类及其排列的例子。

图7是本发明的支撑体中，中间列带有吸附口的支撑部件和两侧设有2列支撑部件的各种基部的剖面图，图7(a)是基部为棒状物的例子，图7(b)是基部为角管的例子，图7(c)是基部为H型材料的例子。

图8是本发明的支撑体中，中间列设有由树脂制成的支撑部件和两侧设有2列由合成橡胶制成的支撑部件的各种基部的剖面图，图8(d)是C型材料，图8(e)是具有带支撑部件的板片的角管，图8(f)是具有吸附机构且带有倾斜顶部的支撑部件的例子。

图9是在带有本发明的2个基部的末端执行器上设有较高的支撑部件和较低的支撑部件，放置减小左右侧边的下垂后的玻璃板的例子的立体图。

图10是带有本发明的2个基部的末端执行器的立体图，是以具有高度不同的2列支撑部件的带板片的角管作为基部的例子。

图11是表示在带有现有的梳齿状基部的用于容纳玻璃基板的盒子内，本发明的末端执行器支撑玻璃基板的状态的剖面图。

图12是表示本发明的盒子的一例的立体图。

图13是图12的盒子的剖面图，是容纳玻璃基板的例子。

图14是本发明的用于容纳玻璃基板的盒子的另一个例子的立体图。

图15是里面带有梳齿状的多个基部的本发明的用于容纳玻璃基板的盒子的主视图。

图16是组合现有的末端执行器和现有的大型盒子的例子的俯视图。

具体实施方式

下面参照图1～图15说明本发明的最佳实施形态的例子。另外，下述实施形态不用于限制本发明的范围。即本领域的技术人员在本发明原理的范围内，可采用其它实施形态。

图1表示作为本发明的薄板加工系统的一个例子的液晶基板的化学处理系统。本实施例的加工处理系统中，以末端执行器1作为手搭载在臂21上的机器人型输送机2，将作为薄板的玻璃基板6从盒子5中取出，投入显影等加工处理装置4中。接着，加工处理结束后，机器人型输送机2从加工装置4中取出玻璃基板6，送回盒子5中，放置在盒子7内的板层上。另外该盒子是图12记载的本发明的薄板支撑体。

图2是表示在本发明的薄板输送用末端执行器的一个实施例中，带有水平方向突起12的末端执行器1在盒子5内插入玻璃基板之下的状态的俯视图。2个基部11分别形成长条状的大致长方形，上述基部11的外侧部分别各设有5个水平方向突起12。在各基部11的表面上，在各水平方向突起12上各安装有1个合成橡胶制成的支撑部件14，在基部11的内侧部上装有3个树脂制成的支撑部件15、2个真空吸附口13，且在各执行器主体11的根部上装有1个用于检测盒子5和玻璃基板6的传感器17(本例中为反射型传感器)。如果以高度相同的2个基部11的上部表面为基准面，则各支撑部件13、14、15的高度均相同。

在本实施例之前，为了使梳齿状针51适合于较长的大型盒子5，仅在2个长方形的基部11上设置支撑部件14、15，将玻璃基板放置在末端执行器1上，即使如此，也只能像图4(c)那样形成一个凸形，但如果设置带有支撑部件14的水平方向突起12，使该突起12从梳齿状针51的前端突出到内部，则在支撑部件14的列和支撑部件15与13的列上玻璃基板以形成2个凸脊部而弯曲，可大幅度地减小弯曲量。

另外，由于水平方向突起12和梳齿状针51在高度相同时，会相互干扰，将末端执行器1插入盒子5中时，插入处于上下方向的梳齿状针51之间，停在梳齿状针51的水平方向之间，使其继续向上移动，抬起玻璃基板。通过该放置动作，中央部在盒子5的梳齿状针51上弯曲成凹状的玻璃基板，在末端执行器的基部11上形成较低的凸脊部，可大幅度减小弯曲量，形成看起来是平面状。从盒子中抽出玻璃基板时，末端执行器1在处于上下方向的梳齿状针51之间水平移动。将玻璃基板插入盒子中时，反着进行该动作即可。

作为图2所示的实施例的具体例子，用于将玻璃基板6收入盒子5中的末端执行器1按照下述尺寸设计制造。材料是沥青系的碳纤维复合材料。

(盒子5的内部尺寸)

开口1126mm×高900mm×深度1300mm。

(基板支撑体的梳齿状针51的大小及数量)

梳齿状针：长233mm×宽15mm×高14mm的针24根，前端带有合成橡胶制成的盖帽。

各梳齿状针的间隔(内侧大小)：22mm。

基板支撑体：11组纵向排列在两个横向内面及里面的内面上。

(液晶显示器用玻璃基板)

