CN217504298U - 显示面板干燥装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种显示面板干燥装置，包括：至少一个支撑滚轮组件，单个支撑滚轮组件包括：基座，基座具有突出部；固定于突出部的上侧或下侧的调整块，突出部具有第一螺孔，第一螺孔贯穿突出部并至少穿过部分调整块；固定于调整块左侧或右侧的可调节支架，可调节支架上具有至少一个支撑滚轮；与第一螺孔相匹配的第一调节螺钉，通过第一调节螺钉调整突出部与调整块在高度方向上的间隙。通过第一调节螺钉调整突出部与调整块在高度方向上的间隙，调整可调节支架的高度，从而调整支撑滚轮的高度，以改进干燥制程的工艺过程，改善湿法制程后的水残问题，从而提高面板的良率和可靠性。

Description

显示面板干燥装置

【技术领域】

本实用新型涉及显示面板制造过程中的生产设备，具体涉及一种显示面板干燥装置。

【背景技术】

在面板制造工艺中，湿制程设备即使用水、洗剂或化学品等液态物质对玻璃基板进行加工的工艺设备，包含玻璃基板清洗设备(Cleaner)、光阻涂布显影设备(Coater&Develop)、湿法刻蚀设备(Wet Etching)和光阻剥离设备(Stripper)等。其中，按照清洗原理来分，清洗设备可分为干法清洗设备和湿法清洗设备。湿法工艺是指使用腐蚀性或氧化性较强的溶剂进行喷雾或擦洗，使硅表面的杂质与溶剂发生化学反应，生成可溶性物质或气体，从而将面板表面的颗粒或其它金属离子清洗掉的过程。干法工艺指不使用化学试剂的清洗技术，包含等离子清洗、气相清洗等。在实际生产过程中一般将两种方法结合使用，目前90％以上的清洗步骤以湿法设备为主，少部分特定站点使用干法清洗来提高清洗效率。

一般情况下，在进行湿法制程之后，会进行干燥制程，以去除湿法制程后的液体。其中，风刀干燥装置已被大量的应用于TFT-LCD(薄膜晶体管液晶显示器)的干燥制程中，通过使用风刀干燥装置将残存的制程液体吹除干净，使玻璃基板表面维持干燥。当对放置在风刀干燥装置上的玻璃基板进行干燥制程时，容易因为玻璃基板的高度不同，使得玻璃基板的某些范围无法被吹除干净，导致湿法制程后的液体残留(即水残)，造成面板良率和可靠性的问题。然而，在面板生产过程中，湿制程后水残对良率的影响很大，如何把控湿法制程之后的干燥制程所带来的不良已成为一个严峻的课题。一般情况下，风刀干燥不良有诸多因素比如，AK流量压力不匹配、AK本体slit(狭缝)堵塞、变形、AK chamber(反应腔)排气压力、AK support roller(支撑滚轮)高度不一等都会导致水残的发生。现有的AK supportroller因设计与固定方式因素影响，导致支撑滚轮的高度调整难度较大且效果难以把控，容易导致水残的发生，从而影响面板的良率和可靠性。

因此，现有技术存在缺陷，有待改进与发展。

【实用新型内容】

本实用新型提供一种显示面板干燥装置，有利于调整显示面板干燥装置的高度。

为了解决上述问题，本实用新型提供了一种显示面板干燥装置，包括：至少一个支撑滚轮组件，单个支撑滚轮组件包括：基座，基座具有突出部；固定于突出部的上侧或下侧的调整块，突出部具有第一螺孔，第一螺孔贯穿突出部并至少穿过部分调整块；固定于调整块左侧或右侧的可调节支架，可调节支架上具有至少一个支撑滚轮；与第一螺孔相匹配的第一调节螺钉，通过第一调节螺钉调整突出部与调整块在高度方向上的间隙。

