WO2015032111A1 - 机械手臂叉子以及机械手臂 - Google Patents

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WO2015032111A1
WO2015032111A1 PCT/CN2013/084079 CN2013084079W WO2015032111A1 WO 2015032111 A1 WO2015032111 A1 WO 2015032111A1 CN 2013084079 W CN2013084079 W CN 2013084079W WO 2015032111 A1 WO2015032111 A1 WO 2015032111A1
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WO
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screw hole
unit
connecting unit
elastic
rigid structure
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PCT/CN2013/084079
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English (en)
French (fr)
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杨国坤
吴俊豪
林昆贤
齐明虎
陈增宏
汪永强
舒志优
李晨阳子
杨卫兵
蒋运芍
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深圳市华星光电技术有限公司
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/061Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67766Mechanical parts of transfer devices

Definitions

  • a liquid crystal display or LCD (Liquid Crystal Display) is a flat, ultra-thin display device composed of a certain number of color or black and white pixels placed in front of a light source or a reflector. LCD monitors have low power consumption and are characterized by high image quality, small size, and light weight, so they are favored by everyone and become the mainstream of displays.
  • the main body of the liquid crystal display is a liquid crystal cell, and is mainly composed of two transparent substrates and a liquid crystal sealed between the substrates.
  • the liquid crystal display is mainly a thin film transistor (TFT) liquid crystal display, and the fabrication of a general thin film transistor liquid crystal display can be roughly divided into three parts: a thin film transistor array (TFT Array) preparation process and a color filter plate preparation process. , Liquid crystal display unit assembly (LC Cel l Assembly) preparation process, liquid crystal display module (Liquid Crystal Module, LCM) preparation process.
  • TFT Array thin film transistor array
  • LCM liquid crystal display module
  • the present invention provides a mechanical arm fork having high strength, good elasticity, and low cost, and a robot arm including the mechanical arm fork.
  • a mechanical arm fork includes a plurality of rigid structures, wherein adjacent two rigid structures are connected by an elastic structure.
  • the elastic structural body includes an elastic unit and a connecting unit, and two ends of the elastic unit are respectively connected to the rigid structural body through a connecting unit.
  • the rigid structure is an elongated structure, and the upper plane of the rigid structure is higher than the connecting unit and the elastic unit.
  • the elastic unit, the connecting unit and the rigid structure are detachably connected.
  • the elastic unit, the connecting unit and the rigid structure are connected by a screw connection.
  • the first end and the second end of the connecting unit are respectively provided with a first screw hole perpendicular to the horizontal direction; the end of the elastic unit is provided with a second screw hole that cooperates with the first screw hole, wherein The elastic unit is fixedly coupled to the first end of the connecting unit by the first screw and the first screw hole and the second screw hole; the end of the rigid structure is disposed to cooperate with the first screw hole The third screw hole, wherein the rigid structure is fixedly coupled to the second end of the connecting unit by a first screw in cooperation with the first screw hole and the third screw hole.
  • the first end of the connecting unit is provided with a first screw hole perpendicular to the horizontal direction, and the end of the elastic unit is provided with a second screw hole that cooperates with the first screw hole; a screw is fixedly coupled to the first end of the connecting unit in cooperation with the first screw hole and the second screw hole; the second end of the connecting unit has a convex portion forming a side wall, and the side wall is disposed a fourth screw hole having a direction perpendicular to the side wall, wherein the end surface of the rigid structure body is provided with a fifth screw hole that cooperates with the fourth screw hole, and the rigid structure body is composed of a second screw and a fourth screw hole and Five screw holes are fixedly coupled to one of the connecting units
  • the first end of the connecting unit is provided with a first screw hole perpendicular to a horizontal direction, and the The end of the structural body is provided with a third screw hole that cooperates with the first screw hole; the rigid structure is fixedly connected to the connecting unit by the first screw and the first screw hole and the third screw hole.
  • the second end of the connecting unit has a convex portion forming a side wall, and the side wall is provided with a fourth screw hole perpendicular to the direction of the side wall, and the end surface of the elastic unit is provided with a sixth screw hole matched with the four screw holes, wherein the elastic unit is fixedly connected to the second connecting unit by the second screw and the fourth screw hole and the sixth screw hole
  • the present invention also provides a mechanical arm for transporting a glass substrate of a liquid crystal panel, comprising a robot arm body and a plurality of robot arm forks connected to the robot arm body, wherein the robot arm fork is as described above Mechanical arm fork.
  • the mechanical arm provided by the present invention includes a robot arm body and a plurality of robot arm forks coupled to the robot arm body, wherein the robot arm fork includes a rigid structure and an elastic structure.
