CN112110206A - 承载设备及其手臂牙叉 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种承载设备及其手臂牙叉。该手臂牙叉包括多个叉齿以及固定于所述多个叉齿中至少一个叉齿上的帽架条,所述帽架条的延伸方向与其所在的叉齿的延伸方向平行,其中,所述帽架条至少顶部由弹性材料制成。该承载设备包括上述手臂牙叉。既可以通过承载玻璃基板的帽架条的形状增大机构对玻璃基板的接触面积,降低玻璃基板的内部应力;又可以改善承载玻璃基板的帽架条的材质,来降低机构对玻璃基板的摩擦产生静电的大小。能够有效地防止玻璃基板上产生单点配向异常问题的继续发生,有效降低玻璃基板发生单点配向异常的比率,避免因单点配向异常带来的产品损失。大幅提升产品良率和产线产能,增加公司收益。
Description
技术领域
本发明涉及液晶面板制程自动化领域,更为具体来说,本发明涉及一种承载设备及其手臂牙叉。
背景技术
在液晶面板制造行业中,搬送机器人(Robot)作为一种承载设备负责搬送玻璃基板(Glass),而某些生产工艺频繁发生手臂牙叉(Fork)上玻璃基板产生单点配向异常的问题,该玻璃基板产生单点配向异常的坐标点会匹配到手臂牙叉上的机构。传统的液晶面板制程中手臂牙叉由于制程的要求,使用普通真空吸盘和点状销承载玻璃基板,由于吸盘和销对玻璃基板的接触点比较小造成玻璃基板的内部应力比较大,玻璃基板因应力或静电作用在手臂牙叉上造成玻璃基板的氧化铟锡(ITO,Indium Tin Oxides)层损伤,产生单点配向异常问题。单点配向异常发生的比率高达90%。
为此亟需开发一种手臂牙叉,在承载玻璃基板的同时,能够防止玻璃基板上产生单点配向异常问题的继续发生。
发明内容
本发明创新地提供了一种承载设备及其手臂牙叉,能够有效地防止玻璃基板上产生单点配向异常问题的继续发生,有效降低玻璃基板发生单点配向异常的比率。
为实现上述的技术目的,一方面,本发明公开了一种手臂牙叉。所述手臂牙叉包括多个叉齿以及固定于所述多个叉齿中至少一个叉齿上的帽架条,所述帽架条的延伸方向与其所在的叉齿的延伸方向平行,其中,所述帽架条至少顶部由弹性材料制成。
进一步地,对于所述手臂牙叉,所述弹性材料包括硅胶材料。
进一步地,对于所述手臂牙叉,在一个叉齿上安装2个平行延伸的帽架条,所述2个帽架条的顶面在同一平面内。
进一步地,对于所述手臂牙叉,所述2个平行延伸的帽架条中每个帽架条垂直于延伸方向的截面为L型。
进一步地,所述手臂牙叉还包括安装在至少一个叉齿的两端中至少一端上的弹性限位器。
进一步地,对于所述手臂牙叉,所述帽架条通过固定板固定于所述多个叉齿中至少一个叉齿上,所述固定板的延伸方向与所在的叉齿的延伸方向垂直。
进一步地,对于所述手臂牙叉,所述固定板设有螺丝孔,通过螺丝一端穿过所述螺丝孔后紧固到所述叉齿上而将所述固定板固定于所述叉齿上,所述螺丝由聚醚醚酮材料制成。
进一步地,所述手臂牙叉还包括固定于所述多个叉齿中至少一个叉齿上的吸盘,吸盘为一个或多个而且固定于所在叉齿的两端中的至少一端。
进一步地,所述手臂牙叉还包括粘贴在所述多个叉齿中至少一个叉齿的表面上的防静电贴。
为实现上述的技术目的,另一方面,本发明公开了一种承载设备。所述承载设备包括上述手臂牙叉。
本发明的有益效果为:
本发明实施例提供的承载设备及其手臂牙叉既可以通过承载玻璃基板的帽架条的形状增大机构对玻璃基板的接触面积,降低玻璃基板的内部应力;又可以改善承载玻璃基板的帽架条的材质,来降低机构对玻璃基板的摩擦产生静电的大小。能够有效地防止玻璃基板上产生单点配向异常问题的继续发生,有效降低玻璃基板发生单点配向异常的比率,避免因单点配向异常带来的产品损失。大幅提升产品良率和产线产能,增加公司收益。
附图说明
图中,
图1为本发明一个示例提供的手臂牙叉的结构示意图;
图2为本发明另一个示例提供的手臂牙叉的结构示意图。
具体实施方式
下面,结合说明书附图对本发明提供的承载设备及其手臂牙叉进行详细的解释和说明。
图1为本发明一个示例提供的手臂牙叉的结构示意图。图2为本发明另一个示例提供的手臂牙叉的结构示意图。如图1和图2所示,实施例1提供的手臂牙叉包括多个叉齿以及固定于多个叉齿中至少一个叉齿上的帽架条110,帽架条110的延伸方向与其所在的叉齿的延伸方向平行。这种帽架条110的形状可以增大对玻璃基板的接触面积,以降低玻璃基板的内部应力。其中,帽架条110至少顶部由弹性材料制成。弹性材料可以包括硅胶材料,耐静电系数高,可以降低帽架条110对玻璃基板的摩擦产生静电的大小。
作为一种可选实施方式,可以在一个叉齿上安装2个平行延伸的帽架条110,2个帽架条110的顶面在同一平面内。2个平行延伸的帽架条110中每个帽架条110垂直于延伸方向的截面可以为近似L型,即每个帽架条110包括侧壁和与侧壁垂直的顶壁。
该实施例的手臂牙叉还可以包括安装在至少一个叉齿的两端中至少一端上的弹性限位器120。弹性限位器120可以由弗橡胶材料制成。作为一种可选实施方式,在叉齿的前端和后端位置分别加装一个弹性限位器120,对玻璃基板有弹性接触,可以缓冲玻璃基板的撞击力度。