其中，显示面板干燥装置，还包括：

底板；

位于底板上方的支架固定块，支架固定块用于固定支撑滚轮组件；

固定块，固定块位于支架固定块的两侧中的至少一侧，用于在水平方向上固定支架固定块，支架固定块具有至少一个第二螺孔；

与第二螺孔相匹配的第二调节螺钉；

其中，第二螺孔贯穿支架固定块并延伸到底板中，通过第二调节螺钉调整支架固定块与底板在高度方向上的间隙。

其中，显示面板干燥装置包括多个固定块，多个固定块分别位于支架固定块的两侧，用于在水平方向上固定支架固定块。

其中，固定于同一支架固定块上的支撑滚轮组件的数量为多个。

其中，支架固定块的数量为多个。

其中，可调节支架上具有第一刻度，第一刻度用于显示可调节支架的高度调节的精度；和/或支架固定块上具有第二刻度，第二刻度用于显示支架固定块的高度调节的精度。

其中，显示面板干燥装置，还包括：

显示面板，显示面板包括基板以及位于基板上的显示器件；

基板远离显示器件的一侧位于支撑滚轮上。

其中，支撑滚轮组件还包括底座，通过底座将基座固定在支架固定块上。

其中，还包括：

位于固定块中的第三螺孔，第三螺孔贯穿固定块并延伸到支架固定块中；

固定螺钉，固定螺钉具有与第三螺孔相匹配的螺纹，通过固定螺钉，将支架固定块在水平方向上固定。

其中，可调节支架具有多个支撑滚轮，支撑滚轮的轴线与水平平面平行。

本实用新型的有益效果是：区别于现有技术，本实用新型提供了一种显示面板干燥装置，包括：至少一个支撑滚轮组件，单个支撑滚轮组件包括：基座，基座具有突出部；固定于突出部的上侧或下侧的调整块，突出部具有第一螺孔，第一螺孔贯穿突出部并至少穿过部分调整块；固定于调整块左侧或右侧的可调节支架，可调节支架上具有至少一个支撑滚轮；与第一螺孔相匹配的第一调节螺钉，通过第一调节螺钉调整突出部与调整块在高度方向上的间隙。通过第一调节螺钉调整突出部与调整块在高度方向上的间隙，调整可调节支架的高度，从而调整支撑滚轮的高度，以改进干燥制程的工艺过程，改善湿法制程后的水残问题，从而提高面板的良率和可靠性。

【附图说明】

图1为本实用新型实施例提供的支撑滚轮组件的爆炸结构示意图；

图2a为本实用新型实施例提供的支撑滚轮组件装配后一个角度的结构示意图；

图2b为本实用新型实施例提供的支撑滚轮组件装配后另一个角度的结构示意图；

图3为本实用新型实施例提供的显示面板干燥装置的结构示意图。

【具体实施方式】

下面结合附图和实施例，对本实用新型作进一步的详细描述。特别指出的是，以下实施例仅用于说明本实用新型，但不对本实用新型的范围进行限定。同样地，以下实施例仅为本实用新型的部分实施例而非全部实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“横向”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。在各个附图中，结构相似的单元采用相同的附图标记来表示。为了清楚起见，附图中的各个部分没有按比例绘制。此外，附图中可能未示出某些公知的部分。另外，在各个附图中，结构相似的单元采用相同的附图标记来表示。当一个组件被描述为“连接至”另一组件时，二者可以理解为直接“连接”，或者一个组件通过一中间组件间接“连接至”另一个组件。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

这里所使用的术语仅仅是为了描述具体实施例而不意图限制示例性实施例。除非上下文明确地另有所指，否则这里所使用的单数形式“一个”、“一项”还意图包括复数。还应当理解的是，这里所使用的术语“包括”和/或“包含”规定所陈述的特征、整数、步骤、操作、单元和/或组件的存在，而不排除存在或添加一个或更多其他特征、整数、步骤、操作、单元、组件和/或其组合。此外，本实用新型所提到的术语第一、第二、第三等可以在此用来描述各种元素，但这些元素不应该受限于这些术语。这些术语仅用来将这些元素彼此区分开。例如，在不脱离本实用新型范围的前提下，第一种可以被称为第二种，并且类似地，第二种可以被称为第一种。因此，使用的术语是用以说明及理解本实用新型，而非用以限制本实用新型。