  • FIG. 1 is a schematic structural view of a mechanical arm according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a perspective view of a mechanical arm fork according to an embodiment of the present invention.
  • Fig. 3 is a front elevational view showing the fork of the robot arm according to the first embodiment of the present invention.
  • Figure 4 is a top plan view of the robotic arm fork shown in Figure 3.
  • FIG. 5 is a schematic structural view of a connecting unit of a robot arm fork according to Embodiment 1 of the present invention.
  • Figure 6 is a transverse cross-sectional view of portion A of the robot arm fork shown in Figure 4.
  • Figure 7 is a front elevational view of a mechanical arm fork according to a second embodiment of the present invention.
  • 8a-8c are schematic structural views of a connecting unit of a robot arm fork according to Embodiment 2 of the present invention; wherein, FIG.
  • FIG. 8a is a front view of the connecting unit
  • FIG. 8b is a top view of the connecting unit
  • FIG. 8c is a view of the connecting unit.
  • Figure 9 is a transverse cross-sectional view of portion B of the robot arm fork shown in Figure 7.
  • DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS As described above, the present invention provides a mechanical arm for transporting a glass substrate of a liquid crystal panel, including a mechanical arm body and a plurality of robot arms connected to the main body of the robot arm, in view of the defects existing in the prior art.
  • the fork wherein the robot arm fork comprises a plurality of rigid structures, wherein the adjacent two rigid structures are connected by the elastic structure.
  • the elastic structural body includes an elastic unit and a connecting unit, and two ends of the elastic unit are respectively connected to the rigid structural body through a connecting unit.
  • the material of the rigid structure and the connecting unit is a material with high hardness, for example, may be stainless steel or aluminum; the material of the elastic unit is elastic plastic, for example, polyurethane.
  • the mechanical arm fork as described above includes a rigid structure and an elastic structure, wherein the rigid structure serves as a main supporting function, and the rigid structure made of a high-strength material can reduce the probability of fatigue damage; the elastic structure is mainly a mechanical arm
  • the fork provides elasticity, and the mechanical arm fork can not only improve the stress condition by elastic deformation to relieve the fatigue damage, but also slow down the vibration generated during the handling of the glass substrate, and reduce the probability of the glass being fragmented due to vibration.
  • the mechanical arm provided by the invention has the advantages of simple structure, low material cost, simple manufacturing process, greatly reduced the cost of the robot arm, and is suitable for large-scale industrial production.
  • FIG. 1 is a schematic structural view of a mechanical arm according to the embodiment.
  • the mechanical arm includes a robot arm main body 100 and a robot arm fork 200 connected to the robot arm main body 100.
  • three robot arm forks 200 are connected to the robot arm main body 100, and all the robot arm forks 200 are disposed at the same horizontal position to jointly form a bearing plane for carrying the glass base.
  • the robot arm fork 200 includes a plurality of rigid structural bodies 210, and the adjacent two rigid structural bodies 210 are connected by the elastic structural body 220, as shown in FIG.
  • the elastic structural body 220 includes an elastic unit 222 and a connecting unit 221 , wherein two ends of the elastic unit 222 are respectively connected to the rigid structural body 210 through a connecting unit 221 .
  • the glass substrate is prevented from being scratched.
  • the rigid structure 210 has an elongated structure, and the upper surface of the rigid structure 210 is higher than the connecting unit 221 and the elastic unit 222; the upper planes of all the rigid structures 210 together form a bearing. Plane, used to carry glass substrates.
  • the elastic unit 222, the connecting unit 221, and the rigid structural body 210 are connected by screws to form a detachable connection.
  • the first end 221a and the second end 221b of the connecting unit 221 are respectively provided with a first screw hole 223 perpendicular to the horizontal direction; the end of the elastic unit 222 is disposed to cooperate with the first screw hole 223.
  • the third screw hole 224a is matched with the first screw hole 223.
  • the rigid structure body 210 is fixedly connected to the first screw hole 223 and the third screw hole 224a by the first screw 225. Two ends 221b.
  • Embodiment 2 The robot arm fork 200 provided in this embodiment is shown in FIG. 7.
  • the elastic unit 222, the connecting unit 221, and the rigid structural body 210 in this embodiment are also detachably connected by a screw connection. Different from Embodiment 1, the configuration of the connecting unit 221 is changed in this embodiment. Referring to FIGS. 8 and 9, the first end 221a of the connecting unit 221 is provided with a first screw hole 223 perpendicular to the horizontal direction, and the end of the elastic unit 222 is provided with a second screw hole 224 that cooperates with the first screw hole 223.