大小：横向1100mm×纵向1250mm×厚度0.6mm，在盒子内向下弯曲：13mm。

(末端执行器)

基部11：宽度54mm×厚度10mm×长度1037mm，2个。

水平方向突起12：宽度30mm×长度28mm×厚度5mm。

末端执行器的根部：宽度640mm×深度约300mm。

2个基部的内侧间隔：间隔456mm地平行设置。

(支撑部件的设置)

图2示出了设置位置。设置合成橡胶制成的支撑部件14、合成树脂制成的支撑部件15、带有真空吸附口的吸附支撑部件13，并在执行器的根部设置传感器17。

执行器基部内侧支撑部件列的间隔：472mm。

2个执行器基部外侧(水平方向突起上)的支撑部件列之间的距离：608mm。

如果采用前述尺寸的图2所示实施例的末端执行器1，在其中央部支撑前述玻璃基板6，则如图2(b)所示，玻璃基板6弯曲成两个凸状，最顶部与最低部的高低差hb为4.3mm。另外，末端执行器1自身的弯曲为3.1mm，合计7.5mm，相对于盒子5的上下梳齿状针51之间的22mm的间隔，水平突起部12放置玻璃基板6与上述针互无妨碍地交叉，可将玻璃基板6送入送出。

(比较例)

图2中不设置水平突起部12，将支撑部件14移至基部11上的外侧，这样制造图中未示出的末端执行器。从而，在2个基部11的外侧，支撑部件14并列的间隔变小，为552mm。玻璃基板6放置在其上，弯曲成图4(c)所示的一个凸状，支撑部件15的位置升高，最顶部与最低部的高低差hc为39mm，末端执行器1自身的弯曲为3.8mm。因此，由于上下针51之间的距离为22mm，其结果无法向盒子5搬入搬出。

这样，由上述实施例和比较例的结果可知，根据采用本实施例的末端执行器，玻璃基板6的弯曲从39mm变为4.3mm，基本可减小至1/9。由于更多的玻璃基板6可容纳在大型的盒子中，因此可提高液晶显示器的生产效率并且有助于降低成本。

图3所示的实施例中，盒子5内的作为用于支撑玻璃基板的基部的梳齿状支撑针51变短，在设在长方形末端执行器1的2个基部11上的由合成橡胶制成的支撑部件14的列、由树脂制成的支撑部件15及带有吸附口的支撑部件13构成的列上，玻璃基板6形成凸脊部，弯曲成两个凸状。即使在该末端执行器1的作用下，玻璃基板的弯曲比一个凸状时也大幅度减少。

图4(a)和图4(b)是表示本发明实施例的末端执行器1水平放置，支撑各玻璃基板6的状态的垂直剖面图，玻璃基板6弯曲成较低的两个凸状，高低差ha、hb均小于比较例的图4(c)的高低差hc。这里图4(b)中示出了图2所示的末端执行器1的延伸方向垂直的剖面图中，放置在末端执行器的基部11和其上高度相同的支撑部件14、15上的玻璃基板6弯曲成两个凸状的状态。图4(a)的剖面图示出了通过设置在2个基部11外侧的水平突起部12上的较高的支撑部件16的列和设置在基部11内侧上的较低的支撑部件18的列，玻璃基板弯曲形成两个凸状的状态。图4(a)的场合，通过增加支撑部件的高度来减小本发明的弯曲量的方法，可比图4(b)的场合进一步减小高低差，即ha＜hb。

图5是在本发明的多个基部11上放置玻璃基板的薄板支撑体的例子，是与基部11的延伸方向垂直的剖面图。图5(a)是末端执行器1由3个基部11构成的例子，图5(b)是4个基部11的例子。这是支撑部件的高度固定地安装在基部11上，改变基部11自身的高度来减小弯曲量的例子，用于支撑一边为2m左右或超过2m的玻璃基板十分有效。

图6是将一个边超过1800mm的玻璃板6放置在3个基部11上的本发明的薄板支撑体的，与基部延伸方向垂直的剖面图。将2列由合成橡胶制成的支撑部件14以相同高度设置在中央部的基部11上，其间以相同高度设置带有吸附口的支撑部件13的列。该支撑部件13被施加了从其里面吸附并吸引弯曲的玻璃板6的凸脊部的顶点，不使顶点升高的机构，即减小弯曲量的机构。此后，在两侧的基部11上，在外侧的列上设置通常的支撑部件14，在内侧的列上设置带有吸附口的支撑部件13的列，在其上吸附玻璃基板6，使玻璃基板6在其上不会浮起，同时防止其左右端部下垂，也可以在该处施加减小弯曲量的机构。