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图，对本实用新型进行进一步详细说明。

其中，如图1所示，为本实用新型实施例提供的支撑滚轮150组件110的爆炸结构示意图。其中，如图2a和2b所示，分别为本实用新型实施例提供的支撑滚轮150组件110装配后一个角度和另一个角度的结构示意图。本实用新型实施例提供了一种显示面板干燥装置，包括：至少一个支撑滚轮150组件110，单个支撑滚轮150组件110包括：基座120，基座120具有突出部121；固定于突出部121的上侧或下侧的调整块130，突出部121具有第一螺孔1211，第一螺孔1211贯穿突出部121并至少穿过部分调整块130；固定于调整块130左侧或右侧的可调节支架140，可调节支架140上具有至少一个支撑滚轮150；与第一螺孔1211相匹配的第一调节螺钉160，通过第一调节螺钉160调整突出部121与调整块130在高度方向上的间隙。

具体地，在面板制造工艺中，湿制程设备即使用水、洗剂或化学品等液态物质对玻璃基板进行加工的工艺设备，包含玻璃基板清洗设备(Cleaner)、光阻涂布显影设备(Coater&Develop)、湿法刻蚀设备(Wet Etching)和光阻剥离设备(Stripper)等。其中，按照清洗原理来分，清洗设备可分为干法清洗设备和湿法清洗设备。湿法工艺是指使用腐蚀性或氧化性较强的溶剂进行喷雾或擦洗，使硅表面的杂质与溶剂发生化学反应，生成可溶性物质或气体，从而将面板表面的颗粒或其它金属离子清洗掉的过程。干法工艺指不使用化学试剂的清洗技术，包含等离子清洗、气相清洗等。在实际生产过程中一般将两种方法结合使用，目前90％以上的清洗步骤以湿法设备为主，少部分特定站点使用干法清洗来提高清洗效率。

一般情况下，在进行湿法制程之后，会进行干燥制程，以去除湿法制程后的液体。其中，显示面板干燥装置可以包括风刀干燥装置。其中，风刀干燥装置已被大量的应用于TFT-LCD(薄膜晶体管液晶显示器)的干燥制程，在TFT工艺中，在显影段、湿式蚀刻段以及去光阻段使用风刀干燥装置将残存的制程液体给吹除干净，使玻璃基板表面维持干燥。当对放置在风刀干燥装置上的玻璃基板进行干燥制程时，可能会因为玻璃基板的高度不同，使得玻璃基板的某些范围无法被吹除干净，导致制程液体残留(即水残)，造成面板良率和可靠性的问题。然而，在面板生产过程中，湿制程后水残对良率的影响很大，如何把控湿法制程之后的干燥制程所带来的不良已成为一个严峻的课题。一般情况下，风刀干燥不良有诸多因素比如，AK流量压力不匹配、AK本体slit(狭缝)堵塞、变形、AK chamber(反应腔)排气压力、AK support roller(支撑滚轮150)高度不一等都会导致水残的发生。现有的AKsupport roller因设计与固定方式因素影响，导致高度的调整难度较大且效果难以把控，容易导致水残的发生，影响面板的良率和可靠性。

基于此，通过采用本实用新型实施例的显示面板干燥装置，通过第一调节螺钉160调整突出部121与调整块130在高度方向上的间隙，调整可调节支架140的高度，从而调整支撑滚轮150的高度，以改进干燥制程的工艺过程，改善湿法制程后的水残问题，从而提高面板的良率和可靠性。

具体地，现有的支撑滚轮150(support roller)组件采用一体式设计，很难实现对支撑滚轮150的高度调整。在本实用新型实施例中，通过第一调节螺钉160调整突出部121与调整块130在高度方向上的间隙，使得与固定块192的可调节支架140的高度随之调整，从而调整可调节支架140上的支撑滚轮150的高度。当支撑滚轮150用于放置需要进行干燥处理的玻璃基板(或显示面板)时，可以调整玻璃基板的高度，可以改善对玻璃基板进行干燥制程的工艺过程，从而改善水残问题，提高面板的良率和可靠性。其中，玻璃基板可以为用于形成显示器件的成品或半成品。