  • the elastic unit 222 is fixedly coupled to the first end 221a of the connecting unit 221 by the first screw 225 and the first screw hole 223 and the second screw hole 224; the second end 221b of the connecting unit 221 has a convex portion forming a a sidewall, the sidewall is provided with a fourth screw hole 226 perpendicular to the direction of the sidewall, the end surface of the rigid structure 210 is provided with a fifth screw hole 227 that cooperates with the fourth screw hole 226, and the rigid structure 210 is second.
  • the screw 228 is fixedly coupled to the second end 221b of the connecting unit 221 in cooperation with the fourth screw hole 226 and the fifth screw hole 227.
  • connection position relationship between the connection unit 221 and the elastic unit 222 and the rigid structure 210 may be:
  • the end of the rigid structure 210 is provided with a third screw hole 224a that cooperates with the first screw hole 223.
  • the rigid structure 210 is fixedly coupled to the first end 221a of the connecting unit 221 by the first screw 225 and the first screw hole 223 and the third screw hole 224a.
  • the end surface of the elastic unit 222 is disposed opposite to the fourth screw hole 226.
  • the mating sixth screw hole (not shown in the drawing), the elastic unit 222 is fixedly coupled to the second end 221b of the connecting unit 221 by the second screw 228 in cooperation with the fourth screw hole and the sixth screw hole.
  • the elastic unit 222, the connecting unit 221, and the rigid structure 210 are detachably connected when assembled, so that when a certain component is damaged, it can be easily replaced, thereby achieving cost saving.
  • the elastic unit 222 and the connecting unit 221 are connected by screws, and the rigid structure 210 and the connecting unit 221 are fixedly connected by welding.
  • the connection between the rigid structural body 210 and the connecting unit 221 is made stronger.
  • the mechanical arm provided by the present invention comprises a robot arm body and a plurality of robot arm forks connected to the robot arm body, wherein the robot arm fork comprises a rigid structure and an elastic structure.
  • the rigid structure in the robot arm fork plays a major supporting role.