图7示出了在各种本发明的基部11上设置2列支撑部件14和带有吸附口的支撑部件13的列的例子。

图7(a)是基部11为纯质的棒状物，使用构造最简单、比重较轻、比弹性率高的陶瓷材料、碳纤维强化材料、玻璃纤维强化材料等制造。此处基部11也可以是厚度较薄的板材。

图7(b)是基部11为角管，由于中空且重量轻，可用于大型的末端执行器。材质可采用铝合金、钢材等金属，最好采用弹性模数高的碳纤维强化材料等制造。角管在确保刚性强的同时可减轻重量，降低成本。

图7(c)是基部为H型材料，材质可以是铝合金、钢材等金属，最好采用弹性模数高的陶瓷材料、碳纤维强化材料、玻璃纤维强化材料等制造，有助于减轻重量。

图8是本发明的支撑体中各种基部的剖面图，上述基部的中列设有树脂制成的支撑部件和两侧设有2列合成橡胶制成的支撑部件，图8(d)是C型材料，材质优选采用铝合金、钢材等金属，也可以采用弹性模数高的陶瓷材料、碳纤维强化材料、玻璃纤维强化材料等制造，有助于减轻重量，降低成本。图8(e)是带有片材19的角管的例子，上述片材19带有支撑部件14、15，可用弹性模数高的陶瓷材料、碳纤维强化材料、玻璃纤维强化材料或其组合来制造，有助于减轻重量，降低成本。图8(f)是带有吸附口且带有倾斜顶部的支撑部件13的基部11的例子，在沿纸面方向的横向长度上，可有效地将其导向理想的薄板倾斜的弯曲状态。

图9是表示图3的末端执行器的改进例子的立体图，相当于沿该末端执行器的延伸方向所作的垂直剖面图图4(a)。即，通过在2个基部11的外侧设置较高的支撑部件16的列，并在基部11的内侧设置较低的支撑部件18的列，玻璃基板弯曲成两个凸状。此时，通过改变支撑部件的高度的本发明的减少弯曲的机构，像比较图4的(a)、(b)所述那样，比图3的场合可进一步减小高低差。

图10是表示改进图9的末端执行器，将其用于更大型的玻璃板的例子的立体图。即，在2个基部11上各安装5个片材19，在其上面外侧设置高5mm的支撑部件16的列，并在内侧设置高4mm的较低的支撑部件18的列(2个基部中的各支撑部件18的列间距为600mm)，由此玻璃基板弯曲成两个凸状。此时，除了改变支撑部件的高度的本发明所述的减少弯曲的机构以外，还可以增大1个基部上的支撑部件的列间距至300mm来减小弯曲，从而比图3和图9时可进一步将放置的大型的1800mm×2200mm×0.6mm的玻璃板的高低差减小至10mm。本图的末端执行器可与图12所示的本发明的盒子及特开平11-35089号公报公开的盒子组合使用。

图11是在带有梳齿状针51的盒子5内，将玻璃基板6放置在本发明的末端执行器1上时，与末端执行器的延伸方向垂直的剖面图。玻璃基板6在盒子5内的梳齿状针51上中央部呈凹状地大幅度弯曲。该末端执行器的特征在于，在2个基部的各内侧上部设置的较低的支撑部件18、和在设在外侧部的水平方向突起12的上部设置的较高的支撑部件16，与图2的场合相比，可减小玻璃基板6左右两端的下垂。另外，本图的例子中，支撑部件16、18的顶面，设计成使凸脊部理想地倾斜，与其倾斜相配合。

图12是本发明的薄板支撑体为容纳玻璃基板的盒子7时的立体图。玻璃基板从图12的左侧近侧或右边里侧进出。在作为盒子7具有的基部的多个梁52上，垂直设有3组头部设置了树脂制支撑部件15的棒材，每组各2根支撑部件，通过全部梁设置3组，每组2列。使最顶端的玻璃基板在进出方向上沿与梁52垂直的方向拱起成凸脊，由此在盒子内也可显著减小弯曲量。本图的盒子可有效地容纳一个边超过1m，且厚度小于等于0.6mm的容易弯曲的玻璃基板。

图13是本发明的薄板支撑体是用于容纳玻璃基板的盒子7时，从插入、送出玻璃基板的方向观看的图12的剖面图。2列支撑部件15以相同的高度设置在棒片53上，玻璃基板形成3个凸脊部地放置在支撑部件15上。

