CN218200979U - 一种干蚀刻机真空转移腔的传送机械臂 - Google Patents

Abstract

一种干蚀刻机真空转移腔的传送机械臂，传送机械臂为上下设置的两组，设于真空转移腔内，每组传述机械臂上设有十二颗顶料销；每颗顶料销，呈L形板状，包括：顶端平板部和下端竖直板状部；顶端平板部上表面间隔设有三个橡胶圈，用于抵接待传送基板；下端竖直板状部上设有两个用于锁固螺丝的长条孔。顶料销的材质为导电PEEK。本实用新型顶料销结构变更为基座方式，并在接触面上安装三个橡胶圈，改为柔性接触，并增大接触面积，减少接触压力，减少静电荷的产生。顶料销材质变更为导电PEEK(聚醚醚酮)，使基板搬送过程中产生的静电荷可以通过基座导入机台接地端，避免静电荷的积累。

Description

一种干蚀刻机真空转移腔的传送机械臂

技术领域

本实用新型属于干蚀刻机的技术领域，具体涉及一种干蚀刻机真空转移腔的传送机械臂。

背景技术

在液晶显示装置(LCD)中，以铝为基质(如铝金属或铝合金)的薄膜可以用来作为导电金属，以及反射金属层。在其制作过程中，通常事先以各种适合的方法，形成一铝薄膜，再利用蚀刻方式去除非定义中的部份，留下需要的铝导线图形(Pattern)。在蚀刻步骤中，可以使用湿式蚀刻或干式蚀刻。其中，所谓湿式蚀刻是指利用蚀刻液去除不用的部分，至于干式蚀刻则是指利用反应气体激化成等离子体后以物理或化学的方式，去除不用的部分，留下有用的部分。

干蚀刻机，是在低压环境下，将工艺气体等离子化并和基板表面的膜层发生反应以实现蚀刻的目的。干蚀刻机台如图1所示，包括：三个制程腔(PC： Process chamber)进行独立平行生产，两个预真空腔(LL：Load lock chamber) 负责切换基板的真空/大气状态，一个真空转移腔(TM：Transfer chamber) 实现LL和PC间的基板转移。目前，液晶面板干蚀刻机在生产时，玻璃基板经过真空转移腔搬送，和真空转移腔的机械臂上的顶料销(如图2和图3所示)产生接触和摩擦，静电荷积累引起源极和漏极击穿，造成产品良率损失。基板和机械臂上顶料销为干性摩擦，且顶料销材质为不导电的Teflon(特氟隆，聚四氟乙烯)，不利于静电荷的消散。基板在干蚀刻制程时，真空转移腔机械臂的顶料销和基板的接触点位，有机光阻洞内发生静电击穿，静电累积导致pixel(像素)内炸伤，造成产品异常，ATP(arraytest pre delivery inspection 阵列良率缺陷检测机)加检为Point Defect(点缺陷)，产生良率损失。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于提供一种干蚀刻机真空转移腔的传送机械臂，改良机械臂的顶料销结构，使其改为柔性接触，并增大接触面积，减少接触压力，减少静电荷的产生。

本实用新型是这样实现的：

一种干蚀刻机真空转移腔的传送机械臂，所述传送机械臂为上下设置的两组，设于所述真空转移腔内；每组所述传送机械臂上设有十二颗顶料销；每颗所述顶料销，呈L形板状，包括：顶端平板部和下端竖直板状部；

所述顶端平板部上表面间隔设有三个橡胶圈，用于抵接待传送基板；所述下端竖直板状部上设有两个用于锁固螺丝的长条孔。

进一步地，所述顶料销的材质为导电PEEK。

本实用新型的优点在于：

1、顶料销结构变更为基座方式，并在接触面上安装三个橡胶圈，改为柔性接触，并增大接触面积，减少接触压力，减少静电荷的产生。

2、顶料销材质变更为导电PEEK(聚醚醚酮)，使基板搬送过程中产生的静电荷可以通过基座导入机台接地端，避免静电荷的积累。

附图说明

下面参照附图结合实施例对本实用新型作进一步的描述。

图1是干蚀刻机台结构示意图。

图2是现有技术的传送机械臂的顶料销结构示意图。

图3是现有技术的顶料销安装于机械臂的结构示意图

图4是本实用新型的传送机械臂的顶料销结构示意图。

图5是本实用新型的顶料销安装于机械臂的结构示意图。

具体实施方式

一种干蚀刻机真空转移腔的传送机械臂，所述传送机械臂为上下设置的两组，设于所述真空转移腔(TM)内；每组所述传送机械臂上设有十二颗顶料销100；每颗顶料销100呈L形板状，如图4所示，包括：顶端平板部1 和下端竖直板状部2；所述顶端平板部1上表面间隔设有三个橡胶圈3，用于抵接待传送基板；所述下端竖直板状部2上设有两个用于锁固螺丝的长条孔 4。图5是本实用新型的顶料销100安装于机械臂的结构示意图。

所述顶料销100的材质为导电PEEK(聚醚醚酮)。

本实用新型的顶料销结构变更为基座方式，并在接触面上安装三个橡胶圈，改为柔性接触，并增大接触面积，减少接触压力，减少静电荷的产生。顶料销材质变更为导电PEEK(聚醚醚酮)，使基板搬送过程中产生的静电荷可以通过基座导入机台接地端，避免静电荷的积累。

上述实施例和图式并非限定本实用新型的产品形态和式样，任何所属技术领域的普通技术人员对其所做的适当变化或修饰，皆应视为不脱离本实用新型的专利范畴。

Claims (2)

1.一种干蚀刻机真空转移腔的传送机械臂，所述传送机械臂为上下设置的两组，设于所述真空转移腔内；每组所述传送机械臂上设有十二颗顶料销；其特征在于：每颗所述顶料销，呈L形板状，包括：顶端平板部和下端竖直板状部；所述顶端平板部上表面间隔设有三个橡胶圈，用于抵接待传送基板；所述下端竖直板状部上设有两个用于锁固螺丝的长条孔。

2.如权利要求1所述的一种干蚀刻机真空转移腔的传送机械臂，其特征在于：所述顶料销的材质为导电PEEK。

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