  • the rigid structure made of high-strength material can reduce the probability of fatigue damage;
  • the elastic structure mainly provides elasticity to the mechanical arm fork.
  • the mechanical arm fork can not only improve the stress condition by elastic deformation to relieve the fatigue damage, but also slow down the vibration generated during the handling of the glass substrate and reduce the probability of the glass being fragmented due to vibration;
  • the mechanical arm provided by the invention has the advantages of simple structure, low material cost, simple manufacturing process, greatly reduced the cost of the robot arm, and is suitable for large-scale industrial production.

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Abstract

一种机械手臂叉子(200),包括多个刚性结构体(210),其中相邻的两个刚性结构体(210)通过弹性结构体(220)连接。一种机械手臂,用于运送液晶面板的玻璃基板,包括机械手臂主体(100)以及连接于机械手臂主体(100)上的多个机械手臂叉子(200)。该机械手臂不仅能够通过弹性连接部件缓解叉子在工作过程中受到的交变应力,从而增加叉子的耐疲劳损坏能力,而且,弹性连接部件使得叉子具有较强的弹性,减缓了在搬运玻璃基板过程中产生的震动,减小玻璃由于震动而产生破片的概率;同时,该机械手臂结构简单,材料成本低,制造工艺简单,适于大规模的工业化生产。

Description

机械手臂叉子以及机械手臂 技术领域 本发明涉及液晶显示器的制造领域, 尤其涉及一种运送玻璃基板的机械手 臂以及该机械手臂的叉子。 背景技术 液晶显示器, 或称 LCD (Liquid Crystal Display ) , 为平面超薄的显示设 备, 它由一定数量的彩色或黑白像素组成, 放置于光源或者反射板前方。 液晶 显示器功耗很低, 并且具有高画质、 体积小、 重量轻的特点, 因此倍受大家青 睐, 成为显示器的主流。 一般液晶显示器的主体为液晶单元, 主要是由两片透明基板以及被封于基 板之间的液晶构成。 目前液晶显示器是以薄膜晶体管 (Thin Fi lm Transistor, TFT)液晶显示器为主,而一般薄膜晶体管液晶显示器的制作可大致分为三部分: 薄膜晶体管阵列 (TFT Array) 制备过程以及彩色滤光板制备工程、 液晶显示单 元组装 (LC Cel l Assembly)制备过程、液晶显示模块 (Liquid Crystal Module, LCM) 制备过程。 在液晶面板的制程中, 很多工序都需要机器人用其叉子托着玻璃基板进行 玻璃基板的上载和卸载: 机器人将玻璃基板从料口处搬运到制程机台里面进行 加工, 接着又把加工好的基板从制程机台搬运出来送到料口处, 因此, 机器人 就必须周而复始地进行较高频率的搬运玻璃基板的过程。 在这个过程中, 机器 人的机械手臂叉子会受到交变应力的影响, 这种交变应力容易对叉子造成疲劳 损坏, 进而可能会对玻璃基板造成损伤, 影响生产进程。
于是, 目前人们利用碳纤维材质同时具有高强度和良好弹性的特点, 将其 作为制作机械手臂叉子的材料, 这种叉子不仅可以发生弹性形变来改善受力状 况和缓解疲劳损坏, 而且具有减振作用, 增加玻璃基板在搬运过程中的振动耐 受性, 防止玻璃破片的产生。 但是, 碳素纤维材质制作的机械手臂叉子需要进 行定制, 不仅制作困难, 加工周期长, 而且成本高, 使得机器人的制作成本大 大的增加。 发明内容 为了解决上述现有技术所存在的问题, 本发明提供了一种强度高、 弹性好、 成本低的机械手臂叉子以及包含所述机械手臂叉子的机械手臂。 为了实现上述目的, 本发明采用了如下的技术方案: 一种机械手臂叉子, 包括多个刚性结构体, 其中相邻的两个刚性结构体通 过弹性结构体连接。 其中, 所述弹性结构体包括弹性单元和连接单元, 所述弹性单元的两端分 别通过一连接单元连接到所述刚性结构体。 其中, 所述刚性结构体为长条状结构, 并且所述刚性结构体上平面高于所 述连接单元和所述弹性单元。 其中, 所述弹性单元、 连接单元以及所述刚性结构体之间可拆卸连接。 其中, 所述弹性单元、 连接单元以及所述刚性结构体之间通过螺钉的连接 方式连接。 