帽架条110可以通过固定板130固定于多个叉齿中至少一个叉齿上,固定板130的延伸方向与所在的叉齿的延伸方向垂直。可以沿着帽架条110的延伸方向等间隔固定多个固定板130。固定板130可以通过焊接或者螺丝紧固等方式固定于帽架条110。固定板130可以设有螺丝孔,通过螺丝一端穿过螺丝孔后紧固到叉齿上而将固定板130固定于叉齿上。其中,螺丝可以由聚醚醚酮(PEEK,poly-ether-ether-ketone)材料制成。固定板130上可以设有多个螺丝孔比如2个螺丝孔,相应地可以通过2个螺丝分别穿过该固定板130上的2个螺丝孔后紧固到叉齿上而将固定板130固定于叉齿上,进而将帽架条110固定在叉齿上。
作为一种可选实施方式,手臂牙叉还可以包括固定于多个叉齿中至少一个叉齿上的吸盘140。吸盘140可以是一个或多个而且可以固定于所在叉齿的两端中至少一端。作为一种可选实施方式,在叉齿的前端和后端位置分别安装一个吸盘140,从而在承载过程中吸附于玻璃基板边缘的虚设区(Dummy区),不影响该制程产品的品质。其中,吸盘140可以为真空吸盘。
作为一种可选实施方式,手臂牙叉还可以包括粘贴在多个叉齿中至少一个叉齿的表面上的防静电贴150,防静电贴150用于防止与玻璃基板之间摩擦产生静电。防静电贴150背对所在的叉齿表面的一面可以为铁氟龙材料层。例如,可以在防静电贴150背对所在的叉齿表面的一面粘贴铁氟龙材质胶带。铁氟龙材料耐静电系数高,可以降低防静电贴150对玻璃基板的摩擦产生静电的大小。
本发明实施例2是在实施例1的帽架条有问题的情况下的备用方案,在帽架条有问题的情况下需要先把帽架条拆掉,然后可以在叉齿表面粘贴防静电贴150,以增大对玻璃基板的接触面积来降低玻璃基板的内部应力,启用叉齿前后端的吸盘140,连同前后端的弹性限位器120。通过安装备用的吸盘140和防静电贴150,可以作为防止玻璃基板产生单点配向异常问题的备用方案。在首选方案之外提供备用方案,使得设备更加可靠。
当然,也可以在手臂牙叉的一部分叉齿上采用帽架条110和弹性限位器120配合的组装方案,手臂牙叉的另一部分叉齿上可以采用实施例2的防静电贴150、吸盘140以及弹性限位器120配合的组装方案。显然,上述各种基本部件可以在手臂牙叉上有多种组合安装方案,而且可以有多种位置布置方案,所有可能的组合和布置方案都在本发明的保护范围之内。
本发明实施例3提供一种承载设备,该承载设备包括上述手臂牙叉。
本发明实施例提供的承载设备及其手臂牙叉既可以通过承载玻璃基板的帽架条的形状增大机构对玻璃基板的接触面积,降低玻璃基板的内部应力;又可以改善承载玻璃基板的帽架条的材质,来降低机构对玻璃基板的摩擦产生静电的大小。能够有效地防止玻璃基板上产生单点配向异常问题的继续发生,有效降低玻璃基板发生单点配向异常的比率,避免因单点配向异常带来的产品损失。大幅提升产品良率和产线产能,增加公司收益。
在本发明的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。
在本发明中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系,除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
在本说明书的描述中,参考术语“本实施例”、“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中,对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且,描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任至少一个实施例或示例中以合适的方式结合。此外,在不相互矛盾的情况下,本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本发明的描述中,“多个”的含义是至少两个,例如两个,三个等,除非另有明确具体的限定。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已,并不用以限制本发明,凡在本发明实质内容上所作的任何修改、等同替换和简单改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种手臂牙叉,其特征在于,包括多个叉齿以及固定于所述多个叉齿中至少一个叉齿上的帽架条,所述帽架条的延伸方向与其所在的叉齿的延伸方向平行,其中,所述帽架条至少顶部由弹性材料制成。
2.根据权利要求1所述的手臂牙叉,其特征在于,所述弹性材料包括硅胶材料。
3.根据权利要求1或2所述的手臂牙叉,其特征在于,在一个叉齿上安装2个平行延伸的帽架条,所述2个帽架条的顶面在同一平面内。
4.根据权利要求3所述的手臂牙叉,其特征在于,所述2个平行延伸的帽架条中每个帽架条垂直于延伸方向的截面为L型。
5.根据权利要求1所述的手臂牙叉,其特征在于,还包括安装在至少一个叉齿的两端中至少一端上的弹性限位器。
6.根据权利要求1所述的手臂牙叉,其特征在于,所述帽架条通过固定板固定于所述多个叉齿中至少一个叉齿上,所述固定板的延伸方向与所在的叉齿的延伸方向垂直。
7.根据权利要求6所述的手臂牙叉,其特征在于,所述固定板设有螺丝孔,通过螺丝一端穿过所述螺丝孔后紧固到所述叉齿上而将所述固定板固定于所述叉齿上,所述螺丝由聚醚醚酮材料制成。
8.根据权利要求1所述的手臂牙叉,其特征在于,还包括固定于所述多个叉齿中至少一个叉齿上的吸盘,吸盘为一个或多个而且固定于所在叉齿的两端中的至少一端。