图14是本发明的开口1m前后的用于容纳玻璃基板的盒子7的立体图，该盒子7对图2中采用的盒子5进行了下述改进。即，朝向盒子中央向下倾斜的盖帽状的本发明的支撑部件15装在放置玻璃基板6的梳齿状针51的前端，形成与梳齿状针51相同长度的233mm，在里面中央沿纵向新设置长350mm的梳齿状针51。

图15是里面中央沿纵向设有梳齿状针51的图14的用于容纳玻璃基板的盒子5的剖面图。在里面中央沿纵向新设置长350mm的梳齿状针51。通过本发明的改进，玻璃基板弯曲成两个凸状，减小了弯曲量。

图16是将现有的大型盒子与现有的末端执行器组合起来的比较例的俯视图。该末端执行器的宽度小，如果放置玻璃板的话，会如图4(c)那样形成一个凸状，高低差增大。

上面基于图示的例子进行了说明，但本发明不仅限于上述例子，而是可在权利要求记载的范围内适当变更。

工业实用性

通过本发明，输送或放置由于自重而弯曲的液晶显示器用大型玻璃基板等薄板时，在基部上设置多个支撑部件，使薄板弯曲形成多个凸部乃至凸脊部，由此可减小其弯曲量。另外，仅在两个长条状的基部11上设置多个支撑部件列，未形成多个凸脊部时，如果在基部11的外侧设置水平方向突起12、在其上设置支撑部件14的列、以该基部11的内侧上部作为支撑部件13、15，则在2个基部11上的玻璃基板上分别形成凸脊部。进而，通过增大支撑1个凸脊部的支撑部件的列间距，可进一步减小该弯曲量。

进而，被支撑形成多个凸部乃至凸脊部的玻璃基板即使下垂部分有高度差，只要设在其较大侧的支撑部件列的高度大于其相反侧的支撑部件列的高度，下垂部分可被抬起，减小高低差。

如果大型玻璃基板的一个边为2m左右，末端执行器大多设置4个以上的基部，但在本发明外侧设有突起的末端执行器由于在执行器主体上设有水平方向突起，由此可减少至2～3个基部，可降低成本。

当本发明的薄板支撑体是用于玻璃基板的盒子时，由于可减少玻璃基板的弯曲量，因此可容易地增加作为盒子的基部的板层数，可提高生产效率，如果板层数相同，则可降低盒子的高度，可减轻重量，同时降低成本。

另外，保持在本发明所述的末端执行器上的薄板不仅限于液晶显示器用的玻璃基板，也可以是等离子显示器用的玻璃基板、塑料板、金属板等各种薄板状物。

Claims (12)

1.一种薄板支撑体，其承载由于自重而弯曲的薄板，带有多个支撑部件和上部带有上述支撑部件的至少一个基部，其特征在于，该薄板支撑体带有支撑部件和减少前述薄板的弯曲量的机构，上述支撑部件，按照使前述薄板形成多个凸部地弯曲的方式配置。

2.一种如权利要求1所述的薄板支撑体，其特征在于，减少前述弯曲量的机构在与薄板支撑体的基准水平面不同的高度上具有支撑部件的顶部。

3.一种如权利要求1或2所述的薄板支撑体，其特征在于，减少前述弯曲量的机构中，前述支撑部件与前述薄板的接触面相对水平面倾斜。

4.一种如权利要求1～3任何一项所述的薄板支撑体，其特征在于，前述支撑部件中的至少一个带有吸附机构。

5.一种如权利要求1～4任何一项所述的薄板支撑体，其特征在于，前述薄板形成多个凸脊部，排列成至少2列的前述支撑部件支撑前述凸脊部之一。

6.一种如权利要求1所述的薄板支撑体，其特征在于，前述薄板形成凸脊部，且减少前述弯曲量的机构在与薄板支撑体的基准水平面相同的高度上具有支撑部件的顶部。

7.一种如权利要求5或6所述的薄板支撑体，其特征在于，前述薄板形成至少3个凸脊部。

8.一种如权利要求5～7任何一项所述的薄板支撑体，其特征在于，权利要求5～7任何一项中的至少一个支撑部件带有吸附机构。

9.一种薄板支撑体，其特征在于如权利要求1～9任何一项所述的薄板支撑体是薄板输送机用的末端执行器。

10.一种薄板输送用机器人，其特征在于，其带有权利要求9所述的末端执行器。

11.一种薄板支撑体，其特征在于如权利要求1～8任何一项所述的薄板支撑体是用于容纳薄板的盒子。

12.一种薄板加工系统，其特征在于，该系统带有权利要求1～8任何一项所述的薄板支撑体。

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