其中, 所述连接单元的第一端和第二端分别设置有垂直于水平方向的第一 螺孔; 所述弹性单元的端部设置有与第一螺孔相配合的第二螺孔, 其中, 所述 弹性单元由第一螺钉与第一螺孔和第二螺孔相配合固定连接到所述连接单元的 第一端; 所述刚性结构体的端部设置有与第一螺孔相配合的第三螺孔, 其中, 所述刚性结构体由第一螺钉与第一螺孔和第三螺孔相配合固定连接到所述连接 单元的第二端。 其中, 所述连接单元的第一端设置有垂直于水平方向的第一螺孔, 所述弹 性单元的端部设置有与第一螺孔相配合的第二螺孔; 所述弹性单元由第一螺钉 与第一螺孔和第二螺孔相配合固定连接到所述连接单元的第一端; 所述连接单 元的第二端具有一凸起部形成一侧壁, 所述侧壁上设置有垂直于侧壁方向的第 四螺孔, 所述刚性结构体的端面设置有与第四螺孔相配合的第五螺孔, 所述刚 性结构体由第二螺钉与第四螺孔和第五螺孔相配合固定连接到所述连接单元的 一
j而。 其中, 所述连接单元的第一端设置有垂直于水平方向的第一螺孔, 所述刚 性结构体的端部设置有与第一螺孔相配合的第三螺孔; 所述刚性结构体由第一 螺钉与第一螺孔和第三螺孔相配合固定连接到所述连接单元的第一端; 所述连 接单元的第二端具有一凸起部形成一侧壁, 所述侧壁上设置有垂直于侧壁方向 的第四螺孔, 所述弹性单元的端面设置有与第四螺孔相配合的第六螺孔, 所述 弹性单元由第二螺钉与第四螺孔和第六螺孔相配合固定连接到所述连接单元的 一
j而。 其中, 所述刚性结构体和所述连接单元之间通过焊接的方式固定连接; 所 述弹性单元和所述连接单元之间通过螺钉的连接方式连接。 其中, 所述刚性结构体和所述连接单元的材料为铝材或不锈钢; 所述弹性 单元的材料为弹性塑料。 本发明还提供了一种机械手臂, 用于运送液晶面板的玻璃基板, 包括机械 手臂主体以及连接于所述机械手臂主体上的多个机械手臂叉子, 其中, 所述机 械手臂叉子为如上所述的机械手臂叉子。 有益效果: 本发明提供的机械手臂包括机械手臂主体以及连接于机械手臂主体上的多 个机械手臂叉子, 其中机械手臂叉子包括刚性结构体和弹性结构体。 机器人在 运送玻璃基板的过程中, 机械手臂叉子中的刚性结构体起主要的支撑作用, 高 强度材料制成的刚性结构体可以较小疲劳损坏概率; 弹性结构体主要是为机械 手臂叉子提供弹性, 机械手臂叉子不仅可以通过发生弹性形变来改善受力状况 以达到缓解疲劳损坏的目的, 而且还可以减缓在搬运玻璃基板过程中产生的震 动, 减小玻璃由于震动而产生破片的概率; 同时, 本发明提供的机械手臂结构 简单, 材料成本低, 制造工艺简单, 大大降低了机械手臂的成本, 适于大规模 的工业化生产。 附图说明 图 1为本发明实施例提供的机械手臂的结构示意图。 图 2为本发明实施例提供的机械手臂叉子的立体图。 图 3为本发明实施例 1提供的机械手臂叉子的主视图。 图 4为如图 3所示的机械手臂叉子的俯视图。 图 5为本发明实施例 1提供的机械手臂叉子的连接单元的结构示意图。 图 6为如图 4所示的机械手臂叉子中的 A部的横向剖面图。 图 7为本发明实施例 2提供的机械手臂叉子的主视图。 图 8a-8c为本发明实施例 2提供的机械手臂叉子的连接单元的结构示意图; 其中, 图 8a为所述连接单元主视图, 图 8b为所述连接单元的俯视图, 图 8c为 所述连接单元左视图。 图 9为如图 7所示的机械手臂叉子中的 B部的横向剖面图。 具体实施方式 如前所述, 本发明针对现有技术存在的缺陷, 提供了一种机械手臂, 用于 运送液晶面板的玻璃基板, 包括机械手臂主体以及连接于机械手臂主体上的多 个机械手臂叉子, 其中, 机械手臂叉子包括多个刚性结构体, 其中相邻的两个 刚性结构体通过弹性结构体连接。 其中, 弹性结构体包括弹性单元和连接单元, 弹性单元的两端分别通过一 连接单元连接到刚性结构体。 其中, 刚性结构体和连接单元的材料为硬度较高的材质, 例如可以是不锈 钢或铝材; 弹性单元的材料为弹性塑料, 例如可以是聚氨酯。 如上所述的机械手臂叉子包括刚性结构体和弹性结构体, 其中刚性结构体 起主要的支撑作用, 高强度材料制成的刚性结构体可以减小疲劳损坏概率; 弹 性结构体主要是为机械手臂叉子提供弹性, 机械手臂叉子不仅可以通过发生弹 性形变来改善受力状况以达到缓解疲劳损坏的目的, 而且还可以减缓在搬运玻 璃基板过程中产生的震动, 减小玻璃由于震动而产生破片的概率; 同时, 本发 明提供的机械手臂结构简单, 材料成本低, 制造工艺简单, 大大降低了机械手 臂的成本, 适于大规模的工业化生产。 为了更好地阐述本发明的技术特点和结构, 以下结合实施例及其附图进行 详细描述。 实施例 1 图 1为本实施例提供的机械手臂的结构示意图, 如图 1所示, 该机械手臂 包括机械手臂主体 100以及连接于机械手臂主体 100上的机械手臂叉子 200。在 本实施例中, 机械手臂主体 100上连接有 3个机械手臂叉子 200, 并且所有机械 手臂叉子 200设置于同一水平位置上, 共同形成一承载平面, 用于承载玻璃基