其中，同一可调节支架140具有多个支撑滚轮150。

具体地，同一可调节支架140可以具有多个支撑滚轮150。比如，同一可调节支架140具有三个支撑滚轮150。其中，支撑滚轮150的轴线与水平平面(XY平面)平行。可以通过多个支撑滚轮150放置玻璃基板，用于在后续对玻璃基板进行干燥制程。通过在同一调节支架上设置多个支撑滚轮150，有利于对玻璃基板的固定。

其中，支撑滚轮150组件110还包括底座170，通过底座170将基座120固定在支架固定块190上。

具体地，如图1所示，支撑滚轮150组件110还包括底座170，可以采用螺钉连接的方式将基座120固定在底座170上，比如，在基底的底部设有至少一个连接螺孔，通过与该连接螺孔相匹配的连接螺钉将基底固定在底座170上。此外，在底座170上还可以设有滑槽171，基座120可以通过滑槽171相对底座170移动。另外，还可以在底座170上开设一个或多个凹槽172，该一个或多个凹槽172可以用于对其它零件的固定，也可以用于减少底座170的重量，对于一个或多个凹槽172的用处以及凹槽172的形状不作特别地限制。

其中，可调节支架140上具有第一刻度，第一刻度用于显示可调节支架140的高度调节的精度。

具体地，由上文可知，可以通过调整第一调节螺钉160，调整可调节支架140的高度，从而调整支撑滚轮150的高度。当调节第一调节螺钉160时，通过在可调节支架140上设置第一刻度，通过第一刻度显示可调节支架140在高度调节上的精度，从而精确地调节可调节支架140的高度，进一步地改善干燥制程过程中的水残问题，提高面板的良率和可靠性。此外，需要说明的是，第一刻度可以位于可调节支架140的任意位置，不作特别地限定。比如，第一刻度可以位于可调节支架140的某一侧。另外，第一刻度的刻度精度可以根据实际的精度需求去设置，不作特别地限制。

其中，显示面板干燥装置，还包括：

底板180；

位于底板180上方的支架固定块190，支架固定块190用于固定支撑滚轮150组件110；

固定块192，固定块192位于支架固定块190的两侧中的至少一侧，用于在水平方向上固定支架固定块190，支架固定块190具有至少一个第二螺孔(未在图中示出)；

与第二螺孔相匹配的第二调节螺钉191；

其中，第二螺孔贯穿支架固定块190并延伸到底板180中，通过第二调节螺钉191调整支架固定块190与底板180在高度方向上的间隙。

具体地，如图3所示，显示面板干燥装置还包括：底板180、位于底板180上方的支架固定块190、固定块192。其中，底板180可以为反应腔(chamber)的底部。其中，支架固定块190位于底板180的上方，支架固定块190用于固定支撑滚轮150组件110。其中，同一支架固定块190可以固定一个或多个支撑滚轮150组件110。其中，固定块192可以位于支架固定块190的左、右两侧中的至少一侧，用于在水平方向(X方向)上固定支架固定块190。其中，支架固定块190中设有至少一个第二螺孔，第二螺孔可以沿竖直方向(Z方向)贯穿支架固定块190，通过第二调节螺钉191可以调整支架固定块190与底板180在高度方向上的间隙。

由上文可知，现有的支撑滚轮150(support roller)组件采用一体式设计，很难实现对支撑滚轮150的高度调整。与此同时，现有的支撑滚轮150组件110采用单个的固定方式，当需要对多个支撑滚轮150组件110的高度调整时，整体作业难度较大、耗时较长且精度很难把控。在本实用新型实施例中，通过采用支架固定块190，将一个或多个支撑滚轮150组件110固定在支架固定块190上，通过第二调节螺钉191调整支架固定块190与底板180在高度方向上的间隙，从而调整位于同一支架固定块190上的支撑滚轮150的高度，方便调整支撑滚轮150组件110的整体高度，进一步地把控湿制程后的水残问题，提高面板的良率和可靠性。