9.根据权利要求1所述的手臂牙叉,其特征在于,还包括粘贴在所述多个叉齿中至少一个叉齿的表面上的防静电贴。
10.一种承载设备,其特征在于,包括权利要求1-9中任一项所述的手臂牙叉。
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Cited By (1)
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---|---|---|---|---|
TWI752865B (zh) * | 2021-04-16 | 2022-01-11 | 迅得機械股份有限公司 | 具有擋止功能的卡匣及卡匣搬送系統 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20010016027A (ko) * | 2000-10-06 | 2001-03-05 | 김동관 | 액정 디스플레이 글라스의 정전기 방지 시스템 및 그 장치 |
JP2009004661A (ja) * | 2007-06-22 | 2009-01-08 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置および基板搬送装置 |
CN101944497A (zh) * | 2009-07-03 | 2011-01-12 | 东京毅力科创株式会社 | 防位置偏移装置、具有它的基板保持器、基板输送装置及基板输送方法 |
CN203092546U (zh) * | 2012-11-23 | 2013-07-31 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种基板搬送机器人手臂以及基板搬送机器人 |
CN103434842A (zh) * | 2013-09-04 | 2013-12-11 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 机械手臂叉子以及机械手臂 |
CN205187347U (zh) * | 2015-12-01 | 2016-04-27 | 杭州鸿福科技有限公司 | 一种玻璃搬运抓手 |
CN105717673A (zh) * | 2016-04-13 | 2016-06-29 | 武汉华星光电技术有限公司 | 承载装置 |
CN107381054A (zh) * | 2017-08-30 | 2017-11-24 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种基板传输设备及制备液晶面板的系统 |
-
2020
- 2020-09-10 CN CN202010946057.6A patent/CN112110206A/zh active Pending
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20010016027A (ko) * | 2000-10-06 | 2001-03-05 | 김동관 | 액정 디스플레이 글라스의 정전기 방지 시스템 및 그 장치 |
JP2009004661A (ja) * | 2007-06-22 | 2009-01-08 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置および基板搬送装置 |
CN101944497A (zh) * | 2009-07-03 | 2011-01-12 | 东京毅力科创株式会社 | 防位置偏移装置、具有它的基板保持器、基板输送装置及基板输送方法 |
CN203092546U (zh) * | 2012-11-23 | 2013-07-31 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种基板搬送机器人手臂以及基板搬送机器人 |
CN103434842A (zh) * | 2013-09-04 | 2013-12-11 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 机械手臂叉子以及机械手臂 |
CN205187347U (zh) * | 2015-12-01 | 2016-04-27 | 杭州鸿福科技有限公司 | 一种玻璃搬运抓手 |
CN105717673A (zh) * | 2016-04-13 | 2016-06-29 | 武汉华星光电技术有限公司 | 承载装置 |
CN107381054A (zh) * | 2017-08-30 | 2017-11-24 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种基板传输设备及制备液晶面板的系统 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI752865B (zh) * | 2021-04-16 | 2022-01-11 | 迅得機械股份有限公司 | 具有擋止功能的卡匣及卡匣搬送系統 |
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