其中, 机械手臂叉子 200包括多个刚性结构体 210, 并且相邻的两个刚性结 构体 210通过弹性结构体 220连接, 如图 2所示。 如图 3所示, 弹性结构体 220包括弹性单元 222和连接单元 221, 其中,弹 性单元 222的两端分别通过一连接单元 221连接到刚性结构体 210。为了方便运 送玻璃基板, 防止玻璃基板刮伤, 刚性结构体 210为长条状结构, 并且刚性结 构体 210上平面高于连接单元 221和弹性单元 222;所有刚性结构体 210上平面 共同形成一承载平面, 用于承载玻璃基板。 在本实施例中, 弹性单元 222、连接单元 221以及刚性结构体 210之间通过 螺钉的连接方式形成可拆卸连接。 参阅图 4-图 6,连接单元 221的第一端 221a和第二端 221b分别设置有垂直 于水平方向的第一螺孔 223 ;弹性单元 222的端部设置有与第一螺孔 223相配合 的第二螺孔 224, 其中, 弹性单元 222由第一螺钉 225与第一螺孔 223和第二螺 孔 224相配合固定连接到连接单元 221的第一端 221a; 刚性结构体 210的端部 设置有与第一螺孔 223相配合的第三螺孔 224a, 其中, 刚性结构体 210由第一 螺钉 225与第一螺孔 223和第三螺孔 224a相配合固定连接到连接单元 221的第 二端 221b。 实施例 2 本实施例中提供的机械手臂叉子 200如图 7所示, 本实施例中的弹性单元 222、 连接单元 221以及刚性结构体 210之间也是通过螺钉的连接方式形成可拆 卸连接。 与实施例 1不同的是, 本实施例中对连接单元 221的结构进行了改变。 参阅图 8和图 9, 连接单元 221的第一端 221a设置有垂直于水平方向的第 一螺孔 223,弹性单元 222的端部设置有与第一螺孔 223相配合的第二螺孔 224; 弹性单元 222由第一螺钉 225与第一螺孔 223和第二螺孔 224相配合固定连接 到连接单元 221的第一端 221a;连接单元 221的第二端 221b具有一凸起部形成 一侧壁, 侧壁上设置有垂直于侧壁方向的第四螺孔 226, 刚性结构体 210的端面 设置有与第四螺孔 226相配合的第五螺孔 227, 刚性结构体 210由第二螺钉 228 与第四螺孔 226和第五螺孔 227相配合固定连接到连接单元 221的第二端 221b。 当然, 本实施例中, 连接单位 221与弹性单元 222以及刚性结构体 210的 连接位置关系也可以是: 刚性结构体 210的端部设置有与第一螺孔 223相配合 的第三螺孔 224a, 刚性结构体 210由第一螺钉 225与第一螺孔 223和第三螺孔 224a相配合固定连接到连接单元 221的第一端 221a; 弹性单元 222的端面设置 有与第四螺孔 226相配合的第六螺孔 (附图中未标示出), 弹性单元 222由第二 螺钉 228与第四螺孔和第六螺孔相配合固定连接到连接单元 221的第二端 221b。 上述实施例中, 弹性单元 222、连接单元 221以及刚性结构体 210在进行组 装时是采用可拆卸连接, 因此在某一部件损坏时, 可以很方便的更换, 达到节 约成本的目的。 当然, 在另外的一些实施例中, 弹性单元 222和连接单元 221之间通过螺 钉的连接方式实现可拆卸连接, 而刚性结构体 210和连接单元 221之间通过焊 接的方式实现固定连接, 这样可以使刚性结构体 210和所述连接单元 221之间 的连接更加牢固。 终上所述, 本发明提供的机械手臂包括机械手臂主体以及连接于机械手臂 主体上的多个机械手臂叉子, 其中机械手臂叉子包括刚性结构体和弹性结构体。 机器人在运送玻璃基板的过程中, 机械手臂叉子中的刚性结构体起主要的支撑 作用, 高强度材料制成的刚性结构体可以减小疲劳损坏概率; 弹性结构体主要 是为机械手臂叉子提供弹性, 机械手臂叉子不仅可以通过发生弹性形变来改善 受力状况以达到缓解疲劳损坏的目的, 而且还可以减缓在搬运玻璃基板过程中 产生的震动, 减小玻璃由于震动而产生破片的概率; 同时, 本发明提供的机械 手臂结构简单, 材料成本低, 制造工艺简单, 大大降低了机械手臂的成本, 适 于大规模的工业化生产。 需要说明的是, 在本文中, 诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将 一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来, 而不一定要求或者暗示这些 实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。 而且, 术语 "包括"、 "包 含"或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含, 从而使得包括一系列要素 的过程、 方法、 物品或者设备不仅包括那些要素, 而且还包括没有明确列出的 其他要素, 或者是还包括为这种过程、 方法、 物品或者设备所固有的要素。 在 没有更多限制的情况下, 由语句 "包括一个…… " 限定的要素, 并不排除在包 括所述要素的过程、 方法、 物品或者设备中还存在另外的相同要素。
显然, 本发明的保护范围并不局限于上诉的具体实施方式, 本领域的技术 人员可以对发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。 这样, 倘 若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内, 则 本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims

权 利 要 求 书
1、 一种机械手臂叉子, 其中, 包括多个刚性结构体, 其中相邻的两个刚性 结构体通过弹性结构体连接。
2、 根据权利要求 1所述的机械手臂叉子, 其中, 所述弹性结构体包括弹性 单元和连接单元, 所述弹性单元的两端分别通过一连接单元连接到所述刚性结 构体。
3、 根据权利要求 2所述的机械手臂叉子, 其中, 所述刚性结构体为长条状 结构, 并且所述刚性结构体上平面高于所述连接单元和所述弹性单元。
4、 根据权利要求 2所述的机械手臂叉子, 其中, 所述弹性单元、 连接单元 以及所述刚性结构体之间可拆卸连接。
5、 根据权利要求 4所述的机械手臂叉子, 其中, 所述弹性单元、 连接单元 以及所述刚性结构体之间通过螺钉的连接方式连接。
6、 根据权利要求 5所述的机械手臂叉子, 其中, 所述连接单元的第一端和 第二端分别设置有垂直于水平方向的第一螺孔; 所述弹性单元的端部设置有与 第一螺孔相配合的第二螺孔, 其中, 所述弹性单元由第一螺钉与第一螺孔和第 二螺孔相配合固定连接到所述连接单元的第一端; 所述刚性结构体的端部设置 有与第一螺孔相配合的第三螺孔, 其中, 所述刚性结构体由第一螺钉与第一螺 孔和第三螺孔相配合固定连接到所述连接单元的第二端。
7、 根据权利要求 5所述的机械手臂叉子, 其中, 所述连接单元的第一端设 置有垂直于水平方向的第一螺孔, 所述弹性单元的端部设置有与第一螺孔相配 合的第二螺孔; 所述弹性单元由第一螺钉与第一螺孔和第二螺孔相配合固定连 接到所述连接单元的第一端; 所述连接单元的第二端具有一凸起部形成一侧壁, 所述侧壁上设置有垂直于侧壁方向的第四螺孔, 所述刚性结构体的端面设置有 与第四螺孔相配合的第五螺孔, 所述刚性结构体由第二螺钉与第四螺孔和第五 螺孔相配合固定连接到所述连接单元的第二端。
8、 根据权利要求 5所述的机械手臂叉子, 其中, 所述连接单元的第一端设 置有垂直于水平方向的第一螺孔, 所述刚性结构体的端部设置有与第一螺孔相 配合的第三螺孔; 所述刚性结构体由第一螺钉与第一螺孔和第三螺孔相配合固 定连接到所述连接单元的第一端; 所述连接单元的第二端具有一凸起部形成一 侧壁, 所述侧壁上设置有垂直于侧壁方向的第四螺孔, 所述弹性单元的端面设 置有与第四螺孔相配合的第六螺孔, 所述弹性单元由第二螺钉与第四螺孔和第 六螺孔相配合固定连接到所述连接单元的第二端。
9、 根据权利要求 2所述的机械手臂叉子, 其中, 所述刚性结构体和所述连 接单元之间通过焊接的方式固定连接; 所述弹性单元和所述连接单元之间通过 螺钉的连接方式连接。
10、 根据权利要求 2所述的机械手臂叉子, 其中, 所述刚性结构体和所述 连接单元的材料为铝材或不锈钢; 所述弹性单元的材料为弹性塑料。
11、 一种机械手臂, 用于运送液晶面板的玻璃基板, 包括机械手臂主体以 及连接于所述机械手臂主体上的多个机械手臂叉子, 其中, 所述机械手臂叉子 包括多个刚性结构体, 其中相邻的两个刚性结构体通过弹性结构体连接。
12、 根据权利要求 11所述的机械手臂, 其中, 所述弹性结构体包括弹性单 元和连接单元, 所述弹性单元的两端分别通过一连接单元连接到所述刚性结构 体。
13、 根据权利要求 12所述的机械手臂, 其中, 所述刚性结构体为长条状结 构, 并且所述刚性结构体上平面高于所述连接单元和所述弹性单元。
14、 根据权利要求 12所述的机械手臂, 其中, 所述弹性单元、 连接单元以 及所述刚性结构体之间可拆卸连接。
15、 根据权利要求 14所述的机械手臂, 其中, 所述弹性单元、 连接单元以 及所述刚性结构体之间通过螺钉的连接方式连接。
16、 根据权利要求 15所述的机械手臂, 其中, 所述连接单元的第一端和第 二端分别设置有垂直于水平方向的第一螺孔; 所述弹性单元的端部设置有与第 一螺孔相配合的第二螺孔, 其中, 所述弹性单元由第一螺钉与第一螺孔和第二 螺孔相配合固定连接到所述连接单元的第一端; 所述刚性结构体的端部设置有 与第一螺孔相配合的第三螺孔, 其中, 所述刚性结构体由第一螺钉与第一螺孔 和第三螺孔相配合固定连接到所述连接单元的第二端。
17、 根据权利要求 15所述的机械手臂, 其中, 所述连接单元的第一端设置 有垂直于水平方向的第一螺孔, 所述弹性单元的端部设置有与第一螺孔相配合 的第二螺孔; 所述弹性单元由第一螺钉与第一螺孔和第二螺孔相配合固定连接 到所述连接单元的第一端; 所述连接单元的第二端具有一凸起部形成一侧壁, 所述侧壁上设置有垂直于侧壁方向的第四螺孔, 所述刚性结构体的端面设置有 与第四螺孔相配合的第五螺孔, 所述刚性结构体由第二螺钉与第四螺孔和第五 螺孔相配合固定连接到所述连接单元的第二端。
18、 根据权利要求 15所述的机械手臂, 其中, 所述连接单元的第一端设置 有垂直于水平方向的第一螺孔, 所述刚性结构体的端部设置有与第一螺孔相配 合的第三螺孔; 所述刚性结构体由第一螺钉与第一螺孔和第三螺孔相配合固定 连接到所述连接单元的第一端; 所述连接单元的第二端具有一凸起部形成一侧 壁, 所述侧壁上设置有垂直于侧壁方向的第四螺孔, 所述弹性单元的端面设置 有与第四螺孔相配合的第六螺孔, 所述弹性单元由第二螺钉与第四螺孔和第六 螺孔相配合固定连接到所述连接单元的第二端。