其中，支架固定块190上具有第二刻度，第二刻度用于显示支架固定块190的高度调节的精度。

具体地，由上文可知，通过第二调节螺钉191调整支架固定块190与底板180在高度方向上的间隙，从而调整位于同一支架固定块190上的支撑滚轮150的高度。当调节第二调节螺钉191时，通过在支架固定块190上设置第二刻度，通过第二刻度显示支架固定块190在高度调节上的精度，从而精确地调节支架固定块190的高度，进一步地改善干燥制程过程中的水残问题，提高面板的良率和可靠性。此外，需要说明的是，第二刻度可以位于支架固定块190的任意位置，不作特别地限定。比如，第二刻度可以位于支架固定块190的某一侧。另外，第二刻度的刻度精度可以根据实际的精度需求去设置，不作特别地限制。

其中，显示面板干燥装置包括多个固定块192，多个固定块192分别位于支架固定块190的两侧，用于在水平方向上固定支架固定块190。

具体地，由上文可知，可以通过固定块192在水平方向(X方向)上将支架固定块190固定。为了进一步地在水平方向(X方向)上将支架固定块190固定，如图3所示，可以采用多个固定块192分别位于支架固定块190的两侧，比如，采用多个固定块192分别位于支架固定块190的左、右两侧。

其中，显示面板干燥装置，还包括：

位于固定块192中的第三螺孔(未在图中示出)，第三螺孔贯穿固定块192并延伸到支架固定块190中；

固定螺钉(未在图中示出)，固定螺钉具有与第三螺孔相匹配的螺纹，通过固定螺钉，将支架固定块190在水平方向上固定。

具体地，由上文可知，可以通过固定块192在水平方向(X方向)上将支架固定块190固定。对于固定块192与支架固定块190的固定方式不作特别地限制，比如，可以螺纹连接实现通过固定块192在水平方向(X方向)上将支架固定块190固定。其中，固定块192设有第三螺孔，第三螺孔在水平方向上贯穿固定块192并延伸到支架固定块190中，通过固定螺钉，将支架固定块190在水平方向上固定。此外，除了螺纹连接的固定方式，还可以采取其它的固定方式，比如销连接等。

其中，固定于同一支架固定块190上的支撑滚轮150组件110的数量为多个。

具体地，可以在支架固定块190上固定多个支撑滚轮150组件110，通过第二调节螺钉191调整支架固定块190与底板180在高度方向上的间隙，从而调整位于同一支架固定块190上的多个支撑滚轮150的高度，进一步地把控湿制程后的水残问题，提高面板的良率和可靠性。

其中，支架固定块190的数量为多个。

具体地，可以在同一底板180上固定多个支架固定块190，同一支架固定块190上可以固定一个或多个支撑滚轮150组件110。比如，同一支架固定块190上可以固定两个、三个或者n个支撑滚轮150组件110，同一支架固定块190上的支撑滚轮150组件110的数量可以根据实际需求进行调整，不作特定地限定。通过第二调节螺钉191调整支架固定块190与底板180在高度方向上的间隙，方便调整位于不同支架固定块190上的多个支撑滚轮150的高度，进一步地把控湿制程后的水残问题，提高面板的良率和可靠性。

其中，显示面板干燥装置，还包括：

显示面板(未在图中示出)，显示面板包括基板以及位于基板上的显示器件；

基板远离显示器件的一侧位于支撑滚轮150上。

具体地，显示面板干燥装置还可以包括显示面板，显示面板可以是具有显示器件的基板，基板远离显示器件的一侧位于支撑滚轮150上。当调整支撑滚轮150的高度时，调整位于支撑滚轮150上的显示面板的高度，改善在进行干燥制程的工艺过程，把控湿制程后的水残问题，提高面板的良率和可靠性。