19、 根据权利要求 12所述的机械手臂, 其中, 所述刚性结构体和所述连接 单元之间通过焊接的方式固定连接; 所述弹性单元和所述连接单元之间通过螺 钉的连接方式连接。
20、 根据权利要求 12所述的机械手臂, 其中, 所述刚性结构体和所述连接 单元的材料为铝材或不锈钢; 所述弹性单元的材料为弹性塑料。
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Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105236141B (zh) * 2015-10-13 2017-07-28 武汉华星光电技术有限公司 基板传送方法
CN109468616B (zh) * 2019-01-08 2021-01-15 京东方科技集团股份有限公司 化学气相沉积设备及其机械手
CN112110206A (zh) * 2020-09-10 2020-12-22 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 承载设备及其手臂牙叉

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11322069A (ja) * 1998-05-12 1999-11-24 Canon Inc 基板搬送用フィンガ組立体
US6116848A (en) * 1997-11-26 2000-09-12 Brooks Automation, Inc. Apparatus and method for high-speed transfer and centering of wafer substrates
JP2001189367A (ja) * 2000-01-04 2001-07-10 Ulvac Japan Ltd 基板搬送ロボット
CN1721145A (zh) * 2004-06-25 2006-01-18 应用材料股份有限公司 多区末端受动器组件
CN1787954A (zh) * 2003-06-19 2006-06-14 日商乐华股份有限公司 薄板支撑体
CN102119438A (zh) * 2008-08-08 2011-07-06 应用材料公司 末端执行器的磁性垫片

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20020180104A1 (en) * 2001-03-29 2002-12-05 Takashi Kobayashi Robot hand member and method of producing the same
JP4360961B2 (ja) * 2004-03-30 2009-11-11 大日本スクリーン製造株式会社 基板搬送ロボットおよび基板処理装置
JP2007083388A (ja) * 2005-08-26 2007-04-05 Toray Ind Inc ロボットハンド用フォークおよびロボットハンド
JP2007153572A (ja) * 2005-12-07 2007-06-21 Shinko Electric Co Ltd 液晶基板搬送用フォーク
JP2008279590A (ja) * 2007-04-10 2008-11-20 Toray Ind Inc 搬送用ロボットハンド
KR101690970B1 (ko) * 2010-02-19 2016-12-29 주성엔지니어링(주) 기판 처리 시스템 및 기판 반송 방법
JP5403378B2 (ja) * 2011-09-08 2014-01-29 株式会社安川電機 ロボットハンド及びロボット

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6116848A (en) * 1997-11-26 2000-09-12 Brooks Automation, Inc. Apparatus and method for high-speed transfer and centering of wafer substrates
JPH11322069A (ja) * 1998-05-12 1999-11-24 Canon Inc 基板搬送用フィンガ組立体
JP2001189367A (ja) * 2000-01-04 2001-07-10 Ulvac Japan Ltd 基板搬送ロボット
CN1787954A (zh) * 2003-06-19 2006-06-14 日商乐华股份有限公司 薄板支撑体
CN1721145A (zh) * 2004-06-25 2006-01-18 应用材料股份有限公司 多区末端受动器组件
CN102119438A (zh) * 2008-08-08 2011-07-06 应用材料公司 末端执行器的磁性垫片

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