此外，需要说明的是，对于显示面板不作特别地限制。其中，显示面板可以是液晶显示面板(Liquid Crystal Display，LCD)、有机电致发光显示面板(Organic Light-Emitting Diode，OLED)、micro LED或mini LED等。其中，显示面板中的基板可以为玻璃基板。其中，玻璃基板可以为透明的刚性玻璃。

由上述可知，本实用新型提供了一种显示面板干燥装置，包括：至少一个支撑滚轮组件，单个支撑滚轮组件包括：基座，基座具有突出部；固定于突出部的上侧或下侧的调整块，突出部具有第一螺孔，第一螺孔贯穿突出部并至少穿过部分调整块；固定于调整块左侧或右侧的可调节支架，可调节支架上具有至少一个支撑滚轮；与第一螺孔相匹配的第一调节螺钉，通过第一调节螺钉调整突出部与调整块在高度方向上的间隙。通过第一调节螺钉调整突出部与调整块在高度方向上的间隙，调整可调节支架的高度，从而调整支撑滚轮的高度，以改进干燥制程的工艺过程，改善湿法制程后的水残问题，从而提高面板的良率和可靠性。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种显示面板干燥装置，其特征在于，包括：

至少一个支撑滚轮组件，单个所述支撑滚轮组件包括：

基座，所述基座具有突出部；

固定于所述突出部的上侧或下侧的调整块，所述突出部具有第一螺孔，所述第一螺孔贯穿所述突出部并至少穿过部分所述调整块；

固定于所述调整块左侧或右侧的可调节支架，所述可调节支架上具有至少一个支撑滚轮；

与所述第一螺孔相匹配的第一调节螺钉，通过所述第一调节螺钉调整所述突出部与所述调整块在高度方向上的间隙。

2.如权利要求1所述的显示面板干燥装置，其特征在于，所述显示面板干燥装置，还包括：

底板；

位于所述底板上方的支架固定块，所述支架固定块用于固定所述支撑滚轮组件；

固定块，所述固定块位于所述支架固定块的两侧中的至少一侧，用于在水平方向上固定所述支架固定块，所述支架固定块具有至少一个第二螺孔；

与所述第二螺孔相匹配的第二调节螺钉；

其中，所述第二螺孔贯穿所述支架固定块并延伸到所述底板中，通过所述第二调节螺钉调整所述支架固定块与所述底板在高度方向上的间隙。

3.如权利要求2所述的显示面板干燥装置，其特征在于，所述显示面板干燥装置包括多个固定块，所述多个固定块分别位于所述支架固定块的两侧，用于在所述水平方向上固定所述支架固定块。

4.如权利要求2所述的显示面板干燥装置，其特征在于，固定于同一所述支架固定块上的支撑滚轮组件的数量为多个。

5.如权利要求2所述的显示面板干燥装置，其特征在于，所述支架固定块的数量为多个。

6.如权利要求2所述的显示面板干燥装置，其特征在于，所述可调节支架上具有第一刻度，所述第一刻度用于显示所述可调节支架的高度调节的精度；和/或所述支架固定块上具有第二刻度，所述第二刻度用于显示所述支架固定块的高度调节的精度。

7.如权利要求1所述的显示面板干燥装置，其特征在于，所述显示面板干燥装置，还包括：

显示面板，所述显示面板包括基板以及位于基板上的显示器件；

所述基板远离所述显示器件的一侧位于所述支撑滚轮上。

8.如权利要求2所述的显示面板干燥装置，其特征在于，所述支撑滚轮组件还包括底座，通过所述底座将所述基座固定在所述支架固定块上。

9.如权利要求2所述的显示面板干燥装置，其特征在于，所述显示面板干燥装置，还包括：

位于所述固定块中的第三螺孔，所述第三螺孔贯穿所述固定块并延伸到所述支架固定块中；

固定螺钉，所述固定螺钉具有与所述第三螺孔相匹配的螺纹，通过所述固定螺钉，将所述支架固定块在所述水平方向上固定。

10.如权利要求1所述的显示面板干燥装置，其特征在于，同一所述可调节支架具有多个支撑滚